特開 2022-30682 測定用ソケット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022030682

(43)【公開日】2022-02-18

(54)【発明の名称】測定用ソケット

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/26 20200101AFI20220210BHJP

【ＦＩ】

G01R31/26 J

【審査請求】有

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020134846

(22)【出願日】2020-08-07

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2021-02-17

(71)【出願人】

【識別番号】312014155

【氏名又は名称】株式会社ＳＤＫ

(74)【代理人】

【識別番号】100135183

【弁理士】

【氏名又は名称】大窪 克之

(74)【代理人】

【識別番号】100180976

【弁理士】

【氏名又は名称】野村 一郎

(72)【発明者】

【氏名】扇浦 徹哉

【テーマコード（参考）】

2G003

【Ｆターム（参考）】

2G003AA06

2G003AG01

2G003AG12

2G003AG16

(57)【要約】

【課題】電子光学部品を正確に位置決めして確実な導通および光軸合わせを行うことができる測定用ソケットを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、押圧部材を基準壁の方向に付勢する付勢手段と、ベースに被せられるカバーの動作に基づき付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を付勢手段に付与可能な規制部材と、を備え、カバーが開くことで規制部材によって規制力が付勢手段に与えられて押圧部材を基準壁から離す方向に移動させ、カバーが閉じるときには、カバーとベースとの相対距離に応じて規制力が減衰されて、付勢手段の付勢力によって押圧部材を基準壁に近づく方向に移動させる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、
前記電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、
前記電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、
前記押圧部材を前記基準壁の方向に付勢する付勢手段と、
前記ベースに被せられるカバーの動作に基づき前記付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を前記付勢手段に付与可能な規制部材と、
を備え、
前記カバーが開くことで前記規制部材によって前記規制力が前記付勢手段に与えられて前記押圧部材を前記基準壁から離す方向に移動させ、
前記カバーが閉じる動作に応じて前記規制力が減衰されて、前記付勢手段の付勢力によって前記押圧部材を前記基準壁に近づく方向に移動させることを特徴とする測定用ソケット。

【請求項2】

前記カバーと前記ベースとの相対距離と前記規制力の程度との関連性を設定する規制力制御手段を備える、請求項１に記載の測定用ソケット。

【請求項3】

前記規制力制御手段は、前記カバーの動作と連動して前記規制部材を駆動するリンクを有する、請求項２に記載の測定用ソケット。

【請求項4】

前記カバーが開くときに前記規制部材を介して前記規制力を前記付勢手段に与えるための弾性部材を有し、
前記弾性部材の弾性変形が少ないときほど前記規制部材から前記付勢手段に大きな前記規制力を付与する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定用ソケット。

【請求項5】

前記カバーを被せることで前記カバーの前記ベースとの対向面に設けられた作用部によって前記押圧部材が押圧され、
前記作用部は、
前記付勢手段と、
前記規制部材と、
前記付勢手段の付勢力を前記押圧部材に駆動力として伝達する伝達手段と、を備え、
前記押圧部材は前記伝達手段から受けた駆動力に基づき前記電子光学部品を押圧する、請求項１または請求項２に記載の測定用ソケット。

【請求項6】

前記押圧部材は環状体を備え、前記環状体の環内に前記電子光学部品が挿通され、
前記伝達手段は、前記環状体の内周が前記電子光学部品に近接する向きの駆動力を、前記押圧部材に与える、請求項５に記載の測定用ソケット。

【請求項7】

前記作用部は筐体をさらに備え、
前記規制部材と前記伝達手段との接触部は前記筐体の内部に位置する、請求項５または請求項６に記載の測定用ソケット。

【請求項8】

前記付勢手段と前記伝達手段との接触部は前記筐体の内部に位置する、請求項７に記載の測定用ソケット。

【請求項9】

前記付勢手段は前記筐体の内部に位置する、請求項７または請求項８に記載の測定用ソケット。

【請求項10】

前記カバーは、前記ベースに対して回動可能に支持され、
前記押圧部材および前記リンクは前記ベースに設けられ、
前記カバーの回動動作に連動して前記リンクは進退動作するように設けられた、請求項３に記載の測定用ソケット。

【請求項11】

前記カバーは、前記ベースに対して回動可能に支持され、
前記規制力制御手段は、前記カバーの回動軸に設けられた偏心カムを有し、
前記カバーの動作と同期する前記偏心カムの動作によって前記規制力を変化させる、請求項２記載の測定用ソケット。

【請求項12】

前記ベースと前記カバーとの間に設けられ前記ベースに対して回動可能に支持されたセンターカバーをさらに備え、
前記規制力制御手段は、前記センターカバーの回動軸に設けられた偏心カムを有し、
前記センターカバーの動作と同期する前記偏心カムの動作によって前記規制力を変化させる、請求項２記載の測定用ソケット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電子光学部品の導通検査や特性測定などを行う際に用いられる測定用ソケットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ＩＣ等の電子部品の電気的な測定を行う際に用いられる測定用ソケット（以下、単に「ソケット」とも言う。）として、電子部品を一方向に押圧して位置決めするソケットが開示されている。例えば、特許文献１では、ＩＣパッケージの表面を押圧して位置決めを行う半導体装置用ソケットが開示される。

【0003】

また、特許文献２には、ソケットカバーの電気部品を押圧する押圧動作に伴って操作され、収容部に収容された電気部品の位置決め部と反対側の隅角部にて直交する側面にそれぞれ点接触し、電気部品を位置決め部に対して片寄せする片寄せ手段を備えた電気部品用ソケットが開示される。

【0004】

また、特許文献３には、ソケット本体に、電気部品が押圧部材で押圧される前に、載置部の周縁部の一部に設けられた固定ガイド部に当接される電気部品の側面と反対側の側面を固定ガイド部の方向に押し、電気部品を固定ガイド部に当接させて所定の載置位置に位置決めする手段を備えた電気部品用ソケットが開示される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１１－０２３１６４号公報

【特許文献2】特開２００５－０６１９４８号公報

【特許文献3】特開２００４－２９６１５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、電子光学部品の測定においては、電気的な測定とともに光学的な測定も行う必要があることから、測定用ソケットには、電子光学部品に設けられたパッドやコネクタとの的確なコンタクトと、光学軸の正確な位置合わせとの両立が求められる。特に、電子光学部品を押圧して基準位置に合わせる場合、押圧の仕方によっては光学軸の傾きや位置ずれが発生することもあり、電子光学部品の押圧の重要性が高まっている。

【0007】

本発明は、電子光学部品を正確に位置決めして確実な導通および光軸合わせを行うことができる測定用ソケットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するため、本発明の一態様は、電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、押圧部材を基準壁の方向に付勢する付勢手段と、ベースに被せられるカバーの動作に基づき付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を付勢手段に付与可能な規制部材と、を備え、カバーが開くことで規制部材によって規制力が付勢手段に与えられて押圧部材を基準壁から離す方向に移動させ、カバーが閉じる動作に応じて規制力が減衰されて、付勢手段の付勢力によって押圧部材を基準壁に近づく方向に移動させる。

【0009】

このような構成によれば、押圧部材を基準壁の方向に付勢する付勢手段の付勢力と、カバーの動作に基づき規制部材から付勢手段に与えられる規制力とのバランスによって電子光学部品を基準壁に押し当てる押圧力を設定することができる。カバーが閉じるほど規制力は減衰されるため、カバーを閉じた状態では優勢となった付勢力によって安定して電子光学部品を押圧することができる。

【0010】

上記測定用ソケットにおいて、カバーとベースとの相対距離と規制力の程度との関連性を設定する規制力制御手段を備えることが好ましい。このように、規制力制御手段によって規制力を制御することで、カバーとベースとの相対距離と付勢力の程度との関係を任意に設定できる。電子光学部品は精密部品なので、過度に押圧されると破損してしまうおそれもある。付勢力に対して常に規制力を作用させることで、付勢力による押圧の程度を適切に調整できる。

【0011】

上記測定用ソケットにおいて、規制力制御手段は、カバーの動作と連動して規制部材を駆動するリンクを有していてもよい。これにより、リンクの作用によってカバーの動作に連動した規制力を設定することができる。

【0012】

上記測定用ソケットにおいて、カバーが開くときに規制部材を介して規制力を付勢手段に与えるための弾性部材を有し、弾性部材の弾性変形が少ないときほど規制部材から付勢手段に大きな規制力を付与するようになっていてもよい。これにより、弾性部材がよりフリーな状態のときに規制力を付与しているため、規制力を高めやすい。

【0013】

上記測定用ソケットにおいて、カバーを被せることでカバーのベースとの対向面に設けられた作用部によって押圧部材が押圧されるようになっていてもよい。作用部は、付勢手段と、規制部材と、付勢手段の付勢力を押圧部材に駆動力として伝達する伝達手段と、を備え、押圧部材は伝達手段から受けた駆動力に基づき電子光学部品を押圧する。これにより、付勢手段、規制部材および伝達手段を含む作用部によって構成の簡素化を図ることができる。

【0014】

上記測定用ソケットにおいて、押圧部材は環状体を備え、環状体の環内に電子光学部品が挿通され、伝達手段は、環状体の内周が電子光学部品に近接する向きの駆動力を押圧部材に与えるようになっていてもよい。これにより、環状体の内周を電子光学部品に押し当てることで２方向同時に安定して押圧することができる。

【0015】

上記測定用ソケットにおいて、作用部は筐体をさらに備え、規制部材と伝達手段との接触部が筐体の内部に位置するようになっていてもよい。また、上記測定用ソケットにおいて、付勢手段と伝達手段との接触部が筐体の内部に位置するようになっていてもよいし、付勢手段が記筐体の内部に位置するようになっていてもよい。このように、押圧部材を動作させるにあたりキーとなる部分を筐体の内部に入れることにより、構成の簡素化および動作安定性を確保することができる。

【0016】

上記測定用ソケットにおいて、カバーは、ベースに対して回動可能に支持され、押圧部材およびリンクはベースに設けられ、カバーの回動動作に連動してリンクが進退動作するように設けられていてもよい。これにより、リンクの作用によってカバーの回動に連動した規制力を設定することができる。

【0017】

上記測定用ソケットにおいて、カバーは、ベースに対して回動可能に支持され、規制力制御手段は、カバーの回動軸に設けられた偏心カムを有し、カバーの動作と同期する偏心カムの動作によって規制力を変化させるようになっていてもよい。このように、規制力制御手段として偏心カムを用いることにより、装置構成の小型化を図ることができる。

【0018】

上記測定用ソケットにおいて、ベースとカバーとの間に設けられ、ベースに対して回動可能に支持されたセンターカバーをさらに備え、規制力制御手段は、センターカバーの回動軸に設けられた偏心カムを有し、センターカバーの動作と同期する偏心カムの動作によって規制力を変化させるようになっていてもよい。これにより、センターカバーの動作に連動して偏心カムを動作させて電子光学部品を押圧することができる。

【発明の効果】

【0019】

本発明によれば、電子光学部品を正確に位置決めして確実な導通および光軸合わせを行うことができる測定用ソケットが提供される。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】第１実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図（その１）である。

【図2】第１実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図（その２）である。

【図3】測定対象の電子光学部品を例示する斜視図である。

【図4】第１実施形態に係る測定用ソケットを例示する平面図である。

【図5】第１実施形態に係る測定用ソケットの例示する一部省略平面図である。

【図6】第２実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図である。

【図7】押圧部材の拡大斜視図である。

【図8】（ａ）から（ｃ）は、第２実施形態に係る測定用ソケットの動作を説明する模式断面図である。

【図9】第３実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図である。

【図10】第３実施形態に係る測定用ソケットのベース側を例示する斜視図である。

【図11】第３実施形態に係る測定用ソケットのカバー側を例示する斜視図である。

【図12】第３実施形態に係る測定用ソケットのカバー側を例示する平面図である。

【図13】環状体を例示する斜視図である。

【図14】作用部を例示する斜視図である。

【図15】コンタクト装置を例示する模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。

【0022】

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図（その１）である。
図２は、第１実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図（その２）である。
図１には電子光学部品が載置された状態が示され、図２には電子光学部品が載置されていない状態が示される。
図３は、測定対象の電子光学部品を例示する斜視図である。
図４は、第１実施形態に係る測定用ソケットを例示する平面図である。
図５は、第１実施形態に係る測定用ソケットの例示する一部省略平面図である。図５ではベース１０のガイドプレート１６０を省略した状態が示される。

【0023】

第１実施形態に係る測定用ソケット１Ａは、電子光学部品１００の電気的な測定および光学的な測定を行う際に用いられるソケットである。測定用ソケット１Ａは、測定対象となる電子光学部品１００を搭載して、電子光学部品１００との電気的な接続および光軸合わせを行う。

【0024】

本実施形態において、測定対象となる電子光学部品１００では、筐体１０１１の一方側に光学レンズ部１０５が設けられ、筐体１０１１の他方側に電気的な導通を行うパッド１０１２が設けられている。したがって、本実施形態の測定用ソケット１Ａでは、後述するベース１０の凹部１１に電子光学部品１００を載置して押圧することで凹部１１内に設けられた端子１７とパッド１０１２とを接触させて電気的な導通を得る。また、測定用ソケット１Ａでは、電子光学部品１００を押圧することで筐体１０１１を基準壁Ｗに押し当てて位置決めし、光学レンズ部１０５等の光学要素の光軸合わせを行う。すなわち、測定用ソケット１Ａは、測定対象となる電子光学部品１００に対する電気的な導通と、光学的な位置合わせ（光軸合わせ）との両立を図るものである。

【0025】

本実施形態に係る測定用ソケット１Ａは、ベース１０と、押圧部材３０と、付勢手段４０と、規制部材５０とを備える。なお、以下の説明において、ベース１０における電子光学部品１００を搭載する面と直交する方向をＺ方向、Ｚ方向と直交する方向の１つをＸ方向、Ｚ方向およびＸ方向と直交する方向をＹ方向ということにする。

【0026】

ベース１０は、電子光学部品１００を搭載する凹部１１を有する。例えば、ベース１０はベースプレート１５０と、ベースプレート１５０の上に取り付けられたガイドプレート１６０とを有し、凹部１１はガイドプレート１６０の略中央部に設けられる。凹部１１は、ガイドプレート１６０に設けられた貫通孔と、ベースプレート１５０による底とによって構成される。凹部１１は、電子光学部品１００の配置位置を決めるためのガイドの役目を果たす。

【0027】

凹部１１の開口側には、上に広がるテーパ部が設けられ、テーパ部の下方にはストレート部が設けられている。凹部１１に載置された電子光学部品１００はテーパ部で呼び込まれて、ストレート部に収容される。

【0028】

凹部１１の底（ベースプレート１５０上）には端子１７が設けられる。この凹部１１に電子光学部品１００を収容してＺ方向に押圧することで、筐体１０１１の裏面に設けられたパッド１０１２と端子１７とが接触する状態となる。これにより、測定用ソケット１Ａは電子光学部品１００との電気的な導通を得ることができる。

【0029】

ベース１０にはカバー２０が被せられる。測定用ソケット１Ａにおいて、カバー２０はベース１０に対して回動可能に取り付けられる。すなわち、ベース１０の一端に設けられたヒンジ２７を介してカバー２０が取り付けられる。これにより、カバー２０は、ヒンジ２７の軸２８を中心として開閉動作可能に設けられる。

【0030】

測定用ソケット１Ａの例えばベース１０にはラッチ１５が設けられる。カバー２０を閉じた状態でラッチ１５をカバー２０の爪２５に引っ掛けることで、カバー２０を閉じた状態が維持される。カバー２０は、ヒンジ２７の軸２８に取り付けられたバネ２９によって開く方向に付勢されている。したがって、ラッチ１５を外すことで、バネ２９の付勢力によってカバー２０は開くことになる。

【0031】

押圧部材３０は、ベース１０の凹部１１に収容された電子光学部品１００を基準壁Ｗに押し当てるための部材である。基準壁Ｗは、例えば凹部１１の内壁である。基準壁Ｗとして凹部１１の内壁ではなく別途の突き当て用の壁（立片）を設けてもよい。測定用ソケット１Ａにおいて、押圧部材３０はガイドプレート１６０の凹部１１に隣接して設けられたガイド孔１０ｈ内に配置される。押圧部材３０はガイド孔１０ｈ内でスライド可能に設けられ、電子光学部品１００の筐体１０１１に接触して電子光学部品１００を所定方向に押圧する。

【0032】

押圧部材３０は１つでもよいし、複数設けられていてもよい。測定用ソケット１Ａでは、２つの押圧部材３０Ａ、３０Ｂが設けられる。各押圧部材３０Ａ、３０Ｂは互いに異なる２方向へ筐体１０１１を押圧して筐体１０１１を基準壁Ｗに押し当てるようになっている。すなわち、押圧部材３０Ａは平面視で矩形の筐体１０１１の一側面をＹ方向に押圧し、押圧部材３０Ｂは筐体１０１１の一側面と直交する他側面をＸ方向に押圧する。押圧部材３０Ａ、３０Ｂを区別せず説明するときは押圧部材３０と称することにする。押圧部材３０は例えば一対のガイドローラ３５の間に設けられ、ガイドローラ３５によってＸＹ面内に沿った一方向に滑らかにスライドできるようになっている。

【0033】

付勢手段４０は、押圧部材３０（基準壁Ｗ）の方向に付勢する。付勢手段４０には例えばコイルバネが用いられる。付勢手段４０は例えば押圧部材３０の先端（筐体１０１１と接触する側）とは反対側である後端とガイドプレート１６０との間に設けられ、押圧部材３０を電子光学部品１００の方向へ押すための付勢力を押圧部材３０に与える。

【0034】

例えば、押圧部材３０Ａは、付勢手段４０によって電子光学部品１００に向かうＹ方向に付勢力Ｆ１ａが与えられ、押圧部材３０Ｂは、付勢手段４０によって電子光学部品１００に向かうＸ方向に付勢力Ｆ１ｂが与えられる。

【0035】

規制部材５０は、ベース１０に被せられるカバー２０の動作に基づき付勢手段４０の付勢力に打ち勝つ規制力を付勢手段４０に付与する部材である。測定用ソケット１Ａにおいては、押圧部材３０に連結している規制ピン５１が規制部材５０である。測定用ソケット１Ａでは、２つの押圧部材３０Ａ、３０Ｂのそれぞれに対応して規制部材５０Ａ、５０Ｂが設けられる。規制部材５０Ａ、５０Ｂを区別せず説明するときは規制部材５０と称することにする。

【0036】

規制部材５０である規制ピン５１は、押圧部材３０の裏面側に設けられた穴部３０ｈに挿入される。規制ピン５１は揺動リンク６１の軸６１ａに対する一端側に立設される。揺動リンク６１はベース１０に対して軸６１ａを中心に揺動可能に取り付けられる。揺動リンク６１の軸６１ａに対する他端側には受けピン６２が立設される。受けピン６２は後述する直動リンク６５の引っ掛けピン６６と係合する。

【0037】

直動リンク６５は、カバー２０の動作と連動して規制部材５０である規制ピン５１を駆動する。直動リンク６５のカバー２０側の端部にはカバー２０の動作を受ける受動部６８が設けられ、カバー２０の開閉動作を受けて直動リンク６５を移動させる。この揺動リンク６１、受けピン６２、直動リンク６５および引っ掛けピン６６は規制力制御手段６０の構成要素となる。規制力制御手段６０は、ベース１０とカバー２０との相対距離と規制力の程度との関連性を設定するものである。

【0038】

このような構成を備える測定用ソケット１Ａでは、カバー２０が開くことで規制部材５０によって規制力が付勢手段４０に与えられて押圧部材３０を基準壁Ｗから離す方向に移動させる。一方、カバー２０が閉じるときには、カバー２０とベース１０との相対距離に応じて規制力が減衰されて、付勢手段４０の付勢力によって押圧部材３０を基準壁Ｗに近づく方向に移動させる。すなわち、カバー２０は、ベース１０に対して回動可能に支持され、押圧部材３０およびリンク（直動リンク６５）はベース１０に設けられ、カバー２０の回動動作に連動してリンク（直動リンク６５）が進退動作するように設けられている。

【0039】

具体的には、バネ２９の付勢力によってカバー２０が開く際、このカバー２０の開く動作によって直動リンク６５がカバー２０側に移動する。そして、直動リンク６５の移動によって引っ掛けピン６６が受けピン６２を引っ張り、揺動リンク６１を揺動させる。受けピン６２が引っ張られることで揺動リンク６１を介して規制ピン５１は電子光学部品１００（凹部１１）から離れる方向に移動する。この規制ピン５１の移動によって押圧部材３０が付勢手段４０の付勢力に対向して引っ張られ、電子光学部品１００から離れる方向に移動することになる。すなわち、規制ピン５１から付勢手段４０に対して規制力が与えられ、付勢力に打ち勝つ規制力によって押圧部材３０が付勢力の働く方向とは反対の方向に移動することになる。

【0040】

例えば、規制部材５０Ａの規制ピン５１は、押圧部材３０Ａを基準壁Ｗの方向に付勢する付勢力Ｆ１ａに打ち勝つ規制力Ｆ２ａを付勢手段４０に与える。規制力Ｆ２ａは、バネ２９によってカバー２０を開く力が元となり、規制力制御手段６０Ａによってカバー２０とベース１０との相対距離によって制御される。規制力Ｆ２ａが付勢力Ｆ１ａよりも大きくなることで、押圧部材３０Ａが基準壁Ｗから離れるＹ方向に移動する。

【0041】

また、規制部材５０Ｂの規制ピン５１は、押圧部材３０Ｂを基準壁Ｗの方向に付勢する付勢力Ｆ１ｂに打ち勝つ規制力Ｆ２ｂを付勢手段４０に与える。規制力Ｆ２ｂは、バネ２９によってカバー２０を開く力が元となり、規制力制御手段６０Ｂによってカバー２０とベース１０との相対距離によって制御される。規制力Ｆ２ｂが付勢力Ｆ１ｂよりも大きくなることで、押圧部材３０Ｂが基準壁Ｗから離れるＸ方向に移動する。

【0042】

一方、カバー２０が閉じるときには、カバー２０の閉じる動作によって直動リンク６５がヒンジ２７から離れるＸ方向に移動する。この直動リンク６５の移動によって引っ掛けピンから受けピン６２に与えられていた力が弱まり、付勢手段４０の付勢力に対向していた規制力が減衰する。これにより、押圧部材３０が付勢力によって基準壁Ｗに近づく方向に移動する。この押圧部材３０の移動によって電子光学部品１００が押圧され、筐体１０１１が基準壁Ｗに押し当てられる。

【0043】

すなわち、カバー２０が閉じる動作において、規制部材５０Ａの規制ピン５１から押圧部材３０Ａを介して付勢手段４０に与えられていた規制力Ｆ２ａは、付勢力Ｆ１ａよりも小さくなる。そして、付勢力Ｆ１ａが規制力Ｆ２ａに打ち勝つことで、押圧部材３０Ａが基準壁Ｗの方向に移動し、電子光学部品１００を押圧するようになる。この押圧部材３０Ａの移動に伴い、規制力制御手段６０Ａの揺動リンク６１が揺動し、受けピン６２が引っ掛けピン６６に追随するように移動する。

【0044】

また、規制部材５０Ｂの規制ピン５１から押圧部材３０Ｂを介して付勢手段４０に与えられていた規制力Ｆ２ｂは、付勢力Ｆ１ｂよりも小さくなる。そして、付勢力Ｆ１ｂが規制力Ｆ２ｂに打ち勝つことで、押圧部材３０Ｂが基準壁Ｗの方向に移動し、電子光学部品１００を押圧するようになる。この押圧部材３０Ｂの移動に伴い、規制力制御手段６０Ｂの揺動リンク６１が揺動し、受けピン６２が引っ掛けピン６６に追随するように移動する。

【0045】

カバー２０の動作と連動した規制力の制御において、カバー２０を開く方向に付勢するバネ２９は弾性部材として規制部材５０を動作させる。バネ２９の弾性変形はカバー２０が閉じているときに比べてカバー２０が開いているときのほうが少ない。したがって、カバー２０が開いていき、バネ２９の弾性変形が少なくなるほど規制部材５０から付勢手段４０には大きな規制力が付与されることになる。これにより、バネ２９がよりフリーな状態のときに規制力を付与することができ、規制力を高めやすくなる。

【0046】

また、カバー２０とベース１０との相対距離と規制力の程度との関連性は、規制力制御手段６０のリンク構成によって設定可能である。例えば、揺動リンク６１の軸から規制ピン５１や受けピン６２までの長さや、受けピン６２と引っ掛けピン６６との掛かり始めの位置、（リンクの長さなど）によって設定される。これにより、カバー２０とベース１０との相対距離に応じた規制力の働くタイミングおよび規制力の変化を設定することが可能となる。

【0047】

また、規制力制御手段６０のリンク構成によって、カバー２０の閉じる動作に伴う電子光学部品１００のＺ方向への押圧（パッド１０１２と端子１７との接触）のタイミングと、電子光学部品１００の筐体１０１１を押圧部材３０によって押圧して基準壁Ｗに押し当てるタイミングとを調整することができる。例えば、カバー２０が閉じて電子光学部品１００と接触し、電子光学部品１００をＺ方向に押圧する前に、押圧部材３０による基準壁Ｗへの押し当てを完了しておく場合には、規制力制御手段６０のリンク構成によってカバー２０が電子光学部品１００に接触する前までに規制力の減衰を開始し、押圧部材３０による押圧を完了するようにリンク構成を設定すればよい。

【0048】

このような測定用ソケット１Ａによれば、押圧部材３０を基準壁Ｗの方向に付勢する付勢手段４０の付勢力と、カバー２０の動作に基づき規制部材５０から付勢手段４０に与えられる規制力とのバランスによって電子光学部品１００を基準壁Ｗに押し当てる押圧力を設定することができる。そして、カバー２０が閉じるほど規制力は減衰されるため、カバー２０を閉じた状態では優勢となった付勢力によって安定して電子光学部品１００を押圧することができる。

【0049】

また、規制力制御手段６０によって規制力を制御することで、カバー２０とベース１０との相対距離と付勢力の程度との関係や電子光学部品１００の基準壁Ｗへの押圧のタイミングを任意に設定できる。電子光学部品１００は精密部品なので、過度に押圧されると破損してしまうおそれもある。付勢力に対して常に規制力を作用させることで、付勢力による押圧の程度を適切に調整することができ、安定した押圧と電子光学部品１００への過度な押圧力の抑制とを図ることができる。

【0050】

（第２実施形態）
図６は、第２実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図である。
図７は、押圧部材の拡大斜視図である。
図８（ａ）から（ｃ）は、第２実施形態に係る測定用ソケットの動作を説明する模式断面図である。
本実施形態に係る測定用ソケット１Ｂにおいて、カバー２０はベース１０に対して回動可能に取り付けられる。規制力制御手段６０は、カバー２０の回動の軸２８に設けられた偏心カム７０と、偏心カム７０によって移動可能に設けられたスライド部７１とを有する。スライド部７１はベースプレート１５０とガイドプレート１６０との間に設けられる。

【0051】

スライド部７１はベースプレート１５０との間に設けられたコイルバネ（弾性部材）７５によって基準壁Ｗから離れる方向に付勢されている。スライド部７１には規制ピン５１が立設されており、スライド部７１の上に配置された押圧部材３０の穴部３０ｈに挿入される。スライド部７１における偏心カム７０側には偏心カム７０と当接可能なローラ７２が設けられる。

【0052】

押圧部材３０は、ガイドプレート１６０に設けられたガイド孔１０ｈ内に配置され、ガイド孔１０ｈの内側壁に沿って進退可能に設けられる。本実施形態では、ガイド孔１０ｈおよび押圧部材３０は凹部１１と偏心カム７０との間に配置される。押圧部材３０はガイド孔１０ｈに沿ってＸ方向に進退可能となっている。

【0053】

付勢手段４０は押圧部材３０の後端部と、押圧部材３０の後端と対向するガイド孔１０ｈの内壁との間に設けられ、押圧部材３０を基準壁Ｗの方向へ付勢している。

【0054】

測定用ソケット１Ｂによって電子光学部品１００の測定を行うには、先ず、図８（ａ）に示すようにカバー２０を開いた状態で、ベース１０の凹部１１に電子光学部品１００を載置する。電子光学部品１００の筐体１０１１は、凹部１１のテーパ部で呼び込まれて、ストレート部に収容される。カバー２０が開いた状態では、スライド部７１のローラ７２は偏心カム７０とは当接していない。この状態では、弾性部材であるコイルバネ７５の付勢力によってスライド部７１が基準壁Ｗから離れる方向に付勢されており、規制ピン５１を介して押圧部材３０も基準壁Ｗから離れる方向（ヒンジ２７側）に引っ張られている。すなわち、コイルバネ７５の付勢力が規制力となって押圧部材３０に与えられ、付勢手段４０による付勢力に打ち勝って押圧部材３０をヒンジ２７側に移動させる。これにより、押圧部材３０は電子光学部品１００の筐体１０１１から離れている。

【0055】

次に、図８（ｂ）に示すように、カバー２０を閉じる。カバー２０を閉じると偏心カム７０がローラ７２と当接しスライド部７１を押圧する。スライド部７１が押圧されることで規制ピン５１が基準壁Ｗの方向へ移動する。これにより規制ピン５１から押圧部材３０を介して付勢手段４０に与えられていた規制力が減衰し、付勢手段４０の付勢力によって押圧部材３０が基準壁Ｗの方向へ移動することになる。これにより押圧部材３０が電子部品１０１の筐体１０１１を押圧し、筐体１０１１を基準壁Ｗに押し当てる。これにより電子光学部品１００の位置決めが行われる。

【0056】

さらに、図８（ｃ）に示すようにカバー２０を閉じていくと、規制ピン５１と押圧部材３０との掛かりが無くなり、規制力が無くなって付勢手段４０による付勢力のみで押圧部材３０により電子光学部品１００の位置決めが完了する。そして、カバー２０によって電子光学部品１００がＺ方向に押圧される。これにより、電子光学部品１００の裏面に設けられたパッド（図示せず）とコンタクトピン９１とが接触し、電気的な接続が行われる。

【0057】

測定用ソケット１Ｂに設けられた偏心カム７０を用いることで、偏心カム７０のプロファイルの変更によってカバー２０を閉じる動作と押圧部材３０による電子光学部品１００の押圧のタイミング、押圧力の変化を任意に設定可能となる。また、規制力制御手段６０として偏心カム７０を用いることにより、装置構成の小型化を図ることができる。

【0058】

なお、測定用ソケット１Ｂにおいて、ベース１０とカバー２０との間でセンターカバーを備えておりセンターカバーの回動軸に偏心カム７０を設けるようにしてもよい。これにより、センターカバーの動作に連動して偏心カム７０を動作させて押圧部材３０により電子光学部品１００を押圧することができる。

【0059】

（第３実施形態）
図９は、第３実施形態に係る測定用ソケットを例示する斜視図である。
図１０は、第３実施形態に係る測定用ソケットのベース側を例示する斜視図である。
図１１は、第３実施形態に係る測定用ソケットのカバー側を例示する斜視図である。
本実施形態に係る測定用ソケット１Ｃは、ベース１０に対してカバー２０が上下動するよう構成される。測定用ソケット１Ｃにおいて、カバー２０におけるベース１０との対向面には作用部８０が設けられる。作用部８０は、付勢手段４０および規制部材５０を筐体８１内に含むユニット構成部材である。また、測定用ソケット１Ｃにおいて、押圧部材３０は環状体３７を備える。

【0060】

測定用ソケット１Ｃで測定対象となる電子光学部品１００は、フレキシブル基板１０２に電子部品１０１およびコネクタ１０３が接続されたものである。フレキシブル基板１０２には配線パターンが形成され、電子部品１０１とコネクタ１０３との間の通電がなされる。ベース１０には電子光学部品１００の電子部品１０１を載置する凹部１１と、フレキシブル基板１０２を載置する凹部１２とが設けられる。一方、カバー２０には、コネクタ１０３をガイドするガイド部９０が設けられ、ガイド部９０の内側にはコンタクトピン９１が設けられる。

【0061】

測定用ソケット１Ｃにおいて、ベース１０の凹部１１に電子光学部品１００を載置した状態でカバー２０を被せることで、コネクタ１０３がガイド部９０に嵌め込まれ、ガイド部９０内のコンタクトピン９１がコネクタ１０３の端子と接触することになる。また、カバー２０を被せることで、カバー２０側に設けられた環状体３７の環内に電子光学部品１００が挿通される。そして、作用部８０によって環状体３７を移動させて環状体３７の内周を電子光学部品１００に押し当て、電子光学部品１００をベース１０側の基準壁Ｗに押し当てるように動作する。環状体３７の内周を電子光学部品１００に押し当てる際、内周に設けられたローラ３８を介して押し当ててもよい。

【0062】

測定用ソケット１Ｃでは、環状体３７によって電子光学部品１００を２方向同時に押圧することができる。ここで、環状体３７によって電子光学部品１００を押圧する方向を押圧方向Ｄ１、押圧方向Ｄ１と反対向きであって押圧を解除する方向を解除方向Ｄ２ということにする。

【0063】

図１２は、第３実施形態に係る測定用ソケットのカバー側を例示する平面図である。
図１３は、環状体を例示する斜視図である。
図１４は、作用部を例示する斜視図である。
なお、図１３では作用部８０における筐体８１の一部を省略した状態が示され、図１４では環状体３７を省略した状態が示される。作用部８０には伝達手段８５が組み込まれる。環状体３７はカバー２０のベース１０との対向面において面方向にスライド可能に設けられる。測定用ソケット１Ｃでは、環状体３７はＸ方向およびＹ方向のそれぞれに非平行（押圧方向Ｄ１および解除方向Ｄ２）にスライド可能となっている。

【0064】

作用部８０は環状体３７の環内に配置され、環状体３７を押圧方向Ｄ１および解除方向Ｄ２にスライドさせるための駆動力を与える。作用部８０の筐体８１内にはガイド孔８１ｈが設けられ、ガイド孔８１ｈ内に伝達手段８５の一部であるスライド部８６が配置される。スライド部８６は、ガイド孔８１ｈの内側壁に沿って進退可能に設けられる。この内側壁が押圧方向Ｄ１および解除方向Ｄ２に沿って設けられるため、内側壁がスライド部８６の進退方向のガイドとしての役割を果たす。

【0065】

スライド部８６の端部とガイド孔８１ｈの内壁との間には付勢手段４０が設けられ、スライド部８６に押圧方向Ｄ１の付勢力を与えている。スライド部８６には孔８６ｈが設けられ、この孔８６ｈに規制部材５０である規制ピン５１が配置される。

【0066】

規制ピン５１は、例えば規制ピン５１の内部に組み込まれたコイルバネ５５によって突出する方向に付勢力が与えられる。このコイルバネ５５は押圧部材３０である環状体３７に規制力を与える弾性部材である。

【0067】

規制ピン５１とスライド部８６との間にはローラ８７が設けられる。ローラ８７は規制ピン５１に設けられた傾斜面５１ａと接触する。傾斜面５１ａは規制ピン５１（規制部材５０）とスライド部８６（伝達手段８５）との接触部であり、筐体８１の内部に位置する。ローラ８７は、付勢手段４０によってスライド部８６が押圧方向Ｄ１に付勢されることで、押圧方向Ｄ１の下手側に位置する傾斜面５１ａと当接する。

【0068】

ローラ８７が傾斜面５１ａに当接していることで、規制ピン５１が突出している状態ではローラ８７を介してスライド部８６に解除方向Ｄ２の力が与えられ、スライド部８６は孔８６ｈ内で解除方向Ｄ２へスライド移動する。一方、規制ピン５１がコイルバネ５５の付勢力に打ち勝って押し込まれると、ローラ８７と傾斜面５１ａとの接触位置が変わり、付勢手段４０による押圧方向Ｄ１の付勢力がスライド部８６に与えられ、スライド部８６は孔８６ｈ内で押圧方向Ｄ１へスライド移動する。傾斜面５１ａは規制力制御手段６０としての役目を果たす。

【0069】

スライド部８６は、先端側に設けられたピン８８によって環状体３７と係合している。したがって、スライド部８６の移動に連動して環状体３７がスライド移動することになる。

【0070】

測定用ソケット１Ｃによって電子光学部品１００の測定を行うには、カバー２０を開いた状態でベース１０の凹部１１に電子光学部品１００を載置する。電子部品１０１は凹部１１に載置され、フレキシブル基板１０２は凹部１２に載置される。

【0071】

次に、カバー２０をベース１０に被せる。カバー２０がベース１０に被せられることでカバー２０に設けられたガイド部９０にコネクタ１０３が嵌合する。カバー２０を被せることでガイド部９０内に設けられたコンタクトピン９１がコネクタ１０３の端子と接触する状態となる。

【0072】

さらにカバー２０をベース１０に接近させると、カバー２０側に設けられた環状体３７の環内に電子光学部品１００が挿通され、次いで、ベース１０が規制ピン５１を押し込むようになる。規制ピン５１が押し込まれることでスライド部８６が押圧方向Ｄ１に移動し、この移動に伴い環状体３７も押圧方向Ｄ１に移動することになる。これにより、環状体３７の環内に挿通された電子光学部品１００が環状体３７の内周で押圧方向Ｄ１に押圧され、基準壁Ｗに押し当てられることになる。

【0073】

電子光学部品１００が環状体３７によって押圧される段階では、コネクタ１０３はガイド部９０に嵌合しておりコネクタ１０３の端子とコンタクトピン９１との接触（電気的導通）は完了している。この後で環状体３７によって電子光学部品１００が基準壁Ｗに押し当てられることで、コンタクトピン９１とコネクタ１０３の端子との接触を維持した状態で光軸が正確に合わせられる。電子光学部品１００の電気的導通および光軸の正確な合わせが行われた状態でカバー２０がベース１０に固定される。この状態で、測定用ソケット１Ｃを用いて電子光学部品１００の電気的および光学的な測定が行われる。

【0074】

測定が終わったのちは、カバー２０をベース１０から離す。これにより、規制ピン５１が突出し、スライド部８６とともに環状体３７が解除方向Ｄ２に移動し、電子光学部品１００の基準壁Ｗへの押圧が解除される。

【0075】

測定用ソケット１Ｃによれば、押圧部材３０を動作させるにあたりキーとなる部分を作用部８０の筐体８１の内部に入れることにより、構成の簡素化および動作安定性を確保することができる。また、規制部材５０である規制ピン５１の高さや、規制ピン５１とベース１０との接触関係を調整することで、カバー２０とベース１０との相対距離に応じた規制力の働くタイミングを設定することが可能となる。

【0076】

さらに、規制力制御手段６０となる傾斜面５１ａの傾斜角度や形状を調整することで押圧部材３０である環状体３７に対する規制力の大きさおよび規制力の印加のタイミングを調整することができ、安定した押圧と電子光学部品１００への過度な押圧力の抑制とを図ることができる。

【0077】

（コンタクト装置）
図１５は、本実施形態に係るコンタクト装置を例示する模式図である。
本実施形態に係るコンタクト装置５００は、先に説明した測定用ソケット１Ａ～１Ｃと同様に、ベース１０、カバー２０、押圧部材３０、付勢手段４０および規制部材５０を備える。コンタクト装置では、カバー２０がベース１０に対して上下動するよう構成される。

【0078】

ベース１０には、電子光学部品１００を載置する凹部１１が設けられる。ベース１０には、例えば４箇所に支柱５１５が設けられている。カバー２０は、この支柱５１５によって支持され、支柱５１５に沿って上下動可能に設けられる。支柱５１５にはバネ５１７が設けられており、カバー２０を上方に付勢している。カバー２０は、図示しない駆動機構によってバネ５１７の付勢力を超えた力で押し込まれることにより、ベース１０の上に被せられる。

【0079】

カバー２０を下降することでガイド部９０にコネクタ１０３が嵌合し、コンタクトピン９１とコネクタ１０３の端子とが接触するようになる。このカバー２０の下降の動作に連動して押圧部材３０が動作し、押圧部材３０に付勢手段４０から付勢力を与えて電子部品１０１の筐体１０１１を基準壁Ｗに押し当てる。これにより、電子光学部品１００の電気的接続と、光学的な軸合わせとの両立を図ることができる。一方、カバー２０を上昇させることで規制部材５０によって規制力が付勢手段４０に与えられ、押圧部材３０による筐体１０１１の押圧が解除される。

【0080】

図１５に示すコンタクト装置５００の例では、カバー２０側に押圧部材３０、付勢手段４０および規制部材５０が設けられているが、ベース１０側に設けてもよい。

【0081】

以上説明したように、実施形態に係る測定用ソケット１Ａ～１Ｃによれば、電子光学部品１００を正確に位置決めして確実な導通および光軸合わせを行うことが可能となる。

【0082】

なお、上記に本実施形態およびその具体例を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の実施形態またはその具体例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に包含される。

【符号の説明】

【0083】

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…測定用ソケット
１０…ベース
１０ｈ…ガイド孔
１１，１２…凹部
１５…ラッチ
１７…端子
２０…カバー
２５…爪
２７…ヒンジ
２８…軸
２９…バネ
３０，３０Ａ，３０Ｂ…押圧部材
３０ｈ…穴部
３５…ガイドローラ
３７…環状体
３８…ローラ
４０…付勢手段
５０，５０Ａ，５０Ｂ…規制部材
５１…規制ピン
５１ａ…傾斜面
５５，７５…コイルバネ（弾性部材）
６０，６０Ａ，６０Ｂ…規制力制御手段
６１…揺動リンク
６１ａ…軸
６２…受けピン
６５…直動リンク
６６…引っ掛けピン
６８…受動部
７０…偏心カム
７１…スライド部
７２…ローラ
８０…作用部
８１…筐体
８１ｈ…ガイド孔
８５…伝達手段
８６…スライド部
８６ｈ…孔
８７…ローラ
８８…ピン
９０…ガイド部
９１…コンタクトピン
１００…電子光学部品
１０１…電子部品
１０２…フレキシブル基板
１０３…コネクタ
１０５…光学レンズ部
１５０…ベースプレート
１６０…ガイドプレート
５００…コンタクト装置
５１５…支柱
５１７…バネ
１０１１…筐体
１０１２…パッド
Ｄ１…押圧方向
Ｄ２…解除方向
Ｆ１ａ，Ｆ１ｂ…付勢力
Ｆ２ａ，Ｆ２ｂ…規制力
Ｗ…基準壁

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【手続補正書】

【提出日】2020-11-06

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、
前記電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、
前記電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、
前記押圧部材を前記基準壁の方向に付勢する付勢手段と、
前記ベースに被せられるカバーの動作に基づき前記付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を前記付勢手段に付与可能な規制部材と、
を備え、
前記カバーが開くことで前記規制部材によって前記規制力が前記付勢手段に与えられて前記押圧部材を前記基準壁から離す方向に移動させ、
前記カバーが閉じる動作に応じて前記規制力が減衰されて、前記付勢手段の付勢力によって前記押圧部材を前記基準壁に近づく方向に移動させ、
前記カバーと前記ベースとの相対距離と前記規制力の程度との関連性を設定する規制力制御手段を備え、
前記規制力制御手段は、前記カバーの動作と連動して前記規制部材を駆動するリンクを有することを特徴とする測定用ソケット。

【請求項2】

前記カバーが開くときに前記規制部材を介して前記規制力を前記付勢手段に与えるための弾性部材を有し、
前記弾性部材の弾性変形が少ないときほど前記規制部材から前記付勢手段に大きな前記規制力を付与する、請求項１に記載の測定用ソケット。

【請求項3】

電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、
前記電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、
前記電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、
前記押圧部材を前記基準壁の方向に付勢する付勢手段と、
前記ベースに被せられるカバーの動作に基づき前記付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を前記付勢手段に付与可能な規制部材と、
を備え、
前記カバーが開くことで前記規制部材によって前記規制力が前記付勢手段に与えられて前記押圧部材を前記基準壁から離す方向に移動させ、
前記カバーが閉じる動作に応じて前記規制力が減衰されて、前記付勢手段の付勢力によって前記押圧部材を前記基準壁に近づく方向に移動させ、
前記カバーを被せることで前記カバーの前記ベースとの対向面に設けられた作用部によって前記押圧部材が押圧され、
前記作用部は、
前記付勢手段と、
前記規制部材と、
前記付勢手段の付勢力を前記押圧部材に駆動力として伝達する伝達手段と、を備え、
前記押圧部材は前記伝達手段から受けた駆動力に基づき前記電子光学部品を押圧し、
前記押圧部材は環状体を備え、前記環状体の環内に前記電子光学部品が挿通され、
前記伝達手段は、前記環状体の内周が前記電子光学部品に近接する向きの駆動力を、前記押圧部材に与えることを特徴とする測定用ソケット。

【請求項4】

電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、
前記電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、
前記電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、
前記押圧部材を前記基準壁の方向に付勢する付勢手段と、
前記ベースに被せられるカバーの動作に基づき前記付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を前記付勢手段に付与可能な規制部材と、
を備え、
前記カバーが開くことで前記規制部材によって前記規制力が前記付勢手段に与えられて前記押圧部材を前記基準壁から離す方向に移動させ、
前記カバーが閉じる動作に応じて前記規制力が減衰されて、前記付勢手段の付勢力によって前記押圧部材を前記基準壁に近づく方向に移動させ、
前記カバーを被せることで前記カバーの前記ベースとの対向面に設けられた作用部によって前記押圧部材が押圧され、
前記作用部は、
前記付勢手段と、
前記規制部材と、
前記付勢手段の付勢力を前記押圧部材に駆動力として伝達する伝達手段と、を備え、
前記押圧部材は前記伝達手段から受けた駆動力に基づき前記電子光学部品を押圧し、
前記作用部は筐体をさらに備え、
前記規制部材と前記伝達手段との接触部は前記筐体の内部に位置することを特徴とする測定用ソケット。

【請求項5】

前記押圧部材は環状体を備え、前記環状体の環内に前記電子光学部品が挿通され、
前記伝達手段は、前記環状体の内周が前記電子光学部品に近接する向きの駆動力を、前記押圧部材に与える、請求項４に記載の測定用ソケット。

【請求項6】

前記付勢手段と前記伝達手段との接触部は前記筐体の内部に位置する、請求項４または請求項５に記載の測定用ソケット。

【請求項7】

前記付勢手段は前記筐体の内部に位置する、請求項４から請求項６のいずれか１項に記載の測定用ソケット。

【請求項8】

前記カバーと前記ベースとの相対距離と前記規制力の程度との関連性を設定する規制力制御手段を備える、請求項４から請求項７のいずれか１項に記載の測定用ソケット。

【請求項9】

前記カバーは、前記ベースに対して回動可能に支持され、
前記押圧部材および前記リンクは前記ベースに設けられ、
前記カバーの回動動作に連動して前記リンクは進退動作するように設けられた、請求項１に記載の測定用ソケット。

【請求項10】

電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、
前記電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、
前記電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、
前記押圧部材を前記基準壁の方向に付勢する付勢手段と、
前記ベースに被せられるカバーの動作に基づき前記付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を前記付勢手段に付与可能な規制部材と、
を備え、
前記カバーが開くことで前記規制部材によって前記規制力が前記付勢手段に与えられて前記押圧部材を前記基準壁から離す方向に移動させ、
前記カバーが閉じる動作に応じて前記規制力が減衰されて、前記付勢手段の付勢力によって前記押圧部材を前記基準壁に近づく方向に移動させ、
前記カバーと前記ベースとの相対距離と前記規制力の程度との関連性を設定する規制力制御手段を備え、
前記カバーは、前記ベースに対して回動可能に支持され、
前記規制力制御手段は、前記カバーの回動軸に設けられた偏心カムを有し、
前記カバーの動作と同期する前記偏心カムの動作によって前記規制力を変化させることを特徴とする測定用ソケット。

【請求項11】

電子光学部品を測定対象とする測定用ソケットであって、
前記電子光学部品を収容する凹部を有するベースと、
前記電子光学部品を基準壁に押し当てるための押圧部材と、
前記押圧部材を前記基準壁の方向に付勢する付勢手段と、
前記ベースに被せられるカバーの動作に基づき前記付勢手段の付勢力に打ち勝つ規制力を前記付勢手段に付与可能な規制部材と、
を備え、
前記カバーが開くことで前記規制部材によって前記規制力が前記付勢手段に与えられて前記押圧部材を前記基準壁から離す方向に移動させ、
前記カバーが閉じる動作に応じて前記規制力が減衰されて、前記付勢手段の付勢力によって前記押圧部材を前記基準壁に近づく方向に移動させ、
前記カバーと前記ベースとの相対距離と前記規制力の程度との関連性を設定する規制力制御手段を備え、
前記ベースと前記カバーとの間に設けられ前記ベースに対して回動可能に支持されたセンターカバーをさらに備え、
前記規制力制御手段は、前記センターカバーの回動軸に設けられた偏心カムを有し、
前記センターカバーの動作と同期する前記偏心カムの動作によって前記規制力を変化させることを特徴とする測定用ソケット。