特開 2022-37339 スクライブ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022037339

(43)【公開日】2022-03-09

(54)【発明の名称】スクライブ装置

(51)【国際特許分類】

   C03B 33/027 20060101AFI20220302BHJP

   B28D 5/00 20060101ALI20220302BHJP

   B26F 3/00 20060101ALI20220302BHJP

   B28D 7/04 20060101ALI20220302BHJP

【ＦＩ】

C03B33/027

B28D5/00 Z

B26F3/00 A

B28D7/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020141422

(22)【出願日】2020-08-25

(71)【出願人】

【識別番号】516065135

【氏名又は名称】株式会社ＩＨＩ物流産業システム

(74)【代理人】

【識別番号】100161207

【弁理士】

【氏名又は名称】西澤 和純

(74)【代理人】

【識別番号】100175802

【弁理士】

【氏名又は名称】寺本 光生

(74)【代理人】

【識別番号】100169764

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 雄一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100167553

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 久典

(72)【発明者】

【氏名】神谷 隆太

【テーマコード（参考）】

3C060

3C069

4G015

【Ｆターム（参考）】

3C060AA08

3C060CB03

3C069AA03

3C069BA04

3C069BB01

3C069BB04

3C069BC02

3C069CA11

3C069CB01

3C069EA01

4G015FA03

4G015FB01

4G015FC02

4G015FC07

(57)【要約】

【課題】スクライブ装置において、ホイールが設けられたヘッドの移動速度を抑えつつ短時間で対象基板に対してスクライブラインを形成可能とする。
【解決手段】ガラス基板の表面に対してスクライブラインを形成するスクライブ装置１であって、直線状に延伸されたリニアガイド４と、ガラス基板の表面に当接されるホイールを有すると共にリニアガイド４にスライド可能に取り付けられたヘッドユニット５とを備え、１つのリニアガイド４に対して、複数のヘッドユニット５が取り付けられている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象基板の表面に対してスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、
直線状に延伸されたガイドと、
支持された対象基板の表面に当接されるホイールを有すると共に前記ガイドにスライド可能に取り付けられたヘッドユニットとを備え、
１つの前記ガイドに対して、複数のヘッドユニットが取り付けられている
ことを特徴とするスクライブ装置。

【請求項2】

前記ヘッドユニットを前記ガイドに沿って移動させるアクチュエータを前記ヘッドユニットごとに備えることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。

【請求項3】

前記ヘッドユニットは、前記ホイールを前記対象基板の表面に押圧する押圧部を有することを特徴とする請求項１または２記載のスクライブ装置。

【請求項4】

複数の前記ヘッドユニットの前記ホイールが前記対象基板の表面に当接された状態で、複数の前記ヘッドユニットを同一方向に移動させる制御部を有することを特徴とする請求項１～３いずれか一項に記載のスクライブ装置。

【請求項5】

載置された前記対象基板を下方から支持するテーブルユニットを備え、
前記テーブルユニットは、
平面視にて前記ホイールの移動領域の一方側にて前記対象基板を下方から支持する固定ステージと、
平面視にて前記ホイールの移動領域の他方側にて前記対象基板を下方から支持する支持姿勢と前記支持姿勢に対して傾斜された傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされた可動ステージと
を備えることを特徴とする請求項１～４いずれか一項に記載のスクライブ装置。

【請求項6】

前記固定ステージと前記可動ステージとの間に隙間が設けられ、前記隙間が前記ホイールの移動領域の直下に配置されていることを特徴とする請求項５記載のスクライブ装置。

【請求項7】

前記可動ステージは、前記隙間あるいは前記隙間の直下に配置された回転軸芯を中心として前記支持姿勢と前記傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされていることを特徴とする請求項６記載のスクライブ装置。

【請求項8】

前記対象基板が垂直姿勢に支持され、
前記ヘッドユニットに対して前記対象基板を間に挟んで反対側に配置される当て板を備える
ことを特徴とする請求項１～４いずれか一項に記載のスクライブ装置。

【請求項9】

前記当て板は、
前記対象基板に対して当離可能に移動可能とされ、
前記ホイールが前記対象基板に当接される前に前記対象基板に対して当接され、
前記ホイールが前記対象基板から離間した後に前記対象基板から離間される
ことを特徴とする請求項８記載のスクライブ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スクライブ装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来から、ガラス等の脆弱な材料で形成された基板を分割する場合には、スクライブ装置によって溝状のスクライブラインを表面に形成し、その後スクライブラインに沿って基板を分割する。このようなスクライブ装置は、例えば特許文献１に示されているように、ガイドに沿って移動可能なヘッドを備えており、ヘッドに設けられたホイールを基板の表面に当接させた状態でヘッドを移動させることによってスクライブラインを形成している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１３－７９１６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、ホイールは回転しながら基板の表面を移動している。このようなヘッドの移動を高速化すると、ホイールが基板の表面で空転する場合があり、一定の深さのスクライブラインを形成することが難しい。このため、ヘッドの移動速度を高速化することは難しい。しかしながら、近年においては基板の大型化が進んでいる。ヘッドの移動速度を高速化できないことから、大型の基板においてはスクライブラインの形成に時間を要することとなっている。

【0005】

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、スクライブ装置において、ホイールが設けられたヘッドの移動速度を抑えつつ短時間で対象基板に対してスクライブラインを形成可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。

【0007】

第１の発明は、対象基板の表面に対してスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、直線状に延伸されたガイドと、支持された対象基板の表面に当接されるホイールを有すると共に上記ガイドにスライド可能に取り付けられたヘッドユニットとを備え、１つの上記ガイドに対して、複数のヘッドユニットが取り付けられているという構成を採用する。

【0008】

第２の発明は、上記第１の発明において、上記ヘッドユニットを上記ガイドに沿って移動させるアクチュエータを上記ヘッドユニットごとに備えるという構成を採用する。

【0009】

第３の発明は、上記第１または第２の発明において、上記ヘッドユニットは、上記ホイールを上記対象基板の表面に押圧する押圧部を有するという構成を採用する。

【0010】

第４の発明は、上記第１～第３いずれかの発明において、複数の上記ヘッドユニットの上記ホイールが上記対象基板の表面に当接された状態で、複数の上記ヘッドユニットを同一方向に移動させる制御部を有するという構成を採用する。

【0011】

第５の発明は、上記第１～第４いずれかの発明において、載置された上記対象基板を下方から支持するテーブルユニットを備え、上記テーブルユニットが、平面視にて上記ホイールの移動領域の一方側にて上記対象基板を下方から支持する固定ステージと、平面視にて上記ホイールの移動領域の他方側にて上記対象基板を下方から支持する支持姿勢と上記支持姿勢に対して傾斜された傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされた可動ステージとを備えるという構成を採用する。

【0012】

第６の発明は、上記第５の発明において、上記固定ステージと上記可動ステージとの間に隙間が設けられ、上記隙間が上記ホイールの移動領域の直下に配置されているという構成を採用する。

【0013】

第７の発明は、上記第６の発明において、上記可動ステージが、上記隙間あるいは上記隙間の直下に配置された回転軸芯を中心として上記支持姿勢と上記傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされているという構成を採用する。

【0014】

第８の発明は、上記第１～第４いずれかの発明において、上記対象基板が垂直姿勢に支持され、上記ヘッドユニットに対して上記対象基板を間に挟んで反対側に配置される当て板を備えるという構成を採用する。

【0015】

第９の発明は、上記第８の発明において、上記当て板は、上記対象基板に対して当離可能に移動可能とされ、上記ホイールが上記対象基板に当接される前に上記対象基板に対して当接され、上記ホイールが上記対象基板から離間した後に上記対象基板から離間されるという構成を採用する。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、ホイールを備えるヘッドユニットが１つの直線状のガイドに対して複数取り付けられている。このため、従来１つのヘッドユニットによって形成されていた同一直線状のスクライブラインを複数のヘッドユニットで分割形成することができる。したがって、各々のヘッドユニットの移動速度を高速化することなく、短時間でスクライブラインを形成することが可能となる。よって、本発明によれば、スクライブ装置において、ホイールが設けられたヘッドの移動速度を抑えつつ短時間で対象基板に対してスクライブラインを形成することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の概略構成を示す正面図である。

【図2】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の概略構成を示す平面図である。

【図3】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の概略構成を示す側面図である。

【図4】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置が備える可動ステージを含む図３の要部拡大図である。

【図5】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の変形例が備える可動ステージを含む要部拡大図である。

【図6】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の変形例が備える可動ステージ駆動ユニットを説明するための模式的な要部側面図である。

【図7】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の変形例を示す模式的な斜視図である。

【図8】本発明の一実施形態におけるスクライブ装置の変形例を示す模式的な斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照して、本発明に係るスクライブ装置の一実施形態について説明する。

【0019】

図１は、本実施形態のスクライブ装置１の概略構成を示す正面図である。図２は、本実施形態のスクライブ装置１の概略構成を示す平面図である。図３は、本実施形態のスクライブ装置１の概略構成を示す側面図である。なお、以下の説明においては、図１～図３に示すように、図１の紙面に対して垂直な方向を前後方向とし、図２の紙面に対して垂直な方向を上下方向とし、図３の紙面に対して垂直な方向を左右方向とする。

【0020】

本実施形態のスクライブ装置１は、ガラス基板Ｘ（図４参照）に対してスクライブラインを形成すると共に、ガラス基板Ｘ（対象基板）をスクライブラインに沿って分割する装置である。なお、本発明によってスクライブラインが形成される対象基板は、ガラス基板に限定されるものではなく、特に脆弱性材料よって形成された対象基板に対してスクライブラインを好適に形成可能である。この本実施形態のスクライブ装置１は、図１～図３に示すように、フレーム２と、テーブルユニット３と、リニアガイド４（ガイド）と、ヘッドユニット５と、駆動部６（アクチュエータ）と、制御部７とを備えている。

【0021】

フレーム２は、スクライブ装置１の骨格を形成しており、直接的あるいは間接的に、例えばフレーム２、テーブルユニット３、リニアガイド４、ヘッドユニット５及び駆動部６を支持している。フレーム２は、左右方向に離間して配置された一対のフレーム脚２ａと、これらのフレーム脚２ａを左右方向に接続する複数の接続アーム２ｂとを有している。

【0022】

また、フレーム２は、２つのフレーム脚２ａに立設されると共にテーブルユニット３を避けるように門型とされた門型部２ｃを有している。この門型部２ｃは、フレーム脚２ａから上方に延出すると共に左右方向に離間されて配置された一対の支柱２ｄと、これらの支柱２ｄの上端同士を接続する梁部２ｅとを有している。この門型部２ｃは、図２及び図３に示すように、フレーム脚２ａの前後方向における中央部に配置されており、梁部２ｅが左右方向に水平に延伸されている。

【0023】

テーブルユニット３は、スクライブラインが形成されるガラス基板Ｘが載置されるユニットであり、例えば図１に示すように、２つのフレーム脚２ａに下方から支持されて左右方向にて門型部２ｃの内側に配置されている。このテーブルユニット３は、固定ステージ３ａと、可動ステージ３ｂと、把持部３ｃと、インデックスプランジャ３ｄと、位置決めブロック３ｅと、押さえ機構３ｆとを備えている。

【0024】

固定ステージ３ａは、例えば図３に示すように、前後方向にてフレーム２の中央よりも後部に配置されたステージであり、テーブルユニット３に載置されたガラス基板Ｘの後部を下方から支持する。この固定ステージ３ａは、フレーム２に対して移動しないように固定されている。

【0025】

可動ステージ３ｂは、例えば図３に示すように、前後方向にてフレーム２の中央よりも前部に配置されたステージであり、テーブルユニット３に載置されたガラス基板Ｘの前部を下方から支持する。図４は、可動ステージ３ｂを含む図３の要部拡大図である。この図に示すように、可動ステージ３ｂは、フレーム２に対して回動可能に支持されており、図４にて実線で示す支持姿勢と、図４にて仮想線で示す傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされている。

【0026】

支持姿勢は、テーブルユニット３に載置されたガラス基板Ｘを下方から当接して支持する可動ステージ３ｂの姿勢である。この支持姿勢では、可動ステージ３ｂの上面（支持面）は、固定ステージ３ａの上面（支持面）と面一とされている。なお、本実施形態においては、図４に示すように、固定ステージ３ａの下方に配置された左右方向に水平に延伸する回転軸芯Ｌを中心として可動ステージ３ｂが回動可能とされている。

【0027】

傾斜姿勢は、可動ステージ３ｂの前端を下方に下げるようにして支持姿勢に対して傾斜された姿勢である。この傾斜姿勢では、ガラス基板Ｘを支持する上面が水平面に対して傾斜される。ガラス基板Ｘにスクライブラインを形成した後に、可動ステージ３ｂを傾斜姿勢とすることによって、スクライブラインを境としてガラス基板Ｘが分割される。

【0028】

このような固定ステージ３ａと可動ステージ３ｂとの間には、例えば図４に示すように隙間Ｓが設けられている。この隙間Ｓは、ヘッドユニット５が備える後述するホイール５ｃが移動される領域（ホイールの移動領域）の直下に配置されている。つまり、本実施形態のスクライブ装置１を側方（左右方向）から見た場合には、ホイール５ｃから鉛直方向の下方に移動した位置に隙間Ｓが配置されている。このような隙間Ｓは、ガラス基板Ｘが分割された場合に生じた微小な切片をテーブルユニット３の下方に落下させるための通路となる。

【0029】

把持部３ｃは、可動ステージ３ｂの前縁に設けられている。この把持部３ｃは、インデックスプランジャ３ｄによるロックが外された状態で、作業者が可動ステージ３ｂを支持するための把手である。インデックスプランジャ３ｄは、フレーム２に対して固定されており、支持姿勢とされた可動ステージ３ｂに差込可能とされている。インデックスプランジャ３ｄが可動ステージ３ｂに差し込まれることによって、可動ステージ３ｂがロックされて支持姿勢に保持される。

【0030】

位置決めブロック３ｅは、テーブルユニット３に載置されるガラス基板Ｘの位置を規定するものであり、固定ステージ３ａの上面と可動ステージ３ｂの上面との各々に設けられている。これらの位置決めブロック３ｅは、固定ステージ３ａの上面あるいは可動ステージ３ｂの上面から上方に向けて突出して設けられており、水平方向からガラス基板Ｘが当接されることで、ガラス基板Ｘの水平方向の位置を規定する。

【0031】

押さえ機構３ｆは、固定ステージ３ａの上面と可動ステージ３ｂの上面との各々に設けた長板状の部材である。これらの押さえ機構３ｆは、長手方向の一端が固定ステージ３ａあるいは可動ステージ３ｂに対して回動可能に蝶番によって接続されており、長手方向おける他端が固定ステージ３ａあるいは可動ステージ３ｂに対して着脱可能に係合されている。これらの押さえ機構３ｆは、固定ステージ３ａの上面及び可動ステージ３ｂの上面に載置されたガラス基板Ｘを上方から押さえることによって、ガラス基板Ｘが固定ステージ３ａ及び可動ステージ３ｂに対して移動することを防止する。

【0032】

リニアガイド４は、フレーム２の門型部２ｃに設けられた梁部２ｅに固定されており、左右方向に直線状に延伸して設けられている。つまり、リニアガイド４は、テーブルユニット３の除法に配置されると共に平面視直線状に延伸されている。このようなリニアガイド４は、左右方向に移動可能な２つの可動コア４ａを有している。これらの可動コア４ａは、図４等に示すように、リニアガイド４の前部に配置されており、左右方向にスライド可能とされている。

【0033】

ヘッドユニット５は、リニアガイド４の可動コア４ａの各々に対して設けられており、本実施形態においては、２つ設けられている。各々のヘッドユニット５は、ベース５ａと、エアシリンダ５ｂ（押圧部）と、ホイール５ｃとを有している。ベース５ａは、エアシリンダ５ｂ及びホイール５ｃを支持しており、リニアガイド４の可動コア４ａに対して前方から固定されている。

【0034】

エアシリンダ５ｂは、ベース５ａに固定されており、制御部７の制御の下で上下方向に伸縮されるロッドを有している。このようなエアシリンダ５ｂは、空気圧によってホイール５ｃをガラス基板Ｘの表面に押圧する。ホイール５ｃは、エアシリンダ５ｂのロッドの先端に回転可能に接続されており、ガラス基板Ｘの表層を薄く削ることによってスクライブラインを形成する。本実施形態のスクライブ装置１は、エアシリンダ５ｂのロッド位置を調整することによって、ホイール５ｃの上下方向の位置を調整すると共に、ホイール５ｃのガラス基板Ｘに対する押圧力を調整することが可能とされている。

【0035】

このように、本実施形態のスクライブ装置１においては、ガラス基板Ｘの表面に当接されるホイール５ｃを有すると共にリニアガイド４にスライド可能に取り付けられたヘッドユニット５とを備え、１つのリニアガイド４に対して、２つ（複数）のヘッドユニット５が取り付けられている。

【0036】

駆動部６は、ヘッドユニット５を移動させる動力を生成するアクチュエータであり、例えばリニアモータ等によって構成されている。駆動部６は、各々のヘッドユニット５に対して設けられている。このように駆動部６がヘッドユニット５ごとに設けられていることにより、各々のヘッドユニット５は個別に移動することが可能となる。

【0037】

制御部７は、駆動部６に接続されており、予め記憶されたプログラム等に基づいて、駆動部６を介してヘッドユニット５のリニアガイド４に沿った移動を制御する。また、制御部７は、ヘッドユニット５のエアシリンダ５ｂの制御も行う。例えば、本実施形態において制御部７は、２つのヘッドユニット５を同一方向に移動させることで、ガラス基板Ｘにスクライブラインを形成する。

【0038】

このような構成の本実施形態のスクライブ装置１によって、ガラス基板Ｘにスクライブラインを形成すると共に、ガラス基板Ｘをスクライブラインに沿って分割する場合には、まずガラス基板Ｘをテーブルユニット３に対してガラス基板Ｘを載置する。ここでは、作業員が、ガラス基板Ｘの端部をテーブルユニット３の位置決めブロック３ｅに側方から当接させた状態でガラス基板Ｘを固定ステージ３ａと可動ステージ３ｂとを跨ぐように載置する。なお、ガラス基板Ｘを載置する場合には、可動ステージ３ｂは支持姿勢とされ、押さえ機構３ｆは長手方向における他端が持ち上げられた状態とされる。

【0039】

ガラス基板Ｘが固定ステージ３ａ及び可動ステージ３ｂ上に載置されると、作業員が、押さえ機構３ｆによってガラス基板Ｘを押さえ、その後、制御部７にスクライブライン形成の指令を入力する。制御部７は、スクライブラインの形成の指令が入力されると、駆動部６にヘッドユニット５を初期位置に移動させる。ここでは、例えば、左側のヘッドユニット５のホイール５ｃがガラス基板Ｘの左端の上方に位置し、右側のヘッドユニット５のホイール５ｃがガラス基板Ｘの左右方向における中央の上方に位置するヘッドユニット５の位置を初期位置とする。

【0040】

続いて、制御部７は、エアシリンダ５ｂによってホイール５ｃを下降させ、ホイール５ｃをガラス基板Ｘの表面に当接させる。その後、制御部７は、ホイール５ｃがガラス基板Ｘの表面に当接された状態で、駆動部６にヘッドユニット５を移動させる。例えば、左側のヘッドユニット５のホイール５ｃがガラス基板Ｘの左端から左右方向の中央まで移動され、右側のヘッドユニット５のホイール５ｃがガラス基板Ｘの左右方向の中央から右端まで移動されるように、２つのヘッドユニット５が同一方向に移動される。

【0041】

このようにヘッドユニット５が移動されることによって、ホイール５ｃがガラス基板Ｘの表面を溝状に削り、直線状のスラクライブラインが形成される。左側のヘッドユニット５のホイール５ｃによって形成されたスクライブラインと、右側のヘッドユニット５のホイール５ｃによって形成されたスクライブラインとは接続されて１本のスクライブラインとされる。このように、本実施形態のスクライブ装置１では、同一直線状に沿って形成された２つのスクライブラインの端部同士が接続されることで、１つのスクライブラインが形成される。つまり、本実施形態のスクライブ装置１では、１つのスクライブラインを２つのヘッドユニット５によって分割形成している。

【0042】

なお、左側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインと、右側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインとが、必ずしも接続される必要はない。つまり、左側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインの右端と、右側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインとの左端とが離間した状態としても良い。このように、左側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインと、右側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインとが離間している状態であっても、ガラス基板Ｘを分割することは可能である。また、左側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインと、右側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインとを接続しないことで、一方のヘッドユニット５で先に形成されたスクライブラインに他方のヘッドユニット５のホイール５ｃが掛かることを防止でき、ガラス基板Ｘ上の同一箇所がホイール５ｃで２度削られることを防止することができる。このように、本実施形態のスクライブ装置１は、必ずしも１つに接続されるスクライブラインを形成するものに限定されず、同一直線状に沿って配列される複数のスクライブラインを形成することも可能である。例えば、厚さ０．５ｍｍの無アルカリガラスからなるガラス基板Ｘを、スクライブ装置１にて後続のホイール５ｃを先に形成されたスクライブラインの約０．２５ｍｍ手前で停止させ、その後にガラス基板Ｘを分割した場合には、良好な断面品質が得られた。

【0043】

このようにガラス基板Ｘに対してスクライブラインが形成されると、制御部７は、エアシリンダ５ｂによってホイール５ｃを上昇させることで、ホイール５ｃをガラス基板Ｘから離間する。例えば、制御部７は、スクライブラインの形成が完了したことを作業者に通知する。

【0044】

作業者は、ガラス基板Ｘにスクライブラインが形成されると、インデックスプランジャ３ｄによって可動ステージ３ｂのロックを解除し、把持部３ｃを把持しながら可動ステージ３ｂを傾斜姿勢とする。このように支持姿勢とされていた可動ステージ３ｂを傾斜姿勢とすることによって、ガラス基板Ｘが曲げられ、最終的にスクライブラインを境としてガラス基板Ｘが割れる。これによって、ガラス基板Ｘがスクライブラインに沿って分割される。

【0045】

以上のような本実施形態のスクライブ装置１は、ガラス基板Ｘの表面に対してスクライブラインを形成する装置であって、ガラス基板Ｘが載置されるテーブルユニット３と、テーブルユニット３の上方に配置されると共に平面視直線状に延伸されたリニアガイド４と、ガラス基板Ｘの表面に当接されるホイール５ｃを有すると共にリニアガイド４にスライド可能に取り付けられたヘッドユニット５とを備え、１つのリニアガイド４に対して、複数のヘッドユニット５が取り付けられている。

【0046】

本実施形態のスクライブ装置１によれば、ホイール５ｃを備えるヘッドユニット５が１つの直線状のリニアガイド４に対して複数取り付けられている。このため、従来１つのヘッドユニット５によって形成されていた同一直線状のスクライブラインを複数のヘッドユニット５で分割形成することができる。したがって、各々のヘッドユニット５の移動速度を高速化することなく、短時間でスクライブラインを形成することが可能となる。よって、本実施形態のスクライブ装置１によれば、ホイール５ｃが設けられたヘッドの移動速度を抑えつつ短時間でガラス基板Ｘに対してスクライブラインを形成することが可能となる。

【0047】

また、本実施形態のスクライブ装置１においては、ヘッドユニット５をリニアガイド４に沿って移動させる駆動部６をヘッドユニット５ごとに備えている。このため、２つのヘッドユニット５を個別に移動させることが可能となる。したがって、例えば、左側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインと、右側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインとを接続したり、左側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインと、右側のヘッドユニット５で形成されるスクライブラインとを離間したりすることが可能となる。

【0048】

また、本実施形態のスクライブ装置１においては、ヘッドユニット５が、空気圧によってホイール５ｃをガラス基板Ｘの表面に押圧するエアシリンダ５ｂを有している。このため、本実施形態のスクライブ装置１によれば、空気圧によってホイール５ｃをガラス基板Ｘに対して押圧するため、ホイール５ｃのガラス基板Ｘに対する押圧力を細かく調整することが可能となる。なお、エアシリンダ５ｂに換えて、リニアモータ等の他の動力源を押圧部として備えることも可能である。

【0049】

また、本実施形態のスクライブ装置１においては、複数のヘッドユニット５のホイール５ｃがガラス基板Ｘの表面に当接された状態で、複数のヘッドユニット５を例えば同一方向に移動させる制御部７を有している。このように２つのヘッドユニット５を同一方向に移動させることによって、ヘッドユニット５同士が干渉することを防止することができる。

【0050】

また、本実施形態のスクライブ装置１においては、テーブルユニット３が、平面視にてホイール５ｃの移動領域の一方側にてガラス基板Ｘを下方から支持する固定ステージ３ａと、平面視にてホイール５ｃの移動領域の他方側にてガラス基板Ｘを下方から支持する支持姿勢と支持姿勢に対して傾斜された傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされた可動ステージ３ｂとを備えている。このため、ガラス基板Ｘに対してスクライブラインを形成した後に、可動ステージ３ｂを支持姿勢から傾斜姿勢に姿勢変更することでガラス基板Ｘを割ることが可能となる。つまり、本実施形態のスクライブ装置１によれば、ガラス基板Ｘに対するスクライブラインの形成のみならず、ガラス基板Ｘをスクライブラインに沿って分割することも可能となる。

【0051】

また、本実施形態のスクライブ装置１においては、固定ステージ３ａと可動ステージ３ｂとの間に隙間Ｓが設けられ、隙間Ｓがホイール５ｃの移動領域の直下に配置されている。このため、スクライブラインに沿ってガラス基板Ｘが割れた際に生じた微細なガラス片を、隙間Ｓを通じてテーブルユニット３の下方に落下させることができる。したがって、ガラス片がテーブルユニット３に残存することを抑制し、次のガラス基板Ｘへのスクライブラインの形成及びガラス基板Ｘの分割作業において、残存するガラス片による悪影響が生じることを抑止することが可能となる。

【0052】

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

【0053】

例えば、上記実施形態においては、１つのリニアガイド４に対して２つのヘッドユニット５がスライド可能に取り付けられた構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、１つのリニアガイド４に対して３つ以上のヘッドユニット５がスライド可能に取り付けられた構成を採用することも可能である。

【0054】

また、上記実施形態においては、図４に示すように、固定ステージ３ａの下方に配置された左右方向に水平に延伸する回転軸芯Ｌを中心として可動ステージ３ｂが回動可能とされている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図５に示すように、可動ステージ３ｂが、隙間Ｓの直下に配置された回転軸芯Ｌを中心として支持姿勢と傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされた構成を採用することも可能である。このような構成を採用することによって、ガラス基板Ｘがスクライブラインの真下を中心として折り曲げられるため、スクライブラインの形成位置に曲げ応力を集中させることができ、ガラス基板Ｘをより確実にスクライブラインに沿って割ることが可能となる。また、回転軸芯Ｌを隙間Ｓに配置することも可能である。この場合も、隙間Ｓの直下に回転軸芯Ｌが配置された場合と同様の効果を得られる。

【0055】

なお、図５に示すように、可動ステージ３ｂが隙間Ｓに配置された回転軸芯Ｌを中心として支持姿勢と傾斜姿勢とに姿勢変更可能とされた構成を採用する場合には、隙間Ｓに軸部材を設けることはできない。このため、例えば、固定ステージ３ａと可動ステージ３ｂとに配置された軸受部によって、固定ステージ３ａと可動ステージ３ｂとを連結する。

【0056】

また、上記実施形態においては、テーブルユニット３が把持部３ｃを備え、作業者が把持部３ｃを把持して可動ステージ３ｂの姿勢を変更する構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。図６は、可動ステージ駆動ユニット８を備える構成について説明するための模式的な要部側面図である。この図に示すように、可動ステージ駆動ユニット８は、可動ステージ３ｂの下方に設けられており、傾動用アクチュエータ８ａと、可動ステージ用リンク機構８ｂと、分離用アクチュエータ８ｃとを備えている。

【0057】

傾動用アクチュエータ８ａは、例えば支柱２ｄ（図６においては不図示）に対してブラケット８ｄを介して回動可能に取り付けられたシリンダであり、可動ステージ用リンク機構８ｂを介して可動ステージ３ｂに下方から接続されている。

【0058】

可動ステージ用リンク機構８ｂは、傾動用アクチュエータ８ａと可動ステージ３ｂとの間に設置されており、傾動用アクチュエータ８ａのロッドの伸縮動作を、可動ステージ３ｂが回転軸芯Ｌを中心として回動する回転運動に変換して伝達する。また、可動ステージ用リンク機構８ｂは、分離用アクチュエータ８ｃのロッドの伸縮動作を、可動ステージ３ｂが傾斜姿勢のまま固定ステージ３ａ（図６においては不図示）に対して離れたり近づいたりする直進運動に変換して伝達する。

【0059】

この可動ステージ用リンク機構８ｂは、スクライブ装置１の前後方向に離間して可動ステージ３ｂに接続された２つの縦リンク棒８ｂ１と縦リンク棒８ｂ２とを備えている。縦リンク棒８ｂ１は、縦リンク棒８ｂ２よりも前方に配置されている。また、可動ステージ用リンク機構８ｂは、縦リンク棒８ｂ１と縦リンク棒８ｂ２とを水平方向に接続する水平リンク棒８ｂ３とを備えている。この水平リンク棒８ｂ３は、縦リンク棒８ｂ１と縦リンク棒８ｂ２とに対して回動可能に接続されており、中間部分に傾動用アクチュエータ８ａが下方から接続されている。また、可動ステージ用リンク機構８ｂは、縦リンク棒８ｂ２の下端と支柱２ｄとに対して回動可能に接続された接続リンク棒８ｂ４を備えている。

【0060】

分離用アクチュエータ８ｃは、例えば支柱２ｄに対してロッドが回動可能に固定されたシリンダであり、シリンダ本体部が縦リンク棒８ｂ２の途中部位に回動可能に接続されている。

【0061】

このような構成を採用する場合には、図６（ａ）に示す可動ステージ３ｂが支持姿勢である状態から、図６（ｂ）に示すように傾動用アクチュエータ８ａのロッドを縮めることによって、可動ステージ３ｂが傾斜姿勢となる。また、可動ステージ３ｂが傾斜姿勢である状態で、図６（ｃ）に示すように分離用アクチュエータ８ｃのロッドを伸ばすことによって、可動ステージ３ｂが傾斜姿勢のまま固定ステージ３ａ（図６においては不図示）から遠ざけられる。これらの傾動用アクチュエータ８ａと分離用アクチュエータ８ｃとの進出タイミングを調整することによって、ガラス基板Ｘ（図６においては不図示）がスクライブラインに沿って分割される。

【0062】

このような可動ステージ駆動ユニット８を備えることによって、作業者の力によって可動ステージ３ｂの姿勢変更を行う必要がなくなる。このため、把持部３ｃやインデックスプランジャ３ｄを省略することが可能となる。ただし、支持姿勢とされた可動ステージ３ｂの位置決めのために、インデックスプランジャ３ｄに換えて、支持姿勢とされた可動ステージ３ｂの上面に当接するストッパ（例えばストッパボルト）を設けることが望ましい。

【0063】

さらに、上記実施形態においては、ガラス基板Ｘを水平状態で支持する構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。図７及び図８は、ガラス基板Ｘを垂直姿勢で支持した状態でガラス基板Ｘに対してスクライブラインを形成する例について説明するための模式図である。

【0064】

例えば、図７に示すように、ガラス基板Ｘを垂直姿勢で不図示の支持機構で支持し、複数のヘッドユニット５を水平方向に移動させてスクライブラインを形成するようにしても良い。このような場合には、図７に示すように、ヘッドユニット５に対してガラス基板Ｘを間に挟んで反対側に配置される当て板９を備えることが望ましい。このような当て板９によってガラス基板Ｘが支持されることによって、ヘッドユニット５のホイール５ｃ（図７においては不図示）をガラス基板Ｘに対して一定の押圧力で安定して当接させることができる。

【0065】

この当て板９は、例えば、不図示の移動装置によって、ガラス基板Ｘに対して当離可能に移動可能とされ、ホイール５ｃがガラス基板Ｘに当接される前にガラス基板Ｘに対して当接され、ホイール５ｃがガラス基板Ｘから離間した後にガラス基板Ｘから離間されるようにしても良い。これによって、ガラス基板Ｘを移動させる場合に、当て板９がガラス基板Ｘの移動の妨げとなることを防止できる。

【0066】

なお、スクライブラインが形成された後は、例えばスクライブラインの下方のガラス基板Ｘの部位をロボットアーム等で曲げることで、ガラス基板Ｘをスクライブラインに沿って分割することができる。

【0067】

また、図８に示すように、ガラス基板Ｘを垂直姿勢で不図示の支持機構で支持し、複数のヘッドユニット５を鉛直方向に移動させてスクライブラインを形成するようにしても良い。なお、スクライブラインが形成された後は、例えばスクライブラインよりも外側のガラス基板Ｘの部位にリンク機構１０を接続し、リンク機構１０を介して曲げ動力を伝達することで、ガラス基板Ｘをスクライブラインに沿って分割することができる。

【符号の説明】

【0068】

１……スクライブ装置、２……フレーム、２ａ……フレーム脚、２ｂ……接続アーム、２ｃ……門型部、２ｄ……支柱、２ｅ……梁部、３……テーブルユニット、３ａ……固定ステージ、３ｂ……可動ステージ、３ｃ……把持部、３ｄ……インデックスプランジャ、３ｅ……位置決めブロック、３ｆ……押さえ機構、４……リニアガイド（ガイド）、４ａ……可動コア、５……ヘッドユニット、５ａ……ベース、５ｂ……エアシリンダ、５ｃ……ホイール、６……駆動部（アクチュエータ）、７……制御部、８……可動ステージ駆動ユニット、９……当て板、１０……リンク機構、Ｌ……回転軸芯、Ｓ……隙間、Ｘ……ガラス基板（対象基板）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】