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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022049238
(43)【公開日】2022-03-29
(54)【発明の名称】超音波検査方法、及び超音波検査装置
(51)【国際特許分類】
G01N 29/265 20060101AFI20220322BHJP
【ＦＩ】
G01N29/265
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020155344
(22)【出願日】2020-09-16
(71)【出願人】
【識別番号】000000284
【氏名又は名称】大阪瓦斯株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】000191397
【氏名又は名称】新和産業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】特許業務法人Ｒ＆Ｃ
(72)【発明者】
【氏名】中内 啓雅
(72)【発明者】
【氏名】笠谷 高宏
(72)【発明者】
【氏名】冨田 伸幸
(72)【発明者】
【氏名】平林 秀雄
(72)【発明者】
【氏名】森中 満
【テーマコード（参考）】
2G047
【Ｆターム（参考）】
2G047AA05
2G047AB01
2G047BA03
2G047BC09
2G047DB03
2G047DB17
2G047GA06
2G047GA19
2G047GE01
2G047GJ14
(57)【要約】
【課題】表面に傷や模様等の凹凸がある被検査対象物であっても、その内部の欠損等の存在の有無を良好に検知する。
【解決手段】被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に対応した形状の第２凹凸部Ｇ１が形成される対向面Ｇ２を有する硬化物から成る検査治具Ｇを、第１凹凸部ＥＦ２に第２凹凸部Ｇ１を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程と、検査治具装着工程の後に、検査治具Ｇの対向面Ｇ２の裏面である治具表面Ｇ３に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器１２を走査させる送受波器走査工程とを実行する。
【選択図】図１
【解決手段】被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に対応した形状の第２凹凸部Ｇ１が形成される対向面Ｇ２を有する硬化物から成る検査治具Ｇを、第１凹凸部ＥＦ２に第２凹凸部Ｇ１を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程と、検査治具装着工程の後に、検査治具Ｇの対向面Ｇ２の裏面である治具表面Ｇ３に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器１２を走査させる送受波器走査工程とを実行する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
表面に凹み及び突起の少なくとも一方を備える第１凹凸部を有する被検査対象物を超音波により検査する超音波検査方法であって、
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具を、前記第１凹凸部に前記第２凹凸部を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程と、
前記検査治具装着工程の後に、前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器を走査させる送受波器走査工程とを実行する超音波検査方法。
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具を、前記第１凹凸部に前記第２凹凸部を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程と、
前記検査治具装着工程の後に、前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器を走査させる送受波器走査工程とを実行する超音波検査方法。
【請求項2】
前記検査治具装着工程は、前記被検査対象物の表面と前記検査治具の前記対向面との間に高粘度物質を塗布する高粘度物質塗布工程を含む請求項１に記載の超音波検査方法。
【請求項3】
前記検査治具装着工程では、前記嵌合状態において、前記被検査対象物の表面に沿う表面方向で、前記第１凹凸部と前記第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、前記検査治具を前記被検査対象物に対して装着する請求項２に記載の超音波検査方法。
【請求項4】
前記検査治具装着工程では、前記嵌合状態において、前記被検査対象物の表面に直交する垂直方向で、前記第１凹凸と前記第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、前記検査治具を前記被検査対象物に対して装着する請求項２又は３に記載の超音波検査方法。
【請求項5】
前記検査治具装着工程の後で前記送受波器走査工程の前に、前記検査治具の前記対向面を前記被検査対象物の前記表面に対して押圧しながら前記表面に沿う方向で摺動する押圧摺動工程を実行する請求項２～４の何れか一項に記載の超音波検査方法。
【請求項6】
前記検査治具装着工程の前に、加熱して軟化させた熱硬化性又は熱可塑性樹脂を前記被検査対象物の前記表面の前記第１凹凸部へ押し付け所定時間放置して硬化させ前記第２凹凸部を前記対向面に対して形成することで前記検査治具を成型する対向面形成工程を実行する請求項１～５の何れか一項に記載の超音波検査方法。
【請求項7】
前記被検査対象物が円筒形状であり、
前記第１凹凸部が前記被検査対象物の筒軸周りの周方向に沿って連続して形成されている請求項１～６の何れか一項に記載の超音波検査方法。
前記第１凹凸部が前記被検査対象物の筒軸周りの周方向に沿って連続して形成されている請求項１～６の何れか一項に記載の超音波検査方法。
【請求項8】
前記被検査対象物は、流体を内部に通流する一対の配管と、
前記一対の配管を溶着するＥＦ管継手とを含む請求項７に記載の超音波検査装置。
前記一対の配管を溶着するＥＦ管継手とを含む請求項７に記載の超音波検査装置。
【請求項9】
前記検査治具は、板状であって、その表面が前記被検査対象物の前記円筒形状の表面に沿う形状である請求項７又は８に記載の超音波検査装置。
【請求項10】
表面に凹み及び突起の少なくとも一方を有する第１凹凸部を備える被検査対象物を超音波により検査する超音波検査装置であって、
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具と、
前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器とを備える超音波検査装置。
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具と、
前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器とを備える超音波検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、表面に凹み又は突起の少なくとも何れか一方からなる第１凹凸部を有する被検査対象物を超音波により検査する超音波検査方法及び超音波検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、特許文献１に開示の技術の如く、被検査対象物の内部の溶着箇所等に形成される欠損等を検知するべく、超音波を用いて被検査対象物の内部を検査する超音波検査方法及び超音波検査装置が知られている。
当該特許文献１に開示の技術では、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器を有する超音波検査装置を、被検査対象物の表面に沿う状態で走査して、被検査対象物の内部を検査する。超音波検査装置において、被検査対象物の表面に沿って回転駆動する回転輪及び当該回転輪の回転量を位置情報へ変換するロータリーエンコーダを備えることにより、被検査対象物の表面走査方向におけるどの箇所の内部に、欠損等が存在する可能性があるかを検知できる。
当該特許文献１に開示の技術では、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器を有する超音波検査装置を、被検査対象物の表面に沿う状態で走査して、被検査対象物の内部を検査する。超音波検査装置において、被検査対象物の表面に沿って回転駆動する回転輪及び当該回転輪の回転量を位置情報へ変換するロータリーエンコーダを備えることにより、被検査対象物の表面走査方向におけるどの箇所の内部に、欠損等が存在する可能性があるかを検知できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００２－０４８７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記特許文献１に開示の技術では、被検査対象物の表面が平面又は比較的緩やかな曲面である場合には良好に検査ができるものの、表面に傷や模様等の凹凸がある場合には、反射波を画像化した場合に、内部の溶着箇所等に形成される欠損等が表示されなかったり、表面の凹凸に起因するノイズが表示されたりすることになり、改善の余地があった。
【0005】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、表面に傷や模様等の凹凸がある被検査対象物であっても、その内部の欠損等の存在の有無を良好に検知できる超音波検査方法、及び超音波検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するための超音波検査方法は、
表面に凹み及び突起の少なくとも一方を有する第１凹凸部を備える被検査対象物を超音波により検査する超音波検査方法であって、その特徴構成は、
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具を、前記第１凹凸部に前記第２凹凸部を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程と、
前記検査治具装着工程の後に、前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器を走査させる送受波器走査工程とを実行する点にある。
表面に凹み及び突起の少なくとも一方を有する第１凹凸部を備える被検査対象物を超音波により検査する超音波検査方法であって、その特徴構成は、
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具を、前記第１凹凸部に前記第２凹凸部を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程と、
前記検査治具装着工程の後に、前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器を走査させる送受波器走査工程とを実行する点にある。
【0007】
上記特徴構成によれば、被検査対象物の第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具を用いることで、検査治具装着工程において、被検査対象物の表面に形成される第１凹凸部に対して検査治具の対向面の第２凹凸部を嵌合させることができる。更に、当該嵌合状態で、送受波器走査工程を実行することで、検査治具の対向面の裏側の治具表面に超音波を送受信する送受波器を走査すればよく、被検査対象物の表面に形成される第１凹凸部の表面に送受波器を沿わせる必要がなくなるから、送受波器の走査を円滑に実行できる。
これにより、表面に凹凸が多く存在する被検査対象物であっても、その内部の状態を良好に検知することができる超音波検査方法を実現できる。
これにより、表面に凹凸が多く存在する被検査対象物であっても、その内部の状態を良好に検知することができる超音波検査方法を実現できる。
【0008】
超音波検査方法の更なる特徴構成は、
前記検査治具装着工程は、前記被検査対象物の表面と前記検査治具の前記対向面との間に高粘度物質を塗布する高粘度物質塗布工程を含む点にある。
前記検査治具装着工程は、前記被検査対象物の表面と前記検査治具の前記対向面との間に高粘度物質を塗布する高粘度物質塗布工程を含む点にある。
【0009】
上記特徴構成によれば、被検査対象物の第１凹凸部と検査治具の第２凹凸部との間に、隙間が形成される場合であっても、当該隙間を高粘度物質により埋めることができ、隙間での超音波の反射を抑制することでノイズを低減することができる。
【0010】
超音波検査方法の更なる特徴構成は、
前記検査治具装着工程では、前記嵌合状態において、前記被検査対象物の表面に沿う表面方向で、前記第１凹凸部と前記第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、前記検査治具を前記被検査対象物に対して装着する点にある。
前記検査治具装着工程では、前記嵌合状態において、前記被検査対象物の表面に沿う表面方向で、前記第１凹凸部と前記第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、前記検査治具を前記被検査対象物に対して装着する点にある。
【0011】
発明者らは、鋭意検討した結果、嵌合状態において、被検査対象物の表面に沿う表面方向で第１凹凸部と第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、検査治具を被検査対象物に対して装着することで、被検査対象物と検査治具との間の高粘度物質が、第１凹凸部と第２凹凸部との表面方向での隙間に沿って全域に亘って略均等に広がるので、送受波器からの送信波が第１凹凸部の近傍で反射し難くなり、当該部位でのノイズをより一層良好に低減できるという知見を見出した。
因みに、発明者らは、送受波器から送信される送信波の通過方向において高粘度物質が厚いほど、ノイズが発生し易いことを、後述する実験により確認している。
因みに、発明者らは、送受波器から送信される送信波の通過方向において高粘度物質が厚いほど、ノイズが発生し易いことを、後述する実験により確認している。
【0012】
超音波検査方法の更なる特徴構成は、
前記検査治具装着工程では、前記嵌合状態において、前記被検査対象物の表面に直交する垂直方向で、前記第１凹凸と前記第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、前記検査治具を前記被検査対象物に対して装着する点にある。
前記検査治具装着工程では、前記嵌合状態において、前記被検査対象物の表面に直交する垂直方向で、前記第１凹凸と前記第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、前記検査治具を前記被検査対象物に対して装着する点にある。
【0013】
発明者らは、鋭意検討した結果、嵌合状態において、被検査対象物の表面に直交する垂直方向で第１凹凸部と第２凹凸部との間に隙間を設ける状態で、検査治具を被検査対象物に対して装着することで、被検査対象物と検査治具との間の高粘度物質が、第１凹凸部と第２凹凸部との表面に直交する垂直方向での隙間に沿って全域に亘って略均等に広がるので、送受波器からの送信波が第１凹凸部の近傍で反射し難くなり、当該部位でのノイズをより一層良好に低減できるという知見を見出した。
【0014】
超音波検査方法の更なる特徴構成は、
前記検査治具装着工程の後で前記送受波器走査工程の前に、前記検査治具の前記対向面を前記被検査対象物の前記表面に対して押圧しながら前記表面に沿う方向で摺動する押圧摺動工程を実行する点にある。
前記検査治具装着工程の後で前記送受波器走査工程の前に、前記検査治具の前記対向面を前記被検査対象物の前記表面に対して押圧しながら前記表面に沿う方向で摺動する押圧摺動工程を実行する点にある。
【0015】
上記特徴構成によれば、検査治具装着工程の後に、押圧摺動工程を実行することで、検査治具の対向面を被検査対象物の表面に対して押圧しながら表面に沿う方向で摺動することで、検査治具の対向面と被検査対象物の表面との間の高粘度物質の厚みを略均一化できると共に十分に薄くすることができるから、検知結果のノイズをより一層低減できる。
【0016】
超音波検査方法の更なる特徴構成は、
前記検査治具装着工程の前に、加熱して軟化させた熱硬化性又は熱可塑性樹脂を前記被検査対象物の前記表面の前記第１凹凸部へ押し付け所定時間放置して硬化させ前記第２凹凸部を前記対向面に対して形成することで前記検査治具を成型する対向面形成工程を実行する点にある。
前記検査治具装着工程の前に、加熱して軟化させた熱硬化性又は熱可塑性樹脂を前記被検査対象物の前記表面の前記第１凹凸部へ押し付け所定時間放置して硬化させ前記第２凹凸部を前記対向面に対して形成することで前記検査治具を成型する対向面形成工程を実行する点にある。
【0017】
上記特徴構成によれば、軟化した熱硬化性又は熱可塑性樹脂を被検査対象物の表面に押し付けることで、当該熱硬化性樹脂の対向面に対して、被検査対象物の表面に形成される第１凹凸部に対応する形状としての第２凹凸部を、切削加工等を行うことなく、容易に形成することができる。
【0018】
超音波検査方法としては、
前記被検査対象物が円筒形状であり、
前記第１凹凸部が前記被検査対象物の筒軸周りの周方向に沿って連続して形成されている場合にも好適にも好適に適用可能である。
具体的には、前記被検査対象物が、流体を内部に通流する一対の配管と、
前記一対の配管を溶着するＥＦ管継手とを含む場合であっても、超音波検査を好適に実施できる。
この場合、前記検査治具は、板状であって、その表面が前記被検査対象物の前記円筒形状の表面に沿う形状となる。
前記被検査対象物が円筒形状であり、
前記第１凹凸部が前記被検査対象物の筒軸周りの周方向に沿って連続して形成されている場合にも好適にも好適に適用可能である。
具体的には、前記被検査対象物が、流体を内部に通流する一対の配管と、
前記一対の配管を溶着するＥＦ管継手とを含む場合であっても、超音波検査を好適に実施できる。
この場合、前記検査治具は、板状であって、その表面が前記被検査対象物の前記円筒形状の表面に沿う形状となる。
【0019】
上記目的を達成するための超音波検査装置は、
表面に凹み及び突起の少なくとも一方を有する第１凹凸部を備える被検査対象物を超音波により検査する超音波検査装置であって、その特徴構成は、
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具と、
前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器とを備える点にある。
表面に凹み及び突起の少なくとも一方を有する第１凹凸部を備える被検査対象物を超音波により検査する超音波検査装置であって、その特徴構成は、
前記被検査対象物の前記第１凹凸部に対応した形状の第２凹凸部が形成される対向面を有する硬化物から成る検査治具と、
前記検査治具の前記対向面の裏面である治具表面に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器とを備える点にある。
【0020】
上記特徴構成を有する超音波検査装置によれば、これまで説明してきた超音波検査方法を好適に実行して、表面に凹凸が多く存在する検査対象物であっても、その内部の状態を良好に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】実施形態に係る超音波検査方法を実行する超音波検査装置の斜視図である。
【図2】実施形態に係る超音波検査方法を実行する超音波検査装置の一部断面図である。
【図3】検査治具の対向面と被検査対象物の表面との間の隙間の形成状態のパターンを示す図である。
【図4】検査治具の対向面と被検査対象物の表面との間に隙間がない場合の検査結果である。
【図5】検査治具の凸部の側方側と検査対象物の表面との間に隙間がある場合の検査結果である。
【図6】検査治具の凹部の上側と検査対象物の表面との間に隙間がある場合の検査結果である。
【図7】検査治具の凸部の側方側と検査対象物の表面との間に隙間がある場合で、検査治具を被検査対象物に対して軽く載置したときの検査結果である。
【図8】エラストマーから成る検査治具を用いた場合の検査結果である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
本発明の実施形態に係る超音波検査方法、及び超音波検査装置は、表面に傷や模様等の凹凸がある被検査対象物であっても、その内部の溶着箇所等に形成される欠損等の存在の有無を良好に検知できるものに関する。
以下、図１、２に基づいて、本発明に係る超音波検査装置１００を説明する。
以下、図１、２に基づいて、本発明に係る超音波検査装置１００を説明する。
【0023】
当該実施形態に係る超音波検査装置１００は、表面ＥＦ３に凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａの少なくとも一方を有する第１凹凸部ＥＦ２を備える被検査対象物Ｈを超音波により検査する超音波検査装置１００である。
超音波検査装置１００は、図１又は図２に示すように、被検査対象物Ｈに対して超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器１２と、当該送受波器１２とケーブル５を介して電気的に接続された信号処理部２０とを備えている。
当該送受波器１２は、送受波器支持本体１３に対して被検査対象物Ｈに対する遠近方向に出退移動自在に支持されており、検査時に被検査対象物Ｈ側の端部に設けられるプローブ１５を被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に接当させた状態で、送受波器支持本体１３を被検査対象物Ｈの表面に沿って移動させ、被検査対象物Ｈの内部の状態を検査可能に構成されている。検査結果は、送受波器１２からケーブル５を介して信号処理部２０へ送られ、当該信号処理部２０にて処理されてモニタ６に表示される。
超音波検査装置１００は、図１又は図２に示すように、被検査対象物Ｈに対して超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器１２と、当該送受波器１２とケーブル５を介して電気的に接続された信号処理部２０とを備えている。
当該送受波器１２は、送受波器支持本体１３に対して被検査対象物Ｈに対する遠近方向に出退移動自在に支持されており、検査時に被検査対象物Ｈ側の端部に設けられるプローブ１５を被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に接当させた状態で、送受波器支持本体１３を被検査対象物Ｈの表面に沿って移動させ、被検査対象物Ｈの内部の状態を検査可能に構成されている。検査結果は、送受波器１２からケーブル５を介して信号処理部２０へ送られ、当該信号処理部２０にて処理されてモニタ６に表示される。
【0024】
尚、当該実施形態では、被検査対象物Ｈは、表面ＥＦ３に凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａの少なくとも一方を有する第１凹凸部ＥＦ２を備えるものとして、都市ガス（例えば、都市ガス１３Ａ等）等の気体を通流する一対のガス管Ｌ（配管の一例）と、当該ガス管Ｌの接続部位Ｌａを気密に溶着するためのＥＦ管継手ＥＦとから成るものとする。更に、当該実施形態において、第１凹凸部ＥＦ２は、ＥＦ管継手ＥＦの表面ＥＦ３に管軸周りの管周方向に沿って延びる凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａが交互に複数形成される。
尚、ＥＦ管継手ＥＦの第１凹凸部ＥＦ２が設けられる表面には、その内部に配設される導電線（図示せず）の一端に電気的に接続可能な一端接続部位ＥＦ１ａが設けられると共に、導電線（図示せず）の他端に電気的に接続可能な他端接続部位ＥＦ１ｂが設けられ、図示しない電源から電圧が印加されることにより、ガス管Ｌの接続部位Ｌａの周囲でＥＦ管継手ＥＦが溶けて融着することで接続部位Ｌａが気密に接続される。尚、導電線は、ＥＦ管継手ＥＦの内部にその円筒形状に沿って巻回される形態で、設けられている。
即ち、当該実施形態にあっては、被検査対象物Ｈは、円筒形状であり、第１凹凸部ＥＦ２は、そのＥＦ管継手ＥＦの筒軸周りの周方向に沿って連続して形成されている。
尚、ＥＦ管継手ＥＦの第１凹凸部ＥＦ２が設けられる表面には、その内部に配設される導電線（図示せず）の一端に電気的に接続可能な一端接続部位ＥＦ１ａが設けられると共に、導電線（図示せず）の他端に電気的に接続可能な他端接続部位ＥＦ１ｂが設けられ、図示しない電源から電圧が印加されることにより、ガス管Ｌの接続部位Ｌａの周囲でＥＦ管継手ＥＦが溶けて融着することで接続部位Ｌａが気密に接続される。尚、導電線は、ＥＦ管継手ＥＦの内部にその円筒形状に沿って巻回される形態で、設けられている。
即ち、当該実施形態にあっては、被検査対象物Ｈは、円筒形状であり、第１凹凸部ＥＦ２は、そのＥＦ管継手ＥＦの筒軸周りの周方向に沿って連続して形成されている。
【0025】
図１、２に示すように、送受波器支持本体１３は、その横断面形状が下向き略コの字状となるように構成してあり、検査時において、その被検査対象物Ｈの側の端部に、回転輪２６を有すると共に、当該回転輪２６とは別に被検査対象物Ｈに当接可能な当接端部２４を有する。即ち、検査時においては、回転輪２６を被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿って回転させると共に、当接端部２４を被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿って摺動させることにより、送受波器支持本体１３を被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿って移動自在に構成してある。
尚、図２に示すように、送受波器１２のプローブ１５は、回転輪２６と当接端部２４との間に設けられている。
尚、図２に示すように、送受波器１２のプローブ１５は、回転輪２６と当接端部２４との間に設けられている。
【0026】
送受波器支持本体１３の内部には、回転輪２６の回転量（送受波器支持本体１３の移動量）を検出可能なロータリーエンコーダ２７が設けられている。
説明を追加すると、回転輪２６の回転は、回転輪回転軸２８と、第１プーリ２９と、ベルト３０と、第２プーリ３１と、回転軸３２とからなるベルト伝達機構３３を介して、ロータリーエンコーダ２７に伝達され、その回転数に基づいて送受波器支持本体１３の移動量を検出し、ケーブル５を介して信号処理部２０に伝達するように構成してある。
説明を追加すると、回転輪２６の回転は、回転輪回転軸２８と、第１プーリ２９と、ベルト３０と、第２プーリ３１と、回転軸３２とからなるベルト伝達機構３３を介して、ロータリーエンコーダ２７に伝達され、その回転数に基づいて送受波器支持本体１３の移動量を検出し、ケーブル５を介して信号処理部２０に伝達するように構成してある。
【0027】
送受波器１２について説明を追加すると、当該送受波器１２のプローブ１５は、回転輪２６及び当接端部２４を被検査対象物Ｈに接当させた状態で、その被検査対象物Ｈに対する遠近方向に送受波器１２を出退移動自在に支持されている。
すなわち、送受波器１２としてのプローブ１５は、送受波器支持本体１３の内側に設けてあるコイルバネ３６により、コイルバネ３６の自然状態において、送受波器支持本体１３の内側へ引退する引退姿勢をとるように設けられると共に、プローブ１５を含む送受波器１２は、検査時において、送受波器支持本体１３の外側から指等により把持して被検査対象物Ｈの側へ押下可能に構成されている。
以上の構成により、超音波検査装置１００は、検査時においては、送受波器１２を把持し、回転輪２６と当接端部２４とを被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に当接させて、超音波検査装置１００を被検査対象物Ｈ上に設置し、コイルバネ３６の付勢力に逆らって送受波器１２を被検査対象物Ｈに近接する方向に押下することで、プローブ１５の先端面３７を被検査対象物Ｈ表面ＥＦ３に当接し密着させることができる。更に、この状態で、スイッチ３８をＯＮにして超音波を被検査対象物Ｈに対して送信することができる。
一方、非検査時においては、プローブ１５が送受波器支持本体１３の内部に引退することで、他の部材との接触による損傷を防止できる。
すなわち、送受波器１２としてのプローブ１５は、送受波器支持本体１３の内側に設けてあるコイルバネ３６により、コイルバネ３６の自然状態において、送受波器支持本体１３の内側へ引退する引退姿勢をとるように設けられると共に、プローブ１５を含む送受波器１２は、検査時において、送受波器支持本体１３の外側から指等により把持して被検査対象物Ｈの側へ押下可能に構成されている。
以上の構成により、超音波検査装置１００は、検査時においては、送受波器１２を把持し、回転輪２６と当接端部２４とを被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に当接させて、超音波検査装置１００を被検査対象物Ｈ上に設置し、コイルバネ３６の付勢力に逆らって送受波器１２を被検査対象物Ｈに近接する方向に押下することで、プローブ１５の先端面３７を被検査対象物Ｈ表面ＥＦ３に当接し密着させることができる。更に、この状態で、スイッチ３８をＯＮにして超音波を被検査対象物Ｈに対して送信することができる。
一方、非検査時においては、プローブ１５が送受波器支持本体１３の内部に引退することで、他の部材との接触による損傷を防止できる。
【0028】
さて、上述した超音波検査装置１００を用いて、その表面ＥＦ３に第１凹凸部ＥＦ２が設けられている被検査対象物Ｈの内部を検査する場合、被検査対象物Ｈの表面に沿って送受波器１２のプローブ１５を走査するときに、プローブ１５が凹みＥＦ２ｂ又は突起ＥＦ２ａに引っ掛かり、滑らかな走査ができなくなる可能性が高い。また、操作時に、送受波器１２のプローブ１５と被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３との十分な接触状態を維持できなくなる。この場合、超音波は、音響インピーダンスが異なる空気と被検査対象物Ｈとを通過することになるため、検査結果にノイズが発生したり、被検査対象物Ｈの内部の欠損等を検出できなかったりする虞がある。
そこで、当該実施形態に係る超音波検査装置１００は、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に対応した形状の第２凹凸部Ｇ１が形成される対向面Ｇ２を有する硬化物から成る検査治具Ｇを有し、当該検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１が被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に嵌合する嵌合状態において、超音波検査を実行する。
即ち、当該嵌合状態においては、被検査対象物Ｈの凹みＥＦ２ｂと検査治具Ｇの突起Ｇ１ｂとが対向すると共に、被検査対象物Ｈの突起ＥＦ２ａと検査治具Ｇの凹みＧ１ａとが対向する状態で、互いが嵌合する状態となる。
当該実施形態において、検査治具Ｇは、その表面が被検査対象物ＨのＥＦ管継手ＥＦの外表面ＥＦ３に沿う板形状であり、ＥＦ管継手ＥＦの外表面ＥＦ３の管軸周りの一部を覆う形状である。
そこで、当該実施形態に係る超音波検査装置１００は、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に対応した形状の第２凹凸部Ｇ１が形成される対向面Ｇ２を有する硬化物から成る検査治具Ｇを有し、当該検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１が被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に嵌合する嵌合状態において、超音波検査を実行する。
即ち、当該嵌合状態においては、被検査対象物Ｈの凹みＥＦ２ｂと検査治具Ｇの突起Ｇ１ｂとが対向すると共に、被検査対象物Ｈの突起ＥＦ２ａと検査治具Ｇの凹みＧ１ａとが対向する状態で、互いが嵌合する状態となる。
当該実施形態において、検査治具Ｇは、その表面が被検査対象物ＨのＥＦ管継手ＥＦの外表面ＥＦ３に沿う板形状であり、ＥＦ管継手ＥＦの外表面ＥＦ３の管軸周りの一部を覆う形状である。
【0029】
尚、当該実施形態における超音波検査装置１００では、検査時において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３と検査治具Ｇの対向面Ｇ２との間に、グリセリンＪ（高粘度物質の一例）が塗布される。
ここで、グリセリンＪ及び検査治具Ｇは、音響インピーダンスが、被検査対象物Ｈの音響インピーダンスと略同等となる材料を用いることが好ましく、検査治具Ｇは、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料を好適に用いることができる。当該材料を用いる場合、検査治具Ｇは、予め被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３の形状に対応した形状に加工される。
ここで、グリセリンＪ及び検査治具Ｇは、音響インピーダンスが、被検査対象物Ｈの音響インピーダンスと略同等となる材料を用いることが好ましく、検査治具Ｇは、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等の樹脂材料を好適に用いることができる。当該材料を用いる場合、検査治具Ｇは、予め被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３の形状に対応した形状に加工される。
【0030】
当該実施形態に示す超音波検査装置１００の如く、第１凹凸部ＥＦ２を有する被検査対象物Ｈの検査を、第２凹凸部Ｇ１を有する検査治具Ｇを用いて検査を行う場合、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間を、高粘度物質ＪとしてのグリセリンＪを隙間なく適切に満たす必要がある。
そこで、当該実施形態に係る検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１は、図３（Ｂ）に示すように、嵌合状態において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿う表面方向で、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状とする。当該隙間Ｓ（図３（Ｂ）でＬ１）は、グリセリンＪを介在させる意味で０ｍｍを超え、且つグリセリンＪの不足が発生することを抑制するべく０．４ｍｍ以下程度とすることが好ましい。以下で示す検査では、０．１ｍｍに設定している。
また、検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１は、図３（Ｃ）に示すように、嵌合状態において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に直交する垂直方向で、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２の突起ＥＦ２ａと第２凹凸部Ｇ１の凹みＧ１ａとの間に隙間Ｓを設ける形状としても構わない。当該隙間Ｓ（図３（Ｃ）でＬ２）は、グリセリンＪを介在させる意味で０ｍｍを超え、且つグリセリンＪの不足が発生することを抑制するべく０．４ｍｍ以下程度とすることが好ましい。以下で示す検査では、０．２ｍｍに設定している。
尚、検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１は、図３（Ｂ）に示す形状単独であっても良いし、図３（Ｃ）に示す形状単独であっても良いし、図３（Ｂ）に示す形状と図３（Ｃ）に示す形状の双方を有する形状であっても良い。
そこで、当該実施形態に係る検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１は、図３（Ｂ）に示すように、嵌合状態において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿う表面方向で、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状とする。当該隙間Ｓ（図３（Ｂ）でＬ１）は、グリセリンＪを介在させる意味で０ｍｍを超え、且つグリセリンＪの不足が発生することを抑制するべく０．４ｍｍ以下程度とすることが好ましい。以下で示す検査では、０．１ｍｍに設定している。
また、検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１は、図３（Ｃ）に示すように、嵌合状態において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に直交する垂直方向で、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２の突起ＥＦ２ａと第２凹凸部Ｇ１の凹みＧ１ａとの間に隙間Ｓを設ける形状としても構わない。当該隙間Ｓ（図３（Ｃ）でＬ２）は、グリセリンＪを介在させる意味で０ｍｍを超え、且つグリセリンＪの不足が発生することを抑制するべく０．４ｍｍ以下程度とすることが好ましい。以下で示す検査では、０．２ｍｍに設定している。
尚、検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１は、図３（Ｂ）に示す形状単独であっても良いし、図３（Ｃ）に示す形状単独であっても良いし、図３（Ｂ）に示す形状と図３（Ｃ）に示す形状の双方を有する形状であっても良い。
【0031】
尚、検査治具Ｇとしては、上述した材料以外に、例えば、熱可塑性エラストマー（熱可塑性樹脂の一例：具体的には、オレフィン系エラストマー（商品名：プラスチックねんど おゆまる）を用いることができる。当該材料を用いる場合、後述する検査治具装着工程の前に、加熱して軟化させた熱可塑性エラストマーを被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３の第１凹凸部ＥＦ２へ押し付け所定時間（例えば、１５秒以上６０秒以下程度の時間）放置し冷却後に硬化させ第２凹凸部Ｇ１を対向面Ｇ２に対して形成することで検査治具Ｇを成型する。
従って、熱可塑性エラストマーを用いた検査治具Ｇは、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２と検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１との間に隙間は形成されない形状（図３（Ａ）に示す形状）となる。
従って、熱可塑性エラストマーを用いた検査治具Ｇは、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２と検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１との間に隙間は形成されない形状（図３（Ａ）に示す形状）となる。
【0032】
次に、当該実施形態に係る検査治具Ｇを用いた検査方法を説明する。
まず、検査治具Ｇとして、ポリエチレン等の樹脂材料により、その第２凹凸部Ｇ１が、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に対応した形状に成型されているものを用いる場合について説明する。
この場合、まず、検査治具Ｇを、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に第２凹凸部Ｇ１を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程を実行する。ここで、検査治具装着工程では、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３と検査治具Ｇの対向面Ｇ２との間にグリセリンＪを塗布するグリセリン塗布工程を含む。
まず、検査治具Ｇとして、ポリエチレン等の樹脂材料により、その第２凹凸部Ｇ１が、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に対応した形状に成型されているものを用いる場合について説明する。
この場合、まず、検査治具Ｇを、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２に第２凹凸部Ｇ１を嵌合させる嵌合状態とする検査治具装着工程を実行する。ここで、検査治具装着工程では、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３と検査治具Ｇの対向面Ｇ２との間にグリセリンＪを塗布するグリセリン塗布工程を含む。
【0033】
更に、当該検査治具装着工程の後に、検査治具Ｇの対向面Ｇ２を被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に対して押圧しながら表面ＥＦ３に沿う方向（第１凹凸部ＥＦ２の延びる方向）で摺動する押圧摺動工程を実行する。これにより、グリセリンＪを第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間になじませることができる。
更に、検査治具Ｇとして、図３（Ｂ）に示すように、嵌合状態において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿う表面方向で、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状のものを採用している場合、検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１の突起Ｇ１ｂの両端に、隙間Ｓが形成される状態で、検査治具Ｇを被検査対象物Ｈに対して、グリセリンＪの粘性により一時固定される。
更に、検査治具Ｇとして、図３（Ｂ）に示すように、嵌合状態において、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿う表面方向で、被検査対象物Ｈの第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状のものを採用している場合、検査治具Ｇの第２凹凸部Ｇ１の突起Ｇ１ｂの両端に、隙間Ｓが形成される状態で、検査治具Ｇを被検査対象物Ｈに対して、グリセリンＪの粘性により一時固定される。
【0034】
当該検査治具装着工程及び押圧摺動工程の後に、検査治具Ｇの対向面Ｇ２の裏面である治具表面Ｇ３に対して、超音波の送信波を送信すると共に当該送信した送信波の反射波を受信する送受波器１２を、被検査対象物Ｈの管軸方向に沿う捜査方向Ｋに沿って走査させる送受波器走査工程とを実行する。
【0035】
一方、検査治具Ｇとして、熱可塑性エラストマーから成るものを用いる場合、検査治具装着工程の前に、加熱して軟化させた熱可塑性エラストマーを被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３の第１凹凸部ＥＦ２へ押し付け所定時間（例えば、１０秒以上６０秒以下程度の時間）放置し冷却後に硬化させ第２凹凸部Ｇ１を検査治具Ｇの対向面Ｇ２に対して形成することで検査治具Ｇを成型する対向面形成工程を実行する。その後の工程については、グリセリンＪを使用しない点を除き、上述した工程と同一の工程を実行する。
【0036】
次に、これまで説明してきた超音波検査装置１００及び超音波検査方法を用いた検査結果について、図３～８に基づいて説明する。尚、図４～８において、縦軸は、ＥＦ管継手ＥＦの表面ＥＦ３からの深さを示しており、横軸は、捜査方向Ｋで操作開始位置からの距離を示しており、凡例は、色が濃いほど超音波の反射強度が高いことを示している。
当該検査では、ポリエチレン等の樹脂材料から成る検査治具Ｇを図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）の形状を用いた検査結果としての超音波検出結果を、図４、５、６に示す。尚、図４、５、６に示す検査結果を得るための検査では、上述の押圧摺動工程を実行している。
当該検査では、被検査対象物ＨとしてのＥＦ管継手ＥＦの内部に埋め込まれる導電線Ｄを検出対象としている。
図３（Ａ）の如く、検査治具Ｇとして、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間を設けない形状を採用する場合、図４に示す検査結果において、強いノイズ（図４で矢印α）が現れることがわかる。
一方、図３（Ｂ）の如く、検査治具Ｇとして、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿う方向において、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状を採用する場合、図５に示す検査結果において、ノイズがなく、導電線Ｄが良好に検出されていることがわかる。
更に、図３（Ｃ）の如く、検査治具Ｇとして、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３と直交する方向において、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状を採用する場合、図６に示す検査結果においても、ノイズが少なく、導電線Ｄが良好に検出されていることがわかる。
当該検査結果の如く、図３（Ｂ）、（Ｃ）の如く、隙間Ｓを設けた場合に、良好な検査結果が得られた理由としては、押圧摺動工程を実行しているときに、グリセリンＪが第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間において当該隙間Ｓを介して移動して、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間を空気がほぼ存在しない状態を実現できたためと考えられる。
当該検査では、ポリエチレン等の樹脂材料から成る検査治具Ｇを図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）の形状を用いた検査結果としての超音波検出結果を、図４、５、６に示す。尚、図４、５、６に示す検査結果を得るための検査では、上述の押圧摺動工程を実行している。
当該検査では、被検査対象物ＨとしてのＥＦ管継手ＥＦの内部に埋め込まれる導電線Ｄを検出対象としている。
図３（Ａ）の如く、検査治具Ｇとして、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間を設けない形状を採用する場合、図４に示す検査結果において、強いノイズ（図４で矢印α）が現れることがわかる。
一方、図３（Ｂ）の如く、検査治具Ｇとして、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３に沿う方向において、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状を採用する場合、図５に示す検査結果において、ノイズがなく、導電線Ｄが良好に検出されていることがわかる。
更に、図３（Ｃ）の如く、検査治具Ｇとして、被検査対象物Ｈの表面ＥＦ３と直交する方向において、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間に隙間Ｓを設ける形状を採用する場合、図６に示す検査結果においても、ノイズが少なく、導電線Ｄが良好に検出されていることがわかる。
当該検査結果の如く、図３（Ｂ）、（Ｃ）の如く、隙間Ｓを設けた場合に、良好な検査結果が得られた理由としては、押圧摺動工程を実行しているときに、グリセリンＪが第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間において当該隙間Ｓを介して移動して、第１凹凸部ＥＦ２と第２凹凸部Ｇ１との間を空気がほぼ存在しない状態を実現できたためと考えられる。
【0037】
一方、図３（Ｂ）に示す形状の検査治具Ｇを用いて、上述の押圧摺動工程を実施することなく、グリセリンＪを塗布した被検査対象物Ｈに対して検査治具Ｇを軽く載せた場合には、図７の検査結果に示す如く、導電線Ｄを適切に検出できていない箇所（図７で矢印α２）が存在し、良好な検査結果が得られていないことがわかる。
【0038】
更に、熱可塑性エラストマーから成る検査治具Ｇを用いた場合、図８に示すように、一部信号の強い箇所（図８で矢印α３）が生じているものの、ほぼ良好な検査結果が得られていることがわかる。
尚、当該熱可塑性エラストマーから成る検査治具Ｇを用いた場合では、グリセリンＪを用いないため、上述の押圧摺動工程も実施していない。
尚、当該熱可塑性エラストマーから成る検査治具Ｇを用いた場合では、グリセリンＪを用いないため、上述の押圧摺動工程も実施していない。
【0039】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、被検査対象物Ｈは、都市ガス等の気体を通流する一対のガス管Ｌと、当該ガス管Ｌの接続部位Ｌａを気密に溶着するためのＥＦ管継手ＥＦとから成るものとした。
しかしながら、被検査対象物Ｈは、これに限定されるものではなく、表面ＥＦ３に凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａの少なくとも一方を有する第１凹凸部ＥＦ２を備えるものであれば、どのような構造のものでも採用できる。
また、上記実施形態では、第１凹凸部ＥＦ２は、ＥＦ管継手ＥＦの管周方向に沿って凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａが交互に複数形成される構成例を示したが、これに限られるものではなく、例えば、エンボス形状として凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａが形成されるものであっても構わない。
（１）上記実施形態では、被検査対象物Ｈは、都市ガス等の気体を通流する一対のガス管Ｌと、当該ガス管Ｌの接続部位Ｌａを気密に溶着するためのＥＦ管継手ＥＦとから成るものとした。
しかしながら、被検査対象物Ｈは、これに限定されるものではなく、表面ＥＦ３に凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａの少なくとも一方を有する第１凹凸部ＥＦ２を備えるものであれば、どのような構造のものでも採用できる。
また、上記実施形態では、第１凹凸部ＥＦ２は、ＥＦ管継手ＥＦの管周方向に沿って凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａが交互に複数形成される構成例を示したが、これに限られるものではなく、例えば、エンボス形状として凹みＥＦ２ｂ及び突起ＥＦ２ａが形成されるものであっても構わない。
【0040】
尚、上記実施形態（別実施形態を含む、以下同じ）で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することが可能であり、また、本明細書において開示された実施形態は例示であって、本発明の実施形態はこれに限定されず、本発明の目的を逸脱しない範囲内で適宜改変することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【0041】
本発明の超音波検査方法、及び超音波検査装置は、表面に傷や模様等の凹凸がある被検査対象物であっても、その内部の欠損等の存在の有無を良好に検知できる超音波検査方法、及び超音波検査装置として、有効に利用可能である。
【符号の説明】
【0042】
１２ ：送受波器
１００ ：超音波検査装置
ＥＦ２ ：第１凹凸部
ＥＦ２ａ ：突起
ＥＦ２ｂ ：凹み
Ｇ ：検査治具
Ｇ１ ：第２凹凸部
Ｇ１ａ ：凹み
Ｇ１ｂ ：突起
Ｇ２ ：対向面
Ｇ３ ：治具表面
Ｈ ：被検査対象物
Ｊ ：高粘度物質
Ｓ ：隙間
１００ ：超音波検査装置
ＥＦ２ ：第１凹凸部
ＥＦ２ａ ：突起
ＥＦ２ｂ ：凹み
Ｇ ：検査治具
Ｇ１ ：第２凹凸部
Ｇ１ａ ：凹み
Ｇ１ｂ ：突起
Ｇ２ ：対向面
Ｇ３ ：治具表面
Ｈ ：被検査対象物
Ｊ ：高粘度物質
Ｓ ：隙間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】