特開 2022-186267 ガス測定装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022186267

(43)【公開日】2022-12-15

(54)【発明の名称】ガス測定装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/3504 20140101AFI20221208BHJP

【ＦＩ】

G01N21/3504

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021094406

(22)【出願日】2021-06-04

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】荒谷 克彦

【テーマコード（参考）】

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G059AA05

2G059BB01

2G059CC04

2G059CC05

2G059CC06

2G059DD12

2G059EE01

2G059EE11

2G059FF04

2G059HH01

2G059KK03

2G059MM01

2G059MM05

(57)【要約】

【課題】開発コストを抑えつつ、精度を向上させることができるガス測定装置を提供する。
【解決手段】ガス測定装置１は、試料セル９と、光源７と、試料セル９を透過した光強度を検出する検出部２０と、試料ガス中のガス成分を繰返し分析するＣＰＵ３１とを備える。検出部２０は、分析対象のガス成分を検出する第１検出器２１と、分析対象のガス成分の干渉補正用の複数の成分を検出する複数の第２検出器２５，２６とを含む。インターフェース回路３６は、第１検出器２１の検出信号をＣＰＵ３１に入力できるように前処理を行ないＣＰＵ３１に送信する前処理回路４１，４２，４３と、検出器２５，２６の検出信号をＣＰＵ３１に入力できるように前処理を行ないＣＰＵ３１に時分割で順次送信する第２信号処理部４４とを含む。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料ガスを充填する試料セルと、
前記試料セルに光を照射する光源と、
前記光源から前記試料セルに照射された光が前記試料セルを透過した光強度を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて前記試料ガス中のガス成分を繰返し分析する中央処理装置と、
前記検出部が検出した検出信号を前記中央処理装置に送信するインターフェース回路とを備え、
前記検出部は、
前記試料ガス中の分析対象のガス成分を検出する第１検出器と、
前記分析対象のガス成分の干渉補正用の複数の成分を検出する複数の第２検出器とを含み、
前記インターフェース回路は、
前記第１検出器の検出信号を前記中央処理装置に入力できるように前処理を行ない前記中央処理装置に送信する第１信号処理部と、
前記複数の第２検出器の検出信号を前記中央処理装置に入力できるように前処理を行ない前記中央処理装置に時分割で順次送信する第２信号処理部とを含む、ガス測定装置。

【請求項2】

前記光源が前記試料セルに照射する光は、赤外光である、請求項１に記載のガス測定装置。

【請求項3】

前記分析対象のガス成分は、ＳＯ_２ガスと、ＮＯガスと、ＣＯガスとを含み、
前記第１検出器は、ＳＯ_２ガス検出器と、ＮＯガス検出器と、ＣＯガス検出器とを含み、
前記干渉補正用の複数の成分は、ＣＨ_４ガスと、ＣＯ_２ガスとを含み、
前記複数の第２検出器は、ＣＨ_４ガス検出器と、ＣＯ_２ガス検出器とを含み、
前記中央処理装置は、第１ポート、第２ポート、第３ポート、第４ポートを有し、
前記第１信号処理部は、
前記ＳＯ_２ガス検出器の出力信号を前処理して前記第１ポートに出力する第１前処理回路と、
前記ＮＯガス検出器の出力信号を前処理して前記第２ポートに出力する第２前処理回路と、
前記ＣＯガス検出器の出力信号を前処理して前記第３ポートに出力する第３前処理回路とを有し、
前記第２信号処理部は、前記ＣＨ_４ガス検出器の出力信号を前処理した信号と、前記ＣＯ_２ガス検出器の出力信号を前処理した信号とを、交互に前記第４ポートに出力するように構成される、請求項２に記載のガス測定装置。

【請求項4】

前記第１～第３前処理回路の各々は、
対応する検出器の出力信号のゲインを調整する第１アナログ回路と、
前記第１アナログ回路の出力を前記第１～第３ポートのうちの対応するポートに入力できるように変換する第１変換回路とを含み、
前記第２信号処理部は、
前記ＣＨ_４ガス検出器の出力信号のゲインを調整する第２アナログ回路と、
前記ＣＯ_２ガス検出器の出力信号のゲインを調整する第３アナログ回路と、
前記第２アナログ回路の出力と前記第３アナログ回路の出力とを交互に選択するマルチプレクサと、
前記マルチプレクサの出力を前記第４ポートに入力できるように変換する第２変換回路とを含む、請求項３に記載のガス測定装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ガス測定装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特開平９－４９７９７号公報（特許文献１）には、試料ガスと基準ガスを切り替えてガス成分の濃度を測定する赤外線ガス分析計が開示されている。この赤外線ガス分析計では、三方弁が切り換えられ、試料ガスと基準ガスとが所定周期で交互にセル内に供給される。これに並行して、モータによってセクタが回転され、光源からの赤外光がセル内に断続的に照射される。これにより、検出器は、試料ガスまたは基準ガスを透過した赤外光を交互に検出し、基準ガスの検出出力と試料ガスの検出出力の出力比によってガス成分の分析が可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平９－４９７９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の特開平９－４９７９７号公報に開示された赤外線ガス分析計は、試料ガス中のＳＯ_２の濃度を検出するものであったが、ＳＯ_２の他、ＣＯ、ＣＯ_２、ＮＯｘ等にも、環境基準が定められており、濃度を監視するニーズがある。したがって、複数のガス成分を測定できる多成分計測器も開発されている。

【0005】

複数のガス成分として、たとえばＳＯ_２、ＣＯ、ＣＯ_２、ＮＯを測定するには、４つの検出器とこれらからの出力信号を受ける少なくとも４つのポートを有するＣＰＵ（Central Processing Unit）が必要となる。

【0006】

近年、さらなる検出精度の向上のため、検出対象のガス成分以外に、検出対象ガスに干渉する成分を検出して検出結果を補正することが求められている。しかしながら、従前の装置を改良して使用するためには、ＣＰＵの入力ポートが不足する事態がしばしば発生する。しかしながら、ＣＰＵを変更して新たな装置を設計、製造するには、多額の開発コストがかかってしまう。

【0007】

本開示は、開発コストを抑えつつ、精度を向上させることができるガス測定装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示のガス測定装置は、試料ガスを充填する試料セルと、試料セルに光を照射する光源と、光源から試料セルに照射された光が試料セルを透過した光強度を検出する検出部と、検出部の検出結果に基づいて試料ガス中のガス成分を繰返し分析する中央処理装置と、検出部が検出した検出信号を中央処理装置に送信するインターフェース回路とを備える。検出部は、試料ガス中の分析対象のガス成分を検出する第１検出器と、分析対象のガス成分の干渉補正用の複数の成分を検出する複数の第２検出器とを含む。インターフェース回路は、第１検出器の検出信号を中央処理装置に入力できるように前処理を行ない中央処理装置に送信する第１信号処理部と、複数の第２検出器の検出信号を中央処理装置に入力できるように前処理を行ない中央処理装置に時分割で順次送信する第２信号処理部とを含む。

【発明の効果】

【0009】

本開示におけるガス測定装置は、既存の構成に対して、一部の信号処理部を変更するのみで済むため、中央処理装置を変える必要がなく、開発工数が少なくて済む。また、既存の装置を改良して、精度を改善することも容易である。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本実施の形態のガス測定装置の全体の構成を概略的に示す図である。

【図2】図１の制御装置３０の構成を示すブロック図である。

【図3】ＣＰＵの各ポートに入力される信号を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

【0012】

図１は、本実施の形態のガス測定装置の全体の構成を概略的に示す図である。図１に示すガス測定装置１は、試料ガスラインＭＬと、基準ガスラインＲＬと、切換弁５と、試料セル９とを備える。

【0013】

試料ガスラインＭＬには、試料ガスＭが導入される。試料ガスラインＭＬは、試料ガスＭが通過するフィルタ２と、試料ガスＭを送出するポンプ３と、試料ガスＭの流量を調整するニードル弁４とを含む。

【0014】

基準ガスラインＲＬには、基準ガスＲが導入される。基準ガスラインＲＬは、基準ガスＲが通過するフィルタ１２と、基準ガスＲを送出するポンプ１３と、基準ガスＲの流量を調整するニードル弁１４とを含む。

【0015】

切換弁５は、試料ガスラインＭＬに配置された三方弁５Ｍと、基準ガスラインＲＬに配置された三方弁５Ｒとを含む。三方弁５Ｍ，５Ｒは、選択信号ＳＥＬによって、基準ガスラインＲＬと試料ガスラインＭＬのいずれか一方を通過したガスを試料セル９に送り、他方を通過したガスを排気するように流路を構成する。選択信号ＳＥＬを切替えることによって、試料セルには、基準ガスと試料ガスが交互に充填される。

【0016】

ガス測定装置１は、モータ６と、セクタ８と、光源７と、検出部２０と、制御装置３０とをさらに備える。

【0017】

試料セル９は、ガス導入口９ａとガス排出口９ｂとを有する。切換弁５を介して試料ガスまたは基準ガスがガス導入口９ａから試料セル９内に供給され、ガス排出口９ｂから排出される。試料セル９の一端には赤外光を発する光源７が、また、試料セル９の他端には、試料セル９を透過した赤外光を検出するための検出部２０が配設されている。

【0018】

光源７と試料セル９端部との間には赤外光を断続するためのセクタ８が設けられている。このセクタ８は、遮光部と透光部とを有する。セクタ回転軸８ｃを中心としてセクタ８が回転するよう構成される。透光部が試料セル９上にある場合に赤外光が試料セル９内に照射され、遮光部が試料セル９上にある場合に試料セル９内への赤外光の照射が遮断される。制御装置３０は、モータ６を介してセクタ８の回転位置制御を行ない、また、モータ６の回転に同期するように選択信号ＳＥＬによって切換弁５の駆動制御を行なう。

【0019】

検出部２０は、測定対象ガスを検出する第１検出器２１と、補正用ガスを検出する第２検出器とを含む。第１検出器２１は、ＳＯ_２，ＮＯ，ＣＯをそれぞれ検出対象とする、ＳＯ２検出器２２と、ＮＯ検出器２３と、ＣＯ検出器２４とを含む。第２検出器は、ＣＯ_２，ＣＨ_４をそれぞれ検出対象とする、ＣＯ２検出器２５と、ＣＨ４検出器２６とを含む。

【0020】

ＳＯ_２、ＮＯ、ＣＯは、それぞれ赤外域での特有の波長の光（ＳＯ_２：７．４μｍ、ＮＯ：５．３μｍ、ＣＯ：４．６μｍ）を吸収する。したがって、これらのそれぞれの波長にのみ感応する検出器によって、測定ガス中を通過した後の赤外吸収を測定すれば、それぞれの成分の濃度が測定できる。

【0021】

各検出器は、その内部に試料ガス中の検出対象ガスが封入されており、内部の圧力変化によって検出対象ガス固有の周波数の赤外光強度を検出する。そして、検出部２０での検出出力を受ける制御装置３０は、所定の信号処理を行ない、試料ガス中の測定ガス濃度を示す濃度値を算出する。

【0022】

図２は、図１の制御装置３０の構成を示すブロック図である。図１および図２を参照して、制御装置３０の内部構成を含めたガス測定装置１の構成を説明する。

【0023】

ガス測定装置１は、試料セル９と、基準ガスと試料ガスとを選択的に試料セルに供給する切換弁５と、試料セルに光を照射する光源７と、光源７から試料セル９に照射された光が試料セル９を透過した光強度を検出する検出部２０を備える。

【0024】

ガス測定装置１は、制御装置３０をさらに備える。制御装置３０は、インターフェース回路３６と、演算部（ＣＰＵ）３１と、記憶部（メモリ）３２と、濃度表示部３３と、入力部３４と出力部３５とを備える。ユーザは、入力部３４を介して、校正、設定等のための入力を行なう。またＣＰＵ３１は、出力部３５から濃度値等を出力する。

【0025】

インターフェース回路３６は、検出部２０が検出した検出信号をＣＰＵ３１に送信する。ＣＰＵ３１は、検出部２０の検出結果に基づいて試料ガス中のガス成分を繰返し分析する。

【0026】

検出部２０は、分析対象のガス成分（ＳＯ_２，ＮＯ，ＣＯ）を検出する第１検出器２１と、分析対象のガス成分の干渉補正用の複数の成分（ＣＯ_２，ＣＨ_４）をそれぞれ検出するＣＯ２検出器２５およびＣＨ４検出器２６とを含む。インターフェース回路３６は、第１検出器２１の検出信号をＣＰＵ３１に入力できるように前処理を行ないＣＰＵ３１に送信する第１信号処理部（４１，４２，４３）と、ＣＯ２検出器２５およびＣＨ４検出器２６の検出信号をＣＰＵ３１に入力できるように前処理を行ないＣＰＵ３１に時分割で交互に送信する第２信号処理部（４４）とを含む。

【0027】

光源７が試料セルに照射する光は、赤外光である。なお、紫外光を使用するガス測定装置であっても、本実施の形態と同様に補正成分を時分割で交互に送信することもできる。

【0028】

分析対象のガス成分は、ＳＯ_２ガスと、ＮＯガスと、ＣＯガスとを含む。第１検出器２１は、ＳＯ２検出器２２と、ＮＯ検出器２３と、ＣＯ検出器２４とを含む。干渉補正用の複数の成分は、ＣＨ_４ガスと、ＣＯ_２ガスとを含む。ＣＰＵ３１は、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２、第３ポートＰ３、第４ポートＰ４を有する。

【0029】

第１信号処理部（４１，４２，４３）は、ＳＯ２検出器２２の出力信号を前処理して第１ポートＰ１に出力する第１前処理回路４１と、ＮＯ検出器２３の出力信号を前処理して第２ポートＰ２に出力する第２前処理回路４２と、ＣＯ検出器２４の出力信号を前処理して第３ポートＰ３に出力する第３前処理回路４３とを有する。

【0030】

第２信号処理部４４は、ＣＨ４検出器２６の出力信号を前処理した信号と、ＣＯ２検出器２５の出力信号を前処理した信号とを、交互に第４ポートＰ４に出力するように構成される。

【0031】

第１前処理回路４１は、ＳＯ２検出器２２の出力信号のゲインを調整するアナログ回路５１と、アナログ回路５１の出力を第１ポートＰ１に入力できるように変換する変換回路５２とを含む。

【0032】

第２前処理回路４２は、ＮＯ検出器２３の出力信号のゲインを調整するアナログ回路５３と、アナログ回路５３の出力を第２ポートＰ２に入力できるように変換する変換回路５４とを含む。

【0033】

第３前処理回路４３は、ＣＯ検出器２４の出力信号のゲインを調整するアナログ回路５５と、アナログ回路５５の出力を第３ポートＰ３に入力できるように変換する変換回路５６とを含む。

【0034】

第２信号処理部４４は、ＣＨ４検出器２４の出力信号のゲインを調整する第２アナログ回路５８と、ＣＯ２検出器２５の出力信号のゲインを調整する第３アナログ回路５７と、第２アナログ回路５８の出力と第３アナログ回路５７の出力とを交互に選択するマルチプレクサ５９と、マルチプレクサ５９の出力を第４ポートＰ４に入力できるように変換する第２変換回路６０とを含む。

【0035】

上記のように構成し、本実施の形態では、ＣＯ２検出器２５の信号とＣＨ４検出器の信号とを、時間的に交互に切り替えて１つのポートＰ４に取り込んで、ＣＯ_２濃度とＣＨ_４濃度をそれぞれ演算する。

【0036】

ＣＯ_２とＣＨ_４は共に干渉補正用の測定対象であり、測定の主対象である大気汚染成分ＳＯ_２，ＮＯまたはダイオキシン対策の不完全燃焼監視用の測定対象であるＣＯではない。したがって、ＣＯ_２とＣＨ_４については、検出器からの信号を間引いて濃度演算して最小検出限界が少し（約１．４倍）大きくなっても、ガス測定には差し支えない。

【0037】

図３は、ＣＰＵの各ポートに入力される信号を説明するための図である。ＣＰＵ３１のポートＰ１～Ｐ３は、対応する検出器からの信号を切換なしに連続的に受ける。制御装置３０は、選択信号ＳＥＬによって、１サイクル２０秒の間で切換弁５の切換を２回実行する。１サイクル２０秒の周期の前半には基準ガスラインＲＬからの基準ガスＲが試料セル９に充填されたときの検出信号が入力され、後半には試料ガスラインＭＬからの試料ガスＭが試料セル９に充填されたときの検出信号が入力される。

【0038】

図３において、Ｒは基準ガスが試料セル９に充填されたときの検出信号（基準信号）を示し、Ｍは試料ガスが試料セル９に充填されたときの検出信号（測定信号）を示す。ＣＰＵ３１は、基準信号と測定信号とを所定の演算式に適用することによって、試料ガス中の測定対象ガスの濃度を演算する。

【0039】

ポートＰ４は、ＣＯ２検出器２５からの信号とＣＨ４検出器２６からの信号を１サイクル２０秒毎に切り換えて受ける。ＣＰＵ３１は、選択信号ＳＥＬ２を用いて、マルチプレクサ５９のＡ入力とＢ入力を図３に示すように選択する。選択信号ＳＥＬ２は、切換弁５の選択信号ＳＥＬの２倍の周期となる。ＣＰＵ３１は、干渉補正用のＣＯ_２，ＣＨ_４についても、基準信号と測定信号とを所定の演算式に適用することによって、試料ガス中の測定対象ガスの濃度を演算する。この濃度が更新される頻度は、メイン分析対象のＳＯ_２，ＮＯ，ＣＯと比べると２分の１となる。なお、本実施の形態では、選択信号ＳＥＬ２はＣＰＵ３１から出力されているが、第２信号処理部４４に分周回路を設けることで、選択信号ＳＥＬを使って、第２信号処理部４４内でＳＥＬ２を作ることもできる。

【0040】

ＣＰＵ３１は、１サイクル２０秒毎に更新されるＳＯ_２，ＮＯ，ＣＯの濃度を、２サイクル４０秒毎に更新されるＣＯ_２，ＣＨ_４の濃度によって補正する。

【0041】

本実施の形態のガス測定装置は、既存のガス測定装置を改良して実現することも容易である。たとえば、第２信号処理部４４の代わりに前処理回路４１～４３と同様な構成によって干渉成分であるＣＯの補正のみを行なっており、干渉成分であるＣＨ_４の補正を行なっていなかった装置に対しても、各前処理回路４１が１枚の差し替え可能な基板で構成されておれば、既存の基板のうち１枚を第２信号処理部４４の基板に差し替え、ＣＰＵ３１の演算処理をソフトウエア変更によって変更するだけで、干渉成分であるＣＨ_４の補正を導入できる。

【0042】

この場合には、既納品に対して改造が容易で、装置改造時間も半日程度ですむので、欠測時間を短くでき、それにより、サービス員の工数も抑えられる。

【0043】

なお、以上説明した実施の形態では、検出対象のガス成分が３種類、干渉補正用のガス成分が２種類の場合について説明したが、これらの数は変更しても良い。検出対象のガス成分が１～２種類の場合および４種類以上であってもよい。また干渉補正用のガス成分が３種類以上であっても良い。このような場合でも、検出対象のガス成分は１成分あたり１ポートを使用し、干渉補正用のガス成分を時分割で順次ＣＰＵの１ポートに入力することによって使用するポート数を減らすことができる。

【0044】

また、本実施の形態では、基準ガスを使用する赤外線ガス分析計について説明したが、基準ガスを使用せずに、試料ガスの測定信号だけで濃度演算する赤外線ガス分析計、および、基準ガスを流通させるのではなく、セルに充填して封止した基準セルを使う赤外線ガス分析計にも、同様の考え方を適用できる。

【0045】

［態様］
上述した例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0046】

（第１項）本開示のガス測定装置は、試料ガスを充填する試料セルと、試料セルに光を照射する光源と、光源から試料セルに照射された光が試料セルを透過した光強度を検出する検出部と、検出部の検出結果に基づいて試料ガス中のガス成分を繰返し分析する中央処理装置と、検出部が検出した検出信号を中央処理装置３１に送信するインターフェース回路とを備える。検出部は、試料ガス中の分析対象のガス成分を検出する第１検出器と、分析対象のガス成分の干渉補正用の複数の成分を検出する複数の第２検出器とを含む。インターフェース回路は、第１検出器の検出信号を中央処理装置に入力できるように前処理を行ない中央処理装置に送信する第１信号処理部と、複数の第２検出器の検出信号を中央処理装置に入力できるように前処理を行ない中央処理装置に時分割で順次送信する第２信号処理部とを含む。このような構成とすることによって中央処理装置の入力ポートが少ない場合でも、干渉補正用の複数の成分の検出結果を中央処理装置で扱うことができる。

【0047】

（第２項）好ましくは、光源が試料セルに照射する光は、赤外光である。

【0048】

（第３項）より好ましくは、分析対象のガス成分は、ＳＯ_２ガスと、ＮＯガスと、ＣＯガスとを含む。第１検出器は、ＳＯ２検出器と、ＮＯ検出器と、ＣＯ検出器とを含む。干渉補正用の複数の成分は、ＣＨ４ガスと、ＣＯ２ガスとを含む。複数の第２検出器は、ＣＨ４検出器と、ＣＯ２検出器とを含む。中央処理装置は、第１ポート、第２ポート、第３ポート、第４ポートを有する。第１信号処理部は、ＳＯ２検出器の出力信号を前処理して第１ポートに出力する第１前処理回路と、ＮＯ検出器の出力信号を前処理して第２ポートに出力する第２前処理回路と、ＣＯ検出器の出力信号を前処理して第３ポートに出力する第３前処理回路とを有する。第２信号処理部は、ＣＨ４検出器の出力信号を前処理した信号と、ＣＯ２検出器の出力信号を前処理した信号とを、交互に第４ポートに出力するように構成される。

【0049】

（第４項）さらに好ましくは、第１～第３前処理回路の各々は、対応する検出器の出力信号のゲインを調整する第１アナログ回路と、第１アナログ回路の出力を第１～第３ポートのうちの対応するポートに入力できるように変換する第１変換回路とを含む。第２信号処理部は、ＣＨ４検出器の出力信号のゲインを調整する第２アナログ回路と、ＣＯ２検出器の出力信号のゲインを調整する第３アナログ回路と、第２アナログ回路の出力と第３アナログ回路の出力とを交互に選択するマルチプレクサと、マルチプレクサの出力を第４ポートに入力できるように変換する第２変換回路とを含む。

【0050】

今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0051】

１ ガス測定装置、２，１２ フィルタ、３，１３ ポンプ、４，１４ ニードル弁、５ 切換弁、５Ｍ，５Ｒ 三方弁、６ モータ、７ 光源、８ セクタ、８ｃ セクタ回転軸、９ 試料セル、９ａ ガス導入口、９ｂ ガス排出口、２０ 検出部、２１～２６ 検出器、３０ 制御装置、３１ 中央処理装置、３３ 濃度表示部、３４ 入力部、３５ 出力部、３６ インターフェース回路、４１～４３ 前処理回路、４４ 第２信号処理部、５１，５３，５５，５７，５８ アナログ回路、５２，５４，５６，６０ 変換回路、５９ マルチプレクサ、ＭＬ 試料ガスライン、Ｐ１～Ｐ４ ポート、ＲＬ 基準ガスライン。

【図1】

【図2】

【図3】