特開 2022-185454 プローブユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022185454

(43)【公開日】2022-12-14

(54)【発明の名称】プローブユニット

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20221207BHJP

   G01R 31/26 20200101ALI20221207BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

G01R31/26 J

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021093155

(22)【出願日】2021-06-02

(71)【出願人】

【識別番号】000153018

【氏名又は名称】株式会社日本マイクロニクス

(74)【代理人】

【識別番号】100180275

【弁理士】

【氏名又は名称】吉田 倫太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100161861

【弁理士】

【氏名又は名称】若林 裕介

(72)【発明者】

【氏名】成田 聡

(72)【発明者】

【氏名】原子 翔

(72)【発明者】

【氏名】福士 樹希也

【テーマコード（参考）】

2G003

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G003AA07

2G003AG03

2G003AH05

2G011AA10

2G011AA12

2G011AA21

2G011AA22

2G011AB01

2G011AC14

2G011AC32

2G011AE01

2G011AF06

(57)【要約】

【課題】高周波電路への接触子の接合位置がズレても、接触子の自由長を一定とすることができ、電極に対して安定して接触でき、測定品質を向上させる。
【解決手段】本発明に係るプローブユニットは、本体部に取り付けられ、同軸ケーブルを介してテスタとの間で電気信号を授受する同軸コネクタと、同軸コネクタと接続して電気信号を伝送する高周波電路と、先端部が被検査体の電極に対して電気的に接触して、高周波電路との間で電気信号を授受する複数の接触子と、接触子と高周波電路との間に介在する台座とを備え、台座は、各接触子の自由長が所定長となるように、接触子にそれぞれ設けられている。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

本体部に取り付けられ、同軸ケーブルを介してテスタとの間で電気信号を授受する同軸コネクタと、
前記同軸コネクタと接続して電気信号を伝送する高周波電路と、
先端部が被検査体の電極に対して電気的に接触して、前記高周波電路との間で電気信号を授受する複数の接触子と、
前記接触子と前記高周波電路との間に介在する台座と
を備え、
前記台座は、前記各接触子の自由長が所定長となるように、前記接触子にそれぞれ設けられていることを特徴とするプローブユニット。

【請求項2】

前記各接触子が、カンチレバー型接触子であることを特徴とする請求項１に記載のプローブユニット。

【請求項3】

前記各接触子は、それぞれ前記台座と一体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブユニット。

【請求項4】

前記各接触子は、貫通孔である空間域が形成されており、前記空間域の周囲の第１の縁部と第２の縁部とを有し、
前記第１の縁部と前記第２の縁部の幅長が所定長となるように、前記空間域が形成される
ことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のプローブユニット。

【請求項5】

前記複数の接触子は、信号線としての接触子と、グラウンド線としての接触子とを有することを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載のプローブユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プローブユニットに関し、例えば、半導体集積回路の電気的特性を検査する検査装置に用いられるプローブユニットに適用することができる。

【背景技術】

【0002】

例えば、高周波回路の電気的特性を検査する場合、同軸ケーブルに接続された高周波プローブが用いられる（特許文献１参照）。

【0003】

特許文献１の記載技術は、高周波プローブの構成について開示されており、信号線とＧＮＤ線との間に中空構造を備えることが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１１－１９６８２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、被検査体の電極パッドは、高さのバラツキがある。そのため、接触子をカンチレバー型プローブとすることで、オーバドライブにより、接触子が弾性変形するので、高さのバラツキがあっても、電極パッドに対して接触が可能となる。

【0006】

しかしながら、高周波電路に接触子を接合する際、接触子の接合位置がズレてしまうと、カンチレバー型接触子の自由長が変わってしまい、接触子の圧力の大きさがばらついていしまう。その結果、接触子が電極パッドに対して良好に接触せず、測定品質に悪影響を及ぼしていた。

【0007】

そのため、上述した課題に鑑み、高周波電路への接触子の接合位置がズレても、接触子の自由長を一定とすることができ、電極に対して安定に接触でき、測定品質を向上させることができるプローブユニットが求められている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

かかる課題を解決するため、本発明に係るプローブユニットは、本体部に取り付けられ、同軸ケーブルを介してテスタとの間で電気信号を授受する同軸コネクタと、同軸コネクタと接続して電気信号を伝送する高周波電路と、先端部が被検査体の電極に対して電気的に接触して、高周波電路との間で電気信号を授受する複数の接触子と、接触子と高周波電路との間に介在する台座とを備え、台座は、各接触子の自由長が所定長となるように、接触子にそれぞれ設けられていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、接触子の自由長を一定とすることができ、電極に対して安定に接触でき、測定品質を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図２における部分Ａの部分拡大図である。

【図2】第１の実施形態に係るプローブユニットの全体構成を示す全体構成図である。

【図3】第１の実施形態に係る接触子の接合構造の側面図と底面図である。

【図4】従来の接触子の接合構造の側面図と底面図である。

【図5】第１の実施形態において、被検査体の電極端子に、従来の接触子が接触するときの様子を説明する説明図である。

【図6】従来の接触子の接合位置がズレたモデルと、オーバドライブ時の応力解析図である。

【図7】従来の接触子に生じる圧力とオーバドライブとの関係を示す図である。

【図8】第１の実施形態の接触子の接合位置がズレたモデルと、オーバドライブ時の応力解析図である。

【図9】第１の実施形態の接触子に生じる圧力とオーバドライブとの関係を示す図である。

【図10】第２の実施形態のプローブユニットが備える接触子の部分拡大図と底面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

（Ａ）第１の実施形態
以下では、本発明に係るプローブユニットの第１の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

【0012】

（Ａ－１）第１の実施形態の構成
図２は、第１の実施形態に係るプローブユニットの全体構成を示す全体構成図である。図１は、図２における部分Ａの部分拡大図である。

【0013】

図２において、第１の実施形態に係るプローブユニット１は、本体部１１、同軸コネクタ１２、高周波電路１３、複数の接触子１４（１４ａ～１４ｃ）、複数の台座１５を備える。

【0014】

なお、接触子１４ａ～１４ｃ等の共通構成を説明するときには、接触子１４等と表記して説明し、個別構成を説明するときには接触子１４ａ等と表記して説明する。他の構成要素の表記も同様である。

【0015】

プローブユニット１は、例えば、被検査体としての高周波回路の電気的特性を検査する際に用いられる高周波プローブである。プローブユニット１はプローブヘッドとも呼ばれる。

【0016】

プローブユニット１は、３本の接触子１４を備え、ＧＳＧ（Ground-Signal-Ground）タイプの高周波プローブとする場合を例示するが、これに限らず、２本の接触子１４を備えたＧＳタイプ、４本の接触子１４を備えたＧＳＧＳタイプ、ＧＳＳＧタイプなどの高速伝送線を備えた高周波プローブにも適用できる。

【0017】

プローブユニット１は、同軸ケーブルを介してテスタ（図示しない）側に接続すると共に、被検査体の電極端子と電気的に接触可能である。例えば、検査の際、プローブユニット１は、同軸コネクタ１２がテスタからの電気信号を入力し、高周波電路１３が電気信号を各接触子１４に中継し、各接触子１４が、電気的に接触する被検査体の電極端子に電気信号を供給する。また、プローブユニット１は、電気信号が供給された被検査体が出力した電気信号をテスタに与える。このようにして、テスタが被検査体の電気的特性を検査することができる。

【0018】

本体部１１は、基部１１１と、支持部１１２とを有する。本体部１１の支持部１１２は、高周波電路１３に接合している各接触子１４の先端が、被検査体の電極端子に確実に電気的接触できるようにするため、同軸コネクタ１２及び高周波電路１３を傾けて支持している。

【0019】

同軸コネクタ１２は、テスタに接続する同軸ケーブルと接続するものである。例えば、図２に例示するように、同軸コネクタ１２は、その姿勢を傾けた状態で固定具に固定されて、本体部１１の支持部１１２に取り付けられる。

【0020】

高周波電路１３は、同軸コネクタ１２及び各接触子１４に電気信号を中継する電路であり、例えば、同軸セミリジットケーブルを適用できる。高周波電路１３は、一方の端部は同軸コネクタ１２に接続し、他方の端部は複数の接触子１４と接合する。

【0021】

なお、高周波電路１３の他方端部は、接触子１４を水平にするため、一部を切除して、水平な端面（「接合面」とも呼ぶ。）１３１を形成する。高周波電路１３は、端面１３１に、複数の接触子１４を接合する。

【0022】

接触子１４は、被検査体の電極端子に対して電気的に接触するものであり、高周波プローブのグラウンド（Ground）線又は信号（Signal）線である。

【0023】

接触子１４は、導電性材料で形成される。接触子１４は、一方の端部が、台座１５と接合し、当該台座１５を介して高周波電路１３の端面１３１に接合され、他方の端部が、下面側に、被検査体の電極端子と電気的に接触する接触部１６を有する。このように、接触子１４は、台座１５を介して高周波電路１３の端面１３１に支持され、厚さが一定のカンチレバー型プローブ（接触子）である。また、接触子１４は、板厚方向の厚さが一定であり、長手方向において被検査体側に行くほど幅長が小さくなっている、平面視がほぼ三角形状である。なお、接触子１４の形状はこれに限定されない。

【0024】

接触部１６は、被検査体の電極端子に電気的に接触する部分であり、導電性材料で形成されている。この実施形態では、接触部１６が円柱である場合を例示するが、接触部１６の形状は限定されず、三角錐、角錐等であってもよい。

【0025】

台座１５は、接触子１４と、高周波電路１３の端面１３１との間に介在させる部材であり、例えばニッケル合金などの導電性部材で形成される。台座１５は、高周波電路１３に接触子１４を接合する際、カンチレバーである接触子１４の自由長を保持するものである。台座１５は、接触子１４の自由長を調整する自由長調整部材ともいえる。

【0026】

また、台座１５は、接触子１４が被検査体の電極端子に接触する際、各接触子１４に生じる力学的な物理量（例えば、圧力、応力、せん断力、力のモーメント等）を、複数の接触子１４の間で、ほぼ同じにすることができるので、安定した接触ができ、測定品質を向上させることができる。

【0027】

なお、台座１５は接触子１４毎に設けられる。台座１５は、一定の厚さを持つ部材であり、台座１５の平面視形状は、特に限定されないが、矩形、正方形等とすることができる。

【0028】

次に、高周波電路１３の端面１３１に接合する接触子１４の接合構造を、図面を用いて説明する。

【0029】

図３（Ａ）は、第１の実施形態に係る接触子１４の接合構造の側面図であり、図３（Ｂ）は底面図である。図４は、従来の接触子９４の接合構造を示す側面図であり、図４（Ｂ）は底面図である。

【0030】

図５は、被検査体の電極端子５ａ～５ｃに対して接触子９４ａ～９４ｃが接触するときの様子を説明する説明図である。なお、図５では、接触子９４ａ～９４ｃが接合する高周波電路９３の接合面については、抽象化して表記している。

【0031】

図４（Ａ）、図４（Ｂ）に例示するように、従来、高周波電路９３の端面９３１と接触子９４とは、ロウ付け、超音波接合、抵抗溶接、レーザ溶接などの手法で、直接接合している。

【0032】

接触子９４は、高周波電路９３の端面９３１に支持されるカンチレバー型プローブである。従って、例えば、図５（Ａ）に例示するように、被検査体の電極端子５の高さにバラツキがある場合でも、接触子９４が弾性変形するので、接触子９４は安定して電極端子に接触することができる（図５（Ｂ）参照）。

【0033】

例えば、図５（Ｂ）に示すように、電極端子５ｂの高さが他の電極端子５ａ、５ｃよりも高い場合、電極端子５ｂに接触子９４ｂを接触させるときに、他の接触子９４ａ、９４ｃに生じる圧力よりも、接触子９４ｂには強い圧力が生じ、接触子９４ｂの弾性変形は、他の接触子９４ａ、９４ｃの弾性変形よりも大きくなることがわかる。

【0034】

ところで、接触子９４は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等で作製された微細構造なので、高周波電路９３に接触子９４を接合する際に、設計した接合位置からズレた位置に接合してしまうことがある。

【0035】

高周波電路９３における接触子９４の接合位置がズレると、接触子９４の自由長が変わるので、接触子９４において生じる接触時の圧力の大きさに影響が生じる。その結果、被検査体の電極端子に対して安定した接触が得られず、測定品質に悪影響を及ぼし得る。

【0036】

そこで、第１の実施形態は、高周波電路１３に対する接触子１４の接合位置が設計値に対してズレた場合でも、接触子１４の自由長が設計値となるように台座１５を設ける。

【0037】

図３（Ａ）に示すように、高周波電路１３と接触子１４との間に台座１５を介在させる。ここで、接触子１４の自由長を設計して、接触子１４と台座１５とを接合する際、接触子１４の長手方向において、台座１５の端面１５１の位置から接触部１６の位置までの長さが設計した自由長となるように、接触子１４と台座１５とを接合する。

【0038】

つまり、台座１５の端面１５１位置から接触部１６位置までの長さが設計値となるように、接触子１４と台座１５とを接合する。そして、接触子１４に設けられた台座１５と高周波電路１３の端面１３１とを接合することで、高周波電路１３に接触子１４を接合する。

【0039】

このように台座１５を介在させて接触子１４を接合させることで、接触子１４の自由長は設計値を保持できるので、接触子１４の圧力を設計値に近似する値に抑えることができ、電極端子に対して安定した接触が得られ、測定品質を向上させることができる。

【0040】

図６（Ａ）～図６（Ｃ）は、高周波電路９３と接触子９４との接合位置がズレたモデルと、オーバドライブ時の応力解析図である。なお、図６の応力解析図でも、接触子９４が接合する高周波電路９３の接合面については、抽象化して表記している。

【0041】

図６（Ｂ）に示すように、接触子９４の接合位置が設計値に対してズレがない場合（例えば、接合ズレの値＝±０ｍｍ）、オーバドライブ時の接触子９４の応力解析図を見ると、３本の接触子９４のそれぞれには、ほぼ同程度の圧力が生じていることがわかる。また、各接触子９４の圧力の大きさも設計値（設計した圧力の値）に近い値である。

【0042】

図６（Ａ）は、接触子９４の接合位置が設計値に対して－Ｘ方向側にズレた場合（例えば、接合ズレの値＝－０．１ｍｍ）の応力解析図を示している。この場合、接触子９４の自由長が、設計値よりも短いので、オーバドライブ時の各接触子９４の圧力は、図６（Ｂ）の各接触子９４の圧力の大きさ（設計圧力値）と比較して、大きいことがわかる。

【0043】

図６（Ｃ）は、接触子９４の接合位置が設計値に対して＋Ｘ方向側にズレた場合（例えば、接合ズレの値＝＋０．１ｍｍ）の応力解析図を示している。この場合、図６（Ｂ）の各接触子９４の圧力の大きさを比較すると、図６（Ｃ）の各接触子９４の圧力は、図６（Ｂ）の各接触子９４の圧力の大きさ（設計圧力値）よりも小さいことがわかる。

【0044】

図６（Ａ）～図６（Ｃ）及び図７に示すように、接触子９４の接合位置がズレることにより、接触子９４の自由長が変わるので、接触子９４の圧力の大きさに影響が生じてしまう。

【0045】

これに対して、図８（Ａ）～図８（Ｃ）は、第１の実施形態において、接触子１４を設けた台座１５を高周波電路１３に接合させたときの接合モデルと、オーバドライブ時の応力解析図である。

【0046】

図８（Ｂ）の場合、台座１５を設置した接触子１４を高周波電路１３に接合する際、接触子１４の接合位置が設計値に対してズレがない（例えば、接合ズレの値＝±０ｍｍ）。この場合、接触子１４の自由長が設計値であるので、オーバドライブ時に各接触子１４に生じる圧力の大きさは設計値に近い値となる。

【0047】

また、図８（Ａ）の通り、接触子１４の接合位置が設計値よりも－Ｘ方向側にズレた場合（例えば、接合ズレの値＝－０．１ｍｍ）、図８（Ｃ）の通り、接触子１４の接合位置が設計値よりも＋Ｘ方向側にズレた場合（例えば、接合ズレの値＝－０．１ｍｍ）も、接触子１４の自由長は変わらず、設計値を保持できる。

【0048】

そのため、図９に示すように、接合位置によらず、各接触子１４の自由長を設計通りに保持できるので、オーバドライブ時に各接触子１４に生じる圧力の大きさは設計値に近い値となる。その結果、電極端子に対して確実かつ安定した接触が可能となり、測定品質も向上する。

【0049】

上述したように、接触子１４を高周波電路１３に接合する際に、台座１５を介在させることにより、接触子１４の自由長を設計通りに保持できる。

【0050】

なお、接触子１４と台座１５、台座１５と高周波電路１３とは、例えば、ロウ付け、超音波接合、抵抗溶接、レーザ溶接等の手法を用いて接合することができる。

【0051】

また、複数の接触子１４はそれぞれ、高周波電路１３の端面１３１に接合されるが、このとき、高周波電路１３側のインピーダンス（出力インピーダンス）と、複数の接触子１４側のインピーダンス（入力インピーダンス）とを等しくするための設計がなされている。

【0052】

例えば、高周波信号の伝送の妨げとなる反射による定在波の発生を防ぐため、入出力インピーダンスのインピーダンス値（例えば５０Ω）を合わせる設計がなされている。高周波信号を伝送する高周波プローブにおける特性インピーダンスＺ_０は、式（１）で表される特性を有する。

【0053】

【数1】

式（１）において、Ｃはキャパシタンス（静電容量）、Ｌはインダクタンスを示す。キャパシタンスＣは、誘電率εγ、線幅に比例し、線間に反比例する。

【0054】

特性インピーダンスを整合するため、接触子１４の厚さを均一にして「線幅」を一定にする。さらに、「線間」を一定にするため、接触子１４ａと接触子１４ｂとの間隙が設計した間隙長の値ｗ１となるように、接触子１４ａと接触子１４ｂを接合する。同様に、接触子１４ｂと接触子１４ｃとの間隙が設計した間隙長の値ｗ２となるように、接触子１４ｂと接触子１４ｃを接合する。

【0055】

また、図３（Ｂ）において、グラウンド（Ground）線である接触子１４ａ及び接触子１４ｃについては、台座１５ａ及び台座１５ｃの幅長（Ｙ方向の長さ）は、接触子１４ａ及び接触子１４ｃの幅長よりも大きくしている。また、信号（Signal）線の接触子１４ｂについては、台座１５ｂの幅長が接触子１４ｂの幅長と同程度となるようにしている。

【0056】

（Ａ－２）第１の実施形態の効果
以上のように、第１の実施形態によれば、接触子の長手方向において、台座端面位置から接触部位置までの長さを設計した自由長となるように、接触子に台座を設けることにより、接触子の自由長を変えずに、高周波電路に接触子を接合でき、安定した接触が可能となり、測定品質も向上する。

【0057】

（Ｂ）第２の実施形態
次に、本発明に係るプローブユニットの第２の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

【0058】

（Ｂ－１）第２の実施形態の構成
第２の実施形態に係るプローブユニットをプローブユニット１Ａと表記し、接触子を接触子２４等と表記する。

【0059】

第２の実施形態のプローブユニット１Ａの基本構成は、第１の実施形態の図２のプローブユニット１の構成と同じである。従って、第２の実施形態においても、第１の実施形態の図２を用いて説明する。

【0060】

図１０（Ａ）は、図２における第２の実施形態のプローブユニット１Ａの部分Ａの部分拡大図であり、図１０（Ｂ）は、部分Ａの底面図である。

【0061】

第２の実施形態のプローブユニット１Ａは、接触子２４の構造が第１の実施形態の接触子１４のそれと異なる。したがって、第２の実施形態では、接触子２４の構造を中心に詳細に説明する。

【0062】

なお、第２の実施形態のプローブユニット１Ａは、第１の実施形態と同様に、接触子２４毎に台座１５を設けて、高周波電路１３と接触子２４との間に台座１５を介在させて接合する。

【0063】

図１０（Ａ）に示すように、接触子２４（２４ａ～２４ｃ）は、第１の実施形態と同様に、高周波プローブのグラウンド線又は信号線である。また、接触子２４は、導電性材料で形成されて、厚さが均一に形成されている。さらに、接触子２４は、台座１５を介して高周波電路１３の端面１３１に支持されている。

【0064】

接触子２４は、中央領域に厚さ方向（各接触子２４の配列方向と直交する方向）に貫通する孔が形成されており、この孔を空間域２４１とも呼ぶ。

【0065】

ここで、接触子２４に空間域２４１を形成した理由を説明する。プローブユニット１Ａは、高周波電路１３とインピーダンスを整合させることが必要となる。例えば、第１の実施形態では、接触子１４の厚さを均一にし、グラント線の接触子１４ａ（若しくは接触子１４ｃ）と、信号線の接触子１４ｂとの間の空気の間隙を一定にすることで、インピーダンスを整合している。

【0066】

しかし、インピーダンス整合を優先してプローブ設計を行なうと、接触子に生じる圧力（例えば、応力、せん断力、力のモーメント等）が強すぎたり、又は、圧力が弱すぎたりといった不具合が生じることが考えられる。

【0067】

そこで、第２の実施形態では、接触子２４の変形方向に貫通する空間域を形成して、信号線とグラウンド線の厚さ（接触子２４の厚さ）と、信号線とグラウンド線との間（接触子２４間）の空気の間隙長とを変えることなく、接触子２４に生じる圧力の大きさを調整する。

【0068】

特性インピーダンスは、特性インピーダンスＺ_０は、上述した式（１）で表される特性を有する。

【0069】

上述したように、式（１）において、キャパシタンスＣは、誘電率εγ、線幅に比例し、線間に反比例する。そうすると、特性インピーダンスＺ_０は、キャパシタンスＣとインダクタンスＬに収束され、部材材料の電気特性、接触子２４の幅長、接触子２４の厚さ、信号線とグラウンド線の近接の程度（空気の間隙長）に影響される。

【0070】

このとき、第２の実施形態では、接触子２４の厚さは一定とし、信号線とグラウンド線との間の空気の間隙長も一定としている。そのため、空間域２４１を囲む接触子２４の一部分である縁部２４２と縁部２４３の幅長が一定となるように、空間域２４１を設ける。

【0071】

図１０（Ｂ）の接触子２４ａの構造を例に挙げて説明する。信号線の接触子２４ｂ、グラウンド線の接触子２４ｃも同様の構造である。

【0072】

図１０（Ｂ）の例では、縁部２４２ａと縁部２４３ａは、平面視がほぼ三角形状の接触子２４ａの幅方向（Ｙ方向）の両端部の部分である。言い換えると、縁部２４２ａと縁部２４３ａは、空間域２４１ａを挟んだ左右方向（Ｙ方向）の両側に位置している。また、縁部２４２ａと縁部２４３ａの幅方向の幅長は、自由長において一定である。

【0073】

このように、各接触子２４に空間域２４１を設けることにより、各接触子２４の厚さと、信号線とグラウンド線との空気の間隙を変えることなく、各接触子２４の圧力を調整しながら、インピーダンスを整合させることができる。

【0074】

（Ｂ－２）第２の実施形態の効果
以上のように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態で説明した効果に加えて、次のような効果を奏する。

【0075】

第２の実施形態によれば、信号線とグラウンド線の厚さと、信号線とグラウンド線との間の空気の間隙の長さとを一定としたままで、信号線とグラウンド線に空間域を形成して、接触時に接触子に生じる圧力を調整しながら、インピーダンスを調整することができる。

【0076】

（Ｃ）他の実施形態
上述した第１及び第２の実施形態においても様々な変形実施形態を言及したが、本発明は、以下の変形実施形態も適用できる。

【0077】

（Ｃ－１）第２の実施形態において、空間域２４１が、接触子２４の形状に応じて、略三角形状の長孔である場合を例示したが、空間域２４１の形状はこれに限定されない。

【0078】

また、接触子２４の長手方向に沿って２列の空間域を配置してもよく、その場合も、２列の空間域の間に存在する接触子の縁部は、その幅長が一定とする。

【0079】

（Ｃ－２）上述した実施形態において、接触子の平面視が略三角形状である場合を例示したが、接触子の形状は特に限定されない。

【0080】

（Ｃ－３）上述した実施形態では、接触子に台座を接合する例を説明したが、接触子と台座はＭＥＭＳ等で一体に形成されていてもよい。

【符号の説明】

【0081】

１及び１Ａ…プローブユニット、５（５ａ～５ｃ）…電極端子、１１…本体部、１１１…基部、１１２…支持部、１２…同軸コネクタ、１３…高周波電路、１３１…端面、１４（１４ａ～１４ｃ）及び２４（２４ａ～２４ｃ）…接触子、１５（１５ａ～１５ｃ）…台座、１５１…端面、１６…接触部、２４１…空間域、２４２ａ…縁部、２４３ａ…縁部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】