特開2022-188434ガスキャリア気化器、これを含む蒸着装置、及びこれを用いた有機ＥＬ素子の製造方法

発明の名称　ガスキャリア気化器、これを含む蒸着装置、及びこれを用いた有機ＥＬ素子の製造方法

出願人　株式会社カネカ　（識別番号 941）

　　　　特許公開件数ランキング 63 位（413件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 77 位（304件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-188434

公報発行日　2022年12月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-188434

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