特開 2022-184818 振動発生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022184818

(43)【公開日】2022-12-13

(54)【発明の名称】振動発生装置

(51)【国際特許分類】

   G01M 7/06 20060101AFI20221206BHJP

   B06B 1/04 20060101ALI20221206BHJP

【ＦＩ】

G01M7/06

B06B1/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022088560

(22)【出願日】2022-05-31

(31)【優先権主張番号】P 2021092430

(32)【優先日】2021-06-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】593040391

【氏名又は名称】エミック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】原田 和哉

(72)【発明者】

【氏名】遠藤 祐太朗

【テーマコード（参考）】

5D107

【Ｆターム（参考）】

5D107AA08

5D107BB09

5D107CC09

(57)【要約】

【課題】振動方向を容易な構成で変更できる振動発生装置を提供する。
【解決手段】振動発生装置は、振動テーブルと、第１ベースプレートと、第２ベースプレートと、第３ベースプレートと、を備える。第２ベースプレートは、摺動面に対して流体を噴射し摺動面と第３面との間に第１流体膜を形成する第１流体供給部と、第１面に対して流体を噴射し第１面と第４面との間に第２流体膜を形成する第２流体供給部と、を有し、第３ベースプレートは、第２面に対して流体を噴射し、第５面と第２面との間に第３流体膜を形成する第３流体供給部を有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向の振動を発生させる振動発生部に対して着脱可能で、振動試験の対象である供試品を載置面に固定可能な板状の振動テーブルと、
前記振動テーブルの前記載置面の逆側の略扁平な摺動面に固定される突出部を第１面に備え、前記第１方向に摺動可能であるとともに、前記突出部を中心に旋回可能な板状の第１ベースプレートと、
前記摺動面に対向する第３面と前記第１面に対向する第４面と、前記第３面と前記第４面との間を貫通し前記突出部を挿通する開口部とを備え、前記振動テーブルと前記第１ベースプレートとの間に介在して設けられた扁平な板状の第２ベースプレートと、
前記第１面の逆側の第２面に対向する第５面を備え、前記第２ベースプレートと協働して前記第１ベースプレートを摺動可能に支持する第３ベースプレートと、
を備え、
前記第２ベースプレートは、前記摺動面に対して流体を噴射し前記摺動面と前記第３面との間に第１流体膜を形成する第１流体供給部と、前記第１面に対して流体を噴射し前記第１面と前記第４面との間に第２流体膜を形成する第２流体供給部と、を有し、
前記第３ベースプレートは、前記第２面に対して流体を噴射し、前記第５面と前記第２面との間に第３流体膜を形成する第３流体供給部を有する、
振動発生装置。

【請求項2】

前記第２流体供給部と、前記第３流体供給部とは、前記第１ベースプレートの摺動範囲内に等間隔で複数形成され、均一高さのランドで包囲されている、請求項１に記載の振動発生装置。

【請求項3】

前記突出部は、円柱形状であり、前記開口部の内壁面と前記突出部の外周面との間には、前記振動発生部の振動ストローク以上の隙間が形成されている、請求項１または請求項２に記載の振動発生装置。

【請求項4】

前記振動テーブルは、前記振動発生部の連結ブロックと接離可能な固定ブロックを外縁部に複数備える、請求項１に記載の振動発生装置。

【請求項5】

前記流体は、ドレンパンとの間で循環可能な油である、請求項１に記載の振動発生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動発生装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、振動試験の試験対象物である供試品を振動させる振動発生装置が知られている。例えば、流体軸受けを用いた振動発生装置や振動付与方向を変化させることができる多方向タイプの振動発生装置が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第５７６６８４４号公報

【特許文献2】特開１９８７－１４０３４号公報

【特許文献3】特開１９８５－１０１４２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した従来の振動発生装置は、供試品の付け替えを行うことなく、多方向の振動試験を実施することができるが、振動方向の切り替えのための構造が複雑であり、取り扱いが煩雑であるとともに、コスト増加の原因の一つになっていた。

【0005】

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、振動方向を容易な構成で変更できる振動発生装置が提供できれば、より効率的な振動試験が容易に実施することが可能になるとともに、試験コストや装置の製造コスト軽減が可能になり、有意義である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る振動発生装置は、振動テーブルと、第１ベースプレートと、第２ベースプレートと、第３ベースプレートと、を備える。振動テーブルは、第１方向の振動を発生させる振動発生部に対して着脱可能で、振動試験の対象である供試品を載置面に固定可能な板状の部材である。第１ベースプレートは、前記振動テーブルの前記載置面の逆側の略扁平な摺動面に固定される突出部を第１面に備え、前記第１方向に摺動可能であるとともに、前記突出部を中心に旋回可能な板状の部材である。第２ベースプレートは、前記摺動面に対向する第３面と前記第１面に対向する第４面と、前記第３面と前記第４面との間を貫通し前記突出部を挿通する開口部とを備え、前記振動テーブルと前記第１ベースプレートとの間に介在して設けられた扁平な板状の部材である。第３ベースプレートは、前記第１面の逆側の第２面に対向する第５面を備え、前記第２ベースプレートと協働して前記第１ベースプレートを摺動可能に支持する。そして、前記第２ベースプレートは、前記摺動面に対して流体を噴射し前記摺動面と前記第３面との間に第１流体膜を形成する第１流体供給部と、前記第１面に対して流体を噴射し前記第１面と前記第４面との間に第２流体膜を形成する第２流体供給部と、を有し、前記第３ベースプレートは、前記第２面に対して流体を噴射し、前記第５面と前記第２面との間に第３流体膜を形成する第３流体供給部を有する。

【発明の効果】

【0007】

本発明に係る振動発生装置は、容易な構成で供試品の付け替えを行うことなく容易な作業で、様々な方向の振動試験を実現し、効率的な振動試験を低コストで行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、実施形態に係る振動発生装置の例示的かつ模式的な側面図である。

【図2】図２は、実施形態に係る振動発生装置の振動テーブル（スリップテーブル）の例示的かつ模式的な平面図である。

【図3】図３は、実施形態に係る振動発生装置の振動テーブルの下方に設置される第１ベースプレート、第２ベースプレート、第３ベースプレートの例示的かつ模式的な分解斜視図である。

【図4】図４は、実施形態に係る振動発生装置の振動テーブル、第１ベースプレート、第２ベースプレート、第３ベースプレートの例示的かつ模式的な断面斜視図である。

【図5】図５は、実施形態に係る振動発生装置の第２ベースプレートの例示的かつ模式的な平面図である。

【図6】図６は、実施形態に係る振動発生装置の第１ベースプレート、第２ベースプレート、第３ベースプレートを組み合わせた場合の例示的かつ模式的な断面図である。

【図7】図７は、実施形態に係る振動発生装置の第２ベースプレートと第３ベースプレートに形成される流路を示す例示的かつ模式的な断面図である。

【図8】図８は、実施形態に係る振動発生装置の第２ベースプレートの開口部から第１ベースプレートの突出部が露出した状態を示す例示的かつ模式的な平面図である。

【図9】図９は、実施形態に係る振動発生装置の振動テーブルに接続可能な連結ブロックを示す例示的かつ模式的な斜視図である。

【図10】図１０は、実施形態の振動試験装置における流体の循環系を示す例示的かつ模式的な斜視図である。

【図11】図１１は、実施形態の振動試験装置の振動テーブルの接続切り替えの態様を示す例示的かつ模式的な説明図である。

【図12】図１２は、実施形態の振動試験装置の第２ベースプレートの第３面に形成される油膜の形成に寄与する流体分配溝を示す例示的かつ模式的な平面図である。

【図13】図１３は、実施形態の振動試験装置の第２ベースプレートの第３面に形成される油膜の形成に寄与する他の流体分配溝を示す例示的かつ模式的な平面図である。

【図14】図１４は、実施形態の振動試験装置において、固定ブロックが連結ブロックと対面する位置でクリック感を持って一旦停止感を得やすい構成を示す例示的かつ模式的な平面図である。

【図15】図１５は、実施形態の振動試験装置において、固定ブロックが連結ブロックと対面する位置でクリック感を持って一旦停止感を得やすい構成を示す例示的かつ模式的な分解斜視図である。

【図16】図１６は、実施形態の振動試験装置において、固定ブロックが連結ブロックと対面する位置でクリック感を持って一旦停止感を得やすい他の構成を示す例示的かつ模式的な側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下に、本開示に係る振動発生装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態は、当業者が置換可能、且つ、容易に想到できるもの、或いは実質的に同一のものも含む。

【0010】

まず、実施形態に係る振動発生装置１０の全体構成について説明する。図１は、実施形態に係る振動発生装置１０の例示的かつ模式的な側面図である。

【0011】

本実施形態に係る振動発生装置１０は、供試品（例えば、品質調査を依頼するにあたって生産者が提出するサンプル品）を強制的に振動させることにより、振動試験を実施する装置である。振動発生装置１０は、例えば、供試品を載置し固定したスリップテーブル１２（振動テーブル）に定盤と平行な方向（水平方向）の振動を付与（加振）したり、定盤に対して垂直方向の振動を付与したりする試験を実施する装置である。図１は、振動発生装置１０が、例えば定盤と平行な方向に加振できる状態にセッティングされた状態が示されている。なお、振動発生装置１０は、振動発生部１４を構成するヨーク１６を、例えば時計回りに９０°回転させることで、垂直方向の振動を付与できるように、運用状態を変更することができる。

【0012】

図１に示されるように、振動発生装置１０は、振動発生部１４を構成するヨーク１６と、振動台１８と、振動発生部１４を支持する基台２０と、スリップテーブル１２と振動台１８とを連結する連結ブロック２２と、スリップテーブル１２の下部に設けられる流体の流体リサイクル部２４と、を主な構成部材とする。なお、実施形態において利用する流体は、非圧縮性の流体であり、例えば、油である。流体（油）は、後述するスリップテーブル１２の振動動作及び旋回動作の際に利用される。

【0013】

ヨーク１６の材料は、例えば、高透磁率で高強度の磁性材料で、例えばＳＳ４００等の低炭素鋼を用いることができる。振動台１８の材料は、例えば、アルミニウム合金等の非磁性体で高強度の金属、あるいは例えば、カーボンファイバ等の合成樹脂等を用いることができる。なお、図１の矢印Ｘ方向は、水平加振形態時の振動発生部１４による加振方向（第１方向）を示している。

【0014】

ヨーク１６には、当該ヨーク１６に静磁場を生成する不図示の励磁コイルと、振動発生用のドライブコイルとが設けられている。ドライブコイルは磁気ギャップ内に配され、振動台１８と一体的に構成されている。励磁コイルに直流電流を流すことにより、当該励磁コイルを取り巻くヨーク１６内に磁気回路（静磁場）が生成される。そして、ドライブコイルに所定周波数の交流電流を流すことにより、上述した磁気ギャップに生成される静磁場とドライブコイルに流れる交流電流との間に力が働く。この力により、ドライブコイルは磁束の方向と直交する方向に振動する。その結果、振動台１８はドライブコイルに流される交流電流の周波数で振動し、これに伴って、スリップテーブル１２に取り付けられた被振動物としての供試品が矢印Ｘ方向に振動し、振動試験が実施される。

【0015】

図２は、振動発生装置１０のスリップテーブル１２の例示的かつ模式的な平面図である。スリップテーブル１２は、図１の矢印Ｘ方向（第１方向）の振動を発生させる振動発生部１４に対して着脱可能で、振動試験の対象である供試品を載置面１２ａに固定可能な板状の部材である。なお、載置面１２ａには、供試品を固定するために、例えば、複数の固定ねじ穴１２ｂがマトリックス状に形成されている。固定ねじ穴１２ｂを用いて供試品を直接固定したり、供試品を治具等を介して固定したりすることができる。なお、スリップテーブル１２における供試品の固定方法は一例であり、例えば、空気吸引や電磁力等を用いた吸着等で行ってもよい。

【0016】

スリップテーブル１２は、振動発生部１４に一体化された連結ブロック２２と接離可能な固定ブロック２６を外縁部に複数備える。連結ブロック２２の詳細は後述する。なお、図２の場合、スリップテーブル１２は、載置面１２ａの形状が略正方形であり、その４つの外縁部の略中央位置に固定ブロック２６を備える。したがって、スリップテーブル１２を旋回させて、連結ブロック２２に対する固定ブロック２６の接続位置を変更することにより、振動発生部１４の振動方向が矢印Ｘ方向のみであっても、載置面１２ａに載置、固定された供試品の固定状態を維持したまま（供試品の載置面１２ａに対する付け替えを行うことなく固定したまま）、振動試験方向を９０°単位で変更することができる。なお、スリップテーブル１２の形状は、略正方形に限らず、５角形以上の多角形や円形でもよい。スリップテーブル１２が多角形の場合、画数に対応する振動方向の選択が可能になる。また、スリップテーブル１２が円形状の場合、スリップテーブル１２の外周に沿って、任意の数の固定ブロック２６の形成が可能になり、固定ブロック２６の数に応じた振動方向を実現することができる。

【0017】

図３は、振動発生装置１０のスリップテーブル１２の振動動作及び旋回動作を実現するための第１ベースプレート２８、第２ベースプレート３０、第３ベースプレート３２の例示的かつ模式的な分解斜視図である。また、図４は、振動発生装置１０のスリップテーブル１２、第１ベースプレート２８、第２ベースプレート３０、第３ベースプレート３２の例示的かつ模式的な断面斜視図である。また、図５は、振動発生装置１０の第２ベースプレート３０の例示的かつ模式的な平面図であり、図６は、第１ベースプレート２８、第２ベースプレート３０、第３ベースプレート３２を組み合わせた場合の例示的かつ模式的な断面図である。

【0018】

図３に示されるように、第１ベースプレート２８は、例えば略円盤形状の部材で、当該第１ベースプレート２８の一方の平面部である第１面２８ａの略中央部に円柱形状の突出部３４を備える。また、第２ベースプレート３０は、図３、図４に示されるように、スリップテーブル１２と第１ベースプレート２８との間に介在する扁平な板状の部品である。第２ベースプレート３０は、スリップテーブル１２の載置面１２ａの逆側の略扁平な摺動面１２ｃに対向する第３面３０ａと第１ベースプレート２８の第１面２８ａに対向する第４面３０ｂと、第３面３０ａと前記第４面３０ｂとの間を貫通し、第１ベースプレート２８の突出部３４を挿通する略円形の開口部３６とを備える。また、第３ベースプレート３２は、第１ベースプレート２８の第１面２８ａの逆側の第２面２８ｂに対向する第５面３２ａを備える板状の部品である。第３ベースプレート３２は、第２ベースプレート３０と協働して、当該第３ベースプレート３２と第２ベースプレート３０との間で第１ベースプレート２８を摺動可能に支持する。なお、第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との間には、第１面２８ａと第２面２８ｂで定まる第１ベースプレート２８の厚みより僅かに厚く形成された、例えば、平面視で略５角形状の第４ベースプレート３８が、例えば四隅に配置されている。第４ベースプレート３８は、第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との間に所定の隙間（第１ベースプレート２８の厚み＋後述する油膜形成用隙間）を確保するスペーサとして機能する。なお、第４ベースプレート３８の形状は一例であり、本実施形態の場合、円盤形状の第１ベースプレート２８との干渉を回避するために略５角形状としているが、第１ベースプレート２８との干渉を回避できるスペーサ形状であれば、他の形状でもよい。例えば、平面視で円柱形状でもよいし、四角形状、三角形状でもよい。また、第４ベースプレート３８は、第２ベースプレート３０の第４面３０ｂまたは第３ベースプレート３２の第５面３２ａに一体化された突起として形成されてもよく、同様に機能可能である。

【0019】

第４ベースプレート３８によって所定の隙間が形成される状態となる第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との間に第１ベースプレート２８が挟まれた場合、図６に示されるように、第１ベースプレート２８に一体的に形成された突出部３４は、第２ベースプレート３０の開口部３６を貫通し、突出部３４の上面３４ａが第３面３０ａから僅かに突出する。そして、突出部３４の上面３４ａがスリップテーブル１２略扁平な摺動面１２ｃに固定されている。つまり、第１ベースプレート２８は、第２ベースプレート３０を介してスリップテーブル１２と一体化される。その結果、第１ベースプレート２８は、スリップテーブル１２の挙動（図１の矢印Ｘ方向の振動や旋回）に対応して、第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との間で、同様に矢印Ｘ方向に振動したり、旋回したりすることができる。

【0020】

本実施形態のスリップテーブル１２は、流体（例えば油）を用いた流体軸受けにより振動動作及び旋回動作をスムーズかつ安定的に実行できるように構成されている。図７は、振動発生装置１０の第２ベースプレート３０に形成される流体（油）の流路としての第１流路４０と、第３ベースプレート３２に形成される流体（油）の流路としての第２流路４２を示す例示的かつ模式的な断面図である。

【0021】

第２ベースプレート３０に形成される第１流路４０は、スリップテーブル１２の摺動面１２ｃに対して流体としての、例えば油を第１流体供給部４０ａから噴射し、摺動面１２ｃと第２ベースプレート３０の第３面３０ａとの間に第１流体膜４４ａを形成する。

【0022】

図８は、振動発生装置１０の第２ベースプレート３０の開口部３６から第１ベースプレート２８の突出部３４（上面３４ａ）が露出した状態を示す例示的かつ模式的な平面図である。略円形の開口部３６の直径Ｒは、当該開口部３６を貫通する円柱形状の突出部３４の直径ｒより、振動台１８の矢印Ｘ方向（図１参照）の振動ストローク（例えば、５０ｍｍから６０ｍｍ）に相当またはそれ以上の隙間Ｓ分だけ、大きく形成されている。したがって、振動台１８による加振時には、開口部３６の内壁面３６ａと突出部３４の外周面３４ｂとは非接触状態が確保できる。

【0023】

また、開口部３６の周囲には、例えば、４つの第１流体供給部４０ａが等間隔で配置されている。各第１流体供給部４０ａから流体を噴出させることにより、スリップテーブル１２の摺動面１２ｃと第２ベースプレート３０の第３面３０ａとの間に広範囲の第１流体膜４４ａを形成し、スリップテーブル１２に対する流体軸受けとして機能する。その結果、スリップテーブル１２は、第２ベースプレート３０に対して、スムーズかつ安定的に摺動（振動動作）および旋回動作を実現することができる。

【0024】

また、図７に示されるように、第１流路４０は、第１ベースプレート２８の第１面２８ａに対して流体としての、例えば油を第２流体供給部４０ｂから噴射し、第４面３０ｂと第１面２８ａとの間に第２流体膜４４ｂを形成する。同様に、第２流路４２は、第１ベースプレート２８の第２面２８ｂに対して流体としての、例えば油を第３流体供給部４２ａから噴射し、第３ベースプレート３２の第５面３２ａと第１ベースプレート２８の第２面２８ｂとの間に第３流体膜４４ｃを形成する。

【0025】

第２流体供給部４０ｂ及び第３流体供給部４２ａは、第１ベースプレート２８が摺動時（図１の矢印Ｘ方向の振動時）に移動し得る範囲に、複数個が、例えば等間隔で配置されている。図５に示されるように、第２流体供給部４０ｂは、例えば２個セットで４箇所、合計８箇所設けられている。また、図３、図４に示されるように、第３流体供給部４２ａもまた、第１ベースプレート２８が摺動時（Ｘ方向の振動時）に移動し得る範囲に、複数個が、例えば等間隔で配置されている。第３流体供給部４２ａは、例えば２個セットで４箇所、合計８箇所設けられている。なお、断面図である図４の場合、第３流体供給部４２ａは４個のみが図示されている。

【0026】

第２流体供給部４０ｂ及び第３流体供給部４２ａは、第１ベースプレート２８の第１面２８ａ側及び第２面２８ｂ側の対応する位置に同様な構成で配置され、第２流体供給部４０ｂ及び第３流体供給部４２ａを中心として噴射した流体（油）を一時的に貯留するポケット４６を形成している。図４を用いて、第３流体供給部４２ａを含むポケット４６の構成を説明する。図４に示されるように、第３流体供給部４２ａの周囲には、均一高さのランド４６ａが形成され、第３流体供給部４２ａを包囲したポケット４６を形成している。ポケット４６は、流体を一定量蓄えることができる。ランド４６ａの高さ（ポケット４６の高さ）は、形成する第３流体膜４４ｃの膜厚に応じて決定することができる。ランド４６ａの高さは、例えば、２～６ｍｍ程度とすることができる。したがって、第３流体膜４４ｃの厚みは、ランド４６ａの高さ＋溢れ出た際に流体によって第１ベースプレート２８を押し上げたい量によって決定される。同様に、第２流体供給部４０ｂの周囲にもランド４６ａで包囲されるポケット４６が形成され、所定の厚みの第２流体膜４４ｂを形成する。第２流体供給部４０ｂに対するランド４６ａの高さ（ポケット４６の高さ）は、形成する第２流体膜４４ｂの膜厚に応じて決定することができる。したがって、第２流体膜４４ｂの厚みは、ランド４６ａの高さ＋溢れ出た際に流体によって第１ベースプレート２８を押し下げたい量によって決定される。

【0027】

このように、振動発生装置１０において、第２ベースプレート３０の第３面３０ａとスリップテーブル１２の摺動面１２ｃとの間に第１流体膜４４ａを形成し、第２ベースプレート３０の第４面３０ｂと第１ベースプレート２８の第１面２８ａとの間に第２流体膜４４ｂを形成し、第１ベースプレート２８の第２面２８ｂと第３ベースプレート３２の第５面３２ａとの間に第３流体膜４４ｃを形成する。その結果、スリップテーブル１２と第２ベースプレート３０との接触、スリップテーブル１２に接続された第１ベースプレート２８と第２ベースプレート３０及び第３ベースプレート３２との接触が回避され、スリップテーブル１２と第１ベースプレート２８との結合体を、第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との結合体に対して、流体軸受けで支持することができる。その結果、スリップテーブル１２が連結ブロック２２を介して振動台１８（振動発生部１４）に接続された場合は、スリップテーブル１２を図１の矢印Ｘ方向にスムーズに往復移動（摺動）させることができる。また、スリップテーブル１２と連結ブロック２２との接続を解除した状態においては、スリップテーブル１２を自由かつスムーズに旋回させることが可能になる。この場合、スリップテーブル１２は突出部３４を介して第１ベースプレート２８に接続されているため、スリップテーブル１２の旋回位置は、第２ベースプレート３０の開口部３６によって規制され、スリップテーブル１２（第１ベースプレート２８）が第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との結合体から脱落することはない。スリップテーブル１２を旋回させた後、スリップテーブル１２の外縁部に複数形成された固定ブロック２６のいずれかと連結ブロック２２とを接続することにより、振動台１８の振動方向に対して、スリップテーブル１２に供試品を固定した状態を維持したまま、供試品に他の方向の振動試験を実施することができる。

【0028】

なお、図７に示されるように、第１流路４０と第２流路４２とは、連結管４８で連結され第１流路４０と第２流路４２で利用される流体（油）が共用できるようになっている。なお、図５に示されるように、第２ベースプレート３０に形成される第１流路４０は、例えば格子状に形成されている。第１流路４０及び第２流路４２を構成する各流路は、加工上、第２ベースプレート３０、第３ベースプレート３２の外縁部にそれぞれ始端部と終端部が形成される。複数の始端部と終端部のいずれか１箇所を流体供給口とし、他は、例えば、止め栓５０で封止している。第１流路４０、第２流路４２を利用する流体の循環に関しては後述する。

【0029】

図９は、振動発生装置１０のスリップテーブル１２の外縁部に形成された固定ブロック２６に接続可能な連結ブロック２２を示す例示的かつ模式的な斜視図である。

【0030】

連結ブロック２２は、平面視で、略Ｔ字形状の板状の部品で、上面２２ａ側に振動台１８側と接続固定するための締結部材５２（例えば、ボルト）を上面２２ａから側面２２ｂに進出させるための斜めに延びる座ぐり穴５４が複数（例えば、４個）形成されている。また、上面２２ａの逆側の面である下面２２ｃには、振動台１８の振動方向（図１中矢印Ｘ方向）に連結ブロック２２をスムーズかつ矢印Ｘ方向以外の振動（例えば、直交する方向の振動等）が発生させることなく安定して案内するためのガイド部材５６が固定されている。ガイド部材５６は、矢印Ｘ方向に平行に例えば２つ固定されている。ガイド部材５６は、例えば、周知のリニアガイドが利用できる。

【0031】

また、連結ブロック２２において、側面２２ｂの逆側の側面２２ｄには、図４に示すスリップテーブル１２の固定ブロック２６と連結ブロック２２とを接続固定するための締結部材（例えば、ボルト）が螺合するねじ穴５８が複数設けられている。図４に示すように、スリップテーブル１２の載置面１２ａから連結ブロック２２の側面２２ｄ側に締結部材を進出させるため、載置面１２ａには、挿通穴２６ｂと連通した斜めに延びる座ぐり穴２６ａが複数個（例えば、４個）形成されている。

【0032】

このように、スリップテーブル１２に形成された固定ブロック２６と連結ブロック２２との接続固定をスリップテーブル１２の載置面１２ａ側からのアクセスにより実現することにより、スリップテーブル１２を旋回させて、供試品の振動方向を変更させる作業を容易かつ効率的に行うことができる。

【0033】

図１０は、振動発生装置１０における流体（油）の循環系を示す例示的かつ模式的な斜視図である。上述したように振動発生装置１０は、スリップテーブル１２の振動動作時（振動試験時）と、供試品をスリップテーブル１２の載置面１２ａに固定したままの状態で、供試品に対する振動方向を変更するための旋回動作時と、のいずれの場合においても流体を流体系内で循環させている。すなわち、振動発生装置１０の振動試験時および旋回切り替え時において、常時、第１流体供給部４０ａ、第２流体供給部４０ｂ、第３流体供給部４２ａから流体が噴出し、第１流体膜４４ａ、第２流体膜４４ｂ、第３流体膜４４ｃが形成されている。

【0034】

図１０に示される流体リサイクル部２４は、貯留タンクと、サクションフィルタと、ポンプと、リリーフ弁、切替弁等を内部に収容する。貯留タンクは、循環系内を循環する流体としての油を貯留する。サクションフィルタは、循環する流体（油）から異物を除去し浄化する。ポンプは、リリーフ弁、切替弁等を通して流体（油）を貯留タンクから圧縮状態で送出し、第１流体供給部４０ａ等から噴出させる。このときの流体の吐出圧は、例えば、３ＭＰａ～７ＭＰａ等である。吐出された流体は、供給管６０を介して、例えば第３ベースプレート３２の流体導入口３２ｂから第３ベースプレート３２に供給される。供給された流体は、第２流路４２を流れる過程で第３流体供給部４２ａから噴射されて第３流体膜４４ｃを形成する。また、第２流路４２の終端部に達して流体は、連結管４８を介して第１流路４０に流入する。流体は、第１流路４０を流れる過程で第１流体供給部４０ａおよび第２流体供給部４０ｂから噴出し、第１流体膜４４ａ、第２流体膜４４ｂを形成する。そして、第１流体膜４４ａとしての機能を終了し、第２ベースプレート３０の第３面３０ａから流れ出た流体Ｗは、第３ベースプレート３２の下方に設置されたドレンパン６２によって回収される。同様に、第２流体膜４４ｂとして機能を終了し、第１ベースプレート２８の端部から流れ出た流体Ｗは、第３ベースプレート３２の第５面３２ａ上に流れ落ちる。また、第３流体膜４４ｃとしての機能を終了し、第１ベースプレート２８の端部から流れ出た流体Ｗは、第２流体膜４４ｂとして機能していた流体Ｗとともにドレンパン６２によって回収される。ドレンパン６２に回収された流体Ｗは、流体リサイクル部２４のポンプが発生する負圧によって吸引され、帰還路６４を介して、流体リサイクル部２４の貯留タンクに戻され、サクションフィルタによる濾過の後、再度、油膜形成のために再利用される。

【0035】

図１１は、振動発生装置１０のスリップテーブル１２の接続状態の切り替えの態様ＣＳを示す例示的かつ模式的な説明図である。図１１の場合、スリップテーブル１２の載置面１２ａには、略直方体形状の供試品６６が固定されている。供試品６６は、その短手方向辺６６ａの一方を連結ブロック２２に接続された一対のガイド部材５６の配列方向と平行になるように固定されている。

【0036】

図１１の態様ＣＳ１には、振動台１８に接続されガイド部材５６に案内される連結ブロック２２がスリップテーブル１２の外縁部に設けられた固定ブロック２６のうち第１固定ブロック２６Ｍに連結された状態が示されている。第１固定ブロック２６Ｍと連結ブロック２２との接続は、締結部材によって行われる。したがって、振動台１８が図１中矢印Ｘ方向に振動した場合、供試品６６は、短手方向辺６６ａと直交する長手方向辺６６ｂに沿って加振され、振動試験が実行される。なお、この場合、連結ブロック２２がガイド部材５６に案内され、かつスリップテーブル１２が第１流体膜４４ａ等の流体軸受けによって支持されるため、供試品６６は、ガイド部材５６の設置面（例えば定盤）と平行にかつ安定して加振され、高精度の振動試験が実行される。

【0037】

図１１の態様ＣＳ２には、供試品６６の振動試験が一旦終了し、次に供試品６６の他の方向での振動試験を実行するために、連結ブロック２２がスリップテーブル１２の第１固定ブロック２６Ｍから分離させた状態が示されている。第１固定ブロック２６Ｍと連結ブロック２２との分離は、図４、図９で説明したように、締結部材を挿通穴２６ｂから抜き取ることによって可能である。

【0038】

続いて、図１１の態様ＣＳ３に示されるように、供試品６６を載置面１２ａに固定した状態のまま、スリップテーブル１２を例えば、反時計方向回りに旋回させる。この場合、第２ベースプレート３０の開口部３６の直径Ｒは、第１ベースプレート２８の突出部３４の直径ｒより隙間Ｓ分大きく形成されているので、第１ベースプレート２８とともにスリップテーブル１２は、連結ブロック２２から離間する方向に手動で容易に摺動可能である。したがって、スリップテーブル１２（固定ブロック２６）は、連結ブロック２２と干渉することなく旋回させることができる。また、前述したように、旋回動作時においても、第１流体膜４４ａ、第２流体膜４４ｂ、第３流体膜４４ｃが形成されているため、スリップテーブル１２はスムーズかつ安定的、容易に旋回可能である。

【0039】

態様ＣＳ４には、スリップテーブル１２を反時計方向回りに９０°旋回させた結果、連結ブロック２２に形成された第１固定ブロック２６Ｍに隣接する第２固定ブロック２６Ｎが対面した状態が示されている。この場合、固定ブロック２６が連結ブロック２２と対面する位置でクリック感を持って一旦停止するように構成しておけば、スリップテーブル１２の旋回動作を容易かつ正確に実施することができる。

【0040】

態様ＣＳ５には、連結ブロック２２の対面位置に移動した第２固定ブロック２６Ｎを連結ブロック２２に連結した状態が示されている。この場合、スリップテーブル１２を連結ブロック２２に接近させる必要があるが、この場合も第１流体膜４４ａ等が形成された状態のままなので、スリップテーブル１２の第２固定ブロック２６Ｎを容易かつスムーズに連結ブロック２２に接近させることができる。この状態で、締結部材を第２固定ブロック２６Ｎの挿通穴２６ｂに挿入し螺合させることによってスリップテーブル１２（第２固定ブロック２６Ｎ）と連結ブロック２２の固定が完了する。この場合、供試品６６は、長手方向辺６６ｂの一方を連結ブロック２２に接続された一対のガイド部材５６の配列方向と平行になるように固定される。したがって、振動台１８が図１中矢印Ｘ方向に振動した場合、供試品６６は、長手方向辺６６ｂと直交する短手方向辺６６ａに沿って加振され、振動試験が実行される。つまり、供試品６６をスリップテーブル１２から取り外すことなく、供試品６６に対する振動試験方向を変更し、高精度の振動試験を容易かつ効率的に実行するこができる。

【0041】

なお、振動試験により、スリップテーブル１２には様々な方向の力のモーメントが発生している。振動発生装置１０において、スリップテーブル１２と第１ベースプレート２８は一体的に連結されているため、スリップテーブル１２に発生する力のモーメントは第１ベースプレート２８に伝わる。第１流体供給部４０ａ、第２流体供給部４０ｂ、第３流体供給部４２ａの周囲に形成されたポケット４６は、第２ベースプレート３０の第４面３０ｂと、第３ベースプレート３２の第５面３２ａにおいて、第１ベースプレート２８を挟んだ上下方向に対向した位置に配置することができる。その結果、第１ベースプレート２８に強力な対抗力を発生させることが可能になる。この対抗力は供給する流体（油）の圧力を変えることで所望の大きさに変更することができる。そのため、流体の圧力を調整することで、供試品６６（スリップテーブル１２）の振動方向以外の振動を効果的に抑制することが可能となり、振動試験の精度をさらに向上させることができる。なお、ポケット４６（第２流体供給部４０ｂ、第３流体供給部４２ａ）は、スリップテーブル１２（第１ベースプレート２８）が摺動時または旋回時であっても第１ベースプレート２８平面投影面範囲内に配置することで、効率的に対抗力を発生させることができる。

【0042】

上述した実施形態において、第１流体供給部４０ａは、第２ベースプレート３０の第３面３０ａの全面に第１流体膜４４ａを薄く広く形成するため、扁平な第３面３０ａに端部が開口した態様を示した。他の実施形態では、第１流体供給部４０ａの周囲に流体を分配する溝を形成してもよい。

【0043】

図１２は、振動発生装置１０の第２ベースプレート３０の第３面３０ａに形成される第１流体膜４４ａの形成に寄与する流体分配溝６８を示す例示的かつ模式的な平面図である。

【0044】

第３面３０ａの表面において、流体分配溝６８は、第１流体供給部４０ａを起点として形成される、流体を第３面３０ａの広範囲に分配するために形成された溝であり、スリップテーブル１２の摺動面１２ｃと第２ベースプレート３０の第３面３０ａとの間に広い第１流体膜４４ａを形成する。図１２の場合、第１流体供給部４０ａと流体分配溝６８とは、第３面３０ａ平面内でつながり、流体分配溝６８に沿って流体がスムーズに流れるため、第３面３０ａの広範囲に安定的に流体を供給することができる。その結果、各第１流体供給部４０ａに繋がる流体分配溝６８で囲まれた、流体による安定した略均一の圧力エリアを形成する。そして、広範囲に広がる流体（第１流体膜４４ａ）は、スリップテーブル１２の振動試験中の供試品６６やスリップテーブル１２のビビリ振動や共振により発生する、正規振動方向（図１のＸ方向）以外の微振動（クロストーク成分）を減衰させ、精度のよい振動試験を可能とする。図１２の流体分配溝６８の構成は、第１流体供給部４０ａを起点とする流体分配溝６８は、開口部３６の周囲に略矩形の圧力エリアを複数形成し、スリップテーブル１２の摺動面１２ｃを均一に支持する例である。

【0045】

図１３は、振動発生装置１０の第２ベースプレート３０の第３面３０ａに形成される第１流体膜４４ａの形成に寄与する他の流体分配溝６８ａを示す例示的かつ模式的な平面図である。図１３の場合、複数の第１流体供給部４０ａと流体分配溝６８ａとが、第３面３０ａ平面内でつながった、開口部３６を包囲する矩形の圧力エリアを形成している。この場合も、流体分配溝６８ａに沿って流体がスムーズに流れるため、第３面３０ａの広範囲に安定的に流体を供給することができる。その結果、流体による安定した略均一の圧力エリアを形成する。また、この場合も、広範囲に広がる流体（第１流体膜４４ａ）は、スリップテーブル１２の振動試験中の供試品６６やスリップテーブル１２のビビリ振動や共振により発生する、正規振動方向（図１のＸ方向）以外の微振動（クロストーク成分）を減衰させ、精度のよい振動試験を可能にすることができる。

【0046】

図１４の平面図及び図１５の分解斜視図は、図１１の態様ＣＳ４において、固定ブロック２６（第２固定ブロック２６Ｎ）が連結ブロック２２と対面する位置でクリック感を持って一旦停止感を得やすい構成を説明する説明図である。

【0047】

図１１で説明したように、態様ＣＳ２で、連結ブロック２２と固定ブロック２６との連結が解消された場合、第１ベースプレート２８は、第２流体膜４４ｂと第３流体膜４４ｃによって形成される流体軸受によって第２ベースプレート３０と第３ベースプレート３２との間で、実質的に非接触のフリー状態で回転可能に支持される。仮に、第１ベースプレート２８に固定回転軸が存在する場合、振動試験のとき、例えば、水平加振時に固定回転軸が、水平方向の剪断応力を受ける可能性があり、回転軸が摩耗したり損傷したりして回転機能を損なう虞がある。一方、固定回転軸が存在しない本実施形態の第１ベースプレート２８の場合、上述のような不都合を生じることなく、振動試験及びスリップテーブル１２（第１ベースプレート２８）の接続状態の切替作業を行うことができる。しかしながら、第１ベースプレート２８の突出部３４の直径より第２ベースプレート３０の開口部３６の内径の方が大きいため、第１ベースプレート２８の回転中心は定まり難く、また、固定ブロック２６と連結ブロック２２との位置合わせが煩雑になる場合がある。

【0048】

そこで、図１４、図１５に示すように、第１ベースプレート２８の外周を囲むように複数の方向からガイドする回転ガイド部７０及びクリック感を生じさせる抵抗発生部７２を配置している。図１４は、第１ベースプレート２８の突出部３４に接続されるスリップテーブル１２及び第２ベースプレート３０を取り外した状態である。図１４の場合、回転ガイド部７０は、第３ベースプレート３２の四隅に配置される第４ベースプレート３８のうち三つに配置され、他の一つの第４ベースプレート３８に抵抗発生部７２が配置されている例が示されている。

【0049】

また、第１ベースプレート２８の外周面には、ギヤ７４が周設されている。ギヤ７４は、回転ガイド部７０に回転可能に支持される回転ギヤ７０ａと噛合可能である。回転ギヤ７０ａは、第４ベースプレート３８に対してギヤ７４と回転ギヤ７０ａとが噛合状態となる第１姿勢（実線で図示）と非噛合状態となる第２姿勢（破線で図示）との間で揺動可能なスイングアーム７０ｂによって回転可能に軸支されている。スイングアーム７０ｂは、第４ベースプレート３８に揺動可能に軸支されている。スイングアーム７０ｂは、図示を省略した付勢部材（例えば、板バネやつるまきバネ）によって時計回り方向に付勢されギヤ７４と回転ギヤ７０ａとが噛合状態となる第１姿勢を形成する。なお、第４ベースプレート３８または第４ベースプレート３８には、スイングアーム７０ｂに軸支される回転ギヤ７０ａが第１姿勢のときに突出部３４の略中心位置の方向を向いて停止するように配置されたストッパ（不図示）が形成されている。

【0050】

一方、抵抗発生部７２は、第１ベースプレート２８の周方向に可撓性を有する接触子７２ａをスイングアーム７２ｂによって支持している。接触子７２ａは、第１ベースプレート２８の周囲に形成されたギヤ７４及びその一部に形成された切欠部７４ａと係合可能である。スイングアーム７２ｂは、第４ベースプレート３８に揺動可能に軸支されている。したがって、抵抗発生部７２は、接触子７２ａがギヤ７４または切欠部７４ａと接触する第１姿勢（実線で図示）と、接触子７２ａがギヤ７４または切欠部７４ａと非接触となる第２姿勢（破線で図示）との間で揺動可能である。スイングアーム７２ｂもスイングアーム７０ｂと同様に、図示を省略した付勢部材（例えば、板バネやつるまきバネ）によって時計回り方向に付勢され、接触子７２ａがギヤ７４または切欠部７４ａと接触する第１姿勢を形成する。第４ベースプレート３８または第４ベースプレート３８には、スイングアーム７２ｂに支持される接触子７２ａが第１姿勢のときに突出部３４の略中心位置の方向を向いて停止させるようなストッパ（不図示）が形成されている。切欠部７４ａは、ギヤ７４の歯丈より深く形成された窪みで、例えば、第１ベースプレート２８の周囲に９０°間隔で形成されている。

【0051】

図１４に示されるように、第１ベースプレート２８は、回転ガイド部７０及び抵抗発生部７２が第１姿勢のときに四方から支持されることになり、実質的にセンタリングされるようになる。したがって、固定ブロック２６と連結ブロック２２との対面位置を変化させるために、スリップテーブル１２（第１ベースプレート２８）を回転させると、接触子７２ａは、例えば、９０°ごとに切欠部７４ａと接触する。その結果、接触子７２ａは、切欠部７４ａを通過するときに、切欠部７４ａ以外のギヤ７４の歯面を通過するときより強い抵抗感を発生することができる。つまり、抵抗発生部７２は、強いクリック感、または、停止感を発生することができる。このとき、切欠部７４ａと接触子７２ａの接触によって強いクリック感または停止感が得られるタイミングで、固定ブロック２６と連結ブロック２２とが対面するように各部材の配置調整を行う。その結果、スリップテーブル１２の回転切り替え時の固定ブロック２６と連結ブロック２２との位置合わせを容易かつ正確に行うことができる。なお、回転ギヤ７０ａは、９０°間隔で、切欠部７４ａを通過するが、ギヤ７４と回転ギヤ７０ａの歯の形状を調整することにより、回転ギヤ７０ａは切欠部７４ａをスムーズに通過することが可能であり、接触子７２ａと切欠部７４ａとが接触したときの強いクリック感を強調させるようにすることができる。

【0052】

回転ギヤ７０ａを軸支するスイングアーム７０ｂ及び接触子７２ａを支持するスイングアーム７２ｂには、付勢部材の付勢力に逆らってギヤ７４から回転ギヤ７０ａ及び接触子７２ａを離間させて第２姿勢とさせる駆動ワイヤ７６が接続されている。図１４の場合、駆動ワイヤ７６は、三つの回転ガイド部７０及び一つの抵抗発生部７２を相互に接続している。また、駆動ワイヤ７６の一部には、例えば、回転操作可能な操作部７８と接続された連動ワイヤ７６ａが設けられている。操作部７８を、例えば時計回り方向に回転させることにより、連動ワイヤ７６ａ及び駆動ワイヤ７６が巻き上げられスイングアーム７０ｂ（回転ガイド部７０）及びスイングアーム７２ｂ（抵抗発生部７２）を第２姿勢に移行させる。また、操作部７８を反時計方向に回転させれば、連動ワイヤ７６ａ及び駆動ワイヤ７６が巻き戻されてスイングアーム７０ｂ（回転ガイド部７０）及びスイングアーム７２ｂ（抵抗発生部７２）を第１姿勢に移行させることができる。図１４の場合、第３ベースプレート３２の各側面に操作部７８が形成されているが、いずれか一か所の操作部７８を操作することにより、三つの回転ガイド部７０及び一つの抵抗発生部７２を連動して同様の状態に移行させることができる。その結果、スリップテーブル１２の回転状態に拘わらず、操作部７８の操作（回転ガイド部７０と抵抗発生部７２の姿勢切替）を容易に行うことができる。なお、駆動ワイヤ７６と操作部７８は回転ガイド部７０及び抵抗発生部７２を個別に揺動させるように構成されてもよい。

【0053】

図１４の場合、三つの回転ガイド部７０及び一つの抵抗発生部７２の合計４部品（４点）が第１姿勢の場合に第１ベースプレート２８に接触し、第１ベースプレート２８のセンタリングを行う例を示した。第１ベースプレート２８のセンタリングは、最低３点で行うことが可能であり、例えば、二つの回転ガイド部７０及び一つの抵抗発生部７２を第１ベースプレート２８に対して例えば、１２０°間隔で配置するようにしてもよく、同様の効果を得ることができる。また、少なくとも、二つの回転ガイド部７０及び一つの抵抗発生部７２が含まれればよく、５点以上で支持するようにしてもよい。また、図１４の場合、回転ガイド部７０及び抵抗発生部７２を第４ベースプレート３８に配置する例を示したが、第１姿勢のときに、第１ベースプレート２８のセンタリングが可能であればよく、他の位置に設けてもよく、同様の効果を得ることができる。

【0054】

また、図１４では、切欠部７４ａを、固定ブロック２６の配置間隔に合わせて９０°間隔で形成する例を示した。この場合、スリップテーブル１２が９０°回転するごとに、強いクリック感または停止感を得ることができるが、他の間隔で切欠部７４ａを形成してもよい。例えば、固定ブロック２６の形成数を増加させる場合、その増加数に合わせて、４５°間隔や第２ベースプレート３０°間隔等で切欠部７４ａを形成してもよい。この場合、スリップテーブル１２の回転時のクリック感または停止感をさらに細かい回転角で得ることが可能である。その結果、スリップテーブル１２の回転時の位置決め性を向上することができる。

【0055】

また、別の実施形態では、抵抗発生部７２を省略し、三か所以上の回転ガイド部７０の少なくとも一つの回転ギヤ７０ａに、当該回転ギヤ７０ａの回転時にクリック感が得られるラチェット機構を設けるとともに、固定ブロック２６と連結ブロック２２の両方に、当該固定ブロック２６と連結ブロック２２とが連結可能な対面位置を確認できるマーク等の指標を設けてもよい。この場合、クリック感でスリップテーブル１２（固定ブロック２６）の回転位置を確認しながら固定ブロック２６側の指標と連結ブロック２２側の指標との位置合わせを行うようにしてもよい。この場合、クリック感や停止感が得られる構成のシンプル化が容易になるとともに、スリップテーブル１２の回転時の位置決め性を向上することができる。

【0056】

図１４、図１５の例では、回転ガイド部７０及び抵抗発生部７２が第１ベースプレート２８の周方向に揺動することで、第１姿勢と第２姿勢を切り替える例を示した。別の実施形態では、回転ガイド部７０及び抵抗発生部７２は、第１ベースプレート２８の径方向に移動して第１姿勢と第２姿勢を切り替えるようにしてもよい。また、周方向の揺動と径方向の移動を組み合わせてもよい。また、図１４の例では、回転ガイド部７０及び抵抗発生部７２の第１姿勢と第２姿勢の切替を、駆動ワイヤ７６を用いた切換機構で行う例を示した。第１姿勢と第２姿勢の切り替えが可能であれば、他の切替機構を用いてもよい。切替機構は、例えば、リンク機構やモータ駆動機構等を用いてもよく、同様の効果を得ることできる。

【0057】

図１６は、固定ブロック２６が連結ブロック２２と対面する位置でクリック感を持って一旦停止感を得やすい他の構成を示す例示的かつ模式的な側面図である。

【0058】

図１６示す変形例の場合、第１ベースプレート２８は、厚み方向（上下方向）に、例えば、第１層２８Ｍと第２層２８Ｎを備える多層構造で構成されている。第１層２８Ｍの外周面には、例えば、ギヤ７４が全周に形成されている。また、第２層２８Ｎの外周面には、例えば、９０°間隔で切欠部７４ａが４箇所（図１６では、三か所が見えている）に形成されている。つまり、ギヤ７４と接触子７２ａとが異なる領域に形成されている。なお、第１層２８Ｍと第２層２８Ｎの積層順番は逆でもよい。

【0059】

変形例の場合、三か所の第４ベースプレート３８に形成される回転ガイド部７０は、第１層２８Ｍの高さに対応して形成され、回転ガイド部７０が第１姿勢に切り替わるとき、すなわちスリップテーブル１２の回転位置決め時には、第１層２８Ｍの外周面の全周に形成されたギヤ７４と回転ギヤ７０ａが、常に噛合するようになる。同様に、一か所の第４ベースプレート３８に形成される抵抗発生部７２は、第２層２８Ｎの高さに対応して形成され、抵抗発生部７２が第１姿勢に切り替わるとき、すなわちスリップテーブル１２の回転位置決め時には、第２層２８Ｎの外周面に９０°間隔で形成された切欠部７４ａと接触子７２ａが、９０°ごとに係合し、クリック感や停止感を発生する。換言すれば、切欠部７４ａが形成されていない位置では、クリック感や停止感は発生しない。

【0060】

上述した図１４、図１５の構成の場合、接触子７２ａは、ギヤ７４及び切欠部７４ａの両方に接触するため、クリック感や停止感は、常に生じている。そして、接触子７２ａが切欠部７４ａと係合する場合により強いクリック感や停止感が得られて回転位置の確認ができる。この場合、接触子７２ａが切欠部７４ａと係合した場合のクリック感や停止感の判断にはある程度慣れや経験が必要になるが、第１ベースプレート２８の薄型化や構成の簡略化が可能であり、製造コストの低減や装置の小型化、軽量化に寄与できる。

【0061】

一方、図１６に示す構成の場合、接触子７２ａが切欠部７４ａと係合した場合のみ、クリック感や停止感が得られるので、固定ブロック２６が連結ブロック２２と対面する位置の認識を、振動発生装置１０の利用者により容易かつ正確に行わせることが可能となる。

【0062】

なお、上述の説明では、第１ベースプレート２８の四隅に設けられる第４ベースプレート３８のうち三か所に回転ガイド部７０を配置する例を示したが、四隅の第４ベースプレート３８の全てに回転ガイド部７０を配置してもよい。この場合、四隅の第４ベースプレート３８のうちの一か所に回転ガイド部７０と抵抗発生部７２と積層状態で配置する。この場合、第１ベースプレート２８は、９０°間隔で配置された四つの回転ガイド部７０で四点支持可能となり、第１ベースプレート２８のセンタリングを、より安定的な回転で正確に実現することができる。

【0063】

上述した実施形態の図１１において、連結ブロック２２及び連結ブロック２２を案内するガイド部材５６は、振動台１８に近い側にのみ形成する例を示した。他の実施形態においては、スリップテーブル１２を挟んで、振動台１８から遠い側にも連結ブロック２２及び連結ブロック２２を案内するガイド部材５６を設けてもよい。すなわち、スリップテーブル１２は、振動試験時には、振動方向（図１の矢印Ｘ方向）に平行な、直線上に配置される一対の連結ブロック２２によって案内される。その結果、スリップテーブル１２のより安定した振動試験を実施することができる。なお、供試品６６の振動方向を変更するためにスリップテーブル１２を旋回させる際、振動台１８から遠い側の追加した連結ブロック２２は、ガイド部材５６に沿ってスリップテーブル１２からさらに離間する方向に移動させることができる。その結果、スリップテーブル１２の旋回時に、当該スリップテーブル１２は、追加した連結ブロック２２と非干渉とし、容易かつスムーズに供試品６６の振動試験方向を変更することができる。

【0064】

また、上述した実施形態においては、第１流体供給部４０ａは４つ、第２流体供給部４０ｂ及び第３流体供給部４２ａは８つ形成する例を示した。第１流体供給部４０ａ、第２流体供給部４０ｂ、第３流体供給部４２ａは、第１流体膜４４ａ、第２流体膜４４ｂ、第３流体膜４４ｃを広範囲に均一に形成することができれば、その形成数は適宜増減変更可能である。また、配置パターンも適宜変更可能であり、本実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0065】

本発明の実施形態及び変形例を説明したが、これらの実施形態及び変形例は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0066】

１０…振動発生装置、１２…スリップテーブル、１２ａ…載置面、１４…振動発生部、２２…連結ブロック、２４…流体リサイクル部、２６…固定ブロック、２８…第１ベースプレート、２８ａ…第１面、２８ｂ…第２面、３０…第２ベースプレート、３０ａ…第３面、３０ｂ…第４面、３２…第３ベースプレート、３２ａ…第５面、３４…突出部、３６…開口部、４０…第１流路、４０ａ…第１流体供給部、４０ｂ…第２流体供給部、４２…第２流路、４２ａ…第３流体供給部、４４ａ…第１流体膜、４４ｂ…第２流体膜、４４ｃ…第３流体膜、４６…ポケット、４６ａ…ランド、６６…供試品、７０…回転ガイド部、７０ａ…回転ギヤ、７２…抵抗発生部、７２ａ…接触子、７４…ギヤ、７４ａ…切欠部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】