特開 2022-23366 フレーム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022023366

(43)【公開日】2022-02-08

(54)【発明の名称】フレーム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20220201BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 V

H01L21/68 U

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020126264

(22)【出願日】2020-07-27

(71)【出願人】

【識別番号】520277324

【氏名又は名称】株式会社アイエス

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(72)【発明者】

【氏名】橋本 聡一

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA52

5F131CA09

5F131GA03

5F131GA32

5F131GA42

(57)【要約】

【課題】 比較的安価に製造することができるにも拘わらず、充分な強度を有し、片面には所要貼着強度でテープを貼着することができ、テープを切断する際に切断具によって損傷されることがなく、更に従来の金属製フレームと比べて相当軽量である、片面に貼着されたテープを介して被加工物が装着されるフレームを提供する。
【解決手段】 片面に貼着されたテープを介して被加工物が装着されるフレームは、中央部に装着開口を有する環形状である合成樹脂製本体と、別個に形成され且つ本体に固着され、少なくとも本体の片面上を延在する円環形状の金属板製リングとを具備する。
【選択図】 図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

片面に貼着されたテープを介して被加工物が装着されるフレームにして、
中央部に装着開口を有する環形状である合成樹脂製本体と、別個に形成され且つ該本体に固着され、少なくとも該本体の片面上を延在する円環形状の金属板製リングとを具備する、
ことを特徴とするフレーム。

【請求項2】

該本体の該片面には全周に渡って延在する円環形状の固着溝が形成されており、該リングは該固着溝の横断面形状に対応した横断面形状を有し且つ該固着溝内に接合されており、該リングの露呈表面は該本体の片面における該固着溝以外の部分と面一である、請求項１記載のフレーム。

【請求項3】

該リングは複数個の円弧形状板片から構成されている、請求項２記載のフレーム。

【請求項4】

該リングは該固着溝の横断面形状に対応した横断面形状を有する細長帯状金属板にコイリング加工を加えて両端縁を当接乃至近接させて円環形状に形成されている、請求項２記載のフレーム。

【請求項5】

該本体の該片面には全周に渡って延在する円環形状の固着溝が形成されており、該固着溝の片側面は該固着溝の底面に向って該固着溝の幅が漸次増大する方向に傾斜する傾斜面であり、該リングは該固着溝の横断面形状に対応した横断面形状を有する、請求項１記載のフレーム。

【請求項6】

該本体の該片面における半径方向内側領域には全周に渡って延在する円環形状の片側沈降部が形成され、該本体の他面における半径方向内側領域にも全周に渡って延在する他側沈降部が形成され、該リングは該本体の該片側沈降部に沿って延在する片側円環形状部、該本体の内周面に沿って延在する円筒形状部及び該本体の該他側沈降部に沿って延在する他側円環形状部とから構成され、該リングの該片側円環形状部の露呈表面は該本体の該片面における該沈降部以外の部分と面一である、請求項１記載のフレーム。

【請求項7】

該本体は硬質合成樹脂から形成されている、請求項１から６までのいずれかに記載のフレーム。

【請求項8】

該リングはステンレス鋼板から形成されている、請求項１から７までのいずれかに記載のフレーム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、片面に貼着されたテープを介して半導体ウエーハの如き被加工物が装着されるフレームに関する。

【背景技術】

【0002】

当業者には周知の如く、半導体ウエーハの如き被加工物にダイシング、表面研削又は表面研磨の如き所要加工を施す際には、中央部に装着開口が形成されたフレームの片面（通常は裏面）にテープを貼着し、テープにおける装着開口内に位置する領域に被加工物を装着する。そして、被加工物が装着されたフレームをダイシング装置、表面研削装置又は表面研磨装置に如き加工装置のチャックテーブル上に搬入し、被加工物に所要加工を施した後にフレームを加工装置から搬出している。被加工物を装着するためのフレームとしては、従来からステンレス鋼板又はアルミニューム基合金板の如き金属板から形成された金属製フレーム或いはポリカーボネートの如き硬質合成樹脂から形成されたフレームが広く実用に供されている。

【0003】

然るに、金属製フレームには、比較的高重量である、製造コストが比較的高価である、被加工物が装着されたフレームを例えばアルミニューム基合金板製のカセット容器内に収納する際にフレームとカセット容器との接触に起因して塵芥が生成される虞がある、という問題が存在する。一方、合成樹脂製フレームには、強度が比較的低く誤操作等に起因して破損してしまう虞がある、フレームの片面とテープとの貼着強度が不充分になってしまう傾向がある、テープにおけるフレームの片面に貼着された領域を所要形状（通常は円形）に切断する際に、切断具によってフレームの片面が損傷される虞がある、という問題がある。

【0004】

金属製フレームにおける上記のとおりの問題及び合成樹脂製フレームにおける上記のとおりの問題を解決せんとして、下記特許文献１には、合成樹脂製フレーム本体の全表面にクロムメッキ層を施したフレームが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開昭６１－２９０００９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

而して、上記特許文献１に開示されているフレームも未だ充分に満足し得るものではなく、クロムメッキ層を施すことに起因して製造コストが高騰してしまう、クロムメッキ層の厚さは著しく小さい値に制限され、それ故にフレームの強度は充分ではない、クロムメッキ層自体の強度も必ずしも充分ではなく、テープを切断する際に切断具によって損傷されてしまう虞がある、という問題を有する。

【0007】

本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、比較的安価に製造することができるにも拘わらず、充分な強度を有し、片面には所要貼着強度でテープを貼着することができ、テープを切断する際に切断具によって損傷されることがなく、更に従来の金属製フレームと比べて相当軽量である、新規且つ改良された、片面に貼着されたテープを介して被加工物が装着されるフレームを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明者は、鋭意検討の結果、合成樹脂製本体に少なくとも本体の片面上を延在する別個に形成した円環形状の金属板製リングを固着することによって、上記主たる技術的課題を達成することができることを見出した。

【0009】

即ち、本発明によれば、上記主たる技術的課題を達成することができるフレームとして、
片面に貼着されたテープを介して被加工物が装着されるフレームにして、
中央部に装着開口を有する環形状である合成樹脂製本体と、別個に形成され且つ該本体に固着され、少なくとも該本体の片面上を延在する円環形状の金属板製リングとを具備する、
ことを特徴とするフレームが提供される。

【0010】

好適実施形態においては、該本体の該片面には全周に渡って延在する円環形状の固着溝が形成されており、該リングは該固着溝の横断面形状に対応した横断面形状を有し且つ該固着溝内に接合されており、該リングの露呈表面は該本体の該片面における該固着溝以外の部分と面一である。該リングは複数個の円弧形状板片から構成されているのが好ましい。
好適なリングの他の形態としては、該固着溝の横断面形状に対応した横断面形状を有する細長帯状金属板にコイリング加工を加えて両端縁を当接乃至近接させて円環形状に形成されているリングを挙げることができる。他の好適実施形態においては、該本体の該片面には全周に渡って延在する円環形状の固着溝が形成されており、該固着溝の片側面は該固着溝の底面に向って該固着溝の幅が漸次増大する方向に傾斜する傾斜面であり、該リングは該固着溝の横断面形状に対応した横断面形状を有する。更に他の実施形態においては、該本体の該片面における半径方向内側領域には全周に渡って延在する円環形状の片側沈降部が形成され、該本体の他面における半径方向内側領域にも全周に渡って延在する他側沈降部が形成され、該リングは該本体の該片側沈降部に沿って延在する片側円環形状部、該本体の内周面に沿って延在する円筒形状部及び該本体の該他側沈降部に沿って延在する他側円環形状部とから構成され、該リングの該片側円環形状部の露呈表面は該本体の該片面における該沈降部以外の部分と面一である。該本体は硬質合成樹脂から形成されており、該リングはステンレス鋼板から形成されているのが好都合である。

【発明の効果】

【0011】

本発明のフレームにおいては、メッキ処理の如き高価な工程を必要とすることなく、合成樹脂フレームに金属板製リングを固着することによって比較的安価に製造することができ、全体を金属板から形成した場合に比べて相当軽量であり、そして金属板製リングの存在に起因してフレームが充分に補強され、片面にはテープを所要貼着強度で貼着することができ、テープを切断する際に切断具によって損傷されることが確実に回避される。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明に従って構成されたフレームの好適実施形態を示す底面図。

【図2】図１に示すフレームの部分断面図。

【図3】金属板製リングの変形例を示す平面図。

【図4】図１に示すフレームの使用様式を示す断面図。

【図5】本発明に従って構成されたフレームの他の好適実施形態を示す底面図。

【図6】図５に示すフレームの部分断面図。

【図7】本発明に従って構成されたフレームの更に他の好適実施形態を示す底面図。

【図8】図７に示すフレームの部分断面図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に従って構成されたフレームの好適実施形態を図示している添付図面を参照し、更に詳述する。

【0014】

図１及び図２を参照して説明すると、全体を番号２で示す図示のフレームは、合成樹脂製本体４と金属板製リング６とから構成されている。

【0015】

図１を参照することによって明確に理解されるとおり、ポリカーボネート、硬質ポリ塩化ビニル、ポリスチレン又はポリアクリレートの如き硬質合成樹脂から形成されているのが好都合である本体４は全体として円環形状であり、中央部には比較的大きい円形である装着開口８が形成されている。本体４の外径寸法及び装着開口８の内径は装着すべき被加工物１８（図４参照）の寸法に応じて適宜に設定することができる。図示の実施形態においては、本体４の片面（図２において下面）１０及び他面（図２において上面）１１は共に平坦面である。本体４の厚さＴ１は１．５乃至２．５ｍｍ程度であるのが好都合である。本体４の外縁にはフレーム２の位置付け等に使用される複数個の切欠及び直線状部が形成されているが、これらの切欠及び直線状部は当業者には周知の形態であると共に本発明に従って構成されたフレーム２の新規な特徴を構成するものではなく、それ故にこれらについての詳細な説明は省略する。

【0016】

図示の実施形態においては、本体４の片面即ち裏面（図２においては下面）１０には半径方向内側領域を全周に渡って延在する形状の固着溝１２が形成されている。固着溝１２の横断面形状は半径方向に細長く延びる矩形である。固着溝１２の幅Ｗ１はフレーム２の全体的寸法に応じて適宜に選定することができるが、一般的に８．０乃至１１.０ｍｍ程度であるのが好都合である。固着溝１２の深さＤ１は０．９乃至１．３ｍｍ程度であるのが好ましい。

【0017】

金属板製リング６は、少なくとも本体４の片面１０上を延在する円環形状であることが重要である。図１及び図２を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、金属板製リング６は平坦な円環形状であり、本体４の固着溝１２内に両面接着テープ或いは接着剤の如き適宜の接合手段１４によって接合されている。リング６の横断面形状は固着溝１２の横断面形状に対応したものであるのが望ましい。更に詳しくは、リング６の幅Ｗ２は固着溝１２の幅Ｗ１に対応、更に詳しくは固着溝１２の幅Ｗ１と実質上同一であるのが望ましい。リング６の厚さＴ２は固着溝１２の深さから固着手段１４の厚さＴ３、例えば０．１ｍｍ、を引いた値であり、０．８乃至１．２ｍｍ程度であるのが好適であり、リング６の露呈表面（図２において下面）は本体４の裏面１０における固着溝１２以外の部分と面一をなすのが好都合である。図示の実施形態においては、リング６は、夫々、９０度の角度範囲に渡って延びる４個の円弧形状板片６ａ、６ｂ、６ｃ及び６ｄから構成されている。所望ならば、リング６を円環形状に連続して延在する単一の板状片から構成し、或いは２個、３個或いは５個以上の弧状片から構成することもできる。リング６を形成するための金属板の好適例としては、ステンレス鋼板を挙げることができる。

【0018】

図３には、金属板製リング６の変形例が図示されている。図示のリング６は、固着溝１２の横断面形状に対応した横断面形状、従って半径方向に細長く延びる矩形状、を有する細長帯状金属板にコイリング加工を加えて両端縁６－１及び６－２を当接乃至近接させて円環形状に形成したものである。かような形態のリング６は、金属板素材に無駄に破棄される部分を発生することなく、換言すれば金属板素材の素材ロスを実質上皆無にして形成することができる。かようなリング６の好適例としては、平和発条株式会社から「特殊止め輪」として販売されているリングを挙げることができる。

【0019】

上述したとおりのフレーム２は、本体４が合成樹脂製でありリング６のみが金属板製であるので、全体が金属板から形成されているフレームと比べて相当軽量であり、全体が合成樹脂製ではなくて金属板製リング６を含んでいる故に充分な強度を有する。

【0020】

図４は図１及び図２に図示するフレーム２の使用様式を示している。上記のとおりのフレーム２の片面（図４において下面）１０には貼着面（図４において上面）は粘着性を有するそれ自体は周知の形態でよいテープ１６が貼着される。そして必要に応じて、リング６が存在する領域において、切断具（図示していない）によってテープ１６が切断され、テープ１６の外周縁が円形にされる。而して、本発明に従って構成されたフレーム２においては、テープ１６が貼着される領域にはリング６の露呈面が存在し、それ故にフレーム２の片面に所要貼着強度でテープ１６を貼着することができ、テープ１６を切断する際に切断具（図示していない）によってフレーム２の片面１０が損傷されることが確実に回避される。図４に二点鎖線で示す被加工物１８、例えば略円板形状である半導体ウエーハ、は本体４に形成されている装着開口８内においてテープ１６の上面に装着され、フレーム２と共に搬送されて加工装置（図示していない）の所要部位に搬入され、所要加工が施された後にフレーム２と共に加工装置から搬出される。

【0021】

図５及び図６には、本発明に従って構成されたフレームの他の好適実施形態が図示されている。図５及び図６に図示する実施形態においても、全体を番号１０２で示すフレームは、合成樹脂製本体１０４と金属板製リング１０６とから構成されている。本体１０４の片面（図６において下面）１１０には固着溝１１２が形成されている。固着溝１１２の片側面１１２ａは実質上鉛直であるが他側面（即ち図６において右側面）１１２ｂは、固着溝１１２の底面に向って幅が漸次増大する方向、即ち図６において右方に傾斜する傾斜面である。リング１０６は、固着溝１１２の横断面形状に対応した横断面形状、好適には固着溝１１２の横断面形状と実質上同一の横断面形状を有し、その片側面１０６ａは実質上鉛直であるが他側面（即ち図６において右側面）１０６ｂは固着溝１１２の底面に向って（図６において上方に向って）幅が漸次増大する方向、即ち図６において右方に傾斜する傾斜面である。固着溝１１２の幅Ｗ３及びリング１０６の幅Ｗ４は８．０乃至１１．０ｍｍ程度でよい。固着溝１１２の深さＤ２は０．８乃至１．２ｍｍ程度で、リング１０６の厚さＴ４も同様に０．８乃至１．２ｍｍ程度であり、リング１０６の露呈表面（図６において下面）は本体１０４の片面１１０における固着溝１１２以外の部分と面一であるのが好都合である。図示の実施形態においては、リング１０６は円環形状の単一板片から構成されている。所望ならば、複数個の円弧形状板片からリング１０６を構成することもできる。図示の実施形態においては固着溝１１２の半径方向外側に位置する他側面１１２ｂを固着溝１１２の底面に向って幅が漸次増大する方向に傾斜させているが、所望ならばこれに代えて或いはこれに加えて半径方向内側に位置する片側面１１２ａを固着溝１１２の底面に向って幅が漸次増大する方向に傾斜させることもできる。図５及び図６に図示するフレーム１０２においては、リング１０６を中子として本体１０４をインサート成形することによって本体１０４にリング１０６が固着されているのが好ましい。所望ならば、本体１０４に両面接着テープ或いは接着剤の如き適宜の接合手段（図示していない）を介してリング１０６を固着することもできる。図５及び図６に図示するフレーム１０２の上述した構成以外は、図１及び図２を参照して説明したフレーム２と実質上同一でよい。

【0022】

図７及び図８には、本発明に従って構成されたフレームの更に他の好適実施形態が図示されている。図７及び図８に図示する実施形態においても、全体を番号２０２で示すフレームは合成樹脂製本体２０４と金属板製リング２０６とから構成されている。本体２０４の片面（図８において下面）２１０の半径方向内側領域には全周に渡って延在する片側沈降部２１２ａが形成され、本体２０４の他面（図８において上面）２１１の半径方向内側領域にも全周に渡って延在する他側沈降部２１２ｂが形成されている。片側沈降部２１２ａ及び他側２１２ｂの露呈面は本体２の片面２１０及び他面２１１と実質上平行に延在している。片側沈降部２１２ａの幅Ｗ５は比較的大きく、例えば８．０乃至１１．０ｍｍ程度であり、他側沈降部２１２ｂの幅Ｗ６は比較的小さく、例えば２．０乃至５．０ｍｍ程度であるのが好都合である。片側沈降部２１２ａの沈降深さＤ３及び他側沈降部２１２ｂの沈降深さＤ４は共に０．５乃至１．０ｍｍ程度でよい。リング２０６は、本体２０４の片側沈降部２１２ａに沿って延在する片側円環形状部２０６ａに加えて、本体２０４の他側沈降部２１２ｂに沿って延在する他側円環形状部２０６ｂ及び本体２０６の内周面に沿って延在し、片側円環形状部２０６ａと他側円環形状部２０６ｂとを連結する円筒形状部２０６ｂを有する。リング２０６の片側円環形状部２０６ａ、他側円環形状部２０６ｂ及び円筒形状部２０６ｃの厚さＴ５は知本体２０４の片側沈降部２１２ａ及び他側沈降部２１２ｂの沈降深さＤ３及びＤ４と実質上同一で、０．５乃至１．０ｍｍ程度であり、リング２０６の片側円環形状部２０６ａの露呈表面（図８において下面）は本体２０４の片面２１０における片側沈降部２１２ａ以外の部分と面一であり、リング２０６の他側円環形状部２０６ｂの露呈表面（図８において上面）も本体２０４の他面２１１における他側沈降部２１２ｂと面一であるのが好都合である。図示の実施形態においては、リング２０６は単一板片から構成されている。所望ならば、複数個の円弧形状板片からリング２０６を構成することもできる。図７及び図８に図示するフレーム２０２においても、図５及び図６に図示するフレーム１０２と同様に、リング２０６を中子として本体２０４をインサート成形することによって本体２０４にリング２０６が固着されているのが好ましい。所望ならば、両面接着テープ或いは接着剤の如き適宜の接合手段（図示していない）によって本体２０４にリング２０６を固着することもできる。図７及び図８に図示するフレーム２０２の上述した構成以外は、図１及び図２を参照して説明したフレーム２と実質上同一でよい。

【符号の説明】

【0023】

２：フレーム
４：本体
６：リング
８：装着開口
１０：本体の片面
１２：固着溝
１４：接合手段
１６：テープ
１８：被加工物
１０２：フレーム
１０４：本体
１０６：リング
１１２：固着溝
２０２：フレーム
２０４：本体
２０６：リング
２１２ａ：片側沈降面
２１２ｂ：他側沈降面
２０６ａ：片側円環形状部
２０６ｂ：他側円環形状部
２０６ｃ：円筒形状部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】