2022-186605 積層板

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022186605

(43)【公開日】2022-12-15

(54)【発明の名称】積層板

(51)【国際特許分類】

   B32B 15/082 20060101AFI20221208BHJP

   B32B 27/30 20060101ALI20221208BHJP

   H05K 1/03 20060101ALI20221208BHJP

【ＦＩ】

B32B15/082 B

B32B27/30 D

H05K1/03 630H

H05K1/03 630E

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022078239

(22)【出願日】2022-05-11

(31)【優先権主張番号】P 2021093483

(32)【優先日】2021-06-03

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000211156

【氏名又は名称】中興化成工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100108855

【弁理士】

【氏名又は名称】蔵田 昌俊

(74)【代理人】

【識別番号】100179062

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 正

(74)【代理人】

【識別番号】100153051

【弁理士】

【氏名又は名称】河野 直樹

(74)【代理人】

【識別番号】100199565

【弁理士】

【氏名又は名称】飯野 茂

(74)【代理人】

【識別番号】100162570

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 早苗

(72)【発明者】

【氏名】柴田 晃宜

(72)【発明者】

【氏名】森 寿義

(72)【発明者】

【氏名】前山 隆興

(72)【発明者】

【氏名】水▲崎▼ 弘章

【テーマコード（参考）】

4F100

【Ｆターム（参考）】

4F100AA01A

4F100AA01B

4F100AA20A

4F100AA20B

4F100AB01D

4F100AB17D

4F100AB31D

4F100AG00A

4F100AK17A

4F100AK17B

4F100AK17C

4F100AK18B

4F100AL01B

4F100BA03

4F100BA04

4F100BA05

4F100BA06

4F100BA07

4F100CA23A

4F100CA23B

4F100DD07D

4F100DG12A

4F100DH01A

4F100EJ17

4F100EJ42

4F100EJ82

4F100GB41

4F100JK06D

(57)【要約】

【課題】熱膨張率が低く、金属箔層が剥離しにくい積層板を提供すること。
【解決手段】実施形態によると、積層板が提供される。積層板は、プリプレグと、第３フッ素樹脂含有層と、金属箔層とを備える。プリプレグは、ガラスクロスと、ガラスクロスに担持された第１フッ素樹脂含有層とを備え、表面及び裏面を有する。第３フッ素樹脂含有層は、プリプレグが有する表面及び裏面のうち少なくとも一方の面上に形成され、パーフルオロアルコキシアルカン樹脂を含む。第１フッ素樹脂含有層は無機フィラーを含む。金属箔層は、第３フッ素樹脂含有層に接する第１面と、第１面に対向する第２面とを有し、第１面の表面粗さは１μｍ以下である。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面及び裏面を有するプリプレグと、
前記プリプレグが有する前記表面及び前記裏面のうち少なくとも一方の面上に形成され、パーフルオロアルコキシアルカン樹脂を含む第３フッ素樹脂含有層と、
前記第３フッ素樹脂含有層に接する金属箔層とを備え、
前記プリプレグは、ガラスクロスと、前記ガラスクロスに担持された第１フッ素樹脂含有層とを備え、
前記金属箔層は、前記第３フッ素樹脂含有層に接する第１面と、前記第１面に対向する第２面とを有し、前記第１面の表面粗さは１μｍ以下である積層板。

【請求項2】

表面及び裏面を有するプリプレグと、
前記プリプレグが有する前記表面及び前記裏面のうち少なくとも一方の面上に形成され、パーフルオロアルコキシアルカン樹脂を含む第３フッ素樹脂含有層と、
前記第３フッ素樹脂含有層に接する金属箔層とを備え、
前記プリプレグは、ガラスクロスと、前記ガラスクロスに担持された第１フッ素樹脂含有層と、前記第１フッ素樹脂含有層の少なくとも一方の面上に形成された第２フッ素樹脂含有層とを備え、
前記第２フッ素樹脂含有層は無機フィラーを含み、
前記金属箔層は、前記第３フッ素樹脂含有層に接する第１面と、前記第１面に対向する第２面とを有し、前記第１面の表面粗さは１μｍ以下である積層板。

【請求項3】

前記第１フッ素樹脂含有層は無機フィラーを含む請求項１又は２に記載の積層板。

【請求項4】

前記第２フッ素樹脂含有層はポリテトラフルオロエチレンを含む請求項２に記載の積層板。

【請求項5】

前記金属箔層は、銅箔である請求項１又は２に記載の積層板。

【請求項6】

前記金属箔層の剥離強度は１．０ｋＮ／ｍ以上である請求項１又は２に記載の積層板。

【請求項7】

厚さが０．０２５ｍｍ－０．５０ｍｍの範囲内にある請求項１又は２に記載の積層板。

【請求項8】

前記第１フッ素樹脂含有層はパーフルオロエチレンプロペンコポリマを含む請求項１又は２に記載の積層板。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層板に関する。

【背景技術】

【0002】

近年の情報通信環境において多様化及び高度化が進む中、高周波帯域を使用した通信システムが注目を集めている。高周波帯域の中でも、いわゆるミリ波と呼ばれる３０ＧＨｚ以上の高周波は、伝送情報容量が非常に多いが、伝送損失が大きくなりやすいという特徴がある。そのため、ミリ波を伝送させた場合であっても伝送損失を低減することが可能なミリ波用低損失基板の需要が高まっている。

【0003】

フッ素樹脂は電気特性が非常に優れた材料であるため、フッ素樹脂を含む誘電体と、導体としての金属箔とを備えた積層板は、高周波帯域を利用した種々のアプリケーションに使用されている。こうした積層板においては、誘電体と導体との界面を電気信号が通過するため、当該界面が平滑であるほど伝送損失は小さくなる。

【0004】

しかしながら、フッ素樹脂は他材料との接着性が低い。それ故、例えば、伝送損失を低減させる目的で、金属箔においてフッ素樹脂との接触面の平滑性を高めると、フッ素樹脂と金属箔との接着が困難になるという問題があった。また、フッ素樹脂の熱膨張率は低くないため、フッ素樹脂が用いられた積層板の寸法安定性には改善の余地がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開第２０１６／１０４２９７号

【特許文献2】国際公開第２０１８／０４３６８３号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は上記事情に鑑みてなされ、熱膨張率が低く、金属箔層が剥離しにくい積層板を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一側面によると、積層板が提供される。積層板は、プリプレグと、第３フッ素樹脂含有層と、金属箔層とを備える。プリプレグは、ガラスクロスと、ガラスクロスに担持された第１フッ素樹脂含有層とを備え、表面及び裏面を有する。第３フッ素樹脂含有層は、プリプレグが有する表面及び裏面のうち少なくとも一方の面上に形成され、パーフルオロアルコキシアルカン樹脂を含む。第１フッ素樹脂含有層は無機フィラーを含む。金属箔層は、第３フッ素樹脂含有層に接する第１面と、第１面に対向する第２面とを有し、第１面の表面粗さは１μｍ以下である。

【発明の効果】

【0008】

本発明によると、熱膨張率が低く、金属箔層が剥離しにくい積層板を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る積層板の一例を概略的に示す断面図。

【図2】実施形態に係る積層板の他の例を概略的に示す断面図。

【図3】実施形態に係る積層板の他の例を概略的に示す断面図。

【図4】含浸コーティング工程に係る製造ラインの一例を概略的に示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

プリント配線基板などの積層板を高周波に対応させるためには、伝送損失の低減化が重要である。伝送損失のファクターは、主に、導体損失、表面粗さに起因した損失、及び、誘電体損失の３種類に分けられる。これら全てのファクターについて伝送損失を抑えることが望ましい。

【0011】

実施形態に係る積層板によると、上記３種類のファクターの中でも、特に表面粗さに起因した損失を低減することができる。表面粗さに起因した損失とは、具体的には、導体である金属箔層の表面（第２面）及び裏面（第１面）のうち、誘電体としてのフッ素樹脂含有層と接着する裏面（第１面）の表面粗さに起因した損失を指す。つまり、表面粗さに起因した損失は、金属箔層の第１面の表面粗さに応じて変化する。なお、本願明細書及び特許請求の範囲における表面粗さとは、ＪＩＳ Ｃ ６５１５－１９９８に準拠して測定される「最大高さＲｚ」を意味する。

【0012】

フッ素樹脂は、比誘電率が低い上に誘電正接も低いという優れた電気特性を有する反面、他の材料との接着性に劣る。それ故、従来、金属箔層として第１面の表面粗さが比較的大きい金属箔を使用することによって、アンカー効果を利用して金属箔層とフッ素樹脂含有層との優れた接着性を確保することが行われている。例えば、金属箔の凹凸（表面粗さ）が５μｍ以上である場合には、アンカー効果を利用してフッ素樹脂との接着性を確保しやすい。しかしながら、第１面の表面粗さが大きい金属箔を使用すると、表面粗さ損失が大きいため、十分な低損失特性を達成することが困難である。

【0013】

実施形態に係る積層板が備える金属箔層は、フッ素樹脂含有層と接する第１面の表面粗さが１μｍ以下である。それ故、表面粗さ損失を大きく低減することができる。従来、表面粗さが１μｍ以下である金属箔とフッ素樹脂とを接着させる場合、接着面の凹凸が小さいことから、通常のフッ素樹脂を使用する場合にはアンカー効果が発現しにくく、十分な剥離強度を得ることが困難であった。しかしながら、実施形態に係る積層板は、金属箔層と接するフッ素樹脂含有層がパーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）樹脂を含むため、これに積層される金属箔層の第１面の表面粗さが１μｍ以下であっても優れた剥離強度を達成することができる。

【0014】

一方、積層板が備える誘電体にフッ素樹脂が含まれる場合、寸法安定性に改善の余地がある。具体的には、フッ素樹脂は、ベークライト及びエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂と比較して熱膨張率が大きいため、積層板に熱が加わるとフッ素樹脂含有層が膨張して金属箔層又はパターニングされた回路が切れることがある。例えば、パターニングされた回路を備えるプリント基板を実際の使用に供する場合、当該基板には環境温度がかかるため、線膨張に伴う誘電体の膨張収縮が発生する。厚み方向への誘電体の膨張が大きいと、スルーホール加工を導通させている、内面の銅めっきが破断してしまう可能性がある。また、横方向への誘電体の膨張が大きいと、パターン位置が設計値から変化するため、設計性能が得られない場合がある。

【0015】

また、フッ素樹脂は、ベークライト及びエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂と比較して熱伝導率が低い。２５℃の環境におけるこれら物質の熱伝導率は、例えば以下の通りである。即ち、ベークライトの熱伝導率は０．４３Ｗ／ｍ・Ｋ～０．６７Ｗ／ｍ・Ｋ程度であり、エポキシ樹脂の熱伝導率は約０．３５Ｗ／ｍ・Ｋであるのに対して、代表的なフッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の熱伝導率は０．２５Ｗ／ｍ・Ｋである。従って、フッ素樹脂が用いられた基板に対して熱対策を施すことは、他の樹脂を使用した基板に対して熱対策を施すことと比較して、相対的に重要な位置付けであると言える。

【0016】

以下、実施形態に係る積層板を詳細に説明する。

【0017】

図１は、実施形態に係る積層板の一例を示す概略断面図である。積層板１は、プリプレグ５と、第３フッ素樹脂含有層６ａ及び６ｂと、金属箔層４ａ及び４ｂとを備える。積層板は、例えば、リジッド基板又はフレキシブルプリント基板の材料として用いられる、金属張積層板でありうる。

【0018】

プリプレグ５は、芯材としてのガラスクロス２と、ガラスクロス２の両面上に担持された第１フッ素樹脂含有層３ａ及び３ｂとを備える。プリプレグ５は、例えばシート状物であり、表面及び裏面を有する。第１フッ素樹脂含有層３ａ及び３ｂは、ガラスクロス２が有し得る開口部、織組織の隙間及びヤーン同士の隙間において互いに溶着していてもよい。プリプレグ５の表面及び裏面は、それぞれ、第１フッ素樹脂含有層３ａの表面及び第１フッ素樹脂含有層３ｂの表面であり得る。第１フッ素樹脂含有層３ａ及び３ｂは、後述する無機フィラーを含んでいてもよい。

【0019】

第３フッ素樹脂含有層６ａ及び６ｂは、それぞれ、プリプレグ５の表面上及び裏面上に形成されている。プリプレグ５、並びに、第３フッ素樹脂含有層６ａ及び６ｂは、誘電体として機能し得る。第３フッ素樹脂含有層は、パーフルオロアルコキシアルカン樹脂を含んでいる。第３フッ素樹脂含有層６ａは、金属箔層４ａと接する面１１を有する。第３フッ素樹脂含有層６ｂは、金属箔層４ｂと接する面１２を有する。金属箔層４ａ及び４ｂは、導体として機能し得る。

【0020】

金属箔層４ａは第３フッ素樹脂含有層６ａ上に形成されており、金属箔層４ｂは第３フッ素樹脂含有層６ｂ上に形成されている。金属箔層４ａは、第３フッ素樹脂含有層６ａの面１１と接する第１面と、当該第１面に対向する第２面とを有する。同様に、金属箔層４ｂは、第３フッ素樹脂含有層６ｂの面１２と接する第１面と、当該第１面に対向する第２面とを有する。言い換えると、金属箔層４ａ及び４ｂが有する第１面は、第３フッ素樹脂含有層６ａ及び６ｂとの界面を構成している。金属箔層４ａ及び４ｂが有する第１面の表面粗さはいずれも１μｍ以下であるため、金属箔層と第３フッ素樹脂含有層との界面は平滑性が高い。それ故、伝送損失を低減させることができる。金属箔層は、剥離強度の観点から第３フッ素樹脂含有層にのみ接していることが望ましいが、プリプレグと接する部分を有していてもよい。

【0021】

なお、図１では、プリプレグ５の両面上に第３フッ素樹脂含有層及び金属箔層がこの順で形成されている場合を示しているが、第３フッ素樹脂含有層及び金属箔層は、プリプレグ５の表面及び裏面のうち一方の面上にのみ形成されていてもよい。

【0022】

図２は、実施形態に係る積層板の他の例を示す概略断面図である。図２に示す積層板は、プリプレグ５が更に第２フッ素樹脂含有層８を備えていることを除いて、図１に示す積層板と同様の構成を有している。

【0023】

図２に示す積層板が備えるプリプレグ５は、第１フッ素樹脂含有層３ａ及び３ｂのそれぞれの主面上に形成された、第２フッ素樹脂含有層８ａ及び８ｂを備えている。それ故、図２に示す積層板においては、プリプレグ５の表面及び裏面は、それぞれ、第２フッ素樹脂含有層８ａの表面及び第２フッ素樹脂含有層８ｂの表面であり得る。また、図１に関して説明したのと同様に、第３フッ素樹脂含有層６ａ及び６ｂは、それぞれ、プリプレグ５の表面上及び裏面上に形成されている。

【0024】

図示していないが、誘電体の熱膨張率を低減するため、第２フッ素樹脂含有層８は無機フィラーを更に含み得る。無機フィラーはフッ素樹脂と比較して熱膨張率が小さいため、フッ素樹脂含有層に無機フィラーが添加されることによりプリプレグの熱膨張率が低減する。即ち、熱膨張率の低い積層板を得ることができる。第２フッ素樹脂含有層８が無機フィラーを更に含む場合、第１フッ素樹脂含有層３は無機フィラーを含まないことが好ましい。

【0025】

図３は、実施形態に係る積層板の他の例を示す概略断面図である。図３に示す積層板１は、金属箔層４ａと金属箔層４ｂとの間にプリプレグ５を複数枚備えていることを除いて、図１に示す積層板１と同様の構成を有している。複数のプリプレグ５は、それらの主面が互いに接するように積層されている。図３では、積層板１がプリプレグ５を３枚以上備えている場合を模式的に示しているが、プリプレグ５の枚数は２枚であってもよい。或いは、図示していないが、複数枚のプリプレグ５の間に、更に第３フッ素樹脂含有層及び金属箔層が挟持されていてもよい。

【0026】

なお、図３では、ガラスクロス及び第１フッ素樹脂含有層を備えるプリプレグ（例えば図１に示すプリプレグ）を複数枚備える場合を示しているが、プリプレグの構成はこの場合に限られない。例えば、積層板１は、図２に示すプリプレグ５を複数枚備えていてもよい。

【0027】

積層板１の厚さは、例えば、０．０２５ｍｍ－０．５０ｍｍの範囲内にあり、好ましくは、０．１ｍｍ－０．３ｍｍの範囲内にあることが好ましい。なお、積層板１の厚さとは、プリプレグ、第３フッ素樹脂含有層及び金属箔層の積層方向に沿った積層板の厚さを意味する。積層板１の厚さは、各層の厚さを調整するか、又は、積層するプリプレグ５の枚数を変更することにより調整することができる。

【0028】

プリプレグ５の厚さは、例えば、０．０８ｍｍ～０．１６ｍｍの範囲内にあり、好ましくは０．１０ｍｍ～０．１４ｍｍの範囲内にある。

【0029】

積層板１において、第３フッ素樹脂含有層と金属箔層との剥離強度は高い方が好ましく、例えば０．８ｋＮ／ｍ以上であり、好ましくは１．０ｋＮ／ｍ以上であり、より好ましくは１．２ｋＮ／ｍ以上である。ここで、第３フッ素樹脂含有層と金属箔層との剥離強度は、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に準拠して測定することができる。

【0030】

（ガラスクロス）
積層板はガラスクロスを備えているため、面方向への線膨張を抑制することができる。また、剛性が高まるため、屈曲しても箔切れを抑制することができる。積層板がガラスクロスを備えていない場合には、リフローに耐えることが困難な可能性がある。

【0031】

ガラスクロスの厚さは、例えば、０．０１ｍｍ－０．２ｍｍの範囲内にあり、好ましくは０．０２ｍｍ－０．０９ｍｍの範囲内にある。ガラスクロスは、開繊糸からなる開繊ガラスクロスであることが好ましい。

【0032】

上述の通り、積層板として優れた低損失特性を達成するためには、金属箔層に起因した導体損失、特に表面粗さ損失を低減することが重要である。しかしながら、より優れた低損失特性を達成するためには、ガラスクロスに起因した誘電体損失も低減することが望ましい。

【0033】

具体的には、ガラスクロスは、周波数１ＧＨｚの条件での比誘電率が５以下であり、且つ、誘電正接が０．００２以下であることが好ましい。比誘電率及び誘電正接がこの数値範囲を満たしていると、誘電体損失を大きく低減することができる。比誘電率及び誘電正接は低いほど好ましい。ガラスクロスの比誘電率及び誘電正接を測定する際には、ＪＩＳ Ｒ １６４１：２００７に準拠して測定することができる。

【0034】

ガラスクロスは開繊クロスであることが好ましい。開繊クロスは、ガラス糸のフィラメント間が開いた状態、例えば毛羽立った状態であるため、フッ素樹脂含有層がガラスクロス内部によく浸透する。但し、ガラス繊維ヤーンの表面には、大きな突起になりうる毛羽欠点、及び、糸抜けなどの欠陥が少ないことが好ましい。こうした大きな欠陥が少ないことにより金属箔層が損傷するのを抑制することができる。ガラスクロスの織組織は特に制限されず、例えば平織りである。

【0035】

ガラスクロスの単位面積当たりの質量は、例えば、１０ｇ／ｍ²～２００ｇ／ｍ²の範囲内にある。ガラスクロスの糸密度は、例えば３０本／２５ｍｍ～９０本／２５ｍｍの範囲内にある。ガラスクロスの縦方向の糸密度と、横方向の糸密度とは異なっていてもよい。ガラス繊維ヤーン１本当たりのＴＥＸ番手は、例えば１ｇ／１０００ｍ－１００ｇ／１０００ｍの範囲内にある。

【0036】

（第１フッ素樹脂含有層）
第１フッ素樹脂含有層はガラスクロスの両面上に形成されている。第１フッ素樹脂含有層は、プリプレグの一部を構成しており、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、及び、パーフルオロエチレンプロペンコポリマ（ＦＥＰ）からなる群より選択される少なくとも１種を含む。第１フッ素樹脂含有層はＰＦＡ及びＦＥＰからなる群より選択される少なくとも一種を含むことが好ましい。第３フッ素樹脂含有層が、溶融系フッ素樹脂としてＰＦＡを含んでいるため、第１フッ素樹脂含有層がＰＦＡ及びＦＥＰなどの溶融系フッ素樹脂を含む場合、第１フッ素樹脂含有層及び第３フッ素樹脂含有層が互いに融着しやすい効果がある。

【0037】

第１フッ素樹脂含有層の厚さ（片面の厚さ）は特に限定されないが、例えば、１μｍ～２５μｍの範囲内にあってもよく、１μｍ～１０μｍの範囲内にあってもよい。

【0038】

第１フッ素樹脂含有層は、無機フィラーを含んでいてもよいが、含んでいないことが好ましい。ガラスクロス上に担持される第１フッ素樹脂含有層が無機フィラーを含まないことにより、長期間に亘りガラスクロスとの接着性を維持し易い。なお、無機フィラーとしては、後述する第２フッ素樹脂含有層が含み得る無機フィラーを使用することができる。

【0039】

無機フィラーはフッ素樹脂と比較して熱伝導率が高い。それ故、第１フッ素樹脂含有層が無機フィラーを含む場合、プリプレグの熱伝導性が高いため、実施形態に係る積層板は高い熱伝導性を有している。また、この場合、プリプレグの熱膨張率を低減させることができる。

【0040】

第１フッ素樹脂含有層が含有する無機フィラーとしては、後述する第２フッ素樹脂含有層が含有するもののうち、１種又は２種以上を組み合わせて使用することができる。

【0041】

熱伝導性を高める観点から、第１フッ素樹脂含有層は、窒化ホウ素、窒化アルミニウム及び酸化アルミニウムからなる群より選択される少なくとも１種の無機フィラーを含むことが好ましい。

【0042】

（第２フッ素樹脂含有層）
第２フッ素樹脂含有層は、プリプレグの一部を構成し得る。第２フッ素樹脂含有層は省略することができる。第２フッ素樹脂含有層は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、及び、パーフルオロエチレンプロペンコポリマ（ＦＥＰ）からなる群より選択される少なくとも１種を含む。第２フッ素樹脂含有層は、フッ素樹脂としてＰＴＦＥのみを含むことが好ましい。

【0043】

第２フッ素樹脂含有層は、無機フィラーを含む。それ故、プリプレグが第２フッ素樹脂含有層を備える場合、プリプレグの熱膨張率を低減させることができると共に、剛性などの機械的強度を高めることができる。第２フッ素樹脂含有層における無機フィラーの含有量は、例えば、４０質量％～５５質量％の範囲内にある。第２フッ素樹脂含有層における無機フィラーの含有量が過度に多いと、第２フッ素樹脂含有層が脆くなるため好ましくない。そのため、第２フッ素樹脂含有層を起因とした層間剥離が生じやすくなる。

【0044】

使用可能な無機フィラーとしては、例えば、シリカ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、アルミナなどの酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化カルシウム、酸化鉄、酸化錫、酸化アンチモン、ドーソナイト、珪酸カルシウム、モンモリロナイト、ベントナイト、セピオライト、イモゴライト、イットリア、酸化マグネシウム、フォルステライト、コージライト、ステアタイト、シリカ系バルーン及び低誘電ガラスなどを挙げることができる。

【0045】

無機フィラーの平均粒子径は、例えば０．０００１ｍｍ～０．１ｍｍの範囲内にあり、好ましくは０．０００１ｍｍ～０．０１ｍｍの範囲内にあり、更に好ましくは０．０００１ｍｍ～０．００２ｍｍの範囲内にある。

【0046】

第２フッ素樹脂含有層の厚さ（片面の厚さ）は、特に限定されないが、５μｍ～６０μｍの範囲内にあってもよく、５μｍ～５０μｍの範囲内にあってもよい。

【0047】

第２フッ素樹脂含有層の厚さが過度に小さいと、プリプレグと金属箔層とを接着させる効果が得られにくい傾向にある。第２フッ素樹脂含有層の厚さが過度に大きいと、積層体全体に占めるフッ素樹脂の質量が大きくなるため、十分な熱伝導性を得られない可能性がある。

【0048】

（第３フッ素樹脂含有層）
第３フッ素樹脂含有層は、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）樹脂を含む。第３フッ素樹脂含有層は、例えば、プリプレグと金属箔層との接着性を高める層として機能する。第３フッ素樹脂含有層は、線膨張係数や誘電率の調整の為に無機フィラーなどの他の成分を含んでいてもよい。金属箔層のピール強度を高めるには、第３フッ素樹脂含有層が含むＰＦＡとして、接着性の変性ＰＦＡを使用することが有効である。第３フッ素樹脂含有層は、接着性の変性ＰＦＡのみからなっていてもよい。

【0049】

接着性の変性ＰＦＡ樹脂は、他の材料との接着性に優れる変性ＰＦＡ樹脂である。通常のＰＦＡ樹脂は、テトラフルオロエチレンとペルフルオロエーテルとの共重合体であるのに対して、接着性の変性ＰＦＡ樹脂は、金属箔層との接着性向上をもたらす変性モノマー単位を更に含んでいる。

【0050】

フッ素樹脂が接着性の変性ＰＦＡ樹脂を含有することにより、金属箔層との接着性が向上する理由は明らかになっていないが、変性モノマー単位が有する特定の官能基に起因して、金属箔層との接着性が向上している可能性がある。

【0051】

接着性の変性ＰＦＡ樹脂は溶融成形可能である上、通常のＰＦＡ樹脂が備えるような、耐熱性、耐薬品性、耐候性、低摩擦性、非粘着性、撥水撥油性及び電気特性を備えている。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の電気特性とは、例えば、低い比誘電率及び誘電正接を指している。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の周波数１ＧＨｚの条件における比誘電率は、２．０６以下であることが好ましく、誘電正接は０．００２以下であることが好ましい。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の比誘電率及び誘電正接を測定する際には、ＪＩＳ ２１３８：２００７に準拠して測定することができる。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の比誘電率及び誘電正接が上記の数値範囲を満たすことにより、積層板は優れた低損失特性を有することができる。

【0052】

接着性の変性ＰＦＡ樹脂のメルトフローレートは、好ましくは１０ｇ／１０ｍｉｎ－２５ｇ／１０ｍｉｎの範囲内にある。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の引張強度は、例えば３５ＭＰａ以上である。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の曲げ弾性率は、例えば６００－６８０ＭＰａの範囲内にある。接着性の変性ＰＦＡ樹脂の融点は、例えば２９０℃－３００℃である。

【0053】

接着性の変性ＰＦＡ樹脂の例は、ＡＧＣ株式会社製のＦｌｕｏｎ＋ ＥＡ－２０００である。

【0054】

第３フッ素樹脂含有層は、ＰＦＡ以外の他のフッ素樹脂を更に含んでいてもよく、添加剤などを更に含んでいてもよい。他のフッ素樹脂は、例えば、溶融成形が可能なフッ素樹脂である。溶融成形が可能なフッ素樹脂とは、メルトフローレートが、例えば２ｇ／１０ｍｉｎ－４０ｇ／１０ｍｉｎの範囲内にあるフッ素樹脂である。第３フッ素樹脂含有層は、ＰＦＡ樹脂を８０質量％以上含むことが好ましい。

【0055】

他のフッ素樹脂は、例えば、エチレン－テトラフルオロエチレンコポリマ（ＥＴＦＥ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマ（ＦＥＰ）及びポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）からなる群より選ばれる少なくとも１種でありうる。

【0056】

第３フッ素樹脂含有層の厚さは、例えば、１μｍ～５０μｍの範囲内にあり、好ましくは１μｍ～５μｍの範囲内にある。第３フッ素樹脂含有層の厚さが過度に小さいと、プリプレグと金属箔層とを接着させる効果が得られにくい傾向にある。第３フッ素樹脂含有層の厚さが過度に大きいと、加熱プレスの際に樹脂が流動してしまい、積層板としての厚さの不均一が生じたり、外観不良が生じたりする可能性がある。

【0057】

（金属箔層）
金属箔層は、金属箔からなる層である。金属箔の種類は特に限定されず、積層板の用途に応じて適宜選択すればよい。たとえば、電子機器に積層板を用いる場合、金属箔の材質としては、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金が挙げられる。電子機器、電気機器に用いられる通常の積層板においては、圧延銅箔、電解銅箔等の銅箔が多用されており、実施形態に係る積層板においても銅箔が好適である。

【0058】

金属箔層は、上述したように、第３フッ素樹脂含有層に接する第１面と、第１面に対向する第２面とを有する。第１面の表面粗さは１μｍ以下である。第１面の表面粗さは、金属箔層と第３フッ素樹脂含有層との剥離強度が所望の値を満たしている限り、より小さい方が好ましい。所望の値とは、積層板の用途に応じて要求される剥離強度の値を意味しており、例えば１．０ｋＮ／ｍ以上であり、好ましくは１．２ｋＮ／ｍ以上である。第２面の表面粗さは、特に限定されないが、例えばＲｚで１．８μｍ以下である。

【0059】

金属箔の表面には、防錆層（クロメート等の酸化物皮膜）又は耐熱層が形成されていてもよい。また、第３フッ素樹脂含有層との剥離強度を高くするために、金属箔層の第１面にカップリング剤処理等を施してもよい。

【0060】

金属箔の厚さは、特に限定されず、積層板の用途に応じて、充分な機能が発揮できる厚さであればよい。金属箔層の厚さは、例えば、１０μｍ～４０μｍの範囲内にある。

【0061】

＜積層板の製造方法＞
図面を参照しながら、実施形態に係る積層板の製造方法の一例を説明する。積層板は、例えば、下記の工程（１）～（５）を含む方法により製造することができる。

【0062】

（１）ガラスクロス上に第１フッ素含有層が形成されたプリプレグを作製する。プリプレグの作製は、例えば図４に示す含浸コーティング法により行うことができる。図４は、含浸コーティング法によりプリプレグを作製する工程を概略的に示す断面図である。

【0063】

図４中の符号３０は、基材であるガラスクロス３１を送り出す、送出しロールを示す。送出しロール３０の下流側には、例えば、ＰＴＦＥ粒子及び／又はＦＥＰ粒子が分散した水性分散液３２を満たした含浸槽３３が配置されている。送出しロール３０に巻かれたガラスクロス３１は、ロール３４ａを経て含浸槽３３の水性分散液３２内に配置されたロール３４ｂ側に送られ、ガラスクロス３１に水性分散液３２が塗布される。含浸槽３３の上方側には一対のドクターロール３５が配置されている。ドクターロール３５の上方側には、熱処理温度が夫々異なるように区切られた加熱炉７が配置されている。この加熱炉７は、下側から順に乾燥部７ａ，加熱処理部７ｂ，焼成部７ｃの３つのブロックに区切られ、乾燥部７ａから焼成部７ｃに向かって順次温度が高い状態の温度分布をもつように制御されている。加熱炉７の下流には、ロール３４ｃ、３４ｄ及び３４ｅと、巻取りロール９が配置されている。

【0064】

上述の構成を有する装置を用いて、以下の手順で織布上に第１フッ素樹脂含有層を形成する。

【0065】

まず、送出しロール３０に巻かれたガラスクロス３１を、含浸槽３３内に配置されたロール３４ｂ側に送り、ガラスクロス３１に水性分散液３２を塗布する。次に、一対のドクターロール３５によりガラスクロス３１の表面に塗布された余分の水性分散液３２を掻きとる。続いて、水性分散液３２が塗布されたガラスクロス３１を加熱炉７の乾燥部７ａに送り、塗布された水性分散液３２を１００℃以下の温度で乾燥して水性分散液３２中の水分を蒸発させる。次に、ガラスクロス３１を加熱処理部７ｂに送り、例えば３０５℃でゆっくり加熱処理して水性分散液３２中の界面活性剤、添加剤、バインダー等を除去する。

【0066】

続く焼成部７ｃでは、焼成を行ってもよく、行わなくてもよい。焼成部７ｃでの焼成を行う場合、その焼成温度は、例えば、第１フッ素樹脂含有層の形成に使用するフッ素樹脂の融点以上の温度とする。焼成部７ｃを通過することで、ＰＴＦＥ及び／又はＦＥＰがガラスクロスに対して溶着してプリプレグ５が作製される。プリプレグ５は、ロール３４ｃ、３４ｄ及び３４ｅを経て、巻取りロール９に巻き取られる。

【0067】

以上の操作を複数回繰り返してもよい。即ち、巻取ったプリプレグに対して、再度水性分散液を塗布、乾燥及び焼成することを繰り返すことにより、複数層の第１フッ素樹脂含有層を形成することができる。これにより、プリプレグにおける第１フッ素樹脂含有層の厚さを調節することができる。こうして、ガラスクロス上に第１フッ素樹脂含有層が形成されたプリプレグが得られる。

【0068】

ここで、乾燥部７ａでの「乾燥」は、塗布された水性分散液中の水分を１００℃以下の温度で蒸発させる工程であることが好ましい。また、加熱処理部７ｂでの「加熱処理」は、塗布された水性分散液中の界面活性剤、添加剤、バインダー等の樹脂粒子以外の成分を所定の温度範囲で処理して除去する工程であることが好ましい。加熱処理の温度範囲は３０５℃以上３４０℃未満であることが好ましい。

【0069】

（２）上述の通り形成した第１フッ素樹脂含有層の両面上に、前述した含浸コーティング法によって、更に第２フッ素樹脂含有層を積層させることができる。但し、前述の通り、第２フッ素樹脂含有層の形成は省略してもよい。

【0070】

第２フッ素樹脂含有層形成用の水性分散液として、例えば、ＰＴＦＥ粒子と無機フィラーとを含む分散液を準備する。先に作製した、ガラスクロスの両面上に第１フッ素樹脂含有層が形成されたプリプレグに対して、準備した水性分散液を用いて更に含浸コーティングを施す。含浸コーティングは、複数回繰り返してもよい。こうして、第１フッ素樹脂含有層上に第２フッ素樹脂含有層を形成することができる。

【0071】

第２フッ素樹脂含有層は、下記に示す熱ラミネートにより形成してもよい。
まず、所定量の無機フィラーを含むＰＴＦＥフィルムを用意して、必要に応じてこれを裁断する。その後、第１フッ素樹脂含有層上にＰＴＦＥフィルムを置いてこれらを熱ラミネートに供する。こうして、ＰＴＦＥフィルムを第２フッ素樹脂含有層として第１フッ素樹脂含有層上に積層させることができる。

【0072】

熱ラミネートは、例えば、ロールラミネータを用いて実施する。その際、例えば、ロール温度を３６０℃～４２０℃の範囲内、線圧を２０Ｎ／ｃｍ～６０Ｎ／ｃｍの範囲内、且つ、ロールスピードを１ｍ／ｍｉｎ～４ｍ／ｍｉｎの範囲内とする。

【0073】

（３）作製したプリプレグの両面上に、ＰＦＡ樹脂を含む第３フッ素樹脂含有層を形成する。具体的には、例えば、図４を参照しながら説明したのと同様の方法でＰＦＡ樹脂を含む水性分散液をプリプレグ上に塗布した後、これを乾燥及び焼成に供して、プリプレグの表面上及び裏面上に第３フッ素樹脂含有層が形成された積層体を形成する。以下、この積層体を第１積層体とも呼ぶ。第３フッ素樹脂含有層はプリプレグの片面にのみ形成してもよい。ＰＦＡ樹脂を含む水性分散液としては、例えば、ＡＧＣ株式会社製のＦｌｕｏｎ＋ ＥＡ－２０００を樹脂粒子として含むディスパージョンを使用する。ＡＧＣ株式会社製のＦｌｕｏｎ＋ ＥＡ－２０００は、上述した通り接着性の変性ＰＦＡ樹脂である。

【0074】

（４）少なくとも一方の主面の表面粗さが１μｍ以下である金属箔を用意して、当該主面が第３フッ素樹脂含有層と接するように、金属箔を第１積層体上に積層して積層体を得る。以下、この積層体を第２積層体とも呼ぶ。金属箔は、第１積層体の一方の面上に積層されていてもよく、両面上に積層されていてもよい。

【0075】

工程（４）の後に、第２積層体が含む金属箔上に、金属箔を保護するための保護あて箔を積層させてもよい。保護あて箔としては、後述する熱圧プレスの際の加熱温度に耐え得るものであれば特に限定されず、耐熱性プラスチックフィルム（非熱可塑性ポリイミドフィルム等）、金属箔（銅箔、アルミニウム箔、ＳＵＳ箔等）等が挙げられる。保護あて箔は、例えば、積層板を製造した後に、積層板を所望の大きさに切断する際に金属箔層を保護するために設けられる。積層板を所望の大きさに切断した後には、保護あて箔は金属箔層上から剥離され得る。

【0076】

（５）上記第２積層体に熱圧プレスを施して実施形態に係る積層板を得る。
一例として、工程（５）における熱圧プレスの詳細を説明する。積層板へのコンタミネーションを抑制するために、熱圧プレスはクリーンルーム内で実施されることが望ましい。

【0077】

熱圧プレスは、一対の熱盤から構成される熱圧プレス手段を有する真空プレス装置によって行われることが好ましい。或いは、熱圧プレスは、例えば、一対の金属ロールを供えた熱ロールラミネート装置によって連続的に実施されてもよい。

【0078】

真空プレス装置は、２つ以上の部材を加熱しながら圧着できる一対以上の熱盤を有している。真空プレス装置は、熱圧プレス手段において、真空状態で熱圧プレスを施すための機構を有している。これら以外の装置構成は特に限定されるものではない。

【0079】

熱圧プレス手段における加熱方式は、特に限定されるものではなく、たとえば、熱循環方式、熱風加熱方式、誘導加熱方式等、所定の温度で加熱し得る従来公知の方式を採用できる。

【0080】

熱圧プレス手段における加圧方式は、特に限定されるものではなく、たとえば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等、所定の圧力を加えることができる従来公知の方式を採用できる。

【0081】

熱圧プレスの際の加熱温度、プレス圧力（面圧）及び真空度の設定条件は、それぞれ、熱圧プレス処理の経過時間に応じて変化させることが可能である。例えば、熱圧プレス処理の経過時間に応じて加熱温度、プレス圧力及び真空度を段階的に高めた後、或る時点からは、経過時間に応じて加熱温度、プレス圧力及び真空度を段階的に低下させることができる。

【0082】

熱圧プレスは、例えば、６０分－１５０分に亘って行うことができる。

【0083】

加熱温度は、例えば、常温以上４００℃以下の範囲内で設定することができる。金属箔層をフッ素樹脂含有層上に接着させるためには、接着性の変性ＰＦＡ樹脂の融点以上の温度、例えば３５０℃－３７０℃で加熱することが好ましい。

【0084】

プレス圧力は、例えば、５ｋｇ／ｃｍ²－５０ｋｇ／ｃｍ²の範囲内で設定することができる。プレス圧力を印加しない設定も可能である。プレス圧力が不足すると、金属箔層の剥離強度が劣る傾向にある。プレス圧力が過度に高いと、積層板の寸法が変化してしまう可能性があるため好ましくない。

【0085】

真空度は、例えば、０．１Ｔｏｒｒ－８００．０Ｔｏｒｒの範囲内で設定することができる。真空度が過度に低いと、各材料の層間にエアーを巻き込み、層間剥離及び／又は金属箔（銅箔）酸化を引き起こす可能性がある。真空度が過度に高いと、各材料の滑り崩れにより層間剥離を引き起こす可能性がある。

【0086】

以上に説明した実施形態に係る製造方法によると、プリプレグが備える第１フッ素樹脂含有層は、フッ素樹脂のみならず無機フィラーを含んでいるため、熱膨張率の低い積層板を得ることができる。

【0087】

また、実施形態に係る積層板は、金属箔層をエッチングして形成されたパターン回路を備えたプリント基板でありうる。金属箔層の第１面の表面粗さが１μｍ以下であるため、金属箔層をパターンエッチングした場合に、金属箔残りが生じにくく、所望のパターン形状を精度良く得ることができる。それ故、ファインピッチパターンを成形する場合でも直線性に優れた線路を成形することができる。

【0088】

実施形態に係る積層板は、イメージセンサー、衝突防止用車載レーダー、並びに、ＩｏＴ（Internet of Things）及び５Ｇなどのアプリケーションを主体とした大容量無線通信等の種々の装置に搭載され得る。

【0089】

［実施例］
以下に実施例を説明するが、実施形態は、以下に記載される実施例に限定されるものではない。

【0090】

（実施例１）
実施例１では、以下に示す手順で図１に示す積層構成を有する積層板を作製した。

【0091】

ガラスクロスとして、低誘電ガラスクロスＮＥガラス（日東紡績株式会社製）ＩＰＣ規格１０７８を用意した。ガラスクロスは巻き芯に巻き付けられた状態であり、厚さは０．０４４ｍｍであった。このガラスクロスについて、ＪＩＳ Ｒ １６４１：２００７に準拠して、周波数１ＧＨｚの条件での比誘電率及び誘電正接を測定したところ、その値はそれぞれ４．８及び０．００１５であった。

【0092】

ガラスクロス上に塗布する第１水性分散液として、ＰＴＦＥ樹脂粒子の固形分濃度が６０重量％の水性分散液を用意し、これに５０重量％の割合でシリカ粒子を添加して撹拌した。シリカ粒子の平均粒子径（Ｄ５０）は５μｍであった。次いで、第１水性分散液を含浸槽に注いで、含浸槽を第１水性分散液で満たした。そして、上述したように、図４を参照しながら説明した方法に従ってガラスクロスを送り出し、ガラスクロスの両面上に第１フッ素樹脂含有層を供えたプリプレグを作製した。

【0093】

次に、ＰＦＡ樹脂粒子を含む第２水性分散液として、ＥＡ－２０００の粒子を含む水性分散液（ＡＧＣ株式会社製）を用意した。ＥＡ－２０００は、実質的に接着性の変性ＰＦＡ樹脂からなるフッ素樹脂粒子である。別途用意した含浸槽を第２水性分散液で満たした。図４を参照しながら説明した方法に従って、先に作製したプリプレグを当該含浸槽内に送り出し、乾燥及び焼成を経て、プリプレグの両面上に第３フッ素樹脂含有層を形成した。プリプレグの両面上に第３フッ素樹脂含有層が形成された積層体を、ここでは第１積層体とも呼ぶ。

【0094】

その後、金属箔として、片面（第１面）の表面粗さＲｚが１μｍの銅箔を２枚用意した。銅箔１枚の厚さは０．０１２ｍｍであった。銅箔の第１面が第３フッ素樹脂含有層に接触するようにして、第１積層体の両面上に銅箔を積層して、第２積層体を得た。

【0095】

得られた第２積層体をアルミニウム箔で被覆した状態でクリーンルームに搬入した。その後、第２積層体に対して２００分間に亘り熱圧プレスを実施して積層板を完成させた。得られた積層板の厚さは１９５μｍであり、誘電体の厚さは１２７μｍであった。誘電体の厚さとは、プリプレグと、第３フッ素樹脂含有層との合計厚さを意味する。また、積層板が含むガラスクロスの厚さは４３μｍであった。

【0096】

実施例１に係る積層板の伝送損失を、マイクロストリップライン法により評価したところ、伝送損失は、周波数６０ＧＨｚの条件で－０．０６２ｄＢであった。

【0097】

（実施例２）
実施例２では、以下に示す手順で図２に示す積層構成を有する積層板を作製した。
実施例１で用いたものと同じガラスクロスを用意し、第３水性分散液として、ＰＴＦＥ樹脂粒子の固形分濃度が６０重量％の水性分散液を用意した。この分散液は無機フィラーを含んでいなかった。次いで、第３水性分散液を含浸槽に注いで、含浸槽を第３水性分散液で満たした。そして、図４を参照しながら説明した方法に従ってガラスクロスを送り出し、ガラスクロスの両面上に第１フッ素樹脂含有層を担持させた。

【0098】

第１フッ素樹脂含有層上に塗布する第４水性分散液として、ＰＴＦＥ樹脂粒子の固形分濃度が６０重量％の水性分散液を用意し、これに５０重量％の割合でシリカ粒子を添加して撹拌した。シリカ粒子の平均粒子径（Ｄ５０）は５μｍであった。次いで、第４水性分散液を含浸槽に注いで、含浸槽を第４水性分散液で満たした。そして、上述したように、図４を参照しながら説明した方法に従ってプリプレグを送り出し、乾燥及び焼成を経て、プリプレグの両面上に第２フッ素樹脂含有層を形成した。

【0099】

得られたプリプレグの両面上に、実施例１と同様の方法で第３フッ素樹脂含有層を形成した。プリプレグの両面上に第３フッ素樹脂含有層が形成された積層体を、ここでは第１積層体とも呼ぶ。

【0100】

金属箔として、実施例１で使用したのと同じ銅箔を２枚用意し、それぞれの銅箔の第１面が第３フッ素樹脂含有層に接触するようにして、第１積層体の両面上に銅箔を積層して、第２積層体を得た。

【0101】

その後、得られた第２積層体をアルミニウム箔で被覆した状態でクリーンルームに搬入した。その後、第２積層体に対して２００分間に亘り熱圧プレスを実施して積層板を完成させた。熱圧プレスにおける温度は３６０℃、プレス圧力は２．０ＭＰａ、真空度は０．１ｔｏｒｒであった。得られた積層板の厚さは１６３μｍであり、誘電体の厚さは１２７μｍであった。誘電体の厚さとは、プリプレグと、第３フッ素樹脂含有層との合計厚さを意味する。また、積層板が含むガラスクロスの厚さは４３μｍであった。

【0102】

実施例２に係る積層板の伝送損失を、マイクロストリップライン法により評価したところ、伝送損失は、周波数６０ＧＨｚの条件で－０．０３３ｄＢであった。

【0103】

（比較例１）
第３フッ素樹脂含有層の形成を省略したことを除いて、実施例２で説明したのと同様の方法で積層板を作製した。得られた積層板の厚さは０．１２０ｍｍであった。

【0104】

（比較例２）
第２フッ素樹脂含有層がシリカを含んでいなかったことを除いて、実施例２で説明したのと同様の方法で積層板を作製した。得られた積層板の厚さは０．１９０ｍｍであった。

【0105】

＜線膨張係数の測定＞
各例にて作製した積層板の線膨張係数を、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に準拠して測定した。測定温度範囲は６５℃～１５０℃とした。

【0106】

＜金属箔（銅箔）の剥離強度測定＞
各例にて作製した積層板が備える２枚の銅箔のうちの一方について、ＪＩＳ Ｃ ６４８１に準拠して剥離強度を測定した。

【0107】

各例に係る線膨張係数及び剥離強度の測定結果を下記表１にまとめる。

【0108】

【表1】

【0109】

実施例１及び２と、比較例１とを比較すると、第３フッ素樹脂含有層を有する実施例１及び２の剥離強度は、これを有しない比較例１の剥離強度と比較して顕著に優れていることが分かる。また、比較例２に係る積層板において第２フッ素樹脂含有層は無機フィラーを含んでいなかった。それ故、比較例２に係る線膨張係数は、面内方向（Ｘ軸及びＹ軸方向）並びにＺ軸方向のいずれにおいても実施例１及び２の積層板と比較して劣っていた。加えて、比較例２に係る積層板の金属箔層の剥離強度も実施例１及び２と比較して劣っていた。

【0110】

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、各実施形態は適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。更に、上記実施形態には種々の発明が含まれており、開示される複数の構成要件から選択された組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、課題が解決でき、効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。

【符号の説明】

【0111】

１…積層板、２…ガラスクロス、３、３ａ、３ｂ…第１フッ素樹脂含有層、４ａ、４ｂ…金属箔層、５…プリプレグ、６ａ、６ｂ…第３フッ素樹脂含有層、７…加熱炉、８ａ、８ｂ…第２フッ素樹脂含有層、９…巻取りロール、１１、１２…面、３０…送出しロール、３１…ガラスクロス、３２…水性分散液、３３…含浸槽、３４…ロール、３５…ドクターロール。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】