特開 2022-30409 マイクロ波照射装置、及びマイクロ波照射方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022030409

(43)【公開日】2022-02-18

(54)【発明の名称】マイクロ波照射装置、及びマイクロ波照射方法

(51)【国際特許分類】

   H05B 6/70 20060101AFI20220210BHJP

【ＦＩ】

H05B6/70 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020134438

(22)【出願日】2020-08-07

(71)【出願人】

【識別番号】508067736

【氏名又は名称】マイクロ波化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115749

【弁理士】

【氏名又は名称】谷川 英和

(74)【代理人】

【識別番号】100121223

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 悟道

(72)【発明者】

【氏名】植村 和史

(72)【発明者】

【氏名】金城 隆平

(72)【発明者】

【氏名】塚原 保徳

(72)【発明者】

【氏名】今泉 卓三

(72)【発明者】

【氏名】芝 尚紀

【テーマコード（参考）】

3K090

【Ｆターム（参考）】

3K090AA02

3K090AB11

3K090BA01

3K090CA02

3K090NB04

3K090NB07

(57)【要約】

【課題】マイクロ波の照射対象物の所定の箇所を効率よく加熱することができるマイクロ波照射装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波照射装置１は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器１１と、マイクロ波発生器１１からのマイクロ波を伝送するための導波管１２であって、導波管１２の長手方向に直交する断面が導波管１２の先端の開口に向かって徐々に小さくなるテーパ部２２を有する導波管１２と、テーパ部２２の先端を通過するようにマイクロ波の照射対象物３を移動させる移動部１３と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器と、
前記マイクロ波発生器からのマイクロ波を伝送するための導波管であって、前記導波管の長手方向に直交する断面が前記導波管の先端に向かって小さくなるテーパ部を有する導波管と
を備えたマイクロ波照射装置。

【請求項2】

前記テーパ部の先端を通過するようにマイクロ波の照射対象物を移動させる移動部をさらに備える、請求項１記載のマイクロ波照射装置。

【請求項3】

前記移動部は、前記導波管内の前記マイクロ波の照射対象物を当該導波管の長手方向に移動させ、前記開口から外部に移動させる、請求項２記載のマイクロ波照射装置。

【請求項4】

前記マイクロ波の照射対象物は、長尺である、請求項３記載のマイクロ波照射装置。

【請求項5】

前記テーパ部は、当該テーパ部の長手方向に直交する方向の矩形状の断面における短辺が前記開口に向かって短くなるように形成されている、請求項１から請求項４のいずれか記載のマイクロ波照射装置。

【請求項6】

前記導波管は、
前記テーパ部と、
前記マイクロ波発生器に一端が接続され、他端が前記テーパ部に接続される本体部と
を有する、請求項１から請求項５のいずれか記載のマイクロ波照射装置。

【請求項7】

前記本体部は、前記照射対象物を前記導波管内に移動させるための開口を有する、請求項６記載のマイクロ波照射装置。

【請求項8】

前記テーパ部の長さは、前記導波管内を伝搬する周波数のマイクロ波に関する自由空間波長の２倍以上である、請求項１から請求項７記載のマイクロ波照射装置。

【請求項9】

マイクロ波を発生させるステップと、
前記マイクロ波を伝送するための導波管であって、前記導波管の長手方向に直交する断面が前記導波管の先端の開口に向かって小さくなるテーパ部を有する導波管における前記テーパ部の先端を通過するようにマイクロ波の照射対象物を移動させるステップと
を含むマイクロ波照射方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マイクロ波の照射対象物にマイクロ波を照射するためのマイクロ波照射装置、及びマイクロ波照射方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、樹脂シートをプレートヒータによって加熱した後に、ローラで圧延することが行われていた（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－３４５２１６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記従来例では、ローラで樹脂シートを圧延する直前に加熱することが困難であった。一般的にいえば、加熱工程から次の工程までの所要時間を短縮することが困難であるという問題があった。

【0005】

本発明は、上記状況に応じてなされたものであり、その第１の目的は、対象物を加熱してから次の工程までの所要時間を短縮することができるマイクロ波照射装置及びマイクロ波照射方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するため、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器と、マイクロ波発生器からのマイクロ波を伝送するための導波管であって、導波管の長手方向に直交する断面が導波管の先端に向かって小さくなるテーパ部を有する導波管とを備えたものである。

【0007】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、テーパ部の先端を通過するようにマイクロ波の照射対象物を移動させる移動部をさらに備えてもよい。

【0008】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、移動部は、導波管内のマイクロ波の照射対象物を導波管の長手方向に移動させ、開口から外部に移動させてもよい。

【0009】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、マイクロ波の照射対象物は、長尺であってもよい。

【0010】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、テーパ部は、テーパ部の長手方向に直交する方向の矩形状の断面における短辺が開口に向かって短くなるように形成されていてもよい。

【0011】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、導波管は、テーパ部と、マイクロ波発生器に一端が接続され、他端がテーパ部に接続される本体部とを有してもよい。

【0012】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、本体部は、照射対象物を導波管内に移動させるための開口を有してもよい。

【0013】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射装置では、テーパ部の長さは、導波管内を伝搬する周波数のマイクロ波に関する自由空間波長の２倍以上であってもよい。

【0014】

また、本発明の一態様によるマイクロ波照射方法は、マイクロ波を発生させるステップと、マイクロ波を伝送するための導波管であって、導波管の長手方向に直交する断面が導波管の先端の開口に向かって小さくなるテーパ部を有する導波管におけるテーパ部の先端を通過するようにマイクロ波の照射対象物を移動させるステップとを含むものである。

【発明の効果】

【0015】

本発明の一態様によるマイクロ波照射装置及びマイクロ波照射方法によれば、導波管の先端に向かって断面を小さくしてマイクロ波を集中して照射可能とすることによって、対象物の一部の箇所を先端近傍で効率よく加熱することができる。そのため、対象物を加熱してから次の工程までの所要時間を短縮するができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の実施の形態によるマイクロ波照射装置の構成を示す模式図

【図2】同実施の形態におけるテーパ部及びマイクロ波の照射対象物を示す斜視図

【図3】同実施の形態における移動部の構成を示す模式図

【図4A】同実施の形態におけるテーパ部の長手方向に垂直な断面を示す断面図

【図4B】同実施の形態におけるテーパ部の長手方向に垂直で図４Ａよりも先端側の断面を示す断面図

【図5】同実施の形態におけるシミュレーション結果を示す図

【図6】同実施の形態におけるシミュレーション結果を示す図

【図7A】同実施の形態におけるテーパ部の他の一例を示す模式図

【図7B】同実施の形態におけるテーパ部の他の一例を示す模式図

【図8】同実施の形態におけるテーパ部の他の一例を示す模式図

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明によるマイクロ波照射装置、及びマイクロ波照射方法について、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素は同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。本実施の形態によるマイクロ波照射装置は、導波管に設けられたテーパ部の先端においてマイクロ波の照射対象物にマイクロ波を集中的に照射するものである。

【0018】

図１は、本実施の形態によるマイクロ波照射装置１の構成を示す模式図である。図２は、テーパ部２２及びマイクロ波の照射対象物３を示す斜視図である。図３は、移動部１３の構成を示す模式図である。

【0019】

本実施の形態によるマイクロ波照射装置１は、マイクロ波発生器１１と、マイクロ波発生器１１に本体部２１が接続される本体部２１及びテーパ部２２を有する導波管１２とを備え、さらに移動部１３を備えることができる。マイクロ波照射装置１は、少なくとも導波管１２が有するテーパ部２２の先端において、マイクロ波の照射対象物３（以下、「対象物３」と呼ぶこともある。）にマイクロ波を照射して加熱するものである。

【0020】

対象物３は、長尺のもの、すなわち、シート状、板状、紐状、棒状などの一方向に延びたものである。換言すれば、対象物３は、長手方向の長さが、幅方向の長さよりも長いものである。なお、シート状または紐状の対象物３は柔軟性を有していてもよく、板状または棒状の対象物３は柔軟性を有していなくてもよい。また、対象物３は、シート状、板状、紐状、棒状などの一方向に延びた成形品を製造するための材料であってもよく、化学反応の材料であってもよく、乾燥の対象となるものであってもよく、マイクロ波の照射の対象となるその他のものであってもよい。なお、本実施の形態では、対象物３がシート状のものである場合について主に説明する。

【0021】

通常、対象物３へのマイクロ波の照射は、対象物３を移動させながら、すなわち連続式で行われる。なお、対象物３は、継続的に移動していてもよく、移動と停止とを繰り返してもよい。

【0022】

対象物３へのマイクロ波の照射は、例えば、対象物３を軟化させるために行われてもよく、対象物３の融解、昇華、または蒸発のために行われてもよく、対象物３の反応のために行われてもよく、対象物３の焼成のために行われてもよく、対象物３の殺菌のために行われてもよく、その他の用途のために行われてもよい。対象物３の反応は、例えば、化学反応であってもよい。本実施の形態では、マイクロ波を照射することによって、熱可塑性のシート状の対象物３を軟化させる場合について主に説明する。対象物３へのマイクロ波の照射は、例えば、常圧、減圧下、または加圧下で行われてもよい。また、マイクロ波の照射は、例えば、空気、または不活性ガスの気流下で行われてもよく、または、そうでなくてもよい。不活性ガスは、例えば、ヘリウム、アルゴンなどの希ガス、または窒素であってもよい。

【0023】

マイクロ波発生器１１は、マイクロ波を発生させる。マイクロ波発生器１１は、例えば、マグネトロン、クライストロン、ジャイロトロンなどを用いてマイクロ波を発生させてもよく、半導体素子を用いてマイクロ波を発生させてもよい。マイクロ波の周波数は、例えば、９１５ＭＨｚ、２．４５ＧＨｚ、５．８ＧＨｚ、２４ＧＨｚであってもよく、その他の３００ＭＨｚから３００ＧＨｚの範囲内の周波数であってもよい。また、マイクロ波の強度は、図示しない制御部によって適宜、制御されてもよい。その制御は、例えば、対象物３の温度、対象物３の水分量などのセンシング結果を用いたフィードバック制御であってもよい。

【0024】

導波管１２は、マイクロ波発生器１１からのマイクロ波を伝送するものであり、一端がマイクロ波発生器１１に接続された本体部２１と、本体部２１のマイクロ波発生器１１と反対側の端部に接続されたテーパ部２２とを有する。導波管１２は、中空導波管であってもよい。

【0025】

本体部２１は、一実施形態において、長手方向に直交する断面が矩形状である方形導波管である。なお、図１に示されるように、一部が折れ曲がっていてもよく、または直線状であってもよい。一部が折れ曲がっている場合には、本体部２１は、例えば、直線導波管とコーナ導波管とを組み合わせることによって構成されてもよい。また、本体部２１は通常、断面が矩形状である矩形導波管であるが、断面が円形状である円形導波管を一部に含んでいてもよい。テーパ部２２の長手方向に直交する断面は矩形状であるため、円形導波管を有する本体部２１は、テーパ部２２との接続箇所では断面が矩形状となるように、円形導波管を方形導波管に変換するための変換導波管を有してもよい。

【0026】

テーパ部２２は、導波管１２の長手方向または導波方向に直交する断面が導波管１２の先端の開口２４に向かって徐々に小さくなる導波管である。すなわち、テーパ部２２は、対向する一対のテーパ面２２ａを有しており、マイクロ波発生器１１側から先端に向かって先細りになっている。先端とは、導波管１２のマイクロ波発生器１１と反対側の端部のことである。図４Ａは、図１におけるIVＡ－IVＡ線断面図であり、図４Ｂは、図１におけるIVＢ－IVＢ線断面図である。テーパ部２２は、例えば、図２、図４Ａ、図４Ｂで示されるように、テーパ部２２の長手方向に直交する方向の矩形状の断面における短辺が先端の開口２４に向かって徐々に短くなり、矩形状の断面における長辺の長さは変化しないように形成されていてもよい。なお、後述するように、矩形状の断面における長辺も、先端の開口２４に向かって徐々に短くなってもよい。図４Ａ、図４Ｂで示されるように、テーパ部２２の長手方向に直交する断面における空間部分の断面積は、開口２４に向かって小さくなっており、テーパ部２２の長手方向に直交する断面における対向する一対のテーパ面２２ａの間隔も、開口２４に向かって小さくなっている。なお、一対のテーパ面２２ａのそれぞれの角度は、テーパ部２２の長手方向の長さに応じて変わることになる。本実施の形態では、このようにテーパ部２２が構成されている場合について主に説明し、それ以外の場合については後述する。

【0027】

テーパ部２２の長手方向の長さが短い場合には、図５のシミュレーション結果で示されるように、本体部２１からテーパ部２２に入射するマイクロ波の反射が大きくなり、テーパ部２２の先端の開口２４付近にマイクロ波が集中しないことになる。図５は、テーパ部２２の長手方向の長さと、テーパ部２２に導入されるマイクロ波の反射率との関係の電場解析のシミュレーション結果を示している。なお、当該シミュレーションでは、テーパ部２２の本体部２１側の開口の大きさを１０９．２×５４．６（ｍｍ）、テーパ部２２の先端の開口２４の大きさを１００×３．２（ｍｍ）、対象物３の長手方向に直交する断面の大きさを８０×３．０（ｍｍ）、対象物３の電気伝導率を１０００（Ｓ／ｍ）、マイクロ波の周波数を２．４５ＧＨｚとした。図５で示されるように、テーパ部２２の長さが長くなるに応じて、マイクロ波の反射率が低くなることがわかる。したがって、テーパ部２２の長手方向の長さは、例えば、導波管１２内を伝搬する周波数のマイクロ波に関する自由空間波長の２倍以上の長さであることが好適であり、３倍以上の長さであることがさらに好適である。周波数が２．４５ＧＨｚであるマイクロ波の自由空間波長の２倍は約２４５（ｍｍ）であるため、図５のシミュレーション結果から、テーパ部２２の長手方向の長さを、導波管１２内を伝搬する周波数のマイクロ波に関する自由空間波長の２倍以上の長さとすることによって、テーパ部２２におけるマイクロ波の反射率が５５％未満となり、テーパ部２２においてエネルギー効率のよいマイクロ波の照射を実現できることがわかる。図６は、テーパ部２２における対象物３によるマイクロ波の吸収に関するシミュレーション結果を示す図である。図６のシミュレーション結果において、シミュレーションの条件は、図５と同じにした。また、テーパ部２２の長さは４００（ｍｍ）とした。図６において、白いほど、より多くのマイクロ波が吸収されていることを示している。したがって、テーパ部２２の開口２４付近、換言すれば導波管１２の先端近傍において適切なマイクロ波の照射を実現できることがわかる。また、矩形状の開口２４の短手方向の長さは、対象物３と開口２４との間の隙間が小さくなるように決められてもよい。開口２４の短手方向の長さは、例えば、数ミリメートル程度であってもよい。また、テーパ部２２の各側面は、図２で示されるように、それぞれ平面であってもよい。

【0028】

本実施の形態では、導波管１２の内部を対象物３が移動するため、導波管１２に、対象物３を導入するための開口を有する導入部２３が設けられていてもよい。対象物３を導波管１２内に移動させるための開口は、本体部２１が有していてもよい。なお、導波管１２の内部のマイクロ波が外部に漏洩することを防止するため、導入部２３の開口には、チョーク構造などのマイクロ波の漏洩防止機構が設けられていてもよい。

【0029】

移動部１３は、テーパ部２２の先端を通過するように対象物３を移動させる。より具体的には、移動部１３は、導波管１２内の対象物３を導波管１２の長手方向に移動させ、開口２４から外部に移動させる。図１で示されるように、本体部２１が折れ曲がっている場合には、対象物３を導波管１２の長手方向に移動させるとは、対象物３を導波管１２の少なくとも一部において長手方向に移動させることであってもよい。導波管１２の内部から外部への対象物３の移動は、導波管１２の外部において、対象物３を開口２４から引き出すことによって行われてもよい。本実施の形態では、移動部１３が、カバー３０と、カバー３０内の一対の圧延ローラ３１，３２と、一対の圧延ローラ３１，３２を回転させる回転機構３３とを備える場合について主に説明する。

【0030】

カバー３０と、テーパ部２２の先端の開口２４との間からマイクロ波が漏洩しないように両者が接続されていることが好適である。例えば、カバー３０にも開口２４と同サイズの開口が設けられており、そのカバー３０の開口と、テーパ部２２の開口２４とが接続されていてもよい。カバー３０は、マイクロ波を透過しないもので構成されていることが好適である。カバー３０は、例えば、マイクロ波反射性の材料によって構成されてもよい。マイクロ波反射性の材料は、例えば、金属であってもよい。金属は、特に限定されるものではないが、例えば、ステンレス鋼、炭素鋼、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金などであってもよい。

【0031】

一対の圧延ローラ３１，３２は、開口２４から対象物３を引き出すと共に、対象物３を圧延する。対象物３は、テーパ部２２の先端の開口２４を通過する際に加熱され軟化されているため、圧延ローラ３１，３２によって容易に圧延することができる。例えば、圧延ローラ３１，３２によって、数ミリメートル程度の厚さのシート状の対象物３が数マイクロメートル程度の厚さに圧延されてもよい。

【0032】

回転機構３３は、図３で示されるように、ギヤ３３１，３３２，３３３と、モータ３３４とを有しており、一対の圧延ローラ３１，３２をそれぞれ回転させる。具体的には、ギヤ３３１は圧延ローラ３１と同軸に接続されており、ギヤ３３２は圧延ローラ３２と同軸に接続されており、両ギヤ３３１，３３２は噛み合っている。また、ギヤ３３２に噛み合うようにギヤ３３３が設けられており、ギヤ３３３はモータ３３４と同軸に接続されている。したがって、モータ３３４が回転駆動することによってギヤ３３３が回転され、ギヤ３３１，３３２が回転されることによって、圧延ローラ３１，３２がそれぞれ逆方向に回転され、対象物３が圧延される。なお、回転機構３３は、図３で示される以外の構成であってもよいことは言うまでもない。例えば、回転機構３３は、圧延ローラ３１，３２をそれぞれ回転させる２個の回転駆動手段を有していてもよい。また、モータ３３４の回転は、ギヤ以外の回転伝達手段、例えば、プーリとベルトとを用いて圧延ローラ３１，３２に伝達されてもよい。

【0033】

なお、移動部１３は、上記した以外の構成であってもよい。例えば、対象物３の圧延を行わなくてもよい場合には、移動部１３は、対象物３を挟んで搬送するための一対の搬送ローラと、その搬送ローラを回転させる回転機構とを有するものであってもよい。その搬送ローラは、例えば、図１と同様に、開口２４の下流側において対象物３を移動させてもよく、または、導入部２３の上流側において対象物３を移動させてもよい。

【0034】

また、テーパ部２２の開口２４と接続されているカバー３０の開口に、チョーク構造などのマイクロ波の漏洩防止機構が設けられていてもよい。また、そのマイクロ波の漏洩防止機構が設けられていない場合には、カバー３０から対象物３が出る箇所において、チョーク構造などのマイクロ波の漏洩防止機構が設けられていてもよい。また、テーパ部２２の先端の開口２４にマイクロ波の漏洩防止機構が設けられていてもよい。

【0035】

次に、本実施の形態によるマイクロ波照射装置１による対象物３へのマイクロ波の照射について簡単に説明する。まず、マイクロ波発生器１１によってマイクロ波を発生させる。また、移動部１３のモータ３３４による回転駆動を開始させ、一対の圧延ローラ３１，３２をそれぞれ回転させる。マイクロ波発生器１１によって発生されたマイクロ波は、導波管１２内を伝搬してテーパ部２２の先端側に進行する。導波管１２の導入部２３から導入されたシート状の対象物３は、導波管１２の本体部２１を通り、テーパ部２２に進む。そして、テーパ部２２の先端に集中しているマイクロ波が照射された対象物３は加熱されて軟化され、一対の圧延ローラ３１，３２によって圧延されてあらかじめ決められた厚さになる。このようにして圧延されたシート状の対象物３は、適宜、巻き取りローラなどによって巻き取られてもよい。このように、マイクロ波の照射、シート状の対象物３の移動が継続されることにより、順次、圧延シートが製造されることになる。圧延シートは、例えば、導電性を有するシートであってもよい。そのシートは、例えば、熱可塑性樹脂にカーボンが練り込まれたものであってもよい。なお、対象物３が紐状または棒状のものである場合には、移動部１３によって、複数の紐状または棒状の対象物３を平行して移動させてもよい。

【0036】

次に、本実施の形態によるマイクロ波照射装置１の変形例について説明する。

【0037】

［テーパ部の他の形状］
本実施の形態では、テーパ部２２が、長手方向に直交する方向の矩形状の断面の短辺が開口２４に向かって徐々に短くなり、断面の長辺の長さは変化しない図２で示される形状を有する場合について主に説明したが、そうでなくてもよい。図７Ａ、図７Ｂで示されるように、テーパ部２２の長手方向に直交する方向の矩形状の断面における長辺も、開口２４に向かって徐々に短くなるようにテーパ部２２が形成されていてもよい。なお、図７Ａは、本体部２１及びテーパ部２２の長手方向に直交する方向の断面における矩形の長辺の方向が紙面に垂直な方向となる図面であり、図７Ｂは、その断面における矩形の短辺の方向が紙面に垂直な方向となる図面である。また、その矩形状の断面における長辺について、短辺と同様に開口２４における長さを短くした場合には、テーパ部２２でのマイクロ波の反射が大きくなり、先端にまでマイクロ波が到達しないことになる。そのため、例えば、図７Ｂで示されるように、開口２４における長辺の長さは、導波管１２において伝送されるマイクロ波の管内波長の半分より短くならないことが好適である。すなわち、開口２４における長辺の長さは、マイクロ波の管内波長の半分以上の長さであることが好適である。一方、開口２４における短辺の長さについては、そのような制限はない。

【0038】

また、本実施の形態では、テーパ部２２において、矩形状の断面における短辺が開口２４に向かって徐々に短くなる際に、図１で示されるように矩形状の断面における長辺を有する対向する側面がそれぞれ均等に傾斜する場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、図８で示されるように、テーパ部２２において、矩形状の断面における短辺が開口２４に向かって徐々に短くなる際に、矩形状の断面における長辺を有する対向する側面の一方のみが傾斜してもよく、その対向する側面が不均等に傾斜してもよい。なお、図８は、本体部２１及びテーパ部２２の長手方向に直交する方向の断面における矩形の長辺の方向が紙面に垂直な方向となる図面である。また、矩形状の断面における短辺を有する対向する側面が傾斜する際にも同様である。

【0039】

以上のように、本実施の形態によるマイクロ波照射装置１によれば、テーパ部２２の先端において集中したマイクロ波を、対象物３に照射することができる。したがって、対象物３のうち、テーパ部２２の先端に局所的に集中してマイクロ波を照射して効率よく加熱することができる。その結果、加熱工程から次の工程、例えば、圧延工程までの所要時間を短縮することができる。また、対象物３が導波管１２の内部を移動する場合には、テーパ部２２の導波管１２内においても、対象物３にマイクロ波を照射することができるようになる。したがって、対象物３が開口２４に到達する前においてもある程度は加熱することができる。例えば、開口２４の手前側においても、対象物３を予備加熱することができるようになる。また、開口２４を通過する際に、集中してマイクロ波を照射することができ、集中的な加熱を行うことができる。さらに、対象物３が開口２４を通過するように構成することによって、マイクロ波の反射率のより高い対象物３、例えば、導電性を有する対象物３についても加熱を行うことができるようになる。

【0040】

また、マイクロ波によって対象物３を加熱するため、効率よく対象物３を加熱することができ、電気ヒータなどを用いて加熱して圧延シートを製造する場合と比較して省エネルギー化を実現することもできる。

【0041】

また、移動部１３が一対の圧延ローラ３１，３２と回転機構３３とを有する場合には、テーパ部２２の先端の開口２４を通過する際に加熱された対象物３を圧延することができ、例えば、薄膜状の圧延シートを製造することができる。また、圧延シートの製造において、省エネルギー化を実現できる。

【0042】

なお、本実施の形態では、導波管１２が本体部２１を有する場合について説明したが、テーパ部２２のみを有することも考えられる。その場合には、テーパ部２２の大きい方の開口にマイクロ波発生器１１が接続されてもよい。

【0043】

また、本実施の形態では、マイクロ波照射装置１が移動部１３を有する場合について説明したが、そうでなくてもよい。対象物３は、マイクロ波照射装置１の外部の移動部によって移動されてもよい。

【0044】

また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0045】

１ マイクロ波照射装置
３ マイクロ波の照射対象物
１１ マイクロ波発生器
１２ 導波管
１３ 移動部
２２ テーパ部
３１、３２ 圧延ローラ
３３ 回転機構

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7A】

【図7B】

【図8】