特開 2022-30739 インクジェット塗布装置及びその清掃方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022030739

(43)【公開日】2022-02-18

(54)【発明の名称】インクジェット塗布装置及びその清掃方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 11/10 20060101AFI20220210BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20220210BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20220210BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20220210BHJP

   B41J 2/17 20060101ALI20220210BHJP

【ＦＩ】

B05C11/10

B05C5/00 101

B05D1/26 Z

B05D3/00 A

B41J2/17 203

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020134938

(22)【出願日】2020-08-07

(71)【出願人】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】大霜 征彦

(72)【発明者】

【氏名】浅井 一夫

【テーマコード（参考）】

2C056

4D075

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

2C056EA27

2C056JC13

4D075AC06

4D075AC84

4D075AC88

4D075BB65Z

4D075CA47

4D075DA04

4D075DA06

4D075DB13

4D075DB31

4D075EA05

4D075EA33

4F041AA02

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA32

4F041BA60

4F042AA02

4F042BA06

4F042BA12

4F042CA01

4F042CA07

4F042CB03

4F042CB10

4F042CB11

4F042CB19

4F042CC04

4F042CC08

(57)【要約】      （修正有）

【課題】廃液ラインに残留した塗布液が硬化して配管詰まりが生じるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及びその清掃方法を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出させるインクジェットヘッド４を有するインクジェット塗布装置であって、インクジェットヘッドに供給すべき塗布液が送液される供給ライン６と、排液すべき塗布液が送液される廃液ライン８とを備えており、さらに、廃液ラインを清掃する清掃ユニット９を有しており、この清掃ユニットにより廃液ラインに塗布液が滞留して硬化するのを抑制されるように構成する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

塗布液を吐出させるインクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置であって、
インクジェットヘッドに供給すべき塗布液が送液される供給ラインと、
排液すべき塗布液が送液される廃液ラインと、
を備えており、
さらに、前記廃液ラインを清掃する清掃ユニットを有しており、この清掃ユニットにより前記廃液ラインに塗布液が滞留して硬化するのを抑制されることを特徴とするインクジェット塗布装置。

【請求項2】

前記清掃ユニットは、廃液ライン毎に選択的に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項3】

前記清掃ユニットは、前記廃液ラインに洗浄液を供給する洗浄液ラインと、前記廃液ラインにエアを供給するエアラインとを有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項4】

前記清掃ユニットは、前記廃液ラインに接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項5】

前記廃液ラインには、前記清掃ユニットを接続するための接続口が設けられており、前記接続口に前記洗浄液ライン、前記エアラインが取り外し可能に接続されていることを特徴とする請求項１～４に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項6】

前記エアライン及び前記洗浄液ラインは、それぞれ供給ラインで使用される供給ライン用エアライン及び供給ライン用洗浄液ラインから分岐されて設けられていることを特徴とする請求項１～５に記載のインクジェット塗布装置。

【請求項7】

前記清掃ユニットは、エアラインのみで形成されていることを特徴とする請求項１、２、４～６のいずれかに記載のインクジェット塗布装置。

【請求項8】

基材上に液滴状の塗布液を吐出する塗布動作を行うインクジェットヘッドを備えるインクジェット塗布装置の清掃方法であって、
前記インクジェットヘッドに塗布液を供給する供給ラインと、
排液すべき塗布液を送液する廃液ラインと、
前記廃液ラインを清掃する清掃ユニットと、
を有しており、
前記インクジェットヘッドの塗布動作中に前記清掃ユニットにより前記廃液ラインの清掃が行われることを特徴とするインクジェット塗布装置の清掃方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、不要になった塗布液が排出される廃液ラインに、残留した塗布液が滞留して硬化するのを抑えることができるインクジェット塗布装置及びその清掃方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

ガラスやフィルム等の基材上にインクジェット塗布装置により塗布液を液滴状に吐出し、線分、矩形状等、様々な形状の塗布膜（膜パターンともいう）が形成されている。インクジェット塗布装置は、塗布液が貯留される塗布液タンク１００と、インクを吐出する複数のノズルを備えたインクジェットヘッド１０１と、塗布液タンク１００から供給された塗布液を一時的に保留しつつ、ノズル内の圧力を調整するサブタンク１０２とを備えており、それぞれが供給ライン１０３（チューブ等の配管部材）によって接続されている。図３の例では、塗布液タンク１００から気泡除去タンク１０４、フィルタユニット１０５、サブタンク１０２、及び、インクジェットヘッド１０１が供給ライン１０３で接続されている。これにより、塗布液タンク１００から供給された塗布液は、気泡除去タンク１０４、フィルタユニット１０５により、気泡、異物が除去され、サブタンク１０２に供給される。そして、サブタンク１０２で塗布液の圧力が負圧に調節されることにより、インクジェットヘッド１０１内に塗布液が保持され、インクジェットヘッド１０１内がピエゾ駆動等で瞬間的に加圧されることによりノズルから塗布液が液滴状に吐出されるようになっている。

【0003】

また、インクジェット塗布装置は、廃液ライン１０６が設けられており、この廃液ライン１０６を通じて、気泡等が混入した塗布液を強制的に排出し塗布液内の気泡が除去されるようになっている。すなわち、インクジェット塗布装置では、ブリード処理、フラッシング処理を行うことにより強制的に塗布液が排出される。具体的には、ブリード処理によりノズルから一定量の塗布液を廃液トレイ１０７に吐出させることにより気泡が除去される。なお、供給ライン１０３内の気泡は、気泡除去タンク１０４、フィルタユニット１０５、サブタンク１０２に接続された廃液ライン１０６を通じて除去されるようになっている。また、フラッシング処理では、ノズルから液滴状の塗布液を継続して廃液トレイ１０７に吐出させることにより、ノズルの先端が大気に曝されることにより乾燥によるノズル詰まりが発生するのを抑えることができるようになっている。これにより、インクジェット塗布装置を長期に亘って安定して稼働させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－１５３１２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

近年におけるインクジェット塗布装置の塗布液は、長期間放置されたり、熱の影響を受けることにより硬化する。そのため、供給ライン１０３では、塗布動作、フラッシング処理が行われることにより塗布液の流動を伴うため塗布液が長期間放置されることはなく硬化することはないが、廃液ライン１０６の塗布液は、長時間、流動しないことが多く、滞留する箇所で硬化することにより配管詰まりを発生してしまう。廃液ライン１０６に詰まりが生じると、塗布液を強制的に排出させることができず、供給ライン１０３において塗布液の送液が安定せず、インクジェット塗布装置を安定して稼働させることができないという問題があった。

【0006】

また、廃液ライン１０６に配管詰まりが生じると、廃液ライン１０６を交換するなどの作業が必要になり、インクジェット塗布装置の復帰に長時間要するという問題もあった。

【0007】

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、廃液ラインに残留した塗布液が硬化して配管詰まりが生じるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及びその清掃方法を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、塗布液を吐出させるインクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置であって、インクジェットヘッドに供給すべき塗布液が送液される供給ラインと、排液すべき塗布液が送液される廃液ラインと、を備えており、さらに、前記廃液ラインを清掃する清掃ユニットを有しており、この清掃ユニットにより前記廃液ラインに塗布液が滞留して硬化するのを抑制されることを特徴としている。

【0009】

上記インクジェット塗布装置によれば、廃液ラインに清掃ユニットが設けられているため、廃液ラインに塗布液が滞留した場合でも清掃ユニットが清掃することにより廃液ラインに長時間、塗布液が流動しない状態を回避することができる。したがって、廃液ラインに塗布液が滞留して硬化することを抑えることができるため、塗布液が滞留することに起因して廃液ラインが詰まる問題を回避してインクジェット塗布装置を長期に亘って安定して稼働させることができる。

【0010】

また、前記清掃ユニットは、廃液ライン毎に選択的に設けられている構成にしてもよい。

【0011】

上記構成によれば、排液の頻度が大きい廃液ラインのみ、又は、排液の頻度の小さい廃液ラインのみ、又は、すべての廃液ラインに清掃ユニットを選択的に設ける構成にすることにより、清掃ユニットのコストを抑えることができる。また、選択的に設けることにより、塗布液が滞留し詰まりの発生しやすい廃液ラインの清掃ユニットのみを作動させる等、効率よく清掃ユニットを稼働させることができる。

【0012】

また、前記清掃ユニットは、前記廃液ラインに洗浄液を供給する洗浄液ラインと、前記廃液ラインにエアを供給するエアラインとを有している構成にしてもよい。

【0013】

上記構成によれば、清掃ユニットの洗浄液ラインにより廃液ラインに滞留した塗布液を洗浄し、廃液ラインから引き剥がすことができる。また、エアラインより滞留した塗布液を風圧で押し流すことができるとともに、洗浄液で洗浄した配管ライン内をエアにより乾燥させて、廃液ラインの清掃処理を早期に完了させることができる。

【0014】

また、前記清掃ユニットは、前記廃液ラインに接続されている構成にしてもよい。

【0015】

上記構成によれば、清掃ユニットが直接廃液ラインに接続されているため、清掃処理時のつなぎ替え等の作業を省くことができる。

【0016】

また、前記廃液ラインには、前記清掃ユニットを接続するための接続口が設けられており、前記接続口に前記洗浄液ライン、前記エアラインが接続されるように形成されている構成にしてもよい。

【0017】

上記構成によれば、廃液ラインを清掃するのに必要なタイミングで洗浄液ライン、エアラインを接続することができ、インクジェット塗布装置が配置される建屋に設けられた既存のエア供給源、洗浄液供給源を利用することができる。

【0018】

具体的な様態としては、例えば、前記エアライン及び前記洗浄液ラインは、それぞれ供給ラインで使用される供給ライン用エアライン及び供給ライン用洗浄液ラインから分岐されて設けられている構成にすることにより、エアライン、洗浄液ラインを新たに新設する必要がなく、低コストでエアライン、洗浄液ラインを設けることができる。

【0019】

また、前記清掃ユニットは、エアラインのみで形成されている構成にしてもよい。

【0020】

この構成によれば、エアのみで清掃が行われるため、洗浄液等を用いる場合に比べて、配管内に清掃処理による溶剤が残留することがなく、清掃処理後のインクジェット塗布装置の復帰を容易にすることができる。また、洗浄液を廃棄するための処理が不要になるため、洗浄液が含まれる塗布液を廃棄するためのコストを抑えることができる。

【0021】

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置の清掃方法は、基材上に液滴状の塗布液を吐出する塗布動作を行うインクジェットヘッドを備えるインクジェット塗布装置の清掃方法であって、前記インクジェットヘッドに塗布液を供給する供給ラインと、排液すべき塗布液を送液する廃液ラインと、前記廃液ラインを清掃する清掃ユニットと、を有しており、前記インクジェットヘッドの塗布動作中に前記清掃ユニットにより前記廃液ラインの清掃が行われることを特徴としている。

【0022】

上記インクジェット塗布装置の清掃方法によれば、塗布動作中であっても清掃ユニットにより廃液ラインを清掃することができる。したがって、塗布動作に影響を受けることなく、廃液ラインに残留する塗布液が硬化する前に適宜清掃を行うことができ、塗布液が滞留することに起因して廃液ラインが詰まる問題を回避することができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、インクジェット塗布装置における廃液ラインに残留した塗布液が硬化して配管詰まりが生じるのを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明のインクジェット塗布装置の一実施形態における流路を示す構成図である。

【図2】上記インクジェット塗布装置の動作を示すフローチャートである。

【図3】従来のインクジェと塗布装置の流路を示す構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態について図面を用いて説明する。

【0026】

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態における流路を示す構成図である。

【0027】

インクジェット塗布装置は、図１に示すように、塗布液を貯留する塗布液タンク１と、塗布液中の気泡を除去する気泡除去タンク２と、塗布液中の異物を取り除くフィルタユニット３と、基材に対して液滴を吐出するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４の圧力を調節するサブタンク５とを備えており、これらが供給ライン６（チューブ等の配管部材）で連結されている。そして、塗布液タンク１の塗布液は、塗布液タンク１が加圧されることにより供給ライン６を通じて気泡除去タンク２、フィルタユニット３、及び、サブタンク５の順に送液され、インクジェットヘッド４から液滴状の塗布液が吐出されるようになっている。

【0028】

なお、本実施形態の供給ライン６は、樹脂製のチューブを用いているが、金属製の配管でもよく、流路を形成するものであれば、特に限定しない。

【0029】

塗布液タンク１は、インクジェットヘッド４から基材に吐出するための塗布液を貯留するためのものである。塗布液タンク１には、生産に必要となる量の塗布液が貯留されており、供給ライン６を通じてインクジェットヘッド４に塗布液が送液される。すなわち、塗布液タンク１は、サブタンク５を介して供給ライン６によって連結されており、塗布液タンク１が加圧されることにより供給ライン６を通じてサブタンク５に塗布液が送液されるようになっている。

【0030】

気泡除去タンク２は、塗布液内の気泡を除去するためのものである。この気泡除去タンク２は、塗布液内の異物を除去する異物除去部である。具体的には、気泡除去タンク２は、収容容器として形成されており、上方が大気開放されている。底面部２１は、供給ライン６が接続されており、塗布液タンク１から送液された塗布液は供給ライン６を通じて気泡除去タンク２に収容されるようになっている。そして、気泡除去タンク２に塗布液が収容されると、塗布液内に存在している気泡が、時間の経過とともに気泡が比重により上昇する。すなわち、収容された塗布液は、上方部分に気泡が集まり、下方部分に気泡のない状態が形成される。一方、底面部２１には、フィルタユニット３に接続される供給ライン６が接続されている。したがって、この供給ライン６を通じて気泡除去タンク２から塗布液が送液されることにより、下方部分の塗布液が送液されることにより、気泡が除去された塗布液がフィルタユニット３に送液される。

【0031】

フィルタユニット３は、塗布液内の異物を除去するためのものである。このフィルタユニット３は、気泡除去タンク２と同様、異物除去部である。具体的には、フィルタユニット３は、収容容器として形成されており、その内部に異物を除去するフィルタ（不図示）が設けられている。そして、フィルタユニット３の底面部３１に供給ライン６が接続されており、気泡除去タンク２から供給ライン６を通じて塗布液が供給されると、塗布液がフィルタを通過することにより異物が除去されるようになっている。また、フィルタユニット３には、サブタンク５と連結される供給ライン６（下流側）が接続されており、フィルタを通過した塗布液がこの供給ライン６を通じてサブタンク５に送液されるようになっている。

【0032】

サブタンク５は、インクジェットヘッド４に供給される塗布液の圧力を調節するためのものである。本実施形態では、サブタンク５に所定量の塗布液が貯留されており、サブタンク５内の圧力が調節されることによりインクジェットヘッド４の塗布液の圧力が調節される。このサブタンク５により、ノズルの先端にメニスカスが形成された状態でノズル内に塗布液を保持することができるようになっている。

【0033】

インクジェットヘッド４は、塗布液を液滴状に吐出し、基材上に塗布膜を形成するためのものである。インクジェットヘッド４は、複数のノズルを有するヘッドモジュールを備えており、この複数のノズルから液滴状の塗布液が吐出される。すなわち、ヘッドモジュールは、インクが収容できるように形成されており、ヘッドモジュールは、供給ライン６を通じてサブタンク５と連結されている。そして、サブタンク５により塗布液の圧力が大気圧以下に調節されることにより、ヘッドモジュール内の塗布液が吸引力を受け、ノズル内に塗布液が保持される。すなわち、ヘッドモジュール内の塗布液は、ノズルの先端部分にメニスカスが形成された状態で保持される。この状態でヘッドモジュールに駆動電圧が印加されると、ヘッドモジュール内が一瞬収縮することによりメニスカスが破壊され、ノズルから液滴状の塗布液が吐出されるようになっている。

【0034】

また、インクジェット塗布装置には、廃液トレイ７１が設けられている。廃液トレイ７１は、インクジェットヘッド４から吐出された塗布液を一時的に受けるためのものである。すなわち、インクジェットヘッド４は、基材に塗布する塗布動作を一時的に停止する間、ノズル内で保持されている塗布液が固化してノズル詰まりを生じるのを回避するため、フラッシング動作を行い、一定時間、液滴状の塗布液を吐出する。廃液トレイ７１は、吐出される塗布液を一時的に収容する。廃液トレイ７１は、上部に開口した箱形状を有しており、すべてのインクジェットヘッド４を覆うことができる大きさに形成されている。したがって、フラッシング動作の際、すべてのインクジェットヘッド４のノズルから吐出された液滴を受けることができる。また、底面部には、後述の廃液ライン８が接続されており、廃液ライン８により廃液タンク７２に接続されている。すなわち、廃液トレイ７１に吐出された塗布液は、廃液ライン８を通じて廃液タンク７２に排出されるようになっている。

【0035】

また、インクジェット塗布装置には、廃液ライン８が設けられている。廃液ライン８は、廃棄すべき塗布液、再利用可能な塗布液等、現在進行中の生産に不要な塗布液を送液するためのものである。この廃液ライン８は、塗布レシピの切替時、所定枚数の基材への塗布が完了したタイミング、塗布液の入れ替えのタイミングに各処理ユニットから塗布液を排出する場合に使用される。なお、廃液ライン８は、本実施形態では、樹脂製のチューブを用いているが、金属製の配管でもよく、流路を形成するものであれば、特に限定しない。

【0036】

廃液ライン８は、排液が必要になる各処理ユニット毎に設けられている。本実施形態では、サブタンク５、インクジェットヘッド４、気泡除去タンク２、フィルタユニット３、廃液トレイ７１、ベントタンク７３に接続して設けられており、特に、サブタンク５に設けられる廃液ライン８は、サブタンク廃液ライン８５、インクジェットヘッド４に設けられる廃液ライン８は、ヘッド廃液ライン８４、気泡除去タンク２及びフィルタユニット３に設けられる廃液ライン８は、異物除去部廃液ライン８２、廃液トレイ７１に設けられる廃液ライン８は、廃液トレイ廃液ライン８７、ベントタンク７３に設けられる廃液ライン８は、ベントタンク廃液ライン８３と呼ぶこととする。なお、これらを区別する必要がない場合は、単に廃液ライン８と呼ぶことにする。

【0037】

ヘッド廃液ライン８４は、インクジェットヘッド４に残留する気泡が混入した塗布液を排出するためのものである。ヘッド廃液ライン８４は、バルブＶ１を有しており、バルブＶ１が開状態で供給ライン６から塗布液が送液されることにより、インクジェットヘッド４に残留する気泡が塗布液とともにヘッド廃液ライン８４を通じて排出される。ヘッド廃液ライン８４は、ベントタンク７３と接続されており、排出された気泡が混入した塗布液はベントタンク７３に送液され貯留される。このベントタンク７３は、気泡が混入した塗布液を一時的に貯留するためのものである。なお、通常の塗布動作の際には、バルブＶ１は閉状態になっており、ヘッド廃液ライン８４に塗布液が送液されないようになっている。

【0038】

また、サブタンク廃液ライン８５は、サブタンク５に残留する気泡が混入した塗布液を排出するためのものである。サブタンク廃液ライン８５は、バルブＶ２が設けられており、上述のヘッド廃液ライン８４と同様に、バルブＶ２が開状態で供給ライン６から塗布液が送液されることにより、サブタンク５に残留する気泡が塗布液とともにサブタンク廃液ライン８５を通じて排出される。サブタンク廃液ライン８５は、ベントタンク７３と接続されており、排出された気泡が混入した塗布液はベントタンク７３に送液され貯留される。なお、通常の塗布動作の際には、バルブＶ２は閉状態になっており、ヘッド廃液ライン８４に塗布液が送液されないようになっている。

【0039】

また、ベントタンク廃液ライン８３は、ベントタンク７３に貯留された塗布液を排出するためのものである。ベントタンク廃液ライン８３は、バルブＶ３が設けられており、バルブＶ３が開状態にすることにより、ベントタンク廃液ライン８３を通じて排液される。
ベントタンク７３が加圧されることによりベントタンク７３内に貯留された塗布液がベントタンク廃液ライン８３を通じて排出される。ベントタンク廃液ライン８３は、廃液タンク７２と接続されており、排出された塗布液は、最終的に廃液タンク７２に貯留される。なお、バルブＶ３は、通常は閉状態になっており、塗布液を排出する場合のみ、開状態なるように設定されている。

【0040】

また、廃液トレイ廃液ライン８７は、廃液トレイ７１に貯留された塗布液を排出するためのものである。廃液トレイ廃液ライン８７は、バルブＶ４が設けられており、バルブＶ４が開状態でブリード、フラッシングにより廃液トレイ７１に吐出された塗布液が廃液トレイ廃液ライン８７を通じて排出される。廃液トレイ廃液ライン８７は、廃液タンク７２と接続されており、排出された塗布液は、最終的に廃液タンク７２に貯留される。

【0041】

また、異物除去部廃液ライン８２は、気泡除去タンク２、フィルタユニット３に貯留された塗布液を排出するためのものである。異物除去部廃液ライン８２は、バルブＶ５、Ｖ６が設けられており、バルブＶ５、Ｖ６が開状態で気泡除去タンク２、フィルタユニット３が加圧されることにより、それぞれに貯留された塗布液が排出される。

【0042】

また、インクジェット塗布装置には、清掃ユニット９が設けられており、廃液ライン８を清掃できるようになっている。本実施形態では、清掃ユニット９が廃液ライン８毎に設けられており、それぞれの清掃ユニット９が独立して作動できるようになっている。すなわち、ヘッド廃液ライン８４、サブタンク廃液ライン８５、ベントタンク廃液ライン８３、廃液トレイ廃液ライン８７、異物除去部廃液ライン８２には、それぞれ清掃ユニット９が設けられており、それぞれの清掃ユニット９が独立して作動するようになっている。

【0043】

清掃ユニット９は、本実施形態では、洗浄液ライン９１とエアライン９２を有している。清掃ユニット９は、洗浄液ライン９１、及び、エアライン９２が必ず必要というわけではなく、状況に応じてエアライン９２のみで形成されていてもよい。例えば、洗浄液が残留することを避けたい場合や、使用した洗浄液の後処理が困難な場合には、清掃ユニット９はエアライン９２のみを有する構成であってもよい。

【0044】

洗浄液ライン９１は、洗浄液を送液するためのものであり、洗浄液ライン９１により、廃液ライン８に洗浄液が供給される。洗浄液ライン９１は、樹脂製のチューブを用いているが、金属製の配管でもよく、流路を形成するものであれば、特に限定しない。本実施形態の洗浄液は、塗布動作に使用する塗布液の溶媒が用いられている。そのため、廃液ライン８に供給されると、洗浄液により廃液ライン８に残留する塗布液が溶解、又は、軟化されることにより、廃液ライン８を流動しやすくなる。したがって、洗浄液ライン９１から廃液ライン８に洗浄液を供給することにより、廃液ライン８を清掃され、廃液ライン８の詰まりを抑えることができる。

【0045】

また、エアライン９２は、エアを供給するためのものであり、エアライン９２により、廃液ライン８にエアが供給される。エアライン９２も洗浄液ライン９１と同様に、樹脂製のチューブを用いているが、金属製の配管でもよく、流路を形成するものであれば、特に限定しない。本実施形態では、エアとしてＮ２ガスが使用されており、このＮ２ガスが供給されることにより、廃液ライン８内に滞留した塗布液が吹き飛ばされる、あるいは、圧力で押し流される。これにより、廃液ライン８内が清掃され、廃液ライン８の詰まりを抑えることができる。また、エアライン９２は、廃液ライン８内を乾燥させることにも使用することができる。すなわち、洗浄液ライン９１から洗浄液が供給されることにより廃液ライン８内が清掃された後、エアライン９２によりエアが供給されることにより、洗浄液による清掃後の廃液ライン８内に滞留する塗布液を押し流すとともに、エアの流れにより廃液ライン８内に残留する洗浄液を乾燥させることができる。なお、本実施形態では、Ｎ２ガスが使用されているが、他の不活性ガスであってもよく、塗布液と反応しないガスであれば特に限定しない。

【0046】

清掃ユニット９は、本実施形態では、ヘッド廃液ライン８４、サブタンク廃液ライン８５、ベントタンク廃液ライン８３、廃液タンク７２廃液ライン８に直接接続されて設けられている。具体的には、それぞれの廃液ライン８には、バルブＶ１～Ｖ４の下流側に接続されて設けられている。接続位置は、可能な限りバルブＶ１～Ｖ４の直下が好ましい。すなわち、バルブＶ１～Ｖ４直下に位置させることで、廃液ライン８全体で清掃されない領域を可能な限り少なくすることができる。

【0047】

また、清掃ユニット９は、各廃液ライン８毎に独立して作動させることができる。すなわち、清掃ユニット９は、ヘッド廃液ライン８４のみ、サブタンク廃液ライン８５のみ、ベントタンク廃液ライン８３のみ、廃液トレイ廃液ライン８７のみ、選択的に作動させることができ、例えば、これら廃液ライン８の汚れが激しい特定の廃液ライン８の清掃ユニット９のみを選択的に作動させ、清掃することができる。そして、例えば、ヘッド廃液ライン８４のみを清掃する場合には、バルブＶ１を閉状態にして洗浄液ライン９１から洗浄液を送液した後、エアライン９２からＮ２ガスを送ることにより、ヘッド廃液ライン８４のみが清掃される。

【0048】

また、バルブＶ１～Ｖ４を閉状態で清掃できることにより、塗布動作中に清掃することができる。これにより、清掃ユニット９による清掃処理は、塗布動作を停止した状態に限らず行うことができ、例えば、生産する基材のロット毎に行う場合、所定時間経過毎に行う場合など、塗布動作状態に影響されることなく清掃処理を行うことができる。

【0049】

また、本実施形態では、清掃ユニット９の洗浄液ライン９１、エアライン９２は、洗浄液ライン９１が下流側、エアライン９２が上流側に設けられている。これにより、洗浄液ライン９１からの洗浄液で洗浄された領域に必ずエアライン９２からのエアが供給されるため、清掃処理後に洗浄液が残留する問題を回避することができる。

【0050】

また、異物除去部廃液ライン８２には、エアライン９２のみの清掃ユニット９が設けられており、気泡除去タンク２、フィルタユニット３を介して設けられている。具体的には、バルブＶ５、Ｖ６を開状態でエアライン９２からＮ２ガスを供給することにより、気泡除去タンク２、フィルタユニット３内の塗布液が異物除去部廃液ライン８２を通じて排出される。なお、本実施形態では、異物除去部廃液ライン８２に直接、清掃ユニット９が設けられていないが、異物除去部廃液ライン８２に直接、清掃ユニット９（洗浄液ライン９１、エアライン９２含む）を設けてもよい。

【0051】

一方、供給ライン６には、供給ライン用エアライン６１と供給ライン用洗浄液ライン６２が設けられており、これら供給ライン用エアライン６１及び供給ライン用洗浄液ライン６２により、供給ライン６及び各処理ユニットが清掃される。すなわち、次の塗布膜の形成に使用される塗布液の種類が異なる場合や、インクジェット塗布装置を完全に停止し長期間使用しない場合には、供給ライン６、各処理ユニットが清掃される。具体的には、供給ライン用洗浄液ライン６２と供給ライン用エアライン６１は、供給ライン６に接続可能に構成されており、バルブで切り替えて選択的に使用できるようになっている。図１の例では、供給ライン６に接続口６３が設けられており、その接続口６３に供給ライン用洗浄液ライン６２と供給ライン用エアライン６１との共通ライン６４が接続可能に構成されている。そして、供給ライン６が接続された状態でバルブを切り替えることにより、供給用洗浄液ライン９１又は供給用エアライン９２が使用できるようになっている。そして、供給用洗浄液ライン９１から洗浄液を供給することにより、各処理ユニット及び供給ライン６に残留する塗布液が溶解、又は、軟化される。その後、供給ライン用エアライン６１からエア（本実施形態ではＮ２）が供給されることにより、洗浄液で溶解、又は、軟化された残留塗布液が圧力により押し流され、さらに継続してエアが供給されることにより各処理ユニット及び供給ライン６が乾燥される。これにより、各処理ユニット、供給ライン６が清掃される。

【0052】

なお、この供給ライン用エアライン６１と供給ライン用洗浄液ライン６２は、洗浄液が塗布液に混入すると製品に影響するため、インクジェット塗布装置を完全停止する場合に使用することができる。

【0053】

次に、インクジェット塗布装置の動作について図２のフローチャートを用いて説明する。なお、本実施形態では、塗布膜が形成された基材がＮ枚に達すると（１ロットの基材が処理されると）廃液ライン８の清掃処理が行われる場合について説明する。

【0054】

まず、ステップＳ１により塗布準備工程が行われる。すなわち、塗布液タンク１から供給ライン６を通じて塗布液を送液し、各送液ライン、各処理ユニットに塗布液を充填させる。具体的には、塗布液を送液することにより、各送液ライン、各処理ユニットに残留するエアを押し出すことにより、エアが混入した塗布液を廃液ライン８を通じて排出する。すなわち、サブタンク５に存在するエアは、バルブＶ２を開にした状態で塗布液を送液することによりサブタンク廃液ライン８５を通じて排出され、エアベントタンク７３に収容される。また、インクジェットヘッド４に存在するエアは、エアベント処理により、バルブＶ１を開にした状態で塗布液が供給されることにより、気泡が混入した塗布液がヘッド廃液ライン８４を通じて排出される。このようにして、各送液ライン、各処理ユニットに塗布液が充填されると、ステージ上に基材が供給され、ステージ上で位置決めされる。

【0055】

次に、ステップＳ２により塗布動作が行われる。すなわち、インクジェットヘッド４が基材上を操作しつつ、ノズルから液滴状の塗布液が吐出されることにより、基材上の所定位置に塗布膜が形成される。

【0056】

次に、ステップＳ３により、所定枚数の基材を生産完了したか、又は、種類の異なる塗布液に交換するか否かの確認が行われ、所定枚数の基材を生産していない場合、又は、塗布液の交換が必要ない場合は、ＮＯの方向に進み、ステップＳ２の塗布動作が継続して行われる。

【0057】

ここで、ステップＳ１において、エアベント処理等で廃液ライン８に排出された塗布液が廃液ライン８、ベントタンク７３に滞留されており、ステップＳ３における生産完了、又は、塗布液交換時期まで放置されると、塗布液の種類によっては、時間経過により滞留した塗布液が固化してしまい、配管詰まりが生じる虞がある。そのため、ステップＳ３の条件が満たされる前、塗布動作中であっても、Ｎ枚の基材に対する塗布処理が完了したタイミングで廃液ライン８の清掃が行われる。具体的には、ステップＳ１１～Ｓ１５の処理が行われる。

【0058】

まず、ステップＳ１１により、所定枚数の基材が処理されたか否かが確認される。本実施形態では、Ｎ枚の基材が処理されたか否かが確認され、処理されていなければ、ＮＯの方向に進み、Ｎ枚の基材が処理されるまで継続してステップＳ１１が処理される。一方、Ｎ枚の基材が処理された場合は、ＹＥＳの方向に進み、ステップＳ１２により、ヘッド廃液ライン８４の清掃が行われる。すなわち、ヘッド廃液ライン８４に設けられた清掃ユニット９が作動し、ヘッド廃液ライン８４を清掃する。具体的には、バルブＶ３が閉状態のままで、洗浄液ライン９１から洗浄液が供給される。供給された洗浄液は、ヘッド廃液ライン８４内を流動することにより、ヘッド廃液ライン８４内に付着した塗布液と混ざり合い、溶解又は軟化しつつ、塗布液と共に流動する。そして、塗布液と混ざり合った塗布液は、ベントタンク７３に送液され、ベントタンク７３に貯留される。次に、エアライン９２からＮ２ガスが供給される。供給されたＮ２ガスがヘッド廃液ライン８４を流れることにより、ヘッド廃液ライン８４に残留する洗浄液をベントタンク７３に押し流すとともに、ヘッド廃液ライン８４を乾燥させる。これにより、ヘッド廃液ライン８４内が清掃され、ヘッド廃液ライン８４内で塗布液が固化して配管詰まりを発生させるのを回避することができる。

【0059】

次に、ステップＳ１３により、サブタンク廃液ライン８５の清掃が行われる。具体的には、上述のヘッド廃液ライン８４の清掃と同様に、洗浄液ライン９１、エアライン９２により、サブタンク廃液ライン８５内が洗浄され清掃される。なお、サブタンク廃液ライン８５に残留する塗布液は、ヘッド廃液ライン８４と同様、ベントタンク７３に送液され貯留される。

【0060】

次に、ステップＳ１４により、ベントタンク廃液ライン８３の清掃が行われる。具体的には、バルブＶ４を閉じた状態で、上述したヘッド廃液ライン８４と同様に、洗浄液ライン９１、エアライン９２により、ベントタンク廃液ライン８３内が洗浄され清掃される。なお、ベントタンク廃液ライン８３に残留する塗布液は、廃液タンク７２に送液され貯留される。

【0061】

次に、ステップＳ１５により、廃液トレイ廃液ライン８７の清掃が行われる。具体的には、上述のヘッド廃液ライン８４の清掃と同様に、洗浄液ライン９１、エアライン９２により、廃液トレイ廃液ライン８７内が洗浄され清掃される。なお、廃液トレイ廃液ライン８７に残留する塗布液は、廃液タンク７２に送液され貯留される。このようにして、ヘッド廃液ライン８４、サブタンク廃液ライン８５、ベントタンク廃液ライン８３、廃液トレイ廃液ライン８７は、それぞれ独立して清掃ユニット９が作動し、清掃処理を行うことができるようになっており、それぞれの廃液ライン８内で塗布液が固化して配管詰まりを発生させるのを回避することができるようになっている。

【0062】

次に、ステップＳ３において、所定枚数の生産が完了した場合、又は、塗布液の交換が必要な場合は、ＹＥＳの方向に進み、ステップＳ４の異物除去部の廃液ライン８清掃が行われる。この場合、一ロット生産が完了したことによりインクジェット塗布装置が停止され、次のロットの生産を行うために、インクジェット塗布装置全体が清掃され、リセットされる。具体的には、気泡除去タンク２、フィルタユニット３にエアライン９２からエアが供給されることにより気泡除去タンク２、フィルタユニット３に収容された塗布液が押し流され、異物除去部廃液ライン８２を通じて、塗布液が廃液タンク７４に送液され貯留される。これにより、気泡除去タンク２、フィルタユニット３に収容された塗布液は、廃液タンク７４に貯留される。なお、完全にインクジェット塗布装置の生産が終了する場合、又は、異なる種類の塗布液に交換される場合には、供給ライン６にも供給ライン用洗浄液ライン６２、供給ライン用エアライン６１により、供給ライン６が清掃される。この場合、気泡除去タンク２、フィルタユニット３にも供給ライン用洗浄液ライン６２から送液される洗浄液により清掃され、異物除去部廃液ライン８２から塗布液が排出される。この場合、廃液タンク７４の塗布液は、洗浄液が混入しているため、再利用されることはない。

【0063】

このように、上記実施形態におけるインクジェット塗布装置によれば、廃液ライン８に清掃ユニット９が設けられているため、廃液ライン８に塗布液が滞留した場合でも清掃ユニット９が清掃することにより廃液ライン８に長時間、塗布液が流動しない状態を回避することができる。したがって、廃液ライン８に塗布液が滞留して硬化することを抑えることができるため、塗布液が滞留することに起因して廃液ライン８が詰まる問題を回避してインクジェット塗布装置を長期に亘って安定して稼働させることができる。

【0064】

また、上記実施形態では、異物除去部廃液ライン８２以外の廃液ライン８に設ける清掃ユニット９が洗浄液ライン９１とエアライン９２とを有する例について説明したが、すべての清掃ユニット９がエアライン９２のみ設けるものであってもよい。この場合には、エアのみで清掃が行われるため、洗浄液等を用いる場合に比べて、配管内に清掃処理による溶剤が残留することがなく、清掃処理後のインクジェット塗布装置の復帰を容易にすることができる。また、洗浄液を廃棄するための処理が不要になるため、洗浄液が含まれる塗布液を廃棄するためのコストを抑えることができる。

【0065】

また、上記実施形態では、清掃ユニット９の洗浄液ライン９１及びエアライン９２が廃液ライン８に固定的に接続される例について説明したが、廃液ライン８に洗浄ユニットが接続可能な接続口を設けておき、必要な場合のみ、この接続口に洗浄ライン、エアライン９２が接続される構成であってもよい。このように構成することにより、すべての廃液ライン８に独立して洗浄液ライン９１、エアライン９２を設ける必要がないため、洗浄液ライン９１、エアライン９２の配管構成を簡略化することができる。

【0066】

また、上記実施形態では、清掃ユニット９の洗浄液ライン９１及びエアライン９２が、供給ライン用エアライン６１、供給ライン用洗浄液ライン６２と独立して設ける例について説明したが、洗浄液ライン９１及びエアライン９２が、供給ライン用エアライン６１、供給ライン用洗浄液ライン６２から分岐して設け、それぞれ洗浄液の供給源、エアの供給源を共通して設けるものであってもよい。

【0067】

また、上記実施形態では、清掃ユニット９が基材の処理枚数によって処理が行われる例について説明したが、所定時間経過すれば清掃処理が行われるように設定してもよく、塗布動作中であっても清掃処理が行われるように設定することにより、塗布液の種類に影響されることなく、廃液ライン８における配管詰まりの問題を抑えることができる。

【符号の説明】

【0068】

１ 塗布液タンク
４ インクジェットヘッド
５ サブタンク
６ 供給ライン
８ 廃液ライン
９ 清掃ユニット
９１ 洗浄液ライン
９２ エアライン

【図1】

【図2】

【図3】