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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022041872
(43)【公開日】2022-03-11
(54)【発明の名称】マグネットチャック
(51)【国際特許分類】
B25J 15/06 20060101AFI20220304BHJP
【ＦＩ】
B25J15/06
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021093808
(22)【出願日】2021-06-03
(31)【優先権主張番号】P 2020145725
(32)【優先日】2020-08-31
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000102511
【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100077665
【弁理士】
【氏名又は名称】千葉 剛宏
(74)【代理人】
【識別番号】100116676
【弁理士】
【氏名又は名称】宮寺 利幸
(74)【代理人】
【識別番号】100191134
【弁理士】
【氏名又は名称】千馬 隆之
(74)【代理人】
【識別番号】100136548
【弁理士】
【氏名又は名称】仲宗根 康晴
(74)【代理人】
【識別番号】100136641
【弁理士】
【氏名又は名称】坂井 志郎
(74)【代理人】
【識別番号】100180448
【弁理士】
【氏名又は名称】関口 亨祐
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 太平
【テーマコード（参考）】
3C707
【Ｆターム（参考）】
3C707AS01
3C707FS08
3C707HS14
3C707NS09
(57)【要約】
【解決手段】マグネットチャック１０は、ワークＷが吸着されるワーク吸着面１２ｃを有するシリンダチューブ１２と、永久磁石４２を含むとともに、シリンダチューブの内部空間２５内を移動可能であり、シリンダチューブの内部空間を第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とに隔てるピストンアセンブリ１４と、シリンダチューブに形成され、第１圧力室に連通する第１給排ポート２６と、シリンダチューブに形成され、第２圧力室に連通する第２給排ポート７６と、第１圧力室と第２圧力室とを連通させる連通路７１と、を備える。
【選択図】図３
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークが吸着されるワーク吸着面を有するシリンダチューブと、
永久磁石を含むとともに、前記シリンダチューブの内部空間内を移動可能であり、前記シリンダチューブの前記内部空間を第１圧力室と第２圧力室とに隔てるピストンアセンブリと、
前記シリンダチューブに形成され、前記第１圧力室に連通する第１給排ポートと、
前記シリンダチューブに形成され、前記第２圧力室に連通する第２給排ポートと、
前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連通させる連通路と、
を備える、マグネットチャック。
永久磁石を含むとともに、前記シリンダチューブの内部空間内を移動可能であり、前記シリンダチューブの前記内部空間を第１圧力室と第２圧力室とに隔てるピストンアセンブリと、
前記シリンダチューブに形成され、前記第１圧力室に連通する第１給排ポートと、
前記シリンダチューブに形成され、前記第２圧力室に連通する第２給排ポートと、
前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連通させる連通路と、
を備える、マグネットチャック。
【請求項2】
請求項１に記載のマグネットチャックにおいて、
前記連通路は、第１連通路を含み、
前記第１連通路の少なくとも一部は、前記シリンダチューブの壁の内部に形成されており、
前記第１連通路は、前記シリンダチューブの前記内部空間とは別個に形成されており、
前記第１連通路は、前記第１圧力室に連通する開口と、前記第２圧力室に連通する開口とを有する、マグネットチャック。
前記連通路は、第１連通路を含み、
前記第１連通路の少なくとも一部は、前記シリンダチューブの壁の内部に形成されており、
前記第１連通路は、前記シリンダチューブの前記内部空間とは別個に形成されており、
前記第１連通路は、前記第１圧力室に連通する開口と、前記第２圧力室に連通する開口とを有する、マグネットチャック。
【請求項3】
請求項２に記載のマグネットチャックにおいて、
前記ピストンアセンブリを前記内部空間内で移動させるときに生ずる衝撃を緩和するダンパを更に備え、
前記第１連通路は、前記ダンパに形成された溝を介して前記第１圧力室に連通している、マグネットチャック。
前記ピストンアセンブリを前記内部空間内で移動させるときに生ずる衝撃を緩和するダンパを更に備え、
前記第１連通路は、前記ダンパに形成された溝を介して前記第１圧力室に連通している、マグネットチャック。
【請求項4】
請求項３に記載のマグネットチャックにおいて、
前記第１給排ポートは、前記ダンパに形成された他の溝を介して前記第１圧力室に連通している、マグネットチャック。
前記第１給排ポートは、前記ダンパに形成された他の溝を介して前記第１圧力室に連通している、マグネットチャック。
【請求項5】
請求項２～４のいずれか１項に記載のマグネットチャックにおいて、
前記第１連通路を流れる流体の流量を調整するための流量調整弁を更に備える、マグネットチャック。
前記第１連通路を流れる流体の流量を調整するための流量調整弁を更に備える、マグネットチャック。
【請求項6】
請求項５に記載のマグネットチャックにおいて、
前記シリンダチューブは、前記ワーク吸着面を含む第１端部と、前記第１端部とは反対の第２端部とを含み、
前記流量調整弁は、前記第２端部に備えられている、マグネットチャック。
前記シリンダチューブは、前記ワーク吸着面を含む第１端部と、前記第１端部とは反対の第２端部とを含み、
前記流量調整弁は、前記第２端部に備えられている、マグネットチャック。
【請求項7】
請求項６に記載のマグネットチャックにおいて、
前記第１連通路は、前記第２圧力室に連通する前記開口を有する連通孔を含み、
前記連通孔の中心軸線と前記流量調整弁の中心軸線とが一致している、マグネットチャック。
前記第１連通路は、前記第２圧力室に連通する前記開口を有する連通孔を含み、
前記連通孔の中心軸線と前記流量調整弁の中心軸線とが一致している、マグネットチャック。
【請求項8】
請求項２～７のいずれか１項に記載のマグネットチャックにおいて、
前記第１連通路には、流体が流れる方向を制御する方向制御弁が更に備えられ、
前記第１圧力室は、前記第２圧力室と前記ワーク吸着面との間に位置し、
前記ピストンアセンブリを駆動させようとする力が前記第２圧力室から前記第１圧力室に向かう方向に働くときには、前記方向制御弁が開き、
前記ピストンアセンブリを駆動させようとする力が前記第１圧力室から前記第２圧力室に向かう方向に働くときには、前記方向制御弁が閉じる、マグネットチャック。
前記第１連通路には、流体が流れる方向を制御する方向制御弁が更に備えられ、
前記第１圧力室は、前記第２圧力室と前記ワーク吸着面との間に位置し、
前記ピストンアセンブリを駆動させようとする力が前記第２圧力室から前記第１圧力室に向かう方向に働くときには、前記方向制御弁が開き、
前記ピストンアセンブリを駆動させようとする力が前記第１圧力室から前記第２圧力室に向かう方向に働くときには、前記方向制御弁が閉じる、マグネットチャック。
【請求項9】
請求項８に記載のマグネットチャックにおいて、
前記方向制御弁は、チェック弁であり、
前記チェック弁は、前記第２圧力室から前記第１連通路を介して前記第１圧力室に向かう前記流体の流れを許容するとともに、前記第１圧力室から前記第１連通路を介して前記第２圧力室に向かう前記流体の流れを阻止する、マグネットチャック。
前記方向制御弁は、チェック弁であり、
前記チェック弁は、前記第２圧力室から前記第１連通路を介して前記第１圧力室に向かう前記流体の流れを許容するとともに、前記第１圧力室から前記第１連通路を介して前記第２圧力室に向かう前記流体の流れを阻止する、マグネットチャック。
【請求項10】
請求項９に記載のマグネットチャックにおいて、
前記シリンダチューブの前記壁に取り付けられる流路ブロックを更に備え、
前記第１連通路は、前記流路ブロックの内部に形成されたブロック内流路を有し、
前記チェック弁は、前記流路ブロックに設けられている、マグネットチャック。
前記シリンダチューブの前記壁に取り付けられる流路ブロックを更に備え、
前記第１連通路は、前記流路ブロックの内部に形成されたブロック内流路を有し、
前記チェック弁は、前記流路ブロックに設けられている、マグネットチャック。
【請求項11】
請求項１０に記載のマグネットチャックにおいて、
前記流路ブロックは、中空ボルトを用いて前記シリンダチューブの前記壁に取り付けられ、
前記中空ボルトに備えられた空洞によって前記ブロック内流路の一部が構成される、マグネットチャック。
前記流路ブロックは、中空ボルトを用いて前記シリンダチューブの前記壁に取り付けられ、
前記中空ボルトに備えられた空洞によって前記ブロック内流路の一部が構成される、マグネットチャック。
【請求項12】
請求項８に記載のマグネットチャックにおいて、
前記方向制御弁は、制御装置から供給される信号によって切り換えられる電磁式方向制御弁であり、
前記第２給排ポートを介して前記第２圧力室内に流体が供給されるときには、前記第１連通路における前記流体の流れが許容されるように前記電磁式方向制御弁が切り換えられ、前記第１給排ポートを介して前記第１圧力室内に前記流体が供給されるときには、前記第１連通路における前記流体の流れが阻止されるように前記電磁式方向制御弁が切り換えられる、マグネットチャック。
前記方向制御弁は、制御装置から供給される信号によって切り換えられる電磁式方向制御弁であり、
前記第２給排ポートを介して前記第２圧力室内に流体が供給されるときには、前記第１連通路における前記流体の流れが許容されるように前記電磁式方向制御弁が切り換えられ、前記第１給排ポートを介して前記第１圧力室内に前記流体が供給されるときには、前記第１連通路における前記流体の流れが阻止されるように前記電磁式方向制御弁が切り換えられる、マグネットチャック。
【請求項13】
請求項１～１２のいずれか１項に記載のマグネットチャックにおいて、
前記連通路は、前記シリンダチューブの前記内部空間の壁面に形成された溝から成る第２連通路を含む、マグネットチャック。
前記連通路は、前記シリンダチューブの前記内部空間の壁面に形成された溝から成る第２連通路を含む、マグネットチャック。
【請求項14】
請求項１～１３のいずれか１項に記載のマグネットチャックにおいて、
前記連通路は、前記ピストンアセンブリに形成された第３連通路を含み、
前記第３連通路は、前記第１圧力室に連通する開口と、前記第２圧力室に連通する開口とを有する、マグネットチャック。
前記連通路は、前記ピストンアセンブリに形成された第３連通路を含み、
前記第３連通路は、前記第１圧力室に連通する開口と、前記第２圧力室に連通する開口とを有する、マグネットチャック。
【請求項15】
請求項１～１４のいずれか１項に記載のマグネットチャックにおいて、
前記シリンダチューブは、前記シリンダチューブの中心軸線を基準として互いに反対に位置する第１側部と第２側部とを含み、
前記第１給排ポート及び前記第２給排ポートは、前記第１側部に設けられており、
前記連通路は、前記第２側部又は前記第２側部と前記中心軸線との間に少なくとも設けられている、マグネットチャック。
前記シリンダチューブは、前記シリンダチューブの中心軸線を基準として互いに反対に位置する第１側部と第２側部とを含み、
前記第１給排ポート及び前記第２給排ポートは、前記第１側部に設けられており、
前記連通路は、前記第２側部又は前記第２側部と前記中心軸線との間に少なくとも設けられている、マグネットチャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、マグネットチャックに関する。
【背景技術】
【0002】
シリンダ内部のピストンに永久磁石を連結し、ピストンとともに永久磁石を変位させるマグネットチャックが知られている（特許文献１参照）。このようなマグネットチャックにおいては、流体圧を受けたピストンの変位に追従して、永久磁石がワークに接近する。永久磁石がワークに近接することに伴い、ワークが吸引保持される。また、ピストンがワークから離間する方向に変位すると、ワークが解放される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】実開昭５１－１０２１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
高温のワークを吸着保持する場合、マグネットチャック内に備えられた部材がダメージを受けることが考えられる。高温のワークを吸着保持する場合であっても、マグネットチャックに備えられた部材に加わるダメージを抑制することが好ましい。
【0005】
本発明の目的は、耐熱性の良好なマグネットチャックを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様によるマグネットチャックは、ワークが吸着されるワーク吸着面を有するシリンダチューブと、永久磁石を含むとともに、前記シリンダチューブの内部空間内を移動可能であり、前記シリンダチューブの前記内部空間を第１圧力室と第２圧力室とに隔てるピストンアセンブリと、前記シリンダチューブに形成され、前記第１圧力室に連通する第１給排ポートと、前記シリンダチューブに形成され、前記第２圧力室に連通する第２給排ポートと、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連通させる連通路と、を備える。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、耐熱性の良好なマグネットチャックを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】第１実施形態によるマグネットチャックを示す正面図である。
【図2】第１実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図3】第１実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図4】第１実施形態によるマグネットチャックを示す分解斜視図である。
【図5】第２実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図6】第２実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図7】第３実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図8】第３実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図9】第４実施形態によるマグネットチャックを示す背面図である。
【図10】第４実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図11】第４実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。
【図12】第４実施形態の変形例によるマグネットチャックの一部を示す断面図である。
【図13】第４実施形態の変形例によるマグネットチャックを示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本発明によるマグネットチャックについて、好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。
【0010】
［第１実施形態］
第１実施形態によるマグネットチャックについて図１～図４を用いて説明する。図１は、本実施形態によるマグネットチャックを示す正面図である。図２及び図３は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図２には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図３には示されている。また、ワークＷがマグネットチャック１０に吸着されている状態が図３には示されている。図４は、本実施形態によるマグネットチャックを示す分解斜視図である。なお、本願明細書においては、マグネットチャック１０のうちの図１における紙面上側の面を上面と称し、マグネットチャック１０のうちの図１における紙面下側の面を下面と称する。ワークＷは、マグネットチャック１０の下面側に吸着される。
第１実施形態によるマグネットチャックについて図１～図４を用いて説明する。図１は、本実施形態によるマグネットチャックを示す正面図である。図２及び図３は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図２には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図３には示されている。また、ワークＷがマグネットチャック１０に吸着されている状態が図３には示されている。図４は、本実施形態によるマグネットチャックを示す分解斜視図である。なお、本願明細書においては、マグネットチャック１０のうちの図１における紙面上側の面を上面と称し、マグネットチャック１０のうちの図１における紙面下側の面を下面と称する。ワークＷは、マグネットチャック１０の下面側に吸着される。
【0011】
図２及び図３に示すように、本実施形態によるマグネットチャック１０には、シリンダチューブ１２と、ピストンアセンブリ１４と、ボトムカバー１８と、ラッチヨーク２０とが備えられている。マグネットチャック１０は、例えば、不図示のロボットの先端アーム等に取り付けられる。
【0012】
シリンダチューブ１２には、シリンダ孔２４が形成されている。シリンダ孔２４は、シリンダチューブ１２を貫通している。シリンダ孔２４の横断面の形状は、例えば円形である。即ち、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃに対して垂直な方向におけるシリンダ孔２４の断面の形状は、例えば円形である。シリンダ孔２４の中心軸線は、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃに一致している。シリンダチューブ１２の材料としては、例えば、アルミニウム合金等の常磁性体金属が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0013】
図１に示すように、シリンダチューブ１２は、第１端部１２ｄと第２端部１２ｅとを含む。第１端部１２ｄと第２端部１２ｅとは互いに反対に位置する。第１端部１２ｄは、ワークＷが吸着されるワーク吸着面１２ｃを含む。図２及び図３に示すように、シリンダチューブ１２の第１端部１２ｄには、後述するハウジング８６と嵌合する嵌合部２２が形成されている。シリンダチューブ１２のうちの嵌合部２２を除く部分の横断面の外形は、例えば矩形状である。シリンダチューブ１２のうちの嵌合部２２の横断面の外形は、例えば円形である。
【0014】
シリンダチューブ１２のうちの嵌合部２２の先端には、後述する第２シール材９６が装着される段部２３が形成されている。また、シリンダ孔２４の上部側には、ラッチヨーク２０に形成された後述するフランジ２０ａが係合する段部３２が形成されている。
【0015】
ピストンアセンブリ１４には、シールホルダ３８と、コアヨーク４０と、永久磁石４２と、カバーヨーク４４と、リングプレート４５とが備えられている。
【0016】
シールホルダ３８は、円盤状に形成されている。シールホルダ３８の材料としては、例えば、アルミニウム合金等の常磁性体金属が用いられるが、これに限定されるものではない。シールホルダ３８の外周には、凹溝３９が形成されている。凹溝３９は、シールホルダ３８の周方向の外側に向かって開口している。凹溝３９には、ピストンシール４６が装着されている。ピストンシール４６の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。ピストンシール４６は、シリンダ孔２４の壁面に摺接する。シールホルダ３８の中央には、貫通孔４８が形成されている。貫通孔４８には、当該貫通孔４８の中心に向かって突出する内向きフランジ５０が形成されている。シールホルダ３８の上面には、環状凹部５１が形成されている。環状凹部５１は、マグネットチャック１０の上面側に向かって開口している。貫通孔４８と環状凹部５１との間に存在している部分が、フランジ４１になっている。フランジ４１は、マグネットチャック１０の上面側に向かって突出している。
【0017】
コアヨーク４０は、全体として円柱状に形成されている。コアヨーク４０の材料としては、例えば、強磁性体である鉄鋼等が用いられるが、これに限定されるものではない。コアヨーク４０の上端部の中央には、筒状突出部５２が形成されている。筒状突出部５２は、マグネットチャック１０の上面側に向かって突出している。コアヨーク４０には、有底のねじ孔５４が形成されている。ねじ孔５４は、筒状突出部５２の先端において開口している。コアヨーク４０のうちの下部側には、凹部５６が形成されている。凹部５６は、マグネットチャック１０の下面側に向かって開口している。凹部５６の横断面の形状は、例えば円形である。
【0018】
シールホルダ３８に形成された貫通孔４８には、コアヨーク４０のうちの筒状突出部５２が挿入されている。筒状突出部５２は、貫通孔４８のうちの下部側の部位に挿入されている。筒状突出部５２は、貫通孔４８に嵌合している。筒状突出部５２は、シールホルダ３８のうちの内向きフランジ５０に当接している。貫通孔４８には、固定ねじ６０が挿入されている。固定ねじ６０は、貫通孔４８のうちの上部側から挿入されている。固定ねじ６０は、コアヨーク４０に形成されたねじ孔５４に更に挿入されている。固定ねじ６０は、当該ねじ孔５４に螺合している。こうして、シールホルダ３８とコアヨーク４０とが一体的に連結されている。
【0019】
筒状突出部５２の根元には、第１シール材６２が装着されている。第１シール材６２は、シールホルダ３８とコアヨーク４０との間をシールしている。第１シール材６２の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0020】
永久磁石４２は、例えば円筒状に形成されている。永久磁石４２は、コアヨーク４０の外周に位置している。永久磁石４２としては、例えば、サマリウムコバルト磁石が用いられるが、これに限定されるものではない。永久磁石４２は、シールホルダ３８と、コアヨーク４０と、カバーヨーク４４と、リングプレート４５とによって囲まれている。永久磁石４２は、例えば径方向に着磁されている。永久磁石４２の内周側は例えばＮ極となっており、永久磁石４２の外周側は例えばＳ極となっている。なお、永久磁石４２の内周側がＳ極となっており、永久磁石４２の外周側がＮ極となっていてもよい。永久磁石４２は、例えば、周方向に分割されている。即ち、複数の扇形状の不図示の磁石片を組み合わせることによって、円筒状の永久磁石４２が構成されている。なお、単一の部材によって永久磁石４２が構成されてもよい。永久磁石４２は、円筒状に限定されるものではない。例えば、永久磁石４２が角筒状に形成されていてもよい。即ち、複数の平板状の磁石片を組み合わせることによって、角筒状の永久磁石４２が構成されていてもよい。
【0021】
カバーヨーク４４は、筒状に形成されている。カバーヨーク４４は、永久磁石４２の外周に位置している。カバーヨーク４４の材料としては、例えば、強磁性体である鉄鋼等が用いられるが、これに限定されるものではない。カバーヨーク４４の外周は、上部側が大径になっており、下部側が小径になっている。即ち、カバーヨーク４４は、大径部６４と、小径部６６とを含んでいる。大径部６４と小径部６６との間には、段部６５が存在している。大径部６４には、２つの環状溝６８ａ、６８ｂが形成されている。環状溝６８ａ、６８ｂは、カバーヨーク４４の径方向の外側に向かって開口している。環状溝６８ａ、６８ｂは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃに沿った方向において互いに離間している。環状溝６８ａ、６８ｂには、それぞれウエアリング７０ａ、７０ｂが装着されている。ピストンアセンブリ１４は、ウエアリング７０ａ、７０ｂを介してシリンダ孔２４に案内支持される。ウエアリング７０ａ、７０ｂの材料としては、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ：ＰｏｌｙＴｅｔｒａＦｌｕｏｒｏＥｔｈｙｌｅｎｅ）等が用いられる。なお、ウエアリング７０ａ、７０ｂの材料は、このような材料に限定されるものではない。
【0022】
ボトムカバー１８には、ボトムヨーク８０と、アウタヨーク８２と、ハウジング８６とが備えられている。
【0023】
ボトムヨーク８０の材料としては、例えば、強磁性体である鉄鋼等が用いられるが、これに限定されるものではない。ボトムヨーク８０の形状は、例えば円柱状である。ピストンアセンブリ１４が下降したとき、ボトムヨーク８０はコアヨーク４０の凹部５６に入り込む（図３参照）。ボトムヨーク８０の下部には、下部フランジ８０ａが形成されている。下部フランジ８０ａは、ボトムヨーク８０の径方向の外側に突出している。
【0024】
ボトムヨーク８０の外側には、アウタヨーク８２が備えられている。アウタヨーク８２の材料としては、例えば、強磁性体である鉄鋼等が用いられるが、これに限定されるものではない。アウタヨーク８２は、例えば円筒状に形成されている。アウタヨーク８２の上部側には、上部フランジ８２ａが形成されている。上部フランジ８２ａは、アウタヨーク８２の径方向の外側に突出している。アウタヨーク８２の下部側の外周面には、外周凹部８２ｂが形成されている。外周凹部８２ｂは、アウタヨーク８２の径方向の内側に凹んでいる。アウタヨーク８２の下部側の内周面には、段部８２ｃが形成されている。
【0025】
ボトムヨーク８０のうちの下部フランジ８０ａとアウタヨーク８２のうちの段部８２ｃとの間には、環状の連結板８４が備えられている。連結板８４によって、アウタヨーク８２がボトムヨーク８０に固定されている。連結板８４の材料としては、例えば、アルミニウム合金等の常磁性体金属が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0026】
ハウジング８６は、例えば筒状に形成されている。ハウジング８６の材料としては、例えば、アルミニウム合金等の常磁性体金属等が用いられるが、これに限定されるものではない。ハウジング８６には、上下方向に貫通する貫通孔８８が形成されている。貫通孔８８の横断面は、円形になっている。貫通孔８８のうちの下部側には、下部フランジ９０が形成されている。下部フランジ９０は、貫通孔８８の径方向の内側に突出している。ハウジング８６の貫通孔８８にシリンダチューブ１２の嵌合部２２が嵌合されている。
【0027】
図４に示すように、４本のタイロッド９４が、ハウジング８６に形成された挿通孔３５に挿通されている。各々のタイロッド９４の先端部は、シリンダチューブ１２に形成された不図示のねじ孔に螺合されている。こうして、シリンダチューブ１２とハウジング８６とが相互に連結固定されている。アウタヨーク８２の上部フランジ８２ａは、シリンダチューブ１２の嵌合部２２の端面とハウジング８６の下部フランジ９０との間において挟持されている。こうして、アウタヨーク８２がシリンダチューブ１２等に連結固定されている。
【0028】
上述したように、シリンダチューブ１２の嵌合部２２の先端には、段部２３が形成されている。段部２３とアウタヨーク８２の上面との隙間には、第２シール材９６が装着されている。第２シール材９６は、シリンダチューブ１２とアウタヨーク８２との間をシールする。第２シール材９６の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0029】
シリンダチューブ１２の下端とアウタヨーク８２の上面との間には、ダンパ（下部ダンパ９８）が装着されている。下部ダンパ９８は、環状に形成されている。下部ダンパ９８の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。下部ダンパ９８の上面は、シリンダチューブ１２に形成された環状凹部３０に対面している。ピストンアセンブリ１４が下死点まで下降したとき、図３に示すように、カバーヨーク４４の段部６５が下部ダンパ９８に当接する。下部ダンパ９８は、ピストンアセンブリ１４を内部空間２５内で移動させるときに生ずる衝撃を緩和する役割を果たす。即ち、下部ダンパ９８は、ピストンアセンブリ１４が下死点まで下降したときの衝撃を緩和する役割を果たす。図４に示すように、下部ダンパ９８の上面には、当該下部ダンパ９８の内周端から当該下部ダンパ９８の外周端に達する複数の溝９８ａ（複数の凹溝）が形成されている。複数の溝９８ａは、下部ダンパ９８の周方向において例えば等間隔に形成されている。溝９８ａは、後述する第１流体給排孔２８をシリンダ孔２４に連通させる役割を担う。即ち、溝９８ａは、後述する第１給排ポート２６を後述する第１圧力室１１２に連通させる役割を担う。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、第１流体給排孔２８は溝９８ａを介してシリンダ孔２４に連通する。溝９８ａは、後述する第２連通孔７４ｂをシリンダ孔２４に連通させる役割をも担う。即ち、溝９８ａは、後述する第１連通路７１Ａを第１圧力室１１２に連通させる役割をも担う。
【0030】
ワークＷは、マグネットチャック１０の下面に吸着される。ワークＷとしては、例えば、鉄製のプレート等が挙げられるが、これに限定されるものではない。
【0031】
ラッチヨーク２０は、円盤状に形成されている。ラッチヨーク２０の材料としては、例えば、強磁性体である鉄鋼等が用いられるが、これに限定されるものではない。ラッチヨーク２０の上部側には、フランジ２０ａが形成されている。フランジ２０ａは、ラッチヨーク２０の径方向の外側に突出している。フランジ２０ａは、シリンダ孔２４の上部側に形成された段部３２に係合している。ラッチヨーク２０の中央には、凹部１０２が形成されている。凹部１０２は、マグネットチャック１０の下面側に向かって開口している。凹部１０２の横断面は、例えば円形である。凹部１０２は、小径部１０２ａと、大径部１０２ｂとを含んでいる。小径部１０２ａは、凹部１０２のうちの上側に位置している。大径部１０２ｂは、凹部１０２のうちの下側に位置している。ピストンアセンブリ１４が上昇した場合、固定ねじ６０の頭部６０ａが小径部１０２ａ内に受容される（図２参照）。大径部１０２ｂには、上部ダンパ１０４が装着されている。上部ダンパ１０４は、環状に形成されている。ピストンアセンブリ１４が上昇したときには、図２に示すように、シールホルダ３８のうちのフランジ４１が上部ダンパ１０４に当接する。上部ダンパ１０４は、ピストンアセンブリ１４が上昇したときの衝撃を緩和する役割を果たす。上部ダンパ１０４の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。大径部１０２ｂの下端には、環状突出部１０６が形成されている。環状突出部１０６の内径は、下方に向かってテーパ状に大きくなっている。環状突出部１０６は、ピストンアセンブリ１４が上昇したとき、シールホルダ３８に形成された環状凹部５１に入り込む。ラッチヨーク２０の外周には、凹溝２１が形成されている。凹溝２１は、ラッチヨーク２０の径方向の外側に開口している。凹溝２１には、ラッチヨークシール２７が装着されている。ラッチヨークシール２７の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。ラッチヨーク２０の下部側には、小径部２０ｂが形成されている。ラッチヨーク２０のうちの小径部２０ｂの外周面とシリンダ孔２４の壁面との間には、隙間１１４ａが存在している。隙間１１４ａは、後述する第２圧力室１１４の一部である。
【0032】
シリンダチューブ１２の上部側には、凹溝１２ｂが形成されている。凹溝１２ｂは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃに向かって開口している。凹溝１２ｂには、スナップリング１６が嵌合されている。スナップリング１６は、ラッチヨーク２０がシリンダチューブ１２の軸方向に抜けるのを防止するためのリング状の止め輪である。シリンダチューブ１２の軸方向は、中心軸線Ｃに沿った方向である。スナップリング１６の材料としては、例えばバネ用鋼が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0033】
シリンダチューブ１２の内部空間２５は、ピストンアセンブリ１４によって第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とに隔てられる。第１圧力室１１２は、シールホルダ３８のピストンシール４６よりも下方に位置する圧力室である。第２圧力室１１４は、シールホルダ３８のピストンシール４６よりも上方に位置する圧力室である。第１圧力室１１２は、第２圧力室１１４とワーク吸着面１２ｃとの間に位置する。
【0034】
シリンダチューブ１２には、第１圧力室１１２に対して流体の給排を行うための第１給排ポート２６が形成されている。シリンダチューブ１２は、第１側部１２ｆと第２側部１２ｇとを含む。第１側部１２ｆと第２側部１２ｇとは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃを基準として互いに反対に位置する。第１給排ポート２６は、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに設けられている。シリンダチューブ１２は、第１側面１３Ａと第２側面１３Ｂとを有する。第１側面１３Ａと第２側面１３Ｂとは、互いに反対に位置する。第１給排ポート２６は、シリンダチューブ１２の第１側面１３Ａにおいて開口している。流体としては、例えばエア等の気体（ガス）が用いられるが、これに限定されるものではない。水、油等の液体を流体として用いてもよい。流体の温度は、例えば室温（２５℃程度）であるが、これに限定されるものではない。但し、マグネットチャック１０内を充分に冷却すべく、流体の温度がワークＷの温度に対して充分に低いことが好ましい。
【0035】
シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部には、第１流体給排孔２８が形成されている。第１流体給排孔２８の上端には、第１給排ポート２６が接続されている。第１流体給排孔２８は、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダチューブ１２の軸方向に沿って延びている。嵌合部２２の内周側には、マグネットチャック１０の下面側に向かって開口する環状凹部３０が形成されている。第１流体給排孔２８の下端は、環状凹部３０に達している。第１給排ポート２６は、第１流体給排孔２８を介して第１圧力室１１２に連通している。第１流体給排孔２８は、第１圧力室１１２に連通する開口８１ｂを有する。第１圧力室１１２に連通する開口８１ｂは、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに設けられている。
【0036】
シリンダチューブ１２には、第２圧力室１１４に対して流体の給排を行うための第２給排ポート７６が備えられている。第２給排ポート７６は、第１給排ポート２６と同様に、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに設けられている。第２給排ポート７６は、シリンダチューブ１２の第１側面１３Ａにおいて開口している。第２給排ポート７６とは、第１給排ポート２６の上方に位置している。
【0037】
シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部には、第２流体給排孔１１０が形成されている。第２流体給排孔１１０の一端は、第２給排ポート７６に接続されている。第２流体給排孔１１０は、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダ孔２４に向かって延びている。第２流体給排孔１１０の他端は、ラッチヨーク２０のうちの小径部２０ｂの外周面とシリンダ孔２４の壁面との間に形成される隙間１１４ａに連通している。当該隙間１１４ａは、上述したように、第２圧力室１１４の一部である。第２給排ポート７６は、第２流体給排孔１１０を介して第２圧力室１１４に連通している。第２流体給排孔１１０は、第２圧力室１１４に連通する開口８１ａを有する。第２圧力室１１４に連通する開口８１ａは、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに設けられている。
【0038】
シリンダチューブ１２には、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とを連通させる連通路７１が形成されている。連通路７１は、第１連通路７１Ａを含む。第１連通路７１Ａは、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部に形成されている。第１連通路７１Ａは、シリンダチューブ１２の内部空間２５とは別個に形成されている。第１連通路７１Ａは、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに設けられている。第１側部１２ｆと第２側部１２ｇとは、上述したように、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃを基準として互いに反対に位置する。第１給排ポート２６及び第２給排ポート７６は、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに備えられており、第１連通路７１Ａは、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに備えられている。第１給排ポート２６及び第２給排ポート７６をシリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに配し、連通路７１をシリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに配しているのは、以下のような理由による。即ち、第１圧力室１１２内及び第２圧力室１１４内における流体の滞留を抑制し、マグネットチャック１０の各部を流体によって効果的に冷却するためである。
【0039】
第１連通路７１Ａには、当該第１連通路７１Ａを流れる流体の流量を調整するための流量調整弁７２、より具体的には、ニードルバルブが備えられる。上述したように、シリンダチューブ１２の第２端部１２ｅは、ワーク吸着面１２ｃを含む第１端部１２ｄの反対に位置する。流量調整弁７２は、第２端部１２ｅに備えられている。流量調整弁７２は、シリンダチューブ１２に形成された凹部７３に装着されている。凹部７３は、シリンダチューブ１２の径方向の外側に向かって開口している。凹部７３は、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂにおいて開口している。凹部７３の深さ方向は、シリンダチューブ１２の径方向である。シリンダチューブ１２の軸方向における凹部７３の断面は、例えば円形である。凹部７３には、後述するシール材７５が装着される段部７３ａが形成されている。段部７３ａと流量調整弁７２との隙間には、シール材７５が装着されている。シール材７５は、シリンダチューブ１２と流量調整弁７２との間をシールする。シール材７５の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0040】
第１連通路７１Ａは、第１連通孔７４ａと、第２連通孔７４ｂとを含む。第１連通孔７４ａの一端は、ラッチヨーク２０のうちの小径部２０ｂの外周面とシリンダ孔２４の壁面との間に形成される隙間１１４ａに連通している。第１連通孔７４ａ、即ち、連通孔は、第２圧力室１１４に連通する開口７９ａを有する。第２圧力室１１４に連通する開口７９ａは、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに設けられている。第１連通孔７４ａの他端は、凹部７３の底面において開口している。第１連通孔７４ａの中心軸線と流量調整弁７２の中心軸線とは一致している。第２連通孔７４ｂの上端は、凹部７３の側面において開口している。第２連通孔７４ｂは、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダチューブ１２の下方に向かって延びている。第２連通孔７４ｂの下端は、シリンダチューブ１２に形成された環状凹部３０に達している。第１連通路７１Ａは、下部ダンパ９８に形成された溝９８ａを介して第１圧力室１１２に連通している。即ち、第２連通孔７４ｂは、第１圧力室１１２に連通する開口７９ｂを有する。第１圧力室１１２に連通する開口７９ｂは、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに設けられている。
【0041】
流量調整弁７２には、ボディ部７２ａと、芯棒７２ｂとが備えられている。ボディ部７２ａは、全体として円筒状に形成されている。芯棒７２ｂは、全体として円柱状に形成されている。芯棒７２ｂは、ボディ部７２ａによって囲われている。芯棒７２ｂには、大径部７２ｂ１と小径部７２ｂ２とが備えられている。小径部７２ｂ２は、芯棒７２ｂの先端に位置している。芯棒７２ｂの小径部７２ｂ２、即ち、芯棒７２ｂの先端は、第１連通孔７４ａ内に挿入されている。芯棒７２ｂを回動させると、芯棒７２ｂの長手方向に当該芯棒７２ｂが変位する。芯棒７２ｂの長手方向に当該芯棒７２ｂを変位させると、第１連通路７１Ａと芯棒７２ｂとの隙間のサイズが変化し、第１連通路７１Ａにおける流体の流量が調整される。ピストンアセンブリ１４を駆動させるときに第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に充分な差圧を生じさせることを可能とすべく、第１連通路７１Ａと芯棒７２ｂとの隙間のサイズは充分に小さく設定される。芯棒７２ｂには、環状溝７２ｂ３が形成されている。環状溝７２ｂ３は、芯棒７２ｂの径方向の外側に向かって開口している。環状溝７２ｂ３には、シール材７７が装着されている。シール材７７は、ボディ部７２ａと芯棒７２ｂとの間をシールする。シール材７７の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0042】
第１給排ポート２６と第１連通路７１Ａとは、第１圧力室１１２を介して連通する。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、図３に示すように、第１給排ポート２６と第１連通路７１Ａとが第１圧力室１１２を介して連通している状態は維持される。
【0043】
第２給排ポート７６と第１連通路７１Ａとは、第２圧力室１１４を介して連通する。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態においても、図２に示すように、第２給排ポート７６と第１連通路７１Ａとが第２圧力室１１４を介して連通している状態は維持される。
【0044】
こうして、本実施形態によるマグネットチャック１０が構成されている。
【0045】
【0046】
ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態においては、永久磁石４２を含むピストンアセンブリ１４は、所定の磁気吸引力でラッチヨーク２０に吸引されている。
【0047】
マグネットチャック１０が使用に供される前の段階、例えば、搬送時等においては、マグネットチャック１０に流体が供給されなくても、ラッチヨーク２０の作用でピストンアセンブリ１４が上死点の位置に保持される。これにより、マグネットチャック１０が周囲の鉄材等を吸着するという不測の事態が回避され、安全が図られる。
【0048】
次に、マグネットチャック１０を初期状態に維持しつつ、例えば、不図示のロボットを駆動して、当該マグネットチャック１０をワークＷに当接させる。より具体的には、マグネットチャック１０の下面側を、ワークＷに当接させる。
【0049】
次に、不図示の切換弁を操作することによって、第２圧力室１１４内への流体の供給を開始するとともに、第１圧力室１１２からの流体の排出を開始する。第２圧力室１１４内への流体の供給は、第２給排ポート７６を介して行われる。第１圧力室１１２からの流体の排出は、第１給排ポート２６を介して行われる。
【0050】
第２圧力室１１４内への流体の供給を開始するとともに、第１圧力室１１２からの流体の排出を開始すると、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に差圧が生ずる。このため、ピストンアセンブリ１４を下方へ駆動させようとする力が、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧に応じてピストンアセンブリ１４に働く。ピストンアセンブリ１４を下方へ駆動させようとする力が、ラッチヨーク２０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力を上回っていない段階においては、ピストンアセンブリ１４は上死点に保持される。上述したように、流量調整弁７２の芯棒７２ｂと第１連通路７１Ａとの隙間のサイズは充分に小さく設定されるため、第２圧力室１１４内の圧力が第１圧力室１１２内の圧力に対して充分に高くなる。ピストンアセンブリ１４を下方へ駆動させようとする力が、ラッチヨーク２０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力を上回ると、ピストンアセンブリ１４は下降し始める。
【0051】
ピストンアセンブリ１４が下降することに伴い、ラッチヨーク２０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力は次第に小さくなる。一方、ボトムヨーク８０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力、及び、アウタヨーク８２とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力は、次第に大きくなる。
【0052】
ピストンアセンブリ１４が更に下降すると、ボトムヨーク８０がコアヨーク４０の凹部５６に入り込む。この後、カバーヨーク４４の段部６５が下部ダンパ９８に当接し、ピストンアセンブリ１４は下死点（下降端）に到達する。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においては、ワークＷを通る磁束密度は最大になり、ワークＷは最大の磁気吸引力でマグネットチャック１０に吸引保持される。
【0053】
ワークＷは、室温程度である場合もあるが、高温の場合もある。ワークＷがマグネットチャック１０に吸引保持されているときには、ワークＷの熱がマグネットチャック１０に伝達される。第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等の材料として用いられている例えばフッ素ゴム等は、著しく高い温度に対しては必ずしも耐え得ない。第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等が著しく高い温度になった場合には、第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等にダメージが加わる虞がある。これに対し、本実施形態では、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とが連通路７１（第１連通路７１Ａ）を介して連通しているため、ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、第１圧力室１１２内を流体が流れ続ける。このため、本実施形態によれば、マグネットチャック１０を流体により冷却することができ、第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等にダメージが加わるのを抑制することができる。
【0054】
ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態で、ワークＷが所定位置まで搬送される。即ち、マグネットチャック１０がワークＷを吸引保持している状態で、ワークＷが所定位置まで搬送される。この後、ワークＷをマグネットチャック１０から解放するための操作が行われる。ワークＷをマグネットチャック１０から解放するための操作は、不図示の切換弁を操作することによって行われる。具体的には、第１圧力室１１２内への流体の供給が開始されるとともに、第２圧力室１１４からの流体の排出が開始される。第１圧力室１１２内への流体の供給を行うとともに、第２圧力室１１４からの流体の排出を行っている状態においても、第１圧力室１１２内には流体が流れ続ける。このため、第１圧力室１１２内への流体の供給を行うとともに、第２圧力室１１４からの流体の排出を行っている状態においても、マグネットチャック１０が流体により冷却される。
【0055】
第１圧力室１１２内への流体の供給が開始されるとともに、第２圧力室１１４からの流体の排出が開始されると、ピストンアセンブリ１４を上方へ駆動させようとする力が、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧によって、ピストンアセンブリ１４に働く。ピストンアセンブリ１４を上方へ駆動させようとする力が、ボトムヨーク８０とピストンアセンブリ１４との間、及び、アウタヨーク８２とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力を上回るまでは、ピストンアセンブリ１４は下死点に位置する。ピストンアセンブリ１４を上方へ駆動させようとする力が、ボトムヨーク８０とピストンアセンブリ１４との間、及び、アウタヨーク８２とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力を上回ると、ピストンアセンブリ１４は上昇し始める。
【0056】
ワークＷに作用する磁気吸引力は、ピストンアセンブリ１４の上昇に伴って次第に小さくなり、ワークＷはマグネットチャック１０による吸着から解放される。シールホルダ３８のフランジ４１が上部ダンパ１０４に当接すると、ピストンアセンブリ１４の上昇が終了する。即ち、ピストンアセンブリ１４が上死点に到達する。ピストンアセンブリ１４には、ラッチヨーク２０とピストンアセンブリ１４との間に働く磁気吸引力に加えて、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧が継続してピストンアセンブリ１４に加わるため、ピストンアセンブリ１４は上死点に確実に保持される。このため、ピストンアセンブリ１４が不意に下降してワークＷが吸着されることはない。ピストンアセンブリ１４が上死点に保持されている状態においても、第１圧力室１１２内には流体が流れ続ける。このため、ピストンアセンブリ１４が上死点に保持されている状態においても、マグネットチャック１０が流体により冷却される。
【0057】
このように、本実施形態によれば、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とが連通路７１（第１連通路７１Ａ）を介して連通している。このため、本実施形態によれば、シリンダチューブ１２の内部空間２５を流れ続ける流体によって、マグネットチャック１０の各部が冷却される。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、第１圧力室１１２内及び第２圧力室１１４内に流体が流れ続ける。このため、本実施形態によれば、高温のワークＷがマグネットチャック１０によって吸着される場合であっても、第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等にダメージが加わるのを抑制することができる。従って、本実施形態によれば、耐熱性の良好なマグネットチャック１０を提供することができる。
【0058】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態によるマグネットチャックについて図５及び図６を用いて説明する。図１～図４に示す第１実施形態によるマグネットチャックと同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡潔にする。図５及び図６は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図５には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図６には示されている。
次に、第２実施形態によるマグネットチャックについて図５及び図６を用いて説明する。図１～図４に示す第１実施形態によるマグネットチャックと同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡潔にする。図５及び図６は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図５には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図６には示されている。
【0059】
図５及び図６に示すように、シリンダチューブ１２の内部空間２５の壁面には、溝１１６が形成されている。本実施形態では、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とを連通する連通路７１（第２連通路７１Ｂ）が、溝１１６によって構成されている。ピストンアセンブリ１４を駆動させるときに第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に充分な差圧を生じさせることを可能とすべく、第２連通路７１Ｂを構成する溝１１６の深さ及び幅は充分に小さく設定される。第２連通路７１Ｂは、第１実施形態における第１連通路７１Ａと同様に、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに形成されている。上述したように、第１側部１２ｆと第２側部１２ｇとは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃを基準として互いに反対に位置する。第１給排ポート２６及び第２給排ポート７６は、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに備えられており、第２連通路７１Ｂは、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに備えられている。
【0060】
第２連通路７１Ｂを構成する溝１１６の下端は、溝９８ａが形成された下部ダンパ９８に達している。第１給排ポート２６と第２連通路７１Ｂとは、第１圧力室１１２を介して連通している。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、図６に示すように、第１給排ポート２６と第２連通路７１Ｂとが第１圧力室１１２を介して連通している状態は維持される。
【0061】
溝１１６の上端は、ラッチヨーク２０のうちの小径部２０ｂの外周面に対面している。小径部２０ｂの外周面とシリンダ孔２４の壁面との間には、上述したように、隙間１１４ａが形成される。隙間１１４ａは、上述したように、第２圧力室１１４の一部である。第２給排ポート７６と第２連通路７１Ｂとは、第２圧力室１１４を介して連通している。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態においても、図５に示すように、第２給排ポート７６と第２連通路７１Ｂとが第２圧力室１１４を介して連通している状態は維持される。
【0062】
なお、上記においては、１つの溝１１６によって第２連通路７１Ｂが構成されている場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。複数の溝１１６によって第２連通路７１Ｂが構成されてもよい。例えば、シリンダ孔２４の周方向に複数の溝１１６が所定間隔で配されてもよい。
【0063】
このように、シリンダチューブ１２の内部空間２５の壁面に形成された溝１１６によって、連通路７１（第２連通路７１Ｂ）が構成されていてもよい。本実施形態においても、シリンダチューブ１２の内部空間２５を流れ続ける流体によって、マグネットチャック１０の各部が冷却される。即ち、ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、第１圧力室１１２内及び第２圧力室１１４内に流体が流れ続ける。このため、高温のワークＷがマグネットチャック１０によって吸着される場合であっても、第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等にダメージが加わるのを抑制することができる。従って、本実施形態においても、耐熱性の良好なマグネットチャック１０を提供することができる。
【0064】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態によるマグネットチャックについて図７及び図８を用いて説明する。図１～図６に示す第１又は第２実施形態によるマグネットチャックと同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡潔にする。図７及び図８は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図７には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図８には示されている。
次に、第３実施形態によるマグネットチャックについて図７及び図８を用いて説明する。図１～図６に示す第１又は第２実施形態によるマグネットチャックと同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡潔にする。図７及び図８は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図７には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図８には示されている。
【0065】
図７及び図８に示すように、シールホルダ３８には、マグネットチャック１０の上面側に向かって開口する円孔状凹部８５が形成されている。円孔状凹部８５は、環状凹部５１の底面において開口している。円孔状凹部８５の中心軸線は、後述する貫通孔８７ａの中心軸線と一致している。複数の円孔状凹部８５がピストンアセンブリ１４の周方向に沿って複数形成されている場合の例が図７及び図８には示されている。
【0066】
ピストンアセンブリ１４には、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とを連通する連通路７１（第３連通路７１Ｃ）が更に形成されている。第３連通路７１Ｃは、シールホルダ３８を貫く貫通孔８７ａと、永久磁石４２を貫く貫通孔８７ｂと、リングプレート４５を貫く貫通孔８７ｃとが互いに接続されることによって構成されるが、これに限定されるものではない。第３連通路７１Ｃは、第２圧力室１１４に連通する開口８３ａと、第１圧力室１１２に連通する開口８３ｂとを有する。ピストンアセンブリ１４を駆動させるときに第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に充分な差圧を生じさせることを可能とすべく、第３連通路７１Ｃの径は充分に小さく設定される。ここでは、ピストンアセンブリ１４を駆動させるときに第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に充分な差圧を生じさせることを可能とすべく、貫通孔８７ａの径が充分に小さく設定される。第３連通路７１Ｃは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃと第２側部１２ｇとの間に少なくとも形成されている。上述したように、第１側部１２ｆと第２側部１２ｇとは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃを基準として互いに反対に位置する。第１給排ポート２６及び第２給排ポート７６は、シリンダチューブ１２の第１側部１２ｆに備えられており、第３連通路７１Ｃは、シリンダチューブ１２の中心軸線Ｃと第２側部１２ｇとの間に少なくとも備えられている。なお、複数の第３連通路７１Ｃがピストンアセンブリ１４の周方向に沿って複数形成されている場合の例が図７及び図８には示されている。
【0067】
第１給排ポート２６と第３連通路７１Ｃとは、第１圧力室１１２を介して連通している。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、図８に示すように、第１給排ポート２６と第３連通路７１Ｃとが第１圧力室１１２を介して連通している状態は維持される。
【0068】
第２給排ポート７６と第３連通路７１Ｃとは、第２圧力室１１４を介して連通している。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態においても、図７に示すように、第２給排ポート７６と第３連通路７１Ｃとが第２圧力室１１４を介して連通している状態は維持される。
【0069】
このように、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とを連通する連通路７１（第３連通路７１Ｃ）がピストンアセンブリ１４に形成されていてもよい。本実施形態においても、シリンダチューブ１２の内部空間２５を流れ続ける流体によって、マグネットチャック１０の各部が冷却される。即ち、ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態においても、第１圧力室１１２内及び第２圧力室１１４内に流体が流れ続ける。このため、高温のワークＷがマグネットチャック１０によって吸着される場合であっても、第１シール材６２、第２シール材９６、ピストンシール４６、下部ダンパ９８等にダメージが加わるのを抑制することができる。従って、本実施形態においても、耐熱性の良好なマグネットチャック１０を提供することができる。
【0070】
［第４実施形態］
次に、第４実施形態によるマグネットチャックについて図９～図１１を用いて説明する。図９は、本実施形態によるマグネットチャックを示す背面図である。図１０及び図１１は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図１０には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図１１には示されている。図１～図８に示す第１～第３実施形態によるマグネットチャックと同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡潔にする。
次に、第４実施形態によるマグネットチャックについて図９～図１１を用いて説明する。図９は、本実施形態によるマグネットチャックを示す背面図である。図１０及び図１１は、本実施形態によるマグネットチャックを示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図１０には示されている。ピストンアセンブリ１４が下死点に位置している状態が図１１には示されている。図１～図８に示す第１～第３実施形態によるマグネットチャックと同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略又は簡潔にする。
【0071】
本実施形態によるマグネットチャック１０では、方向制御弁１３４が第１連通路７１Ａａに備えられている。
【0072】
シリンダチューブ１２には、第１～第３実施形態において上述したシリンダチューブ１２と同様に、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とを連通させる連通路７１が形成されている。連通路７１は、第１連通路７１Ａａを含む。第１連通路７１Ａａの一部は、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部に形成されている。第１連通路７１Ａａは、シリンダチューブ１２の内部空間２５とは別個に形成されている。第１連通路７１Ａａは、第１実施形態において上述した第１連通路７１Ａと同様に、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに設けられている。
【0073】
第１連通路７１Ａａは、第１連通孔７４ａを含む。本実施形態における第１連通孔７４ａは、第１実施形態において上述した第１連通孔７４ａと同様である。
【0074】
第１連通路７１Ａａは、第３連通孔７４ｃを更に含む。シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部には、穴１１８が形成されている。穴１１８は、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダチューブ１２の下方に向かって延びている。穴１１８は、凹部７３を貫いている。穴１１８のうちの凹部７３の下方に位置する部分が、第３連通孔７４ｃを構成している。穴１１８のうちの上部は、封止部材１２０によって封止されている。第３連通孔７４ｃの上端は、凹部７３の側面において開口している。第３連通孔７４ｃは、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダチューブ１２の下方に向かって延びている。
【0075】
第１連通路７１Ａａは、第４連通孔７４ｄを更に含む。第３連通孔７４ｃの下端は、第４連通孔７４ｄの一端に接続されている。第４連通孔７４ｄの他端は、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂにおいて開口している。
【0076】
第１連通路７１Ａａは、第５連通孔７４ｅを更に含む。第５連通孔７４ｅの上端は、後述するねじ穴１３０に連通している。第５連通孔７４ｅの下端は、シリンダチューブ１２に形成された環状凹部３０に達している。第１連通路７１Ａａは、第１実施形態において上述した第１連通路７１Ａと同様に、下部ダンパ９８に形成された溝９８ａを介して第１圧力室１１２に連通している。即ち、第５連通孔７４ｅは、第１圧力室１１２に連通する開口７９ｂを有する。第１圧力室１１２に連通する開口７９ｂは、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに設けられている。
【0077】
シリンダチューブ１２の壁１２ａには、流路ブロック１２２が取り付けられている。流路ブロック１２２は、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに取り付けられている。換言すれば、流路ブロック１２２は、マグネットチャック１０の背面に取り付けられている。流路ブロック１２２は、側面１２３Ａと、側面１２３Ｂとを有する。側面１２３Ａと側面１２３Ｂとは、互いに反対に位置する。流路ブロック１２２の側面１２３Ａは、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂに接する。
【0078】
流路ブロック１２２の内部には、ブロック内流路１２４が形成されている。第１連通路７１Ａａは、ブロック内流路１２４を更に含む。ブロック内流路１２４は、第６連通孔７４ｆを含む。流路ブロック１２２の側面１２３Ａには、シール材１４２が装着される段部１４４が形成されている。第６連通孔７４ｆの一端は、段部１４４において開口している。第６連通孔７４ｆの中心軸線は、第４連通孔７４ｄの中心軸線と一致している。第６連通孔７４ｆの一端は、第４連通孔７４ｄに連通している。第６連通孔７４ｆの他端は、後述する凹部１３２の底面において開口している。段部１４４には、シール材１４２が装着されている。シール材１４２は、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂと流路ブロック１２２の側面１２３Ａとの間をシールする。シール材１４２の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0079】
ブロック内流路１２４は、第７連通孔７４ｇを更に含む。流路ブロック１２２の内部には、穴１２６が形成されている。穴１２６は、流路ブロック１２２の内部を上方に向かって延びている。穴１２６は、後述する貫通孔１４６を貫いている。穴１２６は、凹部１３２の側面に達している。穴１２６のうちの貫通孔１４６と凹部１３２との間に位置する部分が、第７連通孔７４ｇを構成している。穴１２６のうちの下部は、封止部材１２８によって封止されている。第７連通孔７４ｇの上端は、凹部１３２の側面において開口している。第７連通孔７４ｇの下端は、貫通孔１４６の側面において開口している。
【0080】
シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部には、ねじ穴１３０が形成されている。ねじ穴１３０には、後述する中空ボルト１５４の先端部がねじ込まれる。ねじ穴１３０の一端は、第５連通孔７４ｅに連通している。ねじ穴１３０の他端は、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂにおいて開口している。ねじ穴１３０によって第１連通路７１Ａａの一部が構成される。
【0081】
流路ブロック１２２には、凹部１３２が形成されている。凹部１３２は、流路ブロック１２２の側面１２３Ｂにおいて開口している。凹部１３２の深さ方向は、側面１２３Ｂから側面１２３Ａに向かう方向である。凹部１３２の底面は、後述する弁体１３４ｃが当接する弁座１３２ａを構成する。
【0082】
凹部１３２には、流体が流れる方向を制御する方向制御弁１３４が装着されている。方向制御弁１３４としては、チェック弁１３４Ａが用いられている。チェック弁１３４Ａは、支持部１３４ａと、バネ１３４ｂと、弁体１３４ｃとを有する。弁体１３４ｃは、支持部１３４ａに対して動くことが可能である。弁体１３４ｃが動く方向は、支持部１３４ａの中心軸線に沿った方向である。即ち、弁体１３４ｃが動く方向は、凹部１３２の深さ方向である。バネ１３４ｂは、弁座１３２ａに向かって弁体１３４ｃを弾性的に付勢する。第６連通孔７４ｆ内の圧力が第７連通孔７４ｇ内の圧力よりも高い場合、弁体１３４ｃには、以下のような第１の力と第２の力とが加わる。第１の力は、第７連通孔７４ｇと第６連通孔７４ｆとの差圧に応じて弁体１３４ｃに加わる力である。第２の力は、バネ１３４ｂが弁体１３４ｃに加える力である。第１の力の方向と第２の力の方向とは、互いに反対の方向である。第１の力が第２の力より大きい場合、チェック弁１３４Ａは開く。即ち、第７連通孔７４ｇ内の圧力に対して第６連通孔７４ｆ内の圧力が充分に高くなった場合、チェック弁１３４Ａは開く。第１の力が第２の力より小さい場合、チェック弁１３４Ａは閉じている。また、第６連通孔７４ｆ内の圧力が第７連通孔７４ｇ内の圧力よりも低い場合、チェック弁１３４Ａは閉じている。チェック弁１３４Ａは、第２圧力室１１４から第１連通路７１Ａａを介して第１圧力室１１２に向かう流体の流れを許容する。チェック弁１３４Ａは、第１圧力室１１２から第１連通路７１Ａａを介して第２圧力室１１４に向かう流体の流れを阻止する。
【0083】
凹部１３２には、スナップリング（Ｃ形止め輪）１３８が装着される段部１３６が形成されている。段部１３６には、スナップリング１３８が装着されている。スナップリング１３８によって方向制御弁１３４が凹部１３２内に固定されている。
【0084】
方向制御弁１３４には、シール材１４０が装着されている。シール材１４０は、方向制御弁１３４と凹部１３２との間をシールする。シール材１４０の材料としては、例えばフッ素ゴム等が用いられるが、これに限定されるものではない。
【0085】
流路ブロック１２２には、貫通孔１４６が形成されている。貫通孔１４６の中心軸線は、ねじ穴１３０の中心軸線と一致している。流路ブロック１２２の側面１２３Ａには、シール材１５０が装着される段部１４８が形成されている。貫通孔１４６の一端は、段部１４８において開口している。貫通孔１４６の一端は、ねじ穴１３０に連通している。流路ブロック１２２の側面１２３Ｂには、中空ボルト１５４の頭部１５４ａが収容される凹部１５２が形成されている。貫通孔１４６の他端は、凹部１５２の底面において開口している。
【0086】
流路ブロック１２２は、中空ボルト１５４を用いてシリンダチューブ１２の壁１２ａに取り付けられている。中空ボルト１５４には、空洞１５４ｂが備えられている。空洞１５４ｂの中心軸線は、中空ボルト１５４の中心軸線と一致している。中空ボルト１５４には、空洞１５４ｂに達する穴１５４ｃが形成されている。穴１５４ｃの中心軸線は、空洞１５４ｂの中心軸線に対して交差している。空洞１５４ｂの一端は、穴１５４ｃ及び貫通孔１４６を介して、第７連通孔７４ｇに連通している。空洞１５４ｂの他端は、ねじ穴１３０に連通している。空洞１５４ｂによってブロック内流路１２４の一部が構成されている。
【0087】
凹部１５２には、ガスケット１５６が装着されている。ガスケット１５６は、中空ボルト１５４と流路ブロック１２２との間をシールする。
【0088】
流路ブロック１２２の上部１２２ａの厚さは、当該流路ブロック１２２の上部１２２ａ以外の部分の厚さと比較して薄い。流路ブロック１２２の上部１２２ａには、貫通孔１５８が形成されている。貫通孔１５８の中心軸線は、凹部７３の中心軸線と一致している。凹部７３は、ねじ穴である。凹部７３には、流量調整弁７２の先端部がねじ込まれる。流路ブロック１２２の上部１２２ａは、流量調整弁７２を用いてシリンダチューブ１２の壁１２ａに取り付けられている。
【0089】
第２圧力室１１４内への流体の供給を開始するとともに、第１圧力室１１２からの流体の排出を開始すると、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に差圧が生ずる。即ち、第２圧力室１１４から第１圧力室１１２に向かう方向にピストンアセンブリ１４を駆動させようとする力が、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間の差圧に応じて当該ピストンアセンブリ１４に働く。第１圧力室１１２は第７連通孔７４ｇに連通しており、第２圧力室１１４は第６連通孔７４ｆに連通している。このため、ピストンアセンブリ１４を駆動させようとする力が第２圧力室１１４から第１圧力室１１２に向かう方向に働くときには、チェック弁１３４Ａを開こうとする力がチェック弁１３４Ａに働く。即ち、チェック弁１３４Ａを開こうとする力が、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との差圧に応じて、チェック弁１３４Ａに働く。第２圧力室１１４内の圧力が第１圧力室１１２内の圧力に対して充分に高くなった場合、チェック弁１３４Ａは開く。即ち、第７連通孔７４ｇ内の圧力に対して第６連通孔７４ｆ内の圧力が充分に高くなった場合、チェック弁１３４Ａは開く。
【0090】
第１圧力室１１２内への流体の供給を開始するとともに、第２圧力室１１４からの流体の排出を開始すると、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間に差圧が生ずる。即ち、第１圧力室１１２から第２圧力室１１４に向かう方向にピストンアセンブリ１４を駆動させようとする力が、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４との間の差圧に応じて当該ピストンアセンブリ１４に働く。上述したように、第１圧力室１１２は第７連通孔７４ｇに連通しており、第２圧力室１１４は第６連通孔７４ｆに連通している。このため、第６連通孔７４ｆ内の圧力は、第７連通孔７４ｇ内の圧力より低くなる。従って、ピストンアセンブリ１４を駆動させようとする力が第１圧力室１１２から第２圧力室１１４に向かう方向に働くときには、チェック弁１３４Ａが閉じる。なお、方向制御弁１３４が閉じると、ピストンアセンブリ１４が上死点に達した後においては（図１０参照）、第１圧力室１１２内に流体が流入しなくなる。この段階においては、ワークＷがマグネットチャック１０から解放されているため、マグネットチャック１０がワークＷによって加熱されることはない。即ち、この段階においては、マグネットチャック１０を流体によって冷却することを要しない。従って、第１圧力室１１２内に流体が流入しなくなっても、特段の問題はない。
【0091】
このように、本実施形態では、ピストンアセンブリ１４を駆動させようとする力が第１圧力室１１２から第２圧力室１１４に向かう方向に働くとき、方向制御弁１３４が閉じる。本実施形態によれば、方向制御弁１３４が閉じるため、流体の浪費を防止することができる。
【0092】
（変形例）
次に、本実施形態の変形例によるマグネットチャックについて図１２及び図１３を用いて説明する。図１２は、本実施形態によるマグネットチャックの一部を示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図１２には示されている。図１３は、本実施形態によるマグネットチャックを示すブロック図である。
次に、本実施形態の変形例によるマグネットチャックについて図１２及び図１３を用いて説明する。図１２は、本実施形態によるマグネットチャックの一部を示す断面図である。ピストンアセンブリ１４が上死点に位置している状態が図１２には示されている。図１３は、本実施形態によるマグネットチャックを示すブロック図である。
【0093】
本変形例によるマグネットチャック１０では、方向制御弁１３４として電磁式方向制御弁１３４Ｂが用いられている。
【0094】
シリンダチューブ１２には、第１～第３実施形態において上述したシリンダチューブ１２と同様に、第１圧力室１１２と第２圧力室１１４とを連通させる連通路７１が形成されている。連通路７１は、第１連通路７１Ａｂを含む。第１連通路７１Ａｂの一部は、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部に形成されている。第１連通路７１Ａｂは、シリンダチューブ１２の内部空間２５とは別個に形成されている。第１連通路７１Ａｂは、第１実施形態において上述した第１連通路７１Ａと同様に、シリンダチューブ１２の第２側部１２ｇに設けられている。
【0095】
第１連通路７１Ａｂは、第１連通孔７４ａを含む。本実施形態における第１連通孔７４ａは、第１実施形態において上述した第１連通孔７４ａと同様である。
【0096】
第１連通路７１Ａｂは、第３連通孔７４ｃを更に含む。シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部には、穴１１８が形成されている。穴１１８は、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダチューブ１２の下方に向かって延びている。穴１１８は、凹部７３を貫いている。穴１１８のうちの凹部７３の下方に位置する部分が、第３連通孔７４ｃを構成している。穴１１８のうちの上部は、封止部材１２０によって封止されている。第３連通孔７４ｃの上端は、凹部７３の側面において開口している。第３連通孔７４ｃは、シリンダチューブ１２の壁１２ａの内部をシリンダチューブ１２の下方に向かって延びている。第３連通孔７４ｃの下端は、後述するポート１６０Ａの側面において開口している。
【0097】
シリンダチューブ１２の壁１２ａには、ポート１６０Ａが形成されている。ポート１６０Ａは、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂにおいて開口している。ポート１６０Ａは、第３連通孔７４ｃに連通している。
【0098】
シリンダチューブ１２の壁１２ａには、ポート１６０Ｂが形成されている。ポート１６０Ｂは、ポート１６０Ａの下方に位置している。ポート１６０Ｂは、シリンダチューブ１２の第２側面１３Ｂにおいて開口している。ポート１６０Ｂは、第５連通孔７４ｅに連通している。
【0099】
図１３に示すように、電磁式方向制御弁１３４Ｂには、ポート１６４Ａ、１６４Ｂが備えられている。ポート１６４Ａは、流路１６６Ａを介してポート１６０Ａに連通している。ポート１６４Ｂは、流路１６６Ｂを介してポート１６０Ｂに連通している。
【0100】
電磁式方向制御弁１６８には、ポート１７０Ａ、１７０Ｂ、１７０Ｃが備えられている。ポート１７０Ａには、流路１７２を介して流体が供給される。ポート１７０Ｂは、流路１７４Ａを介して第２給排ポート７６に連通している。ポート１７０Ｃは、流路１７４Ｂを介して第１給排ポート２６に連通している。
【0101】
制御装置１７６は、マグネットチャック１０を制御する。制御装置１７６には、例えば、不図示の演算部（処理部）と、不図示の記憶部とが備えられている。演算部は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）等のプロセッサ（ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）によって構成される。即ち、演算部は、処理回路（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｃｉｒｃｕｉｔｒｙ）によって構成される。記憶部に記憶されているプログラムが演算部によって実行されることで、マグネットチャック１０に対する制御が行われる。
【0102】
電磁式方向制御弁１３４Ｂ、１６８は、制御装置１７６から供給される信号によって切り換えられる。制御装置１７６は、電磁式方向制御弁１６８を切り換え、第２給排ポート７６を介して第２圧力室１１４内に流体を供給させる。第２給排ポート７６を介して第２圧力室１１４内に流体を供給させる場合、制御装置１７６は、電磁式方向制御弁１３４Ｂを切り換え、第１連通路７１Ａｂにおける流体の流れを許容する。即ち、かかる場合、制御装置１７６は、電磁式方向制御弁１３４Ｂを開き、第１連通路７１Ａｂにおける流体の流れを許容する。これにより、流体は、第１連通路７１Ａｂを介して、第１圧力室１１２に導入される。
【0103】
また、制御装置１７６は、電磁式方向制御弁１６８を切り換え、第１給排ポート２６を介して第１圧力室１１２内に流体を供給させる。第１給排ポート２６を介して第１圧力室１１２内に流体を供給させる場合、制御装置１７６は、電磁式方向制御弁１３４Ｂを切り換え、第１連通路７１Ａｂにおける流体の流れを阻止する。即ち、かかる場合、制御装置１７６は、電磁式方向制御弁１３４Ｂを閉じ、第１連通路７１Ａｂにおける流体の流れを阻止する。これにより、第１連通路７１Ａｂを介して流体が第１圧力室１１２から第２圧力室１１４へと流れることが阻止される。
【0104】
本変形例においても、ピストンアセンブリ１４を駆動させようとする力が第１圧力室１１２から第２圧力室１１４に向かう方向に働くとき、方向制御弁１３４が閉じられる。従って、本変形例においても、流体の浪費を防止することができる。
【0105】
［変形実施形態］
本発明についての好適な実施形態を上述したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能である。
本発明についての好適な実施形態を上述したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能である。
【0106】
例えば、第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａと第２連通路７１Ｂとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0107】
また、第１実施形態と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0108】
また、第２実施形態と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第２連通路７１Ｂと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0109】
また、第１実施形態と第２実施形態と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａと第２連通路７１Ｂと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0110】
また、第４実施形態と第２実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａａと第２連通路７１Ｂとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。また、第４実施形態の変形例と第２実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａｂと第２連通路７１Ｂとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0111】
また、第４実施形態と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａａと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。また、第４実施形態の変形例と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａｂと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0112】
また、第４実施形態と第２実施形態と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａａと第２連通路７１Ｂと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。また、第４実施形態の変形例と第２実施形態と第３実施形態とを組み合わせてもよい。即ち、第１連通路７１Ａｂと第２連通路７１Ｂと第３連通路７１Ｃとがマグネットチャック１０に備えられていてもよい。
【0113】
上記実施形態をまとめると以下のようになる。
【0114】
マグネットチャック（１０）は、ワーク（Ｗ）が吸着されるワーク吸着面（１２ｃ）を有するシリンダチューブ（１２）と、永久磁石（４２）を含むとともに、前記シリンダチューブの内部空間（２５）内を移動可能であり、前記シリンダチューブの前記内部空間を第１圧力室（１１２）と第２圧力室（１１４）とに隔てるピストンアセンブリ（１４）と、前記シリンダチューブに形成され、前記第１圧力室に連通する第１給排ポート（２６）と、前記シリンダチューブに形成され、前記第２圧力室に連通する第２給排ポート（７６）と、前記第１圧力室と前記第２圧力室とを連通させる連通路（７１）と、を備える。このような構成によれば、第１圧力室と第２圧力室とを連通させる連通路が形成されているため、第１圧力室内及び第２圧力室内に流体が流れ続ける。ピストンアセンブリが下死点に位置している状態においても、第１圧力室内及び第２圧力室内に流体が流れ続ける。このため、高温のワークがマグネットチャックによって吸着される場合であっても、マグネットチャックの構成要素にダメージが加わるのを抑制することができる。従って、このような構成によれば、耐熱性の良好なマグネットチャックを提供することができる。
【0115】
前記連通路は、第１連通路（７１Ａ、７１Ａａ、７１Ａｂ）を含み、前記第１連通路の少なくとも一部は、前記シリンダチューブの壁（１２ａ）の内部に形成されており、前記第１連通路は、前記シリンダチューブの前記内部空間とは別個に形成されており、前記第１連通路は、前記第１圧力室に連通する開口（７９ｂ）と、前記第２圧力室に連通する開口（７９ａ）とを有してもよい。
【0116】
前記ピストンアセンブリを前記内部空間内で移動させるときに生ずる衝撃を緩和するダンパ（９８）を更に備え、前記第１連通路は、前記ダンパに形成された溝（９８ａ）を介して前記第１圧力室に連通してもよい。
【0117】
前記第１給排ポートは、前記ダンパに形成された他の溝（９８ａ）を介して前記第１圧力室に連通してもよい。
【0118】
前記第１連通路を流れる流体の流量を調整するための流量調整弁（７２）を更に備えてもよい。このような構成によれば、第１連通路を流れる流体の流量を適宜調整することができる。
【0119】
前記シリンダチューブは、前記ワーク吸着面を含む第１端部（１２ｄ）と、前記第１端部とは反対の第２端部（１２ｅ）とを含み、前記流量調整弁は、前記第２端部に備えられていてもよい。このような構成によれば、ワークと流量調整弁との間の距離を充分に確保することができるため、流量調整弁に備えられたシール材等にダメージが加わるのを充分に抑制することができる。
【0120】
前記第１連通路は、前記第２圧力室に連通する前記開口を有する連通孔（７４ａ）を含み、前記連通孔の中心軸線と前記流量調整弁の中心軸線とが一致してもよい。
【0121】
前記第１連通路（７１Ａａ、７１Ａｂ）には、流体が流れる方向を制御する方向制御弁（１３４）が更に備えられ、前記第１圧力室は、前記第２圧力室と前記ワーク吸着面との間に位置し、前記ピストンアセンブリを駆動させようとする力が前記第２圧力室から前記第１圧力室に向かう方向に働くときには、前記方向制御弁が開き、前記ピストンアセンブリを駆動させようとする力が前記第１圧力室から前記第２圧力室に向かう方向に働くときには、前記方向制御弁が閉じてもよい。このような構成によれば、流体の浪費を防止することができる。
【0122】
前記方向制御弁は、チェック弁（１３４Ａ）であり、前記チェック弁は、前記第２圧力室から前記第１連通路を介して前記第１圧力室に向かう前記流体の流れを許容するとともに、前記第１圧力室から前記第１連通路を介して前記第２圧力室に向かう前記流体の流れを阻止してもよい。
【0123】
前記シリンダチューブの前記壁に取り付けられる流路ブロック（１２２）を更に備え、前記第１連通路は、前記流路ブロックの内部に形成されたブロック内流路（１２４）を有し、前記チェック弁は、前記流路ブロックに設けられていてもよい。
【0124】
前記流路ブロックは、中空ボルト（１５４）を用いて前記シリンダチューブの前記壁に取り付けられ、前記中空ボルトに備えられた空洞（１５４ｂ）によって前記ブロック内流路の一部が構成されてもよい。このような構成によれば、マグネットチャックの小型化等に寄与することができる。
【0125】
前記方向制御弁は、制御装置から供給される信号によって切り換えられる電磁式方向制御弁（１３４Ｂ）であり、前記第２給排ポートを介して前記第２圧力室内に流体が供給されるときには、前記第１連通路における前記流体の流れが許容されるように前記電磁式方向制御弁が切り換えられ、前記第１給排ポートを介して前記第１圧力室内に前記流体が供給されるときには、前記第１連通路における前記流体の流れが阻止されるように前記電磁式方向制御弁が切り換えられてもよい。
【0126】
前記連通路は、前記シリンダチューブの前記内部空間の壁面に形成された溝（１１６）から成る第２連通路（７１Ｂ）を含んでもよい。
【0127】
前記連通路は、前記ピストンアセンブリに形成された第３連通路（７１Ｃ）を含み、前記第３連通路は、前記第１圧力室に連通する開口（８３ｂ）と、前記第２圧力室に連通する開口（８３ａ）とを有してもよい。
【0128】
前記シリンダチューブは、前記シリンダチューブの中心軸線（Ｃ）を基準として互いに反対に位置する第１側部（１２ｆ）と第２側部（１２ｇ）とを含み、前記第１給排ポート及び前記第２給排ポートは、前記第１側部に設けられており、前記連通路は、前記第２側部又は前記第２側部と前記中心軸線との間に少なくとも設けられていてもよい。このような構成によれば、より効果的にマグネットチャックの構成要素を冷却することができるため、より耐熱性の良好なマグネットチャックを提供することができる。
【符号の説明】
【0129】
１０：マグネットチャック １２：シリンダチューブ
１２ａ：壁 １２ｂ、２１、３９：凹溝
１２ｃ：ワーク吸着面 １２ｄ：第１端部
１２ｅ：第２端部 １２ｆ：第１側部
１２ｇ：第２側部 １３Ａ：第１側面
１３Ｂ：第２側面 １４：ピストンアセンブリ
１６、１３８：スナップリング １８：ボトムカバー
２０：ラッチヨーク ２０ａ、４１：フランジ
２０ｂ、６６、７２ｂ２、１０２ａ：小径部
２２：嵌合部
２３、３２、６５、７３ａ、８２ｃ、１３６、１４４、１４８：段部
２４：シリンダ孔 ２５：内部空間
２６：第１給排ポート ２７：ラッチヨークシール
２８：第１流体給排孔 ３０、５１：環状凹部
３５：挿通孔 ３８：シールホルダ
４０：コアヨーク ４２：永久磁石
４４：カバーヨーク ４５：リングプレート
４６：ピストンシール
４８、８７ａ～８７ｃ、８８、１４６、１５８：貫通孔
５０：内向きフランジ ５２：筒状突出部
５４：ねじ孔
５６、７３、１０２、１３２、１５２：凹部
６０：固定ねじ
６０ａ、１５４ａ：頭部 ６２：第１シール材
６４、７２ｂ１、１０２ｂ：大径部 ６８ａ、６８ｂ、７２ｂ３：環状溝
７０ａ、７０ｂ：ウエアリング ７１：連通路
７１Ａ、７１Ａａ、７１Ａｂ：第１連通路 ７１Ｂ：第２連通路
７１Ｃ：第３連通路 ７２：流量調整弁
７２ａ：ボディ部 ７２ｂ：芯棒
７４ａ：第１連通孔 ７４ｂ：第２連通孔
７４ｃ：第３連通孔 ７４ｄ：第４連通孔
７４ｅ：第５連通孔 ７４ｆ：第６連通孔
７４ｇ：第７連通孔
７５、７７、１４０、１４２、１５０：シール材
７６：第２給排ポート
７９ａ、７９ｂ、８１ａ、８１ｂ、８３ａ、８３ｂ：開口
８０：ボトムヨーク ８０ａ、９０：下部フランジ
８２：アウタヨーク ８２ａ：上部フランジ
８２ｂ：外周凹部 ８４：連結板
８５：円孔状凹部 ８６：ハウジング
９４：タイロッド ９６：第２シール材
９８：下部ダンパ ９８ａ、１１６：溝
１０４：上部ダンパ １０６：環状突出部
１１０：第２流体給排孔 １１２：第１圧力室
１１４：第２圧力室 １１４ａ：隙間
１１８、１２６、１５４ｃ：穴 １２０、１２８：封止部材
１２２：流路ブロック １２２ａ：上部
１２３Ａ、１２３Ｂ：側面 １２４：ブロック内流路
１３０：ねじ穴 １３４：方向制御弁
１３４Ａ：チェック弁
１３４Ｂ、１６８：電磁式方向制御弁 １５４：中空ボルト
１５４ｂ：空洞 １５６：ガスケット
１６０Ａ、１６０Ｂ、１６４Ａ、１６４Ｂ、１７０Ａ～１７０Ｃ：ポート
１６６Ａ、１６６Ｂ、１７２、１７４Ａ、１７４Ｂ：流路
１７６：制御装置 Ｃ：中心軸線
Ｗ：ワーク
１２ａ：壁 １２ｂ、２１、３９：凹溝
１２ｃ：ワーク吸着面 １２ｄ：第１端部
１２ｅ：第２端部 １２ｆ：第１側部
１２ｇ：第２側部 １３Ａ：第１側面
１３Ｂ：第２側面 １４：ピストンアセンブリ
１６、１３８：スナップリング １８：ボトムカバー
２０：ラッチヨーク ２０ａ、４１：フランジ
２０ｂ、６６、７２ｂ２、１０２ａ：小径部
２２：嵌合部
２３、３２、６５、７３ａ、８２ｃ、１３６、１４４、１４８：段部
２４：シリンダ孔 ２５：内部空間
２６：第１給排ポート ２７：ラッチヨークシール
２８：第１流体給排孔 ３０、５１：環状凹部
３５：挿通孔 ３８：シールホルダ
４０：コアヨーク ４２：永久磁石
４４：カバーヨーク ４５：リングプレート
４６：ピストンシール
４８、８７ａ～８７ｃ、８８、１４６、１５８：貫通孔
５０：内向きフランジ ５２：筒状突出部
５４：ねじ孔
５６、７３、１０２、１３２、１５２：凹部
６０：固定ねじ
６０ａ、１５４ａ：頭部 ６２：第１シール材
６４、７２ｂ１、１０２ｂ：大径部 ６８ａ、６８ｂ、７２ｂ３：環状溝
７０ａ、７０ｂ：ウエアリング ７１：連通路
７１Ａ、７１Ａａ、７１Ａｂ：第１連通路 ７１Ｂ：第２連通路
７１Ｃ：第３連通路 ７２：流量調整弁
７２ａ：ボディ部 ７２ｂ：芯棒
７４ａ：第１連通孔 ７４ｂ：第２連通孔
７４ｃ：第３連通孔 ７４ｄ：第４連通孔
７４ｅ：第５連通孔 ７４ｆ：第６連通孔
７４ｇ：第７連通孔
７５、７７、１４０、１４２、１５０：シール材
７６：第２給排ポート
７９ａ、７９ｂ、８１ａ、８１ｂ、８３ａ、８３ｂ：開口
８０：ボトムヨーク ８０ａ、９０：下部フランジ
８２：アウタヨーク ８２ａ：上部フランジ
８２ｂ：外周凹部 ８４：連結板
８５：円孔状凹部 ８６：ハウジング
９４：タイロッド ９６：第２シール材
９８：下部ダンパ ９８ａ、１１６：溝
１０４：上部ダンパ １０６：環状突出部
１１０：第２流体給排孔 １１２：第１圧力室
１１４：第２圧力室 １１４ａ：隙間
１１８、１２６、１５４ｃ：穴 １２０、１２８：封止部材
１２２：流路ブロック １２２ａ：上部
１２３Ａ、１２３Ｂ：側面 １２４：ブロック内流路
１３０：ねじ穴 １３４：方向制御弁
１３４Ａ：チェック弁
１３４Ｂ、１６８：電磁式方向制御弁 １５４：中空ボルト
１５４ｂ：空洞 １５６：ガスケット
１６０Ａ、１６０Ｂ、１６４Ａ、１６４Ｂ、１７０Ａ～１７０Ｃ：ポート
１６６Ａ、１６６Ｂ、１７２、１７４Ａ、１７４Ｂ：流路
１７６：制御装置 Ｃ：中心軸線
Ｗ：ワーク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】