特開 2022-47216 バキュームポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022047216

(43)【公開日】2022-03-24

(54)【発明の名称】バキュームポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04C 29/12 20060101AFI20220316BHJP

   B60T 17/00 20060101ALI20220316BHJP

   F04C 29/06 20060101ALI20220316BHJP

   F04C 25/02 20060101ALI20220316BHJP

【ＦＩ】

F04C29/12 G

B60T17/00 C

F04C29/06 C

F04C25/02 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020152998

(22)【出願日】2020-09-11

(71)【出願人】

【識別番号】000177612

【氏名又は名称】株式会社ミクニ

(74)【代理人】

【識別番号】110000785

【氏名又は名称】誠真ＩＰ特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】山本 功史

【テーマコード（参考）】

3D049

3H129

【Ｆターム（参考）】

3D049BB21

3D049BB27

3D049CC03

3D049HH09

3D049JJ01

3D049JJ02

3D049JJ08

3D049JJ09

3D049PP05

3D049PP06

3D049PP07

3H129AA05

3H129AB02

3H129BB35

3H129BB44

3H129BB45

3H129CC15

3H129CC25

3H129CC38

(57)【要約】

【課題】排気通路における凍結防止剤の析出を抑制する。
【解決手段】バキュームポンプ２は、ポンプ室３と、大気開放された排気口５を含み、ポンプ室３から排気口５に気体を導く排気通路６と、を備え、排気通路６を形成する壁面２０は、第１領域２１と、第１領域２１よりも排気通路６における下流側に位置し、第１領域２１よりも撥水性が高い第２領域２３と、を含む。
【選択図】 図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ポンプ室と、
大気開放された排気口を含み、前記ポンプ室から前記排気口に気体を導く排気通路と、を備え、
前記排気通路を形成する壁面は、
第１領域と、
前記第１領域よりも前記排気通路における下流側に位置し、前記第１領域よりも撥水性が高い第２領域と、を含む、
バキュームポンプ。

【請求項2】

前記排気通路は、前記壁面の前記第２領域によって少なくとも部分的に形成され、前記排気口を下流端に有する前記排気通路の出口流路部を含む、
請求項１に記載のバキュームポンプ。

【請求項3】

前記出口流路部内に設けられ、前記壁面の前記第２領域の一部として形成される弁座に当接可能に設けられる弁体をさらに備える、
請求項２に記載のバキュームポンプ。

【請求項4】

前記壁面の前記第２領域は、少なくとも、前記排気通路のうち前記弁座と前記排気口との間の部位を形成する、
請求項３に記載のバキュームポンプ。

【請求項5】

前記排気通路は、前記弁座を含む前記壁面の前記第２領域によって形成され、前記排気口を下流端に有する前記排気通路の出口流路部を含み、
前記出口流路部内に設けられ、前記出口流路部からの前記弁体の脱落を防止するためのストッパを備える、
請求項３又は４に記載のバキュームポンプ。

【請求項6】

前記出口流路部は、前記排気通路のうち前記排気口に向かって鉛直方向下方に延在し、
前記弁座は、前記出口流路部の鉛直方向における中央位置よりも上方に位置する、
請求項５に記載のバキュームポンプ。

【請求項7】

前記出口流路部を形成する中空筒部材と、
少なくとも前記中空筒部材の内壁面を覆うように設けられ、前記壁面の前記第２領域を形成する撥水被膜と、を備える、
請求項２乃至６の何れか一項に記載のバキュームポンプ。

【請求項8】

前記出口流路部を形成する中空筒部材と、
前記ポンプ室を形成するポンプケーシングと、を備え、
前記中空筒部材は、前記排気通路のうち前記出口流路部と前記ポンプ室とを連通させる上流側通路部を形成する前記ポンプケーシングよりも撥水性が高い材料で構成される、
請求項２乃至６の何れか一項に記載のバキュームポンプ。

【請求項9】

前記ポンプ室を形成するポンプケーシングを備え、
前記ポンプケーシングは、
前記出口流路部を形成し、下方に向かって延びる筒状部を含む上側ケーシングと、
前記上側ケーシングの下方に位置し、前記筒状部が嵌合するボアを有する下側ケーシングと、を含み、
前記上側ケーシングの母材よりも撥水性が高い材料で形成され、前記筒状部の内壁面の少なくとも一部を覆うように設けられる撥水被膜を備える、
請求項２乃至６の何れか一項に記載のバキュームポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、バキュームポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、自動車等の車両には、ブレーキブースタの負圧室内を負圧にするためにバキュームポンプが用いられる場合がある。バキュームポンプは、車両のエンジンルームに搭載されることが多いが、場合によっては地面に近い場所に搭載されることもある。このため、搭載場所によっては車両が深い水溜まりを走行する際にバキュームポンプが浸水することがある。これに対して、特許文献１には、排気通路の排気口を閉塞可能な弁体を備えるバキュームポンプが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－９７９１２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、路面には塩化ナトリウムや塩化カルシウムのような塩化物を含む凍結防止剤が散布されている場合がある。このため、車両の走行時に、凍結防止剤を含んだ水溶液が排気口から排気通路内に侵入し、排気通路に凍結防止剤が析出してしまう虞がある。場合によってはバキュームポンプの排気を阻害するおそれもあるため、凍結防止剤の析出を抑制することが望ましい。

【0005】

本開示は、上述の課題に鑑みてなされたものであって、排気通路における凍結防止剤の析出を抑制できるバキュームポンプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本開示の少なくとも一実施形態に係るバキュームポンプは、ポンプ室と、大気開放された排気口を含み、ポンプ室から排気口に気体を導く排気通路と、を備え、排気通路を形成する壁面は、第１領域と、第１領域よりも排気通路における下流側に位置し、第１領域よりも撥水性が高い第２領域と、を含む。

【0007】

（２）幾つかの実施形態では、上記（１）に記載の構成において、排気通路は、壁面の第２領域によって少なくとも部分的に形成され、排気口を下流端に有する排気通路の出口流路部を含んでもよい。

【0008】

（３）幾つかの実施形態では、上記（２）に記載の構成において、出口流路部内に設けられ、壁面の第２領域の一部として形成される弁座に当接可能に設けられる弁体をさらに備えてもよい。

【0009】

（４）幾つかの実施形態では、上記（３）に記載の構成において、壁面の第２領域は、少なくとも、排気通路のうち弁座と排気口との間の部位を形成してもよい。

【0010】

（５）幾つかの実施形態では、上記（３）又は（４）に記載の構成において、排気通路は、弁座を含む壁面の第２領域によって形成され、排気口を下流端に有する排気通路の出口流路部を含み、出口流路部内に設けられ、出口流路部からの弁体の脱落を防止するためのストッパを備えてもよい。

【0011】

（６）幾つかの実施形態では、上記（５）に記載の構成において、出口流路部は、排気通路のうち排気口に向かって鉛直方向下方に延在し、弁座は、出口流路部の鉛直方向における中央位置よりも上方に位置してもよい。

【0012】

（７）幾つかの実施形態では、上記（２）から（６）の何れか１つに記載の構成において、出口流路部を形成する中空筒部材と、少なくとも中空筒部材の内壁面を覆うように設けられ、壁面の第２領域を形成する撥水被膜と、を備えてもよい。

【0013】

（８）幾つかの実施形態では、上記（２）から（６）の何れか１つに記載の構成において、出口流路部を形成する中空筒部材と、ポンプ室を形成するポンプケーシングと、を備え、中空筒部材は、排気通路のうち出口流路部とポンプ室とを連通させる上流側通路部を形成するポンプケーシングよりも撥水性が高い材料で構成されてもよい。

【0014】

（９）幾つかの実施形態では、上記（２）から（６）の何れか１つに記載の構成において、ポンプ室を形成するポンプケーシングを備え、ポンプケーシングは、出口流路部を形成し、下方に向かって延びる筒状部を含む上側ケーシングと、上側ケーシングの下方に位置し、筒状部が嵌合するボアを有する下側ケーシングと、を含み、上側ケーシングの母材よりも撥水性が高い材料で形成され、筒状部の内壁面の少なくとも一部を覆うように設けられる撥水被膜を備えてもよい。

【発明の効果】

【0015】

本開示のバキュームポンプによれば、排気通路における凍結防止剤の析出を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】一実施形態に係るバキュームポンプを示す概略的な分解斜視図である。

【図2】図１に示したバキュームポンプの一部切り欠き断面図である。

【図3】本開示における「撥水性」を説明するための図である。

【図4】一実施形態に係る第２領域を示す概略構成図である。

【図5】別の一実施形態に係る第２領域を示す概略構成図である。

【図6】さらに別の一実施形態に係る第２領域を示す概略構成図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、添付図面を参照して本開示の一実施形態について説明する。ただし、実施形態として記載されている又は図面に示されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
例えば、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
例えば、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
一方、一の構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。

【0018】

図１は、本開示の一実施形態に係るバキュームポンプ２を示す概略的な分解斜視図である。図２は、図１に示したバキュームポンプ２の一部切り欠き断面図である。図１及び図２に例示するバキュームポンプ２は、自動車等の車両におけるブレーキブースタ（マスターバック）の負圧室内を負圧にするための電動バキュームポンプである。以下において「上」及び「下」とは、バキュームポンプ２が車両に設置された状態における「上」及び「下」を意味するものとして説明する。尚、例えば、後述するロータ５６の回転軸方向においてトップカバー１４側を上、モータ１００側を下として上下を規定してもよい。

【0019】

本開示の一実施形態に係るバキュームポンプ２の構成について説明する。図１及び図２に示すように、バキュームポンプ２は、ポンプ室３と、大気開放された排気口５を含み、ポンプ室３から排気口５に気体を導く排気通路６（図２参照）と、を含む。

【0020】

ポンプ室３内には、ポンプ室３への気体の吸込及びポンプ室３からの気体の吐出を行うための可動部５０が収容されている。図１及び図２に例示する形態では、可動部５０は、駆動装置としてのモータ１００によって駆動される。この可動部５０は、外周面５２に複数のスリット５４が形成されたロータ５６と、複数のスリット５４にそれぞれ配置された複数のベーン５８と、を含む。このように、バキュームポンプ２はベーン式の電動バキュームポンプとして構成されている。ロータ５６は、モータ１００の不図示のシャフトに連結されており、このシャフトを中心として回転する。ロータ５６が回転すると、ロータ５６のスリット５４に沿ってベーン５８が遠心力でロータ５６の径方向外側に向けて移動し、ベーン５８の先端部５９がポンプ室３の壁面（カム面１１）上を摺動する。

【0021】

図１及び図２に例示する形態では、バキュームポンプ２は、ポンプケーシング本体１０と、ポンプカバー１２と、トップカバー１４と、ボトムカバー１６と、を含む。下から順に、ボトムカバー１６、ポンプケーシング本体１０、ポンプカバー１２及びトップカバー１４が配置されている。

【0022】

ポンプケーシング本体１０は、可動部５０が収容されるポンプ室３を画定する。ポンプケーシング本体１０は、ロータ５６の外周面５２と対向するカム面１１を含む。ポンプケーシング本体１０は、排気通路６のうち出口流路部８を形成する部材（後述する中空筒部材２２、又は筒状部４７）の周囲を覆う排気カバー部１３を含む。排気カバー部１３は筒形状を有し、上下方向に沿って延在する。排気カバー部１３の下端には外気に開口する孔１９が形成されている。

【0023】

ポンプカバー１２は、ポンプケーシング本体１０とは別体で設けられ、可動部５０の一方側（図示する形態ではロータ５６の上側）を覆う。ポンプカバー１２は、ポンプ室３に気体を導くための吸気通路７からポンプ室３に気体を流入させるように構成された吸気口１５を含む。ポンプカバー１２は、ポンプケーシング本体１０とは分離可能な別部品として構成され、締結部材としてのボルト６０（図１参照）によってポンプケーシング本体１０に締結される。

【0024】

トップカバー１４は、ポンプカバー１２の上側を覆う。トップカバー１４は、ポンプカバー１２とは別体で設けられている。トップカバー１４、ポンプカバー１２及びポンプケーシング本体１０は、締結部材としてのボルト６２（図１参照）によって共締めされる。

【0025】

ボトムカバー１６は、ポンプケーシング本体１０とモータ１００との間に設けられ、ポンプケーシング本体１０の下側を覆う。ボトムカバー１６は、不図示のブレーキブースタの負圧室から吸気を行うための吸気管部７０を含む。上述した吸気通路７は、この吸気管部７０を介して、気体を取り込むようになっている。ボトムカバー１６は、ポンプケーシング本体１０とは別体で設けられている。ボトムカバー１６は、締結部材としてのボルト６４（図１参照）によってポンプケーシング本体１０に締結される。

【0026】

次に、排気通路６について説明する。図２に例示する形態では、排気通路６は、ポンプケーシング本体１０とボトムカバー１６との間に形成された拡張型吸音器としての消音室７２（拡張室）と、ポンプカバー１２とトップカバー１４との間に形成された拡張型吸音器としての消音室７４（拡張室）と、排気口５を下流端に有する出口流路部８と、を含む。排気通路６は、排気通路６内を排気が流通する流通方向において、上流側から順に消音室７２、消音室７４、及び出口流路部８を含んでいる。

【0027】

消音室７２には、ポンプケーシング本体１０に形成された吐出口１８を介してポンプ室３の排気が吐出される。消音室７２を通った排気は、ポンプケーシング本体１０とポンプカバー１２とを貫通する貫通穴７６を介して消音室７４に流入する。消音室７４内の空間と出口流路部８内の空間とは互いに連通しており、消音室７４を通った排気は出口流路部８に流入する。出口流路部８に流入した排気は、出口流路部８の排気口５及び排気カバー部１３の孔１９を通ってバキュームポンプ２の外部に排出される。

【0028】

排気通路６を形成する壁面２０は、第１領域２１と、第１領域２１よりも排気通路６における下流側に位置し、第１領域２１よりも撥水性が高い第２領域２３と、を含む。図２に例示する形態では、壁面２０のうち第１領域２１は、排気通路６のうち消音室７２及び消音室７４を形成している。壁面２０のうち第２領域２３は、排気通路６のうち出口流路部８を形成している。

【0029】

尚、本開示は、第２領域２３が第１領域２１より下流側に位置するのであれば、第１領域２１及び第２領域２３の形成範囲に関して、図２に例示する形態に限定されない。例えば、壁面２０の第１領域２１が消音室７２を形成し、壁面２０の第２領域２３が消音室７４及び出口流路部８を形成してもよい。他の例では、壁面２０の第１領域２１が出口流路部８のうち上流部を形成し、壁面２０の第２領域２３が出口流路部８のうち上流部より下流側に位置する下流部を形成してもよい。

【0030】

ここで、本開示における「撥水性」について説明する。図３は、本開示における「撥水性」を説明するための図である。

【0031】

本開示における「撥水性」は、図３に示すように、撥水性を測定（評価）する対象物１２０に純水の液滴１２４が付着している状態において、対象物１２０の表面１２２と液滴１２４の表面１２６とが接触するポイントＰ１を通過する液滴１２４の表面１２６の接線をＬとすると、接線Ｌと対象物１２０の表面１２２とによって形成される角度のうち液滴１２４が存在する側の角度（以降では、接触角θと記載する）である。この接触角θの測定方法は、特に限定されず、例えば、接触角計（協和界面科学株式会社、製品名：全自動接触角計 ＤＭｏ－９０２）を用いて測定すればよい。

【0032】

本開示の一実施形態に係るバキュームポンプ２の作用・効果について説明する。図１及び図２に例示する構成によれば、出口流路部８を形成する第２領域２３は、消音室７２及び消音室７４を形成する第１領域２１よりも撥水性が高い（接触角θが大きい）。このため、車両が走行している際に路面に散布された凍結防止剤を含んだ水溶液（以下、単に「水溶液」と記載する）が排気口５から出口流路部８内に侵入しても、水溶液が出口流路部８に付着することを抑制するとともに、出口流路部８内に侵入した水溶液を落下させて排気口５から排出させる。よって、出口流路部８における凍結防止剤の析出を抑制できる。

【0033】

以下、第２領域２３の具体例について説明する。図４は、本開示の一実施形態に係る第２領域２３を示す概略構成図である。

【0034】

図４に示すように、一実施形態では、バキュームポンプ２は、筒形状を有し、上下方向に沿って延在する中空筒部材２２Ａ（２２）と、中空筒部材２２Ａの内壁面２５を覆い、第２領域２３を形成する撥水被膜２４Ａと、を備える。中空筒部材２２Ａが、上述した出口流路部８を形成している。

【0035】

図４に例示する形態では、中空筒部材２２Ａは、ポンプカバー１２及びポンプケーシング本体１０の排気カバー部１３のそれぞれとは別体で設けられている。中空筒部材２２Ａは、基部２６と、この基部２６から上方に延在するとともに、ポンプカバー１２に形成された穴２８に圧入される圧入部３０と、を含む。基部２６及び圧入部３０は、消音室７４から排気口５に向かって鉛直方向下方に延在している。

【0036】

中空筒部材２２Ａ内（出口流路部８内）には弁体３２が設けられている。この弁体３２は、第２領域２３の一部として形成される弁座３４に当接可能となっている。具体的には、中空筒部材２２Ａの基部２６は、上下方向に沿ってストレート状に延在するストレート面３６を有する第１基部３８と、第１基部３８の上端から上方に延在するにつれて中空筒部材２２Ａ内の流路断面を縮径するテーパ面４０を有する第２基部４２と、を含む。第１基部３８は、下端に排気口５を形成するとともに、上端が中空筒部材２２Ａの鉛直方向における中央位置Ｐ２よりも上方に位置している。第２基部４２は、内径が弁体３２より小径となる小径部（弁座３４）を有している。つまり、弁座３４は、基部２６のテーパ面４０に形成されており、中央位置Ｐ２よりも上方に位置している。

【0037】

図４に示す例では、撥水被膜２４Ａ（第２領域２３）は、少なくとも、中空筒部材２２Ａの内壁面２５全体を覆っており、排気通路６のうち弁座３４と排気口５との間の部位を形成している。撥水被膜２４Ａは、例えば、接触角θが７０度以上となる材料で中空筒部材２２Ａの内壁面２５を覆うことで形成される。幾つかの実施形態では、撥水被膜２４Ａはフッ素樹脂で形成される。幾つかの実施形態では、撥水被膜２４Ａは、ニッケルにフッ素樹脂が分散された母材で中空筒部材２２Ａの内壁面２５に表面処理されたフッ素含有ニッケルメッキである。フッ素含有ニッケルメッキ被膜を用いれば、例えば、接触角θが１１０度程度の撥水性の高い撥水被膜２４Ａを実現可能である。

【0038】

図４に例示する構成によれば、中空筒部材２２Ａの内壁面２５は、接触角θが７０度以上となる材料で形成される撥水被膜２４Ａで覆われている。このため、排気口５から侵入した水溶液が、中空筒部材２２Ａの内壁面２５に付着することを抑制する。また、中空筒部材２２Ａ内に侵入した水溶液が撥水被膜２４Ａの表面に付着したとしても、この付着した水溶液を落下させて排気口５からバキュームポンプ２の外部に排出することができる。

【0039】

また、図４に例示する構成によれば、中空筒部材２２Ａはポンプカバー１２及び排気カバー部１３のそれぞれとは別体で設けられているので、中空筒部材２２Ａへの撥水被膜２４Ａの形成が容易になり、バキュームポンプ２の製造コストを削減できる。

【0040】

また、図４に例示する構成によれば、弁座３４は、中空筒部材２２Ａの中央位置Ｐ２よりも上方に位置するように設けられているので、弁座３４を排気口５から離間させ、弁座３４に水溶液が付着することを抑制できる（弁座３４の濡れを防止できる）。

【0041】

ポンプカバー１２及び排気カバー部１３は、アルミニウム合金で構成されている場合がある。ここで、典型的なアルミニウム合金は接触角が７０度未満であり、例えば６５度程度の値を有する。図４に例示する構成によれば、撥水被膜２４Ａは接触角が７０度以上となる材料で形成されるので、ポンプカバー１２及び排気カバー部１３のそれぞれをアルミニウム合金製としつつ、出口流路部８の壁面２０の撥水性をポンプカバー１２及び排気カバー部１３のそれぞれより高くすることができる。

【0042】

尚、図４に例示する形態では、撥水被膜２４Ａは中空筒部材２２Ａの内壁面２５全体を覆っていたが、本開示はこの形態に限定されない。幾つかの実施形態では、撥水被膜２４Ａは、ストレート面３６及びテーパ面４０のうち一方を覆う。幾つかの実施形態では、撥水被膜２４Ａは、ストレート面３６の一部を覆う。幾つかの実施形態では、撥水被膜２４Ａは、テーパ面４０の一部を覆う。幾つかの実施形態では、撥水被膜２４Ａは、中空筒部材２２Ａの内壁面２５の少なくとも一部を覆う。

【0043】

幾つかの実施形態では、図４に示すように、バキュームポンプ２は、出口流路部８内に設けられ、弁体３２の出口流路部８からの脱落を防止するためのストッパ４４を備える。図４に示す例では、ストッパ４４は、中空筒部材２２Ａの第１基部３８内に設けられる。ストッパ４４は、出口流路部８を流通する排気が通過可能に構成され、例えば、複数の棒部材のそれぞれを互いに交差させることで形成される格子部材であってもよい。このような構成によれば、バキュームポンプ２が浸水している状態では、弁座３４に弁体３２を接触させて、ポンプ室３に液体が侵入することを抑制できる。一方で、バキュームポンプ２が浸水していない状態では、弁体３２をストッパ４４によって保持し、出口流路部８内の空間と外気とを連通させることができる。

【0044】

幾つかの実施形態では、図４に示すように、排気カバー部１３は、排気カバー部１３の周壁を切り欠くスリット４６が形成されている。スリット４６は、排気カバー部１３の下端から上方に沿って延びている。そして、中空筒部材２２Ａの排気口５は、スリット４６の上端４６ａより下方に位置している。換言すれば、中空筒部材２２Ａは、鉛直方向において十分な長さを有し、スリット４６の上端４６ａよりも下方に排気口５が位置するように延在している。このため、弁座３４が排気口５から上方に大きく離間した位置に形成されることとなり、弁座３４に水溶液が付着することを抑制できる。

【0045】

第２領域２３の別の具体例について説明する。図５は、別の一実施形態に係る第２領域２３を示す概略構成図である。尚、図５に例示する形態において、図４に例示する形態の構成要件と同じものは同じ参照符号を付し、その詳細な説明は省略している。

【0046】

別の一実施形態では、図５に示すように、バキュームポンプ２は、出口流路部８を形成する中空筒部材２２Ｂ（２２）を備える。この中空筒部材２２Ｂは、ポンプカバー１２よりも撥水性が高い材料で構成される点で図４に例示した中空筒部材２２Ａとは異なるが、それ以外の構成は中空筒部材２２Ａと同様である。この中空筒部材２２Ｂは、排気通路６のうち出口流路部８とポンプ室３とを連通させる上流側通路部を形成するポンプケーシングよりも撥水性が高い材料で構成される。図４に例示する形態では、中空筒部材２２Ａは、消音室７２を形成するポンプケーシング本体１０とボトムカバー１６のそれぞれ、及び、消音室７４を形成するポンプカバー１２とトップカバー１４のそれぞれよりも撥水性が高い材料で構成されている。このような中空筒部材２２Ａは、例えば、快削ステンレス鋼で構成される。

【0047】

図５に例示する構成によれば、中空筒部材２２Ｂはポンプカバー１２よりも高い撥水性を有する材料で構成されるので、排気口５から中空筒部材２２Ｂ内に侵入した水溶液が中空筒部材２２Ｂの内壁面２７に付着することを抑制する。また、中空筒部材２２Ｂ内に侵入した水溶液が中空筒部材２２Ｂの内壁面２７に付着したとしても、この付着した水溶液を落下させて排気口５からバキュームポンプ２の外部に排出することができる。尚、図５に例示する構成によれば、中空筒部材２２Ｂの内壁面２７に撥水被膜２４Ａをコーティングする工程が不要となる。

【0048】

第２領域２３のさらに別の具体的な構成例について説明する。図６は、さらに別の一実施形態に係る第２領域２３を示す概略構成図である。尚、図６に例示する形態において、図４に例示する形態の構成要件と同じものは同じ参照符号を付し、その詳細な説明は省略している。

【0049】

さらに別の一実施形態では、図６に示すように、ポンプカバー１２（上側ケーシング）は、出口流路部８を形成する内壁面５１を有し、下方に向かって延びる筒形状の筒状部４７を含む。筒状部４７はポンプカバー１２の一部である（圧入部３０を設ける必要がない）という点で、図４に例示した中空筒部材２２Ａとは異なるが、それ以外の構成は中空筒部材２２Ａと同様である。ポンプケーシング本体１０（下側ケーシング）の排気カバー部１３は、ポンプカバー１２の下方に位置し、筒状部４７が嵌合するボア４８を有する。

【0050】

この場合、バキュームポンプ２は、ポンプカバー１２の母材よりも撥水性が高い材料で形成され、筒状部４７の内壁面５１を覆うように設けられる撥水被膜２４Ｂを備える。撥水被膜２４Ｂは、ポンプカバー１２の母材よりも撥水性が高い材料で形成されるのであれば特に限定されず、例えば上述した撥水被膜２４Ａと同じ材料で形成されてもよい。

【0051】

図６に例示する構成によれば、筒状部４７の内壁面５１はポンプカバー１２の母材よりも高い撥水性を有する撥水被膜２４Ｂで覆われているので、筒状部４７内に侵入した水溶液が撥水被膜２４Ｂで覆われている筒状部４７の内壁面５１に付着することを抑制する。また、筒状部４７内に侵入した水溶液が撥水被膜２４Ｂの表面に付着したとしても、この付着した水溶液を落下させて排気口５からバキュームポンプ２の外部に排出することができる。

【0052】

また、図６に例示する構成によれば、筒状部４７がポンプカバー１２の一部として構成されることにより、１部品として設計・製造することができ、バキュームポンプ２の部品点数を削減することができる。

【0053】

以上、本開示の一実施形態に係るバキュームポンプについて説明したが、本開示は上記の形態に限定されるものではなく、本開示の目的を逸脱しない範囲での種々の変更が可能である。

【符号の説明】

【0054】

２ バキュームポンプ
３ ポンプ室
５ 排気口
６ 排気通路
８ 出口流路部
１０ ポンプケーシング本体（下側ケーシング）
１２ ポンプカバー（上側ケーシング）
２０ 排気通路の壁面
２１ 第１領域
２２Ａ 中空筒部材
２２Ｂ 中空筒部材
２３ 第２領域
２４Ａ 撥水被膜
２４Ｂ 撥水被膜
３２ 弁体
３４ 弁座
４４ ストッパ
４７ 筒状部
４８ ボア
７２ 消音室（上流側通路部）
７４ 消音室（上流側通路部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】