ホーム > 特許ランキング > 株式会社アドバンテスト
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022189388
(43)【公開日】2022-12-22
(54)【発明の名称】試験装置
(51)【国際特許分類】
G01R 31/28 20060101AFI20221215BHJP
【ＦＩ】
G01R31/28 H
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021097940
(22)【出願日】2021-06-11
(71)【出願人】
【識別番号】390005175
【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】川端 雅之
(72)【発明者】
【氏名】秋田 隆之
【テーマコード（参考）】
2G132
【Ｆターム（参考）】
2G132AA00
2G132AB01
2G132AC02
2G132AD01
2G132AE08
2G132AE11
2G132AE14
2G132AE23
2G132AL09
2G132AL11
(57)【要約】 （修正有）
【解決手段】被試験デバイス１００が有する複数の端子１０をグループ化した複数の端子グループ１１のうち２つ以上の端子１０を有する少なくとも１つの端子グループ１１内の端子１０のそれぞれの出力値と、複数の端子１０のうち、当該少なくとも１つの端子グループ１１のそれぞれに対する基準端子１０Ｋの出力値との差分値を測定する測定部２０２とを備え、複数の端子グループ１１は、２つ以上の端子グループ１１間で基準端子１０Ｋが順繰りに用いられる連鎖関係を少なくとも１つ形成しており、測定部２０２は、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１に対し、他方の端子グループ１１内の何れかの端子１０を基準端子１０Ｋとして用いる。
【効果】試験精度を高め、試験時間を短縮できる。
【選択図】図１
【効果】試験精度を高め、試験時間を短縮できる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被試験デバイスが有する複数の端子をグループ化した複数の端子グループのうち２つ以上の端子を有する少なくとも１つの端子グループ内の端子のそれぞれの出力値と、前記複数の端子のうち、当該少なくとも１つの端子グループのそれぞれに対する基準端子の出力値との差分値を測定する測定部と、
を備える試験装置。
を備える試験装置。
【請求項2】
前記複数の端子グループは、２つ以上の端子グループ間で前記基準端子が順繰りに用いられる連鎖関係を少なくとも１つ形成しており、
前記測定部は、前記連鎖関係において隣接する２つの端子グループの間それぞれで、一方の端子グループに対し、他方の端子グループ内の何れかの端子を前記基準端子として用いる、請求項１に記載の試験装置。
前記測定部は、前記連鎖関係において隣接する２つの端子グループの間それぞれで、一方の端子グループに対し、他方の端子グループ内の何れかの端子を前記基準端子として用いる、請求項１に記載の試験装置。
【請求項3】
前記測定部は、各連鎖関係における一端の端子グループ内の端子のそれぞれの出力値を測定する、請求項２に記載の試験装置。
【請求項4】
前記測定部は、前記一端の端子グループ内の端子のそれぞれについて、第１の測定範囲で出力値を測定するか、前記第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲で出力値を測定するかを切り替える切替部を有する、請求項３に記載の試験装置。
【請求項5】
前記少なくとも１つの端子グループのそれぞれは、何れかの前記連鎖関係に含まれる、請求項２から４の何れか一項に記載の試験装置。
【請求項6】
前記連鎖関係における一端と他端とを反転する第２の切替部を備える、請求項２から５の何れか一項に記載の試験装置。
【請求項7】
前記測定部は、前記少なくとも１つの端子グループ内の端子のそれぞれについて、前記差分値を測定するか、出力値を測定するかを切り替える切替部を有する、請求項１から６の何れか一項に記載の試験装置。
【請求項8】
前記切替部は、前記少なくとも１つの端子グループ内の端子のそれぞれについて、前記差分値を測定するか、第１の測定範囲で出力値を測定するか、前記第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲で出力値を測定するかを切り替える、請求項７に記載の試験装置。
【請求項9】
前記測定部は、
対応する端子からの出力値と、他の値との差分を増幅する、ゲイン可変の複数の増幅部と、
増幅された値に応じた測定値を出力する複数の出力部と、
を有し、
各増幅部のゲインは、前記切替部によって前記第１の測定範囲内で前記出力値が測定されるよう切り替えが行われている場合には、当該切り替えが行われていない場合と比較して小さくされる、請求項４または８に記載の試験装置。
対応する端子からの出力値と、他の値との差分を増幅する、ゲイン可変の複数の増幅部と、
増幅された値に応じた測定値を出力する複数の出力部と、
を有し、
各増幅部のゲインは、前記切替部によって前記第１の測定範囲内で前記出力値が測定されるよう切り替えが行われている場合には、当該切り替えが行われていない場合と比較して小さくされる、請求項４または８に記載の試験装置。
【請求項10】
前記複数の端子の何れの端子を前記測定部に接続するかを切り替える第３の切替部を備える、請求項１から９の何れか一項に記載の試験装置。
【請求項11】
前記測定部による測定結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部を備える、請求項１から１０の何れか一項に記載の試験装置。
【請求項12】
前記被試験デバイスは、ディスプレイの複数の画素を制御する前記複数の端子を有するディスプレイドライバであり、
前記出力値は、電圧の大きさで示される値である、請求項１から１１の何れか一項に記載の試験装置。
前記出力値は、電圧の大きさで示される値である、請求項１から１１の何れか一項に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、試験装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、「各出力ピンの電圧は、測定された電圧差をｎ番目の電圧測定ユニットＶｕｎから順に累積加算することによって得られる」（段落０００７）と記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特開平８－６２３０７号公報
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］ 特開平８－６２３０７号公報
【発明の概要】
【0003】
本発明の第１の態様においては、試験装置が提供される。試験装置は、被試験デバイスが有する複数の端子をグループ化した複数の端子グループのうち２つ以上の端子を有する少なくとも１つの端子グループ内の端子のそれぞれの出力値と、複数の端子のうち、当該少なくとも１つの端子グループのそれぞれに対する基準端子の出力値との差分値を測定する測定部を備えてよい。
【0004】
複数の端子グループは、２つ以上の端子グループ間で基準端子が順繰りに用いられる連鎖関係を少なくとも１つ形成してよい。測定部は、連鎖関係において隣接する２つの端子グループの間それぞれで、一方の端子グループに対し、他方の端子グループ内の何れかの端子を基準端子として用いてよい。
【0005】
測定部は、各連鎖関係における一端の端子グループ内の端子のそれぞれの出力値を測定してよい。
【0006】
測定部は、一端の端子グループ内の端子のそれぞれについて、第１の測定範囲で出力値を測定するか、第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲で出力値を測定するかを切り替える切替部を有してよい。
【0007】
少なくとも１つの端子グループのそれぞれは、何れかの連鎖関係に含まれてよい。
【0008】
試験装置は、連鎖関係における一端と他端とを反転する第２の切替部を備えてよい。
【0009】
測定部は、少なくとも１つの端子グループ内の端子のそれぞれについて、差分値を測定するか、出力値を測定するかを切り替える切替部を有してよい。
【0010】
切替部は、少なくとも１つの端子グループ内の端子のそれぞれについて、差分値を測定するか、第１の測定範囲で出力値を測定するか、第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲で出力値を測定するかを切り替えてよい。
【0011】
測定部は、対応する端子からの出力値と、他の値との差分を増幅する、ゲイン可変の複数の増幅部を有してよい。測定部は、増幅された値に応じた測定値を出力する複数の出力部を有してよい。各増幅部のゲインは、切替部によって第１の測定範囲内で出力値が測定されるよう切り替えが行われている場合には、当該切り替えが行われていない場合と比較して小さくされてよい。
【0012】
試験装置は、複数の端子の何れの端子を測定部に接続するかを切り替える第３の切替部を備えてよい。
【0013】
試験装置は、測定部による測定結果に基づいて前記被試験デバイスの良否を判定する判定部を備えてよい。
【0014】
被試験デバイスは、ディスプレイの複数の画素を制御する複数の端子を有するディスプレイドライバであってよい。出力値は、電圧の大きさで示される値であってよい。
【0015】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】実施形態に係る試験システム１を示す。
【図2】測定部２０２を端子１０と共に示す。
【図3】測定部２０２を端子１０と共に示す。
【図4】測定部２０２を端子１０と共に示す。
【図5】試験装置２００の動作を示す。
【図6】変形例（１）に係る試験システム１Ａを示す。
【図7】変形例（２）に係る測定部２０２Ｃを示す。
【図8】本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【0018】
［１．試験システム１］
図１は、本実施形態に係る試験システム１を示す。試験システム１は、被試験デバイス１００と、試験装置２００とを備える。
図１は、本実施形態に係る試験システム１を示す。試験システム１は、被試験デバイス１００と、試験装置２００とを備える。
【0019】
［１－１．被試験デバイス１００］
被試験デバイス１００は、複数の端子１０を有しており、端子１０からの出力が試験装置２００によって試験される。被試験デバイス１００は、各端子１０から複数の階調（一例として２５６階調や１０２４階調、４０９６階調など）の出力が可能であってよい。被試験デバイス１００は、ディスプレイ（図示せず）の複数の画素を制御する複数の端子１０を有するディスプレイドライバであってよい。各端子は、シングルエンドの信号を出力してよい。シングルエンドの信号とは、或る基準（一例としてゼロ）に対して高いか低いかによって信号値を表現する信号であってよい。各端子１０は、ディスプレイの画素を構成する何れかの表示色と対応付けられており、被試験デバイス１００における端子１０の並びは、ディスプレイ内での対応画素の並びに対応してよい。
被試験デバイス１００は、複数の端子１０を有しており、端子１０からの出力が試験装置２００によって試験される。被試験デバイス１００は、各端子１０から複数の階調（一例として２５６階調や１０２４階調、４０９６階調など）の出力が可能であってよい。被試験デバイス１００は、ディスプレイ（図示せず）の複数の画素を制御する複数の端子１０を有するディスプレイドライバであってよい。各端子は、シングルエンドの信号を出力してよい。シングルエンドの信号とは、或る基準（一例としてゼロ）に対して高いか低いかによって信号値を表現する信号であってよい。各端子１０は、ディスプレイの画素を構成する何れかの表示色と対応付けられており、被試験デバイス１００における端子１０の並びは、ディスプレイ内での対応画素の並びに対応してよい。
【0020】
複数の端子１０は、試験装置２００によって複数の端子グループ１１にグループ化されてよい。例えば、複数の端子１０は、被試験デバイス１００内での端子１０の位置に従ってグループ化されてよい。また、各端子グループ１１に含まれる端子１０どうしは、互いに近接して被試験デバイス１００内に配置されていてよい。なお、各端子グループ１１には少なくとも１つの端子１０が含まれてよい。また、各端子グループ１１には同数の端子１０が含まれてもよいし、別々の数の端子１０が含まれてもよい。
【0021】
［１－２．試験装置２００］
試験装置２００は、被試験デバイス１００の良否を試験する。試験装置２００は、テストコントローラ２０１と、測定部２０２と、判定部２０３とを有する。
試験装置２００は、被試験デバイス１００の良否を試験する。試験装置２００は、テストコントローラ２０１と、測定部２０２と、判定部２０３とを有する。
【0022】
［１－２－１．テストコントローラ２０１］
テストコントローラ２０１は、試験装置２００の各部を制御するとともに、試験条件に応じた動作を被試験デバイス１００に行わせる。例えば、テストコントローラ２０１は、被試験デバイス１００にテストパターン信号を供給することで、指定した階調に応じた出力値を少なくとも一部の端子１０から所望のタイミングで出力させてよい。端子１０から出力された出力値は、出力値を伝送するための伝送路Ｃｈに供給されてよい。なお、テストコントローラ２０１は、ソフトウェアがプロセッサ等で実行されることにより実現されてよい。
テストコントローラ２０１は、試験装置２００の各部を制御するとともに、試験条件に応じた動作を被試験デバイス１００に行わせる。例えば、テストコントローラ２０１は、被試験デバイス１００にテストパターン信号を供給することで、指定した階調に応じた出力値を少なくとも一部の端子１０から所望のタイミングで出力させてよい。端子１０から出力された出力値は、出力値を伝送するための伝送路Ｃｈに供給されてよい。なお、テストコントローラ２０１は、ソフトウェアがプロセッサ等で実行されることにより実現されてよい。
【0023】
［１－２－２．測定部２０２］
測定部２０２は、伝送路Ｃｈを介して端子１０と接続されてよい。測定部２０２は、複数の端子グループ１１のうち２つ以上の端子１０を有する少なくとも１つの端子グループ１１（非代表端子グループ１１Ｈとも称する）内の端子１０（非代表端子１０Ｈとも称する）のそれぞれの出力値と、複数の端子１０のうち当該非代表端子グループ１１Ｈのそれぞれに対する基準端子１０Ｋの出力値との差分値を測定してよい。基準端子１０Ｋは、非代表端子グループ１１Ｈ毎に異なってよい。一の非代表端子グループ１１Ｈについての差分値の測定で用いられる基準端子１０Ｋは、当該一の非代表端子グループとは別の端子グループ１１の端子であってよい。なお、本実施形態においては一例として、端子１０からの出力値は、基準値（一例としてゼロ）に対する差分として測定されてよい。また、端子１０からの出力値は、電圧の大きさで示される値であってよい。
測定部２０２は、伝送路Ｃｈを介して端子１０と接続されてよい。測定部２０２は、複数の端子グループ１１のうち２つ以上の端子１０を有する少なくとも１つの端子グループ１１（非代表端子グループ１１Ｈとも称する）内の端子１０（非代表端子１０Ｈとも称する）のそれぞれの出力値と、複数の端子１０のうち当該非代表端子グループ１１Ｈのそれぞれに対する基準端子１０Ｋの出力値との差分値を測定してよい。基準端子１０Ｋは、非代表端子グループ１１Ｈ毎に異なってよい。一の非代表端子グループ１１Ｈについての差分値の測定で用いられる基準端子１０Ｋは、当該一の非代表端子グループとは別の端子グループ１１の端子であってよい。なお、本実施形態においては一例として、端子１０からの出力値は、基準値（一例としてゼロ）に対する差分として測定されてよい。また、端子１０からの出力値は、電圧の大きさで示される値であってよい。
【0024】
ここで、複数の端子グループ１１は、２つ以上の端子グループ１１間で基準端子１０Ｋが順繰りに用いられる連鎖関係を少なくとも１つ形成してよい。図１では一例として、全ての端子グループ１１が図中の上下方向に１つの連鎖関係を形成している。なお、２つの端子グループ１１が連鎖関係を形成する場合に、当該２つの端子グループ１１の間で基準端子１０Ｋが順繰りに用いられるとは、一方の端子グループ１１に対し、他方の端子グループ１１内の端子１０が基準端子１０Ｋとして用いられることであってよい。連鎖関係において隣接する端子グループ１１どうしは、互いに隣接して被試験デバイス１００内に配置されていてよく、別言すれば、ディスプレイにおいて互いに隣接する画素に対応してよい。
【0025】
測定部２０２は、端子グループ１１の連鎖関係が形成される場合には、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１に対し、他方の端子グループ１１内の何れかの端子１０を基準端子１０Ｋとして用いて、差分値の測定を行ってよい。
【0026】
また、測定部２０２は、各連鎖関係における一端の端子グループ１１（代表端子グループ１１Ｄとも称する）内の端子１０（代表端子１０Ｄとも称する）のそれぞれの出力値をさらに測定してよい。代表端子グループ１１Ｄは非代表端子グループ１１Ｈとは別の端子グループ１１であってよい。被試験デバイス１００の全ての端子１０に対する代表端子１０Ｄの割合は、一例として１／６４～１／４であってよい。
【0027】
このように連鎖関係の一端の代表端子グループ１１Ｄ内の端子１０について出力値が測定され、連鎖関係において基準端子が順繰りに用いられて差分値が測定されることにより、連鎖関係に含まれる各非代表端子グループ１１Ｈ内の端子１０について出力値が算出可能となる。本実施形態においては一例として、非代表端子グループ１１Ｈのそれぞれは、何れかの連鎖関係に含まれてよい。例えば、非代表端子グループ１１Ｈのそれぞれは、何れか１つの連鎖関係に含まれてよい。一の非代表端子グループ１１Ｈを含んで複数の連鎖関係が形成されている場合には、当該一の非代表端子グループ１１Ｈは当該複数の連鎖関係にそれぞれ含まれてもよい。
【0028】
なお、連鎖関係における非代表端子グループ１１Ｈ内の端子１０の出力値を算出するには、例えば、当該非代表端子グループ１１Ｈ内の非代表端子１０Ｈの差分値に対し、連鎖関係において一端の側に順次、隣接する各非代表端子グループ１１Ｈ内の基準端子１０Ｋについて測定される差分値と、連鎖関係における一端の代表端子グループ１１Ｄ内の基準端子について測定される出力値とを累積加算すればよい。
【0029】
測定部２０２は、測定結果を判定部２０３に供給してよい。例えば、測定部２０２は、差分値や信号値のアナログ値をデジタル値に変換して判定部２０３に供給してよい。
【0030】
［１－２－３．判定部２０３］
判定部２０３は、測定部２０２による測定結果に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定する。判定部２０３は、測定された差分値に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してよく、例えば非代表端子１０Ｈそれぞれの差分値が第１の基準範囲内であるか否か基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してよい。また、判定部２０３は、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値が第２の基準範囲であるか否かと、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値の間の差分値が第３の基準範囲内であるか否との少なくとも一方にさらに基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してもよい。判定部２０３は、被試験デバイス１００の良否を示す判定結果を出力してよい。なお、判定部２０３は、ソフトウェアがプロセッサ等で実行されることにより実現されてよい。
判定部２０３は、測定部２０２による測定結果に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定する。判定部２０３は、測定された差分値に基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してよく、例えば非代表端子１０Ｈそれぞれの差分値が第１の基準範囲内であるか否か基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してよい。また、判定部２０３は、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値が第２の基準範囲であるか否かと、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値の間の差分値が第３の基準範囲内であるか否との少なくとも一方にさらに基づいて被試験デバイス１００の良否を判定してもよい。判定部２０３は、被試験デバイス１００の良否を示す判定結果を出力してよい。なお、判定部２０３は、ソフトウェアがプロセッサ等で実行されることにより実現されてよい。
【0031】
以上の試験装置２００によれば、２つ以上の端子１０を有する非代表端子グループ１１Ｈ内の端子１０のそれぞれの出力値と、当該非代表端子グループ１１Ｈに対する基準端子１０Ｋの出力値との差分値が測定されて試験が行われる。従って、非代表端子グループ１１Ｈ内の２つ以上の端子１０について、共通の基準端子Ｋを用いて差分値を測定して試験を行うことができる。よって、各端子１０を他の端子１０の基準端子１０Ｋとして順繰りに用いて差分値を測定する場合と異なり、差分値から出力値を算出するための累積加算の回数を低減することができるため、出力値の算出を容易化することができる。また、累積加算の回数が低減されることで、差分値や出力値の測定で発生するノイズを含んで算出される出力値の数を低減することができるため、算出される出力値を用いる場合の試験精度を高めることができる。
【0032】
また、差分値の測定結果を用いて試験が行われることで、出力値を測定する回数、ひいては、ノイズの影響により外れ値を測定してしまう回数を低減することができるため、試験精度を高めることができる。また、外れ値の影響を低減する平均化のために測定回数を増やす必要がないため、試験時間を短縮することができる。
【0033】
また、２つ以上の端子グループ１１間で基準端子１０Ｋが順繰りに用いられる連鎖関係が少なくとも１つ形成されており、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１に対し、他方の端子グループ１１内の何れかの端子１０が基準端子１０Ｋとして用いられる。従って、連鎖関係に含まれる各クループについて、順次、端子１０からの出力値を算出することができる。
【0034】
また、各連鎖関係の一端に位置する代表端子グループ１１Ｄ内の端子１０のそれぞれの出力値が測定されるので、当該出力値との差分値によって、連鎖関係に含まれる各端子グループ１１内の各端子１０の出力値を算出することができる。
【0035】
また、非代表端子グループ１１Ｈのそれぞれが何れかの連鎖関係に含まれるので、非代表端子グループ内の端子１０それぞれについて出力値を算出することができる。
【0036】
【0037】
本構成例においては一例として、被試験デバイス１００は１５３６個の端子１０を有しており、図２～図４には、このうち伝送路Ｃｈ（１）～Ｃｈ（３２）に接続された３２個の端子１０（端子１０（１）～１０（３２）とも称する）を測定対象とする部分の測定部２０２の構成を示す。測定部２０２は、３２個の端子１０ごとに同様の構成を別々の基板（図示せず）上に有してよい。伝送路Ｃｈ（ｎ）は、各端子１０（ｎ）からの出力値を測定部２０２に供給してよい。なお、端子１０（１）などの記載における添え字のカッコ内の数字１～３２は、対応する伝送路Ｃｈの番号を示してよい。添え字におけるカッコ内のｎは１～３２の何れかの整数を示してよい。本構成例において、端子１０の個数や、測定部２０２における各構成の個数は他の数であってもよい。
【0038】
端子１０（１）～１０（３２）は、４個ずつの端子１０を含む８つの端子グループ１１（端子グループ１１Ｇ１～１１Ｇ８とも称する）にグループ化されてよい。なお、添え字のＧ１～Ｇ８は端子グループ１１の番号を示す。また、各端子グループ１１における端子１０の個数は、後述の増幅部２２０の集積個数に対応してよい。
【0039】
端子グループ１１Ｇ１～１１Ｇ８は、基準端子１０Ｋが順繰りに用いられる単一の連鎖関係を形成してよい。連鎖関係の一端の端子グループ１１Ｇ８は代表端子グループ１１Ｄであってよく、他の端子グループ１１Ｇ１～１１Ｇ７は非代表端子グループ１１Ｈであってよい。
【0040】
端子グループ１１Ｇ１内の端子１０（１）～１０（４）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ２内の端子１０（５）であってよい。同様にして、端子グループ１１Ｇ２内の端子１０（５）～１０（８）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ３内の端子１０（９）であってよい。端子グループ１１Ｇ３内の端子１０（９）～１０（１２）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ４内の端子１０（１３）であってよい。端子グループ１１Ｇ４内の端子１０（１３）～１０（１６）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ５内の端子１０（１７）であってよい。端子グループ１１Ｇ５内の端子１０（１７）～１０（２０）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ６内の端子１０（２１）であってよい。端子グループ１１Ｇ６内の端子１０（２１）～１０（２４）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ７内の端子１０（２５）であってよい。端子グループ１１Ｇ７内の端子１０（２５）～１０（２８）に対する基準端子１０Ｋは端子グループ１１Ｇ８内の端子１０（２９）であってよい。
【0041】
測定部２０２は、複数の増幅部２２０（増幅部２２０（ｎ）とも称する）および複数の出力部２２１（出力部２２１（ｎ）とも称する）を有してよく、本構成例では一例として、伝送路Ｃｈごとに増幅部２２０および出力部２２１を有してよい。また、測定部２０２は、１または複数の切替部２２２（切替部２２２（ｎ）とも称する）を有してよい。
【0042】
［１－３－１．増幅部２２０］
各増幅部２２０（ｎ）は、対応する端子１０（ｎ）からの出力値と、他の値との差分を増幅する。各増幅部２２０（ｎ）は、対応する出力部２２１（ｎ）に対し、増幅した値を供給してよい。各増幅部２２０は、ゲイン可変であってよい。
各増幅部２２０（ｎ）は、対応する端子１０（ｎ）からの出力値と、他の値との差分を増幅する。各増幅部２２０（ｎ）は、対応する出力部２２１（ｎ）に対し、増幅した値を供給してよい。各増幅部２２０は、ゲイン可変であってよい。
【0043】
本構成例においては一例として、各増幅部２２０（ｎ）はオペアンプなどの差動増幅器であってよく、４つずつ集積されて基板上に配置されてよい。各増幅部２２０（ｎ）の非反転入力端子には、対応する伝送路Ｃｈ（ｎ）を介して端子１０（ｎ）の出力値が入力されてよい。例えば、図２では、増幅部２２０（１）～２２０（４）が集積されており、それらの非反転入力端子には、伝送路Ｃｈ（１）～Ｃｈ（４）を介して端子グループ１１Ｇ１内の端子１０（１）～１０（４）の出力値が入力されている。同様に、図３では、増幅部２２０（５）～２２０（８）が集積されており、それらの非反転入力端子には、伝送路Ｃｈ（５）～Ｃｈ（８）を介して端子グループ１１Ｇ２内の端子１０（５）～１０（８）の出力値が入力されている。そして、図４では、増幅部２２０（２９）～２２０（３２）が集積されており、その非反転入力端子には、伝送路Ｃｈ（２９）～Ｃｈ（３２）を介して端子グループ１１Ｇ８内の端子１０（２９）～１０（３２）の出力値が入力されている。なお、図中では簡略化のため、反転入力端子には反転を意味する丸印を付けて、非反転入力端子と区別している。
【0044】
各増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子に入力される値は、端子１０（ｎ）の出力値が測定される場合には、一例としてグランド電圧などの基準値であってよく、差分値が測定される場合には、基準端子１０Ｋの出力値であってよい。これらの値は、切替部２２２（ｎ）によって切替可能であってよい。
【0045】
［１－３－２．出力部２２１］
各出力部２２１（ｎ）は、対応する増幅部２２０（ｎ）によって増幅された値に応じた測定値を出力する。本構成例においては一例として、出力部２２１は１６ビットなどのＡＤコンバータであってよく、増幅されたアナログ値をデジタル値に変換し、測定値として出力してよい。出力部２２１は、測定値を判定部２０３に供給してよい。
各出力部２２１（ｎ）は、対応する増幅部２２０（ｎ）によって増幅された値に応じた測定値を出力する。本構成例においては一例として、出力部２２１は１６ビットなどのＡＤコンバータであってよく、増幅されたアナログ値をデジタル値に変換し、測定値として出力してよい。出力部２２１は、測定値を判定部２０３に供給してよい。
【0046】
［１－３－３．切替部２２２］
１または複数の切替部２２２（ｎ）は、対応する伝送路Ｃｈ（ｎ）に接続された端子１０（ｎ）についての測定モードを切り替える。例えば、各切替部２２２は、何れかの端子グループ１１内の端子と１対１で対応し、対応する端子グループ１１内の端子１０について測定モードを切り替えてよい。本構成例においては一例として、測定部２０２には、端子１０（１）～１０（３２）と同数の切替部２２２（１）～２２０（３２）が具備されており、これらの切替部２２２（１）～２２０（３２）は各端子グループ１１内の端子１０（１）～１０（３２）について測定モードを切り替えてよい。
１または複数の切替部２２２（ｎ）は、対応する伝送路Ｃｈ（ｎ）に接続された端子１０（ｎ）についての測定モードを切り替える。例えば、各切替部２２２は、何れかの端子グループ１１内の端子と１対１で対応し、対応する端子グループ１１内の端子１０について測定モードを切り替えてよい。本構成例においては一例として、測定部２０２には、端子１０（１）～１０（３２）と同数の切替部２２２（１）～２２０（３２）が具備されており、これらの切替部２２２（１）～２２０（３２）は各端子グループ１１内の端子１０（１）～１０（３２）について測定モードを切り替えてよい。
【0047】
各切替部２２２は、差分値を測定する差動測定モードと、第１の測定範囲で出力値を測定する大振幅測定モードと、第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲で出力値を測定する高感度測定モードとのうち、少なくとも２つの間で測定モードを切り替えてよい。なお、高感度測定モードでは、互いに幅が等しく上下限値が異なる複数（本構成例では一例として４つまたは５つ）の第２の測定範囲の何れかで出力値を測定してよい。複数の第２の測定範囲のそれぞれは、少なくとも一部が第１の測定範囲に含まれてよい。また、複数の第２の測定範囲は、互いに一部が重なり合っていてもよい。
【0048】
本構成例では一例として図２，図３に示すように、端子グループ１１Ｇ１～Ｇ７の端子１０（１）～１０（２８）、つまり非代表端子グループ１１Ｈ内の各非代表端子１０Ｈに対応する各切替部２２２（１）～２２２（２８）は、当該端子グループ１１Ｇ１～１１Ｇ７内の端子１０（１）～１０（２８）のそれぞれについて、差動測定モードと、大振幅測定モードと、高感度測定モードとの何れで測定を行うかを切り替える。これにより、各切替部２２２（１）～２２２（２８）によって差分値を測定するか、出力値を測定するかが切り替えられる。なお、各切替部２２２（１）～２２２（２８）は、差動測定モードと、大振幅測定モードまたは高感度測定モードとの２つのモードの間で切り替えを行ってもよい。各切替部２２２（１）～２２２（２８）は、高感度測定モードで測定を行う場合には、複数の第２の測定範囲の何れで出力値を測定するかをさらに切り替えてよい。
【0049】
また、図４に示すように、端子グループ１１Ｇ８の端子１０（２９）～１０（３２）、つまり代表端子グループ１１Ｄ内の各代表端子１０Ｄに対応する各切替部２２２（２９）～２２２（３２）は、当該端子グループ１１Ｇ８内の端子１０（２９）～１０（３２）のそれぞれについて、大振幅測定モードと高感度測定モードとの何れで測定を行うかを切り替えてよい。各切替部２２２（２９）～２２２（３２）は、高感度測定モードで測定を行う場合には、複数の第２の測定範囲の何れで出力値を測定するかをさらに切り替えてよい。
【0050】
各切替部２２２（ｎ）は、マルチプレクサ２２３（ｎ）と、変更部２２４（ｎ）とを有してよく、適用すべき測定モードを指示する信号（測定モード指示信号とも称する）を受信したことに応じて測定モードを切り替えてよい。測定モード指示信号は、ユーザによって試験プログラムに記述される条件設定に従い、テストコントローラ２０１から切替部２２２に供給されてよい。
【0051】
［１－３－３（１）．マルチプレクサ２２３］
マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号に応じて、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子の接続先を切り替える。
マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号に応じて、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子の接続先を切り替える。
【0052】
（非代表端子１０Ｈに対応するマルチプレクサ２２３）
非代表端子１０Ｈである端子１０（１）～１０（２８）に対応するマルチプレクサ２２３（ｎ）は、グランド電圧ＧＮＤと、４つの基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４の何れかと、対応する伝送路Ｃｈ（ｎ）に接続された端子１０（本構成例では一例として端子１０（ｎ））の端子グループ１１に対応付けられた基準端子１０Ｋからの出力値の伝送路Ｃｈと、の間で接続先を切り替えてよい。
非代表端子１０Ｈである端子１０（１）～１０（２８）に対応するマルチプレクサ２２３（ｎ）は、グランド電圧ＧＮＤと、４つの基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４の何れかと、対応する伝送路Ｃｈ（ｎ）に接続された端子１０（本構成例では一例として端子１０（ｎ））の端子グループ１１に対応付けられた基準端子１０Ｋからの出力値の伝送路Ｃｈと、の間で接続先を切り替えてよい。
【0053】
例えば、マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号により大振幅測定モードの適用が指示された場合には、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子にグランド電圧ＧＮＤを接続してよい。これにより、増幅部２２０（ｎ）および出力部２２１（ｎ）では、グランド電圧ＧＮＤを基準とした端子１０（ｎ）の出力電圧が測定可能となる。
【0054】
また、マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号により差動測定モードの適用が指示された場合には、対応する端子１０（ｎ）の端子グループ１１に対応付けられた基準端子１０Ｋの出力値の伝送路Ｃｈを、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子に接続してよい。これにより、増幅部２２０（ｎ）および出力部２２１（ｎ）では、基準電圧１０Ｋの出力値を基準とした端子１０（ｎ）の出力電圧、つまり、端子１０（ｎ）の出力値と基準端子１０Ｋの出力値との差分値が測定可能となる。
【0055】
また、マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号により高感度測定モードの適用が指示された場合には、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子に対し、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４のうち、測定モード指示信号で指示される何れかの基準電圧を接続してよい。これにより、増幅部２２０（ｎ）および出力部２２１（ｎ）では、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４を基準とした端子１０（ｎ）の出力電圧が測定可能となる。
【0056】
ここで、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４は、いずれもグランド電圧ＧＮＤよりも高い電圧であってよく、段階的に高くなってよい。これにより、高感度測定モードでの出力値の測定範囲、つまり複数（ここでは４つ）の第２の測定範囲のそれぞれは段階的に高くなる。なお、本構成例では一例として基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４は、グランド電圧ＧＮＤおよび基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４が等間隔となるように固定値に設定されているが、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４はそれぞれ可変であってもよい。
【0057】
なお、本構成例では一例として図２に示すように、マルチプレクサ２２３（１）～２２３（４）には差動測定モードの適用が指示されており、端子１０（１）～１０（４）の端子グループ１１Ｇ１に対応付けられた基準端子１０Ｋ（５）の伝送路Ｃｈ（５）が増幅部２２０（１）～（４）の反転入力端子に接続されている。
【0058】
また、図３に示すように、マルチプレクサ２２３（５）～２２３（８）には差動測定モードの適用が指示されており、端子１０（５）～１０（８）の端子グループ１１Ｇ２に対応付けられた基準端子１０Ｋ（９）の伝送路Ｃｈ（９）が増幅部２２０（５）～（８）の反転入力端子に接続されている。
【0059】
以降、同様にして、本構成例では、マルチプレクサ２２３（９）～２２３（１２），２２３（１３）～２２３（１６），２２３（１７）～２２３（２０），２２３（２１）～２２３（２４），２２３（２５）～２２３（２９）にそれぞれ差動測定モードの適用が指示されており、端子グループ１１Ｇ２～１１ｇ７に対応付けられた基準端子１０Ｋ（１３），１０（１７），１０（２１），１０（２５），１０（２９）の伝送路Ｃｈ（１３），Ｃｈ（１７），Ｃｈ（２１），Ｃｈ（２５），Ｃｈ（２９）が、増幅部２２０（９）～２２０（１２），２２０（１３）～２２０（１６），２２０（１７）～２２０（２０），２２０（２１）～２２０（２４），２２０（２５）～２２０（２９）の反転入力端子にそれぞれ接続されている。
【0060】
（代表端子１０Ｄに対応するマルチプレクサ２２３）
代表端子１０Ｄ（２９）～１０Ｄ（３２）に対応するマルチプレクサ２２３（ｎ）は、グランド電圧ＧＮＤと、５つの基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５の何れかとの間で接続先を切り替えてよい。
代表端子１０Ｄ（２９）～１０Ｄ（３２）に対応するマルチプレクサ２２３（ｎ）は、グランド電圧ＧＮＤと、５つの基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５の何れかとの間で接続先を切り替えてよい。
【0061】
例えば、マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号により大振幅測定モードの適用が指示された場合には、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子にグランド電圧ＧＮＤを接続してよい。これにより、増幅部２２０（ｎ）および出力部２２１（ｎ）では、グランド電圧ＧＮＤを基準とした端子１０（ｎ）の出力電圧が測定可能となる。
【0062】
また、マルチプレクサ２２３（ｎ）は、測定モード指示信号により高感度測定モードの適用が指示された場合には、対応する増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子に対し、基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５のうち、測定モード指示信号で指示される何れかの基準電圧を接続してよい。これにより、増幅部２２０（ｎ）および出力部２２１（ｎ）では、基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５を基準とした端子１０（ｎ）の出力電圧が測定可能となる。
【0063】
ここで、基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５は、いずれもグランド電圧ＧＮＤよりも高い電圧であってよく、段階的に高くなってよい。これにより、高感度測定モードでの出力値の測定範囲、つまり複数（ここでは５つ）の第２の測定範囲のそれぞれは段階的に高くなる。なお、本構成例では一例として基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５は、グランド電圧ＧＮＤおよび基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５が等間隔となるように固定値に設定されているが、基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５はそれぞれ可変であってもよい。基準電圧Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５の何れかは基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４の何れかと等しくてもよい。
【0064】
本構成例では一例として図４に示すように、マルチプレクサ２２３（２９）～２２３（３２）には高感度測定モードの適用が指示されており、基準電圧Ｖｒｅｆ１５が増幅部２２０（２９）～２２０（３２）の反転入力端子に接続されている。
【0065】
なお、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４，Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５の電圧源（図示せず）は、３２個ずつの端子１０に対応する上述の基板の何れにも搭載されずに複数の基板の間で共有され、これらの基板上の各増幅部２２０の反転入力端子に基準電圧を供給可能であってよい。これに代えて、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４，Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５の電圧源は、３２個の端子１０（１）～１０（３２）に対応する上述の基板上に搭載されて、当該基板上の各増幅部２２０（１）～２２０（３２）の反転入力端子に基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４，Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５を供給可能であってもよい。この場合には、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４、Ｖｒｅｆ１１～Ｖｒｅｆ１５は基板のグランド電位に応じて変動してもよい。
【0066】
［１－３－３（２）．変更部２２４］
変更部２２４（ｎ）は、測定モード指示信号に応じて増幅部２２０（ｎ）のゲインを変更する。変更部２２４（ｎ）は、切替部２２２（ｎ）によって大振幅測定モードが適用される場合には、大振幅測定モードが適用されない場合（本構成例では一例として高感度測定モードや差動測定モードが適用される場合）と比較してゲインを小さくしてよい。大振幅測定モードが適用される場合のゲインは、他の測定モードが適用される場合のゲインに対して１０分の１であってよく、一例として前者のゲインは０．２、後者のゲインは２であってよい。
変更部２２４（ｎ）は、測定モード指示信号に応じて増幅部２２０（ｎ）のゲインを変更する。変更部２２４（ｎ）は、切替部２２２（ｎ）によって大振幅測定モードが適用される場合には、大振幅測定モードが適用されない場合（本構成例では一例として高感度測定モードや差動測定モードが適用される場合）と比較してゲインを小さくしてよい。大振幅測定モードが適用される場合のゲインは、他の測定モードが適用される場合のゲインに対して１０分の１であってよく、一例として前者のゲインは０．２、後者のゲインは２であってよい。
【0067】
これにより、切替部２２２（ｎ）によって大振幅測定モードが適用されている場合、つまり第１の測定範囲内で出力値が測定されるよう切り替えが行われている場合には、当該切り替えが行われていない場合と比較して増幅部２２０（ｎ）のゲインが小さくされ、その結果、大振幅測定モードでの測定範囲、つまり第１の測定範囲は大きくなり、広い測定範囲での測定が可能となる。
【0068】
一方、切替部２２２（ｎ）によって高感度測定モードが適用されている場合、つまり第２の測定範囲内で出力値が測定されるよう切り替えが行われている場合には、増幅部２２０（ｎ）のゲインが大きくされ、その結果、高感度での測定が可能となり、また、高感度測定モードでの測定範囲、つまり４つの第２の測定範囲のそれぞれは大振幅測定モードでの測定範囲、つまり第１の測定範囲よりも小さくなる。なお、本実施形態では上述のように、複数の第２の測定範囲のそれぞれは、マルチプレクサ２２３による基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４の選択によって段階的に高くなるが、いずれも第１の測定範囲内に収まる大きさであってよい。
【0069】
また、切替部２２２（ｎ）によって差動測定モードが適用されるよう切り替えが行われている場合には、増幅部２２０（ｎ）のゲインが大きくされ、その結果、高感度での測定が可能となり、差動測定モードでの測定範囲の大きさは第２の測定範囲と同じ大きさとなる。
【0070】
以上の測定部２０２によれば、代表端子１０Ｄである端子１０（２９）～１０（３２）のそれぞれについて、大振幅測定モードにより第１の測定範囲内で出力値を測定するか、高感度測定モードにより当該第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲内で出力値を測定するかを切り替えるので、第１の測定範囲内に含まれる出力値を確実に測定すると共に、第２の測定範囲内に含まれる出力値を高感度に測定することができる。
【0071】
また、非代表端子１０Ｈである端子１０（１）～１０（２８）のそれぞれについて差分値を測定するか、出力値を測定するかが切り替えられるので、非代表端子１０Ｈについて適宜、差分値ではなく出力値を測定することができる。
【0072】
また、非代表端子１０Ｈである端子１０（１）～１０（２８）のそれぞれについて、第１の測定範囲内で出力値を測定するか、当該第１の測定範囲よりも狭い第２の測定範囲内で出力値を測定するかをさらに切り替えるので、非代表端子１０Ｈについても第１の測定範囲内に含まれる出力値を確実に測定すると共に、第２の測定範囲内に含まれる出力値を高感度に測定することができる。
【0073】
また、第１の測定範囲内で出力値が測定されるよう切り替えが行われていない場合にはゲインが大きくされるので、高感度測定モードおよび差動測定モードで高感度に測定を行うことができる。また、高感度測定モードおよび差動測定モードでは大きく増幅された測定結果が取得されるので、測定結果に加わるノイズを相対的に小さくし、試験精度を高めることができる。
【0074】
［２．動作］
図５は、試験装置２００の動作を示す。試験装置２００は、ステップＳ１１～Ｓ２９の処理により被試験デバイス１００を試験する。
図５は、試験装置２００の動作を示す。試験装置２００は、ステップＳ１１～Ｓ２９の処理により被試験デバイス１００を試験する。
【0075】
ステップＳ１１においてテストコントローラ２０１は、各端子１０に対して出力対象の階調と、出力タイミングとを設定する。一例として、ステップＳ１１が最初に行われる場合には、テストコントローラ２０１は階調を最小値に設定してよい。ステップＳ１１が２回目以降に行われる場合には、テストコントローラ２０１は、前回のステップＳ１１よりも１つ大きい値に階調を設定してよい。テストコントローラ２０１は、非代表端子１０Ｈと、その基準端子１０Ｋとの出力タイミングを後述のステップＳ１３の処理タイミングとし、代表端子１０Ｄの出力タイミングを後述のステップＳ１５の処理タイミングとしてよい。これにより、ステップＳ１３、Ｓ１５のタイミングで端子１０が出力を行う。
【0076】
ステップＳ１３において測定部２０２は、非代表端子グループ１１Ｈ内の非代表端子１０Ｈのそれぞれの出力値と、当該非代表端子グループ１１Ｈに対応付けられた共通の基準端子１０Ｋの出力値との差分値を測定する。測定部２０２は、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１に対し、他方の端子グループ１１内の何れかの端子１０を基準端子１０Ｋとして用いてよい。測定部２０２は、ディスプレイドライバである被試験デバイス１００の複数の端子１０のうち、ディスプレイ内で互いに隣接する画素に対応する端子１０の間で差分値を測定してよい。測定部２０２は、図示しない記憶装置に非代表端子１０Ｈそれぞれの差分値を記憶させてよい。
【0077】
ステップＳ１５において測定部２０２は、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値を測定する。測定部２０２は、各連鎖関係における一端の端子グループ１１内の端子１０のそれぞれの出力値を測定してよい。測定部２０２は、大振幅測定モードで測定を行ってもよいし、高感度測定モードで測定を行ってもよい。一例として、測定部２０２は、第１の測定範囲内で大振幅測定モードにより測定を行った後、複数の第２の測定範囲のうち、大振幅測定モードで測定された出力値が含まれる第２の測定範囲内で高感度測定モードにより測定を行ってよい。測定部２０２は、記憶装置に代表端子１０Ｄそれぞれの出力値を記憶させてよい。なお、ステップＳ１５の処理は、ステップＳ１３と並行して同時に行われてよい。この場合には、ステップＳ１３、Ｓ１５の処理が順に行われる場合と比較して試験時間が短縮される。
【0078】
ステップＳ１７においてテストコントローラ２０１は、全ての階調について測定が行われたか否かを判定する。１つ以上の階調について測定が行われていないと判定された場合（ステップＳ１７；Ｎｏ）にはステップＳ１１に処理が移行してよい。これにより、ステップＳ１１～１５によって複数の端子１０に各階調の出力を行わせて測定が行われる。全ての階調について測定が行われたと判定された場合（ステップＳ１７；Ｙｅｓ）にはステップＳ２１に処理が移行してよい。
【0079】
ステップＳ２１において判定部２０３は、各階調での測定結果を記憶装置から読み出して、非代表端子１０Ｈの差分値と、第１の基準範囲の境界値とを比較してよい。第１の基準範囲は、次の式（１）や式（２）で示される範囲であってよい。式中、ａは正の実数であってよい。ａの値は、差分値が測定されたときの出力対象の階調によらず、一定であってもよいし、階調に応じて異なる値であってもよい。
－ａ≦差分値≦ａ （式（１））
｜差分値｜≦ａ （式（２））
－ａ≦差分値≦ａ （式（１））
｜差分値｜≦ａ （式（２））
【0080】
判定部２０３は、式（１）を用いて比較する場合には、測定された複数の差分値を第１の基準範囲の上限値ａ，下限値－ａとそれぞれ比較してもよいし、測定された複数の差分値のうち、最大および最小の差分値を第１の基準範囲の上限値ａ，下限値－ａと比較してもよい。また、判定部２０３は、式（２）を用いて比較する場合には、測定された複数の差分値の絶対値を算出し、第１の基準範囲の上限値ａとそれぞれ比較してもよいし、算出した絶対値の最大値を上限値ａと比較してもよい。
【0081】
ステップＳ２３において判定部２０３は、代表端子１０Ｄの出力値と、第２の基準範囲の境界値とを比較してよい。第２の基準範囲は、次の式（３）で示される範囲であってよい。なお、式中、ｂ，ｃは実数であってよい。ｂ，ｃの値は、出力値が測定されたときの出力対象の階調に応じて設定されてよい。
ｂ≦出力値≦ｃ （式（３））
ｂ≦出力値≦ｃ （式（３））
【0082】
判定部２０３は、測定された複数の出力値を第２の基準範囲の上下限値ｂ，ｃとそれぞれ比較してもよいし、測定された複数の出力値のうち、最大および最小の出力値を第２の基準範囲の上限値ｂ，下限値ｃと比較してもよい。
【0083】
ステップＳ２５において判定部２０３は、代表端子１０Ｄの出力値の間の差分値と、第３の基準範囲の境界値とを比較してよい。第３の基準範囲は次の式（４）や式（５）で示される範囲であってよく、判定部２０３は上述のステップＳ２１と同様にして判定を行ってよい。式中、ｄは正の実数であってよく、式（１），式（２）のａと同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。ｄの値は、差分値が測定されたときの出力対象の階調によらず、一定であってもよいし、階調に応じて異なる値であってもよい。
－ｄ≦差分値≦ｄ （式（４））
｜差分値｜≦ｄ （式（５））
－ｄ≦差分値≦ｄ （式（４））
｜差分値｜≦ｄ （式（５））
【0084】
ステップＳ２９において判定部２０３は、ステップＳ２１～Ｓ２５のそれぞれにおいて差分値や出力値が基準範囲内であったか否かを判定する。これにより、非代表端子１０Ｈそれぞれの差分値が第１の基準範囲内であるか否かに基づいて被試験デバイス１００の良否が判定される。また、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値が第２の基準範囲であるか否か、および、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値の間の差分値が第３の基準範囲内であるか否かにさらに基づいて、被試験デバイス１００の良否が判定される。
【0085】
判定部２０３は、各階調での測定結果に基づいて判定を行ってよい。本実施形態では一例として判定部２０３は、階調ごとに繰り返して行われたステップＳ２１～Ｓ２５のそれぞれにおいて差分値や出力値が範囲内であったか否かを判定してよい。
【0086】
ステップＳ２１～Ｓ２５のうちの１つ以上のステップにおいて差分値や出力値が範囲外であったと判定された場合（ステップＳ２９；Ｎｏ）には、判定部２０３は、被試験デバイス１００を不良品としてＦａｉｌ判定を出力してよい。ステップＳ２１～Ｓ２５の全てにおいて差分値や出力値が範囲内であったと判定された場合（ステップＳ２９；Ｙｅｓ）には、判定部２０３は、被試験デバイス１００を良品としてＰａｓｓ判定を出力してよい。
【0087】
以上の動作によれば、非代表端子１０Ｈのそれぞれについて基準端子１０Ｋの出力値を基準とする差分値が測定され、測定された差分値が第１の基準範囲内であるか否かに基づいて被試験デバイス１００の良否が判定されるので、端子１０間で出力値の差分値が第１の基準範囲外となる被試験デバイス１００を不良とすることができる。また、差分値の測定結果を用いて試験が行われることで、出力値を測定する回数、ひいては、ノイズの影響により外れ値を測定してしまう回数を低減することができるため、試験精度を高めることができる。また、外れ値の影響を低減する平均化のために測定回数を増やす必要がないため、試験時間を短縮することができる。また、必ずしも全ての端子１０の出力値を測定や算出によって取得することなく試験を行うことができるため、試験時間をさらに短縮することができる。
【0088】
また、ディスプレイ内で互いに隣接する画素に対応する端子１０の間で差分値が測定されるので、互いに隣接する画素に対して適切な出力が行えずに表示ムラが認識されやすい被試験デバイス１００を不良とすることができる。
【0089】
また、複数の端子１０のうち、代表端子１０Ｄそれぞれの出力値がさらに測定され、当該代表端子１０Ｄそれぞれの出力値が第２の基準範囲であるか否か、および、当該代表端子１０Ｄそれぞれの出力値の間の差分値が第３の基準範囲内であるか否かにさらに基づいて良否が判定されるため、試験精度をいっそう高めることができる。
【0090】
また、２つ以上の端子１０を有する非代表端子グループ１１Ｈ内の端子１０のそれぞれの出力値と、当該端子グループ１１に対応付けられた共通の基準端子１０Ｋの出力値との差分値が測定されて試験が行われる。従って、非代表端子グループ１１Ｈ内の２つ以上の端子１０について、共通の基準端子Ｋを用いて差分値を測定して試験を行うことができる。よって、各端子１０を他の端子１０の基準端子１０Ｋとして順繰りに用いて差分値を測定する場合と異なり、差分値から出力値を算出するための累積加算の回数を低減することができるため、出力値の算出を容易化することができる。また、累積加算の回数が低減されることで、差分値や出力値の測定で発生するノイズを含んで算出される出力値の数を低減することができるため、算出される出力値を用いる場合の試験精度を高めることができる。
【0091】
また、２つ以上の端子グループ１１間で基準端子１０Ｋが順繰りに用いられる連鎖関係が少なくとも１つ形成されており、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１に対し、他方の端子グループ１１内の何れかの端子１０が基準端子１０Ｋとして用いられる。従って、連鎖関係に含まれる各クループについて、順次、端子１０からの出力値を算出することができる。
【0092】
また、各連鎖関係の一端に位置する代表端子グループ内の端子１０のそれぞれの出力値が測定されるので、当該出力値との差分値によって、連鎖関係に含まれる各端子グループ１１内の各端子１０の出力値を算出することができる。
【0093】
［３．変形例］
図６は、変形例（１）に係る試験システム１Ａを示す。なお、本変形例（１）や、後述の変形例（２）において、図１～図５に示された試験システム１の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。試験システム１Ａの試験装置２００Ａは、１または複数の切替部２２２Ａを更に備える。
図６は、変形例（１）に係る試験システム１Ａを示す。なお、本変形例（１）や、後述の変形例（２）において、図１～図５に示された試験システム１の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。試験システム１Ａの試験装置２００Ａは、１または複数の切替部２２２Ａを更に備える。
【0094】
１または複数の切替部２２２Ａは、第３の切替部の一例であり、複数の端子１０のうち何れの端子１０を測定部２０２に接続するかを切り替える。本構成例においては一例として、測定部２０２には、伝送路Ｃｈごとに切替部２２２Ａが設けられてよく、それぞれ複数の端子の何れかを択一的に伝送路Ｃｈに接続してよい。この場合には、同じ測定タイミングで伝送路Ｃｎに接続される複数の端子１０が複数の端子グループ１１にグループ化されてよい。切替部２２２Ａは４入力１出力などのマルチプレクサであってよい。
【0095】
なお、本変形例（１）においては、測定部２０２におけるマルチプレクサ２２３（ｎ）（図２～４参照）の入力端子に対し、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４の少なくとも１つに代えて伝送路Ｃｈ（ｍ）（但し、ｍはｎ≠ｍを満たす１～３２の何れかの整数）が接続されてもよい。これにより、より多くの他の端子グループ１１内の端子１０を基準端子１０Ｋとして差動測定モードで差分値を測定することができる。
【0096】
以上の変形例（１）によれば、切替部２２２Ａにより複数の端子１０の何れの端子１０を測定部２０２に接続するかが切り替えられるので、複数の端子１０の間で増幅部２２０や出力部２２１を共有し、測定部２０２の構成を簡略化することができる。
【0097】
図７は、変形例（２）に係る測定部２０２Ｃを示す。なお、図７に示される測定部２０２Ｃは、一の伝送路Ｃｈ（ｎ）に接続された端子１０（ｎ）を測定対象とする部分であり、測定部２０２Ｃは、伝送路Ｃｈごとに同様の構成を有してよい。測定部２０２Ｃは、ゲイン固定の２つの増幅部２２０Ｃ（ｎ），２２０Ｄ（ｎ）と、切替部２２２Ｃ（ｎ）とを有してよい。
【0098】
増幅部２２０Ｃ（ｎ）は、端子１０（ｎ）からの出力値と、グランド電圧との差分を増幅して切替部２２２Ｃ（ｎ）に供給する。増幅部２２０Ｄ（ｎ）は、端子１０（ｎ）からの出力値と、マルチプレクサ２２３から供給される他の値との差分を増幅して切替部２２２Ｃ（ｎ）に供給する。他の値は、伝送路Ｃｈ（ｍ）に接続された端子１０（ｍ）の出力値、基準電圧Ｖｒｅｆ１～Ｖｒｅｆ４、またはグランド電圧であってよい。
【0099】
増幅部２２０Ｄ（ｎ）のゲインは増幅部２２０Ｃ（ｎ）のゲインより大きくてよく、例えば増幅部２２０Ｄ（ｎ）のゲインは増幅部２２０Ｃ（ｎ）のゲインの１０倍であってよい。本変形例では一例として増幅部２２０Ｄ（ｎ）のゲインは２、増幅部２２０Ｃ（ｎ）のゲインは０．２となっている。
【0100】
切替部２２２Ｃ（ｎ）は、マルチプレクサ２２５（ｎ）を更に有する。マルチプレクサ２２５（ｎ）は、増幅部２２０Ｃ（ｎ），２２０Ｄ（ｎ）の何れか一方の出力端子を出力部２２１（ｎ）に接続する。マルチプレクサ２２５（ｎ）は、測定モード指示信号に応じて切り替えを行ってよく、大振幅測定モードが適用される場合には増幅部２２０Ｃ（ｎ）を出力部２２１（ｎ）に接続し、高感度測定モードおよび差動測定モードが適用される場合には増幅部２２０Ｄ（ｎ）を出力部２２１（ｎ）に接続してよい。
【0101】
以上の変形例（２）によっても上述の実施形態と同様に、大振幅測定モードにより第１の測定範囲内で出力値が測定されるよう切り替えが行われていない場合にはゲインが大きくされるので、高感度測定モードおよび差動測定モードでは高感度に測定が行われる。また、大きく増幅された測定結果が取得されるので、測定結果に加わるノイズを相対的に小さくし、試験精度を高めることができる。
【0102】
［４．その他の変形例］
なお、上記の実施形態および変形例においては、端子グループ１１の連鎖関係における何れか一方の側を一端とし、当該一端の端子グループ１１を代表端子グループ１１Ｄとして説明したが、連鎖関係における一端の側と他端の側とは反転可能であってもよい。例えば、試験装置２００は、連鎖関係における一端と他端とを反転する切替部２２２Ｅを備えてよい。切替部２２２Ｅは、第２の切替部の一例であり、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１内の端子１０を他方の端子グループ１１に対する基準端子１０Ｋとするか、他方の端子グループ１１内の端子１０を、一方の端子グループ１１に対する基準端子１０Ｋとするかを切り替えてよい。一例として、端子グループ１１Ｇｉ（但しｉは整数）内の何れかの端子１０（ｎ）に対応する切替部２２２ＥＧｉは、連鎖関係における両隣の端子グループ１１Ｇｉ－１，１１Ｇｉ＋１内の基準端子１０ＫＧｉ－１，１０ＫＧｉ＋１に接続される伝送路ＣｈＧｉ－１，ＣｈＧｉ＋１をそれぞれ増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子に接続可能であってよい。この場合には、反転前後の測定結果を用いることで試験精度をいっそう高めることができる。
なお、上記の実施形態および変形例においては、端子グループ１１の連鎖関係における何れか一方の側を一端とし、当該一端の端子グループ１１を代表端子グループ１１Ｄとして説明したが、連鎖関係における一端の側と他端の側とは反転可能であってもよい。例えば、試験装置２００は、連鎖関係における一端と他端とを反転する切替部２２２Ｅを備えてよい。切替部２２２Ｅは、第２の切替部の一例であり、連鎖関係において隣接する２つの端子グループ１１の間それぞれで、一方の端子グループ１１内の端子１０を他方の端子グループ１１に対する基準端子１０Ｋとするか、他方の端子グループ１１内の端子１０を、一方の端子グループ１１に対する基準端子１０Ｋとするかを切り替えてよい。一例として、端子グループ１１Ｇｉ（但しｉは整数）内の何れかの端子１０（ｎ）に対応する切替部２２２ＥＧｉは、連鎖関係における両隣の端子グループ１１Ｇｉ－１，１１Ｇｉ＋１内の基準端子１０ＫＧｉ－１，１０ＫＧｉ＋１に接続される伝送路ＣｈＧｉ－１，ＣｈＧｉ＋１をそれぞれ増幅部２２０（ｎ）の反転入力端子に接続可能であってよい。この場合には、反転前後の測定結果を用いることで試験精度をいっそう高めることができる。
【0103】
また、判定部２０３は非代表端子１０Ｈについての差分値を用いて良否の判定を行うこととして説明したが、差分値と代表端子１０Ｄの出力値とから算出される出力値をさらに用いて判定を行うこととしてもよい。例えば、判定部２０３は、非代表端子１０Ｈのそれぞれについて出力値を算出してよく、算出された出力値が基準範囲内にあるか否かにさらに基づいて判定を行ってもよい。
【0104】
また、出力値を電圧の大きさで示される値として説明したが、電流の大きさで示される値としてもよい。この場合には、被試験デバイス１００はＬＥＤドライバであってよい。
【0105】
本発明の様々な実施形態は、フローチャートおよびブロック図を参照して記載されてよく、ここにおいてブロックは、（１）操作が実行されるプロセスの段階または（２）操作を実行する役割を持つ装置のセクションを表わしてよい。特定の段階およびセクションが、専用回路、コンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプログラマブル回路、および／またはコンピュータ可読媒体上に格納されるコンピュータ可読命令と共に供給されるプロセッサによって実装されてよい。専用回路は、デジタルおよび／またはアナログハードウェア回路を含んでよく、集積回路（ＩＣ）および／またはディスクリート回路を含んでよい。プログラマブル回路は、論理ＡＮＤ、論理ＯＲ、論理ＸＯＲ、論理ＮＡＮＤ、論理ＮＯＲ、および他の論理操作、フリップフロップ、レジスタ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブルロジックアレイ（ＰＬＡ）等のようなメモリ要素等を含む、再構成可能なハードウェア回路を含んでよい。
【0106】
コンピュータ可読媒体は、適切なデバイスによって実行される命令を格納可能な任意の有形なデバイスを含んでよく、その結果、そこに格納される命令を有するコンピュータ可読媒体は、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく実行され得る命令を含む、製品を備えることになる。コンピュータ可読媒体の例としては、電子記憶媒体、磁気記憶媒体、光記憶媒体、電磁記憶媒体、半導体記憶媒体等が含まれてよい。コンピュータ可読媒体のより具体的な例としては、フロッピー（登録商標）ディスク、ディスケット、ハードディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、リードオンリメモリ（ＲＯＭ）、消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＰＲＯＭまたはフラッシュメモリ）、電気的消去可能プログラマブルリードオンリメモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、静的ランダムアクセスメモリ（ＳＲＡＭ）、コンパクトディスクリードオンリメモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、デジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）、ブルーレイ（ＲＴＭ）ディスク、メモリスティック、集積回路カード等が含まれてよい。
【0107】
コンピュータ可読命令は、アセンブラ命令、命令セットアーキテクチャ（ＩＳＡ）命令、マシン命令、マシン依存命令、マイクロコード、ファームウェア命令、状態設定データ、またはＳｍａｌｌｔａｌｋ（登録商標）、ＪＡＶＡ（登録商標）、Ｃ＋＋等のようなオブジェクト指向プログラミング言語、および「Ｃ」プログラミング言語または同様のプログラミング言語のような従来の手続型プログラミング言語を含む、１または複数のプログラミング言語の任意の組み合わせで記述されたソースコードまたはオブジェクトコードのいずれかを含んでよい。
【0108】
コンピュータ可読命令は、汎用コンピュータ、特殊目的のコンピュータ、若しくは他のプログラム可能なデータ処理装置のプロセッサまたはプログラマブル回路に対し、ローカルにまたはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、インターネット等のようなワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）を介して提供され、フローチャートまたはブロック図で指定された操作を実行するための手段を作成すべく、コンピュータ可読命令を実行してよい。プロセッサの例としては、コンピュータプロセッサ、処理ユニット、マイクロプロセッサ、デジタル信号プロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ等を含む。
【0109】
図８は、本発明の複数の態様が全体的または部分的に具現化されてよいコンピュータ２２００の例を示す。コンピュータ２２００にインストールされたプログラムは、コンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係る装置に関連付けられる操作または当該装置の１または複数のセクションとして機能させることができ、または当該操作または当該１または複数のセクションを実行させることができ、および／またはコンピュータ２２００に、本発明の実施形態に係るプロセスまたは当該プロセスの段階を実行させることができる。そのようなプログラムは、コンピュータ２２００に、本明細書に記載のフローチャートおよびブロック図のブロックのうちのいくつかまたはすべてに関連付けられた特定の操作を実行させるべく、ＣＰＵ２２１２によって実行されてよい。
【0110】
本実施形態によるコンピュータ２２００は、ＣＰＵ２２１２、ＲＡＭ２２１４、グラフィックコントローラ２２１６、およびディスプレイデバイス２２１８を含み、それらはホストコントローラ２２１０によって相互に接続されている。コンピュータ２２００はまた、通信インターフェイス２２２２、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６、およびＩＣカードドライブのような入／出力ユニットを含み、それらは入／出力コントローラ２２２０を介してホストコントローラ２２１０に接続されている。コンピュータはまた、ＲＯＭ２２３０およびキーボード２２４２のようなレガシの入／出力ユニットを含み、それらは入／出力チップ２２４０を介して入／出力コントローラ２２２０に接続されている。
【0111】
ＣＰＵ２２１２は、ＲＯＭ２２３０およびＲＡＭ２２１４内に格納されたプログラムに従い動作し、それにより各ユニットを制御する。グラフィックコントローラ２２１６は、ＲＡＭ２２１４内に提供されるフレームバッファ等またはそれ自体の中にＣＰＵ２２１２によって生成されたイメージデータを取得し、イメージデータがディスプレイデバイス２２１８上に表示されるようにする。
【0112】
通信インターフェイス２２２２は、ネットワークを介して他の電子デバイスと通信する。ハードディスクドライブ２２２４は、コンピュータ２２００内のＣＰＵ２２１２によって使用されるプログラムおよびデータを格納する。ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６は、プログラムまたはデータをＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１から読み取り、ハードディスクドライブ２２２４にＲＡＭ２２１４を介してプログラムまたはデータを提供する。ＩＣカードドライブは、プログラムおよびデータをＩＣカードから読み取り、および／またはプログラムおよびデータをＩＣカードに書き込む。
【0113】
ＲＯＭ２２３０はその中に、アクティブ化時にコンピュータ２２００によって実行されるブートプログラム等、および／またはコンピュータ２２００のハードウェアに依存するプログラムを格納する。入／出力チップ２２４０はまた、様々な入／出力ユニットをパラレルポート、シリアルポート、キーボードポート、マウスポート等を介して、入／出力コントローラ２２２０に接続してよい。
【0114】
プログラムが、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１またはＩＣカードのようなコンピュータ可読媒体によって提供される。プログラムは、コンピュータ可読媒体から読み取られ、コンピュータ可読媒体の例でもあるハードディスクドライブ２２２４、ＲＡＭ２２１４、またはＲＯＭ２２３０にインストールされ、ＣＰＵ２２１２によって実行される。これらのプログラム内に記述される情報処理は、コンピュータ２２００に読み取られ、プログラムと、上記様々なタイプのハードウェアリソースとの間の連携をもたらす。装置または方法が、コンピュータ２２００の使用に従い情報の操作または処理を実現することによって構成されてよい。
【0115】
例えば、通信がコンピュータ２２００および外部デバイス間で実行される場合、ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理に基づいて、通信インターフェイス２２２２に対し、通信処理を命令してよい。通信インターフェイス２２２２は、ＣＰＵ２２１２の制御下、ＲＡＭ２２１４、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１、またはＩＣカードのような記録媒体内に提供される送信バッファ処理領域に格納された送信データを読み取り、読み取られた送信データをネットワークに送信し、またはネットワークから受信された受信データを記録媒体上に提供される受信バッファ処理領域等に書き込む。
【0116】
また、ＣＰＵ２２１２は、ハードディスクドライブ２２２４、ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ２２２６（ＤＶＤ－ＲＯＭ２２０１）、ＩＣカード等のような外部記録媒体に格納されたファイルまたはデータベースの全部または必要な部分がＲＡＭ２２１４に読み取られるようにし、ＲＡＭ２２１４上のデータに対し様々なタイプの処理を実行してよい。ＣＰＵ２２１２は次に、処理されたデータを外部記録媒体にライトバックする。
【0117】
様々なタイプのプログラム、データ、テーブル、およびデータベースのような様々なタイプの情報が記録媒体に格納され、情報処理を受けてよい。ＣＰＵ２２１２は、ＲＡＭ２２１４から読み取られたデータに対し、本開示の随所に記載され、プログラムの命令シーケンスによって指定される様々なタイプの操作、情報処理、条件判断、条件分岐、無条件分岐、情報の検索／置換等を含む、様々なタイプの処理を実行してよく、結果をＲＡＭ２２１４に対しライトバックする。また、ＣＰＵ２２１２は、記録媒体内のファイル、データベース等における情報を検索してよい。例えば、各々が第２の属性の属性値に関連付けられた第１の属性の属性値を有する複数のエントリが記録媒体内に格納される場合、ＣＰＵ２２１２は、第１の属性の属性値が指定される、条件に一致するエントリを当該複数のエントリの中から検索し、当該エントリ内に格納された第２の属性の属性値を読み取り、それにより予め定められた条件を満たす第１の属性に関連付けられた第２の属性の属性値を取得してよい。
【0118】
上で説明したプログラムまたはソフトウェアモジュールは、コンピュータ２２００上またはコンピュータ２２００近傍のコンピュータ可読媒体に格納されてよい。また、専用通信ネットワークまたはインターネットに接続されたサーバーシステム内に提供されるハードディスクまたはＲＡＭのような記録媒体が、コンピュータ可読媒体として使用可能であり、それによりプログラムを、ネットワークを介してコンピュータ２２００に提供する。
【0119】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【0120】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【0121】
１ 試験システム
１０ 端子
１１ 端子グループ
１００ 被試験デバイス
２００ 試験装置
２０１ テストコントローラ
２０２ 測定部
２０３ 判定部
２２０ 増幅部
２２１ 出力部
２２２ 切替部
２２３ マルチプレクサ
２２４ 変更部
２２５ マルチプレクサ
２２００ コンピュータ
２２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ
２２１０ ホストコントローラ
２２１２ ＣＰＵ
２２１４ ＲＡＭ
２２１６ グラフィックコントローラ
２２１８ ディスプレイデバイス
２２２０ 入／出力コントローラ
２２２２ 通信インターフェイス
２２２４ ハードディスクドライブ
２２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ
２２３０ ＲＯＭ
２２４０ 入／出力チップ
２２４２ キーボード
１０ 端子
１１ 端子グループ
１００ 被試験デバイス
２００ 試験装置
２０１ テストコントローラ
２０２ 測定部
２０３ 判定部
２２０ 増幅部
２２１ 出力部
２２２ 切替部
２２３ マルチプレクサ
２２４ 変更部
２２５ マルチプレクサ
２２００ コンピュータ
２２０１ ＤＶＤ－ＲＯＭ
２２１０ ホストコントローラ
２２１２ ＣＰＵ
２２１４ ＲＡＭ
２２１６ グラフィックコントローラ
２２１８ ディスプレイデバイス
２２２０ 入／出力コントローラ
２２２２ 通信インターフェイス
２２２４ ハードディスクドライブ
２２２６ ＤＶＤ－ＲＯＭドライブ
２２３０ ＲＯＭ
２２４０ 入／出力チップ
２２４２ キーボード
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
