特開 2022-184530 顔料分散液

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022184530

(43)【公開日】2022-12-13

(54)【発明の名称】顔料分散液

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/004 20060101AFI20221206BHJP

   C09D 17/00 20060101ALI20221206BHJP

【ＦＩ】

G03F7/004 501

C09D17/00

G03F7/004 505

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021092446

(22)【出願日】2021-06-01

(71)【出願人】

【識別番号】000005957

【氏名又は名称】三菱鉛筆株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100160705

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 健太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100193404

【弁理士】

【氏名又は名称】倉田 佳貴

(72)【発明者】

【氏名】門端 孝太

(72)【発明者】

【氏名】加藤 直裕

【テーマコード（参考）】

2H225

4J037

【Ｆターム（参考）】

2H225AC70

2H225AM22P

2H225AM68P

2H225AM77P

2H225AM95P

2H225AN02P

2H225AN38P

2H225AN79P

2H225AN81P

2H225BA16P

2H225BA35P

2H225CA24

2H225CB02

2H225CC01

2H225CC13

4J037AA30

4J037CC16

4J037CC24

4J037CC26

4J037EE28

4J037EE43

4J037FF05

(57)【要約】

【課題】フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液を提供する。
【解決手段】本発明の顔料分散液は、顔料、有機溶剤、及び酸を含有している、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液である。
【選択図】なし

【特許請求の範囲】

【請求項1】

顔料、有機溶剤、及び酸を含有している、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液。

【請求項2】

前記酸が、有機酸である、請求項１に記載の顔料分散液。

【請求項3】

前記酸の含有率が、顔料分散液の質量を基準として、０．００５～４０質量％である、請求項１又は２に記載の顔料分散液。

【請求項4】

前記顔料が、ベンゾフラノン系顔料である、請求項１～３のいずれか一項に記載の顔料分散液。

【請求項5】

請求項１～４のいずれか一項に記載の顔料分散液、及び感光性樹脂を含有している、フォトリソグラフィー用樹脂組成物。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、有機電界ディスプレイや有機電界照明などに含まれる有機電界発光（有機ＥＬ）素子は、基板上に、隔壁（バンク）を形成した後に、隔壁に囲まれた領域内に、種々の機能層を積層して製造されている。このような隔壁を容易に形成する方法として、フォトリソグラフィー用樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により形成する方法が知られている。

【0003】

特許文献１では、（Ａ）光重合開始剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）着色剤、及び（Ｅ）撥液剤を含有する感光性着色樹脂組成物であって、前記（Ａ）光重合開始剤が、波長４００ｎｍにおける吸光度が、波長３００～４００ｎｍ間の極大吸収波長（λ _max）における吸光度に対して２０％以上であるオキシムエステル系光重合開始剤（Ａ１）と、波長４００ｎｍにおける吸光度が、波長３００～４００ｎｍ間の極大吸収波長（λ _max）における吸光度に対して１０％以下であるオキシムエステル系光重合開始剤（Ａ２）を含有し、前記（Ｅ）撥液剤が、架橋基を有するフッ素原子含有樹脂を含有することを特徴とする感光性着色樹脂組成物が開示されている。

【0004】

特許文献２では、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）ラジカル重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄａ）黒色顔料を含有するネガ型感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂が、（Ａ１－１）ポリイミド、（Ａ１－２）ポリイミド前駆体、（Ａ１－３）ポリベンゾオキサゾール、及び（Ａ１－４）ポリベンゾオキサゾール前駆体から選ばれる１種類以上を含み、前記（Ｃ）光重合開始剤が少なくとも、（Ｃ１）オキシムエステル系光重合開始剤及び（Ｃ２）α－ヒドロキシケトン系光重合開始剤を含み、前記（Ｃ）光重合開始剤に占める前記（Ｃ１）オキシムエステル系光重合開始剤の含有比率が５１～９５質量％であり、前記（Ｄａ）黒色顔料の含有比率が、ネガ型感光性樹脂組成物の全固形分中に対して５～５０質量％であることを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。

【0005】

特許文献３では、ラクタムブラック、紫色顔料、青色顔料及び／又は緑色顔料、カーボンブラックを含有する黒色顔料分散組成物が開示されている。

【0006】

特許文献４では、（Ａ）色材、（Ｂ）分散剤、（Ｃ）アルカリ可溶性樹脂、及び（Ｄ）光重合開始剤を少なくとも含有する感光性着色組成物であって、前記（Ａ）色材が（Ａ－１）所与の式（１）で表される化合物、その幾何異性体、その塩、またはその幾何異性体の塩である有機黒色顔料及び（Ａ－２）有機着色顔料を含み、前記（Ａ）色材１００質量％に対する、前記（Ａ－１）有機黒色顔料の含有割合が３０～９０質量％であり、前記（Ａ）色材の含有量が、感光性着色組成物中の全固形分量に対して２０質量％以上であり、かつ、前記（Ｂ）分散剤が４級アンモニウム塩基を官能基として有する高分子分散剤を含む感光性着色組成物が開示されている。

【0007】

特許文献５では、（ａ）着色剤、（ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）エチレン性不飽和化合物、（ｅ）溶剤、及び（ｆ）分散剤を含有する感光性着色組成物であって、前記（ａ）着色剤が、所与の式で表される化合物、その幾何異性体、その塩、またはその幾何異性体の塩である有機黒色顔料を含み、前記（ｃ）光重合開始剤が、別の所与の式で表されるジフェニルスルフィド骨格を有するオキシムエステル系化合物を含むことを特徴とする感光性着色組成物が開示されている。

【0008】

特許文献６では、着色剤（Ｅ）を含む着色剤分散液であって、前記着色剤（Ｅ）が、顔料（Ｅ１）と、分散剤（Ｅ２）とを含み、前記分散剤（Ｅ２）が、所与の式で表される構成単位を有するシルセスキオキサン化合物を含む、着色剤分散液が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】国際公開第２０２０／０１７５７６号

【特許文献2】国際公開第２０１９／１５０９３８号

【特許文献3】特開２０１９－８１８５７号公報

【特許文献4】特許第６４８９００８号公報

【特許文献5】特許第６５２８４７５号公報

【特許文献6】特開２０１８－７０６９５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

フォトリソグラフィー用樹脂組成物における感光性樹脂としては、概して透明な樹脂、例えばポリイミドが用いられているので、バンクを通して電気配線が見えてしまうことや反射を防止するため、またコントラストの向上のためにフォトリソグラフィー用樹脂組成物は、着色剤を含有している。

【0011】

そこで、本発明では、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明者らは、鋭意検討したところ、以下の手段により上記課題を解決できることを見出して、本発明を完成させた。すなわち、本発明は、下記のとおりである：
〈態様１〉顔料、有機溶剤、及び酸を含有している、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液。
〈態様２〉前記酸が、有機酸である、態様１に記載の顔料分散液。
〈態様３〉前記酸の含有率が、顔料分散液の質量を基準として、０．００５～４０質量％である、態様１又は２に記載の顔料分散液。
〈態様４〉前記顔料が、ベンゾフラノン系顔料である、態様１～３のいずれか一項に記載の顔料分散液。
〈態様５〉態様１～４のいずれか一項に記載の顔料分散液、及び感光性樹脂を含有している、フォトリソグラフィー用樹脂組成物。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液を提供することができる。

【発明を実施するための形態】

【0014】

《顔料分散液》
本発明の顔料分散液は、顔料、有機溶剤、及び酸を含有している、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の着色のための顔料分散液である。

【0015】

本発明者らは、バンクを作製するためにフォトリソグラフィー用樹脂組成物の不要部分を除去した際に、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の顔料が、基材、特に基材の電極表面上に残留し、それによって、得られる有機ＥＬ素子において好ましくない影響を与える場合があることを見出した。

【0016】

これに対し、本発明者らは、フォトリソグラフィー用樹脂組成物に更に酸を含有させることにより、バンクの作製の際に、この不要部分を急速に溶解させ、その結果、残渣を抑制してできることを見出した。一般に、バンクの作製の際には、アルカリ融解が用いられており、酸の存在は、このアルカリ融解を抑制するものであると考えられることから、この作用は予想外であった。

【0017】

以下では、本発明の各構成要素について説明する。

【0018】

〈顔料〉
顔料としては、非晶質炭素粉末、グラフェン、カーボンナノチューブ、黒鉛、及びカーボンブラック等の炭素系顔料を用いることができる。また、顔料としては、ベンゾフラノン系顔料、アゾ系顔料、縮合アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アンスラキノン顔料、キナクドリン顔料、イソインドリノン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料、各種レーキ顔料等の有機顔料を用いることができる。

【0019】

顔料としては、黒色顔料を用いることが、隠蔽性の観点から好ましい。

【0020】

顔料の平均粒子径は、５０ｎｍ以上、７０ｎｍ以上、８０ｎｍ以上、１００ｎｍ以上、１２０ｎｍ以上、１５０ｎｍ以上、１７０ｎｍ以上、２００ｎｍ以上、２２０ｎｍ以上、２５０ｎｍ以上、２７０ｎｍ以上、又は３００ｎｍ以上であってよく、また１０００ｎｍ以下、８００ｎｍ以下、７００ｎｍ以下、６００ｎｍ以下、５５０ｎｍ以下、５００ｎｍ以下、４５０ｎｍ以下、又は４００ｎｍ以下であってよい。

【0021】

ここで、本明細書において、平均粒子径は、動的光散乱法を用いた平均粒子径である。具体的には、この平均粒子径は、濃厚系粒子アナライザーＦＰＡＲ－１０００（大塚電子株式会社）を用いて算出された、散乱強度分布におけるキュムラント法解析の平均粒子径の値である。

【0022】

顔料分散液における顔料の含有率は、顔料分散液の質量を基準として、５質量％以上、１０質量％以上、又は１２質量％以上であってよく、また３０質量％以下、２５質量％以下、２０質量％以下、又は１５質量％以下であってよい。

【0023】

〈有機溶剤〉
有機溶剤としては、例えば芳香族類、アルコール類、多価アルコール類、グリコールエーテル類、炭化水素類、エステル類等を用いることができる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、又は組み合わせて用いてもよい。

【0024】

芳香族類としては、例えばベンジルアルコール、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル、アルキルスルフォン酸フェニルエステル、フタル酸ブチル、フタル酸エチルヘキシル、フタル酸トリデシル、トリメリット酸エチルヘキシル、ジエチレングリコールジベンゾエート、ジプロピレングリコールジベンゾエート等を用いることができる。

【0025】

アルコール類としては、例えばエタノール、ｎ－プロパノール、イソプロパノール、ｎ－ブタノール、イソブタノール、ｔｅｒｔ－ブチルアルコール、１－ペンタノール、イソアミルアルコール、ｓｅｃ－アミルアルコール、３－ペンタノール、ｔｅｒｔ－アミルアルコール、ｎ－ヘキサノール、メチルアミルアルコール、２－エチルブタノール、ｎ－ヘプタノール、２－ヘプタノール、３－ヘプタノール、ｎ－オクタノール、２－オクタノール、２－エチルヘキサノール、３，５，５－トリメチルヘキサノール、ノナノール、ｎ－デカノール、ウンデカノール、ｎ－デカノール、トリメチルノニルアルコール、テトラデカノール、ヘプタデカノール、シクロヘキサノール、２－メチルシクロヘキサノール等を用いることができる。

【0026】

多価アルコール類としては、例えばエチレングリコール、ジエチレングリコール、３－メチル－１，３ブンタンジオール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール、１，３プロパンジオール、１，３ブタンジオール、１，５ペンタンジオール、ヘキシレングリコール、オクチレングリコール等を用いることができる。

【0027】

グリコールエーテル類としては、例えば、メチルイソプロピルエーテル、エチルエーテル、エチルプロピルエーテル、エチルブチルエーテル、イソプロピルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル、２－エチルヘキシルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノ－２－エチルブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル、３－メチル－３－メトキシ－１－ブタノール、３－メトキシ－１－ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールターシャリーブチルエーテルジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、テトラプロピレングリコールモノブチルエーテル等を用いることができる。

【0028】

炭化水素類としては、例えばヘキサン、イソヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン等の直鎖炭化水素類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン等の環状炭化水素類を用いることができる。

【0029】

エステル類としては、例えばプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、ギ酸ブチル、ギ酸イソブチル、ギ酸イソアミル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、酢酸イソプロピル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソブチル、プロピオン酸イソアミル、酪酸メチル、酪酸エチル、酪酸プロピル、イソ酪酸メチル、イソ酪酸エチル、イソ酪酸プロピル、吉草酸メチル、吉草酸エチル、吉草酸プロピル、イソ吉草酸メチル、イソ吉草酸エチル、イソ吉草酸プロピル、トリメチル酢酸メチル、トリメチル酢酸エチル、トリメチル酢酸プロピル、カプロン酸メチル、カプロン酸エチル、カプロン酸プロピル、カプリル酸メチル、カプリル酸エチル、カプリル酸プロピル、ラウリン酸メチル、ラウリン酸エチル、オレイン酸メチル、オレイン酸エチル、カプリル酸トリグリセライド、クエン酸トリブチルアセテート、オキシステアリン酸オクチル、プロピレングリコールモノリシノレート、２－ヒドロキシイソ酪酸メチル、３－メトキシブチルアセテート等を用いることができる。

【0030】

〈酸〉
酸としては、無機酸、又は有機酸を用いることができる。

【0031】

無機酸としては、塩酸、過塩素酸、フッ化水素酸、硝酸、リン酸、ピロリン酸、ポリリン酸、硫酸、ホウ酸、四フッ化ホウ酸等を用いることができる。

【0032】

有機酸としては、酢酸、安息香酸、フタル酸、フェノールスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、メタクレゾールスルホン酸、レゾルシノールスルホン酸、ブチルスルホン酸、プロピルスルホン酸等を用いることができる。

【0033】

酸としては、特に有機酸を用いることが、残渣の発生をより良好に抑制する観点から好ましい。

【0034】

顔料分散液における酸の含有率は、顔料分散液の質量を基準として、０．００５質量％以上、０．０１質量％以上、０．０５質量％以上、０．１質量％以上、０．３質量％以上、０．５質量％以上、０．７質量％以上、０．９質量％以上、１．０質量％以上、１．５質量％以上、２．０質量％以上、２．５質量％以上、３．０質量％以上、又は３．５質量％以上であってよく、また４０．０質量％以下、３５．０質量％以下、３０．０質量％以下、２５．０質量％以下、２０．０質量％以下、１８．０質量％以下、１６．０質量％以下１４．０質量％以下１２．０質量％以下、１０．０質量％以下、９．０質量％以下、８．０質量％以下、７．０質量％以下、６．０質量％以下、又は５．０質量％以下であってよい。

【0035】

〈分散剤〉
分散剤としては、随意の分散剤を用いることができ、中でも、ウレタン系、アクリル系、ポリエステル系の分散剤を用いることが好ましい。

【0036】

具体的な分散剤としては、例えば、“ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ”（登録商標）－１０８、同－１０９、同－１６０、同－１６１、同－１６２、同－１６３、同－１６４、同－１６６、同－１６７、同－１６８、同－１８２、同－１８４、同－１８５、同－２０００、同－２００８、同－２００９、同－２０２２、同－２０５０、同－２０５５、同－２１５０、同－２１５５、同－２１６３、同－２１６４、若しくは同－２０６１、“ＢＹＫ”（登録商標）－９０７５、同－９０７７、同－ＬＰ－Ｎ６９１９、同－ＬＰ－Ｎ２１１１６若しくは同－ＬＰ－Ｎ２１３２４（以上、何れもビックケミー・ジャパン社）、“ＥＦＫＡ”（登録商標） ４０１５、同 ４０２０、同 ４０４６、同 ４０４７、同 ４０５０、同 ４０５５、同 ４０６０、同 ４０８０、同 ４３００、同 ４３３０、同 ４３４０、同 ４４００、同 ４４０１、同 ４４０２、同 ４４０３若しくは同 ４８００（以上、何れもＢＡＳＦ社）、“アジスパー”（登録商標） ＰＢ７１１（味の素（登録商標）ファインテクノ社）又は“ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ”（登録商標） １３２４０、同 １３９４０、同 ２００００、同 ７１０００若しくは同 ７６５００（以上、何れもＬｕｂｒｉｚｏｌ社）が挙げられる。さらに、 “ＡＮＴＩ－ＴＥＲＲＡ”（登録商標）－Ｕ１００若しくは同－２０４、“ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ”（登録商標）－１０６、同－１４０、同－１４２、同－１４５、同－１８０、同－２００１、同－２０１３、同－２０２０、同－２０２５、同－１８７若しくは同－１９１、“ＢＹＫ”（登録商標）－９０７６（ビックケミー・ジャパン社、“アジスパー”（登録商標） ＰＢ８２１、同 ＰＢ８８０若しくは同 ＰＢ８８１（以上、何れも味の素（登録商標）ファインテクノ社）又は“ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ”（登録商標） ９０００、同 １１２００、同 １３６５０、同 ２４０００、同 ３２０００、同 ３２５００、同 ３２５００、同 ３２６００、同 ３３０００、同 ３４７５０、同 ３５１００、同３５２００、同 ３７５００、同 ３９０００、同 ５６０００、若しくは同 ７６５００（以上、何れもＬｕｂｒｉｚｏｌ社）、 “ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ”（登録商標）－１０２、同－１１０、同－１１１、同－１１８、同－１７０、同－１７１、同－１７４、同－２０６０若しくは同－２０９６、“ＢＹＫ”（登録商標）－Ｐ１０４、同－Ｐ１０５若しくは同－２２０Ｓ（以上、何れもビックケミー・ジャパン社）又は“ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ”（登録商標） ３０００、同 １６０００、同 １７０００、同 １８０００、同 ２１０００、同 ２６０００、同 ２８０００、同 ３６０００、同 ３６６００、同 ３８５００、同 ４１０００、同 ４１０９０、同 ５３０９５若しくは同 ５５０００（以上、何れもＬｕｂｒｉｚｏｌ社）、 “ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ”（登録商標）－１０３、同－２１５２、同－２２００若しくは同－１９２（以上、何れもビックケミー・ジャパン社）又は“ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ”（登録商標） ２７０００、同 ５４０００若しくは同 Ｘ３００（以上、何れもＬｕｂｒｉｚｏｌ社）などが挙げられる。

【0037】

顔料分散液における分散剤の含有率は、顔料分散液の質量を基準として、固形分換算で０．２５質量％以上、０．５質量％以上、１質量％以上、３質量％以上、５質量％以上、７質量％以上、又は９質量％以上であってよく、また３０質量％以下、２５質量％以下、２０質量％以下、１５質量％以下、又は１０質量％以下であってよい。

【0038】

分散剤の含有量は、固形分換算として、顔料１００質量部に対して、１０質量部以上、１５質量部以上、２０質量部以上、２５質量部以上、３０質量部以上、４０質量部以上、４５質量部以上、５０質量部以上、５５質量部以上、６０質量部以上、又は６５質量部以上であってよく、また１００質量部以下、９０質量部以下、８５質量部以下、８０質量部以下、７５質量部以下、又は７０質量部以下であってよい。

【0039】

《フォトリソグラフィー用樹脂組成物》
本発明のフォトリソグラフィー用樹脂組成物は、上記の顔料分散液、及び感光性樹脂を含有している。

【0040】

この樹脂組成物を用いたバンクは、例えばネガ型又はポジ型のフォトリソグラフィーにより作製することができる。

【0041】

より具体的には、ネガ型のフォトリソグラフィーの場合、有機ＥＬ素子用の基材、例えばインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）層を有する基板上にこの樹脂組成物を塗布して樹脂層を形成し、次いでバンクに相当する箇所において、樹脂層を露光させ、次いで樹脂層を洗浄して露光されなかった部分を除去（現像）することによって、バンクを作製することができる。

【0042】

また、ポジ型のフォトリソグラフィーの場合、有機ＥＬ素子用の基材上にこの樹脂組成物を塗布して樹脂層を形成し、次いでバンクに相当する箇所以外の箇所において、樹脂層を露光させ、次いで樹脂層を洗浄して露光された部分を除去（現像）することによって、バンクを作製することができる。

【0043】

フォトリソグラフィー用樹脂組成物における顔料の含有率は、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の質量を基準として、０．５質量％以上、１質量％以上、２質量％以上、３質量％以上、又は４質量％以上であってよく、また１５質量％以下、１３質量％以下、１１質量％、９質量％以下、７質量％以下、６質量％以下、又は５質量％以下であってよい。

【0044】

フォトリソグラフィー用樹脂組成物における酸の含有率は、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の質量を基準として、０．０００５質量％以上、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上、０．０１質量％以上、０．０５質量％以上、０．１質量％以上、０．３質量％以上、０．５質量％以上、０．７質量％以上、又は０．９質量％以上であってよくまた１０質量％以下、８．０質量％以下、６．０質量％以下、５．０質量％以下、４．０質量％以下、３．０質量％以下、２．０質量％以下、１．５質量％以下、１．３質量％以下、又は１．１質量％以下であってよい。

【0045】

〈感光性樹脂〉
感光性樹脂としては、例えばネガ型感光性樹脂、又はポジ型感光性樹脂を用いることができる。

【0046】

ネガ型感光性樹脂としては、例えば特許文献２に教示されているように、アルカリ可溶性樹脂、ラジカル重合性化合物、及び光重合開始剤を含有している樹脂組成物を用いることができる。

【0047】

アルカリ可溶性樹脂としては、例えばポリイミド、ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール、及びポリベンゾオキサゾール前駆体等を用いることができる。

【0048】

ラジカル重合性化合物としては、例えばジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、１，３－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、ジメチロール－トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、テトラペンタエリスリトールノナ（メタ）アクリレート、テトラペンタエリスリトールデカ（メタ）アクリレート、ペンタペンタエリスリトールウンデカ（メタ）アクリレート、ペンタペンタエリスリトールドデカ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、２，２－ビス［４－（３－（メタ）アクリロキシ－２－ヒドロキシプロポキシ）フェニル］プロパン、１，３，５－トリス（（メタ）アクリロキシエチル）イソシアヌル酸若しくは１，３－ビス（（メタ）アクリロキシエチル）イソシアヌル酸又はそれらの酸変性体等を用いることができる。

【0049】

光重合開始剤は、例えば少なくともオキシムエステル系光重合開始剤及びα－ヒドロキシケトン系光重合開始剤を含む光重合開始剤であってよい。

【0050】

感光性樹脂の含有率は、フォトリソグラフィー用樹脂組成物の質量全体を基準として、２０質量％以上、２５質量％以上、３０質量％以上、３５質量％以上、４０質量％以上、４５質量％以上、５０質量％以上、５５質量％以上、６０質量％以上、６５質量％以上、又は７０質量％以上であってよく、また９５質量％以下、９０質量％以下、８５質量％以下、８０質量％以下、又は７５質量％以下であってよい。

【実施例0051】

実施例及び比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。

【0052】

《顔料分散液の作製》
〈実施例１〉
４．１３質量部の顔料（Ｉｒｇａｐｈｏｒ（登録商標） Ｂｌａｃｋ Ｓ０１００ＣＦ、ＢＡＳＦ社）、２．６９質量部の分散剤（ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－２００１、ＢＹＫ社、固形分 ４６質量％）、１９．６８質量部のプロピレングリコールモノメチルエーテル、及び１．００質量部のフタル酸を混合させて、実施例１の顔料分散液を作製した。

【0053】

〈実施例２～１０及び比較例１～２〉
各成分の種類及び含有率を表１に示すように変更したことを除き、実施例１と同様にして、実施例２～１０及び比較例１～２の顔料分散液を作製した。

【0054】

《塗膜の作製》
２．７５質量部の作製した各顔料分散液を、７．２５質量部の感光性樹脂（ＤＬ－１０００、東レ社）と混合させて、フォトリソグラフィー用樹脂組成物を作製した。

【0055】

インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）層を有する基板上に、作製した樹脂組成物を塗布して樹脂層を形成し、次いでバンクの位置に対応する箇所において、樹脂層を、５００ｍＪのエネルギーで露光させ、次いで、樹脂層を、現像液としての水酸化テトラメチルアンモニウムで洗浄することによって、バンク以外の部分の樹脂層を除去（現像）して、厚さ１．２μｍのバンクを作製した。

【0056】

《バンクとしての評価》
〈現像時間比〉
比較例１の現像に要した時間、すなわち水酸化テトラメチルアンモニウムを露光させた樹脂組成物に接触させ始めた時から、露光させた部分が完全に除去されたと目視により認識できるまでの時間を測定した。

【0057】

次いで、他の実施例及び比較例においても、現像に要した時間を同様に測定した。表１の「現像時間比（％）」では、比較例１のバンクの作製に要した時間を１００％としたときの割合を記載している。

【0058】

〈外観〉
目視評価にて外観の残渣を確認した。：
Ａ：残渣が殆ど存在していない。
Ｂ：残渣がやや存在する。
Ｃ：残渣が存在している。
Ｄ：残渣が殆ど除去されていない。

【0059】

《有機ＥＬ素子としての評価》
〈有機ＥＬ素子の作製〉
比較例１及び２並びに実施例１及び４の顔料分散液を用いて得たバンクを用いて、評価のための有機ＥＬ素子を、特許文献２と同様にして作製した。

【0060】

具体的には、バンクを形成した陽極としてのＩＴＯ層上に、前処理として、窒素プラズマ処理を行った後、真空蒸着法により、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送材料、及び陰極をこの順で蒸着させた。正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送材料、及び陰極の具体的な材料としては、特許文献２と同じものを用いた。

【0061】

〈発光特性１〉
上記の方法で作製した有機ＥＬ素子を、８５℃１９２時間の条件で保管したのち、印加電圧３．５Ｖにて発光させ、非発光領域や輝度ムラなどの発光不良がないかを観察した。輝度が変化している発光領域は輝度ムラが発生しているとみなし、輝度ムラが発生している領域は、発光していないとみなした。

【0062】

観察は、顕微鏡（ＥＣＬＩＰＳＥ ＬＶ１５０、Ｎｉｋｏｎ社）を用いて行った。顕微鏡の対物レンズとしては、ＬＵ Ｐｌａｎ Ｆｌｕｏｒ ５ｘ（Ｎｉｋｏｎ社）を用いた。

【0063】

評価基準は以下のとおりである：
Ａ：均一に発光し、輝度ムラが発生していない。
Ｂ：発光しているが、一部、輝度ムラが発生している。
Ｃ：発光が弱く、輝度ムラも発生している。
Ｄ：発光していない。

【0064】

〈発光特性２〉
上記の方法で作製した有機ＥＬ素子を、印加電圧５Ｖにて発光させ、電流の変化により、発光特性の評価を行った。

【0065】

発光特性の指標として、無着色（透明）のフォトリソグラフィー用樹脂組成物（ＤＬ－１０００、東レ社）、すなわち顔料を含有していないフォトリソグラフィー用樹脂組成物を用いて作製した有機ＥＬ素子（表３では「比較例３」と言及している。）と比較した電流変化を下記式により算出した。
電流変化＝Ｙｂ／Ｙｃ
Ｙｂ：顔料分散液を含むフォトリソグラフィー用樹脂組成物を使用した際の電流密度
Ｙｃ：無着色（透明）のフォトリソグラフィー用樹脂組成物（ＤＬ－１０００）を使用した際の電流密度

【0066】

電流密度の測定は、ＩＶＬ特性自動測定装置 ＥＴＳ－１７０（システム技研社）を用いて、５．０Ｖの電圧を印加して行った。

【0067】

評価基準は以下のとおりである：
Ａ：０．９０以上
Ｂ：０．８０以上０．９０未満
Ｃ：０．６０以上０．８０未満
Ｄ：０．６０未満

【0068】

実施例及び比較例の構成及び評価結果を表１～表３に示す。

【0069】

【表1】

【0070】

【表2】

【0071】

【表3】