特開2022-192018IP Force 特許公報全文掲載

ホーム > 特許ランキング > 大日本印刷株式会社 > 特開2022-192018

技術分野

本開示のマスク装置の製造装置、記録媒体、マスク装置の製造方法、及びマスク装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】マスクへの張力を精密に調整することができるマスク装置の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】マスク装置は、開口４５を挟んで第１方向Ｄ１において対向する第１辺４１及び第２辺４２と、開口を挟んで第１方向に交差する第２方向Ｄ２において対向する第３辺４３及び第４辺４４と、を含むフレーム４０と、第１辺及び第２辺に固定された端部を含むマスクと、を備えてもよい。製造装置６０は、開口に向かう方向において第１辺及び第２辺を押圧する押圧機構と、第１方向における第１辺及び第２辺の変形量を測定する変位測定機構と、マスクを第１辺及び第２辺に固定する固定装置７４と、を備えてもよい。押圧機構は、第２方向に沿って５００ｍｍ以下の間隔を空けて並び、第１辺を押圧する５つ以上の押圧装置と、第２方向に沿って５００ｍｍ以下の間隔を空けて並び、第２辺を押圧する５つ以上の押圧装置と、を含んでもよい。
【選択図】図１０

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

開口に向かう方向においてフレームの第１辺及び第２辺を変形させた状態で第１辺及び第２辺にマスクを固定する場合、第１辺及び第２辺が弾性的に復元する力に基づいてマスクに張力が加えられる。マスクへの張力を精密に調整するためには、第１辺及び第２辺の変形量を精密に調整することが求められる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の一実施形態によるマスク装置の製造装置において、前記マスク装置は、開口を挟んで第１方向において対向する第１辺及び第２辺と、前記開口を挟んで前記第１方向に交差する第２方向において対向する第３辺及び第４辺と、を含むフレームと、第１辺及び第２辺に固定された端部を含むマスクと、を備えてもよい。前記製造装置は、前記開口に向かう方向において前記第１辺及び前記第２辺を押圧する押圧機構と、前記第１方向・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示の実施形態によれば、フレームの第１辺及び第２辺の変形量を適切に調整できる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)

この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 有機デバイスの一例を示す断面図である。
【図2】 有機デバイス群の一例を示す平面図である。
【図3】 蒸着装置の一例を示す断面図である。
【図4】 マスク装置の一例を示す平面図である。
【図5】 フレームの第１辺を拡大して示す平面図である。
【図6】 マスク装置の一例を示す平面図である。
【図7】 マスクの一例を示す平面図である。
【図8】 マスクの一例を示す断面図である。
【図9】 マスク装置の製造装置の一例を示すブロック図である。
【図10】 製造装置の一例を示す平面図である。
【図11】 押圧装置及び変位計の一例を示す平面図である。
【図12】 マスク装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図13】 調整工程及び配置工程の一例を示すフローチャートである。
【図14】 第１調整工程の一例を示す平面図である。
【図15】 第１配置工程の一例を示す平面図である。
【図16】 第１配置工程の一例を示す平面図である。
【図17】 第２マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図18】 第３マスク取付工程～第８マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図19】 第９マスク取付工程及び第１０マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図20】 解放工程の一例を示す平面図である。
【図21】 第１１押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図22】 第１２押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図23】 第１中央押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図24】 マスク装置の分解方法の一例を示すフローチャートである。
【図25】 除去工程及び逆調整工程の一例を示すフローチャートである。
【図26】 第１除去工程の一例を示す平面図である。
【図27】 第２除去工程の一例を示す平面図である。
【図28】 第３除去工程～第８除去工程の一例を示す平面図である。
【図29】 第９除去工程及び第１０除去工程の一例を示す平面図である。
【図30】 第１１押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図31】 第１２押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図32】 第１中央押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図33】 マスク装置の一例を示す平面図である。
【図34】 製造装置の一例を示す平面図である。
【図35】 製造装置の一例を示す平面図である。
【図36】 製造装置の一例を示す平面図である。
【図37】 例１における第１１押圧力、第１２押圧力、第２１押圧力、第２２押圧力及び第１中央押圧力を示すグラフである。
【図38】 例２における第１１押圧力、第２１押圧力及び第１中央押圧力を示すグラフである。
【図39】 例１～例３におけるフレームの変形量と目標変形量との差を示すグラフである。
【図40】 第５の実施の形態の第１マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図41】 第５の実施の形態の第１マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図42】 第５の実施の形態の第２マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図43】 第５の実施の形態の第３マスク取付工程～第８マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図44】 第５の実施の形態の第９マスク取付工程及び第１０マスク取付工程の一例を示す平面図である。
【図45】 第５の実施の形態の第２１押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図46】 第５の実施の形態の第２２押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図47】 第５の実施の形態の第２中央押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図48】 第５の実施の形態の第１除去工程の一例を示す平面図である。
【図49】 第５の実施の形態の第２除去工程の一例を示す平面図である。
【図50】 第５の実施の形態の第２１押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図51】 第５の実施の形態の第２２押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図52】 第５の実施の形態の第２中央押圧装置の押圧力の一例を示すグラフである。
【図53】 例４における第１１押圧力、第１２押圧力、第２１押圧力、第２２押圧力及び第１中央押圧力を示すグラフである。
【図54】 例５における第１１押圧力、第１２押圧力、第２１押圧力、第２２押圧力及び第１中央押圧力を示すグラフである。
【図55】 例４～例５におけるフレームの変形量と目標変形量との差を示すグラフである。

選択図 図10出願人が指定した本件の代表的な図

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

［広告欄］

ログインすれば広告は減ります

ログインすれば広告は減ります

Copyright © Science Impact Inc. All Rights Reserved.