特開 2022-184492 ガスレーザ発振器用ターボブロア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022184492

(43)【公開日】2022-12-13

(54)【発明の名称】ガスレーザ発振器用ターボブロア

(51)【国際特許分類】

   F16C 33/66 20060101AFI20221206BHJP

   F16C 19/16 20060101ALI20221206BHJP

   F16C 35/077 20060101ALI20221206BHJP

   F04D 29/063 20060101ALI20221206BHJP

   F04D 29/056 20060101ALI20221206BHJP

   F16C 37/00 20060101ALI20221206BHJP

【ＦＩ】

F16C33/66 Z

F16C19/16

F16C35/077

F04D29/063

F04D29/056 A

F16C37/00 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021092382

(22)【出願日】2021-06-01

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001427

【氏名又は名称】弁理士法人前田特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】江口 聡

(72)【発明者】

【氏名】小山 賢起

(72)【発明者】

【氏名】西村 哲二

(72)【発明者】

【氏名】竹中 義彰

【テーマコード（参考）】

3H130

3J117

3J701

【Ｆターム（参考）】

3H130AA12

3H130AB13

3H130AB26

3H130AC01

3H130BA56E

3H130BA56J

3H130DA02Z

3H130DB08Z

3H130DH06Z

3H130EA07E

3H130EA07J

3H130EB01E

3J117AA01

3J117BA10

3J117CA06

3J117EA02

3J117EA03

3J117GA01

3J701AA02

3J701AA32

3J701AA42

3J701AA54

3J701AA62

3J701BA77

3J701CA01

3J701CA17

3J701EA63

3J701FA32

3J701GA28

(57)【要約】      （修正有）

【課題】ガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて転がり軸受の内部にグリス供給する。
【解決手段】ガスレーザ発振器用のターボブロアは、インペラが固定されたシャフト２１と、シャフトを収容するハウジングと、ハウジングの軸受ホルダ５０に対してシャフトを支持するとともに、グリスで潤滑される軸受部４０と、を備える。軸受部は、転がり軸受であって、軸受ホルダに固定された外輪４１と、シャフトに固定された内輪４２と、外輪と内輪との間に配置された玉４３と、を有する。軸受部よりも上側には、上側から軸受部に対してグリスを導入するグリス導入路６０が設けられている。軸受部よりも上側には、外輪と内輪との間を下側に延びるガイド部７１が設けられている。ガイド部は、軸方向において外輪及び内輪に重なるように延びて、グリス導入路を流れるグリスを外輪と内輪との間に案内する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

インペラが固定されたシャフトと、
前記シャフトを収容するハウジングと、
前記ハウジングに対して前記シャフトを支持するとともに、グリスで潤滑される軸受部と、を備え、
前記軸受部は、転がり軸受であって、
前記ハウジングに固定された外輪と、
前記シャフトに固定された内輪と、
前記外輪と前記内輪との間に配置された転動体と、を有し、
前記シャフトの軸方向における前記軸受部よりも一方側には、前記軸方向の一方側から前記軸受部に対して前記グリスを導入するグリス導入路が設けられており、
前記軸方向における前記軸受部よりも一方側には、前記外輪と前記内輪との間を前記軸方向の他方側に延びるガイド部が設けられており、
前記ガイド部は、前記軸方向において前記外輪及び前記内輪のうちの少なくとも一方に重なるように延びて、前記グリス導入路を流れる前記グリスを前記外輪と前記内輪との間に案内する、ガスレーザ発振器用ターボブロア。

【請求項2】

請求項１に記載のガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、
前記グリス導入路における前記グリスが前記ガイド部に案内される部分は、前記軸方向の他方側に向かうに従って、前記軸方向に直交する径方向において前記転動体の中心に近づくように傾斜している、ガスレーザ発振器用ターボブロア。

【請求項3】

請求項１又は２に記載のガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、
前記軸受部よりも前記軸方向の他方側には、前記軸受部を通過した前記グリスを受けるグリス受けが設けられており、
前記グリス受けは、前記シャフトの中心軸回りの周方向における一部にのみ設けられている、ガスレーザ発振器用ターボブロア。

【請求項4】

請求項３に記載のガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、
前記グリス受けにおけるグリス受け面には、凹部が設けられている、ガスレーザ発振器用ターボブロア。

【請求項5】

請求項１から４のいずれか１つに記載のガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、
前記ハウジングは、ハウジング本体と、前記ハウジング本体に固定された軸受ホルダと、を含み、
前記外輪は、前記軸受ホルダを介して前記ハウジング本体に固定されており、
前記軸受ホルダには、冷却媒体が内部を流れる冷却部が設けられている、ガスレーザ発振器用ターボブロア。

【請求項6】

請求項１から５のいずれか１つに記載のガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、
前記グリス導入路は、前記シャフトの中心軸回りの周方向において、全周に亘って設けられている、ガスレーザ発振器用ターボブロア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ガスレーザ発振器用ターボブロアに関する。

【背景技術】

【0002】

ガスレーザ発振器では、ターボブロアによってレーザガスが循環されており、ターボブロアのシャフトを支持する転がり軸受は、通常、グリスで潤滑される。

【0003】

特許文献１に係るガスレーザ発振器用ターボブロアは、先端にターボ翼を有するシャフトと、シャフトを支持しグリスで潤滑される転がり軸受と、シャフトを回転させるモータと、軸受にグリスを与えるグリス供給器と、を備える。グリス供給器に充填されたグリスは、軸受ホルダに設けられたグリス通路を経由して、転がり軸受に供給される。

【0004】

かかる構成によれば、新しいグリスをグリス供給器によって転がり軸受に対して適宜供給することで、転がり軸受の運転寿命を改善することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開平６－２１６４３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献１に係るターボブロアでは、グリスを、転がり軸受の内部、詳細には、外輪と内輪との間に上手く供給できないことがあり、転がり軸受の潤滑状態を、良好に維持することが難しかった。

【0007】

本開示は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、より確実に、転がり軸受の内部にグリスを供給することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示に係るガスレーザ発振器用ターボブロアは、インペラが固定されたシャフトと、上記シャフトを収容するハウジングと、上記ハウジングに対して上記シャフトを支持するとともに、グリスで潤滑される軸受部と、を備え、上記軸受部は、転がり軸受であって、上記ハウジングに固定された外輪と、上記シャフトに固定された内輪と、上記外輪と上記内輪との間に配置された転動体と、を有し、上記シャフトの軸方向における上記軸受部よりも一方側には、上記軸方向の一方側から上記軸受部に対して上記グリスを導入するグリス導入路が設けられており、上記軸方向における上記軸受部よりも一方側には、上記外輪と上記内輪との間を上記軸方向の他方側に延びるガイド部が設けられており、上記ガイド部は、上記軸方向において上記外輪及び上記内輪のうちの少なくとも一方に重なるように延びて、上記グリス導入路を流れる上記グリスを上記外輪と上記内輪との間に案内する。

【発明の効果】

【0009】

本開示によれば、ガスレーザ発振器用ターボブロアにおいて、より確実に、転がり軸受の内部にグリスを供給することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、レーザ発振器を模式的に示す概略構成図である。

【図2】図２は、ターボブロアを示す正面断面図である。

【図3】図３は、軸受部の周辺を拡大して示す正面断面図ある。

【図4】図４は、軸受部及び軸受ホルダを上側から見た状態で示す平面図である。

【図5】図５は、蓋部を下側から見た状態で示す平面図である。

【図6】図６は、軸受ホルダ及びグリス受けを軸受部を除いた状態で示す図４相当図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本開示の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物あるいはその用途を制限することを意図するものでは全くない。

【0012】

（ガスレーザ発振器）
図１は、ガスレーザ発振器１を示す。ガスレーザ発振器１は、絶縁部２と、第１放電管３及び第２放電管４と、全反射鏡５と、部分反射鏡６と、ガス循環路７と、第１熱交換器８及び第２熱交換器９と、ターボブロア２０と、を備える。

【0013】

絶縁部２は、ガラス等の絶縁体で構成されている。第１放電管３及び第２放電管４は、絶縁部２の長手方向に互いに間隔を空けて、配置されている。絶縁部２及び放電管３，４には、レーザガス（レーザ媒体）が封入されている。レーザガスは、例えば、ＣＯ２を含む混合ガスである。

【0014】

各放電管３，４は、高電圧電源１０と、一対の第１電極１１及び第２電極１２と、を含む。第１電極１１及び第２電極１２は、各放電管３，４の外周上に設けられており、各放電管３，４の長手方向に互いに対向している。第１電極１１及び第２電極１２には、電源１０が接続されている。

【0015】

各放電管３，４において、電源１０によって第１電極１１及び第２電極１２に高電圧が印加されると、第１電極１１と第２電極１２との間の領域１３で、レーザガスが放電する。当該放電によってレーザガス分子が励起して、レーザ光が発せられる。

【0016】

全反射鏡５及び部分反射鏡６は、絶縁部２の両端に配置されている。全反射鏡５は、第１放電管３側に配置されている。部分反射鏡６は、第２放電管４側に配置されている。全反射鏡５及び部分反射鏡６によって、光共振器が構成されている。レーザ光は、全反射鏡５及び部分反射鏡６によって一定レベルまで増幅された後、部分反射鏡６側から外部に出射される。

【0017】

ガス循環路７は、ガス排出路７ａ、第１ガス導入路７ｂ及び第２ガス導入路７ｃを含む。ガス排出路７ａは、第１放電管３と第２放電管４との間において、絶縁部２に接続されている。ガス排出路７ａは、絶縁部２からレーザガスを排出するための通路である。ガス排出路７ａには、上流側（絶縁部２側）から順に、第１熱交換器８、ターボブロア２０及び第２熱交換器９が設けられている。

【0018】

第１ガス導入路７ｂは、ガス排出路７ａの下流側に接続されており、第１放電管３と全反射鏡５との間において、絶縁部２に接続されている。第２ガス導入路７ｃは、ガス排出路７ａの下流側に接続されており、第２放電管４と部分反射鏡６との間において、絶縁部２に接続されている。第１ガス導入路７ｂ及び第２ガス導入路７ｃは、ガス排出路７ａを介して絶縁部２から排出されたレーザガスを、絶縁部２に再び導入するための通路である。

【0019】

ターボブロア２０は、ガスレーザ発振器１において、レーザガスを循環させる。具体的には、ターボブロア２０は、絶縁部２におけるレーザガスを、ガス排出路７ａを介して吸い込んだ後、当該レーザガスを、ガス導入路７ｂ，７ｃを介して絶縁部２へ吐出する。レーザガスは、絶縁部２における各放電管３，４で放電する際に温度上昇するが、ガス循環路７（詳細にはガス排出路７ａ）を通過するときに、第１熱交換器８及び第２熱交換器９によって強制的に冷却される。

【0020】

（ターボブロア）
ガスレーザ発振器１用のターボブロア２０について説明する。図２は、ターボブロア２０を示す。ターボブロア２０は、シャフト２１と、インペラ２２と、モータ２３と、ハウジング３０と、２つの軸受部４０，１００と、を備える。

【0021】

以下、シャフト２１の中心軸Ｏの延びる方向を、軸方向という。軸方向に直交する方向を、径方向という。シャフト２１の中心軸Ｏ回りの方向を、周方向という。本実施形態では、軸方向は鉛直方向であり、径方向は水平方向である。インペラ２２が位置する軸方向一方側（鉛直方向上側）を、単に上側という場合がある。同様に、モータ２３が位置する軸方向他方側（鉛直方向下側）を、単に下側という場合がある。

【0022】

ハウジング３０は、シャフト２１を内部に収容している。インペラ２２は、シャフト２１の先端部（上端部）に、回転一体に固定されている。モータ２３は、シャフト２１を回転させる。モータ２３のロータ２３ａは、シャフト２１の軸方向中間部に、回転一体に固定されている。

【0023】

ハウジング３０は、インペラハウジング（ハウジング本体）３１と、モータハウジング（ハウジング本体）３２と、２つの軸受ホルダ５０，１０１と、を含む。インペラハウジング３１は、インペラ２２を収容している。モータハウジング３２は、フランジを有する略筒状であって、ロータ２３ａを収容している。モータハウジング３２の内周部には、ロータ２３ａに対応するステータ２３ｂが固定されている。

【0024】

レーザガスは、インペラ２２が回転すると、吸込口３１ａを介してインペラハウジング３１の内部に軸方向に吸い込まれた後、吐出口３１ｂを介してインペラハウジング３１の外部に径方向に吐出される。

【0025】

２つの軸受部４０，１００は、ハウジング３０に対してシャフト２１を支持する。２つの軸受部４０，１００は、モータ２３を挟んで軸方向に互いに間隔を空けて配置されている。ここで、モータハウジング３２の内周部には、２つの軸受部４０，１００に対応するように、２つの軸受ホルダ５０，１０１が固定されている。各軸受ホルダ５０，１０１は、中心孔を有する略中空円盤状である。各軸受部４０，１００は、各軸受ホルダ５０，１０１の内周部に、固定されている。換言すると、各軸受部４０，１００は、各軸受ホルダ５０，１０１に対してシャフト２１を支持する。

【0026】

（軸受部周辺）
上側の軸受部４０及びその周辺の構成について、図３～６を参照しながら、詳細に説明する。図３は、軸受部４０の周辺を拡大して示す。図４は、軸受部４０及び軸受ホルダ５０を、上側から見た状態で示す。図５は、後述する蓋部７０を、下側から見た状態で示す。図６は、軸受ホルダ５０及び後述するグリス受け８０を、上側から見て且つ軸受部４０を除いた状態で示す。

【0027】

図３に示すように、軸受部４０は、転がり軸受、詳細には玉軸受（ボールベアリング）で構成されている。軸受部４０は、外輪４１と、内輪４２と、複数の転動体としての玉（ボール）４３と、保持器４４と、を有する。軸受部４０は、グリスで潤滑される。

【0028】

図３に示すように、外輪４１は、軸受ホルダ５０の内周部に固定されている。換言すると、外輪４１は、軸受ホルダ５０を介して、モータハウジング３２に固定されている。内輪４２は、シャフト２１に、回転一体に固定されている。玉４３は、外輪４１と内輪４２との間に配置されており、外輪４１及び内輪４２に対して転動する。保持器４４は、隣接する玉４３同士の間隔を一定に保つ。

【0029】

図３に示すように、軸受部４０の上側（軸方向における軸受部４０よりも一方側）には、グリス導入路６０が設けられている。グリス導入路６０は、上側（軸方向一方側）から軸受部４０に対して、グリスを導入（供給）する。グリス導入路６０は、第１グリス導入路６１と、第２グリス導入路６２と、を含む。

【0030】

ここで、図３に示すように、軸受部４０の上側（軸方向における軸受部４０よりも一方側）には、円盤状（図５参照）の蓋部７０が設けられている。蓋部７０は、軸受ホルダ５０の中心孔を上側から覆っている。蓋部７０の下面における円環状（図５参照）のフランジ部７０ａは、軸受ホルダ５０の上面における円環状（図４参照）のフランジ部５０ａに接合されている。フランジ部５０ａ，７０ａ同士は、Ｏリング５１でシールされている。

【0031】

図３に示すように、軸受ホルダ５０の上面におけるフランジ部５０ａよりも径方向内側部分５０ｂと、蓋部７０の下面におけるフランジ部７０ａよりも径方向内側部分７０ｂとの間には、隙間が設けられている。第１グリス導入路６１は、当該隙間で構成されている。 図４に示すように、第１グリス導入路（隙間）６１は、周方向において、全周に亘って設けられている。図３，４に示すように、第１グリス導入路６１は、径方向に延びており、グリスを径方向外側から径方向内側へ流す。

【0032】

図３，４に示すように、軸受ホルダ５０の上面には、周方向のほぼ全周に亘って延びる円弧状の溝部５３が形成されている。なお、溝部５３は、周方向の全周に亘って延びる円環状に形成されてもよい。溝部５３には、グリス供給管５４が接続されている。グリス供給管５４の先は、軸受ホルダ５０（ハウジング３０）の外部に連通している。グリス供給管５４の先には、例えばグリス供給器（図示せず）が接続されている。

【0033】

図５に示すように、蓋部７０の下面には、円環状に（周方向に）延びる凸部で構成されたガイド部７１が設けられている。図３に示すように、ガイド部７１は、外輪４１と内輪４２との間を、下側（軸方向他方側）に延びている。ガイド部７１は、軸方向において、外輪４１及び内輪４２の両方に重なるように延びている。換言すると、ガイド部７１の先端部（下端部）７１ａは、外輪４１の上端部４１ａ及び内輪４２の上端部４２ａよりも、下側に位置している。ガイド部７１の先端部（下端部）７１ａは、玉４３に臨んでいる。

【0034】

ここで、図３に示すように、第２グリス導入路６２は、第１グリス導入路６１の下流側（径方向内側）に接続されている。ガイド部７１は、第２グリス導入路６２を流れるグリスを、軸受部４０の内部、すなわち外輪４１と内輪４２との間に、案内する。すなわち、第２グリス導入路６２は、グリス導入路６０におけるグリスがガイド部７１に案内される部分である。なお、第２グリス導入路６２は、第１グリス導入路６１と同様に、周方向において、全周に亘って設けられている。

【0035】

図３に示すように、ガイド部７１におけるグリスの案内面（径方向外側面）７１ｂは、テーパ状に形成されており、下側に向かうに従って径方向内側に延びるように傾斜している。同様に、外輪４１の上側且つ径方向内側のエッジ部４１ｂも、テーパ状に形成されており、下側に向かうに従って径方向内側に延びるように傾斜している。これによって、第２グリス導入路６２は、下側（軸方向他方側）に向かうに従って、径方向において玉４３の中心に近づくように（径方向内側に延びるように）傾斜している。

【0036】

図３に示すように、軸受部４０よりも下側（軸方向他方側）には、グリス受け８０が設けられている。ここで、軸受ホルダ５０の下面には、軸方向に延びるブラケット５５が固定されている。グリス受け８０は、ブラケット５５に取り付けられている。グリス受け８０は、径方向に延びている。グリス受け８０の上面８０ａは、軸受部４０の内部、すなわち外輪４１と内輪４２との間に、臨んでいる。グリス受け８０の上面８０ａは、軸受部４０の内部（外輪４１と内輪４２との間）を通過したグリスを、受ける（以下、「グリス受け面８０ａ」という）。

【0037】

図６に示すように、グリス受け８０は、周方向において全周に亘って設けられるのではなく、周方向における一部にのみ設けられている。詳細には、３つのグリス受け８０が、周方向に互いに間隔を空けて、周方向に配列されている。

【0038】

図３，６に示すように、各グリス受け８０のグリス受け面８０ａには、凹部８１が設けられている。各凹部８１は、周方向に延びている。

【0039】

図２に示すように、軸受ホルダ５０の下側には、円環状の冷却部９０が直接的に取り付けられている。冷却部９０は、上下二つ割り構造であり、上側部材９１と下側部材９２とで構成されている。冷却部９０の内部、詳細には上側部材９１と下側部材９２との間には、円環状の冷却通路９３が形成されている。冷却通路９３には、水や空気等の冷却媒体が流れる。

【0040】

（作用効果）
本実施形態では、グリスは、グリス供給器（図示せず）によって、グリス供給管５４、溝部５３、第１グリス導入路６１及び第２グリス導入路６２を介して、上側から軸受部４０に対して供給される。ここで、図３に示すように、ガイド部７１は、軸方向において外輪４１及び内輪４２に重なるように、外輪４１と内輪４２との間を下側に、延びている。これにより、第２グリス導入路６２を流れるグリスは、ガイド部７１における案内面７１ｂに沿うようにして、軸受部４０の内部、すなわち外輪４１と内輪４２との間に案内される。

【0041】

したがって、ガスレーザ発振器１用のターボブロア２０において、より確実に、転がり軸受（軸受部４０）の内部にグリスを供給することができる。これにより、軸受部４０におけるグリスの潤滑状態を良好にして、軸受部４０の運転寿命を延ばすことができる。

【0042】

特にシャフト２１が高速回転する場合、玉４３の高速回転によってグリスがはじかれやすいので、グリスを軸受部４０の内部に供給することが難しい。軸受部４０の上側にガイド部７１を設けた上記構成は、このようにシャフト２１が高速回転する場合に、特に有効である。

【0043】

図２に示すように、上側の軸受部４０は、下側の軸受部１００に比べて、高温のレーザガスに接するインペラ２２の近くに位置する。このため、上側の軸受部４０では下側の軸受部１００に比べて、グリスが、温度上昇しやすく、劣化しやすい。ガイド部７１を設けた上記構成は、インペラ２２の近くに位置する上側の軸受部４０に適用することが、特に有効である。

【0044】

図３に示すように、第２グリス導入路６２が、下側に向かうに従って径方向において玉４３の中心に近づくように傾斜しているので、軸受部４０の内部における径方向中央部に、詳細には外輪４１と内輪４２との間における径方向中央位置に、最短経路で、グリスを供給することができる。これにより、グリスを、軸受部４０の内部における外輪４１側及び内輪４２側の両方に、均等に供給する上で有利になる。

【0045】

図３に示すように、軸受部４０よりも下側のグリス受け８０のグリス受け面８０ａで、外輪４１と内輪４２との間を通過したグリスを受けることによって、軸受部４０が一定程度シールされる。これにより、軸受部４０からのグリスの漏出を、一定程度抑制することができる。また、図６に示すように、グリス受け８０が、周方向において全周に亘って設けられるのではなく、周方向における一部にのみ設けられるので、周方向に隣り合うグリス受け８０同士の隙間を介して、古くなった劣化グリスを軸受部４０から排出することができる。

【0046】

図３，６に示すように、グリス受け８０のグリス受け面８０ａに凹部８１が設けられているので、グリスを凹部８１に一時滞留させることができる。これにより、新しいグリスが軸受部４０に供給されてから直ぐに排出されてしまうことを抑制して、新しいグリスを軸受部４０の潤滑にできるだけ長時間寄与させることができる。

【0047】

図２に示すように、軸受ホルダ５０に冷却部９０が直接的に取り付けられているので、冷却部９０を軸受部４０に近づけることができる。これにより、冷却部９０の内部を流れる冷却媒体によって、軸受ホルダ５０及び軸受部４０を介して、グリスを、効果的に冷却することができる。

【0048】

図４に示すように、第１グリス導入路６１が、周方向において全周に亘って設けられているので、第１グリス導入路６１が周方向における一部にのみ設けられる場合に比較して、第１グリス導入路６１の流路面積を大きくすることができる。これにより、第１グリス導入路６１の流路抵抗を低減して、第１グリス導入路６１おけるグリスの目詰まりを抑制することができる。

【0049】

（その他の実施形態）
以上、本開示を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。

【0050】

ガイド部７１は、軸方向において外輪４１及び内輪４２の両方に重なるように延びる必要はなく、外輪４１及び内輪４２のうちの少なくとも一方に重なるように延びればよい。

【0051】

軸受部４０は、例えば、ころ軸受（ローラベアリング）で構成されてもよい。

【0052】

軸受ホルダ５０の内周部における上側のエッジ部を、下側に向かうに従って径方向内側に延びるように、テーパ状に形成してもよい。

【0053】

グリス導入路６０及びガイド部７１を、軸受部４０よりも下側に設けてもよい。

【0054】

本実施形態に係るガイド部７１を、下側の軸受部１００に適用してよい。この場合、グリス導入路６０及びガイド部７１を、軸受部１００よりも上側に設けてもよく、また軸受部１００よりも下側に設けてもよい。

【0055】

軸方向は、鉛直方向ではなく、例えば水平方向でもよい。

【産業上の利用可能性】

【0056】

本開示は、ガスレーザ発振器用ターボブロアに適用できるので、極めて有用であり、産業上の利用可能性が高い。

【符号の説明】

【0057】

Ｏ 中心軸
１ ガスレーザ発振器
２０ ターボブロア
２１ シャフト
２２ インペラ
３０ ハウジング
３１ インペラハウジング（ハウジング本体）
３２ モータハウジング（ハウジング本体）
４０ 軸受部
４１ 外輪
４１ａ 上端部
４１ｂ エッジ部
４２ 内輪
４２ａ 上端部
４３ 玉（転動体）
５０ 軸受ホルダ
６０ グリス導入路
６１ 第１グリス導入路
６２ 第２グリス導入路
７０ 蓋部
７１ ガイド部
７１ａ 先端部（下端部）
７１ｂ 案内面
８０ グリス受け
８０ａ グリス受け面（上面）
８１ 凹部
９０ 冷却部
９３ 冷却通路

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】