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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022031241
(43)【公開日】2022-02-18
(54)【発明の名称】振動発生装置
(51)【国際特許分類】
H02K 33/18 20060101AFI20220210BHJP
B06B 1/04 20060101ALI20220210BHJP
H02K 33/02 20060101ALI20220210BHJP
【ＦＩ】
H02K33/18 B
B06B1/04 Z
H02K33/02 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021129311
(22)【出願日】2021-08-05
(31)【優先権主張番号】P 2020135105
(32)【優先日】2020-08-07
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】593040391
【氏名又は名称】エミック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】特許業務法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】原田 和哉
(72)【発明者】
【氏名】小林 雄
【テーマコード（参考）】
5D107
5H633
【Ｆターム（参考）】
5D107AA09
5D107CC08
5D107FF10
5H633BB02
5H633BB09
5H633BB10
5H633GG02
5H633GG03
5H633GG06
5H633GG09
5H633GG22
5H633HH02
5H633HH15
5H633HH17
5H633JA02
5H633JB01
(57)【要約】
【課題】簡単な制御構成で、磁路形成部材および駆動コイルの温度をできるだけ低い温度に維持して、耐久性を向上させた振動発生装置を提供する。
【解決手段】励磁コイル（磁路形成部材）が発生させた静磁場の中で、移動方向を規制された駆動コイルを、振動制御部（励磁制御部）が発生させた電磁力によって往復移動させる。冷却制御部（第１の回転数設定部）は、温度センサ（温度測定部）が測定した励磁コイルの温度が、当該励磁コイルに応じた温度領域のいずれに属するかに応じて、冷却ブロア（ブロア）の回転数を設定する。また、冷却制御部（第２の回転数設定部）は、温度センサが測定した駆動コイルの温度が、当該駆動コイルに応じた温度領域のいずれに属するかに応じて、冷却ブロアの回転数を設定する。そして、冷却制御部は、励磁コイルと駆動コイルとの温度に応じて設定された冷却ブロアの回転数のうち、高い回転数で冷却ブロアを回転させる。
【選択図】図１
【解決手段】励磁コイル（磁路形成部材）が発生させた静磁場の中で、移動方向を規制された駆動コイルを、振動制御部（励磁制御部）が発生させた電磁力によって往復移動させる。冷却制御部（第１の回転数設定部）は、温度センサ（温度測定部）が測定した励磁コイルの温度が、当該励磁コイルに応じた温度領域のいずれに属するかに応じて、冷却ブロア（ブロア）の回転数を設定する。また、冷却制御部（第２の回転数設定部）は、温度センサが測定した駆動コイルの温度が、当該駆動コイルに応じた温度領域のいずれに属するかに応じて、冷却ブロアの回転数を設定する。そして、冷却制御部は、励磁コイルと駆動コイルとの温度に応じて設定された冷却ブロアの回転数のうち、高い回転数で冷却ブロアを回転させる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
静磁場を発生させる磁路形成部材と、
被検体を載置する載置部と、
当該載置部に設置されて、移動方向を規制された状態で前記静磁場の中に置かれた駆動コイルと、
前記駆動コイルに、当該駆動コイルおよび前記載置部を前記移動方向に沿って往復移動させる電磁力を発生させる励磁制御部と、
前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度を測定する温度測定部と、
前記磁路形成部材および前記駆動コイルを冷却するブロアを駆動する冷却制御部と、
前記磁路形成部材の温度が、当該磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する第１の回転数設定部と、
前記駆動コイルの温度が、当該駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する第２の回転数設定部と、を備えて、
前記冷却制御部は、前記第１の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数と、前記第２の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数のうち、高い回転数で前記ブロアを回転させる、
振動発生装置。
被検体を載置する載置部と、
当該載置部に設置されて、移動方向を規制された状態で前記静磁場の中に置かれた駆動コイルと、
前記駆動コイルに、当該駆動コイルおよび前記載置部を前記移動方向に沿って往復移動させる電磁力を発生させる励磁制御部と、
前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度を測定する温度測定部と、
前記磁路形成部材および前記駆動コイルを冷却するブロアを駆動する冷却制御部と、
前記磁路形成部材の温度が、当該磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する第１の回転数設定部と、
前記駆動コイルの温度が、当該駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する第２の回転数設定部と、を備えて、
前記冷却制御部は、前記第１の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数と、前記第２の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数のうち、高い回転数で前記ブロアを回転させる、
振動発生装置。
【請求項2】
前記温度領域は、前記ブロアの回転数を第１の所定回転数に設定することによって、前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度変化が発生した場合であっても、当該磁路形成部材および当該駆動コイルを、動作を損なう限界温度に到達させない第１の温度領域を含む、
請求項１に記載の振動発生装置。
請求項１に記載の振動発生装置。
【請求項3】
前記冷却制御部は、
前記第１の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数と、前記第２の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数のうち高い回転数が、所定の回転数以下である場合に、前記ブロアを停止させる、
請求項２に記載の振動発生装置。
前記第１の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数と、前記第２の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数のうち高い回転数が、所定の回転数以下である場合に、前記ブロアを停止させる、
請求項２に記載の振動発生装置。
【請求項4】
前記温度領域は、前記ブロアの回転数を、前記第１の所定回転数よりも高い第２の所定回転数に設定することによって、前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度変化が発生した場合であっても、当該磁路形成部材および当該駆動コイルを、動作を損なう限界温度に到達させない第２の温度領域を含む、
請求項２または請求項３に記載の振動発生装置。
請求項２または請求項３に記載の振動発生装置。
【請求項5】
前記冷却制御部は、
前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度のうち高い温度が、前記第２の温度領域に属している場合に、前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記温度の上昇に応じて漸増する回転数を設定する、
請求項４に記載の振動発生装置。
前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度のうち高い温度が、前記第２の温度領域に属している場合に、前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記温度の上昇に応じて漸増する回転数を設定する、
請求項４に記載の振動発生装置。
【請求項6】
前記温度領域は、前記ブロアの回転数を、前記第２の所定回転数よりも高い第３の所定回転数に設定することによって、前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度変化が発生した場合であっても、当該磁路形成部材および当該駆動コイルを、動作を損なう限界温度に到達させない第３の温度領域を含む、
請求項４または請求項５に記載の振動発生装置。
請求項４または請求項５に記載の振動発生装置。
【請求項7】
前記振動発生装置の稼働時間を積算する稼働時間積算部を更に備えて、
前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域と、前記駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域とを、前記稼働時間積算部が積算した稼働時間に応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の振動発生装置。
前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域と、前記駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域とを、前記稼働時間積算部が積算した稼働時間に応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする、
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項8】
前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、予め設定した、前記振動発生装置の稼働時間と前記複数の温度領域との対応関係を示すマップに基づいて、前記複数の温度領域を設定する、
請求項７に記載の振動発生装置。
請求項７に記載の振動発生装置。
【請求項9】
前記磁路形成部材および前記駆動コイルの色を計測する色測定部を更に備えて、
前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域と、前記駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域とを、
前記色測定部が測定した前記磁路形成部材および前記駆動コイルの色に応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする、
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の振動発生装置。
前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域と、前記駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域とを、
前記色測定部が測定した前記磁路形成部材および前記駆動コイルの色に応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする、
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項10】
前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、予め設定した、前記磁路形成部材および前記駆動コイルの色と前記複数の温度領域との対応関係を示すマップに基づいて、前記複数の温度領域を設定する、
請求項９に記載の振動発生装置。
請求項９に記載の振動発生装置。
【請求項11】
前記温度測定部は、前記磁路形成部材の、前記ブロアによって生じた空気の流れの風下側の位置の温度を測定するように設置される、
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の振動発生装置。
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項12】
前記温度測定部は、前記駆動コイルが、前記ブロアによって生じた空気の流れの最も風上側に位置する際に、当該駆動コイルの、風下側の位置の温度を測定するように設置される、
請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の振動発生装置。
請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項13】
前記磁路形成部材は、励磁コイルである、
請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の振動発生装置。
請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項14】
前記励磁コイルは、前記冷却制御部による冷却風の上流側と下流側とに２個設置されて、
前記第１の回転数設定部は、
前記温度測定部が測定した前記励磁コイルのいずれか一方の温度と、前記冷却制御部の動作状態に応じた各励磁コイルの温度と前記励磁コイルのいずれか一方の温度とに基づいて推定された他方の励磁コイルの温度と、のうち高い温度が、前記励磁コイルに応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する、
請求項１３に記載の振動発生装置。
前記第１の回転数設定部は、
前記温度測定部が測定した前記励磁コイルのいずれか一方の温度と、前記冷却制御部の動作状態に応じた各励磁コイルの温度と前記励磁コイルのいずれか一方の温度とに基づいて推定された他方の励磁コイルの温度と、のうち高い温度が、前記励磁コイルに応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する、
請求項１３に記載の振動発生装置。
【請求項15】
前記磁路形成部材は、永久磁石である、
請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の振動発生装置。
請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、振動発生装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、励磁コイルと駆動コイルとを励磁した際に発生する電磁力によって、駆動部に載置した被試験体を振動させる動電式の振動発生装置が知られている。
【0003】
例えば、特許文献１に記載された振動発生装置は、励磁コイルおよび駆動コイルを、限界温度に近い状態で動作させるように、励磁コイルおよび駆動コイルを冷却するブロアの回転数を制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１０－２７６４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１の振動発生装置では、励磁コイルおよび駆動コイルを、限界温度に近い状態で動作させるため、制御構成が複雑であるとともに、コイルの寿命が低下するという問題があった。
【0006】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な制御構成で、振動発生装置を構成する磁路形成部材および駆動コイルの温度をできるだけ低い温度に維持することによって、磁路形成部材および駆動コイルの耐久性を向上させた振動発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る振動発生装置は、静磁場を発生させる磁路形成部材と、被検体を載置する載置部と、当該載置部に設置されて、移動方向を規制された状態で前記静磁場の中に置かれた駆動コイルと、前記駆動コイルに、当該駆動コイルおよび前記載置部を前記移動方向に沿って往復移動させる電磁力を発生させる励磁制御部と、前記磁路形成部材および前記駆動コイルの温度を測定する温度測定部と、前記磁路形成部材および前記駆動コイルを冷却するブロアを駆動する冷却制御部と、前記磁路形成部材の温度が、当該磁路形成部材に応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する第１の回転数設定部と、前記駆動コイルの温度が、当該駆動コイルに応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、前記ブロアの回転数を設定する第２の回転数設定部と、を備えて、前記冷却制御部は、前記第１の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数と、前記第２の回転数設定部が設定した前記ブロアの回転数のうち、高い回転数で前記ブロアを回転させることを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明に係る振動発生装置は、簡単な制御構成で、振動発生装置を構成する磁路形成部材および駆動コイルの温度をできるだけ低い温度に維持することによって、磁路形成部材および駆動コイルの耐久性を向上させることができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下に、本開示に係る振動発生装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が置換可能、且つ、容易に想到できるもの、或いは実質的に同一のものが含まれる。
【0011】
（第１の実施形態）
［振動発生装置の概略構成の説明］
まず、図１を用いて第１の実施形態に係る動電式の振動発生装置１０ａの全体構成について説明する。図１は、第１の実施形態に係る振動発生装置の全体概要図である。
［振動発生装置の概略構成の説明］
まず、図１を用いて第１の実施形態に係る動電式の振動発生装置１０ａの全体構成について説明する。図１は、第１の実施形態に係る振動発生装置の全体概要図である。
【0012】
【0013】
固定部２１は、例えば、鉄などの透磁性を有する材料から構成される、円環状の固定部２１と、当該固定部２１に流れる磁束を発生させる、円環状の励磁コイル１５（磁束発生手段）とを備える。励磁コイル１５は、固定部２１の内部に設置されて、非図示の定電圧源から直流電圧が印加されることによって、固定部２１に一定の磁束を生成する。より具体的には、励磁コイル１５は、固定部２１の空隙部２３に挿入される駆動コイル１６に対して直交する方向の磁界（静磁場）を発生させるように配置される。なお、励磁コイル１５は、本開示における磁路形成部材の一例である。
【0014】
駆動部１２は、被試験体を載置する試験台１３と、駆動部１２と固定部２１とを連結して、駆動部１２を可動状態で保持する弾性部１４と、を備える。そして、駆動部１２の底部には、固定部２１の空隙部２３に挿入される駆動コイル１６が設置される。
【0015】
駆動コイル１６は、電力増幅器２７を介して振動制御部２８ａに接続されている。振動制御部２８ａは、被試験体に所定パターンの振動を与えるために必要な振動信号を生成して、電力増幅器２７を介して駆動コイル１６に印加する。振動制御部２８ａは、本開示における励磁制御部の一例である。
【0016】
また、振動制御部２８ａは、図１に非図示の定電圧源から、励磁コイル１５に直流電圧を印加して静磁場を生成する。
【0017】
また、振動制御部２８ａは、操作者の操作指示を受けて、振動発生装置１０ａの制御モードを、ノーマルモードとエコモードとのいずれかに設定する。ノーマルモードとエコモードについて、詳しくは後述する。
【0018】
駆動部１２は、固定部２１に設けられた軸受け２５に挿入される軸２４を有する。軸受け２５には、ベアリング２６が設けられて、このベアリング２６によって、駆動コイル１６の軸２４が拘束される。
【0019】
駆動部１２は、軸２４と、軸受け２５およびベアリング２６と、前記した弾性部１４とを有する拘束機構によって、可動域を所定の範囲（図２の例では上下方向（Ｚ軸方向））に制限される。
【0020】
なお、拘束機構として、固定部２１と駆動部１２との間に、ダンパー（非図示）を設けることもできる。このようにダンパーを設けることにより、駆動部１２に必要以上の加振力が加わらないようにすることができ、これによって、駆動部１２の破損を防止することができる。
【0021】
冷却ブロア３０は、駆動コイル１６が移動する空間である空隙部２３が延長された貫通穴３５を通して、外気を吸引することにより、励磁コイル１５と駆動コイル１６とを冷却する。冷却ブロア３０は、例えば、複数の回転羽を備えたファンである。冷却ブロア３０の回転によって、振動発生装置１０ａの周囲の外気が、空隙部２３の上方から吸引されて、固定部２１の底の貫通穴３５のからブロアホース３２に吸い出される。即ち、励磁コイル１５と駆動コイル１６とを冷却する空気は、図１に示す矢印Ａに沿って流れる。この空気の流れによって、励磁コイル１５と駆動コイル１６とが冷却される。なお、冷却ブロア３０は、本開示におけるブロアの一例である。
【0022】
励磁コイル１５の温度Ｔ１は、温度センサ１８によって測定される。温度センサ１８は、例えば放射温度計である。温度センサ１８は、固定部２１に開口された、励磁コイル１５を臨む開口部２２ａの外側に設置されて、励磁コイル１５の温度Ｔ１を非接触で測定する。なお、温度センサ１８は、本開示における温度測定部の一例である。
【0023】
駆動コイル１６の温度Ｔ２は、温度センサ１９によって測定される。温度センサ１９は、例えば放射温度計である。温度センサ１９は、固定部２１に開口された、駆動コイル１６を臨む開口部２２ｂの外側に設置されて、駆動コイル１６の温度Ｔ２を非接触で測定する。なお、温度センサ１９は、本開示における温度測定部の一例である。
【0024】
なお、温度センサ１８は、励磁コイル１５のなるべく下方の温度を測定するように設置される。これは、冷却ブロア３０が動作中、即ち矢印Ａに沿った空気の流れがある場合、風下側である励磁コイル１５の下方の温度は、風上側である励磁コイル１５の上方の温度よりも高い場合が多いため、なるべく温度が高い部分の温度を測定するのが、冷却度合を決定する上で望ましいためである。
【0025】
駆動コイル１６は、図１においてＺ軸に沿って上下に移動するため、駆動コイル１６の位置に関わらず、温度センサ１９が常に駆動コイル１６の温度を測定できる位置に設置される。例えば、温度センサ１９は、駆動コイル１６が冷却ブロア３０によって生じた空気の流れの最も風上側に位置する際に、当該駆動コイル１６の風下側の位置の温度を測定するように設置される。
【0026】
なお、本実施形態では、非接触の温度センサ１８，１９を用いて説明するが、温度センサ１８，１９は接触型であってもよい。その場合、例えば、熱電対やサーミスタ等のセンサが使用される。
【0027】
冷却制御部２８ｂは、温度センサ１８が測定した励磁コイル１５の温度Ｔ１と、温度センサ１９が測定した駆動コイル１６の温度Ｔ２とに基づいて、冷却ブロア３０の回転数であるブロア周波数ｆを決定する。そして、冷却制御部２８ｂは、決定したブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。なお、冷却制御部２８ｂは、本開示における第１の回転数設定部および第２の回転数設定部の一例である。
【0028】
［コイルの温度に基づくブロア周波数の制御方法の説明］
次に、図２を用いて、励磁コイル１５の温度と駆動コイル１６の温度とに応じた適切なブロア周波数ｆの決定方法について説明する。図２は、励磁コイルおよび駆動コイルの温度に応じたブロア周波数特性の設定方法の一例を説明する図である。
次に、図２を用いて、励磁コイル１５の温度と駆動コイル１６の温度とに応じた適切なブロア周波数ｆの決定方法について説明する。図２は、励磁コイルおよび駆動コイルの温度に応じたブロア周波数特性の設定方法の一例を説明する図である。
【0029】
冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５の温度Ｔ１に応じた冷却ブロア３０のブロア周波数ｆを設定する。また、冷却制御部２８ｂは、駆動コイル１６の温度Ｔ２に応じた冷却ブロア３０のブロア周波数ｆを設定する。
【0030】
そして、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５のブロア周波数ｆと駆動コイル１６のブロア周波数ｆのうち高い周波数で冷却ブロア３０を駆動する。即ち、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５と駆動コイル１６のうち、より冷却が必要なコイルに応じた駆動周波数で、冷却ブロア３０を駆動する。
【0031】
振動発生装置１０ａは、ノーマルモードとエコモードを備える。ノーマルモードは、励磁電源レベル１００％で、駆動部１２を駆動する。図２に示すブロア周波数特性Ｎが、ノーマルモードにおけるブロア周波数ｆの温度特性を表す。エコモードは、励磁電源レベルを、例えば７０％に抑制して、駆動部１２を駆動する。図２に示すブロア周波数特性Ｅが、エコモードにおけるブロア周波数ｆの温度特性を表す。
【0032】
まず、ノーマルモードについて説明する。なお、励磁コイル１５と駆動コイル１６とは、同じ温度特性を有するものとする。
【0033】
冷却制御部２８ｂは、温度センサ１８，１９がそれぞれ測定した各コイルの温度に応じた、各コイルの温度領域を判定する。具体的には、コイルの温度が、安全温度領域Ｔａ（例えば～６０℃）に属する場合に、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆを、例えば４２Ｈｚの一定値（ブロア周波数ｆａ１）に設定する。なお、ブロア周波数ｆａ１は、本開示における第１の所定回転数の一例である。
【0034】
また、コイルの温度が、制御温度領域Ｔｂ（例えば６０～１００℃）に属する場合に、冷却制御部２８ｂは、６０℃から１００℃のコイルの温度変化に応じたブロア周波数ｆを、例えば４２Ｈｚ～６０Ｈｚの間で、コイルの温度上昇に応じて比例的に漸増するブロア周波数ｆａ２に設定する。なお、ブロア周波数ｆａ２は、本開示における第２の所定回転数の一例である。そして、ブロア周波数ｆａ２は、ブロア周波数ｆａ１よりも高い。
【0035】
そして、コイルの温度が、制限温度領域Ｔｃ（例えば１００～１２０℃）に属する場合に、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆを、例えば６０Ｈｚの一定値（ブロア周波数ｆａ３）に設定する。なお、ブロア周波数ｆａ３は、本開示における第３の所定回転数の一例である。そして、ブロア周波数ｆａ３は、ブロア周波数ｆａ２よりも高い。
【0036】
本実施形態では、励磁コイル１５と駆動コイル１６の温度特性は等しいため、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５の温度Ｔ１に基づいて設定したブロア周波数ｆと、駆動コイル１６の温度Ｔ２に基づいて設定したブロア周波数ｆとのうち高いブロア周波数ｆを選択する。そして、冷却制御部２８ｂは、選択されたブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。
【0037】
次に、エコモードを選択した場合のコイル温度制御動作を説明する。コイルの温度が安全温度領域Ｔａ（例えば～６０℃）に属する場合に、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆを、例えば０Ｈｚの一定値（ブロア周波数ｆｂ１）に設定する。即ち、冷却ブロア３０を停止する。なお、ブロア周波数ｆｂ１は、本開示における第１の所定回転数の一例である。
【0038】
また、コイルの温度が、制御温度領域Ｔｂ（例えば６０～１００℃）に属する場合に、冷却制御部２８ｂは、６０℃から１００℃のコイルの温度変化に応じたブロア周波数ｆを、例えば３０Ｈｚ～５４Ｈｚの間で、コイルの温度上昇に応じて比例的に漸増するブロア周波数ｆｂ２に設定する。なお、ブロア周波数ｆｂ２は、本開示における第２の所定回転数の一例である。そして、ブロア周波数ｆｂ２は、ブロア周波数ｆｂ１よりも高い。
【0039】
そして、コイルの温度が、制限温度領域Ｔｃ（例えば１００～１２０℃）に属する場合に、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆを、例えば５４Ｈｚの一定値（ブロア周波数ｆｂ３）に設定する。なお、ブロア周波数ｆｂ３は、本開示における第３の所定回転数の一例である。そして、ブロア周波数ｆｂ３は、ブロア周波数ｆｂ２よりも高い。
【0040】
冷却制御部２８ｂは、ノーマルモードの動作で説明した通り、励磁コイル１５の温度Ｔ１に基づいて設定したブロア周波数ｆと、駆動コイル１６の温度Ｔ２に基づいて設定したブロア周波数ｆとのうち、高いブロア周波数ｆを選択する。そして、冷却制御部２８ｂは、選択されたブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。
【0041】
以上により、加振力が小さい時にはエコモードを選択することで、励磁電源から励磁コイルに供給される電流がより小さくなり、また何れのモードを選択した場合でも、励磁コイル１５または駆動コイル１６の測定温度に応じて冷却ブロア３０の冷却能力を小さく出来ることでコイルの耐久性を確保出来ると同時に振動発生装置１０ａ全体の消費電力を小さくでき、省電力化が可能になる等の特長を有する。
【0042】
［コイルの温度領域の説明］
次に、図２を用いて、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域について、より具体的に説明する。
次に、図２を用いて、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域について、より具体的に説明する。
【0043】
振動発生装置１０ａに対して冷却作用を実施しない、または最低限の冷却作用を実施することによって、コイルの急激な温度変化が発生してもコイルの被覆材またはコイルの線材を固定する接着剤の限界温度に到達しない温度領域を、コイルの安全温度領域とする。コイルの安全温度領域Ｔａは、コイルの温度が、例えば６０℃以下の温度領域である。なお、安全温度領域Ｔａは、本開示における第１の温度領域の一例である。
【0044】
振動発生装置１０ａに対してコイル温度に応じた冷却作用を実施させることによって、コイルの急激な温度変化が発生してもコイルの被覆材またはコイルの線材を固定する接着剤の限界温度に到達しない温度領域を、コイルの制御温度領域Ｔｂとする。コイルの制御温度領域Ｔｂは、コイルの温度が、例えば６０～１００℃の温度領域である。なお、制御温度領域Ｔｂは、本開示における第２の温度領域の一例である。
【0045】
振動発生装置１０ａに対して冷却作用を実施していないと、コイルの被覆材またはコイルの線材を固定する接着剤の限界温度に到達する可能性が有る温度領域を、コイルの制限温度領域Ｔｃとする。コイルの制限温度領域Ｔｃは、コイルの温度が、例えば１００～１２０℃の温度領域である。なお、制限温度領域Ｔｃは、本開示における第３の温度領域の一例である。
【0046】
振動発生装置１０ａの機能を損なう温度、具体例としてはコイルを被覆する絶縁材料またはコイルの線材を固定する接着剤が熱で損傷することで振動発生装置１０ａの機能を損なう可能性がある温度領域を、コイルの限界温度領域Ｔｄとする。コイルの限界温度領域Ｔｄは、コイルの温度が、例えば１２０～１８０℃以上の温度領域である。
【0047】
なお、前記したコイルの安全温度領域Ｔａ、コイルの制御温度領域Ｔｂ、コイルの制限温度領域Ｔｃ、コイルの限界温度領域Ｔｄに対応する具体的な温度範囲は、一例であって、実際に使用される励磁コイル１５および駆動コイル１６に応じて設定される。
【0048】
［振動発生装置が行う処理の流れの説明］
次に、図３を用いて、振動発生装置１０ａが行う処理の流れを説明する。図３は、第１の実施形態において、振動発生装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
次に、図３を用いて、振動発生装置１０ａが行う処理の流れを説明する。図３は、第１の実施形態において、振動発生装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【0049】
振動制御部２８ａおよび冷却制御部２８ｂは、各種初期化処理を行う（ステップＳ１１）。各種初期化処理とは、例えば、発生させる振動波形の読み込みや、図２に示したノーマルモードおよびエコモードにおけるブロア周波数特性Ｎ，Ｅの読み込み等である。
【0050】
振動制御部２８ａは、振動発生装置１０ａの動作が開始したかを判定する（ステップＳ１２）。振動発生装置１０ａの動作が開始したと判定される（ステップＳ１２：Ｙｅｓ）とステップＳ１３に進む。一方、振動発生装置１０ａの動作が開始したと判定されない（ステップＳ１２：Ｎｏ）とステップＳ１２を繰り返す。
【0051】
ステップＳ１２において振動発生装置１０ａの動作が開始したと判定されると、振動制御部２８ａは振動信号を生成して、電力増幅器２７を介して駆動コイル１６に印加する。また、振動制御部２８ａは、図１に非図示の定電圧源から励磁コイル１５に直流電圧を印加させて、静磁場を発生させる（ステップＳ１３）。
【0052】
温度センサ１８は、励磁コイル１５の温度を測定して、温度センサ１９は、駆動コイル１６の温度を測定する（ステップＳ１４）。次に、ステップＳ１５およびステップＳ１９に進む。
【0053】
ステップＳ１４に続いて、冷却制御部２８ｂは、駆動コイル１６の温度が、いずれの温度領域に属しているかを判定する（ステップＳ１５）。温度領域が安全温度領域Ｔａであると判定されると、ステップＳ１６に進む。温度領域が制御温度領域Ｔｂであると判定されると、ステップＳ１７に進む。温度領域が制限温度領域Ｔｃであると判定されると、ステップＳ１８に進む。
【0054】
ステップＳ１５において、温度領域が安全温度領域Ｔａであると判定されると、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆをｆ１に設定する（ステップＳ１６）。そして、ステップＳ２３に進む。
【0055】
ステップＳ１５において、温度領域が制御温度領域Ｔｂであると判定されると、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆをｆ２に設定する（ステップＳ１７）。そして、ステップＳ２３に進む。
【0056】
ステップＳ１５において、温度領域が制限温度領域Ｔｃであると判定されると、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆをｆ３に設定する（ステップＳ１８）。そして、ステップＳ２３に進む。
【0057】
また、ステップＳ１４に続いて、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５の温度が、いずれの温度領域に属しているかを判定する（ステップＳ１９）。温度領域が安全温度領域Ｔａであると判定されると、ステップＳ２０に進む。温度領域が制御温度領域Ｔｂであると判定されると、ステップＳ２１に進む。温度領域が制限温度領域Ｔｃであると判定されると、ステップＳ２２に進む。
【0058】
ステップＳ１９において、温度領域が安全温度領域Ｔａであると判定されると、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆをｆ４に設定する（ステップＳ２０）。そして、ステップＳ２３に進む。
【0059】
ステップＳ１９において、温度領域が制御温度領域Ｔｂであると判定されると、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆをｆ５に設定する（ステップＳ２１）。そして、ステップＳ２３に進む。
【0060】
ステップＳ１９において、温度領域が制限温度領域Ｔｃであると判定されると、冷却制御部２８ｂは、ブロア周波数ｆをｆ６に設定する（ステップＳ２２）。そして、ステップＳ２３に進む。
【0061】
冷却制御部２８ｂは、ステップＳ１６，Ｓ１７，Ｓ１８のいずれか、またはステップＳ２０，Ｓ２１，Ｓ２２のいずれかに続いて、設定されたブロア周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３のいずれかと、設定されたブロア周波数ｆ４，ｆ５，ｆ６のいずれかのうち、高いブロア周波数で、冷却ブロア３０を駆動する（ステップＳ２３）。
【0062】
振動制御部２８ａは、振動発生装置１０ａの停止指示が入力されたかを判定する（ステップＳ２４）。停止指示が入力されたと判定される（ステップＳ２４：Ｙｅｓ）と、振動発生装置１０ａは図３の処理を終了する。一方、停止指示が入力されたと判定されない（ステップＳ２４：Ｎｏ）と、ステップＳ１４に戻って、振動発生装置１０ａは前記した処理を繰り返す。
【0063】
なお、前記した処理の流れは、振動発生装置１０ａがノーマルモードで動作している場合のものである。エコモードで動作している場合は、図２に示すブロア周波数特性Ｅに基づいたブロア周波数ｆが設定される。
【0064】
また、図３に示す処理の流れは、励磁コイル１５と駆動コイル１６とが、同じ温度特性を有する場合についてのものである。しかし、一般には、励磁コイル１５と駆動コイル１６とは、使用している線材の違い、絶縁材の違い、線材を固定する接着剤の違い等によって、異なる温度特性を有する。本実施形態の振動発生装置１０ａは、このような場合であっても、適切なブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動することができる。
【0065】
励磁コイル１５と駆動コイル１６の温度特性が異なる場合、各コイルの温度領域（安全温度領域Ｔａ，制御温度領域Ｔｂ，制限温度領域Ｔｃ）が異なる。
【0066】
このような場合、図２に示すブロア周波数特性Ｎ、およびブロア周波数特性Ｅが、励磁コイル１５と駆動コイル１６のそれぞれに対して設定される。冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５の温度Ｔ１に対応するブロア周波数ｆと、駆動コイル１６の温度Ｔ２に対応するブロア周波数ｆとを設定する。そして、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５の温度Ｔ１に対応するブロア周波数ｆと、駆動コイル１６の温度Ｔ２に対応するブロア周波数ｆとを比較して、高いブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。
【0067】
以上説明したように、本実施形態の振動発生装置１０ａは、励磁コイル１５（磁路形成部材）が発生させた静磁場の中で、振動制御部２８ａ（励磁制御部）が発生させた電磁力によって、移動方向を規制された駆動コイル１６を往復移動させる。励磁コイル１５の温度は温度センサ１８（温度測定部）によって測定されて、駆動コイル１６の温度は温度センサ１９（温度測定部）によって測定される。冷却制御部２８ｂ（第１の回転数設定部）は、励磁コイル１５の温度が、当該励磁コイル１５に応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、冷却ブロア３０（ブロア）の回転数を設定する。また、冷却制御部２８ｂ（第２の回転数設定部）は、駆動コイル１６の温度が、当該駆動コイル１６に応じて設定された複数の温度領域のいずれに属するかに基づいて、冷却ブロア３０（ブロア）の回転数を設定する。そして、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５の温度に応じて設定された冷却ブロア３０の回転数と、駆動コイル１６の温度に応じて設定された冷却ブロア３０の回転数のうち、高い回転数で冷却ブロア３０を回転させる。したがって、簡単な構成で、振動発生装置１０ａを構成する励磁コイル１５（磁路形成部材）および駆動コイル１６の温度をできるだけ低い温度に維持することによって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の耐久性を向上させることができる。
【0068】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域は、冷却ブロア３０の回転数を第１の所定回転数に設定することによって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度変化が発生した場合であっても、当該励磁コイル１５および駆動コイル１６を、動作を損なう限界温度に到達させない安全温度領域Ｔａ（第１の温度領域）を含む。したがって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の熱による耐久性の低下を防止することができる。
【0069】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、冷却制御部２８ｂは、冷却制御部２８ｂ（第１の回転数設定部）が設定した冷却ブロア３０（ブロア）の回転数と、冷却制御部２８ｂ（第２の回転数設定部）が設定した冷却ブロア３０の回転数のうち高い回転数が、所定の回転数以下である場合に、冷却ブロア３０を停止させる。したがって、冷却ブロア３０を停止させることにより、振動発生装置１０ａ全体の電力消費量を低減させることができる。
【0070】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域は、冷却ブロア３０の回転数を、第１の所定回転数よりも高い第２の所定回転数に設定することによって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度変化が発生した場合であっても、当該励磁コイル１５および駆動コイル１６を、動作を損なう限界温度に到達させない制御温度領域Ｔｂ（第２の温度領域）を含む。したがって、予め設定された温度領域に基づいて冷却ブロア３０の回転数を制御するため、簡単な構成でコイルの温度を制御することができる。
【0071】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、冷却制御部２８ｂは、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度のうち高い温度が、制御温度領域Ｔｂ（第２の温度領域）に属している場合に、前記第１の回転数設定部および前記第２の回転数設定部は、前記温度の上昇に応じて漸増する回転数を設定する。したがって、温度の上昇に応じて、冷却ブロア３０の回転数を増加させることによって、コイルの温度に応じた冷却性能を発揮させることができる。
【0072】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域は、冷却ブロア３０の回転数を、第２の所定回転数よりも高い第３の所定回転数に設定することによって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度変化が発生した場合であっても、当該励磁コイル１５および駆動コイル１６を、動作を損なう限界温度に到達させない制限温度領域Ｔｃ（第３の温度領域）を含む。したがって、予め設定された温度領域に基づいて冷却ブロア３０の回転数を制御するため、簡単な構成でコイルの温度を制御することができる。
【0073】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、温度センサ１８（温度測定部）は、励磁コイル１５（磁路形成部材）の、冷却ブロア３０（ブロア）によって生じた空気の流れの風下側の位置の温度を測定するように設置される。したがって、励磁コイル１５のうち、一般に温度が高くなる風下側の領域の温度に基づいて冷却制御を行うことができるため、冷却性能をより向上させることができる。
【0074】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、温度センサ１９（温度測定部）は、駆動コイル１６が、冷却ブロア３０（ブロア）によって生じた空気の流れの最も風上側に位置する際に、当該駆動コイル１６の、風下側の位置の温度を測定するように設置される。したがって、駆動コイル１６のうち、一般に温度が高くなる風下側の領域の温度に基づいて冷却制御を行うことができるため、冷却性能をより向上させることができる。
【0075】
また、本実施形態の振動発生装置１０ａにおいて、磁路形成部材は励磁コイル１５である。したがって、励磁コイル１５に発生させる磁束の量を制御することによって、振動発生装置１０ａの運転状態を、例えば、ノーマルモードとエコモードとで切り替えることができる。
【0076】
【0077】
図４において、固定部２１と駆動部１２とは、ＸＺ断面図を示している。振動発生装置１０ｂは、振動発生装置１０ａとほぼ同じ構成を備える。振動発生装置１０ａと異なるのは、励磁コイル１５が上部励磁コイル１５ａと下部励磁コイル１５ｂとに分割されて配置される点である。そして、励磁コイル１５の温度を測定する温度センサ１８は、冷却ブロア３０によって発生する冷却風の風下側に配置された下部励磁コイル１５ｂの温度を測定するように設置される。
【0078】
冷却ブロア３０の運転中は、一般に、励磁コイル１５の温度に温度勾配が生じて風下側の下部励磁コイル１５ｂの温度が高くなる。したがって、冷却制御部２８ｂは、下部励磁コイル１５ｂの温度と、駆動コイル１６の温度とに基づいて、第１の実施形態で説明した方法に従って決定したブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。
【0079】
一方、冷却ブロア３０の停止中は、上部励磁コイル１５ａの温度が下部励磁コイル１５ｂの温度より高くなる傾向がある。上部励磁コイル１５ａの温度は、事前に取得した、冷却ブロア３０が停止している場合の上部励磁コイル１５ａおよび下部励磁コイル１５ｂの温度データを用いて、下部励磁コイル１５ｂの温度から推定することができる。そして、冷却制御部２８ｂは、推定された上部励磁コイル１５ａの温度と、駆動コイル１６の温度とに基づいて、第１の実施形態で説明した方法に従って決定したブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。
【0080】
［振動発生装置が行う処理の流れの説明］
振動発生装置１０ｂが行う処理の流れは、第１の実施形態で説明した振動発生装置１０ａが行う処理の流れ（図３参照）とほぼ同じであるため、フローチャートの図示は省略する。
振動発生装置１０ｂが行う処理の流れは、第１の実施形態で説明した振動発生装置１０ａが行う処理の流れ（図３参照）とほぼ同じであるため、フローチャートの図示は省略する。
【0081】
図３の処理と異なるのは、振動発生装置１０ｂがエコモードで、なおかつ冷却ブロア３０が停止した状態である場合に、冷却制御部２８ｂ（第１の回転数設定部）が、下部励磁コイル１５ｂの温度に基づいて、上部励磁コイル１５ａの温度の推定を行う部分である。
【0082】
そして、推定された上部励磁コイル１５ａの温度が安全温度領域Ｔａ（第１の温度領域）に属していない場合、冷却制御部２８ｂは、上部励磁コイル１５ａの温度を励磁コイル１５の温度であるとして、再び励磁コイル１５の温度判定（図３のステップＳ１５）を行う。
【0083】
一方、推定された上部励磁コイル１５ａの温度が安全温度領域Ｔａに属している場合、冷却制御部２８ｂは、冷却ブロア３０の停止を継続する。
【0084】
即ち、冷却制御部２８ｂは、上部励磁コイル１５ａの温度と下部励磁コイル１５ｂの温度のうち、高い温度に基づいて、冷却ブロア３０のブロア周波数ｆを設定する。
【0085】
なお、前記した説明では、冷却ブロア３０の停止中において、下部励磁コイル１５ｂの測定温度から上部励磁コイル１５ａの温度を推定するものとしたが、上部励磁コイル１５ａにも温度センサを設置して、上部励磁コイル１５ａの温度と下部励磁コイル１５ｂの温度をともに測定してもよい。
【0086】
以上説明したように、本実施形態の振動発生装置１０ｂは、冷却ブロア３０の冷却風の風上側に設置された上部励磁コイル１５ａと、風下側に設置された下部励磁コイル１５ｂとを備える。そして、温度センサ１８（温度測定部）は、下部励磁コイル１５ｂの温度を測定する。また、冷却制御部２８ｂは、下部励磁コイル１５ｂの温度から上部励磁コイル１５ａの温度を推定して、下部励磁コイル１５ｂの温度と上部励磁コイル１５ａの温度のうち高い方を励磁コイル１５の温度とする。したがって、複数に分割された励磁コイルを設置した場合に、全ての励磁コイルの温度を測定する必要がないため、機器構成の簡素化を図ることができる。
【0087】
【0088】
図５において、固定部２１と駆動部１２とは、ＸＺ断面図を示している。振動発生装置１０ｃは、振動発生装置１０ａとほぼ同じ構成を備える。振動発生装置１０ａと異なるのは、励磁コイル１５の代わりに永久磁石１７を備える点である。
【0089】
永久磁石１７は、円環状をなして、固定部２１の内部に、振動発生装置１０ａの励磁コイル１５が発生する磁束と同じ向きの磁束を発生させる。したがって、振動発生装置１０ｃは、振動発生装置１０ａが備える、励磁コイル１５に直流電圧を印加して静磁場を発生させる定電圧源が不要である。
【0090】
永久磁石１７の温度を測定する温度センサ２０は、永久磁石１７を臨む開口部２２ｃの外側に設置される。開口部２２ｃは、冷却ブロア３０によって発生する冷却風の風下側に設けられる。なお、永久磁石１７の内周面には、当該内周面に接するように銅リング３６が設置されており、温度センサ２０は、当該銅リング３６の表面温度を測定する。銅リング３６は熱伝導性が高いため、永久磁石１７の温度を即座に反映する。したがって、温度センサ２０が測定する銅リング３６の温度は、永久磁石１７の温度とほぼ等しい。
【0091】
振動発生装置１０ｃの冷却制御部２８ｂは、温度センサ２０が測定した永久磁石１７の温度Ｔ３に基づいて、永久磁石１７を冷却するブロア周波数ｆを決定する。また、冷却制御部２８ｂは、温度センサ１９が測定した駆動コイル１６の温度Ｔ２に基づいて、駆動コイル１６を冷却するブロア周波数ｆを決定する。なお、温度センサ１９は、永久磁石１７を臨む開口部２２ｂの外側に設置される。そして、温度センサ１９は、永久磁石１７および銅リング３６を貫通する開口部２２ｂを通して、駆動コイル１６の温度を測定する。
【0092】
冷却制御部２８ｂは、永久磁石１７を冷却するブロア周波数ｆと、駆動コイル１６を冷却するブロア周波数ｆとを比較して、高いブロア周波数ｆで冷却ブロア３０を駆動する。
【0093】
振動発生装置１０ｃにあっては、永久磁石１７を用いて静磁場を形成するため、励磁電流を流す必要がない。これにより、振動発生装置１０ｃの消費電力を低減させることができる。
【0094】
また、励磁コイル１５に励磁電流を流した際に発生する熱が、永久磁石１７を用いることで発生しないため、冷却ブロア３０の回転数をより一層抑えることができる。これにより、振動発生装置１０ｃの消費電力を、さらに低減させることができる。
【0095】
このように、振動発生装置１０ｃは、消費電力を低減することができるため、振動発生装置１０ｂが備える運転状態の切換機能（ノーマルモードとエコモード）を備えない。
【0096】
［永久磁石の温度領域の説明］
永久磁石１７は、励磁コイル１５および駆動コイル１６と同様に温度特性を有する。即ち、高温になると磁力が低下してしまうおそれがある。そして、励磁コイル１５および駆動コイル１６と同様に、永久磁石１７に対しても温度領域を設定することができる。
永久磁石１７は、励磁コイル１５および駆動コイル１６と同様に温度特性を有する。即ち、高温になると磁力が低下してしまうおそれがある。そして、励磁コイル１５および駆動コイル１６と同様に、永久磁石１７に対しても温度領域を設定することができる。
【0097】
振動発生装置１０ｃに対して冷却作用を実施しない、または最低限の冷却作用を実施することによって、永久磁石１７の急激な温度変化が発生しても永久磁石１７の限界温度に到達しない温度領域を、永久磁石１７の安全温度領域とする。永久磁石１７の安全温度領域Ｔａは、永久磁石１７の温度が、例えば６０℃以下の温度領域である。
【0098】
振動発生装置１０ｃに対して永久磁石１７の温度に応じた冷却作用を実施させることによって、永久磁石１７の急激な温度変化が発生しても永久磁石１７の限界温度に到達しない温度領域を、永久磁石１７の制御温度領域Ｔｂとする。永久磁石１７の制御温度領域Ｔｂは、永久磁石１７の温度が、例えば６０～８０℃の温度領域である。
【0099】
振動発生装置１０ｃに対して冷却作用を実施していないと、永久磁石１７の限界温度に到達する可能性が有る温度領域を、永久磁石１７の制限温度領域Ｔｃとする。永久磁石１７の制限温度領域Ｔｃは、コイルの温度が、例えば８０～１００℃の温度領域である。
【0100】
振動発生装置１０ｃの機能を損なう温度、具体例としては永久磁石１７の温度上昇によって、永久磁石１７が不可逆減磁してしまい、例え永久磁石１７の温度を下げても元の磁力に戻らない可能性がある温度領域を、永久磁石１７の限界温度領域Ｔｄとする。永久磁石１７の限界温度領域Ｔｄは、永久磁石１７の温度が、例えば１００～１５０℃以上の温度領域である。
【0101】
なお、前記した温度範囲は一例であって、実際に使用される永久磁石１７に応じて、適宜設定される。
【0102】
［振動発生装置が行う処理の流れの説明］
振動発生装置１０ｃは、振動発生装置１０ａが行う処理（図３参照）と同様の処理を行う。但し、励磁コイル１５の温度Ｔ１を測定する代わりに、永久磁石１７の温度Ｔ３を測定する点が異なる。
振動発生装置１０ｃは、振動発生装置１０ａが行う処理（図３参照）と同様の処理を行う。但し、励磁コイル１５の温度Ｔ１を測定する代わりに、永久磁石１７の温度Ｔ３を測定する点が異なる。
【0103】
即ち、振動発生装置１０ｃは、図３のステップＳ１５に代わって、永久磁石１７の温度Ｔ３を判定する。そして、図３のステップＳ１６，Ｓ１７，Ｓ１８に代わって、永久磁石１７の温度領域に応じたブロア周波数ｆを設定する。
【0104】
それ以外の処理の流れは、図３のフローチャートと同じである。
【0105】
以上説明したように、本実施形態の振動発生装置１０ｃにおいて、磁路形成部材は永久磁石１７である。したがって、励磁コイル１５が不要になるため、振動発生装置１０ｃの消費電力を低減させることができる。
【0106】
【0107】
振動発生装置１０ｄは、第１の実施形態で説明した振動発生装置１０ａが備える各構成要素（図１参照）に加えて、稼働時間積算部２９を備える。また、振動発生装置１０ｄは、振動発生装置１０ａが備える冷却制御部２８ｂの代わりに冷却制御部２８ｃを備える。
【0108】
稼働時間積算部２９は、振動発生装置１０ｄの稼働時間を積算する。
【0109】
冷却制御部２８ｃは、励磁コイル１５（磁路形成部材）に応じて設定された複数の温度領域と、駆動コイル１６に応じて設定された複数の温度領域とを、稼働時間積算部２９が積算した稼働時間に応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする。また、冷却制御部２８ｃは、稼働時間積算部２９が積算した稼働時間に応じて低温側にシフトされた複数の温度領域に基づいて設定された冷却ブロア３０の回転数に基づいて、当該冷却ブロア３０を回転させることによって、励磁コイル１５と駆動コイル１６とを冷却する。
【0110】
冷却制御部２８ｃが冷却ブロア３０の回転数を決定する方法は、第１の実施形態で説明した通りである。なお、冷却制御部２８ｃは、本開示における第１の回転数設定部および第２の回転数設定部の一例である。
【0111】
［振動発生装置の稼働時間に応じたブロア周波数の設定］
図７と図８を用いて、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔに応じて、ブロア周波数ｆを設定する方法を説明する。図７は、励磁コイルおよび駆動コイルの温度と振動発生装置の稼働時間とに応じたブロア周波数特性の設定方法の一例を説明する図である。図８は、振動発生装置の稼働時間と温度領域のシフト量との関係を示すマップの一例である。
図７と図８を用いて、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔに応じて、ブロア周波数ｆを設定する方法を説明する。図７は、励磁コイルおよび駆動コイルの温度と振動発生装置の稼働時間とに応じたブロア周波数特性の設定方法の一例を説明する図である。図８は、振動発生装置の稼働時間と温度領域のシフト量との関係を示すマップの一例である。
【0112】
【0113】
励磁コイル１５および駆動コイル１６は、長時間稼働させると、耐久性が低下するおそれがある。そのため、本実施形態では、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔに応じて、図２に示した各温度領域を低温側にシフトする。
【0114】
例えば、図７は、図２に示した安全温度領域Ｔａ、制御温度領域Ｔｂ、制限温度領域Ｔｃを、それぞれ温度シフト量ΔＴ（図７の例ではΔＴ＝５℃）だけ低温側にシフトした例を示している。即ち、図７の例では、安全温度領域Ｔａは～５５℃、制御温度領域Ｔｂは５５～９５℃、制限温度領域Ｔｃは９５～１２０℃に設定される。
【0115】
励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域（安全温度領域Ｔａ、制御温度領域Ｔｂ、制限温度領域Ｔｃ）の温度シフト量ΔＴは、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔが長いほど大きく設定するのが望ましい。そのため、冷却制御部２８ｃは、例えば、図８に示すマップに基づいて、温度シフト量ΔＴを設定する。
【0116】
例えば、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内の場合、冷却制御部２８ｃは、温度シフト量ΔＴを０℃に設定する。そして、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間の場合、冷却制御部２８ｃは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する。更に、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔが１００，０００時間を超える場合、冷却制御部２８ｃは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する。なお、図８に示す稼働時間Ｏｔおよび温度シフト量ΔＴは一例であって、振動発生装置１０ｄに応じた値が適宜設定される。
【0117】
［振動発生装置が行う処理の流れの説明］
次に、図９を用いて、振動発生装置１０ｄが行う処理の流れを説明する。図９は、第４の実施形態において、振動発生装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
次に、図９を用いて、振動発生装置１０ｄが行う処理の流れを説明する。図９は、第４の実施形態において、振動発生装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【0118】
振動制御部２８ａおよび冷却制御部２８ｃは、各種初期化処理を行う（ステップＳ３１）。各種初期化処理とは、図３のステップＳ１１で説明したのと同様である。
【0119】
振動制御部２８ａは、振動発生装置１０ｄの動作が開始したかを判定する（ステップＳ３２）。振動発生装置１０ｄの動作が開始したと判定される（ステップＳ３２：Ｙｅｓ）とステップＳ３３に進む。一方、振動発生装置１０ｄの動作が開始したと判定されない（ステップＳ３２：Ｎｏ）とステップＳ３２を繰り返す。
【0120】
ステップＳ３２において、振動発生装置１０ｄの動作が開始したと判定されると、冷却制御部２８ｃは、稼働時間積算部２９から振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔを読み出す（ステップＳ３３）。
【0121】
続いて、冷却制御部２８ｃは、ブロア周波数特性設定処理を行う（ステップＳ３４）。ブロア周波数特性設定処理理は、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔに応じたブロア周波数特性Ｎ，Ｅ（図７）を設定する処理である。なお、ブロア周波数特性設定処理の具体的な処理内容は後述する（図１０参照）。
【0122】
振動制御部２８ａは振動信号を生成して、電力増幅器２７を介して駆動コイル１６に印加する。また、振動制御部２８ａは、図６に非図示の定電圧源から励磁コイル１５に直流電圧を印加させて、静磁場を発生させる（ステップＳ３５）。
【0123】
稼働時間積算部２９は、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔを積算する（ステップＳ３６）。なお、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔは、ステップＳ３５において、励磁コイル１５および駆動コイル１６に励磁されてからの経過時間の積算値である。
【0124】
温度センサ１８は、励磁コイル１５の温度を測定して、温度センサ１９は、駆動コイル１６の温度を測定する（ステップＳ３７）。
【0125】
続いて、冷却制御部２８ｃは、ブロア周波数特性Ｎ，Ｅ（図７）を設定するブロア周波数特性設定処理を行う（ステップＳ３８）。なお、ブロア周波数特性設定処理は、図３のフローチャートにおける、ステップＳ１５からステップＳ２２と同じ処理である。
【0126】
冷却制御部２８ｃは、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度判定処理に基づいて設定されたブロア周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３のいずれかと、設定されたブロア周波数ｆ４，ｆ５，ｆ６のいずれかのうち、高いブロア周波数で、冷却ブロア３０を駆動する（ステップＳ３９）。
【0127】
振動制御部２８ａは、振動発生装置１０ｄの停止指示が入力されたかを判定する（ステップＳ４０）。停止指示が入力されたと判定される（ステップＳ４０：Ｙｅｓ）とステップＳ４１に進む。一方、停止指示が入力されたと判定されない（ステップＳ４０：Ｎｏ）と、ステップＳ３６に戻って、振動発生装置１０ｄは前記した処理を繰り返す。
【0128】
ステップＳ４０において、振動発生装置１０ｄの停止指示が入力されたと判定されると、稼働時間積算部２９は、その時点における振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔを記憶する（ステップＳ４１）。その後、振動発生装置１０ｄは図９の処理を終了する。
【0129】
【0130】
冷却制御部２８ｃは、ステップＳ３３において稼働時間積算部２９から読み出した振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔの長さを判定する（ステップＳ５１）。稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、ステップＳ５２に進む。稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、ステップＳ５３に進む。稼働時間が１００，０００時間を超えると判定されると、ステップＳ５４に進む。
【0131】
ステップＳ５１において、稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、冷却制御部２８ｃは、温度シフト量ΔＴを０℃に設定する（ステップＳ５２）。その後、ステップＳ５５に進む。
【0132】
ステップＳ５１において、稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、冷却制御部２８ｃは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する（ステップＳ５３）。その後、ステップＳ５５に進む。
【0133】
ステップＳ５１において、稼働時間Ｏｔが１００，０００時間を超えると判定されると、冷却制御部２８ｃは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する（ステップＳ５４）。その後、ステップＳ５５に進む。
【0134】
ステップＳ５２，Ｓ５３，Ｓ５４に続いて、冷却制御部２８ｃは、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度と冷却ブロア３０のブロア周波数ｆとの関係、即ちブロア周波数特性Ｎ，Ｅを決定する（ステップＳ５５）。その後、メインルーチン（図９）に戻る。
【0135】
以上説明したように、本実施形態の振動発生装置１０ｄは、当該振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔを積算する稼働時間積算部２９を更に備えて、冷却制御部２８ｃ（第１の回転数設定部および第２の回転数設定部）は、励磁コイル１５（磁路形成部材）に応じて設定された複数の温度領域と、駆動コイル１６に応じて設定された複数の温度領域とを、稼働時間積算部２９が積算した稼働時間Ｏｔに応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする。したがって、振動発生装置１０ｄを構成する励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度を、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔに応じて、できるだけ低い温度に維持することによって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の耐久性を向上させることができる。
【0136】
また、本実施形態の振動発生装置１０ｄにおいて、冷却制御部２８ｃ（第１の回転数設定部および第２の回転数設定部）は、予め設定した、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔと複数の温度領域との対応関係を示すマップに基づいて、複数の温度領域を設定する。したがって、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔに応じたブロア周波数特性Ｎ，Ｅを容易に設定することができる。
【0137】
なお、本実施形態の構成は、第２の実施形態で説明した振動発生装置１０ｂ、および第３の実施形態で説明した振動発生装置１０ｃに対しても適用することができる。
【0138】
【0139】
振動発生装置１０ｅは、第４の実施形態で説明した振動発生装置１０ｄが備える各構成要素（図６参照）に加えて、色センサ４０，４１と、コイル劣化判定部４５とを備える。また、振動発生装置１０ｅは、振動発生装置１０ｄが備える冷却制御部２８ｃの代わりに冷却制御部２８ｄを備える。
【0140】
色センサ４０は、固定部２１に開口された、励磁コイル１５を臨む開口部２２ｄの外側に設置されて、励磁コイル１５の表面の色を非接触で測定する。色センサ４０は、例えばＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）それぞれの色フィルタを備えたフォトダイオードである。また、色センサ４０は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔаｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃоｎｄｕｃｔоｒ）等の光電変換素子であってもよい。色センサ４０は、当該色センサ４０に設置した光ファイバ４２が備える照明機能によって照明された励磁コイル１５の表面の色を非接触で測定する。測定範囲は、例えば、直径４ｍｍ、直径８ｍｍ、直径２５．４ｍｍ程度の狭い範囲である。色センサ４０は、例えばＬ＊ａ＊ｂ＊表色系における明度、色相、彩度を出力する。なお、色センサ４０は、本開示における色測定部の一例である。
【0141】
なお、励磁コイル１５は、例えば、線材と被覆材と接着剤とで形成したコイルに、更に、全体を絶縁材のワニスで真空含浸処理したものが用いられる。また、線材と被覆材を紙の絶縁材で被覆した上で、真空含浸処理したものが用いられる。したがって、色センサ４０は、真空含浸処理された励磁コイル１５の表面のワニスまたは紙の絶縁体の色を測定する。
【0142】
色センサ４１は、固定部２１に開口された、駆動コイル１６を臨む開口部２２ｅの外側に設置されて、駆動コイル１６の表面の色を非接触で測定する。色センサ４１は、例えばＲ・Ｇ・Ｂそれぞれの色フィルタを備えたフォトダイオードである。また、色センサ４０は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の光電変換素子であってもよい。色センサ４１は、当該色センサ４１に設置した光ファイバ４３が備える照明機能によって照明された駆動コイル１６の表面の色を非接触で測定する。測定範囲は、例えば、直径４ｍｍ、直径８ｍｍ、直径２５．４ｍｍ程度の狭い範囲である。色センサ４１は、例えばＬ＊ａ＊ｂ＊表色系における明度、色相、彩度を出力する。なお、色センサ４１は、本開示における色測定部の一例である。
【0143】
なお、駆動コイル１６は、例えば、ボビンと呼ばれるコイルの円筒芯材の表面に接着剤を塗布して、その上に線材を巻回することによって形成される。その際、線材と線材との隙間は出来るだけ小さくなるように巻回されて、線材と線材との隙間にも接着剤が塗布される。即ち、駆動コイル１６のコイル表面には、被覆材がむき出しの領域と、線材間に塗布された接着剤の領域とが存在する。したがって、色センサ４１は、むき出しの被覆材の領域、または接着剤の領域の色を測定する。
【0144】
コイル劣化判定部４５は、色センサ４０が測定した励磁コイル１５の表面の色と、色センサ４１が測定した駆動コイル１６の表面の色とに基づいて、励磁コイル１５と駆動コイル１６との劣化度合を判定する。
【0145】
励磁コイル１５と駆動コイル１６は、振動発生装置１０ｅの動作に伴って発生する振動による物理的な負荷と、励磁コイル１５と駆動コイル１６の温度と、振動発生装置１０ｅの稼働時間とによって少しずつ劣化する。この劣化度合は、励磁コイル１５と駆動コイル１６の変色となって表れる。新品の励磁コイル１５および駆動コイル１６の表面は、コイルの被覆材（ポリイミド、ポリアミド等の絶縁材料）の色である、例えば銅色を呈する。そして、コイルの劣化の進行に応じて、コイルの表面の色が徐々に濃くなる（黒色に近づく）傾向がある。コイル劣化判定部４５は、励磁コイル１５と駆動コイル１６の表面の色が、新品の状態からどの程度黒色に近づいたかを判定する。
【0146】
なお、励磁コイル１５および駆動コイル１６の線材の間には、前記したように接着剤が塗布されている。接着剤は、例えば熱硬化性を有する高分子樹脂材（エポキシ系）である。このような接着剤は、無色透明あるいは少し白濁した色であるが、振動発生装置１０ｅの使用状態に応じて、色が濃くなる傾向がある。
【0147】
コイル劣化判定部４５は、振動発生装置１０ｅにおいて、色センサ４０，４１が測定した新品の励磁コイル１５および駆動コイル１６の表面の色を記憶しておく。そして、コイル劣化判定部４５は、記憶した色を基準として、現時点で色センサ４０，４１が測定した、各コイルの表面の色の変色度合を判定する。
【0148】
変色が発生したことは、例えば、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系における色差に基づいて判定すればよい。例えば、２つの色に対して、明度Ｌ１＊と明度Ｌ２＊、色相ａ１＊と色相ａ２＊、彩度ｂ１＊と彩度ｂ２＊が得られたとする。このとき、２つの色の色差ΔＥ＊ａｂは、式（１）で算出される。
【0149】
ΔＥ＊ａｂ＝［（Ｌ１＊－Ｌ２＊）２＋（ａ１＊－ａ２＊）２＋（ｂ１＊－ｂ２＊）２］１／２・・・（１）
【0150】
コイル劣化判定部４５は、式（１）で算出される色差ΔＥ＊ａｂと、励磁コイル１５および駆動コイル１６の劣化度合（例えば劣化度合小、劣化度合中、劣化度合大）と、を対応付けるマップを予め記憶しておき、当該マップに基づいて判定されたコイルの劣化度合を出力する。
【0151】
なお、コイルの色が変化したことは、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系における色差に基づいて判定する他に、ＲＧＢ値の変化に基づいて判定してもよい。
【0152】
冷却制御部２８ｄは、励磁コイル１５（磁路形成部材）に応じて設定された複数の温度領域と、駆動コイル１６に応じて設定された複数の温度領域とを、色センサ４０，４１（色測定部）が測定した励磁コイル１５および駆動コイル１６の色と、稼働時間積算部２９が積算した稼働時間とに応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする。また、冷却制御部２８ｄは、低温側にシフトされた複数の温度領域に基づいて設定された冷却ブロア３０の回転数に基づいて、当該冷却ブロア３０を回転させることによって、励磁コイル１５と駆動コイル１６とを冷却する。
【0153】
冷却制御部２８ｄが冷却ブロア３０の回転数を決定する方法は、第１の実施形態で説明した通りである。なお、冷却制御部２８ｄは、本開示における第１の回転数設定部および第２の回転数設定部の一例である。
【0154】
［コイルの色と振動発生装置の稼働時間とに応じたブロア周波数の設定］
図１２を用いて、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔに応じて、ブロア周波数ｆを設定する方法を説明する。図１２は、振動発生装置の稼働時間と励磁コイルおよび駆動コイルの色と温度領域のシフト量との関係を示すマップの一例である。
図１２を用いて、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔに応じて、ブロア周波数ｆを設定する方法を説明する。図１２は、振動発生装置の稼働時間と励磁コイルおよび駆動コイルの色と温度領域のシフト量との関係を示すマップの一例である。
【0155】
励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度領域（安全温度領域Ｔａ、制御温度領域Ｔｂ、制限温度領域Ｔｃ）の温度シフト量ΔＴは、励磁コイル１５または駆動コイル１６の色に基づいて判定される劣化度合が大きいほど大きく設定するのが望ましい。また、温度シフト量ΔＴは、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔが長いほど大きく設定するのが望ましい。そのため、冷却制御部２８ｄは、例えば、図１２に示すマップに基づいて、温度シフト量ΔＴを設定する。
【0156】
例えば、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内の場合、コイルの劣化度合が小または中であれば、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを０℃に設定する。そして、コイルの劣化度合が大であれば、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する。
【0157】
また、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間の場合、コイルの劣化度合が小または中であれば、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する。そして、コイルの劣化度合が大であれば、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する。
【0158】
更に、振動発生装置１０ｄの稼働時間Ｏｔが１００，０００時間を超える場合、コイルの劣化度合が小または中であれば、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する。そして、コイルの劣化度合が大であれば、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１５℃に設定する。
【0159】
なお、図１２に示す稼働時間Ｏｔ、劣化度合および温度シフト量ΔＴは一例であって、振動発生装置１０ｅに応じた値が適宜設定される。
【0160】
また、冷却制御部２８ｄは、励磁コイル１５または駆動コイル１６の色に基づいて判定される劣化度合のみに基づいて、温度シフト量ΔＴを設定してもよい。
【0161】
［振動発生装置が行う処理の流れの説明］
次に、図１３を用いて、振動発生装置１０ｅが行う処理の流れを説明する。図１３は、第５の実施形態において、振動発生装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
次に、図１３を用いて、振動発生装置１０ｅが行う処理の流れを説明する。図１３は、第５の実施形態において、振動発生装置が行う処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【0162】
振動制御部２８ａおよび冷却制御部２８ｄは、各種初期化処理を行う（ステップＳ６１）。各種初期化処理とは、図３のステップＳ１１で説明したのと同様である。
【0163】
振動制御部２８ａは、振動発生装置１０ｅの動作が開始したかを判定する（ステップＳ６２）。振動発生装置１０ｅの動作が開始したと判定される（ステップＳ６２：Ｙｅｓ）とステップＳ６３に進む。一方、振動発生装置１０ｅの動作が開始したと判定されない（ステップＳ６２：Ｎｏ）とステップＳ６２を繰り返す。
【0164】
ステップＳ６２において、振動発生装置１０ｅの動作が開始したと判定されると、冷却制御部２８ｄは、稼働時間積算部２９から振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔを読み出す（ステップＳ６３）。
【0165】
色センサ４０は、励磁コイル１５の色を計測する。また、色センサ４１は、駆動コイル１６の色を計測する（ステップＳ６４）。
【0166】
コイル劣化判定部４５は、励磁コイル１５および駆動コイル１６の劣化度合を判定する。そして、冷却制御部２８ｄは、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔと、励磁コイル１５および駆動コイル１６の劣化度合とに基づいて、ブロア周波数特性Ｎ，Ｅ（図７）を設定するブロア周波数特性設定処理を行う（ステップＳ６５）。なお、ステップＳ６５で行うブロア周波数特性設定処理の具体的な内容は後述する（図１４参照）。
【0167】
振動制御部２８ａは振動信号を生成して、電力増幅器２７を介して駆動コイル１６に印加する。また、振動制御部２８ａは、図１１に非図示の定電圧源から励磁コイル１５に直流電圧を印加させて、静磁場を発生させる（ステップＳ６６）。
【0168】
稼働時間積算部２９は、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔを積算する（ステップＳ６７）。なお、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔは、ステップＳ６６において、励磁コイル１５および駆動コイル１６に励磁されてからの経過時間の積算値である。
【0169】
温度センサ１８は、励磁コイル１５の温度を測定して、温度センサ１９は、駆動コイル１６の温度を測定する（ステップＳ６８）。
【0170】
続いて、冷却制御部２８ｄは、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度判定処理を行う（ステップＳ６９）。なお、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度判定処理は、図３のフローチャートにおける、ステップＳ１５からステップＳ２２と同じ処理である。
【0171】
冷却制御部２８ｄは、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度判定処理に基づいて設定されたブロア周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３のいずれかと、設定されたブロア周波数ｆ４，ｆ５，ｆ６のいずれかのうち、高いブロア周波数で、冷却ブロア３０を駆動する（ステップＳ７０）。
【0172】
振動制御部２８ａは、振動発生装置１０ｅの停止指示が入力されたかを判定する（ステップＳ７１）。停止指示が入力されたと判定される（ステップＳ７１：Ｙｅｓ）とステップＳ７２に進む。一方、停止指示が入力されたと判定されない（ステップＳ７１：Ｎｏ）と、ステップＳ６７に戻って、振動発生装置１０ｅは前記した処理を繰り返す。
【0173】
ステップＳ７１において、振動発生装置１０ｅの停止指示が入力されたと判定されると、稼働時間積算部２９は、その時点における振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔを記憶する（ステップＳ７２）。その後、振動発生装置１０ｅは図１３の処理を終了する。
【0174】
【0175】
コイル劣化判定部４５は、色センサ４０が測定した励磁コイル１５の色と、色センサ４１が測定した駆動コイル１６の色に基づいて、励磁コイル１５および駆動コイル１６の劣化状態を判定する（ステップＳ８１）。劣化状態が小さいと判定されると、ステップＳ８２に進む。劣化状態が中程度と判定されると、ステップＳ８６に進む。劣化状態が大きいと判定されると、ステップＳ９０に進む。
【0176】
ステップＳ８１において、劣化状態が小さいと判定されると、冷却制御部２８ｄは、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔの長さを判定する（ステップＳ８２）。稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、ステップＳ８３に進む。稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、ステップＳ８４に進む。稼働時間が１００，０００時間を超えると判定されると、ステップＳ８５に進む。
【0177】
ステップＳ８２において、稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを０℃に設定する（ステップＳ８３）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0178】
ステップＳ８２において、稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する（ステップＳ８４）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0179】
ステップＳ８２において、稼働時間Ｏｔが１００，０００時間を超えると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する（ステップＳ８５）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0180】
ステップＳ８１において、劣化状態が中程度と判定されると、冷却制御部２８ｄは、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔの長さを判定する（ステップＳ８６）。稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、ステップＳ８７に進む。稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、ステップＳ８８に進む。稼働時間が１００，０００時間を超えると判定されると、ステップＳ８９に進む。
【0181】
ステップＳ８６において、稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを０℃に設定する（ステップＳ８７）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0182】
ステップＳ８２において、稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する（ステップＳ８８）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0183】
ステップＳ８２において、稼働時間Ｏｔが１００，０００時間を超えると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する（ステップＳ８９）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0184】
ステップＳ８１において、劣化状態が大きいと判定されると、冷却制御部２８ｄは、振動発生装置１０ｅの稼働時間Ｏｔの長さを判定する（ステップＳ９０）。稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、ステップＳ９１に進む。稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、ステップＳ９２に進む。稼働時間が１００，０００時間を超えると判定されると、ステップＳ９３に進む。
【0185】
ステップＳ９０において、稼働時間Ｏｔが５０，０００時間以内であると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－５℃に設定する（ステップＳ９１）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0186】
ステップＳ９０において、稼働時間Ｏｔが５０，０００～１００，０００時間であると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１０℃に設定する（ステップＳ９２）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0187】
ステップＳ９０において、稼働時間Ｏｔが１００，０００時間を超えると判定されると、冷却制御部２８ｄは、温度シフト量ΔＴを－１５℃に設定する（ステップＳ９３）。その後、ステップＳ９４に進む。
【0188】
ステップＳ８３，Ｓ８４，Ｓ８５，Ｓ８７，Ｓ８８，Ｓ８９，Ｓ９１，Ｓ９２，Ｓ９３に続いて、冷却制御部２８ｄは、励磁コイル１５および駆動コイル１６の温度と冷却ブロア３０のブロア周波数ｆとの関係、即ちブロア周波数特性Ｎ，Ｅを決定する（ステップＳ９４）。その後、メインルーチン（図１３）に戻る。
【0189】
以上説明したように、本実施形態の振動発生装置１０ｅは、励磁コイル１５（磁路形成部材）および駆動コイル１６の色を計測する色センサ４０，４１（色測定部）を更に備えて、冷却制御部２８ｄ（第１の回転数設定部および第２の回転数設定部）は、励磁コイル１５に応じて設定された複数の温度領域と、駆動コイル１６に応じて設定された複数の温度領域とを、色センサ４０，４１が測定した励磁コイル１５および駆動コイル１６の色に応じた量だけ、それぞれ低温側にシフトする。したがって、振動発生装置１０ｅを、励磁コイル１５および駆動コイル１６の色に応じて、できるだけ低い温度に維持することによって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の耐久性を向上させることができる。
【0190】
また、本実施形態の振動発生装置１０ｅにおいて、冷却制御部２８ｄ（第１の回転数設定部および第２の回転数設定部）は、予め設定した、励磁コイル１５（磁路形成部材）および駆動コイル１６の色と複数の温度領域との対応関係を示すマップに基づいて、複数の温度領域を設定する。したがって、励磁コイル１５および駆動コイル１６の劣化度合に応じたブロア周波数特性Ｎ，Ｅを容易に設定することができる。
【0191】
なお、本実施形態の構成は、第２の実施形態で説明した振動発生装置１０ｂ、および第３の実施形態で説明した振動発生装置１０ｃに対しても適用することができる。
【0192】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した実施形態は、例として提示したものであり、本発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能である。また、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。また、この実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【0193】
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ…振動発生装置、１２…駆動部、１３…試験台、１４…弾性部、１５…励磁コイル（磁路形成部材）、１５ａ…上部励磁コイル（磁路形成部材）、１５ｂ…下部励磁コイル（磁路形成部材）、１６…駆動コイル、１７…永久磁石（磁路形成部材）、１８，１９，２０…温度センサ（温度測定部）、２１…固定部、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅ…開口部、２３…空隙部、２４…軸、２５…軸受け、２６…ベアリング、２７…電力増幅器、２８ａ…振動制御部（励磁制御部）、２８ｂ，２８ｃ…冷却制御部（第１の回転数設定部、第２の回転数設定部）、２９…稼働時間積算部、３０…冷却ブロア（ブロア）、３２…ブロアホース、３５…貫通穴、３６…銅リング、４０，４１…色センサ（色測定部）、４２，４３…光ファイバ、４５…コイル劣化判定部、Ｅ，Ｎ…ブロア周波数特性、ｆ，ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４，ｆ５，ｆ６…ブロア周波数、ｆａ１，ｆｂ１…ブロア周波数（第１の所定回転数）、ｆａ２，ｆｂ２…ブロア周波数（第２の所定回転数）、ｆａ３，ｆｂ３…ブロア周波数（第３の所定回転数）、Ｏｔ…稼働時間、Ｔ，Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３…温度、Ｔａ…安全温度領域（第１の温度領域）、Ｔｂ…制御温度領域（第２の温度領域）、Ｔｃ…制限温度領域（第３の温度領域）、Ｔｄ…限界温度領域、ΔＴ…温度シフト量
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】