(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022188968
(43)【公開日】2022-12-22
(54)【発明の名称】昇降圧システムおよび昇降圧方法
(51)【国際特許分類】
G01N 3/12 20060101AFI20221215BHJP
F24F 13/22 20060101ALN20221215BHJP
【FI】
G01N3/12
F24F1/02 371F
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2021097280
(22)【出願日】2021-06-10
(71)【出願人】
【識別番号】000132161
【氏名又は名称】株式会社スギノマシン
(74)【代理人】
【識別番号】110000165
【氏名又は名称】グローバル・アイピー東京特許業務法人
(72)【発明者】
【氏名】坪野 謙一
【テーマコード(参考)】
2G061
3L050
【Fターム(参考)】
2G061AA04
2G061AB03
2G061AC06
2G061BA04
2G061DA01
2G061EA05
3L050BF02
(57)【要約】
【課題】加圧容器や水素容器等を加圧処理または耐圧試験を行う場合に、加圧容器や水素容器等の内圧と外圧を適正化し、昇降圧を段階的に調整する昇降圧システムを提供する。
【解決手段】昇降圧システムは、加圧対象物W内の加圧液体Qを昇圧または降圧する高圧ポンプPと、加圧対象物Wと連結し、加圧液体Qを排出する排出部2と、昇圧時または降圧時における高圧ポンプPの回転数、および排出部2による加圧液体Qの排出量Q3を制御する制御装置6と、を有する。
【選択図】
図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
加圧対象物内の加圧液体を昇圧または降圧する高圧ポンプと、
前記加圧対象物と連結し、前記加圧液体を排出する排出部と、
昇圧時または降圧時における前記高圧ポンプの回転数、および前記排出部による前記加圧液体の排出量を制御する制御装置と、
を有する、昇降圧システム。
【請求項2】
前記排出部は、前記加圧対象物の高さよりも高い位置に配置される、
請求項1に記載の昇降圧システム。
【請求項3】
前記排出部は、前記加圧対象物の高さよりも高い位置に配置されるとともに、
前記高圧ポンプは、前記加圧対象物の高さよりも低い位置に配置される、
請求項1に記載の昇降圧システム。
【請求項4】
前記加圧対象物付近に配置され、前記加圧液体の圧力または前記排出量を検知するとともに、前記加圧対象物の位置を検知するワーク用検知部を更に有する、
請求項1~3のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項5】
前記排出部付近に配置され、前記加圧液体の圧力または前記排出量を検知する排出用検知部を更に有する、
請求項1~4のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項6】
複数の前記排出部を有する、
請求項1~5のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項7】
前記制御装置は、
前記ワーク用検知部および前記排出用検知部の検知情報を受信する受信部と、
前記検知情報に基づいて演算情報を演算する演算部と、
前記検知情報や前記演算情報を記憶する記憶部と、
前記演算情報を前記高圧ポンプにフィードバックするフィードバック部と、を有する、
請求項1~6のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項8】
前記制御装置は、前記高圧ポンプの回転数を段階的に増加させ、前記加圧対象物内の前記加圧液体の圧力を段階的に昇圧する、
請求項1~7のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項9】
前記制御装置は、前記排出部による前記加圧液体の排出量を段階的に増加させ、前記加圧対象物内の前記加圧液体の圧力を降圧する、
請求項1~8のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項10】
前記加圧対象物および流路を脱気する脱気部を更に有する、
請求項1~9のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項11】
前記加圧対象物にかかる外圧を調整する外圧調整部であって、
昇降部と、
前記加圧対象物を固定するとともに、前記昇降部と連結し、前記昇降部に沿って昇降する載置テーブルと、を有する、
請求項1~10のいずれかに記載の昇降圧システム。
【請求項12】
加圧対象物内の加圧液体を昇圧または降圧する昇降圧方法であって、
高圧ポンプを第1の回転数で稼働させながら、前記加圧対象物内に前記加圧液体を充填し、
前記加圧対象物の容積まで前記加圧液体が充填された後に、前記高圧ポンプを前記第1の回転数よりも大きい第2の回転数で稼働させる、
昇降圧方法。
【請求項13】
前記加圧対象物が受ける外圧に基づいて、前記高圧ポンプの前記第2の回転数を調整する、
請求項12に記載の昇降圧方法。
【請求項14】
前記加圧対象物内の前記加圧液体を、排出部から段階的に排出する、
請求項12または13に記載の昇降圧方法。
【請求項15】
前記加圧液体は、100~150MPaである、
請求項12~14のいずれかに記載の昇降圧方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、昇降圧システムおよび昇降圧方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、加圧容器や水素容器等内に流体や気体等を充満させて昇圧することで、流体や気体を高圧状態で用いる加圧処理や、加圧容器や水素容器等の有効性を検証する耐圧試験等が行われていた。
【0003】
しかし、流体や気体等を充満させて昇圧する場合や、流体や気体等を排出して降圧する場合に、急激に昇圧または降圧を行うと、加圧容器や水素容器等、さらには周辺システムの故障を引き起こす原因になり得る。
【0004】
例えば、そうした故障の原因を解消するために、膨張タンクを配管の最高部よりも低い位置に設置するとともに、循環ポンプの吐出側に接続した配管システムが開示されている(例えば、特許第5708992号公報、以下、「特許文献1」)。これにより、配管内を真空(大気圧以下の負圧)とした運転が可能となり、万一の漏水をも防止し、万一の漏水事故が許されないような施設に要求される高度の信頼性と安全性を十分に確保し得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献1では、膨張タンクの昇降によって、配管内の圧力を真空状態に保つことができる。しかし、膨張タンクが大型の場合、配管内の圧力の幅を拡張する必要があり、昇降機構を含め、大がかりのシステムになってしまう。
【0006】
また、特許文献1では、クリーンルームの空調設備や化学工場における薬液搬送経路等に用いることを想定している。加圧容器や水素容器等を加圧処理または耐圧試験する場合は、加圧容器や水素容器等、周辺システム内において、加圧流体を一時的に留めておく必要がある。そのため、高圧状態と非高圧状態を効率的に切り換えるための改良が求められる。
【0007】
また、加圧容器や水素容器等の外部環境が、昇圧や降圧に影響を与える場合もある。例えば、水深1メートルの場合と、水深100メートルの場合で、加圧容器や水素容器等にかかる外圧は大きく異なる。そのため、加圧容器や水素容器等の有効性を検証するにあたり、内圧と外圧を考慮したシステムの開発が求められていた。
【0008】
本発明は、加圧容器や水素容器等を加圧処理または耐圧試験を行う場合に、加圧容器や水素容器等の内圧と外圧を適正化し、昇降圧を段階的に調整する昇降圧システムおよび昇降圧方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の第1の観点は、
加圧対象物内の加圧液体を昇圧または降圧する高圧ポンプと、
前記加圧対象物と連結し、前記加圧液体を排出する排出部と、
昇圧時または降圧時における前記高圧ポンプの回転数、および前記排出部による前記加圧液体の排出量を制御する制御装置と、
を有する昇降圧システムである。
【0010】
本発明の第2の観点は、
加圧対象物内の加圧液体を昇圧または降圧する昇降圧方法であって、
高圧ポンプを第1の回転数で稼働させながら、前記加圧対象物内に前記加圧液体を充填し、
前記加圧対象物の容積まで前記加圧液体が充填された後に、前記高圧ポンプを前記第1の回転数よりも大きい第2の回転数で稼働させる、
昇降圧方法である。
【発明の効果】
【0011】
本発明の昇降圧システムおよび昇降圧方法によれば、加圧容器や水素容器等を加圧処理または耐圧試験を行う場合に、加圧容器や水素容器等の内圧と外圧を適正化し、昇降圧を段階的に調整できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【
図1】加圧対象物が上方にある場合の実施形態の昇降圧システムの系統図
【
図2】加圧対象物が下方にある場合の実施形態の昇降圧システムの系統図
【
図3】実施形態の昇降圧システムのワーク用検知部の詳細を示す系統図
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態の昇降圧システム1は、加圧対象物W内に液体(例えば、水)を充満させ、10~500MPa等まで昇圧することで、加圧処理や耐圧試験を行う。ここで、加圧対象物Wは、例えば、加圧容器や水素容器である。加圧処理において、液体を高圧状態で用いる。耐圧試験において、加圧容器や水素容器等の有効性を検証する。
なお、加圧対象物Wが水素容器の場合、容器内部(表面)が腐食や水素脆性に耐性のある部材が採用されていることや、コーティング等が施されていることがあり、そうした点を考慮して有効性を検証することが望ましい。
昇降圧システム1は、高圧ポンプPと、排出部2と、検知部3と、制御装置6と、を有する。検知部3は、ワーク検知部4と、排出用検知部5とを有する。なお、昇降圧システム1の各構成は、流路Lによって連結される。流路L内を加圧液体Qが通過する。
【0014】
流路Lは、給水流路L1と、加圧液体供給流路L2と、加圧液体排出流路L3と、循環流路L4と、を有する。タンクTの流体は、給水流路L1を通って高圧ポンプPに給水される。高圧ポンプPで加圧された加圧液体Qは、加圧液体供給流路L2を通って加圧対象物Wに供給する。加圧液体供給流路L2と加圧対象物Wの間には、バルブ(不図示)が設けられる。なお、加圧対象物W内の加圧液体Qは、加圧液体排出流路L3を通って排出部2に排出される。排出部2から排出された加圧液体Qは、循環流路L4を通ってタンクTに戻る。
【0015】
高圧ポンプPは、加圧対象物W内の加圧液体Qを昇圧または降圧する。加圧液体の圧力Q1は、10~500MPaである。高圧ポンプPは、液体を高圧状態に昇圧または降圧させる。高圧ポンプPは、例えば、ピストンポンプ、プランジャーポンプ、油圧ポンプである。
【0016】
排出部2と加圧対象物Wは、加圧液体排出流路L3で連結される。排出部2は、加圧液体Qを排出する。なお、加圧液体Qは、排出部2より排出されることにより、非加圧状態となる。
排出部2は、手動、電動、エア駆動等のバルブや排出弁を適宜選択できる。
【0017】
また、排出部2は、加圧液体Qを排出することに加えて、加圧液体Q内における気泡を排出する。昇降圧システム1を稼働させる場合において、流路L、高圧ポンプP、加圧対象物W内に気泡が存在すると、不具合の原因となり得る。そのため、各要素内に気泡が溜まらない構造とすることで、結果として、昇降圧システム1の製品寿命が長くなる。
【0018】
また、排出部2は、複数の排出部(第1の排出部2a、第2の排出部2b、第3の排出部2c)を有する。複数の排出部2a~2cの加圧液体の排出量Q3は、同一でも異なってもよい。
例えば、第1~第3の排出部2a~2cの各排出孔の形状(直径)を同一とすることにより、各排出部2a~2cの加圧液体の排出量Q3が同一になる。このとき、第1~第3の排出部2a~2cの順番や組み合わせを調整して加圧液体Qを排出することで、段階的に加圧液体の排出量Q3を調整できる。
また、第1~第3の排出部2a~2cの各排出孔の直径を異ならせることにより、各排出部2a~2cの加圧液体の排出量Q3が異なる。このとき、第1~第3の排出部2a~2cの各排出量の大小の組み合わせにより、加圧液体の排出量Q3を細かく調整できる。
その他、排出部2のオンまたはオフを、手動で、または、制御装置6を用いた自動的に調整することで、加圧液体の排出量Q3をより細かく調整できる。
【0019】
また、排出部2は、加圧対象物Wの高さHよりも高い位置に配置する。加圧対象物Wには、加圧液体Qによる昇圧によって10~500MPa等の内圧がかかる。この状態で、排出部2から一気に液体を排出すると、加圧対象物Wが急速に元の状態に戻ろうとし、加圧対象物Wの表面が変形してしまう。排出部2から排出される加圧液体の排出量Q3を調整することによって、加圧対象物Wの表面の変形を防ぐことができる。さらに、加圧対象物W内に充填される液体は、重力によって上から下に流れる。そのため、加圧対象物Wの高さHよりも高い位置に排出部2を配置することによって、加圧液体Qの急速な排出をより一層防ぐことができる。
【0020】
加圧液体Q内に溶存する気泡は、流路L内において上方に移動する。そのため、排出部2を加圧対象物Wの高さHよりも高い位置に配置することによって、気泡は上方に移動し、蓄積する気泡も一度に排出される。
加圧液体Q1は、10~500MPに加圧された液体である。そのため、溶存する気泡も圧縮された状態となっており、加圧されていない液体に較べて、気泡による影響が大きい。
そのため、流路L内に存在する気泡の量が小さいとしても、流路Lや排出部2等に与えるエネルギーは大きい。システム全体として、気泡を排除する構造とすることで、長寿命性やメンテナンス性を向上できる。
【0021】
より好ましくは、排出部2は、加圧対象物Wの高さHよりも高い位置に配置されるとともに、高圧ポンプPは、加圧対象物Wの高さHよりも低い位置に配置される。
これにより、高圧ポンプPで生成される加圧液体Qに溶存する気泡が、加圧対象物Wや排出部2に順に上昇、蓄積し、排出部2より一気に排出または脱気できる。
【0022】
検知部3は、加圧対象物Wや流路L内に流れる液体の圧力や流量を検知する。
ワーク検知部4は、加圧液体Qの圧力Q1、供給量Q2、排出量Q3、加圧対象物Wの振動や位置等を検知する。ワーク検知部4は、圧力センサ、流量センサ、振動センサ、位置センサ等である。
【0023】
例えば、ワーク検知部4は、
図3に示すように、圧力検知部4aと、流量検知部4bと、振動検知部4cと、位置検知部4dとを有する。圧力検知部4aは、加圧液体Qの圧力Q1を検知する。流量検知部4bは、加圧対象物Wへの加圧液体Qの供給量Q2や、加圧対象物Wからの排出量Q3を検知する。振動検知部4cは、加圧対象物Wの振動を検知する。位置検知部4dは、加圧対象物Wの形状を検知する。位置検知部4dは、加圧対象物Wの形状の内圧による変形の有無を検知する。
加圧液体Qの圧力Q1、供給量Q2、排出量Q3を検知するだけでなく、加圧対象物Wの位置や振動を検知したうえで、高圧ポンプPの回転数や排出部2を調整することによって、昇降圧システム1を安定して稼働できる。
【0024】
排出用検知部5は、排出部2付近に配置される。排出用検知部5は、加圧液体Qの圧力Q1または排出量Q3を検知する。加圧液体Qの圧力Q1を検知する場合、排出用検知部5は、加圧液体Qの排出前の位置に配置されることが好ましい。加圧液体Qの排出量Q3を検知する場合、排出用検知部5は、加圧液体Qの排出後の位置に配置されることが好ましい。
排出用検知部5は、圧力センサ、流量センサ、振動センサ、位置センサ等である。排出用検知部5は、複数の排出用検知部(第1の排出用検知部5a、第2の排出用検知部5b、第3の排出用検知部5c)を有する。第1~第3の排出用検知部5a~5cは、それぞれ、第1~第3の排出部2a~2cの加圧液体Qの排出後の位置に配置される。
【0025】
制御装置6は、高圧ポンプPの昇圧、降圧、および排出部2の加圧液体Qの圧力Q1、供給量Q2、排出量Q3を制御する。制御装置6は、受信部6aと、演算部6bと、記憶部6cと、フィードバック部6dと、を有する。
【0026】
受信部6aは、ワーク検知部4および排出用検知部5の検知情報を受信する。受信部6aは、ワーク検知部4および排出用検知部5と直接配線で接続されてもよいし、センサ等を用いて、ワーク検知部4および排出用検知部5の検知情報を遠隔で受信してもよい。
【0027】
演算部6bは、検知情報を演算する。演算部6bは、例えば、CPU(中央演算装置)である。演算部6bは、検知情報が規定の異常値に到達しているか否かを計算する。また、演算部6bは、高圧ポンプPの回転数や、加圧対象物W、流路L、排出部2等における加圧液体Qの圧力Q1、供給量Q2、排出量Q3等の規定の稼働値を計算する。稼働値は、加圧対象物Wを昇圧または降圧する際に、事前に設定してもよいし、リアルタイムで設定(変更)してもよい。
【0028】
記憶部6cは、検知情報、演算情報、加圧対象物Wの情報等を記憶する。記憶部6cは、不揮発性メモリ、揮発性メモリ等である。
フィードバック部6dは、演算情報を高圧ポンプPにフィードバックする。これにより、昇降圧システム1が正常に稼働するように調整できる。
【0029】
また、制御装置6は、高圧ポンプPの回転数や、排出部2の加圧液体Qの排出量Q3を段階的に調整する。これにより、加圧対象物Wを安定的に昇降圧できる。
高圧ポンプPの回転数を段階的に増加させることによって、加圧対象物W内の加圧液体Qの圧力Q1が段階的に昇圧する。そのため、加圧対象物W内に急激に内圧がかからず、昇降圧システム1全体の故障や運転停止を防止できる。
【0030】
タンクTと高圧ポンプPの間に、脱気部7を配置してもよい。脱気部7が脱気することにより、高圧ポンプPが加圧液体Qを生成する段階で気泡の混入量が少なくなる。そのため、流路L内への気泡の混入を抑制できる。脱気部7により、加圧液体Qが300~500MPaに到達する場合に、加圧液体Qに内包される気泡が加圧対象物Wおよび流路Lに悪影響を及ぼすことを抑制できる。
【0031】
また、
図3に示すように、加圧対象物W付近に気泡吸引部7aを配置してもよい。気泡吸引部7aは、加圧対象物W内の気泡を脱気する。これにより、加圧対象物W内に加圧液体Qを供給する際に、加圧対象物W内から微量の気泡を抜くことが困難であっても、気泡吸引部7aが加圧対象物W内の気泡を脱気できる。
【0032】
また、加圧対象物Wは、水槽A内の外圧調整部8に載置される。
図1、
図2に示すように、水槽A内は、水、純水、海水等で満たされており、加圧対象物Wを浸漬した状態で加圧処理や耐圧試験を行う。
水槽Aの深度の浅い場合や深度の深い場合の処理を切り換えることによって、加圧対象物Wが海中で使用されること等を想定し、外圧調整部8は、外部環境(外圧)を踏まえた加圧処理や耐圧試験を行う。外圧調整部8は、昇降部8aと、載置テーブル8bと、昇降モータMと、を有する。
【0033】
昇降部8aは、水槽A内に配置される枠体(土台)である。昇降部8aは、加圧対象物Wの重みや水槽A内の各種液体があっても、水槽A内に固定される。
載置テーブル8bは、加圧対象物Wを載置する。載置テーブル8bは、昇降部8aと連結する。載置テーブル8bは、エアモータ等の昇降モータMの駆動に伴い、昇降可能である。なお、水槽A内での稼働の観点から、昇降モータMは、単にエアモータ等だけではなく、エアシリンダ等の動力源でもよい。
【0034】
外圧調整部8を用いて加圧対象物Wの外部環境を変化させた状態で、加圧対象物Wの内部から高圧ポンプPを用いて昇降圧する。これによって、加圧対象物Wに対する内圧および外圧を考慮した各種試験を実施できる。
具体的には、加圧対象物Wの外圧と内圧が同等(例えば、±5~10%以内)になるように、加圧液体Qの排出量Q3を調整することによって、より効果的な加圧処理や耐圧試験を行うことができる。
【0035】
次に、本実施形態の昇降圧システムの運転方法について説明する。
まず、加圧対象物Wを固定する準備を行う。水槽A内に配置される外圧調整部8の載置テーブル8bに、加圧対象物Wを固定する。昇降モータMを駆動させて、昇降部8aに沿って下方に載置テーブル8bを移動させ、加圧対象物Wを水槽A内の液体に浸漬させる。
【0036】
次に、加圧対象物W内の加圧液体Qの圧力Q1、加圧液体Qの供給量Q2、排出部2における加圧液体Qの排出量Q3および運転時間を設定する。
なお、排出部2が第1~第3の排出部2a~2cを有する場合、第1~第3の排出部2a~2cのそれぞれで、加圧液体Qの排出量Q3を同一または個別に設定するとともに、排出のタイミングを設定する。
【0037】
次に、液体供給源(不図示)および高圧ポンプPを起動し、流路Lおよび加圧対象物W内に加圧液体Qを供給する。昇降圧システム1や加圧対象物Wの故障等を防止するために、制御装置6を用い、高圧ポンプPの回転数を段階的に増加させ、加圧対象物W内の加圧液体Qの圧力Q1を段階的に昇圧する。
【0038】
以下、高圧ポンプPの回転数を段階的に増加させることにより、加圧対象物Wを昇圧させる方法を説明する。
まず、充填工程において、加圧対象物W内に加圧液体Qを充填する。このとき、高圧ポンプPを第1の回転数R1で稼働させる。
【0039】
加圧対象物Wの容積まで加圧液体Qが充填されたら、昇圧工程に進む。昇圧工程において、高圧ポンプPを第2の回転数R2で稼働させる。ここで、第2の回転数R2は、第1の回転数R1より大きい。昇圧工程において、高圧ポンプPを第2の回転数R2を徐々に大きくすることが好ましい。これにより、加圧液体供給流路L2および加圧対象物W内の加圧液体Qの圧力が、例えば、50MPa、100MPa、150MPa、200MPaと、徐々に高くなる。このようにして、目標とする圧力まで、加圧対象物Wを段階的に昇圧する。
【0040】
加圧対象物Wの容積まで加圧液体Qが充填した後であって、昇圧工程前に、加圧液体Qの一部を排出部2から排出することで、流路L内や加圧容器W内から集積される気泡も脱気する準備工程(一次脱気工程)を有してもよい。
昇圧工程前後において、タンクTと高圧ポンプPの間に配置される脱気部7や加圧対象物W付近に配置される気泡吸引部7aから常時脱気処理(二次脱気工程)を行うこともできる。
【0041】
さらに、昇圧工程の前、または昇圧工程と同時に、調整工程を有してもよい。充填工程の後に、加圧対象物Wを浸漬した状態で位置を下降させる。例えば、加圧対象物Wを水深1m、10m、50m、100mと段階的に深い位置に浸漬させる。これによって、加圧対象物Wが受ける外圧が段階的に増加する。調整工程において、加圧対象物W内の容積に対する内圧および外圧のバランスが調整できるまで、高圧ポンプPの第2の回転数R2を一時的に一定に維持する。例えば、少なくとも、5~10分等の所定時間、高圧ポンプPの第2の回転数R2を一定に維持した状態で、加圧または耐圧試験を行う。これによって、より効果的な加圧処理や耐圧試験を行うことができる。
【0042】
次に、排出部2から加圧液体Qを段階的に排出することにより、加圧対象物Wを降圧させる降圧工程を説明する。なお、降圧工程の前に、高圧ポンプPを停止させる。昇圧工程後、所定時間が経過した後、加圧対象物Wの状態を検証するために、加圧対象物W内の加圧流体Qを排出する。
降圧工程において、排出部2から排出される加圧液体Qの排出量Q3を調整する。例えば、排出部2から排出される加圧液体Qの排出量Q3を加圧対象物W内の容積の5~20%の範囲で段階的に排出する、または、排出部2から排出できる排出量Q3を一定に制限して、継続的に加圧液体Qを排出する。複数の排出部2(第1~第3の排出部2a~2c)の各排出部2a~2cにおける排出量を、同一または大中小の組み合わせ等に応じて調整してもよい。
【0043】
排出された加圧流体Qは、流路L(加圧液体排出流路L3、循環流路L4)を介して、タンクTに貯留される。
このように、加圧処理や耐圧試験を複数回繰り返すことによって、加圧対象物Wの長寿命化に関する検証を行うことができる。
【0044】
また、水槽A内における加圧対象物Wの位置(深度)によって、外圧を変化させて加圧処理や耐圧試験を繰り返すことによって、加圧対象物Wに対する内圧および外圧の影響等を検証できる。
【0045】
以上、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【0046】
1 昇降圧システム
2 排出部
2a 第1の排出部
2b 第2の排出部
2c 第3の排出部
3 検知部
4 ワーク検知部
4a 圧力検知部
4b 流量検知部
4c 振動検知部
4d 位置検知部
5 排出用検知部
5a 第1の排出用検知部
5b 第2の排出用検知部
5c 第3の排出用検知部
6 制御装置
6a 受信部
6b 演算部
6c 記憶部
6d フィードバック部
7 脱気部
7a 気泡吸引部
8 外圧調整部
8a 昇降部
8b 載置テーブル
M 昇降モータ
P 高圧ポンプ
T タンク
A 水槽
W 加圧容器
L 流路
Q 加圧液体
Q1 加圧液体の圧力
Q2 加圧液体の供給量
Q3 加圧液体の排出量
H 高さ