特開 2022-189596 被覆部材

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022189596

(43)【公開日】2022-12-22

(54)【発明の名称】被覆部材

(51)【国際特許分類】

   C23C 16/44 20060101AFI20221215BHJP

   F28F 19/02 20060101ALI20221215BHJP

   B22F 1/00 20220101ALI20221215BHJP

   B22F 1/16 20220101ALI20221215BHJP

   C23C 16/40 20060101ALI20221215BHJP

   B22F 10/00 20210101ALN20221215BHJP

   B33Y 70/00 20200101ALN20221215BHJP

【ＦＩ】

C23C16/44 A

F28F19/02 501D

B22F1/00 L

B22F1/02 D

C23C16/40

B22F10/00

B33Y70/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021098257

(22)【出願日】2021-06-11

(71)【出願人】

【識別番号】592207463

【氏名又は名称】株式会社愛新鉄工所

(71)【出願人】

【識別番号】899000068

【氏名又は名称】学校法人早稲田大学

(74)【代理人】

【識別番号】100067736

【弁理士】

【氏名又は名称】小池 晃

(74)【代理人】

【識別番号】100192212

【弁理士】

【氏名又は名称】河野 貴明

(74)【代理人】

【識別番号】100200001

【弁理士】

【氏名又は名称】北原 明彦

(74)【代理人】

【識別番号】100203910

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 健弘

(72)【発明者】

【氏名】片座 慎吾

(72)【発明者】

【氏名】水野 潤

(72)【発明者】

【氏名】河合 アラリック 洋平

【テーマコード（参考）】

4K018

4K030

【Ｆターム（参考）】

4K018BA02

4K018BB04

4K018BC28

4K018KA23

4K030BA10

4K030BA42

4K030CA02

4K030JA01

4K030LA01

(57)【要約】

【課題】複雑な形状の金属基材の表面を均一に被覆し、金属基材の腐食を防ぐ被覆部材を提供する。
【解決手段】被覆部材であり、金属基材と、前記金属基材の表面を覆う防錆膜を有し、前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属基材と、
前記金属基材の表面を覆う防錆膜を有し、
前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする被覆部材。

【請求項2】

前記防錆膜の膜厚は１～５０ｎｍであることを特徴とする請求項１に記載の被覆部材。

【請求項3】

前記金属部材は銅であることを特徴とする請求項１又は２に記載の被覆部材。

【請求項4】

前記金属基材の表面と前記防錆膜の間に第２防錆膜を有し、
前記第２防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化アルミニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の被覆部材。

【請求項5】

熱交換器であって、
前記熱交換器の表面を覆う防錆膜を有し、
前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする熱交換器。

【請求項6】

金属粉末であって、
前記金属粉末の表面を覆う防錆膜を有し、
前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする金属粉末。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による防錆膜を有する被覆部材に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、種々の技術分野において、金属基材の表面を被覆する被覆材を備えた被覆部材が使用されている。被覆材は、その材質に応じて、例えば熱や腐食に対する耐久性を高め、摩耗を低減する等の機能を被覆部材に付与することができる。

【0003】

このような被覆材は、例えば熱交換器を構成する金属基材の被覆や、粉末のコーティングに用いられる。

【0004】

熱交換器の多くは、限られたスペースの中で優れた放熱効率或いは冷却効率を得るために、放熱部及び冷却部の表面積をできる限り大きくとるように設計されている。そのため、フィンとフィンとの間隔が極めて狭くなっている。これらの熱交換器を冷却用として使用する場合、大気中の水分がフィンの表面に凝縮し、水滴として表面に付着することがある。こうした水滴の付着は、熱交換器を腐食させる原因となる。

【0005】

これらの問題を解決するための従来技術として、特許文献１のように、熱交換器を構成する金属基材の表面に表面処理皮膜を形成することが提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１１－１６１８７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、特許文献１の表面処理皮膜は浸漬処理により形成されたものであり、当該皮膜の厚みのバラつきが大きくなりやすい問題があった。また、被膜の形成方法として、例えばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）やＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）が挙げられるが、凹凸のある金属基材の表面を均一に被覆できない問題があった。

【0008】

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、複雑な形状の金属基材の表面を均一に被覆し、金属基材の腐食を防ぐ被覆部材を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様は、被覆部材であって、金属基材と、前記金属基材の表面を覆う防錆膜を有し、前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法：atomic layer deposition）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする。

【0010】

当該態様は、複雑な形状の金属基材の表面を均一に被覆し、金属基材の腐食を防ぐことができる。

【0011】

このとき、前記防錆膜の膜厚は１～５０ｎｍとしてもよい。

【0012】

当該態様は、非常に薄い被膜で金属基材の腐食を防ぐことができる。

【0013】

このとき、前記金属部材は銅であってもよい。

【0014】

当該態様は、熱伝導性に優れる銅は熱交換器の部材として用いることができる。

【0015】

このとき、前記金属基材の表面と前記防錆膜の間に第２防錆膜を有し、前記第２防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化アルミニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であってもよい。

【0016】

当該態様は、より衝撃、変形に強い防錆膜を形成することができる。

【0017】

本発明の他の態様は、熱交換器であって、前記熱交換器の表面を覆う防錆膜を有し、前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする。

【0018】

当該態様は、構造が複雑な熱交換器の表面を均一に被覆し、熱交換器の腐食を防ぐことができる。

【0019】

本発明の他の態様は、金属粉末であって、前記金属粉末の表面を覆う防錆膜を有し、前記防錆膜は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜であることを特徴とする。

【0020】

当該態様は、金属粉末を均一に被覆することで、金属粉末表面の不純物を低減し、不純物による熱伝導率の低下、焼結温度の上昇を防ぐことができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、複雑な金属基材の表面を均一に被覆し、金属基材の腐食を防ぐ被覆部材を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】図１は本発明の一実施形態に係る、被覆部材の一例を示す模式的な断面図である。

【図2】図２は本発明の他の実施形態に係る、被覆部材の一例を示す模式的な断面図である。

【図3】図３は本発明の一実施形態に係る、熱交換器の一例を示す模式的な断面図である。

【図4】図４は本発明の他の実施形態に係る、熱交換器の一例を示す模式的な断面図である。

【図5】図５は図４の２－２線部位における縦断面図である。

【図6】図６は本発明の一実施形態に係る金属粉末の模式的な断面図である。

【図7】図７は、噴霧試験法後の被覆部材の表面の様子を示す写真図である。図７（Ａ）は比較例１、図７（Ｂ）は実施例１、図７（Ｃ）は実施例２における噴霧試験法後の被覆部材の表面写真である。

【図8】図８は噴霧試験法後の被覆部材の表面の様子を示すＳＥＭ写真図及び、ＥＤＸスペクトル図である。図８（Ａ）は表面のＳＥＭ写真図、図８（Ｂ）は被覆部材の表面全体のＥＤＸスペクトル図、図８（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）は各測定点におけるＥＤＸスペクトル図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

[本発明の一実施形態]
以下、本発明の一実施形態に係る、被覆部材及び、その実施形状の一例である熱交換器と金属粉末について順に説明する。また、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を、不当に限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更が可能である。なお、本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
１．被覆部材
２．熱交換器
３．金属粉末

【0024】

１．被覆部材
図１に、本発明の一実施形態に係る被覆部材の模式的な断面図を示す。本発明の一実施形態に係る被覆部材１０は、図１に示すように、金属基材１１と、金属基材１１の表面を覆う防錆膜１２を有している。金属基材１１は、銅、アルミニウム及び鉄のいずれかから構成されている。防錆膜１２は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）による、酸化ハフニウムからなるＡＬＤ蒸着膜である。なお防錆膜１２は、図１に示すように両面に設けられていることが好ましいが、片面に設けられていても構わない。

【0025】

本発明の一実施形態に係る防錆膜１２は、原子層堆積法（ＡＬＤ法）により生成された被膜であり、構造が複雑な金属基材１１に対しても、その表面を均一に被覆し、金属基材１１の腐食を防ぐことができる。

【0026】

（金属基材）
被覆部材１０における金属基材１１は、銅、アルミニウム及び鉄のいずれかから構成されている。また、前述した「銅」は純銅及び銅合金を含む概念であり、「アルミニウム」は純アルミニウム及びアルミニウム合金を含む概念であり、「鉄」は純鉄及び鉄合金を含む概念である。なお、金属基材１１は、純銅からなる基材であってもよいし、銅合金からなる基材であってもよいし、場合によっては純銅と銅合金との複合基材であってもよい。また、熱伝導率の高さから、金属基材１１は銅であることが好ましい。

【0027】

金属基材１１の形状は特に限定されることはなく、被覆部材１０の用途に応じた形状とすることができる。例えば、金属基材１１は、貫通孔、有底孔及び溝のうち１種以上の開口部を有していてもよい。なお、貫通孔とは、金属基材１１を貫通する孔をいい、有底孔とは、金属基材１１を貫通せず、底部を有する孔をいう。なお被覆部材１０の用途としては、例えば、エアコンディショナー等の熱交換器に用いられるチューブ、フィン及び中空プレート等であってもよい。

【0028】

（防錆膜）
防錆膜１２は、金属基材１１の表面に設けられる。防錆膜１２は、金属基材１１の表面全部を覆う被膜である。例えば平板等だけでなく、構造が複雑な金属基材１１においても、防錆膜１２はその表面全部を覆っている。金属基材１１の表面に設けられた防錆膜１２は、金属基材１１の耐食性を向上させることができる。

【0029】

防錆膜１２は、酸化ハフニウムで構成される。酸化ハフニウムにより、金属基材２１の耐食性を向上させることができる。酸化物の被膜としては、従来の酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化アルミニウム、二酸化ケイ素があるが、酸化ハフニウムは、加工性について曲げ加工に追従できる点、高融点であり高温でも安定である点、極薄膜化でも性能を有する点、例えば王水、フッ酸以外にはほぼ不溶のように、化学安定度が高い点、低温での製作が可能な点を全て有していることから、酸化ハフニウムを用いることが好ましい。例えば酸化ジルコニウムは加工性の点で好ましくない。また、酸化ハフニウムの融点は２７５８℃であり、酸化ジルコニウムの融点２７１５℃、酸化チタンの融点の１８７０℃、酸化アルミニウムの融点の２０００℃、二酸化ケイ素の融点１７００℃であり、酸化ハフニウムは他の酸化物より高融点である。また、後述するように酸化ハフニウムのＡＬＤ蒸着膜は、２ｎｍでも金属基材の酸化を防ぐことができる。なお酸化ハフニウムのＡＬＤ蒸着膜は絶縁性も有する。また、酸化ハフニウムは王水やフッ酸に対しても、他の酸化物より溶解反応が遅い。また、例えば二酸化ケイ素の被膜は熱酸化で作製するため１００℃以下での成膜が困難だが、酸化ハフニウムのＡＬＤ蒸着膜はより低い、例えば５０℃で成膜することができる。

【0030】

防錆膜１２は、原子層堆積法（Atomic Layer Deposition：ＡＬＤ法）により成膜された被膜である。ＡＬＤ法は、基材表面の分子と、基材表面に吸着した原料ガスとの反応により、単原子層ずつ堆積させる方法で、高精度かつ均一に成膜することができ、かつ、極めて薄く緻密な被膜を成膜することができる。また、一般的な成膜方法である真空蒸着法、スパッタリング法といったＰＶＤ法では、基材に堆積させる粒子の直線性が高く、凹凸を有する基材表面への成膜は困難であるが、ＡＬＤ法ではこのような凹凸を有する基材表面にも、均一に成膜することができる。

【0031】

防錆膜１２の厚さは１ｎｍ以上５０ｎｍ以下が好ましく、１ｎｍ以上１０ｎｍ未満が好ましい。本発明では、１ｎｍ以上１０ｎｍ未満のシングルナノレイヤーという超薄膜を実現することができる。防錆膜１２の厚さが上記範囲であることによって、金属基材１１の耐食性を向上させることができる。防錆膜１２の厚さが１ｎｍ未満では、金属基材１１の耐食性を向上させることが困難となる可能性がある。また、防錆膜１２の厚さが５０ｎｍを超えると、成膜に長時間を要する為に生産コストが増大する。

【0032】

（第２防錆膜）
図２に、本発明の他の実施形態に係る被覆部材の模式的な断面図を示す。本発明の他の実施形態に係る被覆部材２０は、図２に示すように、金属基材２１と、金属基材２１の表面を覆う防錆膜２２と、第２防錆膜２３を有している。なお、上述した実施形態と重複する部分については説明を省略する。

【0033】

第２防錆膜２３は、金属基材２１の表面に設けられ、金属基材２１と防錆膜２２の間に設けられる。金属基材２１と防錆膜２２の間に設けられた第２防錆膜２３は、金属基材２１と防錆膜２２との密着性を向上させることができ、防錆膜２２による耐食性向上の効果をより発揮させることができる。また、第２防錆膜２３は、金属基材２１の表面全部を覆う被膜である。例えば平板等だけでなく、構造が複雑な金属基材２１においても、第２防錆膜２３は、その表面全部を覆っている。金属基材２１の表面に設けられた第２防錆膜２３は、金属基材２１の耐食性をより向上させることができる。

【0034】

第２防錆膜２３は、酸化アルミニウムで構成される。酸化アルミニウムは、金属基材２１を構成する銅や、防錆膜２２を構成する酸化ハフニウムとの密着性がよく、防錆膜２２の剥離をより防ぐことができる。また、酸素が透過しにくい酸化アルミニウムにより、金属基材２１の耐食性をより向上させることができる。

【0035】

第２防錆膜２３は、原子層堆積法（Atomic Layer Deposition：ＡＬＤ法）により成膜された被膜である。ＡＬＤ法により第２防錆膜２３の厚さを極めて薄くすることで、防錆膜全体が厚くなるのを防ぐことができる。また、防錆膜２２と同様に、緻密な被膜を成膜することができ、凹凸を有する基材表面にも、均一に成膜することができる。また、ＡＬＤ法による成膜の際に原料ガスを交換することで、第２防錆膜２３上に防錆膜２２を容易に成膜することができる。

【0036】

第２防錆膜２３の厚さは１ｎｍ以上１０ｎｍ以下が好ましく、また、１０ｎｍ以上２０ｎｍ以下でもよい。第２防錆膜２３の厚さが上記範囲であることによって、金属基材２１と防錆膜２２との密着性を向上させることができる。第２防錆膜２３の厚さが１ｎｍ未満では、金属基材２１と防錆膜２２との密着性を向上させることが困難となる可能性がある。また、第２防錆膜２３の厚さが２０ｎｍを超えると、防錆膜全体が厚膜化し、変形に弱くなる可能性がある。

【0037】

２．熱交換器
図３に、本発明の一実施形態に係る熱交換器の模式的な断面図を示す。熱交換器３０は、図３に示すように、上記の一実施形態に係る防錆膜３３で被覆されている。その結果、複雑な形状の熱交換器３０の表面を均一に被覆し、熱交換器３０の腐食を防ぐことができる。

【0038】

図３の例では、隣り合う配管（チューブ）３１同士の間に放熱部（フィン）３２を有する熱交換器３０を挙げているが、本発明はこうした形態の熱交換器のみに限定されない。すなわち、熱交換器は、チューブ状（中空管状）、中実管状、中空板状、中実板状のいずれであってもよく、それらに防錆膜３３が設けられて、本発明の一実施形態に係る熱交換器３０となる。本発明の一実施形態に係る熱交換器３０は、構造が複雑な熱交換器の表面を均一に被覆し、熱交換器の腐食を防ぐことができる。

【0039】

また、本発明の一実施形態に係る熱交換器２０は、図３に示すように、配管（チューブ）３１、放熱部（フィン）３２の表面に防錆膜３３が設けられているとともに、配管（チューブ）３１の内側面に防錆膜３３を設けることができる。本発明の一実施形態に係る熱交換器３０は、構造が複雑な熱交換器の配管の内側面を均一に被覆し、熱交換器の腐食を防ぐことができる。

【0040】

また、防錆膜３３は被覆部材にて述べたものを用いることができる。本発明の一実施形態に係る熱交換器３０は、極めて薄く緻密なＡＬＤ蒸着膜である防錆膜３３が、配管（チューブ）３１、放熱部（フィン）３２の表面や、配管（チューブ）３１の内側面を被覆し、熱交換器３０の腐食を防ぐことができる。そして、本発明の一実施形態に係る熱交換器３０は、構造が複雑な熱交換器において、その表面及び配管の内側面を、ＡＬＤ蒸着膜である防錆膜３３が均一に被覆することで、熱交換器３０の腐食を防ぐことができる。また、上述した実施形態と重複する部分については説明を省略する。

【0041】

図４に、本発明の他の実施形態に係る熱交換器の模式的な断面図を示す。なお図４は、図５の１－１線部位における縦断面図である。

【0042】

本発明の他の実施形態に係る熱交換器４０はいわゆる多管式熱交換器であり、図４に示すように、上記の一実施形態に係る防錆膜４８で被覆されている。その結果、複雑な形状の熱交換器４０の表面を均一に被覆し、熱交換器４０の腐食を防ぐことができる。

【0043】

図４に示すように、熱交換器４０には、第一流体が通過する複数本（多数本）の内管（伝熱管群）４１と、第二流体が通過する外管（シェル、胴体）４２とを備え、伝熱管群４１が、それらの両端を第一流体導入側及び第一流体排出側にそれぞれ位置する導入側・排出側保持板（チューブシート）４３に保持されて配設されている。また、図４の例では、シェル４２の内部に多数本の伝熱管群４１が、シェル４２両端の導入側・排出側保持板（チューブシート）４３を介して配設されている。シェル４２の両端には円錐台状の導入側・排出側整流筒部（整流部）４４を介してフランジ４５ａ、４５ｂ付きの導入・排出口（接続パイプ）４６ａ、４６ｂを備えて、伝熱管群４１内を第一流体が通過可能となっている。また、シェル４２の上下には、導入・排出ノズル４７ａ、４７ｂを備え各伝熱管４１の外側に第二流体が通過可能となっている。また図４では、内管４１は長手方向に見て直線状になっているが、内管４１の形状はこれに限定されず、例えば第一流体、第二流体の乱流を発生させ第一流体、第二流体間の熱交換効率を高めるために、波形状に曲折形成してもよい。

【0044】

熱交換器４０における第一流体は、例えば高温ガスのような流体を用いることができるが、これに限定されず、熱交換器４０の用途により適宜選択することができる。また、第二流体は、例えば冷却水のような流体を用いることができるがこれに限定されず、熱交換器４０の用途により適宜選択することができる。

【0045】

図５に、図４の２－２線部位における縦断面図を示す。図５に示すように、熱交換器４０では、円筒状の外管４２内に円筒状の内管４１が複数配置されている。また。内管４１の内側面に防錆膜４８を設けることができる。また図５では、外管４２内に内管４１が均等に配置されているが、配置方法はこれに限定されず、例えば乱流を発生させるために、複数の内管４１をスパイラル状に捩った態様で円筒状の外管４２内に配置してもよい。

【0046】

また、本発明の一実施形態に係る熱交換器４０は、図５に示すように、内管４１の内側面に防錆膜４８を設けることができる。そして、本発明の一実施形態に係る熱交換器４０は、構造が複雑な熱交換器の配管の内側面を均一に被覆し、熱交換器４０の腐食を防ぐことができる。なお図５では、内管４１の内側面に防錆膜４８を設ける態様を説明したが、当該態様に限られず、内管４１の外側面、外管４２の内側面、整流筒部４４の内側面等、流体と接する面に防錆膜４８を設けることができる。本発明の一実施形態に係る熱交換器４０は、構造が複雑な熱交換器の配管の内側面を均一に被覆し、熱交換器の腐食を防ぐことができる。なお、上述した実施形態と重複する部分については説明を省略する。

【0047】

３．金属粉末
図６に、本発明の一実施形態に係る金属粉末の模式的な断面図を示す。本発明の一実施形態に係る金属粉末５０は、図６に示すように、上記の一実施形態に係る防錆膜５２で被覆されている。そして、金属粉末５０の表面を均一に被覆することで、金属粉末表面への不純物の吸着を低減し、不純物による熱伝導率の低下、焼結温度の上昇を防ぐことができる。

【0048】

本発明の一実施形態に係る金属粉末５０は、低温焼結用の金属粉末や、１．２μｍ以下の波長を有するレーザ光を照射して積層造形される素材粉末として使用される。金属粉末５０は、平均粒径が５０μｍ以下である金属粒子５１と、金属粒子５１の表面を覆う防錆膜５２を有している。

【0049】

（金属粒子）
金属粉末５０における金属粒子５１は、上述した金属基材の金属を用いることができる。また、熱伝導率の高さから、金属粒子５１は銅で構成されていることが好ましい。

【0050】

金属粒子５１の形状、粒径は特に制限されず、金属粉末５０の用途に応じた形状、粒径とすることができる。また、凹凸がある粒子形状においても、ＡＬＤ蒸着膜である防錆膜５２はその表面を均一に被覆することができる。

【0051】

金属粒子５１の表面に不純物が吸着すると、金属粉末５０の熱伝導率が低下する。そして、不純物の量が多くなると、金属粉末５０の熱伝導率の低下により焼結温度が上昇する。極めて薄く緻密なＡＬＤ蒸着膜である防錆膜５２は、このような不純物の吸着を低減し、熱伝導率の低下、焼結温度の上昇を防ぐことができる。また、防錆膜５２で被覆された金属粉末５０は、不純物吸着の要因となる帯電を防ぐことができる。

【0052】

また、極めて薄く緻密なＡＬＤ蒸着膜である防錆膜５２は、不純物として検出されにくい利点がある。

【実施例0053】

以下に、実施例に基づいて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。

【0054】

（実施例１）
本実施例では、半径５０ｍｍ、厚さ２ｍｍの円板状の無酸化銅板を用いた。エタノールを用いて無酸化銅板の洗浄および脱脂処理を行った後、無酸化銅板上に、原子層堆積法により酸化ハフニウム膜を形成し、被覆部材を得た。酸化ハフニウム膜の厚さは２０ｎｍであった。

【0055】

表面に酸化ハフニウム膜を形成した無酸化銅板を、ＪＩＳ Ｚ－２３７１に基づく塩水噴霧試験法により、１００時間暴露後の錆面積を外観により評価した。

【0056】

（実施例２）
酸化ハフニウム膜の厚さを４０ｎｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして、被覆部材を得ると共に噴霧試験法後の外観、表面観察及び元素分析を行った。

【0057】

次に、塩水噴霧試験法後の被覆部材の表面をＳＥＭ（走査電子顕微鏡）で観察し、ＥＤＸ（エネルギー分散型Ｘ線分析）で元素分析を行った。

【0058】

（比較例１）
酸化ハフニウム膜を形成しなかったこと以外は、実施例１と同様にして、被覆部材を得ると共に噴霧試験後の外観、表面観察及び元素分析を行った。

【0059】

図７に噴霧試験法後の被覆部材の表面を示す。図７（Ａ）は比較例１、図７（Ｂ）は実施例１、図７（Ｃ）は実施例２における噴霧試験法後の被覆部材の表面写真である。図７（Ａ）では、被覆部材の表面全体に錆が生じていたが、図７（Ｂ）（Ｃ）では、錆により変色した面積が図７（Ａ）より少なかった。

【0060】

図８に、噴霧試験法後の被覆部材の表面ＳＥＭ写真図を示す。また図８に、噴霧試験法後の被覆部材の表面における元素分析結果として、ＥＤＸスペクトル図を示す。図８（Ａ）は表面のＳＥＭ写真図、図８（Ｂ）は被覆部材の表面全体のＥＤＸスペクトル図、図８（Ｃ）（Ｄ）（Ｅ）は各測定点におけるＥＤＸスペクトル図である。

【0061】

図８（Ｄ）では、被覆部材の表面にハフニウム、酸素、塩素の存在は確認されなかった。これは、酸化ハフニウム膜が無酸化銅板の酸化を防いだためと考えられる。また、図８（Ｃ）では酸素、塩素の存在は確認されたが、ハフニウムの存在は確認されなかった。また、図８（Ｅ）では図８（Ｃ）に比べ、ハフニウムの存在が確認され、酸素濃度が減少していた。また、塩素の存在は確認されなかった。図８（Ｅ）の酸素は酸化ハフニウムによるものと考えられる。また、図８（Ｅ）における酸素濃度の減少は、酸化ハフニウム膜が無酸化銅板の酸化を防いだためと考えられる。

【0062】

なお、上記のように本発明の各実施形態および各実施例について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは、当業者には、容易に理解できるであろう。従って、このような変形例は、全て本発明の範囲に含まれるものとする。

【0063】

例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義又は同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また被覆部材の構成、動作も本発明の各実施形態および各実施例で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。

【符号の説明】

【0064】

１０、２０ 被覆部材、３０、４０ 熱交換器、５０ 金属粉末、１１ 金属基材、１２、３３、４８、５２ 防錆膜、１３ 第２防錆膜、３１ 配管、３２放熱部（フィン）、４１ 内管、４２ 外管、４３ 保持版、４４ 整流筒部、４５ａ、４５ｂ フランジ、４６ａ 導入口、４６ｂ 排出口、４７ａ 導入ノズル、４７ｂ 排出ノズル、５１ 金属粒子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】