特開 2022-190830出願番号 特願 2021-99287
プラズマ生成装置
出願人 株式会社日立製作所（識別番号 5108）
2026年 特許公開件数ランキング 13位 748件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 14位 803件（※）
公報発行日 2022年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-190830 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】プラズマ生成装置において、アンテナ長を固定した後でも，伝送路インピーダンスの調整が可能であり，伝送路インピーダンスの調整を容易にする。
【解決手段】プラズマ生成部１と、このプラズマ生成部の内部にガスを供給するガス供給源６０と、プラズマ生成部の内部に高周波電力を供給する高周波電源５０とを備えたプラズマ生成装置において、プラズマ生成部を、棒状のアンテナ１１と、棒状のアンテナの周囲を囲んでこの棒状のアンテナの中心軸に沿って移動可能な第一の絶縁部材５と、この第一の絶縁部材の外側に接して棒状のアンテナの中心軸に沿って第一の絶縁部材とは別個に移動可能な第二の絶縁部材とを備えて構成した。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、このような構成にすることで、アンテナ長を固定した状態で，伝送路インピーダンスの調整が可能となるので，伝送路インピーダンスの調整が容易で，使い勝手の良いプラズマ生成装置を提供することができる。
した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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