特開 2022-29543 シール機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022029543

(43)【公開日】2022-02-18

(54)【発明の名称】シール機構

(51)【国際特許分類】

   F16J 15/453 20060101AFI20220210BHJP

【ＦＩ】

F16J15/453

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020132859

(22)【出願日】2020-08-05

(71)【出願人】

【識別番号】000101879

【氏名又は名称】イーグル工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098729

【弁理士】

【氏名又は名称】重信 和男

(74)【代理人】

【識別番号】100163212

【氏名又は名称】溝渕 良一

(74)【代理人】

【識別番号】100204467

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 好文

(74)【代理人】

【識別番号】100148161

【弁理士】

【氏名又は名称】秋庭 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100156535

【弁理士】

【氏名又は名称】堅田 多恵子

(74)【代理人】

【識別番号】100195833

【弁理士】

【氏名又は名称】林 道広

(72)【発明者】

【氏名】徳永 雄一郎

【テーマコード（参考）】

3J042

【Ｆターム（参考）】

3J042AA03

3J042BA01

3J042CA10

3J042DA01

3J042DA02

(57)【要約】

【課題】ラビリンスシールの密封形態を利用して流体をシール可能な、新しいシール機構を提供する。
【解決手段】回転部としての回転軸２の外周を囲む静止部としてのハウジング３に取り付けられ、ハウジング３と回転軸２との間の流体Ｒをシールするシール機構としてのワイヤシール１であって、ワイヤシール１は、回転軸２が挿通される貫通孔８が形成された基体６と、基体６に配設される線材としてのワイヤ９、を備え、ワイヤ９は、貫通孔８の複数箇所を横切るように基体６に架け渡されている。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転部の外周を囲む静止部に取り付けられ、前記静止部と前記回転部との間の流体をシールするシール機構であって、
前記シール機構は、前記回転部が挿通される貫通孔が形成された基体と、
前記基体に配設される線材と、を備え、
前記線材は、前記貫通孔の複数箇所を横切るように前記基体に架け渡されているシール機構。

【請求項2】

前記線材は、軸方向に複数積層されている請求項１に記載のシール機構。

【請求項3】

軸方向に積層された複数の前記線材は、周方向の位相が互いに異なるように配置されている請求項２に記載のシール機構。

【請求項4】

前記線材は、前記基体に径方向に複数回巻回されている請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のシール機構。

【請求項5】

前記基体は、複数の基板が重ね合わせて構成されている請求項１ないし４のいずれかに記載のシール機構。

【請求項6】

前記線材は、前記基板に巻回されている請求項５に記載のシール機構。

【請求項7】

前記基板に、複数のピン部材が立設されており、前記ピン部材に前記線材が巻回されている請求項５または６に記載のシール機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば、ガスタービン、蒸気タービン等の回転機械に適用され、相対回転する回転側要素と静止側要素との間を軸封するシール機構に関する。

【背景技術】

【0002】

ガスタービンや蒸気タービン等の回転機械を構成する回転軸の周りには、高圧側から低圧側に流体が漏れることを防止するシール機構が設けられている。このシール機構としては、非接触シールとして分類されるラビリンスシールが広く用いられている。

【0003】

ラビリンスシールは、回転軸の外周を囲む静止側要素を構成するケーシングの内周部に凹溝が形成されたラビリンス部を有することで、このラビリンス部と回転軸との間の被密封流体を凹溝内に回りこませることで高圧側の流体の圧力を降下させ、低圧側への流体の漏れ量を減少させる非接触シールである。ラビリンス部は、耐熱性の高い金属で成形された肉厚の円筒体である。このような、ラビリンスシールは、上記したガスタービンや蒸気タービンのように高回転かつ高熱の被密封流体を用いた回転機械に多用されている。（特許文献１参照）

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】実願昭５３－１３６８７２号（実開昭５５－５５６６７号）のマイクロフィルム（第２頁、第２図）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１のラビリンスシール装置は、ラビリンス部と回転軸との離間幅が大きいと、シール性が低下することから流体の漏れが発生し、ラビリンス部と回転軸との離間幅が小さいと、高回転の回転軸が振動等を生じて近接するラビリンス部に接触してしまう虞が生じ、塊状の金属材から成形されたラビリンス部や回転軸が損傷して、流体のシール性低下の原因となり得ることから、ラビリンス部と回転軸との離間幅を狭めることには限界があった。

【0006】

本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、ラビリンスシールの密封形態を利用して流体をシール可能な、新しいシール機構を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記課題を解決するために、本発明のシール機構は、
回転部の外周を囲む静止部に取り付けられ、前記静止部と前記回転部との間の流体をシールするシール機構であって、
前記シール機構は、前記回転部が挿通される貫通孔が形成された基体と、
前記基体に配設される線材と、を備え、
前記線材は、前記貫通孔の複数箇所を横切るように前記基体に架け渡されている。
これによれば、貫通孔の複数箇所を横切るように架け渡された線材の胴部によって、貫通孔内を進入する流体の流路を遮ることができるため、流体の圧力降下を生じさせ、流体をシールすることができる。

【0008】

前記線材は、軸方向に複数積層されていてもよい。
これによると、軸方向に線材の胴部による複数の層が形成されることから、流体のシール性を高めることができる。

【0009】

軸方向に積層された複数の前記線材は、周方向の位相が互いに異なるように配置されていてもよい。
これによると、周方向の位相が互いに異なるように積層された複数の線材によって、回転部と静止部の間に、流体を回りこませるラビリンスを形成させることができる。

【0010】

クレーム４ （１～３従属
前記線材は、前記基体に径方向に複数回巻回されていてもよい。
これによると、線材が径方向に巻回されることから、回転部と静止部との間隙を埋めることができ、シール性を高めることができる。

【0011】

クレーム５ （１～４従属
前記基体は、複数の基板が重ね合わせて構成されていてもよい。
これによると、複数の基板を重ね合わせることで、基体の厚みを設計し易い。

【0012】

クレーム６ （５従属
前記線材は、前記基板に巻回されていてもよい。
これによると、線材を基板に対して密に配置させることができる。

【0013】

クレーム７ （５、６従属
前記基板に、複数のピン部材が立設されており、前記ピン部材に前記線材が巻回されていてもよい。
これによると、線材をピン部材に強固に巻回させることができ、ピン部材を基板間のスペーサとしても機能させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施例１におけるワイヤシールを示す断面図である。

【図2】実施例１におけるワイヤシールの基板を示す上面図である。

【図3】（ａ）は、図２における基板を同一方向に重合させた斜視図を示し、（ｂ）は、その上面図である。

【図4】実施例１におけるワイヤシールに回転軸を挿通させた態様を示す一部側断面図である。

【図5】（ａ）は、図４におけるＡ－Ａ断面図を示し、（ｂ）は図４におけるＢ－Ｂ断面図である。

【図6】実施例１におけるワイヤシールに回転軸が接触した態様示す模式図である。

【図7】本発明の実施例２における基板を示す上面図である。

【図8】実施例２におけるワイヤシールを示す一部側断面図である。

【図9】基板に巻回させたワイヤを帯状に溶接させた例を示す変形例である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明に係るシール機構を実施するための形態を実施例に基づいて以下に説明する。

【実施例0016】

実施例１に係るシール機構につき、図１から図６を参照して説明する。尚、本実施例においては、図１の紙面左右を軸方向として、図１の回転軸から放射状に延びる方向を径方向、回転軸の軸心から等距離の円周に沿った方向を周方向とし、図２、図７における正面側を上面とし、その裏面を下面側として説明する。

【0017】

図１には、タービン等の回転機械に、本発明のシール機構としてのワイヤシール１が組み込まれた例が示されている。ワイヤシール１は、回転機械を構成する回転軸２の周囲を取り囲む静止部としてのハウジング３の内周部３ａに形成された段部５に、スナップリング４を配設し、段部５とスナップリング４とで挟持させることにより、固定状態で配設されている。このワイヤシール１の内周側は、回転軸２の外周面と対向して近接した状態に配置されている。そして、ワイヤシール１により機内側であり高圧側Ｈから機外側であり低圧側Ｌへの流体の漏洩が封止される。

【0018】

図１，２に示されるように、ワイヤシール１は、基体６と、線材としてのワイヤ９とから主に構成されている。基体６は、耐熱性を備える金属材から円環形状に成形され、薄板状の基板６Ａを、軸方向に複数枚重合させて構成されている。

【0019】

各基板６Ａは、ハウジング３の内周部３ａと略同径の外周縁を有すると共に、基板６Ａの中央部に回転軸２の直径よりも大径に形成された真円形状の貫通孔８が形成された枠部１６と、該枠部１６の上面から垂直方向上方に向けて立設された複数の円柱状のピン７ａ～７ｈと、から構成されている。尚、基板６Ａの外周縁と貫通孔８とは、同心円である。

【0020】

枠部１６に立設されているピン７ａ～７ｈは、貫通孔８の周縁部８ａ近傍の同心円上の位置に、周方向に等間隔で互いに離間して本実施例では計８本が構成されている。これらのピン７ａ～７ｈは互いに同じ形状であって、ピン７ａ～７ｈの立設寸法は、ワイヤ９の径と同寸若しくは僅かに大寸に形成されている。なお、枠部１６の下面は平坦状に形成されているが、これに限らず例えば、ピン７ａ～７ｈの背面位置にピン７ａ～７ｈと同径の凹部が形成されてもよい。

【0021】

ワイヤ９は、耐熱性が高く且つ弾性のある金属製の素材、例えば、ニッケル、クロム等から成り、断面視で円形に形成されている。ワイヤ９は、枠部１６に立設されている複数のピン７ａ～７ｈのうち選択された一部のピンに沿って巻回される。実施例１においては、１本のワイヤ９の一方端部９ａをピン７ｇにスポット溶接して巻回の起点とし、ピン７ａ、ピン７ｃ、ピン７ｅを経ることで各９０度屈曲して、起点としたピン７ｇに戻るように、ワイヤ９の胴部をこれらのピンの外周面に沿って張力を生じさせながら周方向に巻回する。さらに、ワイヤ９の胴部を先に巻回したワイヤ９に沿って張力を生じさせながら複数回巻回させ、ワイヤ９の他方端部９ｂを径方向に隣接するワイヤ９の胴部にスポット溶接することで、張力を維持させたままワイヤ９を基板６Ａに配設及び固定できるようになっている。このようにワイヤ９を巻回することで、巻回数に応じて貫通孔８の内外に亘って径方向に厚みのある上面視略正方形のワイヤ層Ｗが枠状に形成される。すなわち、各ピンの間で張設されたワイヤ９の胴部は、直線状に延設されている。

【0022】

ワイヤ層Ｗは、貫通孔８の周縁部８ａ近傍に形成されるようになっている。ワイヤ層Ｗの一部は、貫通孔８の複数箇所、本実施例では４箇所を覆うように配置され、貫通孔８を横切るワイヤ層Ｗの胴部９Ａが形成されるようになっている。尚、ワイヤ９のピンに対する巻回回数については、ワイヤ９の直径やピン７ａ，…７ｈの立設位置により異なるが、中空の貫通孔８の一部を周縁部８ａまで覆うことが好ましい。

【0023】

次に、図３（ａ）に示されるように、上述したワイヤ層Ｗが同じように形成された基板６Ａを４枚用意し、それぞれワイヤ層Ｗを周方向に一定角度の２２．５度ずつ順次異なる位置に配置させて軸方向に表裏を統一し重ね合わせる。基板６Ａには、ピン７ａ～７ｈが立設されているので、基板６Ａのピン７ａ～７ｈがその上面側に位置する基板６Ａの下面に当接することで、枠部１６間（図１参照）において軸方向に等間隔に間隙が生じ、適切な距離でそれぞれのワイヤ層Ｗを離間させるようになっている。更に、基板６Ａに巻回されたワイヤ層Ｗが、当該基板６Ａとその上方の基板６Ａの下面とによって挟まれることで、流体の進入を防止できるように構成される。

【0024】

また、ワイヤ層Ｗが形成された基板６Ａを周方向に一定角度ずつ順次異なる位置に配置させて重ね合わせたので、図３（ｂ）に示されるように、貫通孔８からワイヤ層Ｗ（図２参照）の胴部９Ａの内周部が、軸方向視で回転軸２と同径の円形に近似した正多角形を成して露出されるようになっている。それぞれ適切な位置で複数（本実施例では４枚）の基板６Ａを重ね合わせた後、ワイヤ層Ｗが開放されている左端の基板６Ａ（図１参照）に対して枠部１６と同形状でピンが立設されない蓋板２６を重合させ、これらの基板６Ａ及び蓋板２６を溶接により連結させることで基体６として構成し、一体的にハウジング３への取付けや交換、運搬等ができるようになっている。また、先に複数の基板６Ａと蓋板２６とから基体６を構成し、後から基体６に対してワイヤ９を巻回させることとしてもよい。

【0025】

図１，図４，図５（ａ），（ｂ）を参照し、流体の密封態様を説明する。図１に示されるように、回転軸２にワイヤシール１を挿通させた状態でハウジング３に形成されている段部５に環状に形成されたスナップリング４によりワイヤシール１を固定する。

【0026】

図１及び図５（ａ），（ｂ）に示されるように、左端の基板６Ａに配置されたワイヤ層をＷ１とし、以降右側に隣接した基板６Ａに配置されたワイヤ層を順次Ｗ２，Ｗ３及びＷ４とする。これらのワイヤ層Ｗ１～Ｗ４は、それぞれ周方向の位相が異なるように配置されるようになっている。よって、それぞれのワイヤ層Ｗ１～Ｗ４は、基板６Ａの貫通孔８の周縁部８ａよりも内径側に突出したワイヤ層、例えば図５（ｂ）のワイヤ層Ｗ１，Ｗ３，Ｗ４や、あるいは周縁部８ａよりも外径側にて基板６Ａ同士の間に位置したワイヤ層、例えば図５（ｂ）のワイヤ層Ｗ２により、径方向に凹凸状のラビリンス流路が形成されるようになっている。

【0027】

図４に示されるように、ワイヤシール１に形成されている貫通孔８に回転軸２が挿通された状態で、回転軸２とワイヤ層Ｗの最も内径側に配設されているワイヤ９は、回転軸２の周面２ａに近接しているものの、僅かに離間して配設されるようになっている。後述するが、回転軸２が振動やブレを生じワイヤ９と接触しても、接触箇所が破損し難いようになっている。

【0028】

図４におけるＡ－Ａ断面図である図５（ａ）を参照して説明すると、ワイヤシール１の左端側のワイヤ層Ｗ１が回転軸２の周面２ａに最も近接して配置されている。ここで機内Ｈ側（図示左側）のハウジング３と回転軸２との間の被密封流体Ｒは、大気Ｌ側（図示右側）よりも高い圧力である。

【0029】

次に、機内Ｈ側の流体Ｒのシールについて説明する。例えば図５（ａ）に示されるように、回転軸２の周面２ａに最も近接したワイヤ層Ｗ１は、機内Ｈ側の流体Ｒの大気Ｌ側への進行を遮り、当該ワイヤ層Ｗ１の周方向または径方向へ分岐させるようになっている。なお、各ワイヤ層Ｗが、ワイヤ９を径方向に巻回させた集合体であることから、微量の流体Ｒがこれらのワイヤ９同士の間を通過することで流体Ｒの圧力を低下させることができ、シール性を確保することができる。

【0030】

また、例えば、図４におけるＢ－Ｂ断面図である図５（ｂ）を参照して説明すると、ワイヤシール１の右端側のワイヤ層Ｗ４が回転軸２の周面２ａに最も近接して配置されている。機内Ｈ側の最も周縁部８ａ近傍に位置する流体Ｒ１は、周縁部８ａよりも僅かに内径側に配置された左端のワイヤ層Ｗ１に接触することによって、その圧力が低下するとともに、ワイヤ層Ｗ１の周方向または径方向へ分岐されるようになっている。

【0031】

また、流体Ｒ１よりも内径側の流体Ｒ２は、ワイヤ層Ｗ１よりも内径側に配置されているワイヤ層Ｗ３に接触することによって、圧力が低下し周方向または径方向へ分岐されるようになっている。分岐した流体Ｒ１，Ｒ２の一部は、ワイヤ層Ｗ２が配置されている基板６Ａ，６Ａ間に形成されている凹部１１内や、ワイヤ層Ｗ３，Ｗ４間に形成されている凹部１２内に流入され、更に流体圧力が低下するようになっている。すなわちこれらの凹部１１、１２は、上述したラビリンス流路を構成している。

【0032】

また、流体Ｒ２よりも内径側の流体Ｒ３と、ラビリンス流路によって流体圧力が低下した流体Ｒ１，Ｒ２は、回転軸２の周面２ａに最も近接して配置されているワイヤ層Ｗ４によって、シールされるようになっている。

【0033】

このように、回転部としての回転軸２の外周を囲む静止部としてのハウジング３に取り付けられ、ハウジング３と回転軸２との間の流体Ｒをシールするシール機構としてのワイヤシール１であって、ワイヤシール１は、回転軸２が挿通される貫通孔８が形成された基体６と、基体６に配設される線材としてのワイヤ９、を備え、ワイヤ９は、貫通孔８の複数箇所を横切るように基体６に架け渡されていることから、貫通孔８の複数箇所を横切るように架け渡されたワイヤ９の胴部９Ａによって、貫通孔８内を進入する流体Ｒの流路を遮ることができるため、流体の圧力降下を生じさせ、流体をシールすることができる。

【0034】

また、ワイヤ９は、軸方向に複数積層されていることから、軸方向にワイヤ９の胴部９Ａによる複数の層が形成され、流体のシール性を高めることができる。

【0035】

また、軸方向に積層された複数のワイヤ９は、周方向の位相が互いに異なるように配置されていることから、周方向の位相が互いに異なるように積層された複数のワイヤ９によって、回転軸２とハウジング３の間に、流体を回りこませるラビリンスを形成させることができる。

【0036】

また、ワイヤ９は、基体６に径方向に複数回巻回されていることから、ワイヤ９が径方向に巻回され、回転軸２とハウジング３との間隙を埋めることができ、シール性を高めることができる。

【0037】

更に、図６に示されるように、回転軸２が意図しない振動により、瞬間的に所定位置から径方向へ移動された場合、回転軸２が最も内径側に配設されたワイヤ層Ｗに接触することとなる。接触されたワイヤ層Ｗは、径方向に複数回巻回されており張力を備える構造から、下方のワイヤ９が左右に移動され振動することになり、破損し難くなっている。また、線材を径方向に複数回巻回させた構造から、弾性を備えており、回転軸２によって変形された形状を戻そうとするので、回転軸２を所定位置へ押し戻そうとし、元の径方向に積層されたワイヤ層Ｗの形状に戻るようになっている。

【0038】

また、基体６は、複数の基板６Ａが重ね合わされることで構成されていることから、複数の基板６Ａを重ね合わせることで、基体６の厚みを設計し易い。

【0039】

また、ワイヤ９は、基板６Ａに巻回されているので、ワイヤ９を基板６Ａに対して密に配置させることができる。

【0040】

また、基板６Ａに、複数のピン部材としてのピン７ａ～７ｈが立設されており、ピン７ａ～７ｈにワイヤ９が巻回されることから、ワイヤ９を各ピンに強固に巻回させることができ、ピン７ａ～７ｈを基板間のスペーサとしても機能させることができる。

【実施例0041】

次に、本発明に係るワイヤシールの実施例２について、図７、図８を参照して説明する。尚、前記実施例１に示される構成部分と同一構成部分については同一符号を付して重複する説明を省略する。

【0042】

図７に示されるのは、実施例２における基板２２であり、基板２２には、中央に真円状の貫通孔８が形成されており、基板２２は、円環状の枠部２７と、該枠部２７に立設されたピン１７ａ～１７ｈ及びピン１８ａ～１８ｈと、から構成されている。

【0043】

枠部２７に立設されているピン１７ａ～１７ｈ及びピン１８ａ～１８ｈは、貫通孔８の周縁部８ａ近傍の同心円上の位置に、周方向に等間隔で互いに離間して本実施例では計１６本が構成されている。これらのピン１７ａ～１７ｈ及びピン１８ａ～１８ｈは、互いに同じ形状であって、その立設寸法は、ワイヤ９の径の４倍の寸法若しくはそれよりも僅かに大寸に形成されている。

【0044】

ワイヤ９は、枠部２７に立設されている複数のピン１７ａ～１７ｈ及びピン１８ａ～１８ｈのうち選択された一部のピンに沿って巻回される。具体的には一層目としてピン１８ａ、ピン１８ｃ、ピン１８ｅ、ピン１８ｇを経ることで巻回数に応じて貫通孔８の内外に亘って径方向に厚みのある上面視略正方形のワイヤ層Ｗが形成され、その形成されたワイヤ層Ｗの上面に、二層目としてピン１７ａ、ピン１７ｃ、ピン１７ｅ、ピン１７ｇを経てワイヤ層Ｗを形成させる。同様に、三層目として、ピン１８ｈ、ピン１８ｂ、ピン１８ｄ、ピン１８ｆを経てワイヤ層Ｗを下方側のワイヤ層Ｗに重ね合わせるように形成させ、最後に、４層目としてピン１７ｈ、ピン１７ｂ、ピン１７ｄ、ピン１７ｆを経て、一枚の基板２２に対して４層のワイヤ層Ｗを形成させる。

【0045】

実施例２の基体２４は、１枚の基板２２と蓋板２３とから構成されており、ワイヤ９が上述したように基体２４に巻回されることでワイヤシール２１として機能させることができるようになっている。図８に示されるように、ワイヤシール２１をハウジング３の内周部３ａに形成された段部５に、スナップリング４を配設し、段部５とスナップリング４とで挟持させることにより、固定状態で配設させることができる。

【0046】

また、ワイヤシール２１を軸方向に複数重ね合わせて配設させてもよく、この場合、流体のシール性を向上させることができる。

【0047】

以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。

【0048】

例えば、前記実施例では、４枚の基板６Ａを２２．５度ずつ傾斜させて、貫通孔８に略円形状を成すワイヤ層を形成させることとして説明したが、これに限らず、例えば、８枚の基板を用いて、それぞれ１１．２５度ずつ傾斜させ、貫通孔８に略円形状を成すワイヤ層を形成させることとしてもよい。

【0049】

また、前記実施例では、ワイヤ９の一方端部９ａをピン７ｇにスポット溶接させ、他方端部９ｂを隣接するワイヤ９にスポット溶接することとして説明したが、これに限らず、例えば、図７に示される変形例のように、ワイヤ９の一方端部９ａをピン７ｇにスポット溶接させ、ピン７ａ，７ｃ，７ｅ，７ｇに巻回させた後、巻回させたそれぞれのピンから外方側に向けて帯状に溶接し、巻回されているワイヤ９を溶接することとしてもよい。この場合、摩擦により内径側のワイヤ９が一部破断したとしても、ワイヤ９の張力が失われること無く継続して使用できる。

【0050】

また、前記実施例では、ワイヤ９を基板６Ａに立設されているピン７ａ，７ｃ，７ｅ，７ｇに巻回させ、上面視略四角形状にワイヤ層Ｗを形成させることとして説明したが、これに限らず、例えば、上面視略三角形状や、上面視略六角形状に巻回させ、基板Ａを複数重合させることで、上面視略円形のワイヤ層を形成させることとしてもよい。

【0051】

また、前記実施例では、ワイヤ９を各ピンに対して複数回巻回させていたが、これに限らず、例えば、ワイヤを１回のみ巻回させることとしてもよい。

【0052】

また、前記実施例では、ワイヤ９を各ピンに対して巻回させることとしたが、巻回は必須ではなく、貫通孔が形成されている周縁部に直線状のワイヤを溶接することとしてもよい。

【0053】

また、前記実施例では、断面形状略真円のワイヤ９を使用していたが、これに限られず、断面形状楕円径状や、角形状、偏平形状を成したワイヤを使用することとしてもよい。

【0054】

また、前記実施例では、ワイヤシール１，２１を、回転軸２に対して非接触のシール機構として説明したがこれに限られず、接触型のシール機構として使用してもよい。