特開 2022-20490 位置検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022020490

(43)【公開日】2022-02-01

(54)【発明の名称】位置検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01D 5/244 20060101AFI20220125BHJP

   G01D 5/245 20060101ALI20220125BHJP

【ＦＩ】

G01D5/244 A

G01D5/245 110L

G01D5/245 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020124015

(22)【出願日】2020-07-20

(71)【出願人】

【識別番号】000138071

【氏名又は名称】株式会社メトロール

(74)【代理人】

【識別番号】100205659

【弁理士】

【氏名又は名称】齋藤 拓也

(74)【代理人】

【識別番号】100160794

【弁理士】

【氏名又は名称】星野 寛明

(72)【発明者】

【氏名】吉岡 崇元

(72)【発明者】

【氏名】菅野 隆行

【テーマコード（参考）】

2F077

【Ｆターム（参考）】

2F077AA38

2F077CC02

2F077JJ04

2F077JJ08

2F077JJ23

2F077TT35

2F077TT62

(57)【要約】

【課題】長寿命で、検出精度が高く、安定して位置検出を行うことができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置１は、Ｘ方向に沿って延びる移動経路Ｍ上を可動体２とともに移動するように構成される磁石４０を備える。磁石４０は、Ｚ方向において異なる磁極４１，４２を有する。位置検出装置１は、移動経路ＭからＺ方向に等しい距離だけ離間するとともに、Ｚ方向に延びる基準線Ｓから等しい距離に配置された１対の磁気センサ２１，２２を備える。磁気センサ２１，２２は、同一のセンサ特性を有する。位置検出装置２は、磁気センサ２１，２２の双方の出力変化率が略最大となった状態で磁石４０が基準線Ｓ上に位置したことを検出するように構成される検出部３０を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の方向に沿って延びる移動経路上を可動体とともに移動するように構成される磁石であって、前記第１の方向に垂直な第２の方向において異なる磁極を有する磁石と、
前記移動経路から前記第２の方向に等しい距離だけ離間するとともに、前記第２の方向に延びる基準線から等しい距離に配置された１対の磁気センサであって、同一のセンサ特性を有する１対の磁気センサと、
前記１対の磁気センサの双方の出力変化率の絶対値が略最大となった状態で前記磁石が前記基準線上に位置したことを検出するように構成される検出部と
を備える位置検出装置。

【請求項2】

前記１対の磁気センサ間の距離と、前記磁石の前記第１の方向の長さとが略等しい、請求項１に記載の位置検出装置。

【請求項3】

前記磁石の前記第１の方向の長さは、略１．５ｍｍ以上である、請求項１又は請求項２に記載の位置検出装置。

【請求項4】

前記磁石は略５ｍｍ角以内の大きさである、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項5】

前記磁石は略１．５ｍｍ角以上の大きさである、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項6】

前記磁石は、前記第１の方向の長さが略１．５ｍｍ～３ｍｍであり、前記第２の方向の長さが略２ｍｍ以上、略４ｍｍ以下である、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項7】

前記磁石は、前記第１の方向及び前記第２の方向に垂直な第３の方向の長さが略１ｍｍ以上、略３ｍｍ以下である、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項8】

前記磁石の形状は長方形であり、当該長方形の対称軸が、前記第１の方向及び前記第２の方向に一致する、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項9】

前記１対の磁気センサは、前記第１の方向に、略１．５ｍｍ以上離間する、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項10】

前記磁石の前記移動経路の中心軸と前記１対の磁気センサとの間の距離は、略０．３ｍｍ以上、略０．８ｍｍ以下である、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項11】

前記磁石は、サマリュウムコバルト磁石又は防錆処理をしたネオジム磁石である、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項12】

前記位置検出装置の待機時における前記磁気センサの出力と、前記磁石を前記第１の方向に移動させた後、前記磁石が前記第１の方向とは逆方向に戻り終えた時点の前記磁気センサの出力とを比較する比較部と、
前記比較部による当該比較結果に基づいて、前記位置検出装置の異常を診断する第１診断部とを更に備える、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【請求項13】

前記位置検出装置の待機時における、前記磁気センサの出力の波形に基づいて、前記位置検出装置の異常を診断する第２診断部を更に備える、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の位置検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、位置検出装置に係り、特に可動体の位置を検出する位置検出装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば、マシニングセンタのような工作機械においては、正確な加工を実現するために工具の初期位置を検出する必要がある。このような工具などの検出対象により移動させられる可動体の位置を検出する位置検出装置として、可動体の移動に応じて電気的接点を機械的にオン／オフするようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

しかしながら、このような従来の位置検出装置では、機械的にオン／オフすることを繰り返すことにより接点が劣化するため、寿命が短いという問題がある。また、異物の混入や酸化皮膜の形成により接点間の導通不良が生じたり、繰り返し接触することによる接点の摩耗や凹みなどにより検出精度が低下したりする問題もある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－１８３６９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、長寿命で、検出精度が高く、安定して位置検出を行うことができる位置検出装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様によれば、長寿命で、検出精度が高く、安定して位置検出を行うことができる位置検出装置が提供される。この位置検出装置は、第１の方向に沿って延びる移動経路上を可動体とともに移動するように構成される磁石を備える。この磁石は、上記第１の方向に垂直な第２の方向において異なる磁極を有する。また、上記位置検出装置は、上記移動経路から上記第２の方向に等しい距離だけ離間するとともに、上記第２の方向に延びる基準線から等しい距離に配置された１対の磁気センサを備える。上記１対の磁気センサは、同一のセンサ特性を有する。上記位置検出装置は、上記１対の磁気センサの双方の出力変化率の絶対値が略最大となった状態で上記磁石が上記基準線上に位置したことを検出するように構成される検出部を備える。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、本発明の実施形態における位置検出装置の構成を示す模式図である。

【図2】図２は、本発明の実施形態における磁石の位置と磁気センサの出力との関係を示すグラフである。

【図3】図３は、本発明の実施形態における磁気センサの出力の温度による変化を示すグラフである。

【図4】図４は、本発明の実施形態における磁石の形状と最大磁束の関係を示すグラフである。

【図5】図５は、本発明の実施形態における磁石の厚みと磁束密度の関係を示すグラフである。

【図6】図６は、本発明の実施形態における磁気センサのトラックずれと磁石との位置関係を示す図である。

【図7】図７は、本発明の実施形態におけるトラック方向の磁気センサのズレと出力分布との関係を示すグラフである。

【図8】図８は、本発明の実施形態における磁石の位置と磁気センサの出力変化率との関係を示すグラフである。

【図9】図９は、本発明の実施形態における磁気センサと磁石との距離（ギャップ）と磁束密度との関係を示すグラフである。

【図10】図１０は、本発明の実施形態における検出点を中心にしたＸ方向の距離と、出力との関係を示すグラフである。

【図11】図１１は、本発明の実施形態における検出点を中心にしたＸ方向の距離と、出力変化率の実測値との関係を示すグラフである。

【図12】図１２は、位置検出装置１が正常である場合の、内部データとしての内部センサの値の変化を示す図である。

【図13】図１３は、戻り不良があるために位置検出装置１が異常である場合の、内部データとしての内部センサの値の変化を示す図である。

【図14】図１４は、軸受けの劣化があるために位置検出装置１が異常である場合の、内部データとしての内部センサの値の変化を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本発明に係る位置検出装置の実施形態について図１から図１４を参照して詳細に説明する。なお、図１から図１４において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。また、図２から図１４においては、各構成要素の縮尺や寸法が誇張されて示されている場合や一部の構成要素が省略されている場合がある。

【0009】

〔１ 基本構成〕
図１は、本発明の第１の実施形態における位置検出装置１の構成を示す模式図である。図１に示すように、本実施形態における位置検出装置１は、固定部１０と、固定部１０上に固定された１対の磁気センサ２１，２２と、信号線１２を介して磁気センサ２１，２２に接続された検出部３０と、例えばマシニングセンタの工具などの検出対象により移動させられる可動体２に取り付けられた磁石４０とを含んでいる。可動体２は、矢印で示すようにＸ方向（第１の方向）に沿って移動可能となっており、この可動体２に取り付けられた磁石４０は、Ｘ方向に沿って延びる移動経路Ｍ上を移動するように構成されている。位置検出装置１は、このようにＸ方向に移動可能な可動体２（ひいてはマシニングセンタの工具などの検出対象）が所定の位置（図１の基準線Ｓ）にあるか否かを検出するものである。

【0010】

磁石４０は、Ｚ方向（第２の方向）において異なる磁極を有している。例えば、図１に示すように磁石４０の＋Ｚ方向側の磁極４１がＮ極、－Ｚ方向側の磁極４２がＳ極であってもよいし、あるいはこの逆であってもよい。磁石４０の形状としては、直方体状、立方体状、円筒状、円板状のものなどが考えられる。

【0011】

磁気センサ２１，２２は、周囲の磁場を検出するものであり、同一のセンサ特性（電気特性・磁気特性・温度特性）を有している。これらの磁気センサ２１，２２は、Ｘ方向に延びる固定部１０上に並べられており、磁石４０が移動する移動経路ＭからＺ方向に等しい距離だけ離間した位置に配置されている。磁気センサ２１，２２は、それぞれＺ方向に垂直なセンサ感知面２１Ａ，２２Ａを有している。また、磁気センサ２１，２２は、Ｚ方向に延びる基準線Ｓから等しい距離に配置されている。換言すれば、２つの磁気センサ２１，２２を結ぶ線分の中点上に基準線Ｓが位置している。なお、図１に示すように、２つの磁気センサ２１及び２２の間の距離は、磁石４０のＸ方向の長さＬと略同一である。とりわけ、磁石４０の形状が直方体状、及び立方体状の場合には、２つの磁気センサ２１及び２２の間の距離は、磁石４０のＸ方向の辺の長さと略同一である。また、磁石４０の形状が円筒状、又は円板状の場合には、磁気センサ２１及び２２の間の距離は、磁石４０の円の直径の長さと略同一である。このような磁気センサ２１，２２としては、ホール素子、磁気変調型センサ、磁気抵抗素子、ＳＱＵＩＤ磁気センサなどを用いることができる。

【0012】

検出部３０には、磁気センサ２１，２２からの出力が入力されており、検出部３０は、これらの磁気センサ２１，２２からの出力を比較する比較回路を含んでいる。図２は、磁石４０の位置と磁気センサ２１，２２の出力との関係を示すグラフである。図２において、磁気センサ２１の出力は実線で、磁気センサ２２の出力は点線で示されている。図２の横軸は基準線Ｓから磁石４０の中心までの距離を表しており、縦軸は磁気センサ２１，２２の出力を表している。なお、この例では、磁気センサ２１のＸ方向の中心と磁気センサ２２のＸ方向の中心との間の距離を約３ｍｍとし、磁石４０のＸ方向の幅を約４ｍｍとしている。

【0013】

図２に示すように、磁石４０のＸ方向の位置に応じて磁気センサ２１，２２のセンサ出力は凸状となる。ここで、磁気センサ２１と磁気センサ２２とは同一のセンサ特性を有しているため、磁石４０が磁気センサ２１と磁気センサ２２とを結ぶ線分の中点に位置しているとき、すなわち移動距離＝０ｍｍのとき（磁石４０が基準線Ｓ上に位置しているとき）、両者のセンサ出力が一致する。換言すれば、図２に示すように、磁気センサ２１の出力特性と磁気センサ２２の出力特性とが交差する点Ｐは基準線Ｓ上に位置することとなる。したがって、磁気センサ２１の出力と磁気センサ２２の出力とが一致しているときには、磁石４０が基準線Ｓ上に位置していると判断することができる。検出部３０は、この原理を用いるものであり、磁気センサ２１からの出力と磁気センサ２２からの出力とを比較し、両者が一致したときに磁石４０が基準線Ｓ上に位置していると判断する。

【0014】

このような構成により、機械的な接点を用いることなく、磁石４０が基準線Ｓ上に位置したことを検出することができる。すなわち、本実施形態の位置検出装置１によれば、機械的な接点を用いることなく、可動体２の位置を検出することが可能となる。このように機械的な接点を用いないため、接点の劣化による寿命の短縮化や接点間の導通不良、接点の摩耗や凹みによる検出精度の低下といった問題が生じない。

【0015】

ここで、磁石４０が基準線Ｓ上に位置しているときに磁気センサ２１，２２の出力の変化率が最大となるように磁気センサ２１，２２を配置すれば、磁石４０が基準線Ｓの近傍にあるときに磁気センサ２１，２２の出力が変化しやすくなるため、磁気センサ２１，２２の出力が一致する点がより正確に特定される。したがって、磁石４０の位置の検出精度が高くなる。

【0016】

また、磁気センサ２１，２２の出力特性は温度によって変化するが、磁気センサ２１，２２のセンサ特性が同一であるため、磁気センサ２１，２２の出力特性が温度によって変化しても、磁気センサ２１の出力特性の変化と磁気センサ２２の出力特性の変化とが互いに相殺される。このため、図３に示すように、温度が低下した際の磁気センサ２１の出力特性と温度が低下した際の磁気センサ２２の出力特性とが交差する点Ｐ_Lは基準線Ｓ上に位置し、温度が上昇した際の磁気センサ２１の出力特性と温度が上昇した際の磁気センサ２２の出力特性とが交差する点Ｐ_Hも基準線Ｓ上に位置する。したがって、上述したように、磁気センサ２１の出力と磁気センサ２２の出力とが一致しているか否かを判断することで、温度が変化した場合においても、磁石４０が基準線Ｓ上に位置していることを安定して検出することができる。なお、図３においては、図２に示す磁気センサ２１，２２の出力特性は細い点線で示されている。

【0017】

同様に、磁気センサ２１，２２の電気的特性や磁気特性が変化した場合においても、磁気センサ２１の出力特性の変化と磁気センサ２２の出力特性の変化とが互いに相殺されるため、磁石４０の位置を安定して検出することができる。また、Ｚ方向や紙面に垂直なＹ方向における外部磁場も磁気センサ２１と磁気センサ２２の両方に同様に作用し、磁気センサ２１の出力特性の変化と磁気センサ２２の出力特性の変化とが互いに相殺されるため、これらの外部磁場の影響を抑えて磁石４０の位置を検出することができる。また、磁石４０のＺ方向やＹ方向の変位に対する磁気センサ２１，２２の出力特性の変化が相殺されるため、磁石４０のＺ方向やＹ方向の変位の影響を抑えて磁石４０の位置を検出することができる。

【0018】

なお、磁気センサ２１，２２の出力をＡＤ変換してデジタルフィルタによってノイズを低減してもよい。あるいは、磁気センサ２１，２２のアナログ出力をローパスフィルターにかけてノイズを除去してもよい。

【0019】

〔２ 構成の具体例〕
〔２．１ 磁石の大きさ〕
磁石４０及びセンサ基板は、精密機器に組み込むために出来るだけ小さいことが要求される。そこで、磁石４０は、５ｍｍ角以内、又はφ５ｍｍ以下とすることが好適である。一方で、位置検出装置１の組み立て作業のしやすさを考慮すると、磁石４０は適度な大きさを有することが望まれるため、磁石４０は、１．５ｍｍ角以上とすることが好適である。

【0020】

〔２.２ 磁石の形状〕
磁石４０は磁場が強いほど、Ｓ／Ｎ比の値が良くなると共に、繰り返し精度が良くなる。すなわち、磁石４０は、大きく厚いことが望まれる。また、磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離がより近いことが望まれる。
図４は、磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０とのギャップを０．８ｍｍ、磁石４０の厚み（Ｚ方向の長さ）を１．０ｍｍとした際の磁石の形状と最大磁束の関係を示すグラフである。図４中の各々の線は、磁石４０のＹ方向の長さを示す。すなわち、図４は、磁石４０のＹ方向の長さが、１ｍｍ、２ｍｍ、３ｍｍ、４ｍｍ、及び５ｍｍの各々の場合において、磁石４０のＸ方向の長さを変化させた場合の磁束密度の値の変化を示している。図４のグラフから分かるように、磁石４０のＸ方向の長さは、１．５ｍｍを下回ると磁束密度の値が小さすぎる一方で、３ｍｍを超えても、磁束密度の値にあまり変化はない。すなわち、磁石４０のＸ方向の長さは、１．５～３ｍｍとすることが好適である。一方で、磁石４０のＹ方向の長さは、２ｍｍ～４ｍｍとすることが好適である。

【0021】

また、磁石４０の磁化方向の磁場は、磁石４０の厚み（Ｚ方向の長さ）にほぼ比例するが、厚すぎると磁石４０の形状が大きくなり、切り粉の付着を防ぐためにも、磁気シールドを強力にする必要があるため、磁石４０の厚みを適度な範囲とすることが望ましい。
図５は、磁石４０のＸ方向及びＹ方向の長さを、２ｍｍ×３ｍｍ及び３ｍｍ×４ｍｍとした場合の、磁石４０のＺ方向の長さ（厚み）と磁束密度との関係を示すグラフである。図５のグラフに示されるように、磁石４０の厚みが１ｍｍを下回ると磁束密度が小さすぎる一方で、厚みが３ｍｍを超えると、磁束密度の値にあまり変化がない。すなわち、磁石４０の厚みは、１ｍｍ～３ｍｍとすることが好適である。

【0022】

また、本実施形態で用いる磁気センサ２１及び磁気センサ２２を含む位置検出装置１の原理に基づけば、Ｘ方向の位置決め精度は、磁気センサ２１及び磁気センサ２２のトラックずれに依存しないが、磁気センサ２１及び磁気センサ２２の実装誤差が生じた場合には、トラックずれの影響により、位置誤差が発生する。このとき、磁石４０として、小型でかつ丸型や正方形の磁石を使用すると、トラックすなわちＸ軸から、Ｙ方向の外側に向かって、磁場の減衰が大きくなり、Ｓ／Ｎ比が落ちやすく、原点位置ずれが発生しやすい。このため、磁石４０は、長手方向がＹ方向となるような長方形とすることが望ましい。
図６は、磁気センサ２１及び磁気センサ２２のトラックずれと、磁石４０が長方形だった場合の位置関係を示す図である。図６に示すように、磁石４０の磁場は、長手方向をＹ方向とするような楕円状となっているため、トラックずれの影響は小さくなる。
図７は、磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０とのギャップが０．８ｍｍ、磁石４０のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の長さが３ｍｍ×４ｍｍ×１ｍｍだった場合の、トラック方向の磁気センサ２１及び磁気センサ２２のずれと、出力分布との関係を示すグラフである。磁石４０は長手方向をＹ方向とする長方形の形状であるが、この場合、トラック方向のずれが０．３ｍｍあったとしても、出力の減衰率は２％の範囲に収まる。このことからも、磁石４０は、長手方向がＹ方向となるような長方形とすることが好適であることが分かる。

【0023】

〔２.３ 磁石の材質〕
磁石４０は、強く、錆びにくく、温度係数が良い材質が望ましい。より具体的には、温度係数が－０．０３％／℃のサマリュウムコバルト磁石や、－０．１３％／℃の防錆処理をしたネオジム磁石が好適である。

【0024】

〔２.４ 磁気センサの間隔〕
１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２を表面実装する場合、磁気センサ２１と磁気センサ２２とを、略１．５ｍｍ以上離すことが好適である。

【0025】

〔２.５ 磁石と磁気センサとの関係〕
１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２の出力の最大変化率を得られる磁石４０のＸ方向の長さは、磁気センサ２１と磁気センサ２２との実装距離に略等しいので、上記のように、磁気センサ２１と磁気センサ２２とが略１．５ｍｍ以上離れている場合、磁石４０のＸ方向の長さも略１．５ｍｍ以上の長さとすることが好適である。
図８は、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０とのギャップが０．８ｍｍであり、磁石のＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の長さが、３ｍｍ×４ｍｍ×１ｍｍであると共に、磁石４０のＸ方向の長さが、磁気センサ２１と磁気センサ２２との実装距離に略等しい場合における、磁石４０の位置と、磁気センサ２１及び磁気センサ２２の出力変化率との関係を示すグラフである。図８に示されるように、磁石４０の位置が０、すなわち磁石４０が基準線上に位置したとき、磁気センサ２１及び磁気センサ２２の出力変化率の絶対値の双方が略最大となっている。

【0026】

また、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離（ギャップ）は、繰返し精度、部品精度、組立て精度、組立て確認しやすさ等で決定される。具体的には、例えば部品精度として±０．１ｍｍ、実装精度として０．２ｍｍ、メカ変動、すなわち、例えば軸のガタ等に由来する変動として０．１ｍｍ以下の値が求められることを考慮して決定される。その結果、１対の磁気センサ２１と磁石４０との距離（ギャップ）は、０．３ｍｍ以上０．８ｍｍ以下とすることが好適である。

【0027】

図９は、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離（ギャップ）と、磁束密度との関係を示すグラフである。当該距離（ギャップ）が０．３ｍｍ以上０．８ｍｍ以下の場合、磁束密度は、概して、１２０ｍＴ以上１７０ｍＴ以下となる。

【0028】

図１０は、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離（ギャップ）が、０．４ｍｍ、０．６ｍｍ、０．８ｍｍ、１．０ｍｍの場合の、検出点を中心にしたＸ方向の距離と、出力との関係を示すグラフである。なお、図１０のグラフにおいて、「Ｃｈ１」は磁気センサ２１の出力を示し、「Ｃｈ２」は磁気センサ２２の出力を示す。図１０から分かるように、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離（ギャップ）が１．０ｍｍのグラフは、他のグラフに比較して、出力が小さいことが示された。

【0029】

図１１は、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離（ギャップ）の間隔が、０．４ｍｍ、０．６ｍｍ、０．８ｍｍ、１．０ｍｍの場合の、検出点を中心にしたＸ方向の距離と、出力変化率の実測値との関係を示すグラフである。なお、図１１のグラフにおいて、「Ｃｈ１」は磁気センサ２１の出力変化率を示し、「Ｃｈ２」は磁気センサ２２の出力変化率を示す。図１０から分かるように、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２と磁石４０との距離（ギャップ）が１．０ｍｍのグラフは、他のグラフに比較して、出力変化率の絶対値が小さいことが示された。

【0030】

〔３ 内部データの活用例〕
上記の位置検出装置１の内部データである磁力データ（センサデータ）を監視することで、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２の状態を把握することにより、位置検出装置１の故障診断をすることが可能である。より詳細には、内部データを監視することにより、位置検出装置１のメンテナンス時期の診断、１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２の故障の診断、位置検出装置１の使用環境診断が可能となる。

【0031】

メンテナンス時期の診断のためには、内部データを用いて、位置検出装置１の摺動部に切り粉や切削液が付着、堆積したことによる戻り不良を把握したり、動作回数を把握したりすることが有効である。１対の磁気センサ２１及び磁気センサ２２の故障の診断のためには、切子や切削液の付着、内部負圧、軸受の劣化に起因する戻り不良を把握したり、衝突による廻止め破損を把握したりすることが有効である。使用環境診断のためには、例えば、周辺温度が変化したことにより、位置検出装置１の内部が負圧になったことに起因する戻り不良を把握したり、加工振動、パレットチェンジによる衝撃、ワーク着脱、クランプ／アンクランプによる衝撃、及び、格納搬出による衝撃に起因する軸受の劣化を把握したりすることが有効である。

【0032】

以下、図１２～図１４を参照することにより、内部データを用いた戻り不良、及び軸受の劣化の検知方法について説明する。

【0033】

図１２は、従来の接点を用いた内部出力であって、コンタクト１１を押し込んだ後、戻ってくる状況における内部出力を示す。

【0034】

図１２において、（ａ）に示すように、待機時にはコンタクト１１が正常な待機時高さにある。続いて、（ｂ）に示すようにコンタクト１１を押し込む。その後、コンタクト１１への負荷を外すと、（ｃ）に示すようにコンタクト１１は元の位置に戻る。この際、（ａ）でのコンタクト１１の待機時高さと、（ｃ）でのコンタクト１１の待機時高さとは等しいことから、（ａ）から（ｂ）に至る際のコンタクト１１の押込み量と、（ｂ）から（ｃ）に至る際のコンタクト１１の戻り量とは等しくなる。また、内部センサの値に関しても、コンタクト１１の押込み前の値と、コンタクト１１を押し込んでから戻った後の値とは等しい。

【0035】

図１３は、戻り不良があるために位置検出装置１が異常である場合の、内部データとしての内部センサの値の変化を示す。
図１３に示す例においては、（ｃ）に示すように、位置検出装置１のコンタクト１１が摺動する領域に、切削液や切り粉が付着している。このため、（ｂ）から（ｃ）に至る際、コンタクト１１は正常な位置まで復帰しない。したがって、（ａ）から（ｂ）に至る際のコンタクト１１の押込み量よりも、（ｂ）から（ｃ）に至る際のコンタクト１１の戻り量は小さくなる。また、内部センサの値に関しても、コンタクト１１の押込み前の値よりも、コンタクト１１を押し込んでから戻った後の値は小さくなる。

【0036】

図１４は、軸受けの劣化があるために位置検出装置１が異常である場合の、内部データとしての内部センサの値を示す。（ａ）に示すように、正常な待機時においては、内部センサの値が変動することはない。一方で、軸受けの劣化がある場合には、加工振動や被加工物着脱時の振動、センサの格納、搬出時の振動、パレットチェンジによる衝撃が発生した場合に、コンタクト１１もそれに合わせて振動してしまい、（ｂ）に示すように、内部センサの値は変動してしまう。

【0037】

このため、位置検出装置１は、位置検出装置１の待機時における磁気センサ２１及び磁気センサ２２の出力と、磁石４０をＸ方向に移動させた後、磁石４０がＸ方向とは逆方向に戻り終えた時点の磁気センサ２１及び磁気センサ２２の出力とを比較する比較手段（不図示）と、比較部による当該比較結果に基づいて、位置検出装置１の異常を診断する第１診断手段（不図示）とを更に備えてもよい。

【0038】

また、位置検出装置１は、位置検出装置１の待機時における、磁気センサ２１及び磁気センサ２２の出力の波形に基づいて、位置検出装置１の異常を診断する第２診断手段（不図示）を更に備えてもよい。

【0039】

〔４ 実施形態が奏する効果〕
以上述べたように、本発明の一態様によれば、長寿命で、検出精度が高く、安定して位置検出を行うことができる位置検出装置が提供される。この位置検出装置は、第１の方向に沿って延びる移動経路上を可動体とともに移動するように構成される磁石を備える。この磁石は、上記第１の方向に垂直な第２の方向において異なる磁極を有する。また、上記位置検出装置は、上記移動経路から上記第２の方向に等しい距離だけ離間するとともに、上記第２の方向に延びる基準線から等しい距離に配置された１対の磁気センサを備える。上記１対の磁気センサは、同一のセンサ特性を有する。上記位置検出装置は、上記１対の磁気センサの双方の出力変化率の絶対値が略最大となったときに、上記磁石が上記基準線上に位置したことを検出するように構成される検出部を備える。

【0040】

これにより、機械的な接点を用いることなく、磁石が基準線上に位置したことを検出することができる。すなわち、本発明に係る位置検出装置によれば、機械的な接点を用いることなく、可動体の位置を検出することが可能となる。このように本発明に係る位置検出装置によれば、機械的な接点を用いないため、接点の劣化による寿命の短縮化や接点間の導通不良、接点の摩耗や凹みによる検出精度の低下といった問題が生じない。また、温度変化などによる磁気センサの出力特性の変化が１対の磁気センサ間で互いに相殺されるため、磁石の位置を安定して検出することができる。

【0041】

上記１対の磁気センサの出力は、上記磁石が上記基準線上に位置したときに最大の変化率を呈することが好ましい。このようにすることで、磁石が基準線の近傍にあるときに磁気センサの出力が変化しやすくなるため、磁気センサの出力が一致する点がより正確に特定され、磁石の位置の検出精度が高くなる。

【0042】

本発明によれば、長寿命で、検出精度が高く、安定して位置検出を行うことができる位置検出装置が提供される。

【0043】

また、本発明によれば、故障診断や、保全予知もできる位置検出装置が提供される。

【産業上の利用可能性】

【0044】

本発明は、可動体の位置を検出する位置検出装置に好適に用いられる。

【符号の説明】

【0045】

１ 位置検出装置
２ 可動体
１０ 固定部
２１，２２ 磁気センサ
３０ 検出部
４０ 磁石
４１，４２ 磁極
Ｍ 移動経路
Ｓ 基準線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】