特開2022-46448プラズマプロセスのイオンエネルギー分析用の装置

発明の名称　プラズマプロセスのイオンエネルギー分析用の装置

出願人　インペダンズ リミテッド　（識別番号 521396983）

　　　　特許公開件数ランキング 31084 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 5684 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-46448

公報発行日　2022年3月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-46448

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