(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022186181
(43)【公開日】2022-12-15
(54)【発明の名称】シート貼付装置およびシート貼付方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20221208BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021094270
(22)【出願日】2021-06-04
(71)【出願人】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120592
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 崇裕
(74)【代理人】
【識別番号】100184712
【弁理士】
【氏名又は名称】扇原 梢伸
(74)【代理人】
【識別番号】100192223
【弁理士】
【氏名又は名称】加久田 典子
(72)【発明者】
【氏名】根本 拓
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA02
5F131AA12
5F131AA13
5F131AA15
5F131AA21
5F131AA22
5F131AA23
5F131BA53
5F131CA07
5F131DA13
5F131DA33
5F131DA42
5F131DA54
5F131DA62
5F131EA07
5F131EA14
5F131EA15
5F131EA22
5F131EA24
5F131EA25
5F131EB01
5F131EB11
5F131EB31
5F131EB36
5F131EB42
5F131EB46
5F131EC32
5F131EC33
5F131EC34
5F131EC35
5F131EC44
5F131EC52
5F131EC55
5F131EC62
5F131EC63
5F131EC64
5F131EC66
5F131EC68
5F131EC69
5F131EC72
5F131EC77
5F131KA12
5F131KA14
5F131KA33
5F131KA72
5F131KB04
5F131KB12
5F131KB32
(57)【要約】
【課題】被着体の反りを極力低減させるように接着シートを貼付することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫに対する貼付方向が第１貼付方向ＤＲ１となるように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側に第１接着シートＡＳ１を貼付する第１貼付手段２０と、被着体ＷＫに対する貼付方向が第２貼付方向ＤＲ２となるように、被着体ＷＫに貼付された第１接着シートＡＳ１上に第２接着シートＡＳ２を貼付する第２貼付手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、第２貼付方向ＤＲ２が第１貼付方向ＤＲ１と一致しないように貼付方向を調整する方向調整手段４０をさらに備えている。
【選択図】図１
【解決手段】被着体ＷＫに対する貼付方向が第１貼付方向ＤＲ１となるように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側に第１接着シートＡＳ１を貼付する第１貼付手段２０と、被着体ＷＫに対する貼付方向が第２貼付方向ＤＲ２となるように、被着体ＷＫに貼付された第１接着シートＡＳ１上に第２接着シートＡＳ２を貼付する第２貼付手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、第２貼付方向ＤＲ２が第１貼付方向ＤＲ１と一致しないように貼付方向を調整する方向調整手段４０をさらに備えている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被着体に対する貼付方向が第１貼付方向となるように、当該被着体の一方の面側に第１接着シートを貼付する第１貼付手段と、
前記被着体に対する貼付方向が第２貼付方向となるように、当該被着体に貼付された前記第１接着シート上に第２接着シートを貼付する第２貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記第２貼付方向が前記第１貼付方向と一致しないように貼付方向を調整する方向調整手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。
前記被着体に対する貼付方向が第２貼付方向となるように、当該被着体に貼付された前記第１接着シート上に第２接着シートを貼付する第２貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記第２貼付方向が前記第１貼付方向と一致しないように貼付方向を調整する方向調整手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項2】
前記被着体の他方の面側には、当該被着体に対する貼付方向が第３貼付方向となるように第３接着シートが貼付されており、
前記方向調整手段は、前記第１貼付方向および前記第２貼付方向が前記第３貼付方向と一致しないように貼付方向を調整することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
前記方向調整手段は、前記第１貼付方向および前記第２貼付方向が前記第３貼付方向と一致しないように貼付方向を調整することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項3】
前記被着体に対する剥離方向が所定の剥離方向となるように、当該被着体から前記第３接着シートを剥離するシート剥離手段を備え、
前記方向調整手段は、前記第１貼付方向、前記第２貼付方向および前記第３貼付方向のいずれとも一致しないように、前記剥離方向を調整することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
前記方向調整手段は、前記第１貼付方向、前記第２貼付方向および前記第３貼付方向のいずれとも一致しないように、前記剥離方向を調整することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項4】
被着体に対する貼付方向が第１貼付方向となるように、当該被着体の一方の面側に第１接着シートを貼付する第１貼付工程と、
前記被着体に対する貼付方向が第２貼付方向となるように、当該被着体に貼付された前記第１接着シート上に第２接着シートを貼付する第２貼付工程とを実施するシート貼付方法において、
前記第２貼付方向が前記第１貼付方向と一致しないように貼付方向を調整する方向調整工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。
前記被着体に対する貼付方向が第２貼付方向となるように、当該被着体に貼付された前記第１接着シート上に第２接着シートを貼付する第２貼付工程とを実施するシート貼付方法において、
前記第２貼付方向が前記第１貼付方向と一致しないように貼付方向を調整する方向調整工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【0002】
被着体に複数の接着シートを貼付する被着体処理装置（シート貼付装置）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－６８３２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載されたシート貼付装置では、被着体ＷＫ（被着体）に破損防止シートＡＳ２（第１接着シート）を貼付した後、当該第１接着シートの上に第１接着シートＡＳ１（第２接着シート）を貼付するため、第２接着シートの貼付方向（第２貼付方向）と第１接着シートの貼付方向（第１貼付方向）とが一致することとなる。このように、複数の接着シートが貼付方向を一致させて被着体に貼付されると、それら複数の接着シートの残留応力が合算され、被着体に反りが発生し易くなるという不都合を発生する。このような不都合は、被着体が薄い物の場合に顕著に現れる。
【0005】
本発明の目的は、被着体の反りを極力低減させるように接着シートを貼付することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、先に貼付した接着シートの貼付方向と一致しないように、後から貼付する接着シートの貼付方向を調整するので、複数の接着シートの残留応力が合算されることが軽減され、被着体の反りを極力低減させるように接着シートを貼付することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0010】
本発明のシート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫを搬送する被着体搬送工程を実施する被着体搬送手段１０と、被着体ＷＫに対する貼付方向が第１貼付方向ＤＲ１となるように、当該被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側に第１接着シートＡＳ１を貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段２０と、被着体ＷＫに対する貼付方向が第２貼付方向ＤＲ２となるように、当該被着体ＷＫに貼付された第１接着シートＡＳ１上に第２接着シートＡＳ２を貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段３０と、第２貼付方向ＤＲ２が第１貼付方向ＤＲ１と一致しないように貼付方向を調整する方向調整工程を実施する方向調整手段４０とを備えている。
なお、本実施形態では、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側には、当該被着体ＷＫに対する貼付方向が第３貼付方向ＤＲ３となるように第３接着シートＡＳ３が貼付されており、シート貼付装置ＥＡは、第３貼付方向ＤＲ３を認識する貼付方向認識工程を実施する貼付方向認識手段５０と、被着体ＷＫを上下反転させる反転工程を実施する反転手段６０と、被着体ＷＫに対する剥離方向が所定の剥離方向ＤＲ４となるように、当該被着体ＷＷから第３接着シートＡＳ３を剥離するシート剥離工程を実施するシート剥離手段７０とを備えている。
ここで、被着体ＷＫの外縁には、図１（Ａ）中ＡＡを付した図に示すように、Ｖ型のノッチＶＮが形成されており、ノッチＶＮの両山部ＶＮＴ間の中心とノッチＶＮの谷ＶＮＢとを結ぶノッチ中央ラインＮＬと平行な方向が第３貼付方向ＤＲ３となっている。
なお、本実施形態では、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側には、当該被着体ＷＫに対する貼付方向が第３貼付方向ＤＲ３となるように第３接着シートＡＳ３が貼付されており、シート貼付装置ＥＡは、第３貼付方向ＤＲ３を認識する貼付方向認識工程を実施する貼付方向認識手段５０と、被着体ＷＫを上下反転させる反転工程を実施する反転手段６０と、被着体ＷＫに対する剥離方向が所定の剥離方向ＤＲ４となるように、当該被着体ＷＷから第３接着シートＡＳ３を剥離するシート剥離工程を実施するシート剥離手段７０とを備えている。
ここで、被着体ＷＫの外縁には、図１（Ａ）中ＡＡを付した図に示すように、Ｖ型のノッチＶＮが形成されており、ノッチＶＮの両山部ＶＮＴ間の中心とノッチＶＮの谷ＶＮＢとを結ぶノッチ中央ラインＮＬと平行な方向が第３貼付方向ＤＲ３となっている。
【0011】
被着体搬送手段１０は、Ｘ軸方向に移動するスライダ１１Ａを有する駆動機器としてのリニアモータ１１を備えている。
【0012】
第１貼付手段２０は、第１剥離シートＲＬ１に帯状の第１接着シート基材ＢＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、第１原反ＲＳ１を案内するガイドローラ２２と、第１接着シート基材ＢＳ１に閉ループ状の第１切込ＣＵ１を形成し、当該第１切込ＣＵ１の内側および外側に第１接着シートＡＳ１および第１不要シートＵＳ１を形成する切断手段２３と、剥離縁２４Ａで第１剥離シートＲＬ１を折り返し、当該第１剥離シートＲＬ１から第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板２４と、貼付対象物に第１接着シートＡＳ１を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ２５と、駆動機器としての回動モータ２６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２６Ｂとで第１剥離シートＲＬ１および不要シートＵＳ１を挟み込む駆動ローラ２６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ２６Ｂとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１および不要シートＵＳ１に常に所定の張力を付与し、当該第１剥離シートＲＬ１および不要シートＵＳ１を回収する回収手段としての回収ローラ２７とを備えている。
切断手段２３は、駆動機器としての回動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持され、外周面に切断部材としての平ループ状の切断刃２３Ｄが支持されたダイカットローラ２３Ｃと、ダイカットローラ２３Ｃと同期回転するアンビルローラ２３Ｅとを備えている。
切断手段２３は、駆動機器としての回動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持され、外周面に切断部材としての平ループ状の切断刃２３Ｄが支持されたダイカットローラ２３Ｃと、ダイカットローラ２３Ｃと同期回転するアンビルローラ２３Ｅとを備えている。
【0013】
第２貼付手段３０は、第１貼付手段２０と同等の構成であり、第１貼付手段２０の構成説明における付番の十の位の２を３に変更するとともに、ＡＳ１、ＢＳ１、ＣＵ１、ＲＬ１、ＲＳ１およびＵＳ１をそれぞれＡＳ２、ＢＳ２、ＣＵ２、ＲＬ２、ＲＳ２およびＵＳ２に変更し、各構成の「第１」を「第２」に読み替えることで説明ができるので図示のみとし、その詳細な構成説明は省略する。
【0014】
方向調整手段４０は、スライダ１１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ４１と、その出力軸４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持面４２Ａを有する支持テーブル４２とを備えている。なお、支持テーブル４２には切欠部４２Ｂが形成されている。
本実施形態では、方向調整手段４０は、第１貼付方向ＤＲ１および第２貼付方向ＤＲ２が第３貼付方向ＤＲ３と一致しないように貼付方向を調整するようになっている。また、方向調整手段４０は、第１貼付方ＤＲ１、第２貼付方向ＣＲ２および第３貼付方向ＤＲ３のいずれとも一致しないように、剥離方向ＤＲ４を調整するようになっている。
本実施形態では、方向調整手段４０は、第１貼付方向ＤＲ１および第２貼付方向ＤＲ２が第３貼付方向ＤＲ３と一致しないように貼付方向を調整するようになっている。また、方向調整手段４０は、第１貼付方ＤＲ１、第２貼付方向ＣＲ２および第３貼付方向ＤＲ３のいずれとも一致しないように、剥離方向ＤＲ４を調整するようになっている。
【0015】
貼付方向認識手段５０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器５１を備えている。貼付方向認識手段５０は、ノッチＶＮの形状や位置等を検知することで、ノッチＶＮの両山部ＶＮＴの位置とノッチＶＮの谷ＶＮＢの位置からノッチ中央ラインＮＬを認識し、第３貼付方向ＤＲ３を認識するようになっている。
【0016】
反転手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ６２と、その出力軸６２Ａに支持され、一体物ＵＰを保持する一対のチャックアーム６３Ａを有する駆動機器（保持手段）としてのチャックモータ６３とを備えている。
【0017】
シート剥離手段７０は、保持手段としての帯状の剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ７１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ７２と、駆動機器としての直動モータ７３の出力軸７３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ７４と、駆動機器としての回動モータ７５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ７５Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ７５と、図示しない駆動機器によって駆動し、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ７５Ｂとの間に存在する剥離用テープＰＴに常に所定の張力を付与し、当該剥離用テープＰＴを回収する回収手段としての回収ローラ７６とを備えている。
【0018】
以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２をセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、第１、第２貼付手段２０、３０が回動モータ２３Ａ、２６Ａおよび３３Ａ、３６Ａを駆動し、ダイカットローラ２３Ｃ、３３Ｃを回転させて第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成しつつ、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出す。第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２によって形成された先頭の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の繰出方向先端部が、剥離板２４、３４の剥離縁２４Ａ、３４Ａで所定長さ剥離されると、第１、第２貼付手段２０、３０が回動モータ２３Ａ、２６Ａおよび３３Ａ、３６Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫを支持テーブル４２上に載置すると、方向調整手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、貼付方向認識手段５０が検知機器５１を駆動し、ノッチＶＮの形状、方向、位置等を検知してノッチ中央ラインＮＬの方向から第３貼付方向Ｄ３を認識した後、方向調整手段４０が貼付方向認識手段５０の認識結果を基にして回動モータ４１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、ノッチ中央ラインＮＬがＸ軸と平行となるように支持テーブル４２を回転させる。次に、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）、（Ｃ）に示すように、フレーム部材としてのリングフレームＲＦを支持テーブル４２上に載置すると、方向調整手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２をセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、第１、第２貼付手段２０、３０が回動モータ２３Ａ、２６Ａおよび３３Ａ、３６Ａを駆動し、ダイカットローラ２３Ｃ、３３Ｃを回転させて第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成しつつ、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出す。第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２によって形成された先頭の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の繰出方向先端部が、剥離板２４、３４の剥離縁２４Ａ、３４Ａで所定長さ剥離されると、第１、第２貼付手段２０、３０が回動モータ２３Ａ、２６Ａおよび３３Ａ、３６Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫを支持テーブル４２上に載置すると、方向調整手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、貼付方向認識手段５０が検知機器５１を駆動し、ノッチＶＮの形状、方向、位置等を検知してノッチ中央ラインＮＬの方向から第３貼付方向Ｄ３を認識した後、方向調整手段４０が貼付方向認識手段５０の認識結果を基にして回動モータ４１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、ノッチ中央ラインＮＬがＸ軸と平行となるように支持テーブル４２を回転させる。次に、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）、（Ｃ）に示すように、フレーム部材としてのリングフレームＲＦを支持テーブル４２上に載置すると、方向調整手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２ＡでのリングフレームＲＦの吸着保持を開始する。
【0019】
そして、方向調整手段４０が回動モータ４１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、ノッチ中央ラインＮＬがＸ軸に対して３０°傾斜するように支持テーブル４２を時計回転方向に回転させた後、被着体搬送手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル４２を左方に移動させる。次いで、被着体ＷＫが第１貼付手段２０に対する所定の位置に到達すると、当該第１貼付手段２０が回動モータ２３Ａ、２６Ａを駆動し、第１シート基材ＢＳ１に新たな第１切込ＣＵ１を形成しつつ、支持テーブル４２の移動速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出し、図１（Ａ）および図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２５によって第１接着シートＡＳ１を被着体ＷＫに貼付する。これにより、第１接着シートＡＳ１は、第３貼付方向ＤＲ３と一致しない第１貼付方向ＤＲ１で被着体ＷＫに貼付される。その後、先頭の第１接着シートＡＳ１に続く次の第１接着シートＡＳ１の繰出方向先端部が、剥離板２４の剥離縁２４Ａで所定長さ剥離されると、第１貼付手段２０が回動モータ２３Ａ、２６Ａの駆動を停止する。次に、支持テーブル４２が押圧ローラ２５の下方から抜け出ると、方向調整手段４０が回動モータ４１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、ノッチ中央ラインＮＬがＸ軸に対して６０°傾斜するように支持テーブル４２を時計回転方向に回転させる。その後も支持テーブル４２の左方への移動が続行され、リングフレームＲＦが第２貼付手段３０に対する所定の位置に到達すると、当該第２貼付手段３０が回動モータ３３Ａ、３６Ａを駆動し、第２シート基材ＢＳ２に新たな第２切込ＣＵ２を形成しつつ、支持テーブル４２の移動速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出し、図１（Ａ）および図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３５によって第２シートＡＳ２をリングフレームＲＦおよび第１接着シートＡＳ１に貼付し、一体物ＵＰを形成する。これにより、第２接着シートＡＳ２は、第１貼付方向ＤＲ１および第３貼付方向ＤＲ３のいずれとも一致しない第２貼付方向ＤＲ２で被着体ＷＫに貼付される。そして、先頭の第２接着シートＡＳ２に続く次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が、剥離板３４の剥離縁３４Ａで所定長さ剥離されると、第２貼付手段２０が回動モータ３３Ａ、３６Ａの駆動を停止する。
【0020】
次いで、支持テーブル４２が押圧ローラ３５の下方から抜け出ると、方向調整手段４０が回動モータ４１を駆動し、当該回動モータ４１に対する初期位置に支持テーブル４２を復帰させる。その後も支持テーブル４２の左方への移動が続行され、チャックアーム６３Ａの前方に切欠部４２Ｂが到達すると、被着体搬送手段１０がリニアモータ１１の駆動を停止した後、反転手段６０がチャックモータ６３を駆動し、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム６３Ａで一体物ＵＰを保持する。その後、方向調整手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除すると、反転手段６０がリニアモータ６１および回動モータ６２を駆動し、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、チャックアーム６３Ａで保持した一体物ＵＰを所定高さにまで持ち上げ、当該一体物ＵＰを上下反転させる。次に、反転手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第２接着シートＡＳ２を保持面４２Ａ側にして一体物ＵＰを当該保持面４２Ａ上に載置すると、方向調整手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を開始した後、反転手段６０がチャックモータ６３を駆動し、チャックアーム６３Ａを初期位置に復帰させる。
【0021】
そして、被着体搬送手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル４２を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、一体物ＵＰにおける第３接着シートＡＳ３の左端部が剥離ローラ７４の最下端部直下に到達すると、リニアモータ１１の駆動を停止する。次いで、方向調整手段４０が回動モータ４１を駆動し、図２（Ｄ）に示すように、ノッチ中央ラインＮＬがＸ軸に対して４５°傾斜するように支持テーブル４２を時計回転方向に回転させる。その後、シート剥離手段７０が直動モータ７３を駆動し、剥離ローラ７４を下降させて剥離用テープＰＴを第３接着シートＡＳ３の左端部に貼付すると、被着体搬送手段１０およびシート剥離手段７０がリニアモータ１１および回動モータ７５Ａを駆動し、支持テーブル４２を左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープＰＴを回収ローラ７６方向へ送り、図２（Ｄ）中二点鎖線および図２（Ｅ）に示すように、被着体ＷＫから第３接着シートＡＳ３を剥離する。これにより、第３接着シートＡＳ３は、第１貼付方向ＤＲ１、第２貼付方向ＤＲ２および第３貼付方向ＤＲ３のいずれとも一致しない所定の剥離方向ＤＲ４で被着体ＷＫから剥離される。次に、第３接着シートＡＳ３全体が被着体ＷＫから剥離されると、シート剥離手段７０が直動モータ７３を駆動し、剥離ローラ７４を初期位置に復帰させた後、回動モータ７５Ａの駆動を停止する。そして、支持テーブル４２が剥離ローラ７４の下方から抜け出ると、被着体搬送手段１０がリニアモータ１１の駆動を停止するとともに、方向調整手段４０が回動モータ４１を駆動し、当該回動モータ４１に対する初期位置に支持テーブル４２を復帰させる。次いで、方向調整手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの一体物ＵＰの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、被着体搬送手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【0022】
以上のような実施形態によれば、先に貼付した接着シート（第１接着シートＡＳ１）の貼付方向（第１貼付方向ＤＲ１）と一致しないように、後から貼付する接着シート（第２接着シートＡＳ２）の貼付方向（第２貼付方向ＤＲ２）を調整するので、複数の接着シートの残留応力が合算されることが軽減され、被着体ＷＫの反りを極力低減させるように接着シートを貼付することができる。
【0023】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１貼付手段は、被着体に対する貼付方向が第１貼付方向となるように、当該被着体の一方の面側に第１接着シートを貼付するものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【0024】
被着体搬送手段１０は、第１貼付手段２０に対して被着体ＷＫを搬送するものと、第２貼付手段３０に対して被着体ＷＫを搬送するものと、反転手段６０に対して被着体ＷＫを搬送するものと、シート剥離手段７０に対して被着体ＷＫを搬送するものとがそれぞれ別々のもので構成されていてもよいし、それらのうちの何れかが共通のもので構成されていてもよい。
被着体搬送手段１０は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ第１、第２貼付手段２０、３０を移動させ、当該被着体ＷＫに第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつシート剥離手段７０を移動させ、当該被着体ＷＫから第３接着シートＡＳ３を剥離してもよいし、本発明の本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫを搬送すればよい。
被着体搬送手段１０は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ第１、第２貼付手段２０、３０を移動させ、当該被着体ＷＫに第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつシート剥離手段７０を移動させ、当該被着体ＷＫから第３接着シートＡＳ３を剥離してもよいし、本発明の本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫを搬送すればよい。
【0025】
第１、第２貼付手段２０、３０は、切断手段２３、３３を採用することなく、帯状の第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に仮着された帯状の第１、第２接着シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に予め閉ループ状の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２とされた第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出し、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫ等に貼付してもよいし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫ等に貼付する際、繰り出す第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２の速度や張力を制御して当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２に所定の張力が付与されるようにしたり、張力が付与されないようにしたりする貼付張力の制御を行ってもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２から第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を剥離して被着体ＷＫ等に貼付してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２を回収する回収手段を採用してもよいし、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を剥離して回収する不要シート回収手段を備えていてもよい。回収手段を採用しなくてもよいし、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に仮着されていない第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を繰り出して貼付してもよい。
切断手段２３、３３は、例えば、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に離間接近する切断部材としての所謂平刃を採用してもよいし、ダイカットローラ２３Ｃ、３３Ｃに対して着脱可能または着脱不能な切断刃２３Ｄ、３３Ｄを採用してもよいし、帯状の第１、第２接着シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に短寸幅方向全体の切込を形成し、その切込で仕切られた領域を第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２とするものでもよい。
切断手段２３、３３は、例えば、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に離間接近する切断部材としての所謂平刃を採用してもよいし、ダイカットローラ２３Ｃ、３３Ｃに対して着脱可能または着脱不能な切断刃２３Ｄ、３３Ｄを採用してもよいし、帯状の第１、第２接着シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に短寸幅方向全体の切込を形成し、その切込で仕切られた領域を第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２とするものでもよい。
【0026】
方向調整手段４０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被着体ＷＫ等を保持する構成でもよいし、支持テーブル４２を時計回転方向または反時計回転方向のいずれの方向に回転させて第１貼付方向ＤＲ１、第２貼付方向ＤＲ２または剥離方向ＤＲ４を調整してもよいし、被着体ＷＫを回転させることなくまたは回転させ、第１貼付手段２０、第２貼付手段３０またはシート剥離手段７０を回転させ、第１貼付方向ＤＲ１、第２貼付方向ＤＲ２または剥離方向ＤＲ４を調整してもよいし、ノッチ中央ラインＮＬに対し、例えば、３度、９０度、１２０度といった角度で傾斜するように第１貼付方向ＤＲ１を調整し、当該第１貼付方向ＤＲ１が第３貼付方向ＤＲ３と一致しないようしてもよいし、ノッチ中央ラインＮＬに対し、例えば、１３度、７６度、１２５度といった角度で傾斜するように第２貼付方向ＤＲ２を調整し、当該第２貼付方向ＤＲ１が第１貼付方向Ｄ１および第３貼付方向ＤＲ３のいずれとも一致しないようしてもよいし、ノッチ中央ラインＮＬに対し、例えば、２５度、４０度、１４５度といった角度で傾斜するように剥離方向ＤＲ４を調整し、当該剥離方向ＤＲ４が第１貼付方向ＤＲ１、第２貼付方向ＤＲ２および第３貼付方向ＤＲ３のいずれとも一致しないようにしてもよく、第１、第２、第３貼付方向ＤＲ１、ＤＲ２、ＤＲ３および剥離方向ＤＲ４を、どのような角度差をもって一致しないように調整してもよいし、ノッチ中央ラインＮＬを基準とすることなく、被着体ＷＫに設けられた図形、文字、溝、凹凸、オリエンテーションフラット等の被着体ＷＫの他の部位を基準として第１、第２、貼付方向ＤＲ１、ＤＲ２および剥離方向ＤＲ４を調整してもよい。
【0027】
貼付方向認識手段５０は、例えば、被着体ＷＫに設けられた図形、文字、溝、凹凸、オリエンテーションフラット等を検知することで第３貼付方向ＤＲ３を認識してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【0028】
反転手段６０は、一体物ＵＰにおけるリングフレームＲＦ、第１接着シートＡＳ１、第２接着シートＡＳ２、第３接着シートＡＳ３および被着体ＷＫのうち少なくとも１つを保持し、被着体ＷＫを上下反転させてもよいし、一体物ＵＰを上昇させることなく、支持テーブル４２を移動させておいて当該一体物ＵＰを上下反転させてもよいし、一体物ＵＰを上下反転させることなく被着体ＷＫから第３接着シートＡＳ３を剥離できる場合や、被着体ＷＫから第３接着シートＡＳ３を剥離しない場合や、被着体ＷＫに第３接着シートＡＳ３が貼付されていない場合等、一体物ＵＰを上下反転する必要がなければ、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。
【0029】
シート剥離手段７０は、支持テーブル４２の移動を停止させることなく、剥離用テープＰＴを第３接着シートＡＳ３に貼付してもよいし、剥離ローラ７４を昇降させることなく、剥離用テープＰＴを第３接着シートＡＳ３に貼付してもよいし、支持テーブル４２を移動させることなくまたは移動させつつ、自身が移動して被着体ＷＫから第３接着シートＡＳ３を剥離してもよいし、保持手段として、帯状または枚葉の剥離用シートＰＴを採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第３接着シートＡＳ３を保持し、当該保持部材で保持した第３接着シートＡＳ３を被着体ＷＫから離間させて剥離する構成等どのような構成でもよいし、被着体搬送手段１０に支持されていてもよいし、紫外線、赤外線、可視光線、Ｘ線またはガンマ線等のエネルギー線で接着力が低下する第３接着シートＡＳ３を採用し、当該第３接着シートＡＳ３にエネルギー線を照射するエネルギー線照射手段でエネルギー線を照射してから当該第３接着シートＡＳ３を被着体ＷＫから剥離してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【0030】
被着体ＷＫは、他方の面ＷＫ２側に第３接着シートＡＳ３が貼付されていなくてもよいし、他方の面ＷＫ２側に第３接着シートＡＳ３が貼付されている場合、第３貼付方向ＤＲ３は、ノッチ中央ラインＮＬと平行な方向でなくてもよく、例えば、ノッチ中央ラインＮＬに対して６度、８５度、１６３度といった角度で傾斜していてもよいし、ノッチ中央ラインＮＬを基準とすることなく、例えば、被着体ＷＫに設けられた図形、文字、溝、凹凸、オリエンテーションフラット等の被着体ＷＫの他の部位を基準として第３貼付方向ＤＲ３が定められていてもよい。
被着体ＷＫは、ノッチＶＮが形成されていなくてもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、環状でない（閉ループ状でない）フレーム部材等何でもよいし、なくてもよい。
被着体ＷＫは、ノッチＶＮが形成されていなくてもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、環状でない（閉ループ状でない）フレーム部材等何でもよいし、なくてもよい。
【0031】
本発明における第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３が採用された場合は、当該第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３のうちの少なくとも１つの接着シートは、例えば、両面接着シートからなる第１のシート材と、接着剤層のない１層または複数層からなる第２のシート材とで構成されていてもよい。この場合、そのような接着シートを被着体ＷＫ等の貼付対象物に貼付する第１、第２、第３貼付手段２０、５０、７０は、貼付対象物に第１のシート材を貼付した後、当該第１のシート材上に第２のシート材を積層して貼付する構成とすることができる。
接着シートは、接着剤層がなく、例えば静電気、クーロン力、ファンデルワールス力、磁力等によって貼付対象物に接着するものでもよい。
第１、第２、第３接着シートＡＳ１、ＡＳ２、ＡＳ３のうちの少なくとも１つの接着シートは、例えば、両面接着シートからなる第１のシート材と、接着剤層のない１層または複数層からなる第２のシート材とで構成されていてもよい。この場合、そのような接着シートを被着体ＷＫ等の貼付対象物に貼付する第１、第２、第３貼付手段２０、５０、７０は、貼付対象物に第１のシート材を貼付した後、当該第１のシート材上に第２のシート材を積層して貼付する構成とすることができる。
接着シートは、接着剤層がなく、例えば静電気、クーロン力、ファンデルワールス力、磁力等によって貼付対象物に接着するものでもよい。
【0032】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【0033】
ＥＡ…シート貼付装置
２０…第１貼付手段
３０…第２貼付手段
４０…方向調整手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ３…第３接着シート
ＤＲ１…第１貼付方向
ＤＲ２…第２貼付方向
ＤＲ３…第３貼付方向
ＤＲ４…剥離方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
２０…第１貼付手段
３０…第２貼付手段
４０…方向調整手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ３…第３接着シート
ＤＲ１…第１貼付方向
ＤＲ２…第２貼付方向
ＤＲ３…第３貼付方向
ＤＲ４…剥離方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
【図1】
【図2】
