(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022185262
(43)【公開日】2022-12-14
(54)【発明の名称】真空ポンプおよびリークディテクタ
(51)【国際特許分類】
F04D 19/04 20060101AFI20221207BHJP
【ＦＩ】
F04D19/04 D
F04D19/04 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021092813
(22)【出願日】2021-06-02
(71)【出願人】
【識別番号】000001993
【氏名又は名称】株式会社島津製作所
(74)【代理人】
【識別番号】100121382
【弁理士】
【氏名又は名称】山下 託嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100132698
【弁理士】
【氏名又は名称】川分 康博
(72)【発明者】
【氏名】西村 太貴
【テーマコード（参考）】
3H131
【Ｆターム（参考）】
3H131AA02
3H131AA07
3H131BA06
3H131CA01
3H131CA11
3H131CA31
(57)【要約】
【課題】真空ポンプにおいて、ケーシングと、ケーシングに固定する部品の間にガス溜まりが生じ、スローリークが発生するのを防止する。
【解決手段】真空ポンプ１００、１００ａは、所定の回転方向に回転可能なロータ２０と、ロータ２０を収容するケーシング１１と、ケーシング１１の内壁と対向するように配置される固定部品３０、４０とを備え、ケーシング１１の内壁と、固定部品３０、４０との間には、隙間Ｓ１、Ｓ１ａが形成されており、ケーシング１１の内壁と、固定部品３０，４０とのいずれかには、隙間Ｓ１，Ｓ１ａと、ケーシング１１の内部の排気経路と、を連通させる溝１１１ａ、１１１ｂ、３１１、４１１が形成されている。
【選択図】図２
【解決手段】真空ポンプ１００、１００ａは、所定の回転方向に回転可能なロータ２０と、ロータ２０を収容するケーシング１１と、ケーシング１１の内壁と対向するように配置される固定部品３０、４０とを備え、ケーシング１１の内壁と、固定部品３０、４０との間には、隙間Ｓ１、Ｓ１ａが形成されており、ケーシング１１の内壁と、固定部品３０，４０とのいずれかには、隙間Ｓ１，Ｓ１ａと、ケーシング１１の内部の排気経路と、を連通させる溝１１１ａ、１１１ｂ、３１１、４１１が形成されている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定の回転方向に回転可能なロータと、
前記ロータを収容するケーシングと、
前記ケーシングの内壁と対向するように配置される固定部品とを備え、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品との間には、隙間が形成されており、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品とのいずれかには、前記隙間と、前記ケーシングの内部の排気経路と、を連通させる溝が形成されている、
真空ポンプ。
前記ロータを収容するケーシングと、
前記ケーシングの内壁と対向するように配置される固定部品とを備え、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品との間には、隙間が形成されており、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品とのいずれかには、前記隙間と、前記ケーシングの内部の排気経路と、を連通させる溝が形成されている、
真空ポンプ。
【請求項2】
前記ケーシングは、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記固定部品は、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差とが互いに嵌合することによって、前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差との間に前記隙間が形成されている、請求項１に記載の真空ポンプ。
前記固定部品は、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差とが互いに嵌合することによって、前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差との間に前記隙間が形成されている、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項3】
前記真空ポンプは、
前記ロータ翼とともにターボ分子ポンプを構成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記隙間は、前記複数のスペーサと前記ケーシングの内壁との間に形成された隙間を介して、前記ケーシングの内部の排気経路と連通している、請求項１または２に記載の真空ポンプ。
前記ロータ翼とともにターボ分子ポンプを構成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記隙間は、前記複数のスペーサと前記ケーシングの内壁との間に形成された隙間を介して、前記ケーシングの内部の排気経路と連通している、請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項4】
前記固定部品は、永久磁石磁気軸受の永久磁石を保持するマグネットホルダである、
請求項１または２に記載の真空ポンプ。
請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項5】
前記溝は、前記マグネットホルダに形成されている、
請求項４に記載の真空ポンプ。
請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項6】
前記マグネットホルダは、中心から放射方向に延びる梁と、前記梁の外周側で前記梁に接続され、前記ケーシングと接する外輪部とを有し、
前記溝は、前記外輪部の前記梁に接続する部分に形成されている、
請求項５に記載の真空ポンプ。
前記溝は、前記外輪部の前記梁に接続する部分に形成されている、
請求項５に記載の真空ポンプ。
【請求項7】
前記ロータは、ロータ翼を備え、
前記真空ポンプは、
前記ロータ翼とともにターボ分子ポンプを形成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記固定部品は、前記複数のスペーサのうちの最上段のスペーサである、
請求項１に記載の真空ポンプ。
前記真空ポンプは、
前記ロータ翼とともにターボ分子ポンプを形成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記固定部品は、前記複数のスペーサのうちの最上段のスペーサである、
請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項8】
前記溝は、前記最上段のスペーサに形成されている、
請求項７に記載の真空ポンプ。
請求項７に記載の真空ポンプ。
【請求項9】
前記溝は、前記ケーシングに形成されている、
請求項１～４、または、７に記載の真空ポンプ。
請求項１～４、または、７に記載の真空ポンプ。
【請求項10】
請求項１～９のいずれか１項に記載の真空ポンプであって、第１吸気口と、排気口と、前記第１吸気口と前記排気口との間の排気経路に接続された第２吸気口とを備えた真空ポンプと、
リーク検査用ガスを検出する分析管と、
を備え、
前記分析管は、前記真空ポンプの第１吸気口に接続され、
被試験体は、前記真空ポンプの第２吸気口に接続されている、
リークディテクタ。
リーク検査用ガスを検出する分析管と、
を備え、
前記分析管は、前記真空ポンプの第１吸気口に接続され、
被試験体は、前記真空ポンプの第２吸気口に接続されている、
リークディテクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、真空ポンプおよびリークディテクタに関する。
【背景技術】
【0002】
ターボ分子ポンプは、超高真空用の真空ポンプ、リークディテクタ用の真空ポンプとして利用されている。ターボ分子ポンプは、ケーシング内部にロータを収容し、ロータを数万回転で回転させることにより、真空排気を行う。
【0003】
高速回転を行うロータにおいては、部品の組み合わせ部分において密閉空間が生じると、密閉空間に閉じ込められた気体が徐々に漏れ出すスローリークが発生するとの課題があった。特許文献１においては、ロータの部分における密閉空間を解消することで、スローリークを解消する手段が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２０－１９７１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
真空ポンプにおいては、ケーシングと、ケーシングに固定する部品においてもガス溜まりが生じ、スローリークが発生する可能性がある。本開示は、そのようなガス溜まりを解消し、スローリークを解消する手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の真空ポンプは、
所定の回転方向に回転可能なロータと、
前記ロータを収容するケーシングと、
前記ケーシングの内壁と対向するように配置される固定部品とを備え、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品との間には、隙間が形成されており、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品とのいずれかには、前記隙間と、前記ケーシングの内部の排気経路と、を連通させる溝が形成されている。
所定の回転方向に回転可能なロータと、
前記ロータを収容するケーシングと、
前記ケーシングの内壁と対向するように配置される固定部品とを備え、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品との間には、隙間が形成されており、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品とのいずれかには、前記隙間と、前記ケーシングの内部の排気経路と、を連通させる溝が形成されている。
【0007】
本開示のリークディテクタは、
本開示の真空ポンプであって、第１吸気口と、排気口と、前記第１吸気口と前記排気口との間の排気経路に接続された第２吸気口とを備えた真空ポンプと、
リーク検査用ガスを検出する分析管と、
を備え、
前記分析管は、前記真空ポンプの第１吸気口に接続され、
被試験体は、前記真空ポンプの第２吸気口に接続されている。
本開示の真空ポンプであって、第１吸気口と、排気口と、前記第１吸気口と前記排気口との間の排気経路に接続された第２吸気口とを備えた真空ポンプと、
リーク検査用ガスを検出する分析管と、
を備え、
前記分析管は、前記真空ポンプの第１吸気口に接続され、
被試験体は、前記真空ポンプの第２吸気口に接続されている。
【発明の効果】
【0008】
本開示の真空ポンプは、ケーシングと、ケーシングの内壁に嵌め合わせて配置される固定部品との間に隙間が形成されており、この隙間を排気するための溝が、ケーシング又は固定部品に設けられているので、スローリークを抑制できる。
【0009】
また、本開示のリークディテクタは、真空ポンプのスローリークが抑制されているために、１回のテストにおける、リークレートがバックグラウンド近くまで低下する時間が短縮され、迅速なリークチェックを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】第１実施形態の真空ポンプ１００の断面図である。
【図2】第１実施形態のケーシング１１の内壁の段差と、マグネットホルダ３０の嵌め合い部分の拡大図である。
【図3】第１実施形態のマグネットホルダ３０の斜視図である。
【図4】第１実施形態のマグネットホルダ３０の一部を、上面から見た図である。
【図5】変形例１Ａのケーシング１１の内壁の段差と、マグネットホルダ３０の嵌め合い部分の拡大図である。
【図6】変形例１Ｂのケーシング１１の内壁の段差と、マグネットホルダ３０の嵌め合い部分の拡大図である。
【図7】第２実施形態の真空ポンプ１００ａの断面図である。
【図8】第２実施形態のケーシング１１の内壁の段差と、スペーサ４０の嵌め合い部分の拡大図である。
【図9】第３実施形態のリークディテクタ５００の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
＜第１実施形態＞
第１実施形態の真空ポンプ１００は、図１に示すように、筐体１０と、ロータ２０と、モータ２８と、マグネットホルダ３０と、複数段のステータ翼ユニット２３と、ステータ円筒部２６と、軸受５１、５２、５５とを備えている。筐体１０は、ケーシング１１と、ベース１２とで構成されている。筐体１０は、ロータ２０と、モータ２８と、マグネットホルダ３０と、複数段のステータ翼ユニット２３と、ステータ円筒部２６と、軸受５１、５２、５５とを収容している。
第１実施形態の真空ポンプ１００は、図１に示すように、筐体１０と、ロータ２０と、モータ２８と、マグネットホルダ３０と、複数段のステータ翼ユニット２３と、ステータ円筒部２６と、軸受５１、５２、５５とを備えている。筐体１０は、ケーシング１１と、ベース１２とで構成されている。筐体１０は、ロータ２０と、モータ２８と、マグネットホルダ３０と、複数段のステータ翼ユニット２３と、ステータ円筒部２６と、軸受５１、５２、５５とを収容している。
【0012】
筐体１０は、図１に示すように、第１吸気口Ｐ１１、第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３と、排気口Ｐ２１とを備えている。排気対象空間を備えた排気対象装置は、吸気口Ｐ１1に接続される。排気口には、補助ポンプが接続される。筐体１０の内部空間には、第１吸気口Ｐ１１から排気口Ｐ２１に至る排気経路が形成される。この排気経路には、複数の第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３が接続されている。真空ポンプ１００をリークディテクタとして用いるときには、複数の第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３に、それぞれ試験体からの配管が接続される。
【0013】
ロータ２０は、シャフト２７と、複数段のロータ翼ユニット２１と、ロータ円筒部２５とを含む。
【0014】
シャフト２７は、ロータ２０の軸線方向Ａ１に延びている。以下の説明において、軸線方向Ａ１において、ケーシング１１からベース１２に向かう方向が下方と定義され、その反対の方向が上方と定義される。
【0015】
シャフト２７は、軸受５１、５２、磁気軸受５５によって、筐体１０に回転可能な状態で固定されている。より詳細には、シャフト２７の上方は、軸受５１、磁気軸受５５によって、マグネットホルダ３０に固定され、マグネットホルダ３０は、ケーシング１１に固定されている。シャフト２７の下方は、軸受５２によって、ベース１２に固定されている。
【0016】
モータ２８は、ロータ２０を回転駆動する。モータ２８は、モータロータ２８ａとモータステータ２８ｂとを含む。モータロータ２８ａは、シャフト２７に取り付けられている。モータステータ２８ｂは、ベース１２に取り付けられている。モータステータ２８ｂは、モータロータ２８ａと向かい合って配置されている。
【0017】
複数のロータ翼ユニット２１は、それぞれシャフト２７に接続されている。複数段のロータ翼ユニット２１は、軸線方向Ａ１に互いに間隔をおいて配置されている。それぞれのロータ翼ユニット２１は、複数のロータ翼２２を含む。図示を省略するが、複数のロータ翼２２は、それぞれシャフト２７を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数のロータ翼ユニット２１の１つ、及び、複数のロータ翼２２の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼ユニット２１及び他のロータ翼２２の符号は省略されている。
【0018】
複数段のステータ翼ユニット２３は、上下に配置される２つのスペーサ４５に挟み込まれて、ケーシング１１の内面に積層されている。複数段のステータ翼ユニット２３は、軸線方向Ａ１において、互いに間隔をおいて配置されている。複数段のステータ翼ユニット２３は、それぞれ複数段のロータ翼ユニット２１の間に配置されている。それぞれのステータ翼ユニット２３は、複数のステータ翼２４を含む。図示を省略するが、複数段のステータ翼２４は、それぞれシャフト２７を中心として放射状に延びている。
【0019】
複数段のロータ翼ユニット２１と複数段のステータ翼ユニット２３とは、ターボ分子ポンプを構成する。なお、図面においては、複数のステータ翼ユニット２３の１つ、及び、複数のステータ翼２４の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼ユニット２３及び他のステータ翼２４の符号は省略されている。
【0020】
ロータ円筒部２５は、ロータ翼ユニット２１の下方に配置されている。ロータ円筒部２５は、軸線方向Ａ１に延びている。
【0021】
ステータ円筒部２６は、ロータ円筒部２５の径方向外方に配置されている。ステータ円筒部２６は、筐体１０に固定されている。ステータ円筒部２６は、ロータ円筒部２５の径方向において、ロータ円筒部２５と向かい合って配置されている。ステータ円筒部２６の内周面には、らせん状溝が設けられている。ロータ円筒部２５とステータ円筒部２６とは、ネジ溝ポンプを構成する。
【0022】
マグネットホルダ３０は、磁気軸受５５の内周側の永久磁石を保持するとともに、内周側の永久磁石の径方向および軸方向の位置決めを行うものである。マグネットホルダ３０は、ケーシング１１の内壁に嵌合することで、ロータ２０のシャフト２７の上方部分に配置されている。マグネットホルダ３０は、図３に示すように、中央部３３と、外輪部３１と、中央部３３と外輪部３１とを接続する梁３２とを備えている。外輪部３１は、ケーシング１１の内壁に嵌めあわされている。中央部３３には、磁気軸受５５の内周側の永久磁石が固定されている。一方、磁気軸受５５の外周側の永久磁石は、ロータ２０に固定されている。、磁気軸受５５の内周側の永久磁石と外周側の永久磁石との磁力による反発力により、ロータ２０を軸線方向Ａ１の上方に向けて所定位置に浮上させている。
【0023】
図３に示すように、マグネットホルダ３０の外輪部３１には段差がある。段差は、外周面３１ａと径方向の面３１ｂとで構成されている。また、ケーシング１１の内壁にも段差がある。段差は、図２に示すように、上下方向に延びる面１１ａと径方向に延びる面１１ｂとで構成されている。マグネットホルダ３０の外周面３１ａは、ケーシング１１の内壁面１１ａに接するように、嵌め合わされている。また、マグネットホルダ３０の面３１ｂは、ケーシング１１の段差を構成する面１１ｂに接している。このような構成に起因して、ケーシング１１の内壁の段差においては、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間に隙間Ｓ１が形成されている。隙間Ｓ１が閉じた空間であると、ガス溜まりとなり、スローリークの原因となる。
【0024】
本実施形態においては、マグネットホルダ３０の外輪部３１の外周面３１ａに、溝３１１が形成されている。溝３１１は、隙間Ｓ１をケーシング１１内部の他の空間と連通させる。他の空間は、排気経路となっている。したがって、隙間Ｓ１が排気されやすくなり、スローリークが抑制される。詳細には、溝３１１は、スペーサ４５とケーシング１１との間に存在する微小な隙間（図１参照）に連通している。スペーサ４５とケーシング１１との間に存在する隙間は、下方において吸気口Ｐ１２と連通しているので、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとの間の排気経路に連通している。従って、隙間Ｓ１内の気体は、溝３１１、スペーサ４５とケーシング１１との間に存在する隙間を経由して、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとの間の排気経路に排気される。
【0025】
溝３１１は、図４に示すように、外輪部３１の梁３２に接続する部分に形成されているのが好ましい。この部分は、溝３１１を加工する際に、梁３２のために剛性が高く、歪みにくい。マグネットホルダ３０が歪むと、ロータ２０の回転軸が中心からずれるなど好ましくない。溝３１１は、梁３２と外輪部３１の接続部のアールＲ１，Ｒ２の外側の端部を通る半径Ｒ１１、Ｒ２２（半径とは、当該端部と外輪部３１の中心とを結ぶ直線をいう。）の間に配置されるのが好ましい。
【0026】
＜第１実施形態の変形例１Ａ＞
上記第１実施形態においては、図２に示すように、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間の隙間Ｓ１と、ケーシング１１内部の排気経路とを連通させる溝３１１がマグネットホルダ３０に形成されている。変形例１Ａにおいては、図５に示すように、溝１１１ａは、ケーシング１１の上下方向に延びる面１１ａに形成されている。その他の変形例１Ａの構成は第１実施形態と同じである。変形例１Ａの場合も、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間の隙間Ｓ１に溜まるガスが溝１１１ａを経由して、排気経路に排出されやすくなり、スローリークの発生が抑制される。
上記第１実施形態においては、図２に示すように、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間の隙間Ｓ１と、ケーシング１１内部の排気経路とを連通させる溝３１１がマグネットホルダ３０に形成されている。変形例１Ａにおいては、図５に示すように、溝１１１ａは、ケーシング１１の上下方向に延びる面１１ａに形成されている。その他の変形例１Ａの構成は第１実施形態と同じである。変形例１Ａの場合も、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間の隙間Ｓ１に溜まるガスが溝１１１ａを経由して、排気経路に排出されやすくなり、スローリークの発生が抑制される。
【0027】
＜第１実施形態の変形例１Ｂ＞
変形例１Ａにおいては、溝１１１ａは、ケーシング１１の上下方向に延びる面１１ａに形成されている。これに対して、変形例１Ｂでは、図６に示すように、溝１１１ｂは、ケーシング１１の段差の径方向に延びる面１１ｂに形成されている。その他の変形例１Ｂの構成は、第１実施形態と同じである。変形例１Ｂの場合も、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間の隙間Ｓ１に溜まるガスが溝１１１ｂを経由して、排気経路に排出されやすくなり、スローリークの発生が抑制される。詳細には、溝１１１は、軸線方向の上方においてマグネットホルダ３０とケーシング１１との間に存在する隙間に連通している。軸線方向の上方においてマグネットホルダ３０とケーシング１１との間に存在する隙間は、マグネットホルダ３０の上方の空間に連通している。従って、隙間Ｓ１内の気体は、溝３１１、マグネットホルダ３０とケーシング１１との間に存在する隙間を経由して、ターボ分子ポンプの上流の排気経路に排気される。
変形例１Ａにおいては、溝１１１ａは、ケーシング１１の上下方向に延びる面１１ａに形成されている。これに対して、変形例１Ｂでは、図６に示すように、溝１１１ｂは、ケーシング１１の段差の径方向に延びる面１１ｂに形成されている。その他の変形例１Ｂの構成は、第１実施形態と同じである。変形例１Ｂの場合も、ケーシング１１とマグネットホルダ３０の間の隙間Ｓ１に溜まるガスが溝１１１ｂを経由して、排気経路に排出されやすくなり、スローリークの発生が抑制される。詳細には、溝１１１は、軸線方向の上方においてマグネットホルダ３０とケーシング１１との間に存在する隙間に連通している。軸線方向の上方においてマグネットホルダ３０とケーシング１１との間に存在する隙間は、マグネットホルダ３０の上方の空間に連通している。従って、隙間Ｓ１内の気体は、溝３１１、マグネットホルダ３０とケーシング１１との間に存在する隙間を経由して、ターボ分子ポンプの上流の排気経路に排気される。
【0028】
＜第２実施形態＞
第１実施形態の真空ポンプ１００においては、ケーシング１１の段差にマグネットホルダ３０が嵌め合わせられている。これに対して、第２実施形態の真空ポンプ１００ａは、図７に示すように、ケーシング１１の段差に、スペーサ４０が嵌め合わせられている。第２実施形態の真空ポンプ１００ａのその他の部分の構成は、第１実施形態の真空ポンプ１００の構成と同じである。第２実施形態においては、マグネットホルダ３０は、ケーシング１１の内壁の段差以外の部分に固定されている。または、マグネットホルダ３０は、ケーシング１１と一体となっている。
第１実施形態の真空ポンプ１００においては、ケーシング１１の段差にマグネットホルダ３０が嵌め合わせられている。これに対して、第２実施形態の真空ポンプ１００ａは、図７に示すように、ケーシング１１の段差に、スペーサ４０が嵌め合わせられている。第２実施形態の真空ポンプ１００ａのその他の部分の構成は、第１実施形態の真空ポンプ１００の構成と同じである。第２実施形態においては、マグネットホルダ３０は、ケーシング１１の内壁の段差以外の部分に固定されている。または、マグネットホルダ３０は、ケーシング１１と一体となっている。
【0029】
スペーサ４０、４５は、ステータ翼ユニット２３をケーシング１１に固定するための部品である。スペーサ４０は、最上段のスペーサであり、スペーサ４５よりも、軸線方向Ａ１の上方に配置されている。スペーサ４０、４５は、リング状である。スペーサ４０の外周面４１は、ケーシング１１の内壁の段差の上下方向に延びる面１１ａに接するように嵌め合わせて配置されている。
【0030】
スペーサ４０は、図８に示すように、外周面４１と上面４２とを備えている。また、ケーシング１１の内壁の段差は、上下方向に延びる面１１ａと径方向に延びる面１１ｂとで構成されている。スペーサ４０の外周面４１は、ケーシング１１の内壁面１１ａに接するように、嵌め合わされている。また、スペーサ４０の上面４２は、ケーシング１１の段差を構成する面１１ｂに接している。ケーシング１１の内壁の段差においては、ケーシング１１とスペーサ４０の間に隙間Ｓ１ａが形成されている。隙間Ｓ１ａが閉じた空間であると、ガス溜まりとなり、スローリークの原因となる。
【0031】
本実施形態においては、スペーサ４０の外周面４１に、溝４１１が形成されている。溝４１１は、隙間Ｓ１ａをケーシング１１内部の他の空間と連通させる。他の空間は、排気経路となっている。したがって、隙間Ｓ１ａが排気されやすくなり、スローリークが抑制される。詳細には、溝４１１は、最上段のスペーサ４０よりも排気下流側に位置する他のスペーサ４５とケーシング１１との間に存在する微小な隙間（図７参照）に連通している。スペーサ４５とケーシング１１との間に存在する隙間は、下方において吸気口Ｐ１２と連通しているので、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとの間の排気経路に連通している。従って、隙間Ｓ１ａ内の気体は、溝４１１、スペーサ４５とケーシング１１との間に存在する隙間を経由して、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとの間の排気経路に排気される。
【0032】
第２実施形態では、溝４１１がスペーサ４０に形成されている場合について説明した。溝は、変形例１Ａ、変形例１Ｂと同様に、ケーシング１１に形成されていてもよい。この場合も、第２実施形態と同様に、隙間Ｓ１ａが排気されやすくなり、スローリークが抑制される。
【0033】
上記の実施形態に係る真空ポンプ１００、１００ａは、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとが一体化された複合型ポンプである。しかし、ターボ分子ポンプは省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１００、１００ａは、ネジ溝ポンプのみで構成されてもよい。逆に、ネジ溝ポンプは省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１００、１００ａは、ターボ分子ポンプのみで構成されてもよい。
【0034】
＜第３実施形態＞
本実施形態は、第１実施形態の真空ポンプ１００または第２実施形態の真空ポンプ１００ａを用いたリークディテクタ５００である。なおここでは、真空ポンプ１００とは、第１実施形態の真空ポンプ１００または第２実施形態の真空ポンプ１００ａを指すものとする。
本実施形態は、第１実施形態の真空ポンプ１００または第２実施形態の真空ポンプ１００ａを用いたリークディテクタ５００である。なおここでは、真空ポンプ１００とは、第１実施形態の真空ポンプ１００または第２実施形態の真空ポンプ１００ａを指すものとする。
【0035】
リークディテクタ５００は、図９に示すように、真空ポンプ１００と、分析管２００と、粗引きポンプ３００と、テストポート４０１と、校正用標準リーク１１０と、真空計１２０と、バルブ１０１～１０６と、それらを接続する配管Ｌ１～Ｌ５とを備えている。
【0036】
リークディテクタ５００は、試験体のキャリアガス漏れ試験方法に適用することができる。試験方法は、試験体の内部を真空状態にし、外部から試験体内部に侵入するキャリアガスを分析するか、または、試験体内部にキャリアガスを充填し、試験体外部に漏れ出すキャリアガスを分析するかのいずれかである。キャリアガスは、ヘリウムガスが好ましい。
【0037】
テストポート４０１は、漏れたキャリアガスを捕集できるように、試験体４００に、または、試験体４００を収容する容器に接続される。テストポート４０１は、配管Ｌ１によって、粗引きポンプ３００に接続される。配管Ｌ１の途中には、粗引きバルブ１０３が配置されている。粗引きポンプ３００は、たとえば、油回転ポンプである。
【0038】
分析管２００は、配管Ｌ５により、真空ポンプ１００の第１吸気口Ｐ１１に接続されている。つまり、分析管２００は、真空ポンプ１００により排気される。真空ポンプ１００の排気口Ｐ２１は、配管Ｌ４を経由して、粗引きポンプ３００に接続されている。配管Ｌ４の途中には、フォアラインバルブ１０６が配置されている。つまり、粗引きポンプ３００は、真空ポンプ１００の補助ポンプとして利用される。
【0039】
テストポート４０１は、配管Ｌ２、テストバルブ１０４を経由して、真空ポンプ１００の第２吸気口Ｐ１２に接続されている。また、テストポート４０１は、配管Ｌ３、テストバルブ１０５を経由して、真空ポンプ１００の第２吸気口Ｐ１３に接続されている。真空ポンプ１００の内部において、第１吸気口Ｐ１１から排気口Ｐ２１に至る排気経路が形成されている。第２吸気口Ｐ１２、Ｐ１３は、排気経路の中途に接続されている。第２吸気口Ｐ１２は、別の第２吸気口Ｐ１３よりも排気経路の上流側に接続されている。第２吸気口Ｐ１２は、真空ポンプ１００のターボ分子ポンプとネジ溝ポンプの間に接続されている。別の第２吸気口Ｐ１３は、ネジ溝ポンプの途中に接続されている。
【0040】
図９に示すように、配管Ｌ１には、ベントバルブ１０１、校正用バルブ１０２、真空計１２０が接続されている。校正用バルブ１０２には、校正用標準リーク１１０が接続されている。校正用標準リーク１１０は着脱可能である。ベントバルブ１０１は、配管Ｌ１を大気圧に開放する。真空計１２０は、配管Ｌ１内の圧力を検出できる。
【0041】
次に、リークディテクタ５００を用いた試験体のリークチェック方法について説明する。なお、リークチェック方法は、逆拡散測定法と呼ばれる原理を用いている。逆拡散測定法は、真空ポンプ１００の排気経路の中途又は下流側にキャリアガス（リーク検査用ガス）を供給して、排気経路を上流側に逆拡散したキャリアガスを分析管２００で検出してリーク量を求めるものである。
【0042】
リークディテクタ５００を起動すると、粗引きポンプ３００、真空ポンプ１００、分析管２００が起動される。バルブ１０６は開状態とされ、その他のバルブ１０１～１０５は閉状態とされる。分析管２００内を真空ポンプ１００を用いて所定のバックグラウンド値（真空度）になるまで排気する。
【0043】
テストポート４０１に蓋をした後に、粗引きバルブ１０３が開かれて配管Ｌ１が粗引きポンプ３００により排気される。配管Ｌ１が所定圧力になったら、粗引きバルブ１０３を閉じた後に、テストバルブ１０５および校正用バルブ１０２を開く。その結果、校正用標準リーク１１０内の校正用キャリアガス（ヘリウムガス）が配管Ｌ１へと流出し、テストバルブ１０５を介して吸気口Ｐ１３から真空ポンプ１００の排気経路に達し、校正が行われる。
【0044】
次に試験体のリーク検査を行う。パッケージのような小さな容器を試験体としてリーク検査をする場合について説明する。試験体にはキャリアガスを充填する。試験体を、テストポート４０１に接続された真空容器にいれる。粗引きバルブ１０３が開いて、配管Ｌ１内を粗引きポンプ３００により排気する。配管Ｌ１内が所定圧力になったならば、粗引きバルブ１０３を閉じ、テストバルブ１０５を開く。試験体からリークしたキャリアガスは、テストバルブ１０５を介して、真空ポンプ１００の第２吸気口Ｐ１３を介して真空ポンプ１００内の排気経路に達する。逆拡散したキャリアガスが分析管２００により検出されて、リーク量が測定される。
【0045】
以上は、配管Ｌ３、テストバルブ１０５、第２吸気口Ｐ１３を利用して、リーク量を測定する場合について説明した。同様にして、配管Ｌ２、テストバルブ１０４、第２吸気口Ｐ１２を利用して、リーク量を測定すれば、より高感度の測定を行うことができる。
【0046】
本実施形態においては、第１実施形態の真空ポンプ１００または第２実施形態の真空ポンプ１００ａを用いるので、ケーシング１１と他の部品（マグネットホルダ３０またはスペーサ４０）のとの間の隙間Ｓ１、Ｓ１ａが排気されやすくなっている。したがって、隙間Ｓ１、Ｓ１ａに閉じ込められた気体の、分析管２００におけるキャリアガス検出に対する影響を低減することができる。リークガスの検出速度を上げることができる。
【0047】
以上、本開示の複数の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
（３）態様
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
（３）態様
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
【0048】
（第１項）一態様に係る真空ポンプは、
所定の回転方向に回転可能なロータと、
前記ロータを収容するケーシングと、
前記ケーシングの内壁と対向するように配置される固定部品とを備え、
前記ケーシングと内壁と、前記固定部品との間には、隙間が形成されており、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品とのいずれかには、前記隙間と、前記ケーシングの内部の排気経路と、を連通させる溝が形成されている。
所定の回転方向に回転可能なロータと、
前記ロータを収容するケーシングと、
前記ケーシングの内壁と対向するように配置される固定部品とを備え、
前記ケーシングと内壁と、前記固定部品との間には、隙間が形成されており、
前記ケーシングの内壁と、前記固定部品とのいずれかには、前記隙間と、前記ケーシングの内部の排気経路と、を連通させる溝が形成されている。
【0049】
第１項に記載の真空ポンプは、ケーシングと、ケーシングの内壁に対向して配置される固定部品との間に隙間が形成されており、この隙間を排気するための溝が、ケーシング又は固定部品に設けられているので、スローリークを抑制できる。
【0050】
（第２項）第１項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ケーシングは、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記固定部品は、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差とが互いに嵌合することによって、前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差との間に前記隙間が形成されている。
前記ケーシングは、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記固定部品は、径方向に延びる面と軸方向に延びる面とを有する段差を有し、
前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差とが互いに嵌合することによって、前記ケーシングの段差と前記固定部品の段差との間に前記隙間が形成されている。
【0051】
第２項に記載の真空ポンプは、ケーシングの段差と、固定部品の段差が互いに嵌め合わされて構成されているので、隙間が形成されやすく、ケーシング又は固定部品に溝を形成することで、スローリークを抑制できる。
【0052】
（第３項）第１項または第２項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータ翼とともにターボ分子ポンプを構成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記隙間は、前記複数のスペーサと前記ケーシングの内壁との間に形成された隙間を介して、前記ケーシングの内部の排気経路と連通している。
前記ロータ翼とともにターボ分子ポンプを構成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記隙間は、前記複数のスペーサと前記ケーシングの内壁との間に形成された隙間を介して、前記ケーシングの内部の排気経路と連通している。
【0053】
第３項に記載の真空ポンプは、ケーシングと固定部品の間の隙間が、前記溝と、スペーサと前記ケーシングの内壁との間に形成された隙間を介して、前記ケーシングの内部の排気経路と連通している。これによって、ケーシングと固定部品の間の隙間がガス溜まりとなって、スローリークの原因となるのを防止する。
【0054】
（第４項）第１項または第２項に記載の真空ポンプにおいて、前記固定部品は、永久磁石磁気軸受の永久磁石を保持するマグネットホルダである。
【0055】
第４項に記載の真空ポンプは、マグネットホルダを備えているので、永久磁石磁気軸受の永久磁石を適切に保持できる。また、ケーシングと、マグネットホルダとの間に隙間が形成されており、この隙間を排気するための溝が、ケーシング又はマグネットホルダに設けられているので、スローリークを抑制できる。
【0056】
（第５項） 第４項に記載の真空ポンプにおいて、前記溝は、前記マグネットホルダに形成されている。
【0057】
第５項に記載の真空ポンプは、マグネットホルダに溝が形成されているので、ケーシングに溝を形成するのに比べて加工が容易である。
【0058】
（第６項）第５項に記載の真空ポンプにおいて、
前記マグネットホルダは、中心から放射方向に延びる梁と、前記梁の外側で前記梁に接続され、前記ケーシングと接する外輪部とを有し、
前記溝は、前記外輪部の前記梁に接続する部分に形成されている。
前記マグネットホルダは、中心から放射方向に延びる梁と、前記梁の外側で前記梁に接続され、前記ケーシングと接する外輪部とを有し、
前記溝は、前記外輪部の前記梁に接続する部分に形成されている。
【0059】
第６項に記載の真空ポンプは、剛性の高い梁に接続する部分に溝が形成されているため、溝を形成する際に、マグネットホルダがひずみにくい。
【0060】
（第７項）第１項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータは、ロータ翼を備え、
前記真空ポンプは、
前記ロータ翼ととともにターボ分子ポンプを形成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記固定部品は、前記複数のスペーサのうちの最上段のスペーサである。
前記ロータは、ロータ翼を備え、
前記真空ポンプは、
前記ロータ翼ととともにターボ分子ポンプを形成するステータ翼と、
前記ステータ翼を軸方向に上下から挟み、位置決めする複数のスペーサと、
をさらに備え、
前記固定部品は、前記複数のスペーサのうちの最上段のスペーサである。
【0061】
第７項に記載の真空ポンプによれば、ケーシングと、スペーサとの間に隙間が形成されており、この隙間を排気するための溝が、ケーシング又はスペーサに設けられているので、スローリークを抑制できる。
【0062】
（第８項）第７項に記載の真空ポンプにおいて、前記溝は、前記最上段のスペーサに形成されている。
【0063】
第８項に記載の真空ポンプは、スペーサに溝が形成されているので、ケーシングに溝を形成するのに比べて加工が容易である。
【0064】
（第９項）第１項～第４項または第７項に記載の真空ポンプにおいて、前記溝は、前記ケーシングに形成されている。
【0065】
第９項に記載の真空ポンプは、ケーシングに溝が形成されているため、固定部品に溝を形成する場合に歪が入るリスクを抑制することができる。
【0066】
（第１０項）一態様に係るリークディテクタは、
第１項～第９項のいずれか１項に記載の真空ポンプであって、第１吸気口と、排気口と、前記第１吸気口と前記排気口との間の排気経路に接続された第２吸気口とを備えた真空ポンプと、
リーク検査用ガスを検出する分析管と、
を備え、
前記分析管は、前記真空ポンプの第１吸気口に接続され、
被試験体は、前記真空ポンプの第２吸気口に接続されている。
第１項～第９項のいずれか１項に記載の真空ポンプであって、第１吸気口と、排気口と、前記第１吸気口と前記排気口との間の排気経路に接続された第２吸気口とを備えた真空ポンプと、
リーク検査用ガスを検出する分析管と、
を備え、
前記分析管は、前記真空ポンプの第１吸気口に接続され、
被試験体は、前記真空ポンプの第２吸気口に接続されている。
【0067】
第１０項に記載のリークディテクタにおいては、ケーシングと他の部品との間の隙間Ｓ１、Ｓ１ａが排気されやすくなっている。したがって、隙間Ｓ１、Ｓ１ａに閉じ込められた気体の、分析管２００におけるキャリアガス検出に対する影響を低減することができる。リークガスの検出速度を上げることができる。
【符号の説明】
【0068】
１０ 筐体
１１ ケーシング
１２ ベース
２０ ロータ
２１ ロータ翼ユニット
２２ ロータ翼
２３ ステータ翼ユニット
２４ ステータ翼
２５ ロータ円筒部
２６ ステータ円筒部
２７ シャフト
２８ モータ
３０ マグネットホルダ
３１ マグネットホルダの外輪部
３２ マグネットホルダの梁
４０ スペーサ
１００ 真空ポンプ
２００ 分析管
３００ 粗引きポンプ
４００ 試験体
１１１ａ、１１１ｂ、３１１、４１１ 溝
Ｐ１１ 第１吸気口
Ｐ１２、Ｐ１３ 第２吸気口
Ｐ２１ 排気口
Ｒ１、Ｒ２ アール部
Ｒ１１、Ｒ２２ 半径
Ｓ１、Ｓ１ａ 隙間
１１ ケーシング
１２ ベース
２０ ロータ
２１ ロータ翼ユニット
２２ ロータ翼
２３ ステータ翼ユニット
２４ ステータ翼
２５ ロータ円筒部
２６ ステータ円筒部
２７ シャフト
２８ モータ
３０ マグネットホルダ
３１ マグネットホルダの外輪部
３２ マグネットホルダの梁
４０ スペーサ
１００ 真空ポンプ
２００ 分析管
３００ 粗引きポンプ
４００ 試験体
１１１ａ、１１１ｂ、３１１、４１１ 溝
Ｐ１１ 第１吸気口
Ｐ１２、Ｐ１３ 第２吸気口
Ｐ２１ 排気口
Ｒ１、Ｒ２ アール部
Ｒ１１、Ｒ２２ 半径
Ｓ１、Ｓ１ａ 隙間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】