特開 2022-54647 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022054647

(43)【公開日】2022-04-07

(54)【発明の名称】圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの検査方法

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20220331BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 611

B41J2/14 305

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020161792

(22)【出願日】2020-09-28

(71)【出願人】

【識別番号】000005267

【氏名又は名称】ブラザー工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】特許業務法人梶・須原特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】相羽 貴司

(72)【発明者】

【氏名】蔵 圭司

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AF93

2C057AG15

2C057AG37

2C057AG91

2C057AL13

2C057AN01

2C057AP82

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】      （修正有）

【課題】圧電アクチュエータの端部における反りの程度を把握する。
【解決手段】振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３が鉛直方向であるＺ方向に、下からこの順に積層されている。第１圧電層４２と第２圧電層４３との間の面のＹ方向の端部に、高電位電極の一部である接続部５２４が配置されている。第２圧電層４３の上面のＹ方向における端部に、接続部５２４と接続された第２表面電極５５ａ，５５ｂ、及び、接続部５２４とＺ方向に重なる検査用電極６２ａ，６２ｂが配置されている。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも第１方向における一方側の面において絶縁性を有する振動板と、
前記振動板の前記第１方向における前記一方側の面に配置された第１圧電層と、
前記第１圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置された第２圧電層と、
前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置された複数の個別電極と、
前記振動板と前記第１圧電層との間の面に配置された、前記複数の個別電極に共通の第１共通電極と、
前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の面に配置された、前記複数の個別電極に共通の第２共通電極と、
前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置され、前記第１共通電極と導通する第１表面電極と、
前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置され、前記第２共通電極と導通する第２表面電極と、を備え、
前記第１共通電極及び前記第２共通電極のうち片方の共通電極は、前記片方の共通電極が配置された面の、前記第１方向と直交する第２方向における端部まで延び、
前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記第２方向における端部に配置され、前記片方の共通電極と前記第１方向に重なり、且つ、前記個別電極、前記第１共通電極及び前記第２共通電極のいずれとも導通していない検査用電極、をさらに備えていることを特徴する圧電アクチュエータ。

【請求項2】

前記振動板、前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、前記第２方向の長さが、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項3】

前記片方の共通電極が、前記第２共通電極であることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項4】

前記第１表面電極が、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記第２方向における端部に配置され、
前記第２表面電極が、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記第２方向における端部に、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向に前記第１表面電極と間隔をあけて配置され、
前記検査用電極が、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記第１表面電極と前記第２表面電極との間の部分に配置されていることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。

【請求項5】

前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記第１表面電極と前記第２表面電極との間の部分に、前記個別電極、前記第１共通電極、前記第２共通電極及び前記検査用電極のいずれとも導通していない、前記検査用電極とは別の少なくとも１つの非導通電極を備え、
前記少なくとも１つの非導通電極と前記検査用電極とが、前記第３方向に並んで配置されていることを特徴とする請求項４に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項6】

前記片方の共通電極は、
前記第１表面電極及び前記第２表面電極のうち前記片方の共通電極と導通する片方の表面電極と前記第１方向に重なる位置まで延びた重なり部、を有し、
前記重なり部が、前記検査用電極と前記第１方向に重なる位置まで前記第３方向に延び、
前記検査用電極が、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記片方の表面電極と前記非導通電極との間の部分に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項7】

前記検査用電極は、前記非導通電極よりも、前記第２方向における一方側の端と他方側の端との間の第２方向における長さが長いことを特徴とする請求項５又は６に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項8】

前記検査用電極は、
前記第３方向に並んで互いに接続され、前記第１方向に投影した形状が前記第２方向を長手方向とする長方形の２つの電極部分、を有することを特徴とすることを特徴とする請求項７に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項9】

前記２つの電極部分が前記第２方向にずれていることを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項10】

前記検査用電極は、前記第１方向に投影した形状が、前記第２方向と平行な１組の対向辺を有する平行四辺形であることを特徴とする請求項７に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項11】

前記検査用電極は、
前記第２方向に延びた第１電極部分と、
前記第１電極部分と前記第３方向に離れて配置され、前記第２方向に延び、前記第１電極部分に対して前記第２方向における前記他方側にずれて配置された第２電極部分と、
前記第１電極部分の前記第２方向における前記他方側の端部と、前記第２電極部分の前記第２方向における前記一方側の端部とを接続する第３電極部分と、を有し、
前記第１電極部分の前記第２方向における前記一方側の端と、前記第２電極部分の前記第２方向における前記他方側の端との間の、前記第２方向における長さが、前記非導通電極の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項７に記載の圧電アクチュエータ。

【請求項12】

請求項１～１１のいずれかに記載の圧電アクチュエータの検査方法であって、
前記圧電アクチュエータを基材に吸着させ、
前記検査用電極と前記片方の共通電極とにプローブを当てて、前記検査用電極と前記片方の共通電極との間の静電容量を測定し、
測定した静電容量と、静電容量の基準値との差が所定値未満の場合には、圧電アクチュエータが正常であると判定し、
測定した静電容量と、前記基準値との差が所定値以上の場合には、圧電アクチュエータが異常であると判定することを特徴とする圧電アクチュエータの検査方法。

【請求項13】

請求項１～１１のいずれかに記載の圧電アクチュエータの検査方法であって、
前記圧電アクチュエータを基材に吸着させ、
前記検査用電極の前記第２方向の一方側の端部と前記片方の共通電極とにプローブを当てるとともに、前記検査用電極に当てた前記プローブを前記基材に向けて押し付けた状態で、前記検査用電極と前記片方の共通電極との間の静電容量としての第１静電容量を測定し、
前記検査用電極の前記第２方向の他方側の端部と前記片方の共通電極とにプローブを当てるとともに、前記検査用電極に当てた前記プローブを前記基材に向けて押し付けた状態で、前記検査用電極と前記片方の共通電極との間の静電容量としての第２静電容量を測定し、
前記第１静電容量と前記第２静電容量との差が所定値未満の場合には、圧電アクチュエータが正常であると判定し、
前記第１静電容量と前記第２静電容量との差が所定値以上の場合には、圧電アクチュエータが異常であると判定することを特徴とする圧電アクチュエータの検査方法。

【請求項14】

前記圧電アクチュエータが、請求項７～１１のいずれかに記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項１３に記載の圧電アクチュエータの検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

圧電アクチュエータの一例として、特許文献１には、インクジェットヘッドにおいて圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータが記載されている。特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、３つの圧電層が積層されることによって圧電体が形成されている。また、上側の圧電層の上面に、複数の圧力室に個別の複数の個別電極が配置されている。また、下側の圧電層と中央の圧電層との間の面に、複数の個別電極に共通の第１共通電極が配置されている。また、中央の圧電層と上側の圧電層との間の面に、複数の個別電極に共通の第２共通電極が配置されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開2014-189017号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の圧電アクチュエータの製造時には、圧電層及び電極の積層体を加熱するが、このとき、圧電層と電極との線膨張係数の違いから、圧電アクチュエータに反りが発生することがある。圧電アクチュエータに反りが発生すると、圧電層の電極に挟まれた部分の静電容量が変化する。そこで、例えば、圧電層を挟む２つの電極にプローブを当てて静電容量を測定し、測定した静電容量に基づいて圧電アクチュエータの反りの程度を把握することが考えられる。

【0005】

ここで、圧電アクチュエータの中央部は、その周囲の全周に圧電アクチュエータの他の部分が存在しており、当該他の部分によって反りが規制されやすい。これに対して、圧電アクチュエータの端部は、その外側に圧電アクチュエータの他の部分が存在しないため、反りが規制されない。また、圧電アクチュエータの中央部と端部とでは、加熱時の雰囲気（温度等）が異なる。これらの要因から、圧電アクチュエータでは、その端部において反りが大きくなる。

【0006】

しかしながら、特許文献１の圧電アクチュエータの端部には、上記のような静電容量の測定に使用することのできる電極が存在しない。なお、特許文献１の圧電アクチュエータの端部では、第１接続端子と第１共通電極、及び、第２接続端子と第２共通電極が、それぞれ、圧電層を挟んで配置されているが、第１接続端子と第１共通電極、及び、第２接続端子と第２共通電極は、それぞれ、スルーホールを介して導通しているため、上記のような静電容量の測定に使用することができない。その結果、圧電アクチュエータの端部における反りの程度を把握することができない。

【0007】

圧電アクチュエータの端部における反りの程度を把握できないと、端部における反りが大きい圧電アクチュエータを用いてインクジェットヘッドを製造してしまうことがある。この場合、圧電アクチュエータに流路部材、あるいは、ＣＯＦ等の配線部材を接合したときに圧電層が破損する虞がある。また、中央部と端部とでノズルからのインクの吐出特性に差が生じるなどの問題が発生する虞もある。

【0008】

本発明の目的は、端部における反りの程度を把握することが可能な圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータの検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の圧電アクチュエータは、少なくとも第１方向における一方側の面において絶縁性を有する絶縁性材料からなる振動板と、前記振動板の前記第１方向における前記一方側の面に配置された第１圧電層と、前記第１圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置された第２圧電層と、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置された複数の個別電極と、前記振動板と前記第１圧電層との間の面に配置された、前記複数の個別電極に共通の第１共通電極と、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の面に配置された、前記複数の個別電極に共通の第２共通電極と、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置され、前記第１共通電極と導通する第１表面電極と、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面に配置され、前記第２共通電極と導通する第２表面電極と、を備え、前記第１共通電極及び前記第２共通電極のうち片方の共通電極は、前記片方の共通電極が配置された面の、前記第１方向と直交する第２方向における端部まで延び、前記第２圧電層の前記第１方向における前記一方側の面の、前記第２方向における端部に配置され、前記片方の共通電極と前記第１方向に重なり、且つ、前記個別電極、前記第１共通電極及び前記第２共通電極のいずれとも導通していない検査用電極、をさらに備えている。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成図である。

【図2】図１のヘッド３の平面図である。

【図3】図２の領域ＩＩＩの拡大図である。

【図4】図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。

【図5】図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。

【図6】第２圧電層４３の上面を示す平面図である。

【図7】（ａ）は図６の検査用電極６２ａ及びこれとＸ方向に並ぶ一部の電極を拡大した図であり、（ｂ）は図６の検査用電極６２ｂ及びこれとＸ方向に並ぶ一部の電極を拡大した図である。

【図8】第１圧電層４２の上面を示す平面図である。

【図9】振動板４１の上面を示す平面図である。

【図10】（ａ）は、図６、図８、図９のＸＡ－ＸＡ線断面図であり、（ｂ）は、図６、図８、図９のＸＢ－ＸＢ線断面図である。

【図11】（ａ）は、個別電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されているときの図５の断面におけるアクチュエータ部９０の状態を示す図であり、（ｂ）は、個別電極５１に高電位（ＶＤＤ電位）が付与されているときの図５の断面におけるアクチュエータ部９０の状態を示す図である。

【図12】圧電アクチュエータの検査の手順を示すフローチャートである。

【図13】（ａ）は第１静電容量Ｃ１ａを測定するときの２つのプローブ１０３の当て方を説明するための図であり、（ｂ）は第２静電容量Ｃ２ａを測定するときの２つのプローブ１０３の当て方を説明するための図であり、（ｃ）は第１静電容量Ｃ１ｂを測定するときの２つのプローブ１０３の当て方を説明するための図であり、（ｄ）は第２静電容量Ｃ２ｂを測定するときの２つのプローブ１０３の当て方を説明するための図である。

【図14】（ａ）は図１３（ａ）の状態での、吸着ステージ１０１上に配置された圧電アクチュエータ２２をＸ方向から見た図であり、（ｂ）は図１３（ｂ）の状態での、吸着ステージ１０１上に配置された圧電アクチュエータ２２をＸ方向から見た図であり、（ｃ）は図１３（ｃ）の状態での、吸着ステージ１０１上に配置された圧電アクチュエータ２２をＸ方向から見た図であり、（ｄ）は図１３（ｄ）の状態での、吸着ステージ１０１上に配置された圧電アクチュエータ２２をＸ方向から見た図である。

【図15】（ａ）は、変形例１の図７（ａ）に対応する図であり、（ｂ）は、変形例１の図７（ｂ）に対応する図である。

【図16】（ａ）は、変形例２の図７（ａ）に対応する図であり、（ｂ）は、変形例２の図７（ｂ）に対応する図である。

【図17】変形例３における圧電アクチュエータの検査の手順を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。以下の説明において、Ｘ方向及びＹ方向は、Ｚ方向と直交し、Ｘ方向とＹ方向とは直交する。例えば、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。なお、Ｚ方向が本発明の「第１方向」に該当し、Ｙ方向が本発明の「第２方向」に該当し、Ｘ方向が本発明の「第３方向」に該当する。また、Ｚ方向における上側が本発明の「第１方向の一方側」に該当し、Ｚ方向における下側が本発明の「第１方向の他方側」に該当する。また、Ｙ方向における、図１の左側が本発明の「第２方向の一方側」に該当し、図１の右側が本発明の「第２方向の他方側」に該当する。

【0012】

＜プリンタ１の全体構成＞
図１に示すように、本実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２と、ヘッド３と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

【0013】

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

【0014】

ヘッド３は、シリアル式のものであって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面には、複数のノズル１５が形成されている。

【0015】

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

【0016】

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

【0017】

＜ヘッド３の構成＞
図２に示すように、ヘッド３は、流路ユニット２１と、圧電アクチュエータ２２とを有する。

【0018】

＜流路ユニット２１＞
図２～図４に示すように、流路ユニット２１は、Ｚ方向に投影した形状が矩形であり、Ｚ方向に積層された４枚のプレート３１～３４で構成されている。

【0019】

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端部及び他端部とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

【0020】

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている。各インク供給口８は、チューブ（図示略）などを介してインクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。

【0021】

＜圧電アクチュエータ２２＞
図２～図５に示すように、圧電アクチュエータ２２は、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、それぞれＺ方向を厚み方向としてＺ方向に積層された振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３と、複数の個別電極５１と、高電位電極５２（本発明の「第２共通電極」）と、低電位電極５３（本発明の「第１共通電極」）とを有する。

【0022】

振動板４１は、流路ユニット２１（プレート３１）の上面に配置されている。第１圧電層４２は、振動板４１の上面に配置されている。第２圧電層４３は、第１圧電層４２の上面に配置されている。

【0023】

振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、チタン酸とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。ただし、振動板４１は、圧電材料以外の絶縁材料からなるものであってもよい。あるいは、振動板４１は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、合成樹脂材料等からなり、流路ユニット２１の上面に配置されたインク分離層と、圧電材料等の絶縁材料からなり、インク分離層の上面に配置された絶縁層と、によって形成されていてもよい。すなわち、振動板４１は、少なくともその上面を形成する部分が絶縁性を有していればよい。

【0024】

振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、厚み（Ｚ方向の長さ）が例えば１５μｍ程度である。また、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、Ｙ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短い。例えば、Ｌｙが３０～３５ｍｍ程度であり、Ｌｘが３５～４０ｍｍ程度である。これにより、圧電アクチュエータ２２は、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも短い。

【0025】

図３に示すように、複数の個別電極５１は、第２圧電層４３の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各個別電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各個別電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。

【0026】

図６に示すように、複数の個別電極５１は、第２圧電層４３の上面の、第２圧電層４３におけるＸ方向の両端部及びＹ方向の両端部を除く領域において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、複数の駆動電極列５１Ｒを形成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

【0027】

各駆動電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方側（図６の上側）及び他方側（図６の下側）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する駆動電極列５１Ｒに属する個別電極５１と、サイズ及び形状が同じであり、当該個別電極５１と共にＸ方向に等間隔で並んでいる。ダミー電極５９は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、Ｘ方向に沿ったスクリーン印刷による電極形成時に、Ｘ方向の端部にあるダミー電極５９の厚みが小さくなった場合でも、個別電極５１の厚みには影響が出ず、個別電極５１を適切に形成できる。また、各駆動電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある個別電極５１とＸ方向の端部にある個別電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各駆動電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

【0028】

第２圧電層４３の上面には、個別電極５１及びダミー電極５９に加え、第１表面電極５４ａ、５４ｂ、第２表面電極５５ａ、５５ｂ、複数の非導通電極６３ａ，６３ｂ、及び、検査用電極６２ａ，６２ｂが配置されている。

【0029】

図６、図７（ａ）、図１０（ａ）に示すように、第１表面電極５４ａは、第２圧電層４３の上面のＹ方向における一端部（図６の左端部）の領域のうち、Ｘ方向における他端部（図６の左下端部）に配置されている。図６、図７（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように第１表面電極５４ｂは、第２圧電層４３の上面のＹ方向における他端部（図６の右端部）の領域のうち、Ｘ方向における一端部（図６の右上端部）に配置されている。第１表面電極５４ａ、５４ｂは、Ｘ方向に延びている。

【0030】

図６、図７（ａ）、図１０（ａ）に示すように、第２表面電極５５ａは、第２圧電層４３の上面のＹ方向における一端部（図６の左端部）の領域のうち、Ｘ方向における一端部（図６の左上端部）に配置されている。図６、図７（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように第２表面電極５５ｂは、第２圧電層４３の上面のＹ方向における他端部（図６の右端部）の領域のうち、Ｘ方向における他端部（図６の右下端部）に配置されている。第２表面電極５５ａ、５５ｂは、Ｘ方向に延びている。

【0031】

また、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとは、Ｙ方向の位置が同じである。そして、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとは、Ｙ方向の位置が同じである。そして、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとは、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。

【0032】

図６、図７（ａ）、図１０（ａ）に示すように、複数の非導通電極６３ａは、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に配置され、Ｘ方向に並んでいる。図６、図７（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように複数の非導通電極６３ｂは、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に配置され、Ｘ方向に並んでいる。また、各非導通電極６３ａは、Ｘ方向に並ぶ２つの電極部分６３ａ１に分割されている。また、各非導通電極６３ｂは、Ｘ方向に並ぶ２つの電極部分６３ｂ１に分割されている。電極部分６３ａ１，６３ｂ１のＺ方向に投影した形状は、Ｙ方向を長手方向とする長方形である。また、電極部分６３ａ１，６３ｂ１のＹ方向の長さは、第１表面電極５４ａ及び第２表面電極５５ａのＹ方向の長さとほぼ同じである。また、Ｙ方向において、２つの電極部分６３ａ１の位置、及び、２つの電極部分６３ａ１の位置は、それぞれ同じである。また、Ｘ方向において、各非導通電極６３ａにおける電極部分６３ａ１同士の間隔、及び、各非導通電極６３ｂにおける電極部分６３ｂ１同士の間隔は、非導通電極６３ａ同士の間隔、及び、非導通電極６３ｂ同士の間隔よりも小さい。

【0033】

ここで、非導通電極６３ａ，６３ｂを、それぞれ、２つの電極部分６３ａ１及び２つの電極部分６３ｂ１に分割されたものとしているのは、圧電アクチュエータ２２の製造時の加熱の際に、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りを生じにくくするためである。ただし、各非導通電極６３ａ，６３ｂは、それぞれ、上記とは異なり分割されていない１つの電極であってもよい。

【0034】

図６、図７（ａ）、図１０（ａ）に示すように、検査用電極６２ａは、第２表面電極５５ａに最も近い（図７（ａ）の最も上側の）非導通電極６３ａと、第２表面電極５５ａとの間に配置されている。これにより、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に、検査用電極６２ａと複数の非導通電極６３ａとが並んでいる。検査用電極６２ａは、２つの電極部分６２ａ１，６２ａ２と、連結部６２ａ３とを有する。

【0035】

電極部分６２ａ１のＺ方向に投影した形状は、Ｙ方向を長手方向とし、且つ、電極部分６３ａ１よりもＹ方向の長さが長い長方形である。Ｙ方向において、電極部分６２ａ１の一方側（図７（ａ）の左側）の端が、非導通電極６３ａの一方側の端よりも一方側に位置している。また、Ｙ方向において、電極部分６２ａ１の他方側（図７（ａ）の右側）の端の位置は、非導通電極６３ａの他方側の端の位置と同じである。

【0036】

電極部分６２ａ２は、電極部分６２ａ１のＸ方向における一方側（図７（ａ）の上側）に位置している。電極部分６２ａ２のＺ方向に投影した形状は、電極部分６２ａ１と同様の長方形である。Ｙ方向において、電極部分６２ａ２の一方側（図７（ａ）の左側）の端の位置は、非導通電極６３ａの一方側の端の位置と同じである。また、Ｙ方向において、電極部分６２ａ２の他方側（図７（ａ）の右側）の端が、非導通電極６３ａの他方側の端よりも他方側に位置している。

【0037】

そして、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２とがこのように配置されていることにより、電極部分６２ａ２が、電極部分６２ａ１に対して、Ｙ方向の他方側（図７（ａ）の右側）にずれている。

【0038】

また、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２とは、Ｘ方向において隙間をあけて配置されている。この隙間のＸ方向の長さは、例えば、非導通電極６３ａにおける電極部分６３ａ１同士の間隔と同程度である。連結部６２ａ３は、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２との間の隙間に配置されており、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２とを連結させる。

【0039】

そして、検査用電極６２ａがこのような構成となっていることにより、検査用電極６２ａのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さＷ１ａは、非導通電極６３ａのＹ方向の長さ（一方側の端と他方側の端との間の長さ）Ｗ１ｂよりも長い。

【0040】

図６、図７（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、検査用電極６２ｂは、第２表面電極５５ｂに最も近い（図７（ｂ）の最も下側）非導通電極６３ｂと、第２表面電極５５ｂとの間に配置されている。これにより、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に、検査用電極６２ｂと複数の非導通電極６３ｂとが並んでいる。検査用電極６２ｂは、２つの電極部分６２ｂ１，６２ｂ２と、連結部６２ｂ３とを有する。

【0041】

電極部分６２ｂ１，６２ｂ２及び連結部６２ｂ３は、それぞれ、電極部分６２ａ１，６２ａ２及び連結部６２ａ３とサイズ及び形状が同じものである。そして、Ｙ方向において、電極部分６２ｂ１の一方側（図７（ｂ）の左側）の端が、非導通電極６３ｂの一方側の端よりも、一方側に位置している。また、Ｙ方向において、電極部分６２ｂ１の他方側（図７（ｂ）の右側）の端の位置は、非導通電極６３ｂの他方側の端の位置と同じである。また、Ｙ方向において、電極部分６２ｂ２の一方側（図７（ｂ）の左側）の端の位置は、非導通電極６３ｂの一方側の端の位置と同じである。また、Ｙ方向において、電極部分６２ｂ１の他方側（図７（ｂ）の右側）の端は、非導通電極６３ｂの他方側の端よりも、他方側に位置している。

【0042】

そして、電極部分６２ｂ１と電極部分６２ｂ２とがこのように配置されていることにより、電極部分６２ｂ２が、電極部分６２ｂ１に対して、Ｙ方向の他方側（図７（ｂ）の右側）にずれている。また、検査用電極６２ｂがこのような構成となっていることにより、検査用電極６２ｂのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さＷ２ａは、非導通電極６３ｂのＹ方向の長さ（一方側の端と他方側の端との間の長さ）Ｗ２ｂよりも長い。

【0043】

第１表面電極５４ａ，５４ｂ及び第２表面電極５５ａ，５５ｂは、ＣＯＦ（図示略）と電気的に接続されている。ドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して、第１表面電極５４ａ，５４ｂに低電位（ＧＮＤ電位）を付与し、かつ、第２表面電極５５ａ，５５ｂに高電位（ＶＤＤ電位）を付与する。一方、非導通電極６３ａ，６３ｂ及び検査用電極６２ａ，６２ｂは、ＣＯＦと電気的に接続されていない。また、非導通電極６３ａ，６３ｂ及び検査用電極６２ａ，６２ｂは、個別電極５２、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

【0044】

図４、図５に示すように、高電位電極５２は、第１圧電層４２の上面（第１圧電層４２と第２圧電層４３との間の面）に配置されている。

【0045】

また、図８、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、高電位電極５２は、Ｙ方向に延びる２つの幹部５２１，５２２と、各幹部５２１，５２２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５２３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５２３によって連結された複数の個別部５２ａと、第２表面電極５５ａ，５５ｂとＺ方向に重なる接続部５２４，５２５（本発明の「重なり部」）とを含む。各個別部５２ａは、各圧力室１０に対応するものであり、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている（図５参照）。各幹部５２１，５２２は、複数の枝部５２３を連結している。

【0046】

第１圧電層４２の、Ｘ方向における一端部（図８の上端部）の、Ｙ方向における一方側（図８の左側）の部分に、幹部５２１が配置され、第１圧電層４２の、Ｘ方向における他端部（図８の下端部）の、Ｙ方向における他方側（図８の右側）の部分に、幹部５２２が配置されている。幹部５２１，５２２は、Ｙ方向に延びている。

【0047】

幹部５２１から、３つの枝部５２３が、第１圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）から他端（図８の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５２２から、４つの枝部５２３が、第１圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）から一端（図８の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。各幹部５２１，５２２から分岐した枝部５２３が、Ｙ方向に並んでいる。

【0048】

接続部５２４は、図８、図１０（ａ）に示すように、第１圧電層４２のＹ方向の一端部（図８の左端部）において、第２表面電極５５ａと検査用電極６２ａとにわたってＸ方向に延び、第２表面電極５５ａ及び検査用電極６２ａとＺ方向に重なっている。また、接続部５２４は、幹部５２１におけるＹ方向の一端（図８の左端）に接続し、かつ、幹部５２１から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の一方（図８の左方）に位置する枝部５２３に接続している。

【0049】

接続部５２５は、図８、図１０（ｂ）に示すように、第１圧電層４２のＹ方向の他端部（図８の右端部）において、第２表面電極５５ｂと検査用電極６２ｂとにわたってＸ方向に延び、第２表面電極５５ｂ及び検査用電極６２ｂとＺ方向に重なっている。また、接続部５２４は、幹部５２２におけるＹ方向の他端（図８の右端）に接続し、かつ、幹部５２２から分岐した複数の枝部５２３のうち最もＹ方向の他方（図８の右方）に位置する枝部５２３に接続している。

【0050】

接続部５２４，５２５は、それぞれ、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｘを介して、第２表面電極５５ａ，５５ｂと導通している。

【0051】

第１圧電層４２の上面（第１圧電層４２と第２圧電層４３との間の面）には、高電位電極５２に加え、接続電極５６Ａ，５６Ｂ及び複数の非導通電極６４，６５が配置されている。

【0052】

図８に示すように、接続電極５６Ａ，５６Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５６１と、Ｘ方向に延びる部分５６２とを有する。接続電極５６Ａは、第１圧電層４２のＸ方向の一方側（図８の上側）かつＹ方向の他方側（図８の右側）の角部に配置されている。接続電極５６Ｂは、第１圧電層４２のＸ方向の他方側（図８の下側）かつＹ方向の一方側（図８の左側）の角部に配置されている。

【0053】

図８、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２は、それぞれ、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｙを介して、第１表面電極５４ａ，５４ｂと導通している。

【0054】

接続電極５６Ａの部分５６１は、図８の右から１つ目及び２つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の右側の３つの列とＸ方向に重なっている。接続電極５６Ｂの部分５６１は、図８の左から１つ目及び２つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の左側の３つの列とＸ方向に重なっている。

【0055】

複数の非導通電極６４は、接続部５２４と、接続電極５６Ｂの部分５６２との間、及び、接続部５２５と、接続電極５６Ａの部分５６２との間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて並んでいる。複数の非導通電極６４は、複数の非導通電極６３ａ，６３ｂ及び検査用電極６２ａ，６２ｂに対して個別に設けられており、対応する非導通電極６３ａ，６３ｂ又は検査用電極６２ａ，６２ｂ電極とＺ方向に重なる。非導通電極６４は、非導通電極６３ａ，６３ｂとサイズ及び形状が同じ電極である。

【0056】

複数の非導通電極６５は、接続電極５６Ａの部分５６１と幹部５２１との間、及び、接続電極５６Ｂの部分５６１と幹部５２２との間に配置され、Ｙ方向に間隔をあけて並んでいる。

【0057】

非導通電極６４，６５は、個別電極５２、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

【0058】

低電位電極５３は、図４、図５に示すように、振動板４１の上面（振動板４１と第１圧電層４２との間の面）に配置されている。

【0059】

図９、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、低電位電極５３は、Ｙ方向に延びる２つの幹部５３１，５３２と、各幹部５３１，５３２から分岐してＸ方向に延びる複数の枝部５３３と、Ｘ方向に配列されかつ枝部５３３によって連結された複数の個別部５３ａと、第１表面電極５４ａ，５４ｂ（図６参照）とそれぞれＺ方向に重なる接続部５３４，５３５とを含む。Ｘ方向に配列された複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の最も一方側及び他方側に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０のＸ方向の端部とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の最も一方側及び他方側に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０のＸ方向の端部とＺ方向に重なる部分を有する。各幹部５３１，５３２は、複数の枝部５３３を連結している。

【0060】

振動板４１の、Ｘ方向における一端部（図９の上端部）の、Ｙ方向における他方側（図９の右側）の部分に、幹部５３１が配置され、振動板４１の、Ｘ方向における他端部（図９の下端部）の、Ｙ方向における一方側（図８の右側）の部分に、幹部５３２が配置されている。幹部５３１，５３２は、Ｙ方向に延びている。

【0061】

幹部５３１から、４つの枝部５３３が、第２圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）から他端（図９の下端）に向かって、Ｘ方向に延びている。幹部５３２から、３つの枝部５３３が、第２圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）から一端（図９の上端）に向かって、Ｘ方向に延びている。

【0062】

各幹部５３１，５３２から分岐した枝部５３３が、Ｙ方向に並んでいる。ここで、幹部５３１から分岐した複数の枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３Ｘは、幹部５３２に接続している。換言すると、幹部５３１から分岐した４つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の一方側（図９の左側）に位置する枝部５３３Ｘと、幹部５３２から分岐した３つの枝部５３３のうち、最もＹ方向の他方側（図９の右側）に位置する枝部５３３Ｘとは、同じである。当該枝部５３３Ｘは、Ｘ方向の一端が幹部５３１に接続し、Ｘ方向の他端が幹部５３２に接続している。

【0063】

接続部５３４は、第２圧電層４３のＹ方向の他端部（図９の右端部）において、Ｘ方向に延びている。接続部５３４は、幹部５３１におけるＹ方向の他端（図９の右端）に接続している。接続部５３５は、第２圧電層４３のＹ方向の一端部（図９の左端部）において、Ｘ方向に延びている。接続部５３５は、幹部５３２におけるＹ方向の一端（図９の左端）に接続している。

【0064】

図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、接続部５３４，５３５は、それぞれ、第１圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙを介して、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２と導通している。接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２は、上述のように、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｙを介して、第１表面電極５４ａ、５４ｂ、さらにＣＯＦ（図示略）と導通している。したがって、接続部５３４，５３５は、接続電極５６Ａ，５６Ｂの部分５６２を介して第１表面電極５４ａ，５４ｂ、さらにＣＯＦと導通している。

【0065】

振動板４１の上面（振動板４１と第１圧電層４２との間の面）には、低電位電極５３に加え、接続電極５７Ａ，５７Ｂ及び複数の非導通電極６６が配置されている。

【0066】

接続電極５７Ａ，５７Ｂは、それぞれ、Ｌ字状であり、Ｙ方向に延びる部分５７１と、Ｘ方向に延びる部分５７２とを有する。接続電極５７Ａは、振動板４１のＸ方向の一方側（図９の上側）かつＹ方向の一方側（図９の左側）の角部に配置されている。接続電極５７Ｂは、振動板４１のＸ方向の他方側（図９の下側）かつＹ方向の他方側（図９の右側）の角部に配置されている。

【0067】

図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、接続電極５７Ａ，５７Ｂの部分５７２は、それぞれ、第１圧電層４２に形成された貫通孔４２ｘを介して、高電位電極５２の接続部５２４，５２５と導通している。高電位電極５２の接続部５２４，５２５は、上述のように、第２圧電層４３に形成された貫通孔４３ｘを介して、第２表面電極５５ａ，５５ｂと導通している。したがって、接続電極５７Ａ，５７Ｂは、高電位電極５２の接続部５２４，５２５を介して第２表面電極５５ａ，５５ｂと導通している。

【0068】

接続電極５７Ａの部分５７１は、図９の左から１つ目及び２つ目の枝部５３３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図７の左側の５つの列とＸ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５６１は、図９の右から１つ目～３つ目の枝部５２３とＸ方向に重なり、また、複数の駆動電極列５１Ｒのうち図６の右側の７つの列とＸ方向に重なっている。

【0069】

接続電極５７Ａの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２１（図８参照）とＺ方向に重なっている。接続電極５７Ｂの部分５７１は、高電位電極５２の幹部５２２（図８参照）とＺ方向に重なっている。

【0070】

複数の非導通電極６６は、接続部５３４と接続電極５７Ｂの部分５７２との間、及び、接続部５３５と接続電極５７Ａの部分５７２との間に配置され、Ｘ方向に並んでいる。複数の非導通電極６４は、複数の非導通電極６４に対して個別に設けられており、対応する非導通電極６４とＺ方向に重なる。非導通電極６６は、非導通電極６４とサイズ及び形状が同じ電極である。

【0071】

非導通電極６６は、個別電極５１、高電位電極５２及び低電位電極５３のいずれとも導通しておらず、電位が付与されない。

【0072】

また、振動板４１と第１圧電層４２との間の面、第１圧電層４２と第２圧電層４３との間の面、及び、第２圧電層４３の上面に配置された上述の各電極の厚みは、例えば０．５～１．５μｍ程度である。

【0073】

＜アクチュエータ部＞
圧電アクチュエータ２２では、図５に示すように、第２圧電層４３のうち、Ｚ方向において個別電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分が、主に上向きに分極された第１活性部９１となっている。また、第１圧電層４２及び第２圧電層４３のうち、Ｚ方向において個別電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分が、主に下向きに分極された第２活性部９２となっている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

【0074】

ここで、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

【0075】

ヘッド３においてノズル１５からのインクの吐出が行われる前には、図１１（ａ）に示すように、各個別電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、個別電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、第１圧電層４２及び第２圧電層４３がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

【0076】

あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図１１（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する個別電極５１の電位が、低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り換えられる。このとき、個別電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、個別電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制するためのものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図１１（ａ）の状態に比べて大きくなる。

【0077】

その後、図１１（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する個別電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り換えられる。すると、上述したのと同様に、第１圧電層４２及び第２圧電層４３の圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

【0078】

＜圧電アクチュエータ２２の検査＞
次に、圧電アクチュエータ２２の検査方法について説明する。

【0079】

圧電アクチュエータ２２は、例えば、スクリーン印刷によって表面に電極を形成した、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３となる圧電材料のシートを積層させて形成した積層体を焼成することによって製造することができる。

【0080】

上記積層体の焼成時の加熱の際に、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３を構成する圧電材料と、電極を構成する金属材料との線膨張係数の差により、圧電アクチュエータ２２に反りが発生することがある。

【0081】

このとき、圧電アクチュエータ２２の中央部は、その周囲の全周に圧電アクチュエータ２２の他の部分が存在するため、当該他の部分によって反りが抑えられる。これに対して、圧電アクチュエータ２２の端部は、これよりも外側に圧電アクチュエータ２２の他の部分が存在しないため、当該他の部分によって反りが抑えられにくい。また、圧電アクチュエータの焼成時には、圧電アクチュエータ２２の中央部と端部とに雰囲気（温度等）に違いが生じる。これらのことから、圧電アクチュエータ２２の端部において、圧電アクチュエータ２２の中央部よりも反りが発生しやすい。また、本実施形態では、振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３は、Ｙ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短い。そのため、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部には、特に反りが生じやすい。

【0082】

Ｙ方向の端部の反りが大きい圧電アクチュエータ２２を用いてヘッド３を製造してしまうと、圧電アクチュエータ２２を流路ユニット２１に接合するときや、圧電アクチュエータ２２にＣＯＦを接合する際に圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に加えられる力によって振動板４１、第１圧電層４２及び第２圧電層４３にクラックが発生してしまう虞がある。また、製造されたヘッド３において、Ｙ方向の中央部と端部とで、ノズル１５からのインクの吐出特性が異なってしまう虞がある。

【0083】

そこで、本実施形態では、圧電アクチュエータ２２の製造後、以下に説明するようにして圧電アクチュエータ２２の検査を行うことで、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度を把握し、その結果に基づいて、圧電アクチュエータ２２が正常であるか異常であるかを判定する。

【0084】

圧電アクチュエータ２２の検査を行うときには、図１２に示すように、まず、製造した圧電アクチュエータ２２を、吸着ステージ１０１（図１４（ａ）～（ｄ）参照、本発明の「基材」）に吸着させる（Ｓ１０１）。

【0085】

吸着ステージ１０１の、圧電アクチュエータ２２が載置される載置面には、負圧ポンプ（図示略）に接続された多数の吸引孔が形成されている。吸着ステージ１０１に載置された圧電アクチュエータ２２は、これら多数の吸引孔によって吸引されることで、吸着ステージ１０１に吸着される。なお、吸引孔による吸引力はそれほど大きなものではなく、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りがある場合、吸引孔によって圧電アクチュエータ２２が吸引されても、図１４（ａ）～（ｄ）に一点鎖線で示すように、圧電アクチュエータ２２の反りが矯正されてフラットな状態とはなることはない。

【0086】

続いて、検査用電極６２ａと高電位電極５２との間の静電容量として第１静電容量Ｃ１ａを測定する（Ｓ１０２）。より詳細に説明すると、Ｓ１０２では、図１３（ａ）、図１４（ａ）に示すように、静電容量測定装置１０２に接続された２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ａのうち、Ｙ方向の最も一方側（図７（ａ）の左側）の部分である、電極部分６２ａ１のＹ方向における一方側の端部と、第２表面電極５５ａとに当てる。さらに、電極部分６２ａ１のＹ方向における一方側の端部に当てたプローブ１０３を、吸着ステージ１０１に向けて押し付ける。この状態では、図１４（ａ）に実線で示すように、圧電アクチュエータ２２のうち、Ｙ方向において、プローブ１０３が押し付けられた電極部分６２ａ１のＹ方向における一方側の端部が配置された部分、及び、これよりも内側の部分において、反りが矯正されてフラットな状態に近づく。そして、この状態で、静電容量測定装置１０２により第１静電容量Ｃ１ａを測定する。

【0087】

続いて、検査用電極６２ａと高電位電極５２との間の静電容量として第２静電容量Ｃ２ａを測定する（Ｓ１０３）。より詳細に説明すると、Ｓ１０３では、図１３（ｂ）、図１４（ｂ）に示すように、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ａのうち、Ｙ方向の最も他方側（図７（ａ）の右側）の部分である、電極部分６２ａ２のＹ方向における他方側の端部と、第２表面電極５５ａとに当てる。さらに、電極部分６２ａ２のＹ方向における他方側の端部に当てたプローブ１０３を、吸着ステージ１０１に向けて押し付ける。この状態では、図１４（ｂ）に実線で示すように、圧電アクチュエータ２２のうち、Ｙ方向において、プローブ１０３が押し付けられた電極部分６２ａ２のＹ方向における他方側の端部が配置された部分、及び、これよりも内側の部分において、反りが矯正されてフラットな状態に近づく。ここで、Ｙ方向において、電極部分６２ａ２の他方側の端は、電極部分６２ａ１の一方側の端よりも圧電アクチュエータ２２の内側に位置するため、Ｓ１０３における圧電アクチュエータ２２の反りの矯正の程度は、Ｓ１０２における圧電アクチュエータ２２の反りの矯正の程度よりも小さい。そして、この状態で、静電容量測定装置１０２により第２静電容量Ｃ２ａを測定する。

【0088】

続いて、測定した第１静電容量Ｃ１ａと第２静電容量Ｃ２ａとの差の絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜が所定値Ｄ未満であるか否かを判定する（Ｓ１０４）。絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜が所定値Ｄ以上である場合には（Ｓ１０４：ＮＯ）、圧電アクチュエータ２２が異常であると判定する（Ｓ１０５）。

【0089】

絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜が所定値Ｄ未満である場合には（Ｓ１０４：ＹＥＳ）、続いて、検査用電極６２ｂと高電位電極５２との間の静電容量として第１静電容量Ｃ１ｂを測定する（Ｓ１０６）。

【0090】

より詳細に説明すると、Ｓ１０６では、図１３（ｃ）、図１４（ｃ）に示すように、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ｂのうち、Ｙ方向の最も一方側（図７（ｂ）の左側）の部分である、電極部分６２ｂ１のＹ方向における一方側の端部と、第２表面電極５５ａとに当てる。さらに、電極部分６２ｂ１のＹ方向における一方側の端部に当てたプローブ１０３を、吸着ステージ１０１に向けて押し付ける。この状態では、図１４（ｃ）に実線で示すように、圧電アクチュエータ２２のうち、Ｙ方向において、プローブ１０３が押し付けられた電極部分６２ｂ１のＹ方向の一方側の端部が配置された部分、及び、これよりも内側の部分において、反りが矯正されてフラットな状態に近づく。そして、この状態で、静電容量測定装置１０２により第１静電容量Ｃ１ｂを測定する。

【0091】

続いて、検査用電極６２ｂと高電位電極５２との間の静電容量として第２静電容量Ｃ２ｂを測定する（Ｓ１０７）。より詳細に説明すると、Ｓ１０７では、図１３（ｄ）、図１４（ｄ）に示すように、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ｂのうち、Ｙ方向の最も他方側（図７（ｂ）の右側）の部分である、電極部分６２ｂ２のＹ方向の他方側の端部と、第２表面電極５５ａとに当てる。さらに、電極部分６２ｂ２のＹ方向における他方側の端部に当てたプローブ１０３を、吸着ステージ１０１に向けて押し付ける。この状態では、図１４（ｄ）に実線で示すように、圧電アクチュエータ２２のうち、Ｙ方向において、プローブ１０３が押し付けられた電極部分６２ｂ２のＹ方向の他方側の端部が配置された部分、及び、これよりも内側の部分において、反りが矯正されてフラットな状態に近づく。ここで、Ｙ方向において、電極部分６２ａ２の他方側の端は、電極部分６２ａ１の一方側の端よりも圧電アクチュエータ２２の外側に位置するため、Ｓ１０７における圧電アクチュエータ２２の反りの矯正の程度は、Ｓ１０６における圧電アクチュエータ２２の反りの矯正の程度よりも大きい。そして、この状態で、静電容量測定装置１０２により第２静電容量Ｃ２ｂを測定する。

【0092】

続いて、測定した第１静電容量Ｃ１ｂと第２静電容量Ｃ２ｂとの差の絶対値｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が所定値Ｄ未満であるか否かを判定する（Ｓ１０８）。絶対値｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が所定値Ｄ以上である場合には（Ｓ１０８：ＮＯ）、圧電アクチュエータ２２が異常であると判定する（Ｓ１０５）。絶対値｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が所定値Ｄ未満である場合には（Ｓ１０８：ＹＥＳ）、圧電アクチュエータ２２が正常であると判定する（Ｓ１０９）。

【0093】

＜効果＞
上述の実施形態では、第２圧電層４３の上面のＹ方向における端部に、高電位電極５２と導通する第２表面電極５５ａ，５５ｂ、及び、高電位電極５２の接続部５２４，５２５とＺ方向に重なる検査用電極６２ａ，６２ｂとが配置されている。したがって、静電容量測定装置１０２に接続された２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ａと第２表面電極５５ａ、及び、検査用電極６２ｂと第２表面電極５５ｂにそれぞれ当てて、検査用電極６２ａと高電圧電極５２との間の静電容量、及び、検査用電極６２ｂと高電圧電極５２との間の静電容量を測定し、測定した静電容量に基づいて、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度を把握することができる。

【0094】

より詳細には、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ａのＹ方向における一方側の端部と、第２表面電極５５ａとに当てるとともに、検査用電極６２ａの上記部分に当てたプローブ１０３を吸着ステージ１０１に向けて押し付けた状態で第１静電容量Ｃ１ａを測定する。また、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ａのＹ方向における他方側の端部と、第２表面電極５５ａとに当てるとともに、検査用電極６２ａの上記部分に当てたプローブ１０３を吸着ステージ１０１に向けて押し付けた状態で第２静電容量Ｃ２ａを測定する。

【0095】

同様に、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ｂのＹ方向における一方側の端部と、第２表面電極５５ｂとに当てるとともに、検査用電極６２ｂの上記部分に当てたプローブ１０３を吸着ステージ１０１に向けて押し付けた状態で第１静電容量Ｃ１ｂを測定する。また、２つのプローブ１０３を、検査用電極６２ｂのＹ方向における他方側の端部と、第２表面電極５５ｂとに当てるとともに、検査用電極６２ｂの上記部分に当てたプローブ１０３を吸着ステージ１０１に向けて押し付けた状態で第２静電容量Ｃ２ｂを測定する。

【0096】

ここで、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りが生じている場合、圧電アクチュエータ２２のＹ方向におけるより外側の部分が吸着ステージ１０１に向けられて押し付けられたときほど、反りが大きく矯正されてフラットな状態に近づく。

【0097】

したがって、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部の反りが大きいときほど、第１静電容量Ｃ１ａと第２静電容量Ｃ２ａとの差の絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜、及び、第１静電容量Ｃ１ｂと第２静電容量Ｃ２ｂとの差の絶対値｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が大きくなる。そこで、本実施形態では、絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜及び絶対値｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が所定値Ｄ未満であるか否かに基づいて、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度を把握して、圧電アクチュエータ２２が正常であるか否かを判定することができる。

【0098】

また、本実施形態では、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短いため、圧電アクチュエータ２２には、製造時の加熱によって、Ｙ方向の端部に反りが生じやすい。

【0099】

これに対して、本実施形態では、第２圧電層４３の上面のＹ方向の端部に、検査用電極６２ａ，６２ｂ及び第２表面電極５５ａ，５５ｂが配置されている。したがって、反りの生じやすい圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度を把握することができる。

【0100】

また、本実施形態と異なり、検査用電極を、低電位電極５３とＺ方向に重なるように配置し、上記２つのプローブ１０３を、検査用電極と、低電位電極５３と導通する第１表面電極５４ａ，５４ｂとに当てて、検査用電極と低電位電極５３との間の静電容量を測定することによっても、上述したのと同様にして、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度を把握することが可能である。

【0101】

しかしながら、この場合の検査用電極と低電位電極５３との距離は、本実施形態の場合の検査用電極６２ａ，６２ｂと高電位電極５２との距離よりも大きくなるため、測定される静電容量が小さくなり、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りに対する、測定される静電容量の変化も小さくなる。

【0102】

そこで、本実施形態では、上記の通り、検査用電極６２ａ，６２ｂを、高電位電極５２とＺ方向に重なるように配置し、検査用電極６２ａ，６２ｂと、高電位電極５２との間の静電容量に基づいて、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度を把握するようにしている。これにより、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りの程度に対する、測定される静電容量の変化が大きく、圧電アクチュエータのＹ方向の端部における反りの程度を把握しやすい。

【0103】

また、本実施形態では、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとがＸ方向に間隔をあけて配置されているのに対して、検査用電極６２ａが、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとがＸ方向に間隔をあけて配置されているのに対して、検査用電極６２ｂが、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に配置されている。これにより、検査用電極６２ａ，６２ｂがこれらの位置に配置されていない場合よりも、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における剛性を高くして、圧電アクチュエータ２２のＹ方向における端部に反りを発生しにくくすることができる。

【0104】

さらに、本実施形態では、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に、検査用電極６２ａと、複数の非導通電極６３ａとが、Ｘ方向に並んで配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に、検査用電極６２ｂと、複数の非導通電極６３ｂとが、Ｘ方向に並んで配置されている。これにより、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における剛性をさらに高くして、圧電アクチュエータ２２のＹ方向における端部に反りをより発生しにくくすることができる。

【0105】

さらに、本実施形態では、接続部５２４が第２表面電極５５ａとＺ方向に重なっているとともに検査用電極６２ａとＺ方向に重なる位置までＸ方向に延びているのに対して、検査用電極６２ａが、第２表面電極５５ａと、第２表面電極５５ａに最も近い非導通電極６３ａとの間に配置されている。これにより、Ｘ方向に延ばす接続部５２４のＸ方向の長さを極力短くすることができる。同様に、本実施形態では、接続部５２５が第２表面電極５５ｂとＺ方向に重なっているとともに検査用電極６２ｂとＺ方向に重なる位置までＸ方向に延びているのに対して、検査用電極６２ｂが、第２表面電極５５ｂと、第２表面電極５５ｂに最も近い非導通電極６３ｂとの間に配置されている。これにより、Ｘ方向に延びる接続部５２５のＸ方向の長さを極力短くすることができる。

【0106】

圧電アクチュエータ２２のＹ方向における端部に、Ｘ方向の長さが長い電極があると、圧電アクチュエータ２２のＹ方向における端部に反りが生じやすいが、このように、接続部５２４，５２５のＸ方向の長さを短くすることができることにより、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部に反りを発生しにくくすることができる。

【0107】

また、検査用電極６２ａの、第１静電容量Ｃ１ａを測定するときにプローブ１０３を当てる部分と、第２静電容量Ｃ２ａを測定するときにプローブ１０３を当てる部分とが、Ｙ方向に離れているほど、検査用電極６２ａに当てたプローブ１０３を吸着ステージ１０１に向けて押し付けたときの、圧電アクチュエータ２２の反りの矯正の程度の差が大きくなる。その結果、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りに対して、第１静電容量Ｃ１ａと第２静電容量Ｃ２ａとの差の絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜が大きくなる。

【0108】

同様に、検査用電極６２ｂの、第１静電容量Ｃ１ｂを測定するときにプローブ１０３を当てる部分と、第２静電容量Ｃ２ｂを測定するときにプローブ１０３を当てる部分とが、Ｙ方向に離れているほど、検査用電極６２ｂに当てたプローブ１０３を吸着ステージ１０１に向けて押し付けたときの、圧電アクチュエータ２２の反りの矯正の程度の差が大きくなる。その結果、圧電アクチュエータ２２のＹ方向の端部における反りに対して、第１静電容量Ｃ１ｂと第２静電容量Ｃ２ｂとの差の絶対値｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が大きくなる。

【0109】

そして、本実施形態では、検査用電極６２ａのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さＷ１ａ（電極部分６２ａ１の一方側の端と、電極部分６２ａ２の他方側の端との間の長さ）が、非導通電極６３ａのＹ方向の長さＷ１ｂよりも長い。また、検査用電極６２ｂのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さＷ２ａ（電極部分６２ｂ１の一方側の端と、電極部分６２ｂ２の他方側の端との間の長さ）が、非導通電極６３ｂのＹ方向の長さＷ２ｂよりも長い。これにより、圧電アクチュエータ２２の反りに対する、上記静電容量の差の絶対値｜Ｃ１ａ－Ｃ２ａ｜、｜Ｃ１ｂ－Ｃ２ｂ｜が大きくなり、圧電アクチュエータの反りの程度を把握しやすい。

【0110】

また、本実施形態では、検査用電極６２ａを、Ｚ方向に投影した形状がＹ方向を長手方向とする長方形の２つの電極部分６２ａ１，６２ａ２を有するものとし、検査用電極６２ｂを、Ｚ方向に投影した形状がＹ方向を長手方向とする長方形の２つの電極部分６２ｂ１，６２ｂ２を有するものとすることにより、検査用電極６２ａ，６２ｂの面積を確保することができる。

【0111】

また、検査用電極６２ａ，６２ｂと第２圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる、圧電アクチュエータ２２に反りを生じさせようとする力は、Ｙ方向における検査用電極６２ａ，６２ｂの中央部において最も大きくなる。これに対して、本実施形態では、検査用電極６２ａにおいて、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２とがＹ方向にずれて配置され、検査用電極６２ｂにおいて、電極部分６２ｂ１と電極部分６２ｂ２とがＹ方向にずれて配置されている。したがって、電極部分６２ａ１と第２圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる、圧電アクチュエータ２２に反りを生じさせようとする力が最も大きくなる部分と、電極部分６２ａ２と第２圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる、圧電アクチュエータ２２に反りを生じさせようとする力が最も大きくなる部分とをＹ方向にずらすことができる。また、電極部分６２ｂ１と第２圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる、圧電アクチュエータ２２に反りを生じさせようとする力が最も大きくなる部分と、電極部分６２ｂ２と第２圧電層４３との線膨張係数の差によって生じる、圧電アクチュエータ２２に反りを生じさせようとする力が最も大きくなる部分とをＹ方向にずらすことができる。これらのことから、圧電アクチュエータ２２に反りを生じさせようとする力が、圧電アクチュエータ２２の、Ｙ方向の位置が同じ部分集中せず、圧電アクチュエータ２２に生じる反りを小さくすることができる。

【0112】

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態には限られず、特許請求の範囲に記載の限りにおいて様々な変更が可能である。

【0113】

検査用電極の形状は、上述の実施形態のものには限られない。

【0114】

例えば、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２のＹ方向の位置が上述の実施形態とは逆であり、電極部分６２ａ２が、電極部分６２ａ１に対して、Ｙ方向の一方側（図７（ａ）の左側）にずれていてもよい。この場合には、Ｓ１０２において、プローブ１０３を第１電極部分６２ａ１のＹ方向における他方側の端部に当て、Ｓ１０３において、プローブ１０３を第２電極部分６２ａ２のＹ方向における一方側の端部に当てる。

【0115】

同様に、電極部分６２ｂ１と電極部分６２ｂ２のＹ方向の位置が上述の実施形態とは逆であり、電極部分６２ｂ２が、電極部分６２ｂ１に対して、Ｙ方向の一方側（図７（ａ）の左側）にずれていてもよい。この場合には、Ｓ１０２において、プローブ１０３を第１電極部分６２ｂ１のＹ方向における他方側の端部に当て、Ｓ１０３において、プローブ１０３を第２電極部分６２ｂ２のＹ方向における一方側の端部に当てる。

【0116】

あるいは、検査用電極６２ａの電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２、及び、検査用電極６２ｂの電極部分６２ｂ１と電極部分６２ｂ２のうち、少なくとも片方については、Ｘ方向にずれていなくてもよい。なお、電極部分６２ａ１と電極部分６２ａ２とがＸ方向にずれていない場合には、上述のＳ１０２において、プローブ１０３を、電極部分６２ａ１，６２ａ２のいずれかのＹ方向における一方側の端部に当てる。また、上述のＳ１０３において、プローブ１０３を、電極部分６２ａ１，６２ａ２のいずれかのＹ方向における他方側の端部に当てる。また、電極部分６２ｂ１と電極部分６２ｂ２とがＸ方向にずれていない場合には、Ｓ１０６において、プローブ１０３を、電極部分６２ｂ１，６２ｂ２のいずれかのＹ方向における一方側の端部に当てる。また、上述のＳ１０７において、プローブ１０３を、電極部分６２ｂ１，６２ｂ２のいずれかのＹ方向における他方側の端部に当てる。

【0117】

変形例１では、図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、検査用電極１１１ａ，１１１ｂのＺ方向に投影した形状が、それぞれ、Ｘ方向と平行な１組の対向辺１１２を有する平行四辺形となっている。

【0118】

検査用電極１１１ａは、Ｙ方向の一方側且つＸ方向の他方側の角部（図１５（ａ）の左下の角部）が、Ｙ方向において最も一方側（図１５（ａ）の左側）に位置している。そして、Ｙ方向において、検査用電極１１１ａのこの角部が、非導通電極６３ａの一方側の端（図１５（ａ）の左端）よりも、一方側（図１５（ａ）の左側）に位置する。

【0119】

また、検査用電極１１１ａは、Ｙ方向の他方側且つＸ方向の一方側の角部（図１５（ａ）の右上の角部）が、Ｙ方向において最も他方側（図１５（ａ）の右側）に位置している。そして、Ｙ方向において、検査用電極１１１ｂのこの角部が、非導通電極６３ａの他方側の端（図１５（ａ）の右端）よりも他方側（図１５（ａ）の右側）側に位置している。

【0120】

また、検査用電極１１１ｂは、Ｙ方向の一方側且つＸ方向の他方側の角部（図１５（ａ）の左下の角部）が、Ｙ方向において最も一方側（図１５（ａ）の左側）に位置している。そして、Ｙ方向において、検査用電極１１１ｂのこの角部が、非導通電極６３ｂの一方側の端（図１５（ｂ）の左端）よりも一方側（図１５（ｂ）の左側）に位置する。

【0121】

また、検査用電極１１１ｂは、Ｙ方向の他方側且つＸ方向の一方側の角部（図１５（ａ）の右上の角部）が、Ｙ方向において最も他方側（図１５（ａ）の右側）に位置している。そして、Ｙ方向において、検査用電極１１１ｂのこの角部が、非導通電極６３ｂの他方側の端（図１５（ｂ）の右端）よりも他方側（図１５（ｂ）の右側）に位置している。

【0122】

そして、変形例１では、検査用電極１１１ａ，１１１ｂがこのような形状となっていることにより、検査用電極１１１ａ，１１１ｂのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さＷ３ａ，Ｗ４ａは、非導通電極６３ａ，６３ｂのＹ方向の長さＷ３ｂ，Ｗ４ｂよりも長い。

【0123】

そして、変形例１では、上述のＳ１０２，Ｓ１０６において、それぞれ、プローブ１０３を、検査用電極１１１ａ，１１１ｂの図１５（ａ）、（ｂ）における左下の角部に当てる。また、上述のＳ１０３，Ｓ１０７において、それぞれ、プローブ１０３を、検査用電極１１１ａ，１１１ｂの図１５（ａ）、（ｂ）にける右上の角部に当てる。

【0124】

変形例１では、検査用電極１１１ａ，１１１ｂのＺ方向に投影した形状を、Ｙ方向と平行な１組の対向辺１１２を有する平行四辺形とすることによって、検査用電極１１１ａ，１１１ｂのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さを長くすることができる。

【0125】

変形例２では、図１６（ａ）に示すように、検査用電極１２１ａが、第１電極部分１２２ａと第２電極部分１２２ｂと第３電極部分１２２ｃとを有している。第１電極部分１２２ａは、Ｙ方向に延びている。また、Ｙ方向において、第１電極部分１２２ａの一方側の端（図１６（ａ）における左端）が、非導通電極６３ａの一方側の端（図１６（ａ）における左端）よりも一方側（図１６（ａ）における左側）に位置している。

【0126】

第２電極部分１２２ｂは、Ｙ方向に延びている。また、Ｙ方向において、第２電極部分１２２ｂの他方側の端（図１６（ａ）における右端）が、非導通電極６３ｂの他方側の端（図１６（ａ）における右端）よりも他方側（図１６（ａ）における右側）に位置している。第３電極部分１２２ｃは、第１電極部分１２２ａと第２電極部分１２２ｂとの間に位置し、第１電極部分１２２ａのＹ方向における他方側の端（図１６（ａ）における右端）と、第２電極部分１２２ｂのＹ方向における一方側の端（図１６（ａ）における左端）とを連結する。

【0127】

また、変形例２では、図１６（ｂ）に示すように、検査用電極１２１ｂが、第１電極部分１２３ａと第２電極部分１２３ｂと第３電極部分１２３ｃとを有している。第１電極部分１２３ａ、第２電極部分１２３ｂ及び第３電極部分１２３ｃは、それぞれ、第１電極部分１２２ａ、第２電極部分１２２ｂ及び第３電極部分１２２ｃとサイズ及び形状が同じである。

【0128】

そして、変形例２では、検査用電極１２１ａ，１２１ｂがこのような構成となっていることにより、検査用電極１２１ａ，１２１ｂのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さＷ５ａ，Ｗ６ａは、非導通電極６３ａ，６３ｂのＹ方向の長さＷ５ｂ，Ｗ６ｂよりも長い。

【0129】

そして、変形例２では、上述のＳ１０２において、プローブ１０３を、検査用電極１２１ａの第１電極部分１２２ａのＹ方向における一方側（図１６（ａ）の左側）の端部に当てる。また、上述のＳ１０３において、プローブ１０３を、検査用電極１２１ａの第２電極部分１２２ｂのＹ方向における他方側（図１６（ａ）の右側）の端部に当てる。また、上述のＳ１０６において、プローブ１０３を、検査用電極１２１ｂの第１電極部分１２３ａのＹ方向における一方側（図１６（ｂ）の左側）の端部に当てる。また、上述のＳ１０７において、プローブ１０３を、検査用電極１２１ｂの第２電極部分１２３ｂのＹ方向における他方側（図１６（ｂ）の右側）の端部に当てる。

【0130】

そして、変形例２では、検査用電極１２１ａ，１２１ｂを、それぞれ、上記のような第１～第３電極部分１２２ａ～１２２ｃ、第１～第３電極部分１２３ａ～１２３ｃを有するものとすることによって、検査用電極１２１ａ，１２１ｂのＹ方向における一方側の端と他方側の端との間の長さを長くすることができる。

【0131】

また、検査用電極を、Ｚ方向に投影した形状が以上に説明したのとは別の形状となるものとすることによって、Ｙ方向における一方側の端と他方側の端との間のＹ方向における長さが、非導通電極６３ａ，６３ｂのＹ方向の長さよりも長くなるようにしてもよい。

【0132】

また、検査用電極は、Ｙ方向における一方側の端と他方側の端との間のＹ方向における長さが、非導通電極６３ａ，６３ｂのＹ方向の長さよりも長いものであることにも限られない。検査用電極の、Ｙ方向における一方側の端と他方側の端との間のＹ方向における長さは、非導通電極６３ａ，６３ｂのＹ方向の長さ以下であってもよい。

【0133】

また、上述の実施形態では、第２表面電極５５ａとＺ方向に重なる接続部５２４が、検査用電極６２ａとＺ方向に重なる位置まで延び、検査用電極６２ａが、第２表面電極５５ａと、第２表面電極５５ａに最も近い非導通電極６３ａとの間に配置されている。また、第２表面電極５５ｂとＺ方向に重なる接続部５２５が、検査用電極６２ｂとＺ方向に重なる位置まで延び、検査用電極６２ｂが、第２表面電極５５ｂと、第２表面電極５５ｂに最も近い非導通電極６３ｂとの間に配置されている。しかしながら、これには限られない。

【0134】

例えば、第２表面電極５５ａとＺ方向に重なる接続部５２４が、検査用電極６２ａとＺ方向に重なる位置まで延びている構成において、検査用電極６２ａが、２つの非導通電極６３ａの間、あるいは、第１表面電極５４ａと、前記第１表面電極５４ａに最も近い非導通電極６３ａとの間に配置されていてもよい。

【0135】

同様に、第２表面電極５５ｂとＺ方向に重なる接続部５２５が、検査用電極６２ｂとＺ方向に重なる位置まで延びている構成において、検査用電極６２ｂが、２つの非導通電極６３ｂの間、あるいは、第１表面電極５４ｂと、前記第１表面電極５４ｂに最も近い非導通電極６３ｂとの間に配置されていてもよい。

【0136】

また、上述の実施形態では、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に、検査用電極６２ａと、複数の非導通電極６３ａとが、Ｘ方向に並んでいる。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に、検査用電極６２ｂと、複数の非導通電極６３ｂとが、Ｘ方向に並んでいる。しかしながら、これには限られない。

【0137】

例えば、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間、及び、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間のうち、少なくともいずれか片方に配置される非導通電極は１つであってもよい。また、例えば、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間、及び、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間のうち、少なくともいずれか片方において、非導通電極が配置されていなくてもよい。

【0138】

また、上述の実施形態では、第１表面電極５４ａと第２表面電極５５ａとの間に検査用電極６２ａが配置されている。また、第１表面電極５４ｂと第２表面電極５５ｂとの間に検査用電極６２ｂが配置されている。しかしながら、これには限られない。

【0139】

例えば、検査用電極６２ａは、Ｘ方向において、第１表面電極５４ａよりも外側、あるいは、第２表面電極５５ａよりも外側に配置されていてもよい。同様に、例えば、検査用電極６２ｂは、Ｘ方向において、第１表面電極５４ｂよりも外側、あるいは、第２表面電極５５ｂよりも外側に配置されていてもよい。

【0140】

また、上述の実施形態では、検査用電極６２ａ，６２ｂが、第１圧電層４２と第２圧電層４３との間の面に配置された高電圧電極５２とＺ方向に重なっていたが、これには限られない。検査用電極が、振動板４１と第１圧電層４２との間の面に配置された低電圧電極５１とＺ方向に重なっていてもよい。

【0141】

また、上述の実施形態では、圧電アクチュエータのＹ方向の長さＬｙがＸ方向の長さＬｘよりも短くなっていたが、これには限られない。長さＬｙは、長さＬｘ以上であってもよい。

【0142】

また、圧電アクチュエータの検査方法は、上述の実施形態で説明したものには限られない。変形例３では、図１７のフローに沿って圧電アクチュエータの検査を行う。なお、以下では、圧電アクチュエータ２２の検査を行う場合を例に挙げて説明するが、以上に説明した他の圧電アクチュエータについても、以下に説明するとの同様の方法で検査を行うことができる。

【0143】

図１７に示すように、変形例３でも、上述の実施形態と同様、圧電アクチュエータ２２を吸着ステージ１０１に吸着させる（Ｓ２０１）。続いて、２つのプローブ１０３を検査用電極６２ａと第２表面電極５５ａとに当てて、検査用電極６２ａと高電圧電極５２との間の静電容量Ｃ３ａを測定する（Ｓ２０２）。

【0144】

続いて、測定した静電容量Ｃ３ａと、静電容量の基準値Ｃ０との差の絶対値｜Ｃ３ａ－Ｃ０｜が所定値Ｅ未満であるか否かを判定する（Ｓ２０３）。絶対値｜Ｃ３ａ－Ｃ０｜が所定値Ｅ以上である場合には（Ｓ２０３：ＮＯ）、圧電アクチュエータ２２が異常であると判定する（Ｓ２０４）。

【0145】

絶対値｜Ｃ３ａ－Ｃ０｜が所定値Ｅ未満である場合には（Ｓ２０３：ＹＥＳ）、続いて、２つのプローブ１０３を検査用電極６２ｂと第２表面電極５５ｂとに当てて、検査用電極６２ｂと高電圧電極５２との間の静電容量Ｃ３ｂを測定する（Ｓ２０５）。

【0146】

続いて、測定した静電容量Ｃ３ｂと、基準値Ｃ０との差の絶対値｜Ｃ３ｂ－Ｃ０｜が所定値Ｅ未満であるか否かを判定する（Ｓ２０６）。絶対値｜Ｃ３ｂ－Ｃ０｜が所定値Ｅ以上である場合には（Ｓ２０６：ＮＯ）、圧電アクチュエータ２２が異常であると判定する（Ｓ２０４）。絶対値｜Ｃ３ｂ－Ｃ０｜が所定値Ｅ未満である場合には（Ｓ２０６：ＹＥＳ）、圧電アクチュエータ２２が正常であると判定する（Ｓ２０７）。

【0147】

上記のように、変形例３では、検査用電極６２ａ，６２ｂと高電位電極５２との間の静電容量Ｃ３ａと基準値Ｃ０との差の絶対値に基づいて、圧電アクチュエータ２２のＹ方向における端部の反りの程度を把握して、圧電アクチュエータ２２が正常であるか異常であるかを判定することができる。

【0148】

また、以上では、ノズルからインク吐出するヘッドを構成する圧電アクチュエータ及びその検査に本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ヘッド以外の装置を構成する圧電アクチュエータ及びその検査に本発明を適用することも可能である。

【符号の説明】

【0149】

２２ 圧電アクチュエータ
４１ 振動板
４２ 第１圧電層
４３ 第２圧電層
５１ 個別電極
５２ 高電位電極
５３ 低電位電極
５４ａ，５４ｂ 第１表面電極
５５ａ，５５ｂ 第２表面電極
６２ａ，６２ｂ 検査用電極
６２ａ１，６２ａ２，６２ｂ１，６２ｂ２ 電極部分
６３ａ，６３ｂ 非導通電極
１１１ａ，１１１ｂ 検査用電極
１２１ａ，１２１ｂ 検査用電極
１２２ａ、１２３ａ 第１電極部分
１２２ｂ、１２３ｂ 第２電極部分
１２２ｃ、１２３ｃ 第３電極部分
５２４，５２５ 接続部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】