特開 2022-188782 スタッカクレーン

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022188782

(43)【公開日】2022-12-22

(54)【発明の名称】スタッカクレーン

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20221215BHJP

【ＦＩ】

B65G1/04 527

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2019211508

(22)【出願日】2019-11-22

(71)【出願人】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100156395

【弁理士】

【氏名又は名称】荒井 寿王

(72)【発明者】

【氏名】崔 ▲イン▼

(72)【発明者】

【氏名】石川 和広

【テーマコード（参考）】

3F022

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022BB09

3F022EE05

3F022FF01

3F022JJ09

3F022MM03

3F022MM11

3F022MM13

(57)【要約】

【課題】据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現する。
【解決手段】スタッカクレーン７は、連結構造１５０を備える。連結構造１５０は、外側部材１５１と、第１内側部材１５２と、第２内側部材１５３と、第１内側部材１５２及び外側部材１５１を上側柱部材１２０に固定する第１固定部材１５４と、第２内側部材１５３及び外側部材１５１を下側柱部材１３０に固定する第２固定部材１５５と、第１内側部材１５２を上側柱部材１２０に固定する第３固定部材１５６と、第２内側部材１５３を下側柱部材１３０に固定する第４固定部材１５７と、を有する。外側部材１５１及び第１内側部材１５２の位置関係を規定する第１孔１５１ｄ及び第１ピンＰ１が設けられ、外側部材１５１及び第２内側部材１５３の位置関係を規定する第２孔１５１ｅ及び第２ピンＰ２が設けられている。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

高さ方向に複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、前記マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンであって、
複数の前記柱部材のうち隣接する第１及び第２柱部材を連結する連結構造を備え、
前記連結構造は、
前記第１及び第２柱部材に渡って取り付けられる外側部材と、
前記第１柱部材と前記外側部材との間に配置される第１内側部材と、
前記第２柱部材と前記外側部材との間に配置される第２内側部材と、
前記第１内側部材と共に前記外側部材を前記第１柱部材に固定する第１固定部材と、
前記第２内側部材と共に前記外側部材を前記第２柱部材に固定する第２固定部材と、
前記第１内側部材を前記第１柱部材に固定する第３固定部材と、
前記第２内側部材を前記第２柱部材に固定する第４固定部材と、を有し、
前記外側部材及び前記第１内側部材には、前記外側部材と前記第１内側部材との位置関係を規定する第１位置決め部が設けられ、
前記外側部材及び前記第２内側部材には、前記外側部材と前記第２内側部材との位置関係を規定する第２位置決め部が設けられている、スタッカクレーン。

【請求項2】

前記第１位置決め部は、前記外側部材及び前記第１内側部材の一方に形成された第１孔と、前記外側部材及び前記第１内側部材の一方に形成され当該第１孔に嵌合する第１ピンと、を含み、
前記第２位置決め部は、前記外側部材及び前記第２内側部材の一方に形成された第２孔と、前記外側部材及び前記第２内側部材の一方に形成され当該第２孔に嵌合する第２ピンと、を含む、請求項１に記載のスタッカクレーン。

【請求項3】

前記第１孔及び前記第１ピンは、それぞれ複数形成され、
前記第２孔及び前記第２ピンは、それぞれ複数形成され、
複数の前記第１孔のうちの何れか及び複数の第２孔のうちの何れかは、長孔である、請求項２に記載のスタッカクレーン。

【請求項4】

前記連結構造は、前記第１内側部材と前記第１柱部材との間、及び、前記第２内側部材と前記第２柱部材との間の少なくとも何れかに介在されるシム板を有する、請求項１～３の何れか一項に記載のスタッカクレーン。

【請求項5】

前記連結構造は、前記第１及び第２柱部材の側壁及び後壁の少なくとも何れかに設けられる、請求項１～４の何れか一項に記載のスタッカクレーン。

【請求項6】

前記第１及び第２柱部材の側壁に設けられる前記連結構造は、前記外側部材に連結され前記第１及び第２柱部材の前壁に固定される前側部材を更に有する、請求項５に記載のスタッカクレーン。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スタッカクレーンに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば特許文献１には、高さ方向に複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４８２６９４１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したようなスタッカクレーンにおいては、マストを構成する複数の柱部材は、例えば、工場等にて位置関係が調整されて連結された後、当該連結が解除されて出荷され、据付け現場にて再び連結される。据付け現場では、調整された位置関係が再現されるように複数の柱部材が連結されるが、当該位置関係の再現には手間がかかる場合がある。

【0005】

そこで、本発明は、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能なスタッカクレーンを提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係るスタッカクレーンは、高さ方向に複数の柱部材が連結されて構成されたマストと、マストに沿って昇降する昇降台と、を具備するスタッカクレーンであって、複数の柱部材のうち隣接する第１及び第２柱部材を連結する連結構造を備え、連結構造は、第１及び第２柱部材に渡って取り付けられる外側部材と、第１柱部材と外側部材との間に配置される第１内側部材と、第２柱部材と外側部材との間に配置される第２内側部材と、第１内側部材と共に外側部材を第１柱部材に固定する第１固定部材と、第２内側部材と共に外側部材を第２柱部材に固定する第２固定部材と、第１内側部材を第１柱部材に固定する第３固定部材と、第２内側部材を第２柱部材に固定する第４固定部材と、を有し、外側部材及び第１内側部材には、外側部材と第１内側部材との位置関係を規定する第１位置決め部が設けられ、外側部材及び第２内側部材には、外側部材と第２内側部材との位置関係を規定する第２位置決め部が設けられている。

【0007】

このスタッカクレーンでは、例えば工場等において、位置関係を調整して第１及び第２柱部材を連結構造により連結した後、当該連結を解除する際には、第１及び第２固定部材を取り外すことで、外側部材を第１及び第２内側部材から取り外す一方、第１及び第２内側部材のそれぞれは、第１及び第２柱部材のそれぞれに固定したままとすることができる。そして、据付け現場において、第１及び第２固定部材を再び取り付け、外側部材を第１及び第２内側部材に固定することで、第１及び第２柱部材を再び連結することができる。このとき、第１及び第２位置決め部により、外側部材と第１及び第２内側部材との位置関係が規定されることから、工場等において調整した位置関係が再現されるようにして第１及び第２柱部材が連結されることになる。したがって、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能となる。

【0008】

本発明に係るスタッカクレーンでは、第１位置決め部は、外側部材及び第１内側部材の一方に形成された第１孔と、外側部材及び第１内側部材の一方に形成され当該第１孔に嵌合する第１ピンと、を含み、第２位置決め部は、外側部材及び第２内側部材の一方に形成された第２孔と、外側部材及び第２内側部材の一方に形成され当該第２孔に嵌合する第２ピンと、を含んでいてもよい。この構成では、外側部材と第１内側部材との位置関係の規定を、第１孔への第１ピンの嵌合により実現することができる。また、外側部材と第２内側部材との位置関係の規定を、第２孔への第２ピンの嵌合により実現することができる。

【0009】

本発明に係るスタッカクレーンでは、第１孔及び第１ピンは、それぞれ複数形成され、第２孔及び第２ピンは、それぞれ複数形成され、複数の第１孔のうちの何れか及び複数の第２孔のうちの何れかは、長孔であってもよい。この構成では、第１孔と第１ピンとを容易に嵌合させることができ、且つ、第２孔と第２ピンとを容易に嵌合させることができる。

【0010】

本発明に係るスタッカクレーンでは、連結構造は、第１内側部材と第１柱部材との間、及び、第２内側部材と第２柱部材との間の少なくとも何れかに介在されるシム板を有していてもよい。第１内側部材は第１柱部材に一度固定されると取り外す必要がなく、同様に、第２内側部材は第２柱部材に一度固定されると取り外す必要がないことから、それらの間に介在されるシム板も、一度取り付けると取り外す必要がない。よって、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、シム板の管理が不要となり、調整された位置関係を一層容易に再現することが可能となる。

【0011】

本発明に係るスタッカクレーンでは、連結構造は、第１及び第２柱部材の側壁及び後壁の少なくとも何れかに設けられていてもよい。この構成では、第１及び第２柱部材を精度よく連結することができる。

【0012】

本発明に係るスタッカクレーンでは、第１及び第２柱部材の側壁に設けられる連結構造は、外側部材に連結され第１及び第２柱部材の前壁に固定される前側部材を更に有していてもよい。この構成では、前側部材によってマストの変形を効果的に抑えることができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、据付け現場において複数の柱部材を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能なスタッカクレーンを提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカを示す断面図である。

【図2】マストを示す斜視図である。

【図3】マストを示す平断面図である。

【図4】連結構造を示す斜視図である。

【図5】連結構造の外側部材を厚さ方向から見た図である。

【図6】連結構造の前側部材を厚さ方向から見た図である。

【図7】（ａ）は、連結構造の第１内側部材を厚さ方向から見た図である。（ｂ）は、連結構造の第２内側部材を厚さ方向から見た図である。

【図8】連結構造を示す分解斜視図である。

【図9】中間壁連結板を厚さ方向から見た図である。

【図10】シム板を厚さ方向から見た図である。

【図11】マストの据付けの一例を説明するための斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」及び「下」の語は、鉛直方向の上方向及び下方向にそれぞれ対応する。

【0016】

一実施形態に係るスタッカクレーンを備えたストッカについて説明する。図１に示されるように、ストッカ１は、半導体ウエハ及びガラス基板等の被格納物が格納されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の格納容器（搬送物）９０を保管する保管庫としての機能を有している。ストッカ１は、例えば、クリーンルームに設けられる。ストッカ１は、ストッカ本体３、ラック４、スタッカクレーン７、及び、コントローラ８０を主に備えている。

【0017】

ストッカ本体３は、ストッカ１の内部空間Ａを画成する部分であり、複数のパーティションにより形成されている。ラック４は、格納容器９０を保管する部分であり、通常、１～２列（ここでは、２列）設けられている。各ラック４は、Ｘ方向（幅方向）に延在しており、隣り合う２つのラック４，４が対向するように略平行に配置されている。各ラック４は、格納容器９０を載置して保管する複数の収納棚５０を有している。収納棚５０は、Ｘ方向及びＺ方向（鉛直方向）に沿って配列されている。

【0018】

スタッカクレーン７は、格納容器９０を収納棚５０に対して出し入れすると共に、格納容器９０を図示しない入庫ポート及び出庫ポートと収納棚５０との間、あるいは収納棚５０間で移動させる機構である。スタッカクレーン７は、対向するラック４，４に挟まれた領域に配置されている。スタッカクレーン７は、ラック４の延在方向（Ｘ方向）に沿って床面に配置された軌道（図示せず）を走行して、ラック４に沿ってＸ方向に移動することができる。

【0019】

スタッカクレーン７は、走行部７１と、昇降部７４と、旋回部７５と、ハンド７９と、を備える。走行部７１は、モータ等の走行駆動部によって軌道に沿ってＸ方向に走行可能に設けられている。昇降部７４は、マスト１００及び昇降台７３を含む。マスト１００は、走行部７１に設けられ、Ｚ方向に延在する部材である。昇降台７３は、モータ等の昇降駆動部によって、マスト１００に沿って昇降可能に設けられている。旋回部７５は、当該旋回部７５上に搭載されたハンド７９等を、Ｚ方向に沿う軸回り回転方向に回転させる。

【0020】

ハンド７９は、格納容器９０を載置する。ハンド７９は、昇降台７３に設けられている。ハンド７９は、移載装置（不図示）によって進退（平面視において昇降台７３の外に進出及び昇降台７３上に退入）して、格納容器９０を移載する。なお、走行部７１、昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９の構成、機構ないし配置については、特に限定されない。走行部７１、昇降部７４、旋回部７５及びハンド７９としては、公知の種々の機構ないし装置を採用することができる。

【0021】

コントローラ８０は、スタッカクレーン７における各部を制御する。コントローラ８０は、例えば、ストッカ本体３の内部に配置される。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアとプログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。

【0022】

次に、スタッカクレーン７のマスト１００について詳細に説明する。

【0023】

図２に示されるように、マスト１００は、Ｚ方向（高さ方向）に複数の柱部材１１０が連結されて構成されている。柱部材１１０は、Ｚ方向に長尺状を呈し、互いに突き合わせるようにしてＺ方向に隣接して配置されている。スタッカクレーン７は、Ｚ方向に隣接する一対の柱部材１１０を連結する連結構造１５０を複数備える。

【0024】

図３に示されるように、柱部材１１０は、Ｚ方向から見てＸ方向に沿って延び、且つ、Ｙ方向に互いに対向する一対の側壁１０１を有する。一対の側壁１０１それぞれの前側（Ｘ方向の一方側）には、一対の側壁１０１からＹ方向内側に折れ曲がって連なるように前壁１０２がそれぞれ設けられている。一対の前壁１０２は、Ｚ方向から見てＹ方向に沿って延びる。一対の側壁１０１におけるＸ方向中央よりも後側寄りには、一対の側壁１０１に架け渡すように後壁１０３が設けられている。後壁１０３は、Ｚ方向から見てＹ方向に沿って延びる。後壁１０３におけるＹ方向中央には、側壁１０１と後壁１０３とで画成された後部空間を仕切るように後部中間壁１０４が設けられている。後部中間壁１０４は、Ｚ方向から見てＸ方向に沿って延びる。

【0025】

一対の前壁１０２それぞれのＹ方向内側の端部には、Ｙ方向に沿って延びるカバー１０５が設けられている。側壁１０１と前壁１０２とカバー１０５とは、前部空間ＦＡを画成する。前部空間ＦＡには、昇降台７３（図１）用のレール１０６と、昇降台７３とのバランスをとるためのバランスウェイト（不図示）用のレール１０７と、がＺ方向に延びるように配置されている。レール１０６は、後壁１０３の前面１０３ａに設けられている。レール１０７は、何れか一方の側壁１０１の内面１０１ａに設けられている。以下、複数の柱部材１１０のうちの任意の一つを上側柱部材（第１柱部材）１２０とし、複数の柱部材１１０のうちの他の一つであって上側柱部材１２０の下側に隣接するものを下側柱部材（第２柱部材）１３０として説明する。

【0026】

次に、上側柱部材１２０と下側柱部材１３０とを連結する構造について説明する。

【0027】

連結構造１５０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０における一対の側壁１０１の外面１０１ｂのそれぞれに設けられる。図３～図８の少なくとも何れかに示されるように、連結構造１５０は、外側と内側との２重の板構造を有する。連結構造１５０は、外側部材１５１、第１内側部材１５２、第２内側部材１５３、第１固定部材１５４、第２固定部材１５５、第３固定部材１５６及び第４固定部材１５７を有する。

【0028】

図３、図４、図５及び図８に示されるように、外側部材１５１は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に渡って取り付けられる矩形板状の部材である。外側部材１５１は、例えば平面度が一般的に高い金属材料であるアルミニウムで形成されている。外側部材１５１は、第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３に当接する。外側部材１５１は、第１固定部材１５４が挿通される第１固定用孔１５１ａと、第２固定部材１５５が挿通される第２固定用孔１５１ｂと、第１内側部材１５２を固定している第３固定部材１５６及び第２内側部材１５３を固定している第４固定部材１５７との干渉を回避する貫通孔１５１ｃと、第１内側部材１５２の後述する第１ピンＰ１が嵌合する一対の第１孔１５１ｄと、第２内側部材１５３の後述する第２ピンＰ２が嵌合する一対の第２孔１５１ｅと、第１孔１５１ｄの周辺及び第２孔１５１ｅの周辺に設けられた抜きタップ１５１ｆと、を含む。

【0029】

第１固定用孔１５１ａは、外側部材１５１の上部において例えば碁盤目状に並ぶように設けられている。第２固定用孔１５１ｂは、外側部材１５１の下部において例えば碁盤目状に並ぶように設けられている。貫通孔１５１ｃは、第１内側部材１５２を固定している第３固定部材１５６の頭部、及び、第２内側部材１５３を固定している第４固定部材１５７の頭部を露出させる空間である。貫通孔１５１ｃは、外側部材１５１におけるＺ方向に隣接する第１固定用孔１５１ａの間の各位置、及び、Ｚ方向に隣接する第２固定用孔１５１ｂの間の位置に設けられている。

【0030】

第１孔１５１ｄは、第１内側部材１５２の第１ピンＰ１に対応する位置にて、第１ピンＰ１に対応する断面形状で設けられている。第１孔１５１ｄには、第１ピンＰ１が圧入されて、第１ピンＰ１がしまり嵌めで嵌合される。第１孔１５１ｄは、外側部材１５１の上部における３つの貫通孔１５１ｃの各間の位置に形成されている。一対の第１孔１５１ｄの一方は、真円孔である。一対の第１孔１５１ｄの他方は、当該一対の第１孔１５１ｄが並ぶ方向を長尺方向とする長孔である。

【0031】

第２孔１５１ｅは、第２内側部材１５３の第２ピンＰ２に対応する位置にて、第２ピンＰ２に対応する断面形状で設けられている。ここでの第２孔１５１ｅは、円形孔である。第２孔１５１ｅには、第２ピンＰ２が圧入されて、第２ピンＰ２がしまり嵌めで嵌合される。第２孔１５１ｅは、外側部材１５１の下部における３つの貫通孔１５１ｃの各間の位置に形成されている。一対の第２孔１５１ｅの一方は、真円孔である。一対の第２孔１５１ｅの他方は、当該一対の第２孔１５１ｅが並ぶ方向を長尺方向とする長孔である。

【0032】

抜きタップ１５１ｆは、第１孔１５１ｄの周辺及び第２孔１５１ｅの周辺のそれぞれに設けられている。抜きタップ１５１ｆは、第１ピンＰ１の第１孔１５１ｄからの抜き出し、及び、第２ピンＰ２の第２孔１５１ｅからの抜き出しの際に利用されるネジ孔である。

【0033】

図３、図４、図６及び図８に示されるように、側壁１０１に設けられる連結構造１５０にあっては、前側部材１５８を更に有する。前側部材１５８は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に渡って取り付けられる矩形板状の部材である。前側部材１５８は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の前壁１０２に当接する。前側部材１５８は、例えばアルミニウムで形成されている。前側部材１５８は、外側部材１５１の前端の内側に、ネジ１５９により外側部材１５１と垂直となるように連結される。前側部材１５８は、ボルト１６２によって前壁１０２に固定される。前側部材１５８の前壁１０２への固定（締結）は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。

【0034】

図３、図４、図７（ａ）及び図８に示されるように、第１内側部材１５２は、上側柱部材１２０と外側部材１５１との間に配置される矩形板状の部材である。第１内側部材１５２は、例えば剛性が高く且つ低コストな金属材料であるステンレス鋼で形成されている。第１内側部材１５２は、上側柱部材１２０の下端部の側壁１０１に当接する。第１内側部材１５２は、第１固定部材１５４が挿通される第１固定用孔１５２ａと、第３固定部材１５６が挿通される第３固定用孔１５２ｂと、外側部材１５１の第１孔１５１ｄに嵌合する一対の第１ピンＰ１と、を含む。

【0035】

第１固定用孔１５２ａは、第１内側部材１５２の縁部において外側部材１５１の第１固定用孔１５１ａと連通可能な各位置に設けられている。第３固定用孔１５２ｂは、第１内側部材１５２において外側部材１５１の貫通孔１５１ｃ内に配置可能な各位置に設けられている。第３固定用孔１５２ｂは、第１内側部材１５２においてＺ方向に隣接する第１固定用孔１５２ａの間に設けられている。

【0036】

第１ピンＰ１は、第１内側部材１５２における外側部材１５１の第１孔１５１ｄに対応する位置にて、第１孔１５１ｄに対応する断面形状で立設されている。ここでの第１ピンＰ１は、円柱形状を呈する。第１ピンＰ１は、第１内側部材１５２における隣接する第３固定用孔１５２ｂの間に形成されている。第１ピンＰ１は、第１孔１５１ｄに圧入されて、しまり嵌めで嵌合する。第１ピンＰ１は、外側部材１５１の厚さ以上の突出長を有する。第１ピンＰ１は、例えば第１内側部材１５２に溶接により固定されている。なお、第１ピンＰ１の固定は溶接に限定されず、種々の手法により固定できる。

【0037】

図３、図４、図７（ｂ）及び図８に示されるように、第２内側部材１５３は、下側柱部材１３０と外側部材１５１との間に配置される矩形板状の部材である。第２内側部材１５３は、例えば剛性が高く且つ低コストな金属材料であるステンレス鋼で形成されている。第２内側部材１５３は、下側柱部材１３０の上端部の側壁１０１に当接する。第２内側部材１５３は、第２固定部材１５５が挿通される第２固定用孔１５３ａと、第４固定部材１５７が挿通される第４固定用孔１５３ｂと、外側部材１５１の第２孔１５１ｅに嵌合する一対の第２ピンＰ２と、を含む。

【0038】

第２固定用孔１５３ａは、第２内側部材１５３の縁部において外側部材１５１の第２固定用孔１５１ｂと連通可能な各位置に設けられている。第４固定用孔１５３ｂは、第２内側部材１５３において外側部材１５１の貫通孔１５１ｃ内に配置可能な各位置に設けられている。第４固定用孔１５３ｂは、第２内側部材１５３においてＺ方向に隣接する第２固定用孔１５３ａの間に設けられている。

【0039】

第２ピンＰ２は、第２内側部材１５３における外側部材１５１の第２孔１５１ｅに対応する位置にて、第２孔１５１ｅに対応する断面形状で立設されている。ここでの第２ピンＰ２は、円柱形状を呈する。第２ピンＰ２は、第２内側部材１５３における隣接する第４固定用孔１５３ｂの間に形成されている。第２ピンＰ２は、第２孔１５１ｅに圧入されて、しまり嵌めで嵌合する。第２ピンＰ２は、外側部材１５１の厚さ以上の突出長を有する。第２ピンＰ２は、例えば第２内側部材１５３に溶接により固定されている。なお、第２ピンＰ２の固定は溶接に限定されず、種々の手法により固定できる。

【0040】

図４及び図８に示されるように、第１固定部材１５４は、第１内側部材１５２と共に外側部材１５１を上側柱部材１２０に固定する。第１固定部材１５４としては、例えば共締めボルトが用いられる。第１固定部材１５４は、第１固定用孔１５１ａ，１５２ａに挿通される。第１固定部材１５４の上側柱部材１２０への固定（締結）は、上側柱部材１２０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。

【0041】

第２固定部材１５５は、第２内側部材１５３と共に外側部材１５１を下側柱部材１３０に固定する。第２固定部材１５５としては、例えば共締めボルトが用いられる。第２固定部材１５５は、第２固定用孔１５１ｂ，１５３ａに挿通される。第２固定部材１５５の下側柱部材１３０への固定（締結）は、下側柱部材１３０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。

【0042】

第３固定部材１５６は、第１内側部材１５２を上側柱部材１２０に固定する。第３固定部材１５６としては、例えばその取付け及び取外し作業に専用工具が必要な特殊ねじ（いたずら防止ねじ）が用いられる。第３固定部材１５６は、第３固定用孔１５２ｂに挿通される。第３固定部材１５６の上側柱部材１２０への固定（締結）は、上側柱部材１２０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。第４固定部材１５７は、第２内側部材１５３を下側柱部材１３０に固定する。第４固定部材１５７としては、例えばその取付け及び取外し作業に専用工具が必要な特殊ねじ（いたずら防止ねじ）が用いられる。第４固定部材１５７は、第４固定用孔１５３ｂに挿通される。第４固定部材１５７の下側柱部材１３０への固定（締結）は、下側柱部材１３０に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。第３固定部材１５６及び第４固定部材１５７の頭部は、外側部材１５１の貫通孔１５１ｃ内において露出する。

【0043】

以上に説明した連結構造１５０において、第１内側部材１５２の第１ピンＰ１と外側部材１５１の第１孔１５１ｄとは、外側部材１５１と第１内側部材１５２との位置関係を規定する第１位置決め部を構成する。第２内側部材１５３の第２ピンＰ２と外側部材１５１の第２孔１５１ｅとは、外側部材１５１と第２内側部材１５３との位置関係を規定する第２位置決め部を構成する。

【0044】

図３及び図９に示されるように、スタッカクレーン７は、上側柱部材１２０と下側柱部材１３０とを連結する構造として、中間壁連結板１６０を更に備える。中間壁連結板１６０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に渡って取り付けられる矩形板状の部材である。中間壁連結板１６０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の後部中間壁１０４に当接する。中間壁連結板１６０は、例えばアルミニウムで形成されている。中間壁連結板１６０は、ボルト１６３によって上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の後部中間壁１０４に固定される。中間壁連結板１６０の後部中間壁１０４への固定（締結）は、後部中間壁１０４に形成されている縦溝ＭＺを利用して実現することができる。

【0045】

図１０に示されるように、連結構造１５０は、第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間、及び、第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間に介在されるシム板１７０を有する。シム板１７０は、厚さ方向から見てＵ字状を呈する板部材である。シム板１７０は、厚さ方向から見て、そのＵ字状の内側に１又は複数の第３固定部材１５６ないし第４固定部材１５７が位置するように（第３固定部材１５６ないし第４固定部材１５７がＵ字状で囲まれるように）、配置される。用いるシム板１７０は、複数種の厚さのシム板１７０の中から適宜のものが選択されたり、使用する枚数が選択される。シム板１７０は、第１内側部材１５２の表面と第２内側部材１５３の表面とを、同一の鉛直面上に位置するように調整する。

【0046】

図３に戻り、スタッカクレーン７では、連結構造１５０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の後壁１０３の後面１０３ｂにも設けられている。後壁１０３に設けられる連結構造１５０は、後面１０３ｂにおける後部中間壁１０４を介したＹ方向の一方側と他方側とのそれぞれに設けられている。後壁１０３に設けられる連結構造１５０は、側壁１０１に設けられる連結構造１５０に対して前側部材１５８を備えない点で異なり、それ以外の点では同様に構成されている。

【0047】

次に、マスト１００を据付け現場に据え付ける場合の一例を説明する。

【0048】

まず、例えば工場等の製造現場において、外側部材１５１の一対の第１孔１５１ｄに第１内側部材１５２の一対の第１ピンＰ１を嵌合させつつこれらを重ね合わせる。これと共に、外側部材１５１の一対の第２孔１５１ｅに第２内側部材１５３の一対の第２ピンＰ２を嵌合させつつこれらを重ね合わせる。これにより、外側部材１５１と第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３とを組み付けた、連結構造１５０のサブアッシーを得る。

【0049】

サブアッシーにおける外側部材１５１及び第１内側部材１５２を、第１固定部材１５４により上側柱部材１２０に共締めで固定する。サブアッシーにおける外側部材１５１及び第２内側部材１５３を、第２固定部材１５５により下側柱部材１３０に共締めで固定する。サブアッシーにおける第１内側部材１５２のみを、第３固定部材１５６により上側柱部材１２０に固定する。サブアッシーにおける第２内側部材１５３のみを、第４固定部材１５７により下側柱部材１３０に固定する。これにより、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が連結構造１５０により連結される。

【0050】

このとき、必要に応じて、シム板１７０を第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間及び第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間に介在させ、上側柱部材１２０と下側柱部材１３０との位置関係を調整する。また、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０それぞれの後部中間壁１０４に中間壁連結板１６０を固定し、これらを連結する。

【0051】

続いて、第１固定部材１５４及び第２固定部材１５５を取り外す。外側部材１５１の抜きタップ１５１ｆを利用して、第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３を上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０に固定したまま、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３から取り外す。また、中間壁連結板１６０を上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０から取り外す。これにより、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の連結を解除する。連結を解除した状態において上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が出荷され、据付け現場（「現地」又は「据付け現地」とも称する）に移送される。

【0052】

このとき、例えば図１１に示されるように、後壁１０３に設けられる連結構造１５０では、外側部材１５１を下側柱部材１３０には固定したままとしてもよい。また、中間壁連結板１６０を下側柱部材１３０には固定したままとしてもよい。これにより、後述の再連結時において、外側部材１５１及び中間壁連結板１６０を、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を突き合わせる際のガイドとして機能させることができる。

【0053】

また、側壁１０１に設けられる連結構造１５０では、外側部材１５１を一旦取り外した後に、図示されるように上方へオフセットして上側柱部材１２０に仮固定してもよい。具体的には、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３から取り外した後、その上下幅の１／２ほど上方へ移動させ、第２固定用孔１５１ｂに第１固定部材１５４を挿通して、外側部材１５１を第１内側部材１５２と共に上側柱部材１２０に固定してもよい。これにより、連結構造１５０のハンドリング性を高めることができる。

【0054】

そして、据付け現場において、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を再連結する。具体的には、立姿勢の下側柱部材１３０の前側から、立姿勢の上側柱部材１２０を水平方向に沿って接近させて、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０をＺ方向に突き合わせるように配置する。外側部材１５１の一対の第１孔１５１ｄに第１内側部材１５２の一対の第１ピンＰ１を嵌合させつつこれらを重ね合わせると共に、外側部材１５１の一対の第２孔１５１ｅに第２内側部材１５３の一対の第２ピンＰ２を嵌合させつつこれらを重ね合わせる。外側部材１５１及び第１内側部材１５２を、第１固定部材１５４により上側柱部材１２０に共締めで固定すると共に、外側部材１５１及び第２内側部材１５３を、第２固定部材１５５により下側柱部材１３０に共締めで固定する。上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０それぞれの後部中間壁１０４に中間壁連結板１６０を固定する。以上により、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が再連結され、マスト１００の据付けが完了する。

【0055】

以上、スタッカクレーン７では、例えば工場等において、位置関係を調整して上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を連結構造１５０により連結した後、当該連結を解除する際には、第１固定部材１５４及び第２固定部材１５５を取り外すことで、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３から取り外す一方、第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３のそれぞれは、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０のそれぞれに固定したままとすることができる。そして、据付け現場において、第１固定部材１５４及び第２固定部材１５５を再び取り付け、外側部材１５１を第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３に固定することで、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を再び連結することができる。このとき、第１及び第２位置決め部（第１孔１５１ｄ、第２孔１５１ｅ、第１ピンＰ１及び第２ピンＰ２）により、外側部材１５１と第１内側部材１５２及び第２内側部材１５３との位置関係が規定されることから、工場等において調整した位置関係が再現されるようにして上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０が連結されることになる。したがって、特別な加工を施すことなく、調整した位置関係を再現できる。据付け現場において複数の柱部材１１０を連結する際に、調整された位置関係を容易に再現することが可能となる。品質の向上及び作業時間の短縮が可能となる。

【0056】

スタッカクレーン７では、第１位置決め部として第１孔１５１ｄ及び第１ピンＰ１が設けられ、第２位置決め部として第２孔１５１ｅ及び第２ピンＰ２が設けられている。外側部材１５１と第１内側部材１５２との位置関係の規定を、第１孔１５１ｄへの第１ピンＰ１の嵌合により実現することができる。また、外側部材１５１と第２内側部材１５３との位置関係の規定を、第２孔１５１ｅへの第２ピンＰ２の嵌合により実現することができる。

【0057】

スタッカクレーン７では、第１孔１５１ｄ及び第１ピンＰ１は、それぞれ複数形成され、第２孔１５１ｅへの第２ピンＰ２は、それぞれ複数形成され、複数の第１孔１５１ｄのうちの何れか及び複数の第２孔１５１ｅのうちの何れかは、長孔である。この構成では、第１孔１５１ｄと第１ピンＰ１とを容易に嵌合させることができ、且つ、第２孔１５１ｅと第２ピンＰ２とを容易に嵌合させることができる。

【0058】

スタッカクレーン７では、連結構造１５０は、第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間、及び、第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間に介在されるシム板１７０を有している。第１内側部材１５２は上側柱部材１２０に一度固定されると取り外す必要がなく、同様に、第２内側部材１５３は下側柱部材１３０に一度固定されると取り外す必要がないことから、それらの間に介在されるシム板１７０も、一度取り付けると取り外す必要がない。よって、据付け現場において複数の柱部材１１０を連結する際に、シム板１７０の管理が不要となり、調整された位置関係を一層容易に再現することが可能となる。

【0059】

スタッカクレーン７では、連結構造１５０は、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の側壁１０１及び後壁１０３に設けられていてもよい。この構成では、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０を精度よく連結することができる。また特に、高精度の連結が要求される面（例えば、側壁１０１の内面１０１ａ及び後壁１０３の前面１０３ａ）を、その高精度を満足して連結させることができる。

【0060】

スタッカクレーン７では、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の側壁１０１に設けられる連結構造１５０は、外側部材１５１に連結され上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の前壁１０２に固定される前側部材１５８を更に有している。この構成では、マスト１００の変形（例えば、一対の前壁１０２の間が開くような歪み）を効果的に抑えることができる。

【0061】

なお、スタッカクレーン７では、マスト１００の剛性を高める（変形を抑える）ために、一つの柱部材１１０の側壁１０１の外面において上端部及び下端部に設けられた連結構造１５０の間の位置に、矩形板状の補強板１９０（図２参照）が当接されて固定（締結）されている。このような補強板１９０は、場合によっては、設けられていなくてもよい。

【0062】

以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0063】

例えば、上記実施形態では、上述のスタッカクレーン７とは異なる構成のスタッカクレーンに連結構造１５０を適用してもよい。上記実施形態では、搬送物の例としてＦＯＵＰのような格納容器９０を例に挙げて説明したが、レチクルを格納するレチクルポッドであってもよい。また、段ボール、通函等の搬送物であってもよい。上記実施形態において、連結構造１５０の各部材の形状ないし材質は、特に限定されず、種々の形状ないし材質であってもよい。

【0064】

上記実施形態では、マスト１００を構成する柱部材１１０の数は限定されず、２以上であればよい。上記実施形態では、連結構造１５０の数は限定されず、１又は２以上であればよい。上記実施形態では、第１固定部材１５４、第２固定部材１５５、第３固定部材１５６及び第４固定部材１５７は限定されず、例えばその他の一般的な締結具であってもよい。

【0065】

上記実施形態では、上側柱部材１２０及び下側柱部材１３０の側壁１０１及び後壁１０３の何れかのみに、１又は複数の連結構造１５０が設けられていてもよい。上記実施形態は、中間壁連結板１６０（図３参照）を備えていなくてもよい。上記実施形態は、前側部材１５８（図３参照）を備えていなくてもよい。上記実施形態では、シム板１７０（図１０参照）は、第１内側部材１５２と上側柱部材１２０との間、及び、第２内側部材１５３と下側柱部材１３０との間の少なくも一方に設けられていればよい。或いは、上記実施形態は、シム板１７０を備えていなくてもよい。

【符号の説明】

【0066】

７…スタッカクレーン、７３…昇降台、１００…マスト、１０１…側壁、１０３…後壁、１１０…柱部材、１２０…上側柱部材（柱部材，第１柱部材）、１３０…下側柱部材（柱部材，第２柱部材）、１５０…連結構造、１５１…外側部材、１５１ｄ…第１孔（第１位置決め部）、１５１ｅ…第２孔（第２位置決め部）、１５２…第１内側部材、１５３…第２内側部材、１５４…第１固定部材、１５５…第２固定部材、１５６…第３固定部材、１５７…第４固定部材、１５８…前側部材、１７０…シム板、Ｐ１…第１ピン（第１位置決め部）、Ｐ２…第２ピン（第２位置決め部）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】