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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022047035
(43)【公開日】2022-03-24
(54)【発明の名称】電気コネクター及びその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01R 11/01 20060101AFI20220316BHJP
G01R 1/06 20060101ALI20220316BHJP
【ＦＩ】
H01R11/01 501G
G01R1/06 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020152736
(22)【出願日】2020-09-11
(71)【出願人】
【識別番号】000190116
【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(74)【代理人】
【識別番号】100152272
【弁理士】
【氏名又は名称】川越 雄一郎
(74)【代理人】
【識別番号】100152146
【弁理士】
【氏名又は名称】伏見 俊介
(72)【発明者】
【氏名】土屋 昌俊
【テーマコード（参考）】
2G011
【Ｆターム（参考）】
2G011AA16
2G011AB08
2G011AF04
(57)【要約】
【課題】電気コネクターに接続するデバイスの接続端子が、電気コネクターの導電部材との接触によって傷つくことが低減されるとともに、導電部材の先端が電気コネクターの主面に埋没することが防止された電気コネクターと、これを安定に効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであり、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔（２１）を有する弾性体（２０）と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材（３０）と、を有し、前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空部を有する管であり、前記中空部の少なくとも一部にはエラストマー（４０）が充填されており、前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出している、電気コネクター（１０）。
【選択図】図３
【解決手段】第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであり、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔（２１）を有する弾性体（２０）と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材（３０）と、を有し、前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空部を有する管であり、前記中空部の少なくとも一部にはエラストマー（４０）が充填されており、前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出している、電気コネクター（１０）。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであって、
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有し、
前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空部を有する管であり、
前記中空部の少なくとも一部にはエラストマーが充填されており、
前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出している、電気コネクター。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有し、
前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空部を有する管であり、
前記中空部の少なくとも一部にはエラストマーが充填されており、
前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出している、電気コネクター。
【請求項2】
エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、
複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、
前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、
前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、及び、
前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面から、その主面に開口する前記複数の導電性の管のうち少なくとも一部の管の中へ流動性エラストマーを導入し、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填された電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、
複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、
前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、
前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、及び、
前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面から、その主面に開口する前記複数の導電性の管のうち少なくとも一部の管の中へ流動性エラストマーを導入し、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填された電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
【請求項3】
前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面に前記流動性エラストマーからなる未硬化エラストマー層を形成した積層シートを得て、
前記積層シートを減圧雰囲気下に置くことにより、前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入する、請求項２に記載の電気コネクターの製造方法。
前記積層シートを減圧雰囲気下に置くことにより、前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入する、請求項２に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項4】
前記積層シートの前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入した後、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填され、かつ、前記管の中へ導入されずに前記積層シートの表面に残った未硬化層が硬化してなるエラストマー層を備えた積層硬化シートを得る、請求項３に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項5】
前記積層硬化シートの表面に形成された前記エラストマー層を除去して、電気コネクターを得る、請求項４に記載の電気コネクターの製造方法。
【請求項6】
前記エラストマー層を除去する方法がレーザー照射である、請求項５に記載の電気コネクターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電気コネクター及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
表面実装型の半導体パッケージ（デバイス）と回路基板の接続を検査する際に、圧接型のコネクターが用いられることがある。圧接型コネクターの一例として、中空化された導電線を有する電気コネクターが挙げられる（例えば、特許文献１）。この電気コネクターの導電線は中空化されて柔軟になっているので、その導電線の先端に向けて圧接するデバイスの電極（接続端子）が、電気コネクターの導電線との接触によって傷つくことが低減されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第２０１８／２１２２７７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１の電気コネクターの中空化された導電部材の先端は、電気コネクターの主面に開口して露出している。この主面に対してデバイスの接続端子の圧接を繰り返すと、導電部材の先端が電気コネクターの内部に埋没し、接続が不安定になることがある。
【0005】
本発明は、電気コネクターに接続するデバイスの接続端子が、電気コネクターの導電部材との接触によって傷つくことが低減されるとともに、導電部材の先端が電気コネクターの主面に埋没することが防止された電気コネクターと、その電気コネクターを安定に効率よく製造する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
［１］ 第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターであって、
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有し、
前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空部を有する管であり、
前記中空部の少なくとも一部にはエラストマーが充填されており、
前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出している、電気コネクター。
［２］ エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、
複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、
前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、
前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、及び、
前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面から、その主面に開口する前記複数の導電性の管のうち少なくとも一部の管の中へ流動性エラストマーを導入し、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填された電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
［３］ 前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面に前記流動性エラストマーからなる未硬化エラストマー層を形成した積層シートを得て、
前記積層シートを減圧雰囲気下に置くことにより、前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入する、［２］に記載の電気コネクターの製造方法。
［４］ 前記積層シートの前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入した後、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填され、かつ、前記管の中へ導入されずに前記積層シートの表面に残った未硬化層が硬化してなるエラストマー層を備えた積層硬化シートを得る、［３］に記載の電気コネクターの製造方法。
［５］ 前記積層硬化シートの表面に形成された前記エラストマー層を除去して、電気コネクターを得る、［４］に記載の電気コネクターの製造方法。
［６］ 前記エラストマー層を除去する方法がレーザー照射である、［５］に記載の電気コネクターの製造方法。
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有し、
前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空部を有する管であり、
前記中空部の少なくとも一部にはエラストマーが充填されており、
前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出している、電気コネクター。
［２］ エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置すること、
前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成すること、
複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成すること、
前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得ること、
前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得ること、及び、
前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面から、その主面に開口する前記複数の導電性の管のうち少なくとも一部の管の中へ流動性エラストマーを導入し、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填された電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法。
［３］ 前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面に前記流動性エラストマーからなる未硬化エラストマー層を形成した積層シートを得て、
前記積層シートを減圧雰囲気下に置くことにより、前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入する、［２］に記載の電気コネクターの製造方法。
［４］ 前記積層シートの前記流動性エラストマーを前記管の中へ導入した後、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填され、かつ、前記管の中へ導入されずに前記積層シートの表面に残った未硬化層が硬化してなるエラストマー層を備えた積層硬化シートを得る、［３］に記載の電気コネクターの製造方法。
［５］ 前記積層硬化シートの表面に形成された前記エラストマー層を除去して、電気コネクターを得る、［４］に記載の電気コネクターの製造方法。
［６］ 前記エラストマー層を除去する方法がレーザー照射である、［５］に記載の電気コネクターの製造方法。
【発明の効果】
【0007】
本発明の電気コネクターは、デバイスの接続端子を繰り返して圧接した後においても、導電部材の先端が弾性体の中に埋没し難いので、耐久性に優れる。
本発明の製造方法によれば、中空化された導電部材の端部の中空部にエラストマーが充填された電気コネクターを安定に効率よく製造することができる。
本発明の製造方法によれば、中空化された導電部材の端部の中空部にエラストマーが充填された電気コネクターを安定に効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】第一実施形態の電気コネクター１０の概略構成を示す平面図である。
【図4】第二実施形態の電気コネクター５０の概略構成を示す断面図である。
【図5】電気コネクターの製造方法の概略を示す斜視図である。
【図6】実施例１のエッチング処理済シート（比較例１の電気コネクター）の主面のＳＥＭ像である。
【図7】実施例１で作製した電気コネクターの主面のＳＥＭ像である。
【図8】実施例１で作製した電気コネクターの耐久性試験の結果を示すグラフである。
【図9】比較例１で作製した電気コネクターの耐久性試験の結果を示すグラフである。
【図10】実施例１の使用後の電気コネクターの主面のＳＥＭ像である。
【図11】比較例１の使用後の電気コネクターの主面のＳＥＭ像である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
［電気コネクター］
本発明の第一態様は、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターである。前記電気コネクターは、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有する。前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空の中空部を有する管である。前記中空部の少なくとも一部にはエラストマーが充填されている。また、前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出した上方に位置する。
本発明の第一態様は、第一デバイスの接続端子と、第二デバイスの接続端子との間に配置され、前記第一デバイスの接続端子と、前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための電気コネクターである。前記電気コネクターは、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する弾性体と、前記貫通孔の内壁に接合され、前記第一デバイスの接続端子と前記第二デバイスの接続端子とを電気的に接続するための導電部材と、を有する。前記導電部材は、少なくとも一方の端部に中空の中空部を有する管である。前記中空部の少なくとも一部にはエラストマーが充填されている。また、前記管の先端は、前記弾性体の表面に位置するか又は前記弾性体の表面から突出した上方に位置する。
【0010】
図１～図３に示す第一実施形態の電気コネクター１０は、弾性体２０と、導電部材３０と、エラストマー（エラストマー部材）４０を有する。
電気コネクター１０は、図示略の第一デバイスの接続端子と、図示略の第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続するために使用するためのものである。電気コネクター１０において、導電部材３０は、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子の電気的接続を行う管状の部材である。シート状の弾性体２０の両面に開口して露出している導電部材３０の両端部は、各デバイスの接続端子に接触する。各デバイスとしては、例えば、半導体パッケージ、回路基板、シリコーンウエハー、受動部品、液晶モジュール及びセンサー等が挙げられる。
電気コネクター１０は、図示略の第一デバイスの接続端子と、図示略の第二デバイスの接続端子との間に配置され、これらを電気的に接続するために使用するためのものである。電気コネクター１０において、導電部材３０は、第一デバイスの接続端子と第二デバイスの接続端子の電気的接続を行う管状の部材である。シート状の弾性体２０の両面に開口して露出している導電部材３０の両端部は、各デバイスの接続端子に接触する。各デバイスとしては、例えば、半導体パッケージ、回路基板、シリコーンウエハー、受動部品、液晶モジュール及びセンサー等が挙げられる。
【0011】
弾性体２０は、その厚さ方向に沿って貫通する複数の貫通孔２１を有する。この貫通孔２１の内壁に導電部材３０が接合されている。「接合」とは、貫通孔２１の内壁に導電部材３０の少なくとも一部が接している状態を意味する。
【0012】
弾性体２０における導電部材３０を設ける位置、すなわち、弾性体２０における貫通孔２１の配置や数は、特に限定されず、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置や数、圧接に必要とされる押圧力等に応じて適宜調整される。電気コネクター１０が均一に変形する（撓む）ようにするためには、弾性体２０において、導電部材３０及び貫通孔２１が等間隔に設けられていることが好ましい。
【0013】
貫通孔２１は、弾性体２０を、その厚さ方向に対して平行または斜めに貫通する。「弾性体２０の厚さ方向」とは、主面に対して垂直な方向を意味する。「主面」とは、面積が最も広い面を意味する。
貫通孔２１が、弾性体２０を、その厚さ方向に対して斜めに貫通する場合、一方の主面２０ａの垂線に対する貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する鋭角側の角度は、０°超６０°以下であることが好ましく、１°以上６０°以下であることがより好ましく、１０°以上３０°以下であることがさらに好ましい。上記角度の範囲であると、小さい荷重で安定した接続が得られやすく、接続するデバイスの端子を傷付けるおそれが少ない。貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。ここで貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、導電部材３０に設けられた５つ以上の貫通孔２１について、弾性体２０の厚さ方向に対する角度を測定顕微鏡等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
貫通孔２１が、弾性体２０を、その厚さ方向に対して斜めに貫通する場合、一方の主面２０ａの垂線に対する貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する鋭角側の角度は、０°超６０°以下であることが好ましく、１°以上６０°以下であることがより好ましく、１０°以上３０°以下であることがさらに好ましい。上記角度の範囲であると、小さい荷重で安定した接続が得られやすく、接続するデバイスの端子を傷付けるおそれが少ない。貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、電気コネクター１０によって電気的に接続される２つのデバイスの接続端子の配置等に応じて適宜調整される。ここで貫通孔２１の弾性体２０の厚さ方向に対する角度は、導電部材３０に設けられた５つ以上の貫通孔２１について、弾性体２０の厚さ方向に対する角度を測定顕微鏡等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【0014】
貫通孔２１の形状、すなわち、貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、貫通孔２１に接合する導電部材３０の長手方向と垂直な断面の形状に応じて適宜設定される。貫通孔２１の長手方向と垂直な断面の形状としては、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。
【0015】
貫通孔２１の孔径は、特に限定されず、貫通孔２１に接合される導電部材３０の直径（外径）に応じて適宜設定され、例えば、５μｍ～３００μｍであることが好ましい。貫通孔２１の形状が円形以外である場合には、貫通孔２１の孔径は、貫通孔２１の外縁（開口部の縁部）の最も幅広い部分の長さとする。
ここで貫通孔２１の孔径は、弾性体２０の主面に開口する５つ以上の貫通孔２１について、測定顕微鏡等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
ここで貫通孔２１の孔径は、弾性体２０の主面に開口する５つ以上の貫通孔２１について、測定顕微鏡等の拡大観察手段で観察して得た画像に基づいて測定し、平均した値である。
【0016】
弾性体２０の厚さＨ１は、２０μｍ～５０００μｍが好ましく、４０μｍ～１０００μｍがより好ましく、６０μｍ～５００μｍがさらに好ましい。上記厚さの範囲の下限値以上であると、電気コネクターの機械的強度や剛性が向上し、取り扱いが容易になる。上記厚さの範囲の上限値以下であると、導電部材の長さが高周波特性の向上に適したものとなる。
【0017】
本明細書において、シート状部材の厚さは、無作為に選択される５箇所以上の厚さを、測定顕微鏡等の拡大観察手段で測定し、平均した値である。
【0018】
導電部材３０は、貫通孔２１の内壁に接合され、弾性体２０の厚さ方向に対して垂直又は斜めに延在し、電気コネクター１０の各主面に露出する導電部材３０の各先端に接続されたデバイスの接続端子同士を電気的に接続する導電性の部材である。
導電部材３０の一方の先端は弾性体２０の一方の主面２０ａに位置し、導電部材３０の他方の先端は弾性体２０の他方の主面２０ｂに位置する。本実施形態における導電部材３０は中空の導電性の管である。この管の長手方向は貫通孔２１の長手方向と平行である。
導電部材３０は、長手方向に見て、全体が中空であってもよいし、端部のみが中空で、中央部が中実であってもよい。導電部材３０の少なくとも一方の端部が中空であることにより、デバイスの接続端子が圧接されたときの押圧力を、中空の端部が有する柔軟性により緩和することができる。
ここで、導電部材３０の「端部」とは、導電部材の先端から導電部材の全長の１／５の長さまでの範囲を意味する。「端部が中空である」とは端部の少なくとも先端側の一部が中空であることを意味し、先端から中央部側までの端部全体が中空である場合を含む。
導電部材３０の一方の先端は弾性体２０の一方の主面２０ａに位置し、導電部材３０の他方の先端は弾性体２０の他方の主面２０ｂに位置する。本実施形態における導電部材３０は中空の導電性の管である。この管の長手方向は貫通孔２１の長手方向と平行である。
導電部材３０は、長手方向に見て、全体が中空であってもよいし、端部のみが中空で、中央部が中実であってもよい。導電部材３０の少なくとも一方の端部が中空であることにより、デバイスの接続端子が圧接されたときの押圧力を、中空の端部が有する柔軟性により緩和することができる。
ここで、導電部材３０の「端部」とは、導電部材の先端から導電部材の全長の１／５の長さまでの範囲を意味する。「端部が中空である」とは端部の少なくとも先端側の一部が中空であることを意味し、先端から中央部側までの端部全体が中空である場合を含む。
【0019】
導電部材３０を構成する前記導電性の管は、必ずしも完全な筒状の部材でなくてもよい。管の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、多角形、矩形が挙げられる。また、前記形状はＣ形状や三日月形状のように、管の断面の一部が欠けている形状であってもよい。
【0020】
導電部材３０を構成する前記導電性の管の壁の厚さは、０．０５μｍ～２５μｍが好ましく、０．１～２０μｍがより好ましく、０．５～１５μｍがさらに好ましく、０．７μｍ～３μｍが特に好ましい。
上記範囲の下限値以上であると、接続の安定性が向上する。
上記範囲の上限値以下であると、隣接する導電部材同士のピッチや離間距離を狭くすることができる。
前記導電性の管の壁の厚さは、複数の導電部材３０から無作為に選択される導電部材３０について、測定顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所以上の厚さを測定し、平均した値である。
上記範囲の下限値以上であると、接続の安定性が向上する。
上記範囲の上限値以下であると、隣接する導電部材同士のピッチや離間距離を狭くすることができる。
前記導電性の管の壁の厚さは、複数の導電部材３０から無作為に選択される導電部材３０について、測定顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所以上の厚さを測定し、平均した値である。
【0021】
導電部材３０を構成する前記導電性の管の直径（外径）は、特に限定されないが、５μｍ～３００μｍであることが好ましく、５μｍ～１００μｍがより好ましく、５μｍ～５０μｍがさらに好ましい。
上記範囲の下限値以上であると導電部材３０の電気抵抗が過度に高くなることを防止できる。上記範囲の上限値以下であると導電部材３０の剛性が適度となり、デバイスの接続端子の傷付きを防止できる。
導電部材３０の形状が円形以外である場合には、導電部材３０の直径は、導電部材３０の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
本明細書において、前記直径（外径）は、複数の導電部材３０から無作為に選択される５本以上の導電部材３０について、測定顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所以上の直径を測定し、平均した値である。
上記範囲の下限値以上であると導電部材３０の電気抵抗が過度に高くなることを防止できる。上記範囲の上限値以下であると導電部材３０の剛性が適度となり、デバイスの接続端子の傷付きを防止できる。
導電部材３０の形状が円形以外である場合には、導電部材３０の直径は、導電部材３０の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
本明細書において、前記直径（外径）は、複数の導電部材３０から無作為に選択される５本以上の導電部材３０について、測定顕微鏡等の拡大観察手段で５箇所以上の直径を測定し、平均した値である。
【0022】
弾性体２０の何れかの主面を平面視して、隣接する２つの導電部材３０同士の間隔、すなわち、隣接する２つの導電部材３０の中心間距離（ピッチ；図におけるＰ１、Ｐ２）は、例えば、６μｍ～１０００μｍとすることができる。また、隣接する２つの導電部材３０同士の離間距離、すなわち隣接する２つの導電部材３０が互いに最も近接する箇所の距離は、絶縁性を保てる距離であればよく、例えば、１μｍ～９９５μｍとすることができる。
ここで、前記中心間距離及び前記離間距離は、電気コネクター１０における弾性体２０の主面を平面視して、複数の導電部材３０から無作為に選択される５組以上の導電部材３０について、測定顕微鏡等の観察手段により測定し、平均した値である。
ここで、前記中心間距離及び前記離間距離は、電気コネクター１０における弾性体２０の主面を平面視して、複数の導電部材３０から無作為に選択される５組以上の導電部材３０について、測定顕微鏡等の観察手段により測定し、平均した値である。
【0023】
エラストマー４０は、導電部材３０が有する中空部の少なくとも一部を充填している。図１～３に示す電気コネクター１０の各エラストマー４０は、各導電部材３０の中空部の殆ど全部を充填している。エラストマー４０には気泡が含まれていてもよい。エラストマー４０は多数の気泡を含む多孔質体であってもよい。
エラストマー４０が中空部を充填していることにより、デバイスの接続端子が導電部材３０の先端を圧接した際に、先端を構成する管壁が中空部側に潰れることを抑制することができる。仮に、圧接によって管壁が中空部の中へ潰れると、圧接が解除されて弾性体２０が元に戻る際に、潰れた管壁が貫通孔２１の中に埋没して、導電部材３０の先端が弾性体２０の表面に露出しなくなる懸念がある。この問題が発生すると、その導電部材３０の先端は次の圧接においてデバイスの接続端子に接触できなくなるので、電気コネクターの性能や耐久性が低下する。
エラストマー４０が中空部を充填していることにより、デバイスの接続端子が導電部材３０の先端を圧接した際に、先端を構成する管壁が中空部側に潰れることを抑制することができる。仮に、圧接によって管壁が中空部の中へ潰れると、圧接が解除されて弾性体２０が元に戻る際に、潰れた管壁が貫通孔２１の中に埋没して、導電部材３０の先端が弾性体２０の表面に露出しなくなる懸念がある。この問題が発生すると、その導電部材３０の先端は次の圧接においてデバイスの接続端子に接触できなくなるので、電気コネクターの性能や耐久性が低下する。
【0024】
以上で説明した第一実施形態の電気コネクター１０において、導電部材３０の一方の先端は、弾性体２０の一方の主面２０ａに位置している。本発明において、図４の第二実施形態の電気コネクター５０に示すように、導電部材３０の一方の先端は、弾性体２０の一方の主面２０ａよりも高い位置、すなわち一方の主面２０ａから突出した上方に位置してもよい。導電部材３０の突出した先端の側面は、弾性体２０からなる被膜に覆われていてもよいし、覆われていなくてもよい。
導電部材３０の一方の端部３０ａの弾性体２０の一方の主面２０ａからの突出量は、特に限定されず、例えば、５μｍ～１００μｍとすることができる。具体的には、電気コネクター１０によって電気的に接続する２つのデバイスの接続端子の形状、配置等に応じて適宜調整される。
導電部材３０の一方の端部３０ａの弾性体２０の一方の主面２０ａからの突出量は、特に限定されず、例えば、５μｍ～１００μｍとすることができる。具体的には、電気コネクター１０によって電気的に接続する２つのデバイスの接続端子の形状、配置等に応じて適宜調整される。
【0025】
［各部材の材料］
弾性体２０の材料としては、例えば、アクリロニトリル－ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン－クロロプレンゴム、エチレン－プロピレン－ジエンゴム、スチレン－ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
弾性体２０の材料としては、例えば、アクリロニトリル－ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン－クロロプレンゴム、エチレン－プロピレン－ジエンゴム、スチレン－ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
【0026】
導電部材３０は、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線から、少なくとも一方の端部の芯線が除去されて、少なくとも一方の端部が中空の前記導電性の管とされたものである。
前記芯線の材料としては、例えば、硝酸を用いたウエットエッチングにより容易に除去され得る、鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属が挙げられる。また、水や有機溶媒を用いたウエットエッチングにより容易に除去され得る、ポリビニルアルコール等の樹脂を適用することもできる。
前記芯線の材料としては、例えば、硝酸を用いたウエットエッチングにより容易に除去され得る、鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属が挙げられる。また、水や有機溶媒を用いたウエットエッチングにより容易に除去され得る、ポリビニルアルコール等の樹脂を適用することもできる。
【0027】
前記芯線の形状、すなわち、芯線の長手方向と垂直な断面の形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、五角形以上の多角形等が挙げられる。
前記芯線の直径（外径）は特に限定されず、例えば、０．１μｍ～２６０μｍとすることができる。なお、芯材の形状が円形以外である場合には、芯材の直径は、芯材の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
前記芯線の直径（外径）は特に限定されず、例えば、０．１μｍ～２６０μｍとすることができる。なお、芯材の形状が円形以外である場合には、芯材の直径は、芯材の長手方向と垂直な断面における、外縁の最も幅広い部分の長さとする。
【0028】
導電部材３０を構成する前記導電性の管は、前記芯線を被覆する金属層によって形成されている。前記金属層の材料としては、電解メッキまたは無電解メッキによって前記芯線の外周に金属層を形成することができるものが好ましい。また、硝酸によるウエットエッチングや、水、酸、アルカリおよび有機溶媒によって腐食しないものであることが好ましい。前記金属層の材料は、貴金属が好ましい。貴金属としては、例えば、金、白金、銀、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、黒ルテニウム等の金属や、これらの金属の合金が挙げられる。なかでも、標準電極電位が高い金、白金、銀、銅がより好ましく、低硬度の金、銀がさらに好ましい。前記導電性の管を形成する前記金属層は、１層の金属層でもよいし、２層以上の金属層であってもよい。２層以上の金属層における各層の金属は、互いに同一でもよいし、異なっていてもよい。
【0029】
エラストマー４０を構成するエラストマー材料としては、未硬化前には流動性を有し、硬化後にはその流動性が低減して導電部材３０の中空部に留まるものであればよく、例えば、アクリロニトリル－ブタジエンゴム、シリコーンゴム、クロロプレンゴム、エチレン－クロロプレンゴム、エチレン－プロピレン－ジエンゴム、スチレン－ブタジエンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ウレタンゴム等の合成ゴム等が挙げられる。これらの中でも、硬化前の流動性に優れ、高弾性で耐熱性に優れる点から、シリコーンゴムが好ましい。
また、前記エラストマー材料として、硬化後にゲル化するシリコーンゲルや、ウレタンゲルを用いてもよい。
また、前記エラストマー材料として、完全に硬化する前に発泡し、硬化後のエラストマー４０に気泡を含ませる材料（発泡性エラストマー材料）であってもよい。
弾性体２０を構成する材料とエラストマー４０を構成する材料とは、互いに同じでもよいし、異なっていてもよい。
また、前記エラストマー材料として、硬化後にゲル化するシリコーンゲルや、ウレタンゲルを用いてもよい。
また、前記エラストマー材料として、完全に硬化する前に発泡し、硬化後のエラストマー４０に気泡を含ませる材料（発泡性エラストマー材料）であってもよい。
弾性体２０を構成する材料とエラストマー４０を構成する材料とは、互いに同じでもよいし、異なっていてもよい。
【0030】
＜作用効果＞
本発明にかかる電気コネクター１０，５０においては、デバイスの接続端子に接触する導電部材３０の端部の少なくとも一部が中空になっており（ただし、エラストマー４０は中空部に存在する）、柔軟性や弾力性に富むので、圧接されたデバイスの接続端子に対する傷付けを防止することができる。また、導電部材３０の中空部の少なくとも一部にはエラストマー４０が充填されており、エラストマー４０は、導電部材３０の中空の管を内側から支持している。このため、デバイスの接続端子による圧接を受けたときに、導電部材３０の中空の端部や先端が潰れにくく、弾性体２０の貫通孔２１の中へその先端が埋没することを防止しており、圧接が解除されるとエラストマー４０の反発力を利用して、導電部材３０の先端を元の位置に戻すことができる。
この結果、導電部材３０の先端が弾性体２０の主面の中に埋没したまま戻らなくなることを防止できるので、電気コネクター１０，５０の耐久性が向上している。
本発明にかかる電気コネクター１０，５０においては、デバイスの接続端子に接触する導電部材３０の端部の少なくとも一部が中空になっており（ただし、エラストマー４０は中空部に存在する）、柔軟性や弾力性に富むので、圧接されたデバイスの接続端子に対する傷付けを防止することができる。また、導電部材３０の中空部の少なくとも一部にはエラストマー４０が充填されており、エラストマー４０は、導電部材３０の中空の管を内側から支持している。このため、デバイスの接続端子による圧接を受けたときに、導電部材３０の中空の端部や先端が潰れにくく、弾性体２０の貫通孔２１の中へその先端が埋没することを防止しており、圧接が解除されるとエラストマー４０の反発力を利用して、導電部材３０の先端を元の位置に戻すことができる。
この結果、導電部材３０の先端が弾性体２０の主面の中に埋没したまま戻らなくなることを防止できるので、電気コネクター１０，５０の耐久性が向上している。
【0031】
［電気コネクターの製造方法］
本発明の第二態様は、第一態様の電気コネクターを製造する方法である。
＜第一実施形態＞
第一実施形態は、エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置する工程（配置工程）と、前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成する工程（シート形成工程）と、複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成する工程（積層体形成工程）と、前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得る工程（切断工程）と、前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得る工程（エッチング工程）と、前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面から、その主面に開口する前記複数の導電性の管のうち少なくとも一部の管の中へ流動性エラストマーを導入し、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填された電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法である。
以下、図５（ａ）～図５（ｄ）を参照して、各工程の一例を説明する。
本発明の第二態様は、第一態様の電気コネクターを製造する方法である。
＜第一実施形態＞
第一実施形態は、エラストマーからなる第一の樹脂層の第一の面側に、芯線と、前記芯線の外周を被覆する導電性の管とを有する導電線の複数を、向きを揃えて任意の間隔で配置する工程（配置工程）と、前記第一の樹脂層の第一の面側にエラストマーからなる第二の樹脂層を形成し、導電線含有シートを形成する工程（シート形成工程）と、複数の前記導電線含有シートを、前記複数の導電線の向きを揃えて積層し、前記導電線含有シートの積層体を形成する工程（積層体形成工程）と、前記積層体を、前記複数の導電線の延在する方向に対して垂直方向または斜め方向に切断し、前駆シートを得る工程（切断工程）と、前記前駆シートが有する前記複数の導電線から、前記芯線の少なくとも一部をエッチングにより除去し、複数の前記導電性の管が残されたエッチング処理済シートを得る工程（エッチング工程）と、前記エッチング処理済シートの少なくとも一方の主面から、その主面に開口する前記複数の導電性の管のうち少なくとも一部の管の中へ流動性エラストマーを導入し、前記流動性エラストマーを硬化させることにより、前記管の中の少なくとも一部にエラストマーが充填された電気コネクターを得ること、を有する電気コネクターの製造方法である。
以下、図５（ａ）～図５（ｄ）を参照して、各工程の一例を説明する。
【0032】
［配置工程］
図５（ａ）に示すように、基材１０００上に形成した第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、芯線及び導電性の管を有する導電線３０’を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置する。
ここでは、複数の導電線３０’は、基材１０００の長手方向と垂直な方向に延在するように配置されている。隣接する２つの導電線３０’の中心間距離は、例えば、６μｍ～１０００μｍであることが好ましい。
各導電線３０’は第一態様で説明した導電線と同様である。
図５（ａ）に示すように、基材１０００上に形成した第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、芯線及び導電性の管を有する導電線３０’を、向きを揃えて任意の間隔で並列に配置する。
ここでは、複数の導電線３０’は、基材１０００の長手方向と垂直な方向に延在するように配置されている。隣接する２つの導電線３０’の中心間距離は、例えば、６μｍ～１０００μｍであることが好ましい。
各導電線３０’は第一態様で説明した導電線と同様である。
【0033】
基材１０００としては、導電線含有シートを形成した後、導電線含有シートから容易に剥離できるものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂フィルムが挙げられる。
【0034】
第一の樹脂層１１００の厚さは、例えば、２μｍ～５００μｍが好ましい。
第一の樹脂層１１００の材料として、弾性体２０の材料と同様のものが例示できる。
基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法としては、例えば、上記の材料からなるシート又はフィルムを基材１０００上に貼着するか、或いは、液状またはペースト状の上記材料を基材１０００上に塗布し、加熱、加湿または光照射等により硬化して樹脂層を形成する方法が挙げられる。基材１０００上にシート又はフィルムを貼着する方法としては、接着剤を用いてもよいし、表面処理によりシート又はフィルムの表面を活性化させて基材１０００上に直接結合させてもよい。
第一の樹脂層１１００の材料として、弾性体２０の材料と同様のものが例示できる。
基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法としては、例えば、上記の材料からなるシート又はフィルムを基材１０００上に貼着するか、或いは、液状またはペースト状の上記材料を基材１０００上に塗布し、加熱、加湿または光照射等により硬化して樹脂層を形成する方法が挙げられる。基材１０００上にシート又はフィルムを貼着する方法としては、接着剤を用いてもよいし、表面処理によりシート又はフィルムの表面を活性化させて基材１０００上に直接結合させてもよい。
【0035】
［シート形成工程］
次いで、図５（ｂ）に示すように、複数の導電線３０’が配置された第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、第二の樹脂層１２００を形成し、第二の樹脂層１２００を第一の樹脂層１１００と一体化するとともに、第一の樹脂層１１００と第二の樹脂層１２００の間に複数の導電線３０’を固定し、導電線含有シート１３００を形成する。
次いで、図５（ｂ）に示すように、複数の導電線３０’が配置された第一の樹脂層１１００の第一の面１１００ａ上に、第二の樹脂層１２００を形成し、第二の樹脂層１２００を第一の樹脂層１１００と一体化するとともに、第一の樹脂層１１００と第二の樹脂層１２００の間に複数の導電線３０’を固定し、導電線含有シート１３００を形成する。
【0036】
第二の樹脂層１２００の厚さは、例えば、２μｍ～５００μｍが好ましい。
第二の樹脂層１２００の材料としては、第一の樹脂層１１００の材料と同様のものが挙げられる。
第一の樹脂層１１００の第一の面上に第二の樹脂層１２００を形成する方法としては、基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法と同様の方法が用いられる。
第二の樹脂層１２００の材料としては、第一の樹脂層１１００の材料と同様のものが挙げられる。
第一の樹脂層１１００の第一の面上に第二の樹脂層１２００を形成する方法としては、基材１０００上に第一の樹脂層１１００を形成する方法と同様の方法が用いられる。
【0037】
［積層体形成工程］
次いで、図５（ｃ）に示すように、導電線含有シート１３００の複数枚を、互いに導電線３０’の向きを揃えて積層し、導電線含有シート１３００の積層体１４００を形成する。
本工程において、導電線３０’の向きを揃えるだけでなく、積層体１４００の厚さ方向に見て各導電線３０’が重なるように配置を揃えることが好ましい。図５（ｃ）では、全ての導電線３０’が、積層体１４００の厚さ方向に重なり合っている場合を例示したが、導電線３０’はその厚さ方向に重ならないでもよい。
次いで、図５（ｃ）に示すように、導電線含有シート１３００の複数枚を、互いに導電線３０’の向きを揃えて積層し、導電線含有シート１３００の積層体１４００を形成する。
本工程において、導電線３０’の向きを揃えるだけでなく、積層体１４００の厚さ方向に見て各導電線３０’が重なるように配置を揃えることが好ましい。図５（ｃ）では、全ての導電線３０’が、積層体１４００の厚さ方向に重なり合っている場合を例示したが、導電線３０’はその厚さ方向に重ならないでもよい。
【0038】
本工程において、導電線含有シート１３００を積層する場合、最も下の層をなす導電線含有シート１３００を除いて、導電線含有シート１３００から基材１０００を剥離する。
【0039】
複数の導電線含有シート１３００を互いに積層するには、接着剤を用いてもよく、導電線含有シート１３００の表面をコロナ処理等により活性化させて化学結合してもよい。
接着剤を用いる場合、接着剤としては、第一の樹脂層１１００と同じエラストマーを用いてもよく、第一の樹脂層１１００と異なるエラストマーを用いてもよい。
接着剤を用いる場合、接着剤としては、第一の樹脂層１１００と同じエラストマーを用いてもよく、第一の樹脂層１１００と異なるエラストマーを用いてもよい。
【0040】
［切断工程］
図５（ｄ）に示すように、積層体１４００を、所定の厚さとなるように、導電線３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断し、輪切りした導電線３０’が接合された貫通孔２１を備えたエラストマーからなる前駆シート１５００を得る。前駆シート１５００の一端にある基材１０００は適宜剥離される。
図５（ｄ）に示すように、積層体１４００を、所定の厚さとなるように、導電線３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断し、輪切りした導電線３０’が接合された貫通孔２１を備えたエラストマーからなる前駆シート１５００を得る。前駆シート１５００の一端にある基材１０００は適宜剥離される。
【0041】
本工程において、積層体１４００を切断する方法としては、例えば、レーザー加工、切削等の機械的加工等が用いられる。
【0042】
上記例では積層体１４００を、導電線３０’の延在する方向に対して垂直方向に切断する場合を例示したが、積層体１４００を、導電線３０’の延在する方向に対して斜め方向に切断してもよい。斜め方向に切断すると、前駆シート１５００の主面に対して斜めに交わる導電線３０’を備えた前駆シート１５００が得られる。
【0043】
［エッチング工程］
次いで、前駆シート１５００が有する複数の導電線３０’の両端部のうち、少なくとも一方の端部における芯線をエッチングにより除去し、前記導電性の管によって形成された導電部材３０の複数を備えたエッチング処理済シートを得る。導電部材３０のエッチングされた端部は少なくとも先端近傍が中空の管になっている。
次いで、前駆シート１５００が有する複数の導電線３０’の両端部のうち、少なくとも一方の端部における芯線をエッチングにより除去し、前記導電性の管によって形成された導電部材３０の複数を備えたエッチング処理済シートを得る。導電部材３０のエッチングされた端部は少なくとも先端近傍が中空の管になっている。
【0044】
本工程では、溶解液を用いて、導電線３０’の芯線を溶解することにより、芯線を除去する。具体的には、芯線が鉄、銅、アルミニウム、鉛、亜鉛、すず、タングステン等の卑金属からなる場合、硝酸によるウエットエッチングにより芯線を除去することができる。
例えば、硝酸を含むエッチング液に前駆シート１５００を浸漬して、エッチング液により芯線を溶解することにより、導電線３０’から芯線を除去することができる。芯線がポリビニルアルコール等の樹脂からなる場合、水や有機溶媒に前駆シート１５００を浸漬して、水や有機溶媒により芯線を溶解することにより、導電線３０’から芯材を除去することができる。
例えば、硝酸を含むエッチング液に前駆シート１５００を浸漬して、エッチング液により芯線を溶解することにより、導電線３０’から芯線を除去することができる。芯線がポリビニルアルコール等の樹脂からなる場合、水や有機溶媒に前駆シート１５００を浸漬して、水や有機溶媒により芯線を溶解することにより、導電線３０’から芯材を除去することができる。
【0045】
［充填工程］
エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に、流動性エラストマーを塗布することにより、その主面に開口している複数の導電部材３０の端部の中空部（導電性の管）の中へ流動性エラストマーを導入する。この際、塗布した流動性エラストマーの粘度が比較的高い場合（例えば液状シリコーンゴム等）、塗布した主面に流動性エラストマーからなる未硬化エラストマー層が形成される。つまり、エッチング処理済シートの一方の主面に未硬化エラストマー層が積層された積層シートが得られる。
エッチング処理済シートの一方の主面及び他方の主面のうち、少なくとも一方の主面に、流動性エラストマーを塗布することにより、その主面に開口している複数の導電部材３０の端部の中空部（導電性の管）の中へ流動性エラストマーを導入する。この際、塗布した流動性エラストマーの粘度が比較的高い場合（例えば液状シリコーンゴム等）、塗布した主面に流動性エラストマーからなる未硬化エラストマー層が形成される。つまり、エッチング処理済シートの一方の主面に未硬化エラストマー層が積層された積層シートが得られる。
【0046】
塗布方法としては、例えば、各種のコーター法や吹付け法等の公知の樹脂類を塗布する方法が挙げられる。また、予め別に形成した未硬化エラストマー層をエッチング処理済シートの主面に貼付する方法も本工程の塗布方法に含められる。例えば、ＰＥＴフィルムの表面に流動性エラストマーをコーター等により塗工し、その表面に未硬化エラストマー層を形成し、これをエッチング処理済シートの主面に貼付して転写すると、積層シートが得られる。このように貼付する方が、均一な厚さの未硬化エラストマー層を形成できるので好ましい。
【0047】
得られた積層シートを減圧雰囲気（真空雰囲気）に置くと、中空部の真上及びその近傍にある未硬化エラストマー層の流動性エラストマーを中空部の中に導入することができる。なお、塗布した流動性エラストマーの粘度が低ければ、自然に中空部の中へ流入する。
【0048】
積層シートの主面から導電部材３０の中空部（前記管の中）へ流動性エラストマーを導入した後、その流動性エラストマーを硬化させることにより、中空部の少なくとも一部にエラストマーが充填され、かつ、中空部へ導入されずに前記積層シートの表面に残った未硬化エラストマー層が硬化してなるエラストマー層を備えた積層硬化シートが得られる。
【0049】
流動性エラストマーを硬化させる方法は特に制限されず、流動性エラストマーに含まれる溶剤を蒸発させて乾燥する方法、流動性エラストマーに含まれる化合物同士を架橋反応させて硬化する方法等の公知方法が適用できる。
【0050】
積層硬化シートの表面に形成されたエラストマー層を除去することにより、目的の電気コネクターが得られる。
【0051】
エラストマー層を積層硬化シートの表面から除去する方法としては、例えば、固体粒子や液体やガスを吹き付けるブラスト法、レーザー照射法、物理的に研磨する研磨法、物理的に切削する切削法等が挙げられる。
【0052】
以上の各工程を経て、例えば、図１～３に示すような第一態様の電気コネクター１０が得られる。
【0053】
［突出工程］
充填工程を経て得た電気コネクター１０が有する導電部材３０の端部を、弾性体２０がなすシートの一方又は両方の主面から突出させる突出工程をさらに有していてもよい。
充填工程を経て得た電気コネクター１０が有する導電部材３０の端部を、弾性体２０がなすシートの一方又は両方の主面から突出させる突出工程をさらに有していてもよい。
【0054】
この突出工程において、導電部材３０を、シートの主面から突出させる方法としては、例えば、レーザーエッチング、ケミカルエッチング、切削等の機械的加工により、シートの主面からエラストマーの一部を削る方法が挙げられる。
【0055】
以上の各工程を経て、例えば、図４に示すような第一態様の電気コネクター５０が得られる。
【実施例0056】
［実施例１］
ポリエチレンテレフタレート基材上に形成したシリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第一の樹脂層の一方の面上に、複数の導電線を、向きを揃えて５０μｍの間隔で並列に配置した。
導電線として、真鍮からなる直径２５μｍの円柱状の芯線と、その芯線の外周面を覆う導電性の管である金からなる厚さ１．５μｍの金属層とを有するものを用いた。
次に、複数の導電線が配置された第一の樹脂層の一方の面上に、シリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に導電線を固定し、導電線含有シートを形成した。
次に、導電線含有シートの２００枚を、互いに導電線の長手方向の向きを揃えて、かつ積層方向に見て各導電線が重なるように積層し、導電線含有シートの積層体を形成した。
次に、切削加工により、導電線の延在する方向に対して角度６３°でスライスカットし、厚さ１５０μｍの前駆シートを得た。前駆シートは、シリコーンゴムからなるシート状の弾性体と、前記弾性体を厚さ方向に貫通する導電線とを有する。前記導電線は、弾性体を厚さ方向に貫通する貫通孔に接合されている。前駆シートの主面の厚さ方向に対して交わる導電線の延在方向の角度は約６３°であった。
ポリエチレンテレフタレート基材上に形成したシリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第一の樹脂層の一方の面上に、複数の導電線を、向きを揃えて５０μｍの間隔で並列に配置した。
導電線として、真鍮からなる直径２５μｍの円柱状の芯線と、その芯線の外周面を覆う導電性の管である金からなる厚さ１．５μｍの金属層とを有するものを用いた。
次に、複数の導電線が配置された第一の樹脂層の一方の面上に、シリコーンゴムからなる厚さ１５μｍの第二の樹脂層を形成し、第二の樹脂層を第一の樹脂層と一体化するとともに、第一の樹脂層と第二の樹脂層の間に導電線を固定し、導電線含有シートを形成した。
次に、導電線含有シートの２００枚を、互いに導電線の長手方向の向きを揃えて、かつ積層方向に見て各導電線が重なるように積層し、導電線含有シートの積層体を形成した。
次に、切削加工により、導電線の延在する方向に対して角度６３°でスライスカットし、厚さ１５０μｍの前駆シートを得た。前駆シートは、シリコーンゴムからなるシート状の弾性体と、前記弾性体を厚さ方向に貫通する導電線とを有する。前記導電線は、弾性体を厚さ方向に貫通する貫通孔に接合されている。前駆シートの主面の厚さ方向に対して交わる導電線の延在方向の角度は約６３°であった。
【0057】
続いて、前駆シートを、硝酸を含むエッチング液に浸漬し、導電線を構成する芯線を溶解することにより、前駆シートの両主面に露出する導電線の端部を中空化し、エッチング処理済シートを得た。エッチング処理済シートの一方の主面のＳＥＭ像を図６に示す。
ＳＥＭ像から、エッチング処理済シートの主面に露出する導電部材の端部は中空化されていることが分かる。図６の導電線及びその中空部は、画像では白色に見えている。
ＳＥＭ像から、エッチング処理済シートの主面に露出する導電部材の端部は中空化されていることが分かる。図６の導電線及びその中空部は、画像では白色に見えている。
【0058】
次に、ＰＥＴフィルムの表面に信越化学工業株式会社製の液状シリコーンゴム（KE-1935-A/B、流動性エラストマー）を厚さ３０μｍで塗布し、未硬化エラストマー層を形成した。この未硬化エラストマー層をエッチング処理済シートの一方の主面に貼付して転写し、積層シートを得た。この積層シートを減圧チャンバーにて４０秒間減圧後取り出し、エッチング処理済シートの主面に開口する導電部材の管の中に上記流動性エラストマーが充填されたことを確認した。この積層シートを１３５℃にて２分間加熱し、中空部内の流動性エラストマー及び積層シートの表面に残った流動性エラストマーがそれぞれ硬化した積層硬化シートを得た。
【0059】
最後に、積層硬化シートの表面の硬化したエラストマー層をレーザー照射により除去して、目的の電気コネクターを得た。その一方の主面のＳＥＭ像を図７に示す。
ＳＥＭ像から、電気コネクターの導電部材の中空の端部は主面に露出しており、その中空部の中にシリコーンゴムが充填されていることが分かる。図７の中空部内に充填された液状シリコーンゴムは、画像では黒色に見えている。
ＳＥＭ像から、電気コネクターの導電部材の中空の端部は主面に露出しており、その中空部の中にシリコーンゴムが充填されていることが分かる。図７の中空部内に充填された液状シリコーンゴムは、画像では黒色に見えている。
【0060】
［比較例１］
実施例１と同様にして得たエッチング処理済シートを得て、これを比較例の電気コネクターとして、以下の試験に用いた。
実施例１と同様にして得たエッチング処理済シートを得て、これを比較例の電気コネクターとして、以下の試験に用いた。
【0061】
［評価］
実施例１、比較例１の電気コネクターを、疑似被検査用パッケージ（ダミーパッケージ）の複数の半田ボールに対してデイジーチェーンとなるように、複数の電極及び回路が形成された基板の上に配置した。基板上の電気コネクターの上に、半田ボールと電気コネクターが接触するように、複数の半田ボールが形成されたダミーパッケージを配置した。
ダミーパッケージは、φ０．２の半田ボールが０．３ｍｍピッチで８×８にマトリックス上に配置しており、基板とデイジーチェーン接続できる内部回路を有するものを使用した。
φ１ｍｍの円柱状プローブにより、ダミーパッケージを圧縮し、デイジーチェーン接続における抵抗値を測定した。
デイジーチェーン接続の最初と最後の箇所の電極から、配線を引き出し、抵抗測定器（商品名：RM3545-01、日置電機株式会社製）と接続した。
基板における全ての電極と ダミーパッケージにおける全ての半田ボールを電気コネクターにより電気的に直列的に接続できた場合、抵抗値が測定できるようにした。
実施例１、比較例１の電気コネクターを、疑似被検査用パッケージ（ダミーパッケージ）の複数の半田ボールに対してデイジーチェーンとなるように、複数の電極及び回路が形成された基板の上に配置した。基板上の電気コネクターの上に、半田ボールと電気コネクターが接触するように、複数の半田ボールが形成されたダミーパッケージを配置した。
ダミーパッケージは、φ０．２の半田ボールが０．３ｍｍピッチで８×８にマトリックス上に配置しており、基板とデイジーチェーン接続できる内部回路を有するものを使用した。
φ１ｍｍの円柱状プローブにより、ダミーパッケージを圧縮し、デイジーチェーン接続における抵抗値を測定した。
デイジーチェーン接続の最初と最後の箇所の電極から、配線を引き出し、抵抗測定器（商品名：RM3545-01、日置電機株式会社製）と接続した。
基板における全ての電極と ダミーパッケージにおける全ての半田ボールを電気コネクターにより電気的に直列的に接続できた場合、抵抗値が測定できるようにした。
【0062】
ダミーパッケージの押し当てを繰り返し、以下の基準で評価した。
Ａ：５０００回の圧接を繰り返しても、抵抗値が２Ω／半田ボール未満
Ｂ：抵抗値が２Ω／半田ボール以上になる圧接の繰り返し回数が、３０００回未満
Ａ：５０００回の圧接を繰り返しても、抵抗値が２Ω／半田ボール未満
Ｂ：抵抗値が２Ω／半田ボール以上になる圧接の繰り返し回数が、３０００回未満
【0063】
実施例１の電気コネクターの測定結果は、図８に示す通り、５０００回の圧接を繰り返しても抵抗値はほとんど変化せず、非常に優れた耐久性を示した。また、圧接に必要な荷重は小さく、デバイスの接続端子を傷付ける恐れは無かった。評価基準の判定はＡであった。
【0064】
比較例１の電気コネクターの測定結果は、図９に示す通り、実施例と比べて早い段階で抵抗値の上昇が観測された。評価基準の判定はＢであった。
【0065】
実施例１の電気コネクターの５０００回の圧接後の主面のＳＥＭ像を図１０に示す。圧接後においても導電部材の先端が主面に露出しており、デバイスの接続端子と充分に接続を取れる状態であった。
【0066】
比較例１の電気コネクターの５０００回の圧接後の主面のＳＥＭ像を図１１に示す。導電部材の先端の一部が主面に露出しておらず、電気コネクターの内部に埋没しており、デバイスの接続端子との接続が不安定になり得る状態であった。
【符号の説明】
【0067】
１０ 電気コネクター
２０ 弾性体
２０ａ 弾性体の一方の主面
２０ｂ 弾性体の他方の主面
２１ 貫通孔
３０ 導電部材
３０ａ 導電部材の一方の端部
３０ｂ 導電部材の他方の端部
３０’ 導電線
４０ エラストマー（充填されたエラストマー）
５０ 電気コネクター
１０００ 基材
１１００ 第一の樹脂層
１２００ 第二の樹脂層
１３００ 導電線含有シート
１４００ 積層体
１５００ 前駆シート
２０ 弾性体
２０ａ 弾性体の一方の主面
２０ｂ 弾性体の他方の主面
２１ 貫通孔
３０ 導電部材
３０ａ 導電部材の一方の端部
３０ｂ 導電部材の他方の端部
３０’ 導電線
４０ エラストマー（充填されたエラストマー）
５０ 電気コネクター
１０００ 基材
１１００ 第一の樹脂層
１２００ 第二の樹脂層
１３００ 導電線含有シート
１４００ 積層体
１５００ 前駆シート
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
