特開 2022-184529 劣化検査装置及び劣化検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022184529

(43)【公開日】2022-12-13

(54)【発明の名称】劣化検査装置及び劣化検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20221206BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021092445

(22)【出願日】2021-06-01

(71)【出願人】

【識別番号】000003078

【氏名又は名称】株式会社東芝

(71)【出願人】

【識別番号】317011920

【氏名又は名称】東芝デバイス＆ストレージ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】間島 秀明

【テーマコード（参考）】

2G003

【Ｆターム（参考）】

2G003AA02

2G003AB02

2G003AB04

2G003AB06

2G003AB08

2G003AB16

2G003AE06

2G003AH01

2G003AH10

(57)【要約】

【課題】ＭＯＳトランジスタの劣化状態を容易に検査することが出来る劣化検査装置及び劣化検査方法を提供すること。
【解決手段】一つの実施形態によれば、劣化検査装置は、ＭＯＳトランジスタと、前記ＭＯＳトランジスタの主電流路に直列に接続され、前記ＭＯＳトランジスタがオン状態の時に前記ＭＯＳトランジスタと共に閉ループを構成するインダクタと、前記ＭＯＳトランジスタのオン／オフを制御する制御回路と、前記インダクタが放出する電流を検出する電流センサと、前記ＭＯＳトランジスがオン状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのオン抵抗を算出し、前記ＭＯＳトランジスタがオフ状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのしきい値電圧を算出する算定回路と、を具備する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＭＯＳトランジスタと、
前記ＭＯＳトランジスタの主電流路に直列に接続され、前記ＭＯＳトランジスタがオン状態の時に前記ＭＯＳトランジスタと共に閉ループを構成するインダクタと、
前記ＭＯＳトランジスタのオン／オフを制御する制御回路と、
前記インダクタが放出する電流を検出する電流センサと、
前記ＭＯＳトランジスタがオン状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのオン抵抗を算出し、前記ＭＯＳトランジスタがオフ状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのしきい値電圧を算出する算定回路と、
を具備することを特徴とする劣化検査装置。

【請求項2】

前記ＭＯＳトランジスタの温度を検出する温度センサを具備することを特徴とする請求項１に記載の劣化検査装置。

【請求項3】

予め設定したオン抵抗及びしきい値電圧のしきい値と、前記算定回路が算出した前記ＭＯＳトランジスタのオン抵抗としきい値電圧とを比較して前記ＭＯＳトランジスタの劣化状態を判定する判定回路を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の劣化検査装置。

【請求項4】

前記ＭＯＳトランジスタは、横型ＭＯＳトランジスタであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の劣化検査装置。

【請求項5】

前記ＭＯＳトランジスタはＧａＮトランジスタであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の劣化検査装置。

【請求項6】

インダクタと共に閉ループを構成するＭＯＳトランジスタがオン状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのオン抵抗を算出するステップと、
前記ＭＯＳトランジスタがオフ状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのしきい値電圧を算出するステップと、
を具備することを特徴とする劣化検査方法。

【請求項7】

予め設定したオン抵抗及びしきい値電圧のしきい値と、算出した前記ＭＯＳトランジスタのオン抵抗としきい値電圧とを比較して前記ＭＯＳトランジスタの劣化状態を判定するステップを備えることを特徴とする請求項６に記載の劣化検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本実施形態は、劣化検査装置及び劣化検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、出力トランジスタを構成するＭＯＳトランジスタとしてＧａＮ（窒化ガリウム）トランジスタを用いた電源回路の技術が開示されている。ＧａＮトランジスタは高耐圧で低損失である為、高電圧を出力する電源回路への適用に好適する。出力トランジスタを構成するＭＯＳトランジスタのオン抵抗の増加は電源回路の消費電力の増加を招き、また、しきい値電圧の変化はオン／オフの制御性に影響を与える。ＭＯＳトランジスタのオン抵抗、及び、しきい値電圧は経時的に変化する。ＭＯＳトランジスタの劣化状態を容易に検査することが出来る劣化検査装置及び劣化検査方法が望まれる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１４５５７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

一つの実施形態は、ＭＯＳトランジスタの劣化状態を容易に検査することが出来る劣化検査装置及び劣化検査方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

一つの実施形態によれば、劣化検査装置は、ＭＯＳトランジスタと、前記ＭＯＳトランジスタの主電流路に直列に接続され、前記ＭＯＳトランジスタがオン状態の時に前記ＭＯＳトランジスタと共に閉ループを構成するインダクタと、前記ＭＯＳトランジスタのオン／オフを制御する制御回路と、前記インダクタが放出する電流を検出する電流センサと、前記ＭＯＳトランジスがオン状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのオン抵抗を算出し、前記ＭＯＳトランジスタがオフ状態の時に前記インダクタが放出する電流の減衰特性から前記ＭＯＳトランジスタのしきい値電圧を算出する算定回路と、を具備する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、第１の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図。

【図2】図２は、トランジスタがオン状態の場合の還流電流を説明する為の図。

【図3】図３は、還流電流の減衰特性を説明する為の図。

【図4】図４は、トランジスタがオフ状態の場合の還流電流を説明する為の図。

【図5】図５は、劣化検査方法の一つの実施形態を示すフローチャート。

【図6】図６は、第２の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図。

【図7】図７は、ＧａＮトランジスタの導通状態と還流電流の減衰特性との関係を説明する為の図。

【図8】図８は、劣化検査方法の他の一つの実施形態を示すフローチャート。

【図9】図９は、還流電流の実測値と算出データのフィッティングについて説明する為の図。

【図10】図１０は、第３の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図。

【図11】図１１は、第４の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図。

【図12】図１２は、ローサイドのＧａＮトランジスタの劣化状態を判定する場合のインダクタ電流を説明する為の図。

【図13】図１３は、ローサイドのＧａＮトランジスタの劣化状態を判定する場合の還流電流を説明する為の図。

【図14】図１４は、ハイサイドのＧａＮトランジスタの劣化状態を判定する場合のインダクタ電流を説明する為の図。

【図15】図１５は、ハイサイドのＧａＮトランジスタの劣化状態を判定する場合の還流電流を説明する為の図。

【発明を実施するための形態】

【0007】

以下に添付図面を参照して、実施形態にかかる劣化検査装置及び劣化検査方法を詳細に説明する。なお、これらの実施形態により本発明が限定されるものではない。

【0008】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図である。ＭＯＳトランジスタ１０は、被検査対象のＮチャネル型のＭＯＳトランジスタである。本実施形態は、ＭＯＳトランジスタ１０のドレインが接続されるノードＮ１に一端が接続され、他端がＭＯＳトランジスタ１０のソースが接続されるノードＮ２に接続されるインダクタ６を有する。インダクタ６は、ＭＯＳトランジスタ１０の主電流路であるソース・ドレイン路に直列に接続され、ＭＯＳトランジスタ１０がオン状態の時にＭＯＳトランジスタ１０と共に閉ループを構成する。

【0009】

ノードＮ１には、電源７が接続される。ノードＮ２と接地との間にはスイッチ１２を有する。

【0010】

本実施形態は、ＭＯＳトランジスタ１０のオン／オフを制御する制御回路１を有する。制御回路１は、ＭＯＳトランジスタ１０のゲートに駆動信号ＶＧを供給し、ＭＯＳトランジスタ１０のオン／オフを制御する。制御回路１は、スイッチ１２に制御信号ＶＳを供給する。制御回路１は、制御信号ＶＳによりスイッチ１２のオン／オフを制御する。スイッチ１２のオン／オフにより、ＭＯＳトランジスタ１０とインダクタ６によって構成される閉ループを還流する還流電流が制御される。還流電流の制御については、後述する。制御回路１は、駆動信号ＶＧ及び制御信号ＶＳを出力したタイミングを示すタイミング信号ＶＴを処理回路２に供給する。

【0011】

本実施形態は、電流センサ４を有する。電流センサ４は、インダクタ６が放出する電流を検出する。電流センサ４の検出信号は、処理回路２に供給される。

【0012】

処理回路２は、ＭＯＳトランジスタ１０がオン状態の時にインダクタ６が放出する電流の減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗を算出し、ＭＯＳトランジスタ１０がオフ状態の時にインダクタ６が放出する電流の減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出する。処理回路２は、例えば、演算処理を行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）（図示せず）と、演算結果を保存するメモリ（図示せず）を有する。

【0013】

本実施形態は、ＭＯＳトランジスタ１０の温度を検出する温度センサ５を有する。温度センサ５の検出信号は、劣化判定回路３に供給される。

【0014】

劣化判定回路３は、処理回路２が算出したＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮとしきい値電圧Ｖ_ｔｈを、予め設定したオン抵抗Ｒ_ＯＮ及びしきい値電圧Ｖ_ｔｈの夫々のしきい値と比較してＭＯＳトランジスタ１０の劣化状態を判定する。劣化判定回路３は、例えば、オン抵抗Ｒ_ＯＮが所定のしきい値に対して許容される範囲の抵抗値を超えた場合、あるいは、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが所定のしきい値に対して許容される範囲の電圧値を超えた場合に、ＭＯＳトランジスタ１０に劣化が生じていると判定する。

【0015】

ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮ、あるいは、しきい値電圧Ｖ_ｔｈは、ＭＯＳトランジスタ１０の温度によって変化する。従って、ＭＯＳトランジスタ１０の劣化判定の為のしきい値は、例えば、温度に関連付けられた値として劣化判定回路３の所定のテーブル（図示せず）に保存され、劣化判定回路３において処理回路２からの演算結果と比較される。

【0016】

処理回路２からの演算結果としきい値との比較に基づく判定結果が判定信号ＣＰとして出力される。例えば、処理回路２からのＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮ、及び、しきい値電圧Ｖ_ｔｈの値が、予め設定したしきい値に対して所定の範囲内にある場合には、ＭＯＳトランジスタ１０は劣化無しと判定され、所定の範囲外の場合には、ＭＯＳトランジスタ１０に劣化有りと判定される。

【0017】

図２乃至図４を用いて、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮ、及びしきい値電圧Ｖ_ｔｈの検出方法を説明する。図２は、トランジスタがオン状態の場合の還流電流を説明する為の図である。図１の実施形態において、制御回路１からの制御信号ＶＳによりスイッチ１２をオン状態からオフ状態にし、ＭＯＳトランジスタ１０に駆動信号ＶＧ_ＯＮを供給してＭＯＳトランジスタ１０をオン状態にすると、インダクタ６は現状の電流状態を維持して電流を流し続けようとする為、ＭＯＳトランジスタ１０とインダクタ６によって構成される閉ループを還流電流ｉ_ＯＮが流れる。ＭＯＳトランジスタ１０がオン状態の時にインダクタ６が放出する電力Ｐは、Ｐ＝（ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮ×還流電流ｉ_ＯＮ ^２）で示される。還流電流ｉ_ＯＮは、ＭＯＳトランジスタ１０による電圧降下によって消費される。インダクタ６が単位時間当たりに放出する電力は、ＭＯＳトランジスタ１０において単位時間当たりの熱として消費される。還流電流ｉ_ＯＮは、インダクタ６が放出する電流であり、式（１）で示される。

【0018】

【数1】

ここで、Ｉｏは、還流電流ｉ_ＯＮの初期値、Ｌはインダクタ６のインダクタンス、Ｒ_ＬＯＯＰは、ＭＯＳトランジスタ１０とインダクタ６の閉ループの抵抗値の合計値を示す。Ｒ_ＬＯＯＰは、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮとインダクタ６の寄生抵抗Ｒ_Ｌを含む。式（１）に示すｉ_ＯＮは減衰特性を示す。還流電流ｉ_ＯＮの初期値Ｉ_０は、制御回路１から供給されるタイミング信号ＶＴに応じて、電流センサ４により測定することが出来る。スイッチ１２のオン時間の調整により、初期値Ｉ_０の値を調整することが出来る。

【0019】

図３は、還流電流の減衰特性を説明する為の図である。実線１００は、還流電流ｉ_ＯＮを示す。記述した式（１）を微分すると、係数としてＲ_ＬＯＯＰ／Ｌが得られる。式（１）の微分は、還流電流ｉ_ＯＮの傾きを求めることに等しい。従って、図３に示す還流電流ｉ_ＯＮの所定の時間ｔ１からｔ２までの時間差Δｔにおける還流電流ｉ_ＯＮの電流値ｉ１からｉ２までの電流の変化値Δｉを求めることで、還流電流ｉ_ＯＮの傾きの係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを算出することが出来る。

【0020】

Ｌの値としてインダクタ６の既知の値を用い、また、Ｒ_ＬＯＯＰの値からインダクタ６の寄生抵抗の値を引き算することで、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出することが出来る。

【0021】

電流センサ４を用いて実測した還流電流ｉ_ＯＮと、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性から求めた係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを用いて算出した還流電流ｉ_ＯＮのシミュレーションのデータを比較し、その両者の誤差を最小化するフィッティングを行うことで、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮの算出の精度を高めることが出来る。誤差の算出とフィッティングは、処理回路２において実行することが出来る。

【0022】

図４は、ＭＯＳトランジスタ１０がオフ状態の場合の還流電流を説明する為の図である。ＭＯＳトランジスタ１０とインダクタ６の閉ループに還流電流が流れる状態で、制御回路１から駆動信号ＶＧ_ＯＦＦをＭＯＳトランジスタ１０のゲートに供給してＭＯＳトランジスタ１０をオフにすると、ＭＯＳトランジスタ１０とインダクタ６の閉ループに還流電流ｉ_ＯＦＦが流れる。ＭＯＳトランジスタ１０がオフ状態の時にインダクタ６が放出する電力Ｐは、Ｐ＝（ＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈ×還流電流ｉ_ＯＦＦ）で示される。また、ＭＯＳトランジスタ１０がオフの状態の時の還流電流ｉ_ＯＦＦは式（２）で示される。

【0023】

【数2】

ここで、Ｖ_ＧＳは、ＭＯＳトランジスタ１０のゲート・ソース間電圧、Ｖ_ｔｈは、ＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧を示す。式（２）に示す還流電流ｉ_ＯＦＦは、減衰特性を示す。尚、式（２）においては、Ｉｏは、還流電流ｉ_ＯＦＦの初期値を示す。

【0024】

ＭＯＳトランジスタ１０の性質として、ソース側から電流が注入されると、ゲート電位をしきい値電圧Ｖ_ｔｈ以下に下げても、ソース側から供給される電流によってドレイン電位が下がり、ドレインから見たゲート電位がしきい値電圧Ｖ_ｔｈ以上に上昇して電流が流れる。すなわち、ゲートを中心にして、ソースがドレインとして機能し、ドレインがソースとして対称的、且つ可逆的に機能する性質を有する。この可逆的な機能の性質は、半導体基板（図示せず）の表面に、ソースとドレインが形成される、所謂、プレーナ型の横型ＭＯＳトランジスタが有する。この可逆的な機能の性質を利用して、ＭＯＳトランジスタ１０のゲート・ドレイン間の電圧をしきい値電圧Ｖ_ｔｈとして算出し、ＭＯＳトランジスタ１０の劣化状態を判定する指標とすることが出来る。

【0025】

ＭＯＳトランジスタ１０を流れる還流電流ｉ_ＯＦＦは、ＭＯＳトランジスタ１０の飽和領域の電流の式に従って流れ、ＭＯＳトランジスタ１０のソース・ドレイン間には、しきい値電圧Ｖ_ｔｈ程度の電圧Ｅが発生する。この電圧Ｅは、ＭＯＳトランジスタ１０がオンするのに必要な電圧であり、還流電流ｉ_ＯＦＦが流れる間は、ＭＯＳトランジスタ１０を定電圧源と見做すことが出来る。還流電流ｉ_ＯＦＦは、ＭＯＳトランジスタ１０による電圧降下によって消費される。インダクタ６が単位時間当たりに放出する電力は、ＭＯＳトランジスタ１０において単位時間当たりの熱として消費される。

【0026】

既述した還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性の場合と同様に、式（２）を微分すると、（Ｉ_０－（Ｖ_ＧＳ－Ｖ_ｔｈ）／Ｒ_ＬＯＯＰ）とＲ_ＬＯＯＰ／Ｌを含む係数が得られる。式（２）の微分は、還流電流ｉ_ＯＦＦの傾きを求めることに等しい。従って、図３に示す還流電流ｉ_ＯＮの場合と同様に、所定の時間差Δｔにおける還流電流ｉ_ＯＦＦの変化値Δｉを求めることで、還流電流ｉ_ＯＦＦの傾きを算出することが出来る。還流電流ｉ_ＯＦＦの初期値Ｉ_０は、制御回路１から供給されるタイミング信号ＶＴに応答して、電流センサ４により測定することが出来る。

【0027】

Ｌの値としてインダクタ６の既知の値を用い、また、Ｒ_ＬＯＯＰの値からインダクタ６の寄生抵抗の値を引き算することで、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出することが出来る。尚、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮの値としては、既述した様に、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性から求めた値を用いることが出来る。

【0028】

ＭＯＳトランジスタ１０のゲート・ソース間電圧Ｖ_ＧＳは、ＭＯＳトランジスタ１０のゲートに印加される駆動信号ＶＧ_ＯＦＦの電圧とノードＮ２の電圧の電圧差で示される。ノードＮ２の電圧は、電源７の電圧で定まる。算出した還流電流ｉ_ＯＦＦの傾きと、初期値Ｉ_０、Ｒ_ＬＯＯＰ、Ｌ、Ｖ_ＧＳを用いて演算することで、しきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出することが出来る。尚、還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０の劣化状態を判定する場合には、未知の値として求めるパラメータはＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮとしきい値電圧Ｖ_ｔｈとなる為、還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性から３点以上の値を測定して２つ以上の還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性の傾きを算出する。

【0029】

還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出する場合も、電流センサ４を用いて実測した還流電流ｉ_ＯＦＦの値と、還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性から求めた（Ｉ_０－（Ｖ_ＧＳ－Ｖ_ｔｈ）／Ｒ_ＬＯＯＰ）とＲ_ＬＯＯＰ／Ｌを含む係数を用いて算出した還流電流ｉ_ＯＦＦのシミュレーションのデータを比較し、その誤差を最小化するフィッティングを行うことで、ＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈの算出の精度を高めることが出来る。誤差の算出とフィッティングは、処理回路２において実行することが出来る。

【0030】

図５は、劣化検査方法の一つの実施形態を示すフローチャートである。既述した第１の実施形態の劣化検査装置において、図２乃至図４を用いて説明した方法で実行される。

【0031】

ＭＯＳトランジスタ１０がオン状態の時の還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出する（Ｓ１０）。還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性からＲ_ＬＯＯＰ／Ｌを求めてＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出する方法は、記述した通りである。

【0032】

ＭＯＳトランジスタ１０がオフ状態の時の還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出する（Ｓ１１）。還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性からＲ_ＬＯＯＰ／Ｌを求めてＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出する方法は、記述した通りである。

【0033】

尚、ＭＯＳトランジスタ１０がオフ状態の時の還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出し、次に、ＭＯＳトランジスタ１０がオン状態の時の還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性からＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出しても良い。

【0034】

算出したＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖｔｈが所定の範囲内にあるか否かを判定する（Ｓ１２）。すなわち、所定のしきい値と算出したオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈを比較して、所定の範囲内にあるか否かを判定する。

【0035】

算出したオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが所定の範囲内にある場合（Ｓ１２：Ｙｅｓ）の場合には、ＭＯＳトランジスタ１０に劣化無しと判定する（Ｓ１３）。算出したオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが所定の範囲内にない場合（Ｓ１２：Ｎｏ）の場合には、ＭＯＳトランジスタ１０に劣化有りと判定する（Ｓ１４）。

【0036】

第１の実施形態によれば、ＭＯＳトランジスタ１０とインダクタ６が構成する閉ループを流れる還流電流ｉ_ＯＮ、ｉ_ＯＦＦの減衰特性から、ＭＯＳトランジスタ１０のオン抵抗Ｒ_ＯＮ、及び、しきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出し、所定のしきい値と比較することで、ＭＯＳトランジスタ１０の劣化状態を容易に判定することが出来る。尚、劣化判定回路３において用いる所定のしきい値は、温度に関連付けた値でなくても良い。例えば、しきい値は所定の許容範囲を設けたしきい値として設定し、温度センサ５は省略する構成でも良い。

【0037】

（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図。既述した実施形態に対応する構成には、同一符号を付し、重複する記載は必要な場合にのみ行う。以降、同様である。

【0038】

本実施形態は、ハイサイドにＧａＮ（窒化ガリウム）トランジスタ１０Ｇとシリコンで形成されたスイッチングトランジスタ１０Ｌを有する。ＧａＮトランジスタ１０Ｇは、ドレイン・ソース間の主電流路がＧａＮで構成されるノーマリオン型のＭＯＳトランジスタである。スイッチングトランジスタ１０Ｌは、ノーマリオフ型のＭＯＳトランジスタである。ＧａＮトランジスタ１０Ｇとスイッチングトランジスタ１０Ｌはカスコード接続されている。

【0039】

制御回路１は、駆動信号ＶＧ１をＧａＮトランジスタ１０Ｇのゲートに供給し、駆動信号ＶＧ２をスイッチングトランジスタ１０Ｌのゲートに供給する。駆動信号ＶＧ１によってＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン／オフが制御され、駆動信号ＶＧ２によってスイッチングトランジスタ１０Ｌのオン／オフが制御される。電源ライン８には、正側の電源電圧ＶＤＣ＿Ｐが印加される。

【0040】

本実施形態は、ローサイドにＧａＮトランジスタ１１Ｇとシリコンで形成されたスイッチングトランジスタ１１Ｌを有する。ＧａＮトランジスタ１１Ｇとスイッチングトランジスタ１１Ｌはカスコード接続されている。制御回路１は、駆動信号ＶＧ３をＧａＮトランジスタ１１Ｇのゲートに供給し、駆動信号ＶＧ４をスイッチングトランジスタ１１Ｌのゲートに供給する。駆動信号ＶＧ３によってＧａＮトランジスタ１１Ｇのオン／オフが制御され、駆動信号ＶＧ４によってスイッチングトランジスタ１１Ｌのオン／オフが制御される。電源ライン９には、負側の電源電圧ＶＤＣ＿Ｍが印加される。

【0041】

本実施形態は、電源ライン８、９に印加されるＤＣ電圧を所定のＤＣ電圧に変換して出力するＤＣ／ＤＣコンバータにおいて、高耐圧で低損失のＧａＮトランジスタ１０Ｇ、１１Ｇが出力トランジスタとして用いられた場合を示す。ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌ、及びローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇ、スイッチングトランジスタ１１Ｌは、ハーフブリッジ回路を構成する。ノードＮ１に接続されるインダクタ６の一端は、ＤＣ／ＤＣコンバータにおいては、負荷（図示せず）側に接続される。ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化判定においては、図示の様に、インダクタ６はＧａＮトランジスタ１０Ｇとスイッチングトランジスタ１０Ｌと共に閉ループを形成する様に接続される。

【0042】

ハイサイド側のＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈの算出方法を、図７を用いて説明する。

【0043】

図７は、ＧａＮトランジスタの導通状態と還流電流の減衰特性との関係を説明する為の図である。図７の上段は、ＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌがオン状態で、還流電流ｉ_ＯＮが流れる状態を示す。

【0044】

還流電流ｉ_ＯＮは、インダクタ６が放出する電流であり、式（３）で示される。還流電流ｉ_ＯＮは、減衰特性を示す。

【0045】

【数3】

ここで、Ｉｏは、還流電流ｉ_ＯＮの初期値、Ｌはインダクタ６のインダクタンス、Ｒ_ＬＯＯＰは、ＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌ、及びインダクタ６が構成する閉ループの抵抗値を示す。Ｒ_ＬＯＯＰは、ＧａＮトランジスタ１０Ｇとスイッチングトランジスタ１０Ｌのオン抵抗、及びインダクタ６の寄生抵抗Ｒ_Ｌを含む。

【0046】

スイッチングトランジスタ１０Ｌのオン抵抗を無視すると、記述した実施形態１の場合と同様となり、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性からＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出することが出来る。また、電流センサ４を用いて実測した還流電流ｉ_ＯＮと、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性から求めた係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを用いて算出した還流電流ｉ_ＯＮのシミュレーションのデータを比較し、その誤差を最小化するフィッティングを行うことで、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮの算出の精度を高めることが出来る。

【0047】

図７の下段は、ＧａＮトランジスタ１０Ｇがオフで、スイッチングトランジスタ１０Ｌがオン状態の場合の還流電流ｉ_ＯＦＦが流れる状態を示す。

【0048】

還流電流ｉ_ＯＦＦは、インダクタ６が放出する電流であり、式（４）で示される。すなわち、還流電流ｉ_ＯＦＦは、減衰特性を示す。

【0049】

【数4】

ここで、Ｖ_Ｇは、ＧａＮトランジスタ１０ＧのゲートとノードＮ２との間の電圧、Ｖ_ｔｈは、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのしきい値電圧を示す。式（４）で示す還流電流ｉ_ＯＦＦは、減衰特性を示す。

【0050】

横型ＭＯＳトランジスタとして形成されるＧａＮトランジスタ１０Ｇの性質としてソース側から電流が注入されると、ゲート電位をしきい値電圧Ｖ_ｔｈ以下に下げても、ソース側から供給される電流によってドレイン電位が下がり、ドレインから見たゲート電位がしきい値電圧Ｖ_ｔｈ以上に上昇して電流が流れる。ソースがドレインとして機能し、ドレインがソースとして機能する可逆的な機能の性質によりＧａＮトランジスタ１０Ｇに電流が流れる。すなわち、還流電流ｉ_ＯＦＦが流れる。この可逆的な機能の性質を利用して、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのゲート・ドレイン間の電圧をしきい値電圧Ｖ_ｔｈとして算出し、ＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する指標とすることが出来る。

【0051】

ＧａＮトランジスタ１０Ｇを流れる還流電流ｉ_ＯＦＦは、ＧａＮトランジスタ１０Ｇの飽和領域の電流の式に従って流れ、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのソース・ドレイン間には、しきい値電圧Ｖ_ｔｈ程度の電圧Ｅが発生する。この電圧Ｅは、ＧａＮトランジスタ１０Ｇがオンするのに必要な電圧であり、還流電流ｉ_ＯＦＦが流れる間は、ＧａＮトランジスタ１０Ｇは定電圧源と見做すことが出来る。還流電流ｉ_ＯＦＦはＧａＮトランジスタ１０Ｇによる電圧降下によって消費される。インダクタ６が単位時間当たりに放出する電力は、ＧａＮトランジスタ１０Ｇにおいて単位時間当たりの熱として消費される。

【0052】

既述した還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性の場合と同様に、式（４）を微分すると、係数としてＲ_ＬＯＯＰ／Ｌが得られる。式（４）の微分は、還流電流ｉ_ＯＦＦの傾きを求めることに等しい。従って、図３に示す還流電流ｉ_ＯＮの場合と同様に、所定の時間差Δｔにおける還流電流ｉ_ＯＦＦの変化値Δｉを求めることで、還流電流ｉ_ＯＦＦの傾きを示すＲ_ＬＯＯＰ／Ｌを算出することが出来る。

【0053】

Ｌの値としてインダクタ６の既知の値を用い、また、Ｒ_ＬＯＯＰの値からインダクタ６の寄生抵抗の値を引き算することで、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出することが出来る。尚、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮの値としては、既述した様に、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性から求めた値を用いることが出来る。ＧａＮトランジスタ１０Ｇのゲート・ソース間電圧Ｖ_ＧＳは、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのゲートに印加される駆動信号ＶＧ_ＯＦＦとノードＮ２との間の電圧差で示される。ノードＮ２の電圧は、電源ライン８、９に印加される電源電圧ＶＤＣ＿ＰとＶＤＣ＿Ｍにより、例えば、０Ｖに設定される。

【0054】

図８は、劣化検査方法の他の一つの実施形態を示すフローチャートである。既述した第２の実施形態において実施することが出来る。

【0055】

ハイサイドとローサイドのスイッチングトランジスタ１０Ｌ、１１Ｌはオン状態にし、ハイサイドとローサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、１１Ｇは、オフ状態にする（Ｓ２０）。

【0056】

ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオンさせ、インダクタ６に電流が流れる状態にする（Ｓ２１）。これにより、インダクタ６に電力を蓄積する。ＧａＮトランジスタ１１Ｇのオン時間の調整により、還流電流の初期値を調整することが出来る。

【0057】

ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオフさせ、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇとインダクタ６に還流電流が流れる状態にする（Ｓ２２）。

【0058】

ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオンさせる（Ｓ２３）。すなわち、制御回路１から駆動信号ＶＧ１_ＯＮをＧａＮトランジスタ１０Ｇのゲートに供給する。

【0059】

還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性からハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出する（Ｓ２４）。既述した様に、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性の傾きを求めることで、オン抵抗Ｒ_ＯＮを含むＲ_ＬＯＯＰとインダクタＬの係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを算出することが出来る。

【0060】

ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオフさせる（Ｓ２５）。

【0061】

ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオンさせ、インダクタ６に電流が流れる状態にする（Ｓ２６）。これにより、インダクタ６に電力を蓄積する。

【0062】

ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオフさせ、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇとインダクタ６に電流が流れる状態にする（Ｓ２７）。すなわち、還流電流ｉ_ＯＦＦが流れる状態にする。

【0063】

還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性からハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出する（Ｓ２８）。

【0064】

算出したハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが所定の範囲内にあるか否かを判定する（Ｓ２９）。すなわち、所定のしきい値と算出したオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈを比較して、所定の範囲内にあるか否かを判定する。

【0065】

算出したオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが所定の範囲内にある場合（Ｓ２９：Ｙｅｓ）には、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇに劣化無しと判定する（Ｓ３０）。算出したオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが所定の範囲内にない場合（Ｓ２９：Ｎｏ）のには、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇに劣化有りと判定する（Ｓ３１）。

【0066】

第２の実施形態によれば、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇとインダクタ６が構成する閉ループを流れる還流電流ｉ_ＯＮ、ｉ_ＯＦＦの減衰特性からハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を容易に判定することが出来る。ＧａＮトランジスタ１０Ｇは、使用中に電流コラプスにより、オン抵抗Ｒ_ＯＮ、あるいは、しきい値電圧Ｖ_ｔｈが変化する。本実施形態の劣化判定装置は、ＤＣ／ＤＣコンバータを構成するインダクタ６を用いてＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する構成である為、容易に構成することが出来る。

【0067】

図９は、還流電流の実測値とシミュレーションのデータのフィッティングについて説明する為の図である。第２の実施形態において実行することが出来る。横軸は時間、縦軸は電流を示す。実線１０１は、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオン状態にした場合の還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性の実測データを示す。ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇに還流電流が流れる状態にした時間ｔ０から所定の時間遅れたタイミングで、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオン状態にした場合である。

【0068】

既述した様に、還流電流ｉ_ＯＮは、式（３）で示す減衰特性に従って減衰する。任意の時間ｔ３、ｔ４間の時間差Δｔ１における還流電流ｉ_ＯＮの変化値Δｉ（図示せず）を算出して還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性の傾きを求めることで、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮを含むＲ_ＬＯＯＰとインダクタＬの係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを算出することが出来る。

【0069】

また、還流電流ｉ_ＯＮの減衰特性から求めた係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを用いて算出した還流電流ｉ_ＯＮのシミュレーションのデータと実測データを比較し、その誤差を最小化するフィッティングを行うことで、一点鎖線１１１で示すシミュレーションデータと実線１０１で示す実測データの誤差を最小化して、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮの算出の精度を高めることが出来る。誤差の算出とフィッティングは、処理回路２において実行することが出来る。

【0070】

実線１０２は、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオフ状態にした場合の還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性の実測データを示す。ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオフにした状態で、時間ｔ０において、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオフ状態にした場合である。

【0071】

既述した様に、還流電流ｉ_ＯＦＦは、式（４）で示す減衰特性に従って減衰する。任意の時間ｔ１０、ｔ１１間の時間差Δｔ１１における還流電流ｉ_ＯＦＦの変化値Δｉ、及び時間ｔ１２、ｔ１３間の時間差Δｔ１２における還流電流ｉ_ＯＦＦの変化値Δｉ（図示せず）を算出して還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性の傾きを求めることで、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出することが出来る。

【0072】

また、還流電流ｉ_ＯＦＦの実測データと、還流電流ｉ_ＯＦＦの減衰特性から求めた係数Ｒ_ＬＯＯＰ／Ｌを用いて算出した還流電流ｉ_ＯＦＦのシミュレーションのデータとを比較し、両者の誤差を最小化するフィッティングを行うことで、一点鎖線１１２で示すシミュレーションデータと実線１０２で示す実測データの誤差を最小化し、ＧａＮトランジスタ１０Ｇのしきい値電圧Ｖ_ｔｈの算出の精度を高めることが出来る。誤差の算出とフィッティングは、処理回路２において実行することが出来る。

【0073】

（第３の実施形態）
図１０は、第３の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図である。本実施形態は、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮとしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出して、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を検査する構成の場合を示す。

【0074】

記述した第２の実施形態のハイサイドのＧａＮトランジスタ１０ＧがローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇに対応し、ハイサイドのスイッチングトランジスタ１０Ｌがローサイドのスイッチングトランジスタ１１Ｌに対応する。制御回路１による制御の下、ＧａＮトランジスタ１０Ｇ、１１Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌ、１１Ｌのオン／オフを制御することで、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮ、しきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出して、ＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定することが出来る。

【0075】

本実施形態によれば、ＤＣ／ＤＣコンバータを構成するインダクタ６の負荷側の一端をノードＮ３に接続することで、ＤＣ／ＤＣコンバータを構成するローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する劣化検査装置を容易に構成することが出来る。

【0076】

（第４の実施形態）
図１１は、第４の実施形態の劣化検査装置の構成を示す図である。本実施形態は、ＤＣ／ＤＣコンバータの平滑コンデンサ２０を有する。平滑コンデンサ２０は、インダクタ６の一端が接続されたノードＮ４とノードＮ３との間に接続される。平滑コンデンサ２０は、ノードＮ４の電圧を平滑して出力端２１に供給する。出力端２１の出力電圧は、負荷（図示せず）に供給される。ノードＮ１とノードＮ３の間には電源７が接続される。

【0077】

図１２と図１３を用いて、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する場合について説明する。図１２は、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する場合のインダクタ電流ｉ_Ｌを説明する為の図である。図１３は、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する場合の還流電流ｉを説明する為の図である。

【0078】

ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する場合には、図１２に示す様に、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇ、スイッチングトランジスタ１１Ｌをオフ状態にし、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、及びスイッチングトランジスタ１０Ｌをオン状態にして、電源７、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌ、インダクタ６、及び平滑コンデンサ２０で構成されるループを流れるインダクタ電流ｉ_Ｌによってインダクタ６をチャージする。

【0079】

次に、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌをオフ状態にして、図１３に示す様に、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇ、スイッチングトランジスタ１１Ｌをオン状態にした時に、インダクタ６、及び平滑コンデンサ２０と共に構成される閉ループをインダクタ６が放出する還流電流ｉが流れ得る状態にする。既述した実施形態と同様に、還流電流ｉが流れ得る状態で、制御回路１による制御の下、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオンさせた時の還流電流ｉの減衰特性からローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出し、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇをオフさせた時の還流電流ｉの減衰特性からローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇのしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出して、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する。

【0080】

次に、図１４と図１５を用いて、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する場合について説明する。図１４は、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する場合のインダクタ電流ｉ_Ｌを説明する為の図である。図１５は、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する場合の還流電流ｉを説明する為の図である。

【0081】

ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する場合には、図１４に示す様に、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０ｌをオフ状態にし、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇ、及びスイッチングトランジスタ１１Ｌをオン状態にして、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇ、スイッチングトランジスタ１１Ｌ、インダクタ６、及び平滑コンデンサ２０で構成されるループを流れるインダクタ電流ｉ_Ｌによってインダクタ６をチャージする。インダクタ電流ｉ_Ｌは、平滑コンデンサ２０の電荷の放電によって生成される。平滑コンデンサ２０は、電源として機能する。

【0082】

次に、ローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇ、スイッチングトランジスタ１１Ｌをオフ状態にして、図１５に示す様に、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、スイッチングトランジスタ１０Ｌをオン状態にした時に、インダクタ６、平滑コンデンサ２０、及び電源７と共に構成される閉ループをインダクタ６が放出する還流電流ｉが流れ得る状態にする。既述した実施形態と同様、還流電流ｉが流れ得る状態で、制御回路１による制御の下、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオンさせた時の還流電流ｉの減衰特性からハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのオン抵抗Ｒ_ＯＮを算出し、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇをオフさせた時の還流電流ｉの減衰特性からハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇのしきい値電圧Ｖ_ｔｈを算出して、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇの劣化状態を判定する。

【0083】

本実施形態によれば、平滑コンデンサ２０を備えたＤＣ／ＤＣコンバータの構成をそのまま使用して、ハイサイドのＧａＮトランジスタ１０Ｇ、及びローサイドのＧａＮトランジスタ１１Ｇの劣化状態を判定する劣化検査装置を容易に構成することが出来る。

【0084】

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0085】

１ 制御回路、２ 処理回路、３ 劣化判定回路、４ 電流センサ、５ 温度センサ、６ インダクタ、１０ ＭＯＳトランジスタ、１０Ｇ、１１Ｇ ＧａＮトランジスタ、１０Ｌ、１１Ｌ スイッチングトランジスタ、２０ 平滑コンデンサ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】