特開2022-191243IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

光源装置の製造方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】ガラスキャップにおける光透過部の平坦性が改善され得る光源装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光源装置の製造方法は、キャップによってレーザダイオードを覆い、キャップを基板に固定することでレーザダイオードを気密に封止する工程を含む。キャップを用意する工程は、第１面、および第１面とは反対の側に位置する第２面を有するプレートで、二次元的に配列された複数の第１面から第２面に達する貫通孔を有するプレートを用意する工程と、プレートの第１面および第２面に金属層を形成する工程と、陽極接合によってプレートの第１面に第１のガラスシートを接合し、プレートの第２面に第２のガラスシートを接合して、複数の空洞を有するパネルを作製する工程と、パネルを切断することにより、貫通孔の間を横切る複数のバーを作製する工程と、複数のバーを切断することにより、各バーから個片化された複数のキャップを作製する工程とを含む。
【選択図】図１４

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

特許文献１に記載の光源装置では、ガラスキャップにおける光透過部の平坦性が低下するおそれがある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の光源装置は、例示的な実施形態において、レーザダイオードと、前記レーザダイオードを直接または間接的に支持する基板と、前記基板に固定され、前記レーザダイオードを覆うキャップと、を備える。前記キャップは、前記レーザダイオードから出射されるレーザ光を透過する第１ガラス部分と、第２ガラス部分とを含む。前記第１ガラス部分および前記第２ガラス部分の少なくとも一方はアルカリガラス領域を含み、前記第１・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の実施形態によれば、ガラスキャップにおける光透過部の平坦性が改善され得る光源装置およびその製造方法を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1A】 図１Ａは、本開示の実施形態における光源装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図1B】 図１Ｂは、本実施形態における製造工程途中の光源装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
【図2】 図２は、本開示の実施形態における光源装置の他の例を模式的に示す斜視図である。
【図3A】 図３Ａは、本実施形態における光源装置のＹＺ面に平行な断面図である。
【図3B】 図３Ｂは、本実施形態における光源装置のＸＹ平面に平行な断面図である。
【図4A】 図４Ａは、他の実施形態における光源装置のＹＺ面に平行な断面図である。
【図4B】 図４Ｂは、他の実施形態の光源装置におけるＸＹ平面に平行な断面図である。
【図5A】 図５Ａは、更に他の実施形態における光源装置のＹＺ面に平行な断面図である。
【図5B】 図５Ｂは、更に他の本実施形態における光源装置のＸＹ平面に平行な断面図である。
【図6】 図６は、図５Ａの実施形態におけるガラスキャップの分解斜視図である。
【図7】 図７は、複数の第２ガラス部分を含むプレートの例を示す斜視図である。
【図8】 図８は、複数のガラスキャップを個片化する前のバーの斜視図である。
【図9】 図９は、プレートの上面（左側）およびＡ－Ａ線断面（右側）を模式的に示す図である。
【図10】 図１０は、行および列状に配列された複数の孔を有するプレートの上面（左側）およびＡ－Ａ線断面（右側）を模式的に示す図である。
【図11】 図１１は、金属層が形成されたプレートの上面（左側）およびＡ－Ａ線断面（右側）を模式的に示す図である。
【図12】 図１２は、第１のガラスシートが接合されたプレートの上面（左側）およびＡ－Ａ線断面（右側）を模式的に示す図である。
【図13A】 図１３Ａは、反射防止膜の形成工程を模式的に示す断面図である。
【図13B】 図１３Ｂは、反射防止膜の形成工程を模式的に示す断面図である。
【図13C】 図１３Ｃは、反射防止膜の形成工程を模式的に示す断面図である。
【図14】 図１４は、パネルの上面（左側）およびＡ－Ａ線断面（右側）を模式的に示す図である。
【図15】 図１５は、バーからキャップが個片化される様子を示す図である。
【図16】 図１６は、変形例におけるキャップの構成例を模式的に示す断面図である。
【図17】 図１７は、図１６のキャップを備える光源装置の断面図である。
【図18】 図１８は、他の変形例におけるキャップの分解斜視図である。
【図19】 図１９は、この変形例における光源装置のＹＺ面に平行な断面図である。
【図20】 図２０は、陽極接合を行う前の段階におけるプレート４２およびガラスシート４７、４８の一部断面を模式的に示す図である。
【図21】 図２１は、格子溝状の凹部が形成されたプレートの上面（左側）およびＡ－Ａ線断面（右側）を模式的に示す図である。
【図22】 図２２は、パターニングされた金属層がキャップに設けられた光源装置の構成例を模式的に示す断面図である。
【図23】 図２３は、パターニングされた金属層がキャップに設けられた光源装置の他の構成例を模式的に示す断面図である。
【図24】 図２４は、肉薄部４０Ｔｕの表面を底面とする窪みの深さＤ、ハーフダイシングによって形成される溝の幅Ｗｈ、パネル５０をフルカットするときの切断幅Ｗｆを模式的に示す断面図である。

選択図 図14出願人が指定した本件の代表的な図

１０・・・レーザダイオード、１２・・・レーザダイオードの出射端面、２０・・・サブマウント、３０・・・基板、３２・・・基板の主面、４０・・・キャップ、４０Ａ・・・第１ガラス部分、４０Ｂ・・・第２ガラス部分、４０Ｃ・・・第３ガラス部分、１００・・・光源装置

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