特開2022-20710基板を表面処理するための方法及び装置

発明の名称　基板を表面処理するための方法及び装置

出願人　エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー　（識別番号 508333169）

　　　　特許公開件数ランキング 1035 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1938 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-20710

公報発行日　2022年2月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-20710

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