(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022188941
(43)【公開日】2022-12-22
(54)【発明の名称】搬送用ユニット
(51)【国際特許分類】
B65G 7/04 20060101AFI20221215BHJP
B66F 3/46 20060101ALI20221215BHJP
【ＦＩ】
B65G7/04 A
B66F3/46
【審査請求】未請求
【請求項の数】4
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021097239
(22)【出願日】2021-06-10
(71)【出願人】
【識別番号】500276714
【氏名又は名称】株式会社エイテック
(74)【代理人】
【識別番号】100079577
【弁理士】
【氏名又は名称】岡田 全啓
(74)【代理人】
【識別番号】100167966
【弁理士】
【氏名又は名称】扇谷 一
(72)【発明者】
【氏名】林 潤
(57)【要約】
【課題】レイアウトの設計変更が容易で、複雑なレイアウトにも容易に対応できる搬送用ユニットを提供する。
【解決手段】この発明に係る搬送用ユニット１０は、ピストン３０とピストン３０をスライド可能に収容するためのピストン収納部とを有した複数個のシリンダ躯体１２、１４と、複数個のシリンダ躯体を連結するためのジョイント２０Ａ，２０Ｂと、ピストンをスライドさせるための圧縮ガスをシリンダ躯体のピストン収納部に供給するために、シリンダ躯体１２およびジョイント２０Ａ，２０Ｂのうちの少なくとも１つに設けられた圧縮ガス供給口と、を含む。ジョイント２０は、第１のジョイント部材と第２のジョイント部材とを組み合わせて構成された連通路を有し、連通路は、ジョイント２０によって連結された隣り合う２つのシリンダ躯体のピストン収納部に連通するように形成されている。
【選択図】図１
【解決手段】この発明に係る搬送用ユニット１０は、ピストン３０とピストン３０をスライド可能に収容するためのピストン収納部とを有した複数個のシリンダ躯体１２、１４と、複数個のシリンダ躯体を連結するためのジョイント２０Ａ，２０Ｂと、ピストンをスライドさせるための圧縮ガスをシリンダ躯体のピストン収納部に供給するために、シリンダ躯体１２およびジョイント２０Ａ，２０Ｂのうちの少なくとも１つに設けられた圧縮ガス供給口と、を含む。ジョイント２０は、第１のジョイント部材と第２のジョイント部材とを組み合わせて構成された連通路を有し、連通路は、ジョイント２０によって連結された隣り合う２つのシリンダ躯体のピストン収納部に連通するように形成されている。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ピストンと前記ピストンをスライド可能に収容するためのピストン収納部とを有した複数個のシリンダ躯体と、
複数個の前記シリンダ躯体を連結するためのジョイントと、
前記シリンダ躯体に連結され、前記ピストンをスライドさせるための圧縮ガスを前記シリンダ躯体の前記ピストン収納部に供給するための圧縮ガス供給口が設けられた端末プラグと、
を含む搬送用ユニットであって、
前記ジョイントは、第１のジョイント部材と第２のジョイント部材とを組み合わせて構成された連通路を有し、
前記連通路は、前記ジョイントによって連結された隣り合う２つの前記シリンダ躯体の前記ピストン収納部に連通するように形成され、
複数個の前記シリンダ躯体は、前記ジョイントによって直線形連結および十字形連結およびＴ字形連結およびＬ字形連結のうちの少なくともいずれか１つの連結をしている、搬送用ユニット。
複数個の前記シリンダ躯体を連結するためのジョイントと、
前記シリンダ躯体に連結され、前記ピストンをスライドさせるための圧縮ガスを前記シリンダ躯体の前記ピストン収納部に供給するための圧縮ガス供給口が設けられた端末プラグと、
を含む搬送用ユニットであって、
前記ジョイントは、第１のジョイント部材と第２のジョイント部材とを組み合わせて構成された連通路を有し、
前記連通路は、前記ジョイントによって連結された隣り合う２つの前記シリンダ躯体の前記ピストン収納部に連通するように形成され、
複数個の前記シリンダ躯体は、前記ジョイントによって直線形連結および十字形連結およびＴ字形連結およびＬ字形連結のうちの少なくともいずれか１つの連結をしている、搬送用ユニット。
【請求項2】
複数個の前記シリンダ躯体は前記ジョイントによって直線形連結し、前記ジョイントによって直線形連結している複数個の前記シリンダ躯体の前記ピストンが等間隔になるように縦列に配置されている、請求項１に記載の搬送用ユニット。
【請求項3】
前記ピストンは平面型である、請求項１または請求項２に記載の搬送用ユニット。
【請求項4】
前記ピストンはボール型である、請求項１または請求項３のいずれかに記載の搬送用ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送用ユニットに関し、特に、例えば、テーブルに組み込まれた状態でピストンを上下動し、テーブル上の搬送物を安定して上昇させたり、搬送物を小さい力で動かしたりすることができる、搬送用ユニットに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、テーブルに組み込まれた状態でピストンを上下動し、テーブル上の搬送物を安定させたり、搬送物を小さい力で動かしたりする搬送用ユニットとして、特許文献１に記載のものが提案されている。
【0003】
図２０に模式的に示すように、特許文献１に記載の搬送用ユニット２０１０は、テーブルＴに形成された複数の溝の内部に組み込まれている。搬送用ユニット２０１０は、一体に作製されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００３－２９２１２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、従来の搬送用ユニット２０１０は、一体に作製されているため、その設置場所に応じて、専用の形状の単一ピストンケース（以下、シリンダ躯体と称する）を作製しなければならなかった。
【0006】
従って、搬送用ユニットのレイアウトの設計変更が容易でないという問題があった。また、複雑なレイアウトの搬送用ユニットを作製する場合、煩雑で困難な作業が要求されるという不具合もあった。
【0007】
それゆえに、本発明の主たる目的は、レイアウトの設計変更が容易で、複雑なレイアウトにも容易に対応できる搬送用ユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明に係る搬送用ユニットは、
シリンダとピストンをスライド可能に収容するためのピストン収納部とを有した複数個のシリンダ躯体と、
複数個のシリンダ躯体を連結するためのジョイントと、
シリンダ躯体に連結され、ピストンをスライドさせるための圧縮ガスをシリンダ躯体のピストン収納部に供給するための圧縮ガス供給口が設けられた端末プラグと、
を含む搬送用ユニットであって、
ジョイントは、第１のジョイント部材と第２のジョイント部材とを組み合わせて構成された連通路を有し、
連通路は、ジョイントによって連結された隣り合う２つのシリンダ躯体のピストン収納部に連通するように形成されている、搬送用ユニットである。
シリンダとピストンをスライド可能に収容するためのピストン収納部とを有した複数個のシリンダ躯体と、
複数個のシリンダ躯体を連結するためのジョイントと、
シリンダ躯体に連結され、ピストンをスライドさせるための圧縮ガスをシリンダ躯体のピストン収納部に供給するための圧縮ガス供給口が設けられた端末プラグと、
を含む搬送用ユニットであって、
ジョイントは、第１のジョイント部材と第２のジョイント部材とを組み合わせて構成された連通路を有し、
連通路は、ジョイントによって連結された隣り合う２つのシリンダ躯体のピストン収納部に連通するように形成されている、搬送用ユニットである。
【0009】
このような搬送用ユニットにおいて、複数個のシリンダ躯体は、ジョイントによって直線形連結および十字形連結およびＴ字形連結およびＬ字形連結のうちの少なくともいずれか１つの連結をしている。
【0010】
また、本発明に係る搬送用ユニットは、複数個のシリンダ躯体がジョイントによって直線形連結し、ジョイントによって直線形連結している複数個のシリンダ躯体のピストンが等間隔になるように縦列に配置されている。
【0011】
さらに、ピストンは平面型もしくはボール型である。
【発明の効果】
【0012】
この発明によれば、レイアウトの設計変更が容易で、複雑なレイアウトにも容易に対応できる搬送用ユニットが得られる。
【0013】
本発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】（ａ）は本発明の第１の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図であり、（ｂ）はその正面図である。
【図3】（ａ）は直線形連結ジョイントの底面図であり、（ｂ）はその線Ａ３－Ａ３断面図である。
【図4】（ａ）は第１のジョイント部材の底面図であり、（ｂ）はその線Ａ４－Ａ４断面図である。
【図5】（ａ）は第２のジョイント部材の底面図であり、（ｂ）はその線Ａ５－Ａ５断面図である。
【図8】エアジョイントの正面図である。
【図9】（ａ）は止め輪の平面図であり、（ｂ）はその線Ａ９－Ａ９断面図である。
【図11】（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図であり、（ｂ）はその正面図である。
【図13】（ａ）は十字形連結ジョイントの第１のジョイント部材の平面図であり、（ｂ）は第２のジョイント部材の平面図であり、（ｃ）は第３のジョイント部材の平面図である。
【図15】（ａ）はＴ字形連結ジョイントの第１のジョイント部材の平面図であり、（ｂ）は第２のジョイント部材の平面図であり、（ｃ）は第３のジョイント部材の平面図である。
【図18】本発明の第３の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図である。
【図19】ボール型ピストンを有した搬送用ユニットの内部構造を示す断面図である。
【図20】従来の搬送用ユニットを組み込んだテーブルを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下の各実施の形態において、同一部品および同一部分には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0016】
１．第１の実施の形態
この発明の第１の実施の形態に係る搬送用ユニットについて説明する。図１（ａ）は第１の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図であり、図１（ｂ）はその正面図である。図２（ａ）は図１（ａ）に示す搬送用ユニットの一部平面拡大図であり、図２（ｂ）はその線Ａ２－Ａ２断面図である。
この発明の第１の実施の形態に係る搬送用ユニットについて説明する。図１（ａ）は第１の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図であり、図１（ｂ）はその正面図である。図２（ａ）は図１（ａ）に示す搬送用ユニットの一部平面拡大図であり、図２（ｂ）はその線Ａ２－Ａ２断面図である。
【0017】
搬送用ユニット１０は、１０個のピストン３０を有したシリンダ躯体１２と、５個のピストン３０を有したシリンダ躯体１４と、１個のピストン３０を有したシリンダ躯体１６と、第１の直線形連結ジョイント２０Ａと、第２の直線形連結ジョイント２０Ｂと、第１の端末プラグ２２と、第２の端末プラグ２４とを含む。搬送用ユニット１０は、下面１０ｂ側を下にしてテーブルＴに形成された溝の内部に組み込まれ、上面１０ａ側に搬送物が載置される。なお、搬送用ユニット１０の固定は、テーブルＴに形成された溝に限られず、設置場所に応じて適宜固定される。
【0018】
第１の実施の形態の説明において、図１（ａ）の左右方向（言い換えると、シリンダ躯体の延びる方向）を「長さ方向」とする。長さ方向に直交して、シリンダが上下動する方向を「上下方向」とする。長さ方向および上下方向に直交して、搬送用ユニット１０の正面１０ｃと背面１０ｄとが相対する方向を「幅方向」とする。
【0019】
搬送用ユニット１０は、図１および図２に示すように、第１の端末プラグ２２と、１０個のシリンダを有したシリンダ躯体１２と、第１の直線形連結ジョイント２０Ａと、５個のシリンダを有したシリンダ躯体１４と、第２の直線形連結ジョイント２０Ｂと、１個のシリンダを有したシリンダ躯体１６と、第２の端末プラグ２４とを順に直線形連結したレイアウトを構成している。
【0020】
（Ａ）第１の端末プラグ
第１の端末プラグ２２は、その長さ方向の開放側の端部に、図２に示すように、外部から所定の圧力（代表圧力範囲は、０．４ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下で、推力で言い換えると３０ｋｇｆ以上４８ｋｇｆ以下／１ピストン）程度を有する圧縮ガス（たとえば圧縮空気）が供給される、圧縮ガス供給口２２０を含む。
第１の端末プラグ２２は、その長さ方向の開放側の端部に、図２に示すように、外部から所定の圧力（代表圧力範囲は、０．４ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下で、推力で言い換えると３０ｋｇｆ以上４８ｋｇｆ以下／１ピストン）程度を有する圧縮ガス（たとえば圧縮空気）が供給される、圧縮ガス供給口２２０を含む。
【0021】
圧縮ガス供給口２２０に供給される圧縮ガスの「所定の圧力」とは、後述のピストンの自重およびワークである搬送物の自重に抗してピストンを上方に向けて移動させることができる推力を有するガス圧を意味する。
【0022】
圧縮ガス供給口２２０は、第１の端末プラグ２２の左側面の略中央部に設けられ、軸方向が長さ方向に平行に延びている。圧縮ガス供給口２２０は、例えば、テーパ状に先細りに絞り込まれ、その開口側にはネジ溝２２０ａが形成されている。圧縮ガス供給口２２０の先端部は、長さ方向に延びるＬ字形連通路２２２に連通している。なお、圧縮ガス供給口２２０の形状は、テーパ状に限られない。
【0023】
また、平面視で、圧縮ガス供給口２２０を間にして、２つの固定ボルト用貫通穴２２４が、第１の端末プラグ２２の上面から下面に向かって形成されている。固定ボルト（図示しない）は、搬送用ユニット１０をテーブルＴに形成された溝に組み込んで固定するため、固定ボルト用貫通穴２２４を挿通して、テーブルＴの溝に形成されたボルト穴に螺着される。なお、搬送用ユニット１０の固定は、テーブルＴに形成された溝に限られず、設置場所に応じて適宜固定される。これにより、第１の端末プラグ２２は、搬送用ユニット１０を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
【0024】
第１の端末プラグ２２の長さ方向のシリンダ躯体１２に連結している側の端部には、略上半分が張り出した段差部２２６が形成されている。段差部２２６の下面には、Ｌ字形連通路２２２の先端が開口している。平面視で、Ｌ字形連通路２２２を間にして、２つの連結ボルト７１０が、第１の端末プラグ２２とシリンダ躯体１２（後述）とを連結している。
【0025】
（Ｂ）直線形連結ジョイント
第１の直線形連結ジョイント２０Ａと第２の直線形連結ジョイント２０Ｂは、同様の構造を有しており、隣接する２つの複数個のシリンダ躯体を直線形連結する機能を有している。以下、ジョイント２０Ａおよびジョイント２０Ｂを総称して直線形連結ジョイント２０ともいう。直線形連結ジョイント２０は全体の形状がＩ字形をしている。直線形ジョイント２０は、シリンダ躯体等を連結するとともに、搬送用ユニット１０を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
第１の直線形連結ジョイント２０Ａと第２の直線形連結ジョイント２０Ｂは、同様の構造を有しており、隣接する２つの複数個のシリンダ躯体を直線形連結する機能を有している。以下、ジョイント２０Ａおよびジョイント２０Ｂを総称して直線形連結ジョイント２０ともいう。直線形連結ジョイント２０は全体の形状がＩ字形をしている。直線形ジョイント２０は、シリンダ躯体等を連結するとともに、搬送用ユニット１０を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
【0026】
【0027】
図４に示すように、第１のジョイント部材２５０は略矩体状であり、幅方向において、上面２５０ａの両側に切り欠け部２５２が形成されている。２つの切り欠け部２５２のそれぞれには、貫通穴２５４1と貫通穴２５４2とが長さ方向に縦列して形成されている。貫通穴２５４1は、直線形連結ジョイント２０の左側に連結されるシリンダ躯体と直線形連結ジョイント２０とを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴２５４2は、直線形連結ジョイント２０の右側に連結されるシリンダ躯体と直線形連結ジョイント２０とを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
【0028】
第１のジョイント部材２５０の下面２５０ｂの中央部には、長さ方向に延びるガス流路用長円形凹部２５６が形成されている。幅方向において、ガス流路用長円形凹部２５６と貫通穴２５４1との間、および、ガス流路用長円形凹部２５６と貫通穴２５４2との間には、第１のジョイント部材２５０と第２のジョイント部材２７０とを組み合わせて固定するための固定ボルト７０２のためのボルト穴２５８が形成されている。
【0029】
図５に示すように、第２のジョイント部材２７０は板状であり、幅方向において両側のそれぞれには、貫通穴２７４1と貫通穴２７４2とが長さ方向に縦列して形成されている。貫通穴２７４1は、直線形連結ジョイント２０の左側に連結されるシリンダ躯体と直線形連結ジョイント２０とを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴２７４2は、直線形連結ジョイント２０の右側に連結されるシリンダ躯体と直線形連結ジョイント２０とを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
【0030】
さらに、第２のジョイント部材２７０の中央部には、長さ方向に縦列してガス流路用穴２７６ａおよび２７６ｂが形成されている。幅方向において、ガス流路用穴２７６ａと貫通穴２７４1との間、および、ガス流路用穴２７６ｂと貫通穴２７４2との間には、第１のジョイント部材２５０と第２のジョイント部材２７０とを組み合わせて固定するための固定ボルト７０２のためのボルト穴２７８が形成されている。
【0031】
従って、第１のジョイント部材２５０と第２のジョイント部材２７０とを４つの固定ボルト７０２によって固定して重ねたとき、貫通穴２５４1と貫通穴２７４1とは同心円形となり、貫通穴２５４2と貫通穴２７４2とは同心円形となり、ボルト穴２５８とボルト穴２７８とは同心円形となる。そして、ガス流路用穴２７６ａおよび２７６ｂは、ガス流路用長円形凹部２５６の内側に連通して連通路２８０を構成する。
【0032】
（Ｃ）シリンダ躯体
シリンダ躯体１２とシリンダ躯体１４とシリンダ躯体１６とは、平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体である。それぞれのシリンダ躯体のピストン３０は数が異なるけれども、平面型ピストン３０の数は任意に設定することができる。以下では、１個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１６および５個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１４を代表例にして説明する。なお、１０個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１２は、その構造および作用および効果はシリンダ躯体１４と略同様のものであり、その詳細な説明は省略する。なお、平面型ピストン３０の平面型とは、特に、後述されるボール型ピストン６１２のボール型とは異なるピストンであることを示す。
シリンダ躯体１２とシリンダ躯体１４とシリンダ躯体１６とは、平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体である。それぞれのシリンダ躯体のピストン３０は数が異なるけれども、平面型ピストン３０の数は任意に設定することができる。以下では、１個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１６および５個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１４を代表例にして説明する。なお、１０個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１２は、その構造および作用および効果はシリンダ躯体１４と略同様のものであり、その詳細な説明は省略する。なお、平面型ピストン３０の平面型とは、特に、後述されるボール型ピストン６１２のボール型とは異なるピストンであることを示す。
【0033】
【0034】
シリンダ躯体１６は、略直方体状のケース３２２を含む。ケース３２２の中央部には、平面形状が円形であるピストン収納部３２４が形成されている。ピストン収納部３２４は、上側の小内径部３２４ａと、下側の大内径部３２４ｂと、両者の間に段差部３２４ｃを有する貫通孔として形成される。ピストン収納部３２４の大内径部３２４ｂの下端部には、大内径部３２４ｂより内径の大きい蓋部材取付け部３２６が形成される。この蓋部材取付け部３２６の中間部には、リング用溝３２８が形成されている。
【0035】
さらに、ケース３２２の長さ方向の両端部には、略下側半分にて張り出した連結部３２５が形成されている。平面視で、ピストン収納部３２４の長さ方向の両端部の内壁には円弧状の切り込み部３３２が形成されている。切り込み部３３２は、ピストン収納部３２４の大径部に形成される。ケース３２２の長さ方向の両端部には、切り込み部３３２に連通する連通路３３４が形成されている。連通路３３４は、ケース３２２の上下方向に延びて、連結部３２５の上面に開口し、隣に連結している第２の直線形連結ジョイント２０Ｂの連通路２８０に連通している。さらに、ケース３２２の長さ方向の両端部の４隅には、連通路３３４を挟んで、ピストン収納部３２４と同じ上下方向に延びる連結用ボルト穴３４５が形成されている。連通路３３４と連結用ボルト穴３４５との間には、ボルト７０２の頭部を収容するための円形凹部３４６が形成されている。なお、円形凹部３４６は、直線形連結ジョイント２０Ｂとの連結時の位置決めの機能も有する。
【0036】
ピストン収納部３２４には、略円柱状のピストン３４０が上下方向にスライド可能に収納されている。ピストン３４０の上面はケース３２２の上面より若干下方に配置されている。ピストン３４０は、上から中径部３４０ａと大径部３４０ｂと小径部３４０ｃとを有している。ピストン３４０の中径部３４０ａの外周面は、ケース３２２の小内径部３２４ａの内周面を摺接する。ピストン３４０の大径部３４０ｂの外周面は、ケース３２２の大内径部３２４ｂの内周面を摺接する。ピストン３４０の小径部３４０ｃの外周面は、ケース３２２の大内径部３２４ｂの内周面との間に空間を形成している。なお、ピストン３４０の上面の形状は、フラットな面であってもよいし、この上面の中央部から周縁部に向かってＲやテーパとなるような面も含む。
【0037】
ピストン３４０は、大径部３４０ｂの外周面に形成されたＯリング用溝３５２に、ＯリングＯＲ２が嵌め込まれた状態で、ピストン収納部３２４の内部に収納される。なお、ピストン３４０の下側の小径部３４０ｃとケース３２２の大内径部３２４ｂおよび切り込み部３３２との間には、小径部３４０ｃの外周に亘ってガス流路空間Ｓ１（図６において斜線で表示した部分）が形成されている。
【0038】
ピストン収納部３２４にピストン３４０を収納した状態で、ＯリングＯＲ３を挟んで、円板状の蓋部材３７０が蓋部材取付け部３２６に取り付けられる。したがって、ピストン収納部３２４が、蓋部材３７０で塞がれる。蓋部材３７０が蓋部材取付け部３２６に取り付けられた状態で、スナップリング３７２がリング用溝３２８に嵌めこまれ、蓋部材３７０が脱落しないように固定される。
【0039】
（Ｃ２）５個のピストンを有したシリンダ躯体
また、図７（ａ）は５個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１４を示す平面図であり、図７（ｂ）はその線Ａ７－Ａ７断面図である。なお、図６に示したシリンダ躯体１６と同じ部品および同じ部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
また、図７（ａ）は５個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１４を示す平面図であり、図７（ｂ）はその線Ａ７－Ａ７断面図である。なお、図６に示したシリンダ躯体１６と同じ部品および同じ部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0040】
シリンダ躯体１４は、略直方体状のケース３２２を含む。ケース３２２の中央部には、平面形状が円形であるピストン収納部３２４が長さ方向に５個、等間隔Ｌで縦列に形成されている。ピストン収納部３２４は、上側の小内径部３２４ａと、下側の大内径部３２４ｂと、両者の間に段差部３２４ｃを有する貫通孔として形成される。ピストン収納部３２４の大内径部３２４ｂの下端部には、大内径部３２４ｂより内径の大きい蓋部材取付け部３２６が形成される。この蓋部材取付け部３２６の中間部には、リング用溝３２８が形成されている。
【0041】
さらに、ケース３２２の長さ方向の両端部には、略下側半分にて張り出した連結部３２５が形成されている。平面視で、ピストン収納部３２４の長さ方向の両端部の内壁には円弧状の切り込み部３３２が形成されている。切り込み部３３２は、ピストン収納部３２４の大径部に形成される。ケース３２２の長さ方向の両端部には、切り込み部３３２に連通する連通路３３４が形成されている。連通路３３４は、ケース３２２の上下方向に延びて、連結部３２５の上面に開口している。さらに、ケース３２２の長さ方向の両端部の４隅には、連通路３３４を挟んで、ピストン収納部３２４と同じ上下方向に延びる連結用ボルト穴３４５が形成されている。連通路３３４と連結用ボルト穴３４５との間には、ボルト７０２の頭部を収容するための円形凹部３４６が形成されている。
【0042】
ピストン収納部３２４には、略円柱状のピストン３４０が上下方向にスライド可能に収納されている。ピストン３４０の上面はケース３２２の上面より若干下方に配置されている。ピストン３４０は、上から中径部３４０ａと大径部３４０ｂと小径部３４０ｃとを有している。ピストン３４０の中径部３４０ａの外周面は、ケース３２２の小内径部３２４ａの内周面を摺接する。ピストン３４０の大径部３４０ｂの外周面は、ケース３２２の大内径部３２４ｂの内周面を摺接する。ピストン３４０の小径部３４０ｃの外周面は、ケース３２２の大内径部３２４ｂの内周面との間に空間を形成している。
【0043】
ピストン３４０は、大径部３４０ｂの外周面に形成されたＯリング用溝３５２に、ＯリングＯＲ２が嵌め込まれた状態で、ピストン収納部３２４の内部に収納される。なお、ピストン３４０の下側の小径部３４０ｃとケース３２２のピストン収納部３２４の大内径部３２４ｂおよび切り込み部３３２との間には、小径部３４０ｃの外周に亘ってガス流路空間Ｓ１（図６において斜線で表示した部分）が形成されている。
【0044】
ピストン収納部３２４にピストン３４０を収納した状態で、ＯリングＯＲ３を挟んで、円板状の蓋部材３７０が蓋部材取付け部３２６に取り付けられる。したがって、ピストン収納部３２４が、蓋部材３７０で塞がれる。蓋部材３７０が蓋部材取付け部３２６に取り付けられた状態で、スナップリング３７２がリング用溝３２８に嵌めこまれ、蓋部材３７０が脱落しないように固定される。
【0045】
さらに、ケース３２２に縦列に形成されているピストン収納部３２４の間には、エアジョイント収納部４２４がケース３２２の下面側に形成されている。エアジョイント収納部４２４の軸方向は、ピストン収納部３２４の軸方向と平行に、高さ方向に延びている。エアジョイント収納部４２４は、略高さ方向全体に亘って同一径の内周面を有し、上側には天井面を有し、下側は開口している。エアジョイント収納部４２４の下端部には、同一径の内周面より内径の大きいリング用溝４２８が形成されている。
【0046】
エアジョイント収納部４２４は、隣接するピストン収納部３２４の切り込み部３３２に連通している。エアジョイント収納部４２４には、略円柱状のエアジョイント４４０が収納されている。エアジョイント４４０の上面はエアジョイント収納部４２４の天井面に面接触して配置されている。
【0047】
図８に示すように、エアジョイント４４０は、上から順に中径部４４０ａと大径部４４０ｂと小径部４４０ｃとを有している。エアジョイント４４０は、大径部４４０ｂの外周面に形成されたＯリング用溝４４２に、ＯリングＯＲ６が嵌め込まれた状態で、エアジョイント収納部４２４の内部に収納される。エアジョイント４４０の大径部４４０ｂの外周面は、エアジョイント収納部４２４の同一径の内周面に接触している。なお、エアジョイント４４０の上側の中径部４４０ａとエアジョイント収納部４２４の同一径の内周面および切り込み部３３２との間には、中径部４４０ａの外周に亘ってガス流路空間Ｓ１（図７において斜線で表示した部分）が形成されている。エアジョイント４４０の材質としては、例えばアルミニウムが使用される。
【0048】
エアジョイント収納部４２４にエアジョイント４４０を収納した状態で、図９に示した略円環状のスナップリング４５０がリング用溝４２８に嵌めこまれ、エアジョイント４４０が脱落しないように固定される。スナップリング４５０の材質としては、例えばステンレス（ＳＵＳ３０４）が使用される。スナップリング４５０は、好ましくは、Ｃ型止め輪が使用される。
【0049】
エアジョイント収納部４２４とエアジョイント４４０とは、隣接するピストン収納部３２４の間に配置され、隣接するピストン収納部３２４の間を連通して、シリンダ躯体１４の長さ方向の一方の端部から他方の端部に至るガス流路空間Ｓ１を形成する。
【0050】
（Ｄ）第２の端末プラグ
第２の端末プラグ２４は、図２に示すように、長さ方向の開放側の端部に、２つの固定ボルト用貫通穴２２４が、第２の端末プラグ２４の上面から下面に向かって形成されている。固定ボルト（図示しない）は、搬送用ユニット１０をテーブルＴに形成された溝に組み込んで固定するため、固定ボルト用貫通穴２２４を挿通して、テーブルＴの溝に形成されたボルト穴に螺着される。なお、搬送用ユニット１０の固定は、テーブルＴに形成された溝に限られず、設置場所に応じて適宜固定される。これにより、第２の端末プラグ２４は、搬送用ユニット１０を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
第２の端末プラグ２４は、図２に示すように、長さ方向の開放側の端部に、２つの固定ボルト用貫通穴２２４が、第２の端末プラグ２４の上面から下面に向かって形成されている。固定ボルト（図示しない）は、搬送用ユニット１０をテーブルＴに形成された溝に組み込んで固定するため、固定ボルト用貫通穴２２４を挿通して、テーブルＴの溝に形成されたボルト穴に螺着される。なお、搬送用ユニット１０の固定は、テーブルＴに形成された溝に限られず、設置場所に応じて適宜固定される。これにより、第２の端末プラグ２４は、搬送用ユニット１０を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
【0051】
第２の端末プラグ２４の長さ方向のシリンダ躯体１６に連結している側の端部には、略上半分が張り出した段差部２４６が形成されている。段差部２４６の幅方向には、シリンダ躯体１６の連結用ボルト穴３４５に対応する部分に、２個の貫通穴（図示しない）が形成されている。この貫通孔に連結ボルト７１０を通して、連結用ボルト穴３４５に螺入することにより、第２の端末プラグ２４とシリンダ躯体１６とが連結される。シリンダ躯体１６の右側端面と第２の端末プラグ２４の左側端面とは、突き合わされて面接触している。そして、段差部２４６の下面と連通路３３４に形成されたＯリング用凹部３３６との間において、第４のＯリングＯＲ４が、ガス流路空間Ｓ１（図２において斜線で表示した部分）の圧縮ガスが漏出しないように嵌合されている。第２の端末プラグ２４は、ガス流路空間Ｓ１の端末を塞ぐための係止部材として機能する。
【0052】
搬送用ユニット１０は、図１および図２に示すように、シリンダ躯体１２とシリンダ躯体１４とが第１の直線形連結ジョイント２０Ａを介して直線形連結され、かつ、シリンダ躯体１４とシリンダ躯体１６とが第２の直線形連結ジョイント２０Ｂを介して直線形連結されることによって、シリンダ躯体１２とシリンダ躯体１４とシリンダ躯体１２とが直線形連結したレイアウトを構成している。そして、第１の端末プラグ２２とシリンダ躯体１２と第１の直線形連結ジョイント２０Ａとシリンダ躯体１４と第２の直線形連結ジョイント２０Ｂとシリンダ躯体１６とが連通してガス流路空間Ｓ１を構成している。さらに、シリンダ躯体１２の平面型ピストン３０とシリンダ躯体１４の平面型ピストン３０とシリンダ躯体１６の平面型ピストン３０とが、長さ方向に等間隔Ｌで縦列に形成されている。従って、平面型ピストン３０の上に置かれた搬送物を均等に支持することができる。
【0053】
この搬送用ユニット１０は、予め、ピストン３４０の上端がテーブルＴの面より下になるように、テーブルＴに組み込まれる。図１０（ａ）に示すように、第１の端末プラグ２２の圧縮ガス供給口２２０に、圧縮空気が送り込まれないときは、ピストン３４０は、搬送用ユニット１０の上面１０ａから若干下側に後退して待機している。そして、エアコンプレッサなどによって例えば圧縮空気が第１の端末プラグ２２の圧縮ガス供給口２２０に送り込まれると、圧縮空気は連通流路２２２を介してピストン収納部３２４に供給される。このとき、ピストン３４０に小径部３４０ｃが形成されていることにより、ピストン収納部３２４の内壁の切り込み部３３２とピストン３４０の小径部３４０ｃの外周面との間に空間が形成され、ピストン収納部３２４への空気の供給が可能である。
【0054】
ピストン収納部３２４に空気が供給されることにより、図１０（ｂ）に示すように、ピストン３４０が上昇する。このとき、ＯリングＯＲ２やＯリングＯＲ３などによって、空気が漏れることを防止することができる。そして、空気圧によってピストン３４０が上昇して、大径部３４０ｂの上面がピストン収納部３２４の段差部３２４ａに当たり、ピストン３４０の上昇が停止する。したがって、ピストン収納部３２４に空気を供給することにより、搬送用ユニット１０が取り付けられたテーブルＴの面より上にピストン３４０が位置することになり、テーブルＴの上の搬送物を小さい力で上下方向に持ち上げることができる。
【0055】
また、圧縮ガス供給口２２０に切換え弁などを取り付けておき、搬送物の自重や強制排気によってピストン収納部３２４から空気を抜くことにより、ピストン３４０が下がって、ピストン３４０がテーブルＴの上面より下に配置される。それにより、テーブルＴの上に置かれた搬送物を安定させることができ、搬送物に対する加工などを施すことができる。
【0056】
また、予め、所定の数の直線形連結ジョイント２０、および、所定の数の長さの異なる（言い換えると、平面型ピストン３０の数の異なる）数種類のシリンダ躯体を準備しておくことにより、長さの異なるテーブルに容易に対応できたり、搬送用ユニットの設計変更に即座に対応できたりする。
【0057】
２．第２の実施の形態
次に、本発明の第２の実施の形態に係る搬送用ユニットについて説明する。図１１（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図であり、図１１（ｂ）はその正面図である。
次に、本発明の第２の実施の形態に係る搬送用ユニットについて説明する。図１１（ａ）は本発明の第２の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図であり、図１１（ｂ）はその正面図である。
【0058】
搬送用ユニット５００は、３個のシリンダを有し、長さ方向に配置されるシリンダ躯体１８ａと、３個のシリンダを有し、幅方向に配置されるシリンダ躯体１８ｂと、シリンダ躯体１８ａおよびシリンダ躯体１８ｂを連結するための十字形連結ジョイント５２０ＡおよびＴ字形連結ジョイント５２０Ｂと、Ｌ字形連結プラグ５２４とを有し、それらにより格子状に配置されている。シリンダ躯体１８ａ、シリンダ躯体１８ｂ、十字形連結ジョイント５２０Ａ、Ｔ字形連結ジョイント５２０ＢおよびＬ字形端末プラグ５２２は、同一平面上に配置されている。搬送用ユニット５００は、下面５００ｂを下として、上面５００ａ側に搬送物が載置される。
【0059】
シリンダ躯体１８ａは、長さ方向に沿って延び、それぞれが長さ方向に所定の間隔をあけて配置されている。長さ方向に隣接する一対のシリンダ躯体１８ａは、その端部が長さ方向に対向するように配置されている。シリンダ躯体１８ｂは、幅方向に沿って延び、それぞれが幅方向に所定の間隔をあけて配置されている。幅方向に隣接する一対のシリンダ躯体１８ｂは、その端部が幅方向に対向するように配置されている。シリンダ躯体１８ｂは、幅方向から見て、シリンダ躯体１８ａと重ならない位置に配置されている。
【0060】
搬送用ユニット５００は、図１１に示すように、搬送用ユニット５００の中央部において、十字形連結ジョイント５２０Ａが配置される。十字形連結ジョイント５２０Ａに対して長さ方向の一方側および他方側のそれぞれには、シリンダ躯体１８ａが連結され、十字形連結ジョイント５２０Ａに対して幅方向の一方側および他方側のそれぞれには、シリンダ躯体１８ｂが連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａと連結されていないシリンダ躯体１８ａの端部のそれぞれには、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂが長さ方向に連結される。そして、シリンダ躯体１８ａと連結されるＴ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側および他方側のそれぞれには、シリンダ躯体１８ｂが連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａと連結されていないシリンダ躯体１８ｂの端部のそれぞれにはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂが連結される。そして、シリンダ躯体１８ｂと連結されるＴ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側および他方側のそれぞれには、シリンダ躯体１８ａが連結される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂと連結されていないシリンダ躯体１８ａの端部のそれぞれ、およびＴ字形連結ジョイント５２０Ｂと連結されていないシリンダ躯体１８ｂのそれぞれにはＬ字形端末プラグ５２２が連結されている。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂと連結されていないシリンダ躯体１８ａの端部のそれぞれ、およびＴ字形連結ジョイント５２０Ｂと連結されていないシリンダ躯体１８ｂのそれぞれにはＬ字形端末プラグ５２２が連結されている。
【0061】
十字形連結ジョイント５２０Ａと一対のシリンダ躯体１８ａとが連通してガス流路空間Ｓ２が構成され、十字形連結ジョイント５２０Ａと一対のシリンダ躯体１８ｂとが連通してガス流路空間Ｓ３が構成される。
また、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂと一対のシリンダ躯体１８ａとが連通してガス流路空間Ｓ４が構成され、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂと一対のシリンダ躯体１８ｂとが連通してガス流路空間Ｓ５が構成される。
また、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂと一対のシリンダ躯体１８ａとが連通してガス流路空間Ｓ４が構成され、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂと一対のシリンダ躯体１８ｂとが連通してガス流路空間Ｓ５が構成される。
【0062】
このように、搬送用ユニット５００では、シリンダ躯体１８ａ、シリンダ躯体１８ｂ、十字形連結ジョイント５２０Ａ、Ｔ字形連結ジョイント５２０ＢおよびＬ字形端末プラグ５２２は、同一平面上に格子状になるように配置されているので、平面型ピストン３０の上に置かれた搬送物を均等に支持することができる。
【0063】
（Ａ）十字形連結ジョイント
図１２（ａ）は十字形連結ジョイントを示す一部平面拡大図であり、図１２（ｂ）はその線Ａ１２－Ａ１２断面図である。十字形連結ジョイント５２０Ａは、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて構成されている。十字形連結ジョイント５２０Ａは、シリンダ躯体等を連結するともに、搬送用ユニット５００を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
図１２（ａ）は十字形連結ジョイントを示す一部平面拡大図であり、図１２（ｂ）はその線Ａ１２－Ａ１２断面図である。十字形連結ジョイント５２０Ａは、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて構成されている。十字形連結ジョイント５２０Ａは、シリンダ躯体等を連結するともに、搬送用ユニット５００を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
【0064】
図１２および図１３（ａ）に示すように、第１のジョイント部材５５０Ａは略矩体状であり、各４つの角部におけるそれぞれについて、上面５５０ａに切り欠け部５５２ａ，５５２ｂ，５５２ｃ，５５２ｄが形成されている。切り欠け部５５２ａには、貫通穴５５４1と貫通穴５５４3とが並列して形成され、切り欠け部５５２ｂには、貫通穴５５４1と貫通穴５５４4とが並列して形成され、切り欠け部５５２ｃには、貫通穴５５４2と貫通穴５５４4とが並列して形成され、切り欠け部５５２ｄには、貫通穴５５４2と貫通穴５５４3とが並列して形成される。
貫通穴５５４1は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４2は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４3は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４4は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５５４1、貫通穴５５４2、貫通穴５５４3および貫通穴５５４4は、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて固定するための穴でもある。
貫通穴５５４1は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４2は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４3は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４4は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５５４1、貫通穴５５４2、貫通穴５５４3および貫通穴５５４4は、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて固定するための穴でもある。
【0065】
第１のジョイント部材５５０Ａの下面５５０ｂの中央部には、ガス流路用円形凹部５５６が形成されている。幅方向において、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４1との間、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４2との間、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４3との間、および、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４4との間には、十字形連結ジョイント５２０Ａを設置場所に固定するために使用される固定ボルト（図示しない）のための固定ボルト用貫通穴５５８が形成されている。
【0066】
図１２および図１３（ｂ）に示すように、第２のジョイント部材５６０Ａは板状であり、各４つの角部におけるそれぞれについて、貫通穴５６４1と貫通穴５６４3とが並列して形成され、貫通穴５６４1と貫通穴５６４4とが並列して形成され、貫通穴５６４2と貫通穴５６４4とが並列して形成され、貫通穴５６４2と貫通穴５６４3とが並列して形成される。
貫通穴５６４1は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４2は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４3は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４4は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５６４1、貫通穴５６４2、貫通穴５６４3および貫通穴５６４4は、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて固定するための穴でもある。
貫通穴５６４1は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４2は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４3は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４4は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５６４1、貫通穴５６４2、貫通穴５６４3および貫通穴５６４4は、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて固定するための穴でもある。
【0067】
さらに、第２のジョイント部材５６０Ａの下面の中央部から外側に向かって、長さ方向に縦列してガス流路用穴５６６ｂ1および５６６ｂ2が形成されている。また、第２のジョイント部材５６０Ａの下面の中央部から外側に向かって、幅方向において、ガス流路用穴５６６ｂ3および５６６ｂ4が形成されている。
そして、また、第２のジョイント部材５６０Ａの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ1および５６６ｂ2に接続されるガス流路用穴５６６ａ1および５６６ａ2が接続される。また、第２のジョイント部材５６０Ａの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ3および５６６ｂ4に接続されるガス流路用穴５６６ａ3および５６６ａ4が接続される。
そして、また、第２のジョイント部材５６０Ａの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ1および５６６ｂ2に接続されるガス流路用穴５６６ａ1および５６６ａ2が接続される。また、第２のジョイント部材５６０Ａの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ3および５６６ｂ4に接続されるガス流路用穴５６６ａ3および５６６ａ4が接続される。
【0068】
ガス流路用穴５６６ａ1およびガス流路用穴５６６ａ3と貫通穴５６４1および貫通穴５６４3との間、ガス流路用穴５６６ａ1およびガス流路用穴５６６ａ4と貫通穴５６４1および貫通穴５６４4との間、ガス流路用穴５６６ａ2およびガス流路用穴５６６ａ3と貫通穴５６４2および貫通穴５６４3との間、ならびにガス流路用穴５６６ａ2およびガス流路用穴５６６ａ4と貫通穴５６４2および貫通穴５６４4との間には、十字形連結ジョイント５２０Ａを設置場所に固定するために使用される固定ボルト（図示しない）のための固定ボルト用貫通穴５６８が形成されている。
【0069】
図１２および図１３（ｃ）に示すように、第３のジョイント部材５７０Ａは略矩体状であり、各４つの角部におけるそれぞれについて、貫通穴５７４1と貫通穴５７４3とが並列して形成され、貫通穴５７４1と貫通穴５７４4とが並列して形成され、貫通穴５７４2と貫通穴５７４4とが並列して形成され、貫通穴５６４2と貫通穴５６４3とが並列して形成される。
貫通穴５７４1は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４2は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４3は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４4は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５７４1、貫通穴５７４2、貫通穴５７４3および貫通穴５７４4は、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて固定するための穴でもある。
貫通穴５７４1は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４2は、十字形連結ジョイント５２０Ａの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４3は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４4は、十字形連結ジョイント５２０Ａの幅方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向に十字形連結ジョイント５２０Ａとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５７４1、貫通穴５７４2、貫通穴５７４3および貫通穴５７４4は、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａとを組み合わせて固定するための穴でもある。
【0070】
また、第３のジョイント部材５７０Ａは、長さ方向および幅方向において、下面の４端縁側に段差部５７２が形成されている。長さ方向の一方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ1と連結されるようにガス流路用穴５７６1が形成され、長さ方向の他方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ2と連結されるようにガス流路用穴５７６2が形成され、幅方向の一方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ3と連結されるようにガス流路用穴５７６3が形成され、幅方向の他方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ4と連結されるようにガス流路用穴５７６4が形成される。
【0071】
貫通穴５７４1および貫通穴５７４3から中央部側、貫通穴５７４1および貫通穴５７４4から中央部側、貫通穴５７４2および貫通穴５７４3から中央部側、ならびに貫通穴５７４2および貫通穴５７４4から中央部側には、十字形連結ジョイント５２０Ａを設置場所に固定するために使用される固定ボルト（図示しない）のための固定ボルト用貫通穴５７８が形成されている。
【0072】
従って、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａを８つの連結ボルト７１０によって固定して重ねたとき、貫通穴５５４1と貫通穴５６４1と貫通穴５７４1とは同心円形となり、貫通穴５５４2と貫通穴５６４2と貫通穴５７４2は同心円形となり、貫通穴５５４3と貫通穴５６４3と貫通穴５７４3とは同心円形となり、貫通穴５５４4と貫通穴５６４4と貫通穴５７４4は同心円形となる。また、第１のジョイント部材５５０Ａと第２のジョイント部材５６０Ａと第３のジョイント部材５７０Ａを８つの連結ボルト７１０によって固定して重ねたとき、固定ボルト用貫通穴５５８と固定ボルト用貫通穴５６８と固定ボルト用貫通穴５７８とは同心円形となる。そして、ガス流路用穴５６６ａ1ないし５６６ａ4のそれぞれの一方側はガス流路用円形凹部５５６の内側に連通しており、ガス流路用穴５６６ａ1ないし５６６ａ4のそれぞれの他方側は、それぞれガス流路用穴５６６ｂ1ないし５６６ｂ4に連通して、通路５８０を構成する。
【0073】
（Ｂ）Ｔ字形連結ジョイント
図１４（ａ）はＴ字形連結ジョイントを示す一部平面拡大図であり、図１４（ｂ）はその線Ａ１４－Ａ１４断面図である。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂは、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて構成されている。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂは、シリンダ躯体等を連結するとともに、搬送用ユニット５００を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
図１４（ａ）はＴ字形連結ジョイントを示す一部平面拡大図であり、図１４（ｂ）はその線Ａ１４－Ａ１４断面図である。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂは、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて構成されている。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂは、シリンダ躯体等を連結するとともに、搬送用ユニット５００を設置する際の位置決めとしての機能を有する。
【0074】
図１４および図１５（ａ）に示すように、第１のジョイント部材５５０Ｂは略矩体状であり、幅方向の他方側における各２つの角部において、上面５５０ａに切り欠け部５５２ａおよび５５２ｄが形成されている。切り欠け部５５２ａには、貫通穴５５４1と貫通穴５５４3とが並列して形成され、切り欠け部５５２ｄには、貫通穴５５４2と貫通穴５５４3とが並列して形成される。また、第１のジョイント部材５５０Ｂの幅方向の一方側における各２つの角部において、上面５５０ａに切り欠け部５５２ｂおよび５５２ｃが形成されている。切り欠け部５５２ｂには、貫通穴５５４1が形成され、切り欠け部５５２ｃには、貫通穴５５４2形成される。
貫通穴５５４1は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａとＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４2は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４3は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５５４1、貫通穴５５４2および貫通穴５５４3は、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて固定するための穴でもある。
貫通穴５５４1は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａとＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４2は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５５４3は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５５４1、貫通穴５５４2および貫通穴５５４3は、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて固定するための穴でもある。
【0075】
第１のジョイント部材５５０Ｂの下面５５０ｂの中央部には、ガス流路用円形凹部５５６が形成されている。幅方向において、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４1との間、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４2との間、ガス流路用円形凹部５５６と貫通穴５５４3との間には、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂを設置場所に固定するために使用される固定ボルト（図示しない）のための固定ボルト用貫通穴５５８が形成されている。
【0076】
図１４および図１５（ｂ）に示すように、第２のジョイント部材５６０Ｂは板状であり、各４つの角部におけるそれぞれについて、貫通穴５６４1と貫通穴５６４3とが並列して形成され、貫通穴５６４1が形成され、貫通穴５６４2が形成され、貫通穴５６４2と貫通穴５６４3とが並列して形成される。
貫通穴５６４1は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａとＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４2は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４3は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５６４1、貫通穴５６４2および貫通穴５６４3は、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて固定するための穴でもある。
貫通穴５６４1は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａとＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４2は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５６４3は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５６４1、貫通穴５６４2および貫通穴５６４3は、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて固定するための穴でもある。
【0077】
さらに、第２のジョイント部材５６０Ｂの下面の中央部から外側に向かって、長さ方向に縦列してガス流路用穴５６６ｂ1および５６６ｂ2が形成されている。また、第２のジョイント部材５６０Ｂの下面の中央部から外側に向かって、幅方向において、ガス流路用穴５６６ｂ3が形成されている。
そして、また、第２のジョイント部材５６０Ｂの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ1および５６６ｂ2に接続されるガス流路用穴５６６ａ1および５６６ａ2が接続される。また、第２のジョイント部材５６０Ｂの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ3に接続されるガス流路用穴５６６ａ3が接続される。
そして、また、第２のジョイント部材５６０Ｂの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ1および５６６ｂ2に接続されるガス流路用穴５６６ａ1および５６６ａ2が接続される。また、第２のジョイント部材５６０Ｂの上面の中央部において、ガス流路用穴５６６ｂ3に接続されるガス流路用穴５６６ａ3が接続される。
【0078】
ガス流路用穴５６６ａ1およびガス流路用穴５６６ａ3と貫通穴５６４1および貫通穴５６４3との間、ガス流路用穴５６６ａ1と貫通穴５６４1との間、ガス流路用穴５６６ａ2およびガス流路用穴５６６ａ3と貫通穴５６４2および貫通穴５６４3との間、ならびにガス流路用穴５６６ａ2と貫通穴５６４2との間には、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂを設置場所に固定するために使用される固定ボルト（図示しない）のための固定ボルト用貫通穴５６８が形成されている。
【0079】
図１４および図１５（ｃ）に示すように、第３のジョイント部材５７０Ｂは略矩体状であり、各４つの角部におけるそれぞれについて、貫通穴５７４1と貫通穴５７４3とが並列して形成され、貫通穴５７４1が形成され、貫通穴５７４2が形成され、貫通穴５７４2と貫通穴５７４3とが並列して形成される。
貫通穴５７４1は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａとＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４2は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４3は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５７４1、貫通穴５７４2および貫通穴５７４3は、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて固定するための穴でもある。
貫通穴５７４1は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ａとＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４2は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの長さ方向の他方側に連結されるシリンダ躯体１８ａと長さ方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。貫通穴５７４3は、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂの幅方向の一方側に連結されるシリンダ躯体１８ｂと幅方向にＴ字形連結ジョイント５２０Ｂとを連結するための連結ボルト７１０を挿通するための穴である。
また、貫通穴５７４1、貫通穴５７４2および貫通穴５７４3は、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂとを組み合わせて固定するための穴でもある。
【0080】
また、第３のジョイント部材５７０Ｂは、長さ方向および幅方向において、下面の３端縁側に段差部５７２が形成されている。長さ方向の一方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ1と連結されるようにガス流路用穴５７６1が形成され、長さ方向の他方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ2と連結されるようにガス流路用穴５７６2が形成され、幅方向の一方側に配置される段差部５７２には、ガス流路用穴５６６ｂ3と連結されるようにガス流路用穴５７６3が形成される。
【0081】
貫通穴５７４1および貫通穴５７４3から中央部側、貫通穴５７４1から中央部側、貫通穴５７４2および貫通穴５７４3から中央部側、ならびに貫通穴５７４2から中央部側には、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂを設置場所に固定するために使用される固定するための固定ボルト（図示しない）のための固定ボルト用貫通穴５７８が形成されている。
【0082】
従って、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂを６つの連結ボルト７１０によって固定して重ねたとき、貫通穴５５４1と貫通穴５６４1と貫通穴５７４1とは同心円形となり、貫通穴５５４2と貫通穴５６４2と貫通穴５７４2とは同心円形となり、貫通穴５５４3と貫通穴５６４3と貫通穴５７４3とは同心円形となる。また、第１のジョイント部材５５０Ｂと第２のジョイント部材５６０Ｂと第３のジョイント部材５７０Ｂを６つの連結ボルト７１０によって固定して重ねたとき、固定ボルト用貫通穴５５８と固定ボルト用貫通穴５６８と固定ボルト用貫通穴５７８とは同心円形となる。そして、ガス流路用穴５６６ａ1ないし５６６ａ3のそれぞれの一方側はガス流路用円形凹部５５６の内側に連通しており、ガス流路用穴５６６ａ1ないし５６６ａ3のそれぞれの他方側は、それぞれガス流路用穴５６６ｂ1ないし５６６ｂ3に連通して、通路５８０を構成する。
【0083】
（Ｃ）３個の平面型ピストンを有したシリンダ躯体
また、図１６（ａ）は３個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１８ａを示す平面図であり、図１６（ｂ）はその線Ａ１６－Ａ１６断面図である。なお、図６に示したシリンダ躯体１６と同じ部品および同じ部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、シリンダ躯体１８ｂは、シリンダ躯体１８ａと共通であるので、その詳細な説明は省略する。
また、図１６（ａ）は３個の平面型ピストン３０を有したシリンダ躯体１８ａを示す平面図であり、図１６（ｂ）はその線Ａ１６－Ａ１６断面図である。なお、図６に示したシリンダ躯体１６と同じ部品および同じ部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、シリンダ躯体１８ｂは、シリンダ躯体１８ａと共通であるので、その詳細な説明は省略する。
【0084】
シリンダ躯体１８ａは、略直方体状のケース３２２を含む。ケース３２２の中央部には、平面形状が円形であるピストン収納部３２４が長さ方向に３個、等間隔Ｌで縦列に形成されている。ピストン収納部３２４は、上側の小内径部３２４ａと、下側の大内径部３２４ｂと、両者の間に段差部３２４ｃを有する貫通孔として形成される。ピストン収納部３２４の大内径部３２４ｂの下端部には、大内径部３２４ｂより内径の大きい蓋部材取付け部３２６が形成される。この蓋部材取付け部３２６の中間部には、リング用溝３２８が形成されている。
【0085】
さらに、ケース３２２の長さ方向の両端部には、略下側半分にて張り出した連結部３２５が形成されている。平面視で、ピストン収納部３２４の長さ方向の両端部の内壁には円弧状の切り込み部３３２が形成されている。切り込み部３３２は、ピストン収納部３２４の大径部に形成される。ケース３２２の長さ方向の両端部には、切り込み部３３２に連通する連通路３３４が形成されている。連通路３３４は、ケース３２２の上下方向に延びて、連結部３２５の上面に開口している。さらに、ケース３２２の長さ方向の両端部の４隅には、連通路３３４を挟んで、ピストン収納部３２４と同じ上下方向に延びる連結用ボルト穴３４５が形成されている。連通路３３４と連結用ボルト穴３４５との間には、ボルト７０２の頭部を収容するための円形凹部３４６が形成されている。
【0086】
ピストン収納部３２４には、略円柱状のピストン３４０が上下方向にスライド可能に収納されている。ピストン３４０の上面はケース３２２の上面より若干下方に配置されている。ピストン３４０は、上から中径部３４０ａと大径部３４０ｂと小径部３４０ｃとを有している。ピストン３４０の中径部３４０ａの外周面はケース３２２の小内径部３２４ａの内周面を摺接する。ピストン３４０の大径部３４０ｂの外周面は、ケース３２２の大内径部３２４ｂの内周面を摺接する。ピストン３４０の小径部３４０ｃの外周面は、ケース３２２の大内径部３２４ｂの内周面との間に空間を形成している。
【0087】
ピストン３４０は、大径部３４０ｂの外周面に形成されたＯリング用溝３５２に、ＯリングＯＲ２が嵌め込まれた状態で、ピストン収納部３２４の内部に収納される。なお、ピストン３４０の下側の小径部３４０ｃとケース３２２のピストン収納部３２４の大内径部３２４ｂおよび切り込み部３３２との間には、小径部３４０ｃの外周に亘ってガス流路空間Ｓ１（図６において斜線で表示した部分）が形成されている。
【0088】
ピストン収納部３２４にピストン３４０を収納した状態で、ＯリングＯＲ３を挟んで、円板状の蓋部材３７０が蓋部材取付け部３２６に取り付けられる。したがって、ピストン収納部３２４が、蓋部材３７０で塞がれる。蓋部材３７０が蓋部材取付け部３２６に取り付けられた状態で、スナップリング３７２がリング用溝３２８に嵌めこまれ、蓋部材３７０が脱落しないように固定される。
【0089】
さらに、ケース３２２に縦列に形成されているピストン収納部３２４の間には、エアジョイント収納部４２４がケース３２２の下面側に形成されている。エアジョイント収納部４２４の軸方向は、ピストン収納部３２４の軸方向と平行に、高さ方向に延びている。エアジョイント収納部４２４は、略高さ方向全体に亘って同一径の内周面を有し、上側には天井面を有し、下側は開口している。エアジョイント収納部４２４の下端部には、同一径の内周面より内径の大きいリング用溝４２８が形成されている。
【0090】
エアジョイント収納部４２４は、隣接するピストン収納部３２４の切り込み部３３２に連通している。エアジョイント収納部４２４には、略円柱状のエアジョイント４４０が収納されている。エアジョイント４４０の上面はエアジョイント収納部４２４の天井面に面接触して配置されている。
【0091】
（Ｄ）Ｌ字形端末プラグ
Ｌ字形端末プラグ５２２は、その長さ方向の開放側の端部に、図１７に示すように、外部から所定の圧力（代表圧力範囲は、０．４ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下で、推力で言い換えると３０ｋｇｆ以上４８ｋｇｆ以下／１ピストン）程度を有する圧縮ガス（たとえば圧縮空気）が供給される、２つの圧縮ガス供給口１２２０を含む。
Ｌ字形端末プラグ５２２は、その長さ方向の開放側の端部に、図１７に示すように、外部から所定の圧力（代表圧力範囲は、０．４ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下で、推力で言い換えると３０ｋｇｆ以上４８ｋｇｆ以下／１ピストン）程度を有する圧縮ガス（たとえば圧縮空気）が供給される、２つの圧縮ガス供給口１２２０を含む。
【0092】
圧縮ガス供給口１２２０に供給される圧縮ガスの「所定の圧力」とは、後述のピストンシリンダの自重およびワークである搬送物の自重に抗してピストンシリンダを上方に向けて移動させることができる推力を有するガス圧を意味する。
【0093】
一方の圧縮ガス供給口１２２０は、Ｌ字形端末プラグ５２２の左側面の略中央部に設けられ、軸方向が長さ方向に平行に延びている。圧縮ガス供給口１２２０はテーパ状に先細りに絞り込まれ、その開口側にはネジ溝１２２０ａが形成されている。圧縮ガス供給口１２２０の先端部は、長さ方向に延びるＬ字形連通路１２２２に連通している。なお、圧縮ガス供給口１２２０の形状は、テーパ状に限られない。
【0094】
他方の圧縮ガス供給口１２２０は、Ｌ字形端末プラグ５２２の上側面の略中央部に設けられ、軸方向が幅方向に平行に延びている。圧縮ガス供給口１２２０はテーパ状に先細りに絞り込まれ、その開口側にはネジ溝１２２０ａが形成されている。圧縮ガス供給口２２０の先端部は、長さ方向に延びるＬ字形連通路１２２２に連通している。
【0095】
また、平面視で、圧縮ガス供給口１２２０を間にして、４つの固定ボルト用貫通穴１０２４が、Ｌ字形端末プラグ５２２の上面から下面に向かって形成されている。固定ボルト（図示しない）は、搬送用ユニット５００をテーブルＴに形成された溝に組み込んで固定するため、固定ボルト用貫通穴１０２４を挿通して、テーブルＴの溝に形成されたボルト穴に螺着される。なお、搬送用ユニット５００の固定は、テーブルＴに形成された溝に限られず、設置場所に応じて適宜固定される。これにより、Ｌ字形端末プラグ５２２は、搬送用ユニット５００を設置する際の位置決めとしての機能も有する。
【0096】
Ｌ字形端末プラグ５２２の長さ方向のシリンダ躯体１８ａ，１８ｂに連結している側の端部には、略上半分が張り出した段差部２２６が形成されている。段差部２２６の下面には、Ｌ字形連通路１２２２の先端が開口している。平面視で、Ｌ字形連通路１２２２を間にして、２つの連結ボルト７１０が、Ｌ字形端末プラグ５２２とシリンダ躯体１８ａ，１８ｂとを連結している。
また、Ｌ字形端末プラグ５２２の各３つの角部におけるそれぞれについて、上面５２２ａに切り欠け部１０５２ｂ，１０５２ｃ，１０５２ｄが形成されている。切り欠け部１０５２ｂには、貫通穴１０５４4が形成され、切り欠け部１０５２ｃには、貫通穴１０５４4と貫通穴１０５４2とが並列して形成され、切り欠け部１０５２ｄには、貫通穴１０５４2が形成される。
また、Ｌ字形端末プラグ５２２の各３つの角部におけるそれぞれについて、上面５２２ａに切り欠け部１０５２ｂ，１０５２ｃ，１０５２ｄが形成されている。切り欠け部１０５２ｂには、貫通穴１０５４4が形成され、切り欠け部１０５２ｃには、貫通穴１０５４4と貫通穴１０５４2とが並列して形成され、切り欠け部１０５２ｄには、貫通穴１０５４2が形成される。
【0097】
３．第３の実施の形態
次に、本発明の第３の実施の形態に係る搬送用ユニットについて説明する。図１８は第３の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図である。なお、前述の第１の実施の形態および第２の実施の形態で用いられた部品および部分と同様のものは、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第３の実施の形態に係る搬送用ユニットについて説明する。図１８は第３の実施の形態に係る搬送用ユニットを示す平面図である。なお、前述の第１の実施の形態および第２の実施の形態で用いられた部品および部分と同様のものは、同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0098】
搬送用ユニット６００は、１０個のシリンダを有したシリンダ躯体１２1～１２2と、５個のシリンダを有したシリンダ躯体１４1～１４2と、１個のシリンダを有したシリンダ躯体６０１1～６０１2と、３個のシリンダを有し、長さ方向に配置されるシリンダ躯体１８ａ1～ａ6と、３個のシリンダを有し、幅方向に配置されるシリンダ躯体１８ｂ1～１８ｂ4と、十字形連結ジョイント５２０Ａ1～５２０Ａ2と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1～５２０Ｂ4と、端末プラグ２２1～２２4と、Ｌ字形端末プラグ５２２1～５２２2と、直線形連結ジョイント２０1～２０2とを有する。シリンダ躯体１２1～１２2，１４1～１４2，１８ａ1～１８ａ6，１８ｂ1～１８ｂ4，６０１1～６０１2、十字形連結ジョイント５２０Ａ1～５２０Ａ2、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1～５２０Ｂ4、第１の端末プラグ２２1～２２4およびＬ字形端末プラグ５２２1～５２２2は、同一平面上に配置されている。
【0099】
また、搬送用ユニット６００は、搬送領域Ａ1と搬送領域Ａ2と搬送領域Ａ3とを含む。図１８に示す例では、搬送領域Ａ1と搬送領域Ａ2とが一部が重なるようにＬ字形に配置され、搬送領域Ａ2と搬送領域Ａ3とが一部が重なるようにＬ字形に配置される。すなわち、搬送領域Ａ1は、長さ方向に延びており、搬送領域Ａ1の一端側において重なるように搬送領域Ａ2の一端側から幅方向に配置されている。また、搬送領域Ａ2の他端側において重なるように、搬送領域Ａ1が延びる方向とは逆の長さ方向に延びるように、搬送領域Ａ3が配置されている。
なお、図１８に示す搬送用ユニット６００のレイアウトは、一例であり、設置場所に応じて、適宜、レイアウトを変更することができる。
なお、図１８に示す搬送用ユニット６００のレイアウトは、一例であり、設置場所に応じて、適宜、レイアウトを変更することができる。
【0100】
次に、搬送領域Ａ1、搬送領域Ａ2および搬送領域Ａ3の各構成について説明する。
【0101】
（搬送領域Ａ1）
搬送領域Ａ1では、長さ方向に沿って延びるレール部Ｒ1とレール部Ｒ2とが対向するように配置される。レール部Ｒ1とレール部Ｒ2とは、幅方向に、シリンダ躯体１８ｂの長さ分の間隔をあけて配置される。
搬送領域Ａ1では、長さ方向に沿って延びるレール部Ｒ1とレール部Ｒ2とが対向するように配置される。レール部Ｒ1とレール部Ｒ2とは、幅方向に、シリンダ躯体１８ｂの長さ分の間隔をあけて配置される。
【0102】
レール部Ｒ1は、シリンダ躯体１８ａ1，１８ａ2と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1と、Ｌ字形端末プラグ５２２1により構成される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1の長さ方向の一方側には、シリンダ躯体１８ａ1の他方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ1の一方端には第１の端末プラグ２２1が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ2の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ2の他方端にはＬ字形端末プラグ５２２1が連結される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1の長さ方向の一方側には、シリンダ躯体１８ａ1の他方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ1の一方端には第１の端末プラグ２２1が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ2の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ2の他方端にはＬ字形端末プラグ５２２1が連結される。
【0103】
レール部Ｒ2は、シリンダ躯体１８ａ3，１８ａ4と、十字形連結ジョイント５２０Ａ1と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ2とにより構成される。
十字形連結ジョイント５２０Ａ1の長さ方向の一方側には、シリンダ躯体１８ａ3の他方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ3の一方端には第１の端末プラグ２２2が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ1の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ4の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ4の他方端にはＴ字形端末プラグ５２０Ｂ2の長さ方向の一方側が連結される。
十字形連結ジョイント５２０Ａ1の長さ方向の一方側には、シリンダ躯体１８ａ3の他方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ3の一方端には第１の端末プラグ２２2が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ1の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ4の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ4の他方端にはＴ字形端末プラグ５２０Ｂ2の長さ方向の一方側が連結される。
【0104】
（搬送領域Ａ2）
搬送領域Ａ2では、幅方向に沿って延びるレール部Ｒ3とレール部Ｒ4とが対向するように配置される。レール部Ｒ3とレール部Ｒ4とは、長さ方向に、シリンダ躯体１８ａの長さ分の間隔をあけて配置される。
搬送領域Ａ2では、幅方向に沿って延びるレール部Ｒ3とレール部Ｒ4とが対向するように配置される。レール部Ｒ3とレール部Ｒ4とは、長さ方向に、シリンダ躯体１８ａの長さ分の間隔をあけて配置される。
【0105】
レール部Ｒ3は、後述されるシリンダ躯体６０１1と、シリンダ躯体１４1と、シリンダ躯体１８ｂ1，１８ｂ3と、十字形連結ジョイント５２０Ａ1と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1，５２０Ｂ3と、Ｌ字形端末プラグ５２２2と、直線形連結ジョイント２０1とにより構成される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1の幅方向の他方側には、シリンダ躯体１８ｂ1の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ1の他方端には十字形連結ジョイント５２０Ａ1の幅方向の一方側が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ1の幅方向の他方側には、シリンダ躯体６０１1の一方端が連結され、シリンダ躯体６０１1の他方端には直線形連結ジョイント２０1を介してシリンダ躯体１４1の一方端が直線形連結される。シリンダ躯体１４1の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ3の幅方向の一方側が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ3の幅方向の他方側にはシリンダ躯体１８ｂ3の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ3の他方端にはＬ字形端末プラグ５２２2が連結される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ1の幅方向の他方側には、シリンダ躯体１８ｂ1の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ1の他方端には十字形連結ジョイント５２０Ａ1の幅方向の一方側が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ1の幅方向の他方側には、シリンダ躯体６０１1の一方端が連結され、シリンダ躯体６０１1の他方端には直線形連結ジョイント２０1を介してシリンダ躯体１４1の一方端が直線形連結される。シリンダ躯体１４1の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ3の幅方向の一方側が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ3の幅方向の他方側にはシリンダ躯体１８ｂ3の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ3の他方端にはＬ字形端末プラグ５２２2が連結される。
【0106】
レール部Ｒ4は、後述されるシリンダ躯体６０１2と、シリンダ躯体１４2と、シリンダ躯体１８ｂ2，１８ｂ4と、十字形連結ジョイント５２０Ａ2と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ2，５２０Ｂ4と、Ｌ字形端末プラグ５２２1と、直線形連結ジョイント２０2とにより構成される。
Ｌ字形端末プラグ５２２1の幅方向の他方側には、シリンダ躯体１８ｂ2の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ2の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ2の幅方向の一方側が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ2の幅方向の他方側には、シリンダ躯体６０１2の一方端が連結され、シリンダ躯体６０１2の他方端には直点型連結ジョイント２０2を介してシリンダ躯体１４2の一方端が直線形連結される。シリンダ躯体１４2の他方端には十字形連結ジョイント５２０Ａ2の幅方向の一方側が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ2の幅方向の他方側にはシリンダ躯体１８ｂ4の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ4の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ4の幅方向の一方側が連結される。
Ｌ字形端末プラグ５２２1の幅方向の他方側には、シリンダ躯体１８ｂ2の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ2の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ2の幅方向の一方側が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ2の幅方向の他方側には、シリンダ躯体６０１2の一方端が連結され、シリンダ躯体６０１2の他方端には直点型連結ジョイント２０2を介してシリンダ躯体１４2の一方端が直線形連結される。シリンダ躯体１４2の他方端には十字形連結ジョイント５２０Ａ2の幅方向の一方側が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ2の幅方向の他方側にはシリンダ躯体１８ｂ4の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ｂ4の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ4の幅方向の一方側が連結される。
【0107】
（搬送領域Ａ3）
搬送領域Ａ3では、長さ方向に沿って延びるレール部Ｒ5とレール部Ｒ6とが対向するように配置される。レール部Ｒ5とレール部Ｒ6とは、幅方向に、シリンダ躯体１８ｂの長さ分の間隔をあけて配置される。
搬送領域Ａ3では、長さ方向に沿って延びるレール部Ｒ5とレール部Ｒ6とが対向するように配置される。レール部Ｒ5とレール部Ｒ6とは、幅方向に、シリンダ躯体１８ｂの長さ分の間隔をあけて配置される。
【0108】
レール部Ｒ5は、シリンダ躯体１２1，１８ａ5と、十字形連結ジョイント５２０Ａ2と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ3と、第１の端末プラグ２２3により構成される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ3の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ5の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ5の他方端には十字形連結ジョイント５２０Ａ2の長さ方向の一方側が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ2の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１２1の一方端が連結され、シリンダ躯体１２1の他方端には第１の端末プラグ２２3が連結される。
Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ3の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ5の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ5の他方端には十字形連結ジョイント５２０Ａ2の長さ方向の一方側が連結される。十字形連結ジョイント５２０Ａ2の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１２1の一方端が連結され、シリンダ躯体１２1の他方端には第１の端末プラグ２２3が連結される。
【0109】
レール部Ｒ6は、シリンダ躯体１２2，１８ａ6と、Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ4と、Ｌ字形端末プラグ５２２2と、第１の端末プラグ２２4により構成される。
Ｌ字形端末プラグ５２２2の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ6の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ6の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ4の長さ方向の一方側が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ4の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１２2の一方端が連結され、シリンダ躯体１２2の他方端には第１の端末プラグ２２4が連結される。
Ｌ字形端末プラグ５２２2の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１８ａ6の一方端が連結され、シリンダ躯体１８ａ6の他方端にはＴ字形連結ジョイント５２０Ｂ4の長さ方向の一方側が連結される。Ｔ字形連結ジョイント５２０Ｂ4の長さ方向の他方側には、シリンダ躯体１２2の一方端が連結され、シリンダ躯体１２2の他方端には第１の端末プラグ２２4が連結される。
【0110】
上述したような構成により、搬送用ユニット６００では、搬送領域Ａ1におけるレール部Ｒ1上およびレール部Ｒ2上において搬送物を支持し、搬送物が矢印Ａｒｒ1の方向に図示しない他の手段により適宜、所定の処理がなされて搬送され、続いて、搬送領域Ａ2におけるレール部Ｒ3上およびレール部Ｒ4上において搬送物を支持し、搬送物が矢印Ａｒｒ2の方向に図示しない他の手段により適宜、所定の処理がなされて搬送され、さらに、搬送領域Ａ3におけるレール部Ｒ5上およびレール部Ｒ6上を、後述されるボール型ピストン６１２により搬送物が矢印Ａｒｒ3の方向に搬送される。
【0111】
図１９は１個のボール型ピストン６１２を有したシリンダ躯体６０１の内部構造を示す断面図である。なお、図１９は１個のボール型ピストン６１２を有したシリンダ躯体６０１であるが、シリンダ躯体に応じて、ボール型ピストン６１２の数は任意に設定することができる。
【0112】
シリンダ躯体６０１は、略直方体状のケース６２２を含む。ケース６２２には、平面形状が円形であるピストン収納部６２４が形成されている。ピストン収納部６２４は、段差部６２４ａを有する貫通孔として形成される。ピストン収納部６２４の下側の大径部の下端部には、大径部より直径の大きい蓋部材取付け部６２６が形成される。この蓋部材取付け部６２６の中間部には、リング用溝６２８が形成されている。
【0113】
さらに、ケース６２２の長さ方向の両端部には、張り出した連結部６２５が形成されている。ケース６２２の内壁には円弧状の切り込み部６３２が形成されている。切り込み部６３２は、ピストン収納部６２４の大径部に形成される。ケース６２２の長さ方向の両端部には、切り込み部６３２に連通する連通路６３４が形成されている。連通路６３４は、ケース６２２の上下方向に延びて、連結部６２５の上面に貫通している。さらに、ケース６２２の長さ方向の両端部には、連通路６３４を挟んで、ピストン収納部６２４と同じ上下方向に延びるねじ孔（図示しない）が形成されている。
【0114】
ピストン収納部６２４には、回転ボール保持具６４０が収納される。回転ボール保持具６４０は、ボール受け部６４２を含む。ボール受け部６４２は、略円柱状の外形を有し、その上面には略球面状の凹部６４４が形成される。そして、凹部６４４に多数の小球６４６が配置され、その上に大球６４８が乗せられる。したがって、大球６４８は、小球６４６によって自由に回転可能に保持されている。ボール受け部６４２の外周部下方には、鍔部６５０が形成され、この鍔部６５０の外周面にＯリングを嵌めるためのＯリング用溝６５２が形成される。ボール受け部６４２の外周部の上方には、リング状のバネを嵌めるためのバネ用溝６５４が形成されている。
【0115】
さらに、ボール受け部６４２上には、カバー部材６５６が形成される。カバー部材６５６には、その内周面にバネ用溝６５８が形成される。このバネ用溝６５８は、ボール受け部６４２の外周面に形成されたバネ用溝６５４に対応する部分に形成され、カバー部材６５６とボール受け部６４２とを嵌合したときに、バネ用溝６５４とバネ用溝６５８とが重なるように形成される。そして、これらのバネ用溝６５４とバネ用溝６５８とが重なった部分に、リング状のバネ６６０が嵌め込まれる。バネ用溝６５４の深さは、バネ６６０の太さとほぼ同じ寸法となるように形成され、バネ用溝６５８の深さは、バネ６６０の太さの約半分となるように形成される。そして、ボール受け部６４２のバネ用溝６５４にバネ６６０を嵌め込んだ状態でカバー部材６５６を被せることにより、バネ用溝６５８側にバネ６６０が開いて、バネ用溝６５４とバネ用溝６５８の両方にまたがってバネ６６０が配置される。したがって、バネ６６０によって、カバー部材６５６とボール受け部６４２とが外れることを防止することができる。また、カバー部材６５６の上部には、狭い開口部６６２が形成され、この開口部６６２から大球６４８の一部が露出するように設計している。
【0116】
ボール受け部６４２およびカバー部材６５６で組み立てられた回転ボール保持具６４０は、ケース６２２のピストン収納部６２４内に収納される。このとき、ボール受け部６４２の外周部に形成されたＯリング用溝６５２に、ＯリングＯＲ１１が嵌め込まれる。なお、ボール受け部６４２の底部には外周に亘って段差部６６６が形成され、切り込み部６３２において、ボール受け部６４２とケース６２２との間にガス流路空間Ｓ１（図１９において斜線で表示した部分）が形成されている。
【0117】
ピストン収納部６２４に回転ボール保持具６４０を収納した状態で、ＯリングＯＲ１２を挟んで、円板状の蓋部材６７０が蓋部材取付け６２６に取り付けられる。したがって、ピストン収納部６２４が、蓋部材６７０で塞がれる。蓋部材６７０が蓋部材取付け部６２６に取り付けられた状態で、スナップリング６７２がリング用溝６２８に嵌めこまれ、蓋部材６７０が脱落しないように固定される。
【0118】
このシリンダ躯体６０１は、予め、大ボール６４８の上端がテーブルＴの面より下になるように、テーブルＴに組み込まれる。そして、第１の端末プラグ２２の圧縮ガス供給口２２０に、エアコンプレッサなどによって例えば圧縮空気が送り込まれる。それにより、空気は、連通流路２２２を介してピストン収納部６２４に供給される。このとき、回転ボール保持具６４０のボール受け部６４２に段差部６６６が形成されていることにより、ピストン収納部６２４の内壁の切り込み部６３２とボール受け部６４２との間に空間が形成され、ピストン収納部６２４への空気の供給が可能である。
【0119】
ピストン収納部６２４に空気が供給されることにより、回転ボール保持具６４０が上昇する。このとき、ＯリングＯＲ１１やＯリングＯＲ１２などによって、空気が漏れることを防止することができる。そして、空気圧によって回転ボール保持具６４０が上昇して、突出部６５０がピストン収納部６２４の段差部６２４ａに当たり、回転ボール保持具６４０の上昇が停止する。したがって、ピストン収納部６２４に空気を供給することにより、搬送用ユニット６００が取り付けられたテーブルの面より上に大球６４８が位置することになり、テーブルＴの上の搬送物を小さい力で動かすことができる。
【0120】
また、圧縮ガス供給口２２０に切換え弁などを取り付けておき、搬送物の自重や強制排気によってピストン収納部６２４から空気を抜くことにより、回転ボール保持具６４０が下がって、大球６４８がテーブルＴの上面より下に配置される。それにより、テーブルＴの上に置かれた搬送物を安定させることができ、搬送物に対する加工などを施すことができる。
【0121】
また、予め、直線形連結ジョイント２０や十字形連結ジョイント５２０ＡやＴ字形連結ジョイント５２０ＢやＬ字形端末プラグ５２２、および、所定の数の長さの異なる（言い換えると、平面型ピストン３０の数の異なる）数種類のシリンダ躯体を準備しておくことにより、複雑なレイアウトの搬送用ユニットが容易に作製できたり、搬送用ユニットの設計変更に即座に対応できたりする。
【0122】
以上のように、本発明の実施の形態は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施の形態に対し、機序、形状、材質、数量、位置又は配置等に関して、様々の変更を加えることができるものであり、それらは、本発明に含まれるものである。例えば、複数個のシリンダ躯体はジョイントによってＹ字形連結などしてもよい。
すなわち、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施の形態に対し、機序、形状、材質、数量、位置又は配置等に関して、様々の変更を加えることができるものであり、それらは、本発明に含まれるものである。例えば、複数個のシリンダ躯体はジョイントによってＹ字形連結などしてもよい。
【符号の説明】
【0123】
１０、５００、６００ 搬送用ユニット
１２、１４、１６、１８ａ、１８ｂ、６０１ シリンダ躯体
２０ 直線形連結ジョイント
２０Ａ 第１の直線形ジョイント
２０Ｂ 第２の直線形ジョイント
２２ 第１の端末プラグ
２２０、１２２０ 圧縮ガス供給口
２２０ａ、１２２０ａ ネジ溝
２２２ Ｌ字形連通路
２２４ 固定ボルト用貫通穴
２２６ 段差部
２４６ 段差部
２５０ 第１のジョイント部材
２５２ 切り欠け部
２５４1，２５４2 貫通穴
２５６ ガス流路用長円形凹部
２５８ ボルト穴
２７０ 第２のジョイント部材
２７４1，２７４2 貫通穴
２７６ａ，２７６ｂ ガス流路用穴
２４ 第２の端末プラグ
２９０ 連通路
３０ 平面型ピストン
３２２ ケース
３２４ ピストン収納部
３２４ａ 小内径部
３２４ｂ 大内径部
３２６ 蓋部材取付け部
３２８ リング用溝
３３２ 切り込み部
３３４ 連通路
３３６ Ｏリング用凹部
３４０ ピストン
３４０ａ 中径部
３４０ｂ 大径部
３４０ｃ 小径部
３４５ 連結用ボルト穴
３４６ 円形凹部
３５２ Ｏリング用溝
３７０ 蓋部材
３７２ スナップリング
４２４ エアジョイント収納部
４２８ リング用溝
４４０ エアジョイント
４４０ａ 中径部
４４０ｂ 大径部
４４０ｃ 小径部
４４２ Ｏリング用溝
４５０ スナップリング
５２０Ａ 十字形連結ジョイント
５２０Ｂ Ｔ字形連結ジョイント
５２２ Ｌ字形端末プラグ
６１２ ボール型ピストン
６２２ ケース
６２４ ピストン収納部
６２５ 連結部
６２６ 蓋部材取付部
６２８ リング用溝
６３２ 切り込み部
６３４ 連通路
６４０ 回転ボール保持具
６４２ ボール受け部
６４４ 凹部
６４６ 小球
６４８ 大球
６５０ 鍔部
６５２ Ｏリング用溝
６５４ バネ用溝
６５６ カバー部材
６５８ バネ用溝
６６６ 段差部
７０２ 固定ボルト
７１０ 連結ボルト
Ｓ１ ガス流路空間
ＯＲ３ Ｏリング
ＯＲ４ Ｏリング
ＯＲ６ Ｏリング
Ａ1、Ａ2、Ａ3 搬送領域
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6 レール部
１２、１４、１６、１８ａ、１８ｂ、６０１ シリンダ躯体
２０ 直線形連結ジョイント
２０Ａ 第１の直線形ジョイント
２０Ｂ 第２の直線形ジョイント
２２ 第１の端末プラグ
２２０、１２２０ 圧縮ガス供給口
２２０ａ、１２２０ａ ネジ溝
２２２ Ｌ字形連通路
２２４ 固定ボルト用貫通穴
２２６ 段差部
２４６ 段差部
２５０ 第１のジョイント部材
２５２ 切り欠け部
２５４1，２５４2 貫通穴
２５６ ガス流路用長円形凹部
２５８ ボルト穴
２７０ 第２のジョイント部材
２７４1，２７４2 貫通穴
２７６ａ，２７６ｂ ガス流路用穴
２４ 第２の端末プラグ
２９０ 連通路
３０ 平面型ピストン
３２２ ケース
３２４ ピストン収納部
３２４ａ 小内径部
３２４ｂ 大内径部
３２６ 蓋部材取付け部
３２８ リング用溝
３３２ 切り込み部
３３４ 連通路
３３６ Ｏリング用凹部
３４０ ピストン
３４０ａ 中径部
３４０ｂ 大径部
３４０ｃ 小径部
３４５ 連結用ボルト穴
３４６ 円形凹部
３５２ Ｏリング用溝
３７０ 蓋部材
３７２ スナップリング
４２４ エアジョイント収納部
４２８ リング用溝
４４０ エアジョイント
４４０ａ 中径部
４４０ｂ 大径部
４４０ｃ 小径部
４４２ Ｏリング用溝
４５０ スナップリング
５２０Ａ 十字形連結ジョイント
５２０Ｂ Ｔ字形連結ジョイント
５２２ Ｌ字形端末プラグ
６１２ ボール型ピストン
６２２ ケース
６２４ ピストン収納部
６２５ 連結部
６２６ 蓋部材取付部
６２８ リング用溝
６３２ 切り込み部
６３４ 連通路
６４０ 回転ボール保持具
６４２ ボール受け部
６４４ 凹部
６４６ 小球
６４８ 大球
６５０ 鍔部
６５２ Ｏリング用溝
６５４ バネ用溝
６５６ カバー部材
６５８ バネ用溝
６６６ 段差部
７０２ 固定ボルト
７１０ 連結ボルト
Ｓ１ ガス流路空間
ＯＲ３ Ｏリング
ＯＲ４ Ｏリング
ＯＲ６ Ｏリング
Ａ1、Ａ2、Ａ3 搬送領域
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6 レール部
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】