特開 2022-188805 検査用プローブ及びプローブユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022188805

(43)【公開日】2022-12-22

(54)【発明の名称】検査用プローブ及びプローブユニット

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/067 20060101AFI20221215BHJP

【ＦＩ】

G01R1/067 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021097019

(22)【出願日】2021-06-10

(71)【出願人】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(74)【代理人】

【識別番号】100152272

【弁理士】

【氏名又は名称】川越 雄一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100152146

【弁理士】

【氏名又は名称】伏見 俊介

(72)【発明者】

【氏名】土屋 昌俊

【テーマコード（参考）】

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G011AA09

2G011AA17

2G011AB01

2G011AB03

2G011AB04

2G011AB06

2G011AC31

2G011AC32

2G011AE03

(57)【要約】

【課題】高周波用途の被検査物や電極間ピッチが狭い被検査物への適用も可能な検査用プローブ、及び前記検査用プローブを備えたプローブユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】管状のバレル１０と、バレル１０の第１端部１０ａ内に先端部分１２ａを露出させて設けられた第１プランジャ１２と、バレル１０の第２端部１０ｂ内に先端部分１４ａを露出させて設けられた第２プランジャ１４と、バレル１０内の第１プランジャ１２と第２プランジャ１４の間に設けられたゴム部２０と、を備えた検査用プローブ１であって、ゴム部２０によって第１プランジャ１２と第２プランジャ１４が互いに離間する向きに付勢されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

管状のバレルと、
前記バレルの中心軸方向の少なくとも一方の端部内に、先端部分を露出させて設けられたプランジャと、
前記バレル内に設けられたゴム部と、を備え、
前記ゴム部によって前記プランジャがその先端方向に付勢されている、検査用プローブ。

【請求項2】

前記バレルの第１端部内に先端部分を露出させて設けられた第１プランジャと、前記バレルの第２端部内に先端部分を露出させて設けられた第２プランジャとを備え、前記ゴム部が前記バレル内の前記第１プランジャと前記第２プランジャの間に設けられ、前記ゴム部によって前記第１プランジャと前記第２プランジャが互いに離間する向きに付勢されている、請求項１に記載の検査用プローブ。

【請求項3】

前記ゴム部が、エラストマに導電性物質が配合された導電ゴムを含有する、請求項１又は２に記載の検査用プローブ。

【請求項4】

前記ゴム部が、前記導電ゴムからなる導電部とエラストマからなる絶縁部とを備え、かつ前記導電部と前記絶縁部とが前記バレルの中心軸に直交する径方向に交互に設けられてそれぞれ前記バレルの中心軸方向に延在している異方導電ゴムからなる、請求項３に記載の検査用プローブ。

【請求項5】

前記ゴム部が、エラストマからなる絶縁部に、複数の金属線が前記バレルの中心軸方向に貫通して設けられた異方導電ゴムからなる、請求項１又は２に記載の検査用プローブ。

【請求項6】

プローブホルダと、前記プローブホルダによって保持された請求項１～５のいずれか一項に記載の検査用プローブの複数本と、を備えるプローブユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、検査用プローブ及びプローブユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイス、電子デバイス等の検査においては、バレルの両端部にプランジャが設けられ、それぞれのプランジャがバレル内のバネによって外側に向かって付勢されたスプリングプローブが広く用いられている（例えば特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－５６７６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、微小なバネを製造することは困難であることから、スプリングプローブの縮小化には制限がある。そのため、スプリングプローブの全長を短くして導通経路を短くしたり、バレル径を小さくしてスプリングプローブを狭ピッチで配置したりすることは難しく、高周波用途の被検査物や電極間ピッチが狭い被検査物への適用が困難である。

【0005】

本発明は、高周波用途の被検査物や電極間ピッチが狭い被検査物への適用も可能な検査用プローブ、及び前記検査用プローブを備えたプローブユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、以下の構成を有する。
［１］管状のバレルと、前記バレルの中心軸方向の少なくとも一方の端部内に、先端部分を露出させて設けられたプランジャと、前記バレル内に設けられたゴム部と、を備え、前記ゴム部によって前記プランジャがその先端方向に付勢されている、検査用プローブ。
［２］前記バレルの第１端部内に先端部分を露出させて設けられた第１プランジャと、前記バレルの第２端部内に先端部分を露出させて設けられた第２プランジャとを備え、前記ゴム部が前記バレル内の前記第１プランジャと前記第２プランジャの間に設けられ、前記ゴム部によって前記第１プランジャと前記第２プランジャが互いに離間する向きに付勢されている、［１］に記載の検査用プローブ。
［３］前記ゴム部が、エラストマに導電性物質が配合された導電ゴムを含有する、［１］又は［２］に記載の検査用プローブ。
［４］前記ゴム部が、前記導電ゴムからなる導電部とエラストマからなる絶縁部とを備え、かつ前記導電部と前記絶縁部とが前記バレルの中心軸に直交する径方向に交互に設けられてそれぞれ前記バレルの中心軸方向に延在している異方導電ゴムからなる、［３］に記載の検査用プローブ。
［５］前記ゴム部が、エラストマからなる絶縁部に、複数の金属線が前記バレルの中心軸方向に貫通して設けられた異方導電ゴムからなる、［１］又は［２］に記載の検査用プローブ。
［６］プローブホルダと、前記プローブホルダによって保持された［１］～［５］のいずれかに記載の検査用プローブの複数本と、を備えるプローブユニット。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、高周波用途の被検査物や電極間ピッチが狭い被検査物への適用も可能な検査用プローブ、及び前記検査用プローブを備えたプローブユニットを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施形態の検査用プローブを示した断面図である。

【図2】他の実施形態の検査用プローブを示した断面図である。

【図3】他の実施形態の検査用プローブを示した断面図である。

【図4】他の実施形態の検査用プローブを示した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態の一例について図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において例示される図の寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。

【0010】

［検査用プローブ］
図１に示すように、本実施形態の検査用プローブ１は、バレル１０と、第１プランジャ１２と、第２プランジャ１４と、ゴム部２０と、を備えている。バレル１０は管状であり、第１プランジャ１２はバレル１０の第１端部１０ａ内に先端部分１２ａが露出するように設けられている。また、第２プランジャ１４は、バレル１０の第２端部１０ｂ内に先端部分１４ａが露出するように設けられている。ゴム部２０は、バレル１０内の第１プランジャ１２と第２プランジャ１４の間に設けられている。

【0011】

バレル１０は、円筒状の胴部１６と、胴部１６の第１端１６ａから全周にわたって内側に突出する第１円環部１７ａと、胴部１６の第２端１６ｂから全周にわたって内側に突出する第２円環部１７ｂと、を備えている。バレル１０の両端には第１円環部１７ａの内側と第２円環部１７ｂの内側にそれぞれ開口１８ａ，１８ｂが形成されている。

【0012】

バレル１０の材質としては、特に限定されず、例えば公知の材質を制限なく使用できる。具体的には、例えば、真鍮、リン青銅、洋白、ベリリウム銅、白銅等の銅合金を例示できる。なかでも、強度が高く、機械的性質として曲げ、絞り加工性が良い点から、リン青銅が好ましい。バレル１０の材質としては、１種でもよく、２種以上でもよい。

【0013】

バレル１０の内面にはメッキ膜が形成されていてもよい。バレル１０の内面にメッキ膜が形成されていれば、該メッキ膜を通じて第１プランジャ１２と第２プランジャ１４との間の導通を確保できるため、検査用プローブ１の導通がより安定になる。メッキ膜の材質としては、特に限定されず、例えば、金、白金、銀、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、ニッケルを例示できる。なかでも、電気伝導性が高く、耐食性も高い点から、金が好ましい。メッキ膜は１層であってもよく、２層以上であってもよい。

【0014】

第１プランジャ１２は、円柱状の先端部分１２ａと、先端部分１２ａの後端側に設けられた先端部分１２ａよりも径が大きい拡径部１２ｂと、を備えている。第１プランジャ１２は、拡径部１２ｂがバレル１０の第１端部１０ａ内に収容され、先端部分１２ａがバレル１０の第１端部１０ａ側の開口１８ａから突き出ている。第１プランジャ１２はゴム部２０によって先端１２ｃ側に向かって付勢されているが、拡径部１２ｂがバレル１０の第１円環部１７ａに引っ掛かることで抜け落ちないようになっている。

【0015】

第１プランジャ１２は導電性を有する。なお、本発明において、「導電性を有する」とは、表面電気抵抗計により測定される表面電気抵抗値が１０^７Ω以下であることを意味する。第１プランジャ１２の材質としては、特に限定されず、例えば公知の材質を制限なく使用できる。具体的には、例えば、ベリリウム銅、パラジウム合金、快削炭素工具鋼、タングステンを例示できる。なかでも、低抵抗であることからメッキが不要であり、半田の転写を抑制できる点から、パラジウム合金が好ましい。第１プランジャ１２の材質としては、１種であってもよく、２種以上であってもよい。

【0016】

第１プランジャ１２の表面にはメッキ膜が形成されていてもよい。第１プランジャ１２の表面に形成するメッキ膜の材質としては、特に限定されず、例えば、金、白金、銀、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、ニッケルを例示できる。なかでも、電気伝導性が高く、耐食性も高い点から、金が好ましい。第１プランジャ１２の表面のメッキ膜は、１層であってもよく、２層以上であってもよい。

【0017】

第２プランジャ１４は、円柱状の先端部分１４ａと、先端部分１４ａの後端側に設けられた先端部分１４ａよりも径が大きい拡径部１４ｂと、を備えている。第２プランジャ１４は、拡径部１４ｂがバレル１０の第２端部１０ｂ内に収容され、先端部分１４ａがバレル１０の第２端部１０ｂ側の開口１８ｂから突き出ている。第１プランジャ１２と同様に、第２プランジャ１４はゴム部２０によって先端１４ｃ側に向かって付勢されているが、拡径部１４ｂがバレル１０の第２円環部１７ｂに引っ掛かることで抜け落ちないようになっている。検査用プローブ１では、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４はゴム部２０によって互いに離間する向きに付勢されている。

【0018】

第２プランジャ１４は導電性を有する。第２プランジャ１４の材質としては、第１プランジャ１２で例示した材質と同じ材質を例示でき、好ましい態様も同じである。第２プランジャ１４の材質としては、１種であってもよく、２種以上であってもよい。第１プランジャ１２と第２プランジャ１４の材質は同じであっても異なっていてもよく、同じであることが好ましい。第２プランジャ１４の表面には、第１プランジャ１２の表面と同様にメッキ膜が形成されていてもよい。第２プランジャ１４の表面に形成するメッキ膜の材質及び態様としては、第１プランジャ１２の表面に形成するメッキ膜において例示したものと同じものを例示でき、好ましい態様も同じである。

【0019】

この例のゴム部２０は、エラストマに導電性物質が配合された導電ゴムからなり、導電性を有している。これにより、検査用プローブ１では、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４とがゴム部２０を介して電気的に接続されている。このように、この例のゴム部２０は、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する向きに付勢しつつ、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４とを電気的に接続する役割を果たしている。

【0020】

ゴム部２０の形状は、特に限定されず、バレル１０内に収容でき、かつ第１プランジャ１２と第２プランジャ１４をそれぞれ付勢できる範囲内で適宜設定すればよく、例えば、円柱状、球状、四角柱等の多角柱状を例示できる。

【0021】

バレル１０の中心軸方向のゴム部２０の厚みは、０．００５ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、０．０５ｍｍ以上３ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上２ｍｍ以下がさらに好ましい。ゴム部２０の厚みが前記範囲の下限値以上であれば、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する方向に付勢することが容易になる。ゴム部２０の厚みが前記範囲の上限値以下であれば、導通経路が短くなり高周波特性が向上する。なお、ゴム部２０の厚みは、ゴム部２０の厚み方向の断面から任意に選択した１０箇所の厚みを測定した値の平均値として求められる。

【0022】

ゴム部２０に用いるエラストマとしては、特に限定されず、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂等のエラストマ性の熱硬化性樹脂、合成ゴム、ポリエチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、ＡＢＳ樹脂、軟質塩化ビニル樹脂等の熱可塑性樹脂を例示できる。なかでも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーン樹脂が好ましい。ゴム部２０に用いるエラストマとしては、１種であってもよく、２種以上であってもよい。

【0023】

ゴム部２０に用いるエラストマのデュロメータに従って測定される硬度は、５以上９５以下が好ましく、１０以上８０以下がより好ましい。エラストマの硬度が前記範囲の下限値以上であれば、エラストマによるプランジャへの付勢力を確保しやすいため、プランジャと電極の接触がより安定になる。エラストマの硬度が前記範囲の上限値以下であれば、プランジャから電極に加わる荷重が過度に高くなり難いため、複数の電極を有する被検査物を検査する場合でも被検査物の破損を抑制しやすい。

【0024】

導電性物質は、表面電気抵抗計により測定される表面電気抵抗値が１０^７Ω以下である物質である。導電ゴムに配合する導電性物質としては、特に限定されず、例えば、黒鉛、カーボンナノチューブ等のカーボン系導電材、銀粒子、金粒子、銅粒子、パラジウム粒子等の金属粒子、ポリアセチレン、ポリチオフェン等の高分子系導電材を例示できる。なかでも、電気伝導性が高く、耐食性も高く、材料価格の点から、銀粒子が好ましい。導電ゴムに配合する導電性物質としては、１種であってもよく、２種以上であってもよい。

【0025】

導電ゴム中の導電性物質の配合量は、導電ゴム中のエラストマ１００質量部に対して、１０質量部以上９０質量部以下が好ましく、２０質量部以上８０質量部以下がより好ましい。導電性物質の配合量が前記範囲の下限値以上であれば、ゴム部２０を介した第１プランジャ１２と第２プランジャ１４との間の導通がより安定になる。導電性物質の配合量が前記範囲の上限値以下であれば、導電ゴムの圧縮後の復元性を確保しやすいために第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する方向に十分に付勢しやすい。

【0026】

検査用プローブ１の全長、すなわちバレルの中心軸方向の第１プランジャ１２の先端１２ｃと第２プランジャ１４の先端１４ｃとの距離は、０．１ｍｍ以上１５ｍｍ以下が好ましく、０．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下がより好ましい。検査用プローブ１の全長が前記範囲の下限値以上であれば、被検査物の電極高さのばらつきを吸収するストロークを確保でき、導通がより安定になる。検査用プローブ１の全長が前記範囲の上限値以下であれば、導通経路を短くすることができ高周波特性に優れるため、高周波用途の半導体デバイス、電子デバイス等の検査に好適に使用できる。

【0027】

検査用プローブ１のバレル径、すなわちバレル１０の外径は、０．０１ｍｍ以上２ｍｍ以下が好ましく、０．０２ｍｍ以上１ｍｍ以下がより好ましい。バレル径が前記範囲の下限値以上であれば、バレルに強度があり、繰り返し使用することができる。バレル径が前記範囲の上限値以下であれば、プローブユニットにおいて複数の検査用プローブ１を狭ピッチで配置しやすいため、電極間ピッチが狭い半導体デバイス、電子デバイス等の検査に好適に使用できる。

【0028】

検査用プローブ１の製造方法としては、特に限定されず、例えばバネの代わりに導電ゴムからなるゴム部２０を用いる以外は公知のスプリングプローブの製造方法を利用できる。

【0029】

以上説明したように、検査用プローブ１では、スプリングプローブのバネの代わりにゴム部２０がバレル１０内に設けられている。縮小化には限界があるバネに比べて、抜き加工、レーザー加工、微細成形金型による成形等によって寸法を容易に小さくできるゴム部２０をバレル１０内に設けることで、検査用プローブ１は全長及びバレル径を容易に小さくすることができる。検査用プローブ１の全長が短くなると導通経路が短くなり高周波特性が向上する。またバレル径が小さくなると検査用プローブ１を狭ピッチで配置できる。これらのことから、検査用プローブ１は高周波用途の被検査物や電極間ピッチが狭い被検査物の検査に好適に使用できる。

【0030】

また、ゴム部２０は容易に小さくできることから、検査時に電極を検査用プローブ１に圧接する際に要する荷重を小さくするこができる。そのため、たとえ被検査物の電極面積が大きく複数本の検査用プローブ１が電極と接する場合であっても検査時に要する荷重を小さくなり、検査が容易になる。さらに、ゴム部２０を小さくできることで、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４の電気的な接続が熱膨張によって不安定になることも抑制しやすい。

【0031】

本実施形態のようにゴム部２０が導電ゴムからなる場合には、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４との間をゴム部２０によって電気的に接続できるため、バレル１０の内面にメッキ膜が形成されていなくても導通を確保することができる。この場合、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を必ずしもバレル１０の内面に接触させる必要がなく設計の自由度が高くなるうえ、バレル１０の内面にメッキ処理を施さない分だけ検査用プローブ１を低コスト化することもできる。

【0032】

また、検査用プローブ１では検査時にゴム部２０が電極とは接触せず、第１プランジャ１２又は第２プランジャ１４が電極と接する。そのため、繰り返し検査を行った場合の半田ボールのカスはゴム部２０上ではなくプランジャ上に堆積するため、半田ボールのカスの除去が容易である。また検査時に検査用プローブ１を被検査物の電極ごとに配置すれば、検査用プローブ１に欠陥があった場合に欠陥のある検査用プローブ１のみを交換することが容易になる。

【0033】

なお、本発明の検査用プローブは、前記した検査用プローブ１には限定されない。例えば、図２に例示した検査用プローブ２であってもよい。図２における図１と同じ部分は同符号を付して説明を省略する。検査用プローブ２は、ゴム部２０の代わりにゴム部２０Ａを備えている以外は、検査用プローブ１と同様の態様である。

【0034】

ゴム部２０Ａは、導電ゴムからなる導電部２２と、エラストマからなる絶縁部２４とを備えている。ゴム部２０Ａは、ゴム部２０Ａをバレル１０の中心軸に沿って切断した断面において導電部２２と絶縁部２４とがバレル１０の中心軸に直交する径方向に交互に設けられ、それぞれバレル１０の中心軸方向に延在している異方導電ゴムからなる。

【0035】

導電部２２を構成する導電ゴムとしては、例えば検査用プローブ１のゴム部２０を構成する導電ゴムと同様の導電ゴムを用いることができ、好ましい態様も同じである。
絶縁部２４を構成するエラストマとしては、特に限定されず、例えば検査用プローブ１のゴム部２０において例示したエラストマと同じエラストマを例示でき、好ましい態様も同じである。

【0036】

検査用プローブ１のゴム部２０のように全体に導電性物質が配合されていると、エラストマ単独の場合に比べて圧縮後の復元性が低くなりやすく、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する方向に付勢する力が低下することがある。これに対し、絶縁部２４は導電性物質を含まないため、導電性物質に起因する復元力の低下がない。そのため、ゴム部２０Ａのようにバレル１０の中心軸に直交する径方向に導電部２２と絶縁部２４を交互に設けることで、十分な付勢力を維持できる優れた耐久性と、導電部２２による第１プランジャ１２と第２プランジャ１４の電気的接続を両立することができる。

【0037】

バレル１０の中心軸方向のゴム部２０Ａの厚みは、０．００５ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、０．０５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下がさらに好ましい。ゴム部２０Ａの厚みが前記範囲の下限値以上であれば、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する方向に付勢することが容易になる。ゴム部２０Ａの厚みが前記範囲の上限値以下であれば、導通経路が短くなり高周波特性が向上する。なお、ゴム部２０Ａの厚みは、ゴム部２０の厚み方向の断面から任意に選択した１０箇所の厚みを測定した値の平均値として求められる。

【0038】

ゴム部２０Ａをバレル１０の中心軸に沿って切断した断面におけるゴム部２０Ａの総面積に対する導電部２２の合計面積の割合は、１０％以上９０％以下が好ましく、３０％以上７０％以下がより好ましい。導電部２２の合計面積の割合が前記範囲の下限値以上であれば、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４との電気的な接続がより安定になる。導電部２２の合計面積の割合が前記範囲の上限値以下であれば、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する方向に付勢する力が十分に得られやすい。

【0039】

また、本発明の検査用プローブは、図３に例示した検査用プローブ３であってもよい。図３における図１と同じ部分は同符号を付して説明を省略する。検査用プローブ３は、ゴム部２０の代わりにゴム部２０Ｂを備えている以外は、検査用プローブ１と同様の態様である。

【0040】

ゴム部２０Ｂは、エラストマからなる絶縁部２４に、複数の金属線２６がバレル１０の中心軸方向に第１プランジャ１２側から第２プランジャ１４側まで貫通して設けられた異方導電ゴムからなる。この例の複数の金属線２６は、各々の長さ方向がバレル１０の中心軸方向に延び、かつ互いに平行に設けられている。なお、複数の金属線２６は、バレル１０の中心軸方向に対して傾斜していてもよい。

【0041】

金属線２６としては、特に限定されず、例えば、純金線、金合金線、銀線、銀合金線、半田線、銅合金線、ＣＮＴヤーン、ピアノ線、タングステン線を例示できる。金属線２６としては、１種を単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

【0042】

金属線２６の外周にはメッキ膜が形成されていてもよい。金属線２６の外周に形成されるメッキ膜の材質としては、特に限定されず、例えば、金、白金、銀、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム、ニッケルを例示できる。金属線２６の外周に形成されるメッキ膜としては、１層であってもよく、２層以上であってもよい。

【0043】

金属線２６の両端部は絶縁部２４から突き出ていてもよい。金属線２６の両端部は絶縁部２４から突き出ている場合、金属線２６の両端の突き出た部分の平均長さは、例えば５μ以上６０μｍ以下とすることができる。
金属線２６の線径は、特に限定されず、例えば２μｍ以上１００μｍ以下とすることができる。
金属線２６同士の間隔は、特に限定されず、例えば１μｍ以上１００μｍ以下とすることができる。

【0044】

バレル１０の中心軸方向のゴム部２０Ｂの厚みは、０．００５ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、０．０５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下がより好ましく、０．１ｍｍ以上１ｍｍ以下がさらに好ましい。ゴム部２０Ｂの厚みが前記範囲の下限値以上であれば、第１プランジャ１２と第２プランジャ１４を互いに離間する方向に付勢することが容易になる。ゴム部２０Ｂの厚みが前記範囲の上限値以下であれば、導通経路が短くなり高周波特性が向上する。なお、ゴム部２０Ｂの厚みは、ゴム部２０の厚み方向の断面から任意に選択した１０箇所の厚みを測定した値の平均値として求められる。

【0045】

検査用プローブ３のゴム部２０Ｂにおいても、絶縁部２４は導電性物質を含まないために復元力の低下がない。そのため、全体に導電性物質が配合されているゴム部２０に比べてゴム部２０Ｂは耐久性に優れ、十分な付勢力を維持しやすいうえ、金属線２６によって第１プランジャ１２と第２プランジャ１４とを電気的に接続することができる。

【0046】

また、本発明の検査用プローブにおいては、バレルの内面にメッキ膜を形成して第１プランジャと第２プランジャとの間の導通を確保する場合には、ゴム部をエラストマからなる絶縁体としてもよい。

【0047】

本発明の検査用プローブは、前記した検査用プローブ１～３のように、バレルの中心軸方向の両側の端部にプランジャが設けられ、バレルの両端部で中心軸方向にプランジャが可動する態様には限定されない。例えば、バレルの中心軸方向の一方の端部のみにプランジャが設けられ、一方の端部のみでプランジャが可動する検査用プローブであってもよい。具体例としては、図４に示すように、バレル１０の中心軸方向の第１端部１０ａのみにプランジャ１２Ａが設けられ、第１端部１０ａではプランジャ１２Ａが可動するが、第２端部１０ｂは可動しない検査用プローブ４であってもよい。
バレルの中心軸方向の両側の端部にプランジャを設けた検査用プローブについて上記で述べたことのうち、プランジャを両側の端部に設ける以外のことは、バレルの中心軸方向の一方の端部のみにプランジャを設けた検査用プローブにも該当する。

【0048】

［プローブユニット］
本発明のプローブユニットは、プローブホルダと、プローブホルダによって保持された本発明の検査用プローブの複数本と、を備えるプローブユニットである。本発明のプローブユニットは、例えばＢＧＡ（Ball Grid Array）、ＬＧＡ（Land Grid Array）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＣＳＰ（Chip Size Package）といったＩＣチップがパッケージの中に搭載された半導体デバイスの製造における電気検査に使用することができる。本発明のプローブユニットは、本発明の検査用プローブを備える以外は公知の態様を採用できる。例えば多数の半導体ＩＣが形成されている半導体ウェハー内の各半導体ＩＣをウェハー状態で電気検査（オンウェハー検査）するためのプローブカードとしてもよく、ウェハーを切断してチップ化したＩＣチップをパッケージ化したパッケージド半導体（ＤＵＴ）を電気検査するためのソケットとしてもよい。

【0049】

本発明のプローブユニットでは、複数本の検査用プローブは互いに平行となるようにプローブホルダによって保持され得る。
例えば前記した検査用プローブ１～３のような両端にプランジャが設けられた検査用プローブをプローブカードやソケットに用いる場合は、次のような態様を例示できる。
プローブカードは、例えば、複数本の検査用プローブが第１プランジャを上にして保持されたプローブホルダの第１プランジャ側に検査装置の回路基板が配置され、回路基板の電極が第１プランジャの先端に圧接された構成であり得る。この場合、プローブカードの下側から検査対象の半導体ウェハー内における各半導体ＩＣの電極を第２プランジャの先端に圧接させて検査を実施する。
また、ソケットは、例えば、複数本の検査用プローブが第１プランジャを上にして保持されたプローブホルダの第２プランジャ側に検査装置の回路基板が配置され、回路基板の電極が第２プランジャの先端に圧接され、第１プランジャ側にパッケージド半導体（ＤＵＴ）を収容する収容部が設けられた構成であり得る。この場合、検査対象のＤＵＴをソケットの収容部に収容し、ＤＵＴの電極を第１プランジャの先端に圧接することにより検査を実施する。
バレルの一方の端部のみにプランジャを設けた検査用プローブをプローブカードやソケットに用いる場合には、該プランジャが検査対象のデバイス側に向くように各検査用プローブを配置する。

【0050】

プローブカードやソケットにおける各検査用プローブの長さ方向から見た検査用プローブの配置パターンは、特に限定されず、例えば、所定の間隔を空けて縦横にそれぞれ直線的に並んで配置された２次元アレイ状、千鳥状等を例示できる。

【0051】

プローブホルダに保持される検査用プローブの本数は、特に限定されず、用途に応じて適宜設定でき、１本以上であればよく、例えば１本以上１０００本以下であり得る。プローブユニットにおいては、例えば前記した検査用プローブ１～３の２種以上を組み合わせて使用してもよい。

【0052】

以上説明した実施形態は例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図するものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。

【符号の説明】

【0053】

１～４…検査用プローブ、１０…バレル、１２…第１プランジャ、１２Ａ…プランジャ、１４…第２プランジャ、２０，２０Ａ，２０Ｂ…ゴム部、２２…導電部、２４…絶縁部、２６…金属線。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】