特開 2022-49643 ウエハ移送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022049643

(43)【公開日】2022-03-29

(54)【発明の名称】ウエハ移送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20220322BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20220322BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 B

B65G49/07 G

【審査請求】有

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2021043968

(22)【出願日】2021-03-17

(31)【優先権主張番号】109131896

(32)【優先日】2020-09-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】506292169

【氏名又は名称】力成科技股▲分▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(74)【代理人】

【識別番号】100112564

【弁理士】

【氏名又は名称】大熊 考一

(74)【代理人】

【識別番号】100163500

【弁理士】

【氏名又は名称】片桐 貞典

(74)【代理人】

【識別番号】230115598

【弁護士】

【氏名又は名称】木内 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】張 震

(72)【発明者】

【氏名】謝 明修

(72)【発明者】

【氏名】呂 元戎

(72)【発明者】

【氏名】莫 居縁

(72)【発明者】

【氏名】張 富翔

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131CA07

5F131CA22

5F131CA23

5F131CA49

5F131DA22

5F131DA42

5F131DB05

5F131DB22

5F131DB32

5F131DB36

(57)【要約】      （修正有）

【課題】歪んだウエハを安定して移送できるウエハ移送装置を提供する。
【解決手段】第１のウエハ２００を吸引及び移送するように適用されるウエハ移送装置１００であって、アーム１１０と、支持キャリア１２０と、を備える。支持キャリアは、アームに接続される。支持キャリアは、支持キャリアの上面１２０ａに露出する単一真空吸引口１３０を有する。支持キャリアは、第１のウエハの下の位置に移動するように適用される。単一真空吸引口は、第１のウエハの第１の中央領域を吸引し、第１のウエハを持ち上げて移送するように適用される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１のウエハを吸引及び移送するように適用されるウエハ移送装置であって、
アームと、
前記アームに接続され、上面に露出する単一真空吸引口を備える支持キャリアと、
を備え、
前記支持キャリアは、前記第１のウエハの下の位置に移動するように適用され、
前記単一真空吸引口は、前記第１のウエハの第１の中央領域を吸引し、前記第１のウエハを持ち上げて移送するように適用される、
ウエハ移送装置。

【請求項2】

前記支持キャリアは、基板と、前記基板上に配置されるシールリングと、前記基板及び前記シールリングの上に変化可能に配置される第１の柔軟部材と、を備え、
前記基板は、第１の穴を備え、
前記シールリングは、前記第１の穴に整列する第２の穴を備え、
前記第１の柔軟部材は、前記第２の穴に整列する第３の穴を備え、
前記第１の穴、前記第２の穴、及び前記第３の穴は、共に単一真空吸引口を形成する、
請求項１のウエハ移送装置。

【請求項3】

前記第１のウエハの第１の周辺領域は、前記第１の中央領域よりも高く、湾曲形状を提供し、
前記第１の柔軟部材の厚さは、前記第１のウエハの前記第１の周辺領域及び前記第１の中央領域の間の高低差よりも大きい、
請求項２のウエハ移送装置。

【請求項4】

前記支持キャリアが前記第１のウエハを持ち上げる時、前記支持キャリアは、前記第１のウエハの前記第１の周辺領域及び前記第１の中央領域に接触し、
前記第１のウエハの前記第１の中央領域に対応する位置における前記第１の柔軟部材の変形量は、前記第１のウエハの前記第１の周辺領域に対応する位置における前記第１の柔軟部材の変形量よりも大きい、
請求項３のウエハ移送装置。

【請求項5】

第２のウエハを吸引及び移送するようにさらに適用され、
前記第２のウエハの第２の周辺領域は、前記第２のウエハの第２の中央領域よりも高く、湾曲形状を提供し、
前記第２のウエハの前記第２の周辺領域及び前記第２の中央領域の間の高低差は、前記第１のウエハの前記第１の周辺領域及び前記第１の中央領域の間の前記高低差よりも大きく、
前記支持キャリアは、前記第１の柔軟部材を置換するための第２の柔軟部材をさらに備え、
前記第２の柔軟部材の厚さは、前記第１の柔軟部材の厚さよりも大きく、前記第２のウエハの前記第２の周辺領域及び前記第２の中央領域の間の前記高低差よりも大きい、
請求項３のウエハ移送装置。

【請求項6】

前記シールリングは、前記基板上の前記第１の穴に対応する位置に配置され、
前記支持キャリアは、前記シールリングの横に配置される平坦部材をさらに備え、
前記平坦部材は、前記基板及び前記第１の柔軟部材の間に配置される、
請求項２乃至５のいずれかのウエハ移送装置。

【請求項7】

前記平坦部材は、前記シールリングの外側を囲み、前記シールリングと同じ高さを有する、請求項６のウエハ移送装置。

【請求項8】

前記平坦部材の材料は、耐熱ゴムを含む、請求項６のウエハ移送装置。

【請求項9】

前記平坦部材の硬度は、前記第１の柔軟部材の硬度よりも大きい、請求項６のウエハ移送装置。

【請求項10】

前記支持キャリアは、基部と、基部から延伸する少なくとも１つの支持アームを備え
前記単一真空吸引口は、前記基部を通って貫通し、
前記少なくとも１つの支持アームは、前記第１のウエハの前記第１の周辺領域を運搬するために適用され、
請求項３乃至９のウエハ移送装置。

【請求項11】

前記少なくとも１つの支持アームは、上面に真空吸引口を有さない、請求項１０のウエハ移送装置。

【請求項12】

前記少なくとも１つの支持アームは、２つの支持アームを備え、
前記２つの支持アームと基部とは、Ｕ字形状を提供する、
請求項１０のウエハ移送装置

【請求項13】

前記少なくとも１つの支持アームは、前記アームから離れる方向に延伸する、請求項１０のウエハ移送装置

【請求項14】

前記第３の穴近傍の前記第１の柔軟部材の中央部分の厚さは、前記第３の穴遠方の前記第１の柔軟部材の周辺部分の厚さと同じである、請求項２乃至１３のウエハ移送装置。

【請求項15】

前記第３の穴近傍の前記第１の柔軟部材の中央部分の厚さは、前記第３の穴遠方の前記第１の柔軟部材の周辺部分の厚さより小さい、請求項２乃至１３のウエハ移送装置。

【請求項16】

前記第１の柔軟部材は、前記基板と直接接触する、請求項２乃至１５のウエハ移送装置。

【請求項17】

前記第１の柔軟部材は、前記第３の穴の隣にあり、前記基板に対向する前記第１の柔軟部材の表面から窪んだノッチを備える、請求項２乃至１６のウエハ移送装置。

【請求項18】

前記シールリングは、前記第１の柔軟部材のノッチ内に配置される、請求項１７のウエハ移送装置。

【請求項19】

前記シールリングは、吸引ノズルである、請求項２乃至１８のウエハ移送装置。

【請求項20】

前記第１の柔軟部材の材料は、アクリルフォームを備える、請求項２乃至１９のウエハ移送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、移送装置に関し、特に、ウエハ移送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来のウエハ移送工程において、ウエハは、移送装置に配置される複数の真空吸引ノズルにより、吸引され、移送される。しかしながら、現行のウエハ製造工程の進歩により、ウエハの厚さは徐々に薄くなっており、ウエハが歪みやすくなっている。歪んだウエハは、真空ノズルに接触できないことがあり、同時に、安定して吸引されることが難しく、運送の安定性に悪影響を与える。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0003】

本開示は、歪んだウエハを安定して移送できるウエハ移送装置を対象とする。

【課題を解決するための手段】

【0004】

本開示は、第１のウエハを吸引及び移送するように適用されるウエハ移送装置を提供する。ウエハ移送装置は、アームと、支持キャリアと、を備える。支持キャリアは、アームに接続される。支持キャリアは、支持キャリアの上面に露出する単一真空吸引口を有する。支持キャリアは、第１のウエハの下の位置に移動するように適用される。単一真空吸引口は、第１のウエハの第１の中央領域を吸引し、第１のウエハを持ち上げて移送するように適用される。

【0005】

本開示の実施形態において、支持キャリアは、基板と、基板上に配置されるシールリングと、基板及びシールリングの上に変化可能に配置される第１の柔軟部材と、を備え、基板は、第１の穴を備え、シールリングは、第１の穴に整列する第２の穴を備え、第１の柔軟部材は、第２の穴に整列する第３の穴を備え、第１の穴、第２の穴、及び第３の穴は、共に単一真空吸引口を形成する。

【0006】

本開示の実施形態において、第１のウエハの第１の周辺領域は、第１の中央領域よりも高く、湾曲形状を提供し、第１の柔軟部材の厚さは、第１のウエハの第１の周辺領域及び第１の中央領域の間の高低差よりも大きい。

【0007】

本開示の実施形態において、支持キャリアが第１のウエハを持ち上げる時、支持キャリアは、第１のウエハの第１の周辺領域及び第１の中央領域に接触し、第１のウエハの第１の中央領域に対応する位置における第１の柔軟部材の変形量は、第１のウエハの第１の周辺領域に対応する位置における第１の柔軟部材の変形量よりも大きい。

【0008】

本開示の実施形態において、ウエハ移送装置は、また、第２のウエハを吸引及び移送するように適用される。第２のウエハの第２の周辺領域は、第２の中央領域よりも高く、湾曲形状を提供し、第２のウエハの第２の周辺領域及び第２の中央領域の間の高低差は、第１のウエハの第１の周辺領域及び第１の中央領域の間の高低差よりも大きく、支持キャリアは、さらに、第１の柔軟部材を置換するための第２の柔軟部材を備え、第２の柔軟部材の厚さは、第１の柔軟部材の厚さよりも大きく、第２のウエハの第２の周辺領域及び第２の中央領域の間の高低差よりも大きい。

【0009】

本開示の実施形態において、シールリングは、基板上の第１の穴に対応する位置に配置され、支持キャリアは、さらに、シールリングの横に配置される平坦部材を備え、平坦部材は、基板及び第１の柔軟部材の間に配置される。

【0010】

本開示の実施形態において、平坦部材は、シールリングの外側を囲み、シールリングと同じ高さを有する。

【0011】

本開示の実施形態において、平坦部材の材料は、耐熱ゴムを含む。

【0012】

本開示の実施形態において、平坦部材の硬度は、第１の柔軟部材の硬度よりも大きい。

【0013】

本開示の実施形態において、支持キャリアは、基部と、基部から延伸する少なくとも１つの支持アームを備え、単一真空吸引口は、基部を通って貫通し、少なくとも１つの支持アームは、第１のウエハの第１の周辺領域を運搬するために適用される。

【0014】

本開示の実施形態において、少なくとも１つの支持アームは、上面に真空吸引口を有さない。

【0015】

本開示の実施形態において、少なくとも１つの支持アームは、２つの支持アームを備え、２つの支持アームと基部とは、Ｕ字形状を提供する。

【0016】

本開示の実施形態において、少なくとも１つの支持アームは、アームから離れる方向に延伸する。

【0017】

本開示の実施形態において、第３の穴近傍の第１の柔軟部材の中央部分の厚さは、第３の穴遠方の第１の柔軟部材の周辺部分の厚さと同じである。

【0018】

本開示の実施形態において、第３の穴近傍の第１の柔軟部材の中央部分の厚さは、第３の穴遠方の第１の柔軟部材の周辺部分の厚さより小さい。

【0019】

本開示の実施形態において、第１の柔軟部材は、基板と直接接触する。

【0020】

本開示の実施形態において、第１の柔軟部材は、第３の穴の隣にあり、基板に対向する第１の柔軟部材の表面から窪んだノッチを備える。

【0021】

本開示の実施形態において、シールリングは、第１の柔軟部材のノッチ内に配置される。

【0022】

本開示の実施形態において、シールリングは、吸引ノズルである。

【0023】

本開示の実施形態において、第１の柔軟部材の材料は、アクリルフォームを備える。

【発明の効果】

【0024】

上記の説明に基づいて、本開示のウエハ移送装置の設計において、支持キャリアは、単一真空吸引口を有し、ウエハ移送装置が単一真空吸引口を使用して第１のウエハを吸引するため、ウエハ移送装置が第１のウエハを持ち上げて移送する工程の間、単一真空吸引口及び第１のウエハの間の真空度は良く維持され、それにより、ウエハ移送装置は、第１のウエハを安定して移送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

付される図面は、本開示のさらなる理解のために提供され、本明細書に組み込まれてその一部を構成する。図面は、本開示の実施形態を示し、記述と共に、本開示の原理を説明するために供される。

【0026】

【図1】図１は、本開示の実施形態に係る、第１のウエハに適用されるウエハ移送装置の概略三次元図である。

【0027】

【図2A】図２Ａは、第１のウエハに適用される図１のウエハ移送装置のＡ－Ａ線に沿った概略断面図である。

【0028】

【図2B】図２Ｂは、第１のウエハを運搬する図２Ａのウエハ移送装置の湾曲部分の概略図である。

【0029】

【図3A】図３Ａは、本開示の実施形態に係る、第２のウエハに適用されるウエハ移送装置の概略断面図である。

【0030】

【図3B】図３Ｂは、第２のウエハを運搬する図３Ａのウエハ移送装置の湾曲部分の概略図である。

【0031】

【図4A】図４Ａは、本開示の別の実施形態に係る、第１のウエハに適用されるウエハ移送装置の概略断面図である。

【0032】

【図4B】図４Ｂは、第１のウエハを運搬する図４Ａのウエハ移送装置の湾曲部分の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0033】

図１は、本開示の実施形態に係る、第１のウエハに適用されるウエハ移送装置の概略三次元図である。図２Ａは、第１のウエハに適用される図１のウエハ移送装置のＡ－Ａ線に沿った概略断面図である。図１及び２Ａを参照すると、本実施形態のウエハ移送装置１００は、第１のウエハ２００を吸引及び移送するように適用される。なお、ウエハ移送装置１００の構造をより明確に示すために、図１及び２Ａにおける第１のウエハ２００は、破線で示されることが理解される。さらに、図中のウエハ移送装置１００及び第１のウエハ２００のサイズ及び厚さの比例関係は、単に図式的なものである。

【0034】

図１を参照すると、本実施形態において、ウエハ移送装置１００は、アーム１１０と、支持キャリア１２０と、を備える。支持キャリア１２０は、アーム１１０に接続される。支持キャリア１２０は、上面１２０ａを有し、基部１２０１と、基部１２０１から延伸する１つの支持アーム１２０１と、を備える。単一真空吸引口１３０は、支持キャリア１２０の上面１２０ａに露出し、支持キャリア１２０の基部１２０１を通って貫通する。少なくとも１つの支持アーム１２０２は、アーム１０１から離れる方向に延伸する。また、支持キャリア１２０の少なくとも１つの支持アーム１２０２は、２つの支持アーム１２０２を備え、２つの支持アーム１２０２と基部１２０１とは、Ｕ字形状を提供するが、本開示はこれに限定されない。

【0035】

本実施形態において、ウエハ移送装置１００は、第１のウエハを吸引及び移送するように適用される。具体的には、ウエハ移送装置１００が第１のウエハ２００を移送する時、アーム１１０は、支持キャリア１２０を駆動して、第１のウエハ２００の下の位置に移送させる。同時に、支持キャリア１２０上に提供される単一真空吸引口１３０は、第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０の下面を吸引するように適用され、また、支持キャリア１２０の少なくとも１つの支持アーム１２０２は、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０を運搬し、それにより、支持キャリア１２０は、第１のウエハ２００を安定して持ち上げ、移送することができる。

【0036】

なお、ウエハの製造工程の間に、ウエハが歪む可能性があることが理解されるべきであり、例えば、ウエハの周辺領域が中央領域よりも高く、浅い皿形状となっていて、従来のウエハ移送装置の真空吸引ノズルでは同時に歪んだウエハに接触することができず、１つ又はいくつかの真空吸引ノズルのみが歪んだウエハ接触することになり、他の真空吸引ノズルと歪んだウエハとの間に隙間が存在することになる。この場合、真空機械の能力は固定されているため、直接接触していない真空吸引ノズルは空気を吸引し続けてしまい、これは、ウエハとウエハに直接接触している真空吸引ノズルとの間の真空度に悪影響を及ぼす。従って、従来のウエハ移送装置の真空吸引ノズルの一部が歪んだウエハに接触していたとしても、その歪んだウエハを安定して吸引及び移送することができない。

【0037】

上記の問題を回避するために、本実施形態のウエハ移送装置１００の支持キャリア１２０は、単一真空吸引口１３０を１つだけ有する、すなわち、支持キャリア１２０の上面１２０ａに露出する支持アーム１２０２には真空吸引口はない。このような設計によれば、ウエハ移送装置１００は、単一真空吸引口１３０のみを通じて第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０を吸引し、そのため、単一真空吸引口１３０及び第１のウエハ２００の間の真空度は、他の吸引ノズルもより影響されない。従って、歪んだ第１のウエハ２００は、単一真空吸引口１３０に強く吸引され、ウエハ移送装置１００は、歪んだ第１のウエハ２００を安定して移送できる。支持キャリア１２０は、以下においてさらに説明される。

【0038】

図２Ａを参照すると、本実施形態において、支持キャリア１２０は、基板１２２と、基板１２２上に配置されるシールリング１２４と、基板１２２及びシールリング１２４の上に変化可能に配置される第１の柔軟部材１２６と、を備える。シールリング１２４は、一般的な吸引ノズルであってよいが、本開示はこれに限定されない。

【0039】

本実施形態において、基板１２２は、第１の穴１２２ａを備え、シールリング１２４は、第１の穴１２２ａに整列する第２の穴１２４ａを備え、第１の柔軟部材１２６は、第２の穴１２４ａに整列する第３の穴１２６ａを備え、第１の穴１２２ａ、第２の穴１２４ａ、及び第３の穴１２６ａは、共に単一真空吸引口１３０を形成する。

【0040】

本実施形態において、支持キャリア１２０は、さらに、基板１２２及び第１の柔軟部材１２６の間に配置される平坦部材１２８を備える。平坦部材１２８は、第１の柔軟部材１２６が配置される平面を提供するように構成される。シールリング１２４は、基板１２２上の第１の穴１２２ａに対応する位置に配置され、平坦部材１２８は、シールリング１２４の横に配置され、シールリング１２４の外側を囲み、平坦部材１２８及びシールリング１２４は、同じ高さを有する。本実施形態において、平坦部材１２８の材料は、耐熱ゴムを含み、それにより、平坦部材１２８は、ウエハの高温環境における工程において使用できるようになるが、平坦部材１２８の材料は、本開示に限定されない。

【0041】

本実施形態において、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０は、第１の中央領域２１０よりも高く、湾曲形状を提供する。第１のウエハ２００をより安定して支持するために、具体的には、ウエハ移送装置１００は、支持キャリア１２０の最上層上の第１の柔軟部材１２６を備えるように構成され、第１の柔軟部材１２６は、圧縮及び／又は屈曲してよい。第１の柔軟部材１２６は、例えば、アクリルフォームであるが、第１の柔軟部材１２６の材料は、これに限定されない。平坦部材１２８の硬度は、第１の柔軟部材１２６の硬度よりも大きい。

【0042】

図２Ｂは、第１のウエハを運搬する図２Ａのウエハ移送装置の湾曲部分の概略図である。なお、ウエハ移送装置１００の構造をより明確に図示するために第１のウエハが図２Ｂから省略され、破線は、第１のウエハ２００を運搬する前の第１の柔軟部材１２６の非圧縮状態を示すことが理解される。

【0043】

図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、支持キャリア１２０が第１のウエハ２００を持ち上げる時、第１のウエハ２００の重量は、第１の柔軟部材１２６を変形させ得る。具体的には、第１の柔軟部材１２６は、第１のウエハ２００の形状に応じて変形し得る。本実施形態において、第１の柔軟部材１２６の厚さＨ１は、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０及び第１の中央領域２１０の間の高低差Ｈａよりも大きく、それにより、第１のウエハ２００を運搬する際、第１の柔軟部材１２６は、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０及び第１の中央領域２１０に同時に接触する。

【0044】

本実施形態において、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０は第１の中央領域２１０よりも高いため、第１の柔軟部材１２６が第１のウエハ２００を運搬する時、第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０に対応する位置における第１の柔軟部材１２６の変形量Ｓｃ１は、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０に対応する位置における第１の柔軟部材１２６の変形量Ｓｏ１よりも大きい。当然、変形量の関係はこれに限定されない。

【0045】

従って、本実施形態において、ウエハ移送装置１００の単一真空吸引口１３０が第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０を吸引する時、ウエハ移送装置１００の支持キャリア１２０上に配置される第１の柔軟部材１２６が第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０及び第１の周辺領域２２０を支持するため、ウエハ移送装置１００は、単一真空吸引口１３０を介して第１のウエハ２００を吸引するだけでなく、支持キャリア１２０の第１の柔軟部材１２６により第１のウエハ２００に接触し、第１のウエハ２００を支持し、それにより、歪んだ第１のウエハ２００を、高温（ＨＴ）、室温（ＲＴ）、及び低温（ＬＴ）テスト（－１０～１５０℃の温度範囲）用のウエハチャックに安定して移送する。

【0046】

図３Ａは、本開示の実施形態に係る、第２のウエハに適用されるウエハ移送装置の概略断面図である。図３Ａを参照すると、本実施形態にウエハ移送装置１００は、また、第２のウエハ３００を吸引及び移送するように適用される。なお、ウエハ移送装置の構造をより明確に図示するために、図３Ａの第２のウエハ３００は破線で示される。

【0047】

異なるバッチのウエハ製造工程において、歪み具合が異なるウエハが製造され得る。本実施形態のウエハ移送装置１００は、歪み具合が異なる第２のウエハ３００に応じて、第１の柔軟部材１２６が、異なる厚さを備える第２の柔軟部材１２７により置換されてよい（図３Ａ）。これにより、本開示のウエハ移送装置１００は、歪み具合が異なる第１のウエハ又第２のウエハを吸引及び移送してよく、これは以下において説明される。

【0048】

図３Ａを参照すると、本実施形態において、支持キャリア１２０’は、基板１２２と、基板１２２と、基板１２２上に配置されるシールリング１２４と、基板１２２及びシールリング１２４の上に変化可能に配置される第２の柔軟部材１２７と、を備える。さらに、本実施形態において、基板１２２は、第１の穴１２２ａを備え、シールリング１２４は、第１の穴１２４ａに整列する第２の穴１２４ａを備え、第２の柔軟部材１２７は、第２の穴１２４ａに整列する第４の穴１２７ａを備える。第１の穴１２２ａ、第２の穴１２４ａ、及び第４の穴１２７ａは、共に単一真空吸引口１３０を形成する。

【0049】

本実施形態において、平坦部材１２８は、基板１２２及び第２の柔軟部材１２７の間に配置される。シールリング１２４は、基板１２２上の第１の穴１２２ａに対応する位置に配置され、平坦部材１２８は、シールリング１２４の横に配置され、シールリング１２４の外側を囲み、平坦部材１２８及びシールリング１２４は、同じ高さを有する。本実施形態において、平坦部材１２８の材料は、耐熱コロイドを含むが、本開示はこれに限定されない。

【0050】

図３Ｂは、第２のウエハを運搬する図３Ａのウエハ移送装置の湾曲部分の概略図である。なお、ウエハ移送装置１００の構造をより明確に図示するために第２のウエハ３００が図３Ｂから省略され、破線は、第２のウエハ３００を運搬する前の第２の柔軟部材１２７の状態を示すことが理解される。

【0051】

図３Ａ及び３Ｂを同時に参照すると、本実施形態において、第２のウエハ３００の第２の周辺領域３２０は、第２の中央領域より高く、湾曲形状を提供し、第２の柔軟部材１２７の厚さＨ２は、第２のウエハ３００の第２の周辺領域３２０及び第２の中央領域３１０の間の高低差Ｈｂよりも大きい。

【0052】

図２Ａから３Ｂを参照すると、図３Ａの第２のウエハ３００の歪み具合は、図２Ａの第１のウエハ２００の歪み具合よりも大きい。すなわち、図３Ａの第２のウエハ３００の第２の周辺領域３２０及び第２の中央領域３１０の間の高低差Ｈｂは、図２Ａの第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０及び第１の中央領域２１０の間の高低差Ｈａよりも大きい。従って、本実施形態において、より厚い第２の柔軟部材１２７が特に選ばれ、すなわち、図３Ｂの第２の柔軟部材１２７の厚さＨ２は、図２Ｂの第１の柔軟部材１２６の厚さＨ１より大きく、それにより、第２の柔軟部材１２７は、第２のウエハ３００の形状に応じてより大きな圧縮力を提供する。

【0053】

従って、本実施形態において、第２の柔軟部材１２７が第２のウエハ３００を持ち上げる時、第２のウエハ３００の第２の中央領域３１０に対応する位置における第２の柔軟部材１２７の変形量Ｓｃ２は、第２のウエハ３００の第２の周辺領域３２０に対応する位置における第２の柔軟部材１２７の変形量Ｓｏ２よりも大きく、支持キャリア１２０’の第２の柔軟部材１２７は、第２のウエハ３００の第２の周辺領域３２０及び第２の中央領域３１０に接触し得る。

【0054】

すなわち、本実施形態において、ウエハ移送装置１００は、第１のウエハ２００及び第２のウエハ３００の異なる歪み具合に応じて、第１の柔軟部材１２６が第２の柔軟部材１２７に置換されてよい。さらに、上記の調整可能な構造に基づいて、ウエハ移送装置１００の単一真空吸引口１３０が第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０又は第２のウエハ３００の第２の中央領域３１０を吸引する時、異なる厚さを有する第１の柔軟部材１２６及び第２の柔軟部材１２７が、歪み具合が異なる第１のウエハ２００及び第２のウエハ３００に接触し、第１のウエハ２００及び第２のウエハ３００を支持するためにそれぞれ使用されてよい。これにより、本開示のウエハ移送装置１００は、歪み具体が異なる第１のウエハ及び第２のウエハを吸引及び移送してよい。

【0055】

なお、本実施形態において記載される要素の参照番号及び内容の一部は、以下の実施形態においても使用され、同一の参照番号は、同一又は同様の要素を表し、同じ技術的内容の説明は省略される。上記の実施形態は、省略した部分の説明として参照されてよく、その詳細な説明は、以下の実施形態では繰り返されない。

【0056】

図４Ａは、本開示の別の実施形態に係る、第１のウエハに適用されるウエハ移送装置の概略断面図である。図２Ａ及び図４Ａを参照すると、本実施形態の支持キャリア１２０’’は、図２Ａの支持キャリア１２０と同様であり、図２Ａとの相違点について、図２Ａでは、平坦部材１２８及びシールリング１２４が同じ高さにあるために第１の柔軟部材１２６全体が同じ厚さを有する。すなわち、第３の穴１２６ａ近傍の第１の柔軟部材１２６の中央部分の厚さは、第３の穴１２６ａ遠方の第１の柔軟部材１２６の周辺部分の厚さと同じである。図４Ａの実施形態において、支持キャリア１２０’’は、平坦部材１２８を有さず、第１の柔軟部材１２６’は、支持キャリア１２０’’の基板１２２上に直接配置される。

【0057】

図４Ａを参照すると、本実施形態において、第１の柔軟部材１２６’の形状は、図２Ａの第１の柔軟部材１２６及び平坦部材１２８の形状の合計であり、第１の柔軟部材は、第３の穴１２６’の隣に、基板１２２に対向する第１の柔軟部材１２６’の表面から窪んでいるノッチ１２９が存在し、シールリング１２４は、第１の柔軟部材１２６’のノッチ１２９内に配置される。第３の穴１２６ａ’近傍の第１の柔軟部材１２６’の中央部分の厚さは、第３の穴１２６ａ’遠方の第１の柔軟部材１２６’の周辺部分の厚さより小さい。すなわち、本実施形態において、平坦部材１２８は省略されてよく、支持キャリア１２０’’は、第１の柔軟部材１２６’を使用して、平坦化及び変形効果を達成する。

【0058】

同様に、本実施形態において、基板１２２は、基板は、第１の穴１２２ａを備え、シールリング１２４は、第１の穴１２２ａに整列する第２の穴１２４ａを備え、第１の柔軟部材１２６’は、第２の穴１２４ａに整列する第３の穴１２６ａ’を備える。第１の穴１２２ａ、第２の穴１２４ａ、及び第３の穴１２６ａ’は、共に単一真空吸引口１３０を形成する。

【0059】

図４Ｂは、第１のウエハを運搬する図４Ａのウエハ移送装置の湾曲部分の概略図である。なお、ウエハ移送装置１００の構造をより明確に図示するために第１のウエハ２００が図４Ｂから省略され、破線は、第１のウエハ２００を運搬する前の第１の柔軟部材１２５６’の状態を示すことが理解される。

【0060】

図４Ａ及び４Ｂを同時に参照すると、本実施形態において、
第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０は、第１の中央領域２１０より高く、湾曲形状を提供し、第１の柔軟部材１２６’’の厚さＨ３は、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０及び第１の中央領域２１０の間の高低差Ｈａよりも大きい。

【0061】

本実施形態において、第１の柔軟部材１２６’’が第１のウエハ２００を持ち上げる時、支持キャリア１２０’’は、第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０及び第１の周辺領域２２０に接触し、第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０に対応する位置における第１の柔軟部材１２６’’の変形量Ｓｃ３は、第１のウエハ２００の第１の周辺領域２２０に対応する位置における第１の柔軟部材１２６’’の変形量Ｓｏ３よりも大きい。

【0062】

従って、本実施形態において、ウエハ移送装置１００の単一真空吸引口１３０が第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０を吸引する時、ウエハ移送装置１００の支持キャリア１２０’’は、上に配置される第１の柔軟部材１２６’’が第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０に接触し、第１のウエハ２００の第１の中央領域２１０を支持するため、ウエハ移送装置１００は、歪んだ第１のウエハ２００を安定して移送できる。

【0063】

要約すると、本開示のウエハ移送装置の設計において、支持キャリアは、単一真空吸引口と、第１の柔軟部材と、を有し、単一真空吸引口は、第１のウエハの第１の中央領域を吸引し、第１の柔軟部材の厚さは、歪んだ第１のウエハの第１の中央領域及び第１の周辺領域の間の高低差より大きく、それにより、単一真空吸引口が第１のウエハを吸引した時、第１の柔軟部材は、第１のウエハに接触し、第１のウエハを支持するため、歪んだ第１のウエハ２００は安定して移送される。さらに、ウエハ移送装置において、歪み具合が異なる第１のウエハ及び第２のウエハに応じて、異なる厚さを有する第１の柔軟部材及び第２の柔軟部材が交換されてよく、それにより、歪み具合が異なる第１のウエハ及び第２のウエハを安定して吸着及び移送できる。従って、本開示のウエハ移送装置は、製造コストを安くするだけでなく、歪み具合が異なるウエハに広く適用できる。

【0064】

開示される実施形態に対して、発明の範囲及び精神から逸脱することなく様々な変形及び変更を行うことができる点、当業者にとって理解される。上記に鑑みて、本開示の変形例及び変更例は、以下の特許請求の範囲及びその同等の範囲に含まれる。

【産業上の利用可能性】

【0065】

本開示は、第１のウエハを安定して吸引及び移送できるウエハ移送装置に関する。

【符号の説明】

【0066】

１００ ウエハ移送装置
１１０ アーム
１２０、１２０’、１２０’’ 支持キャリア
１２０１ 基部
１２０２ 支持アーム
１２０ａ 上面
１２２ 基板
１２２ａ 第１の穴
１２４ シールリング
１２４ａ 第２の穴
１２６、１２６’ 第１の柔軟部材
１２６ａ、１２６ａ’ 第３の穴
１２７ 第２の柔軟部材
１２７ａ 第４の穴
１２８ 平坦部材
１２９ ノッチ
１３０ 単一真空吸引口
２００ 第１のウエハ
２１０ 第１の中央領域
２２０ 第１の周辺領域
３００ 第２のウエハ
３１０ 第２の中央領域
３２０ 第２の周辺領域
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３ 厚さ
Ｈａ、Ｈｂ 高低差
Ｓｃ１、Ｓｃ２，Ｓｃ３，Ｓｏ１、Ｓｏ２、Ｓｏ３ 変形量

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【外国語明細書】