特開 2022-58205 導通検査用治具とプリント配線板の検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022058205

(43)【公開日】2022-04-11

(54)【発明の名称】導通検査用治具とプリント配線板の検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01R 1/073 20060101AFI20220404BHJP

【ＦＩ】

G01R1/073 E

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021149279

(22)【出願日】2021-09-14

(31)【優先権主張番号】P 2020165099

(32)【優先日】2020-09-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000000158

【氏名又は名称】イビデン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100095795

【弁理士】

【氏名又は名称】田下 明人

(72)【発明者】

【氏名】森 隆之

(72)【発明者】

【氏名】武田 大志

【テーマコード（参考）】

2G011

【Ｆターム（参考）】

2G011AA03

2G011AA15

2G011AB01

2G011AB07

2G011AC21

2G011AE01

2G011AF07

(57)【要約】

【課題】 導通検査用治具の小型化
【解決手段】 実施形態の導通検査用治具１１０は、複数の第１開口１２を有する第１部材１０と、複数の第２開口２２を有し、第１部材１０上に位置する第２部材２０と、第１部材１０と第２部材２０間に空間ＳＰを形成するために第１部材１０と第２部材２０間に配置されている第３部材３０と、第１開口１２の一つと空間ＳＰと第２開口２２の一つを通るプローブ３８、とを有する。そして、第３部材３０は空間ＳＰをほぼ囲んでいる
【選択図】 図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の第１開口を有する第１部材と、
複数の第２開口を有し、前記第１部材上に位置する第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材間に空間を形成するために前記第１部材と前記第２部材間に配置されている第３部材と、
前記第１開口の一つと前記空間と前記第２開口の一つを通るプローブ、とからなる導通検査用治具であって、
前記第３部材は前記空間をほぼ囲んでいる。

【請求項2】

請求項１の導通検査用治具であって、前記第３部材で囲まれている前記空間は前記第３部材で完全に囲まれている。

【請求項3】

請求項１の導通検査用治具であって、前記第３部材の平面形状は略枠状である。

【請求項4】

請求項１の導通検査用治具であって、前記第３部材は複数の部材で形成される。

【請求項5】

請求項４の導通検査用治具であって、前記第３部材は第４部材と第５部材を含む。

【請求項6】

請求項５の導通検査用治具であって、前記第５部材は前記第４部材上に積層されていて、前記第４部材と前記第５部材の内、前記第４部材は前記第１部材に近い。

【請求項7】

請求項５の導通検査用治具であって、前記第４部材と前記第５部材との間に前記空間と外部を繋ぐ隙間が形成されるように、前記第３部材は前記第４部材と前記第５部材で形成されている。

【請求項8】

請求項５の導通検査用治具であって、前記第４部材と前記第５部材で前記空間と外部を繋ぐ開口が形成されるように、前記第３部材は前記第４部材と前記第５部材で形成されている。

【請求項9】

請求項１の導通検査用治具であって、前記第３部材は前記空間と外部を繋ぐ開口を有する。

【請求項10】

請求項１の導通検査用治具であって、前記第１部材は前記第２部材側に第１凹部を有し、前記第１凹部は前記空間の一部を形成する。

【請求項11】

請求項１０の導通検査用治具であって、前記第１凹部は前記第１部材を部分的に除去することで形成される。

【請求項12】

請求項１０の導通検査用治具であって、前記第１部材は枠と前記複数の第１開口を有するシートを積層することで形成される。

【請求項13】

請求項１０の導通検査用治具であって、前記第２部材は前記第１部材側に第２凹部を有し、前記第２凹部は前記空間の一部を形成する。

【請求項14】

請求項１３の導通検査用治具であって、前記第２凹部は前記第２部材を部分的に除去することで形成される。

【請求項15】

請求項１３の導通検査用治具であって、前記第２部材は枠と前記複数の第２開口を有するシートを積層することで形成される。

【請求項16】

請求項１の導通検査用治具を用いてプリント配線板を検査すること、を含むプリント配線板の検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、導通検査用治具とプリント配線板の検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１は、基板検査用治具を開示している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７－３０９６４８号公報

【発明の概要】

【0004】

[特許文献１の課題]
特許文献１の図２に示されるように、特許文献１の基板検査用治具は、接触子と第一保持部と第二保持部と支柱を有している。そして、第１保持部と第２保持部間に支柱が配置されている。従って、第１保持部と支柱間の接触面積は小さいと考えられる。第２保持部と支柱間の接触面積は小さいと考えられる。そして、第１保持部と支柱をネジで固定することが考えられる。同様に、第２保持部と支柱をネジで固定することが考えられる。その場合、支柱の長さが短いと、第１保持部と支柱を固定するネジ（第１保持部用ネジ）と第２保持部と支柱を固定するネジ（第２保持部用ネジ）が干渉すると考えられる。例えば、第１保持部用ネジと第２保持部用ネジが衝突すると予想される。特許文献１の技術を用いて、支柱の長さを短くすることは困難であると考えられる。例えば、特許文献１の技術を用いて、基板検査用治具の小型化は難しいと推察される。支柱により第一保持部と第二保持部の間に空間が形成されている。そのため、特許文献１の技術を用いて、空間の距離を自由に決めることは難しいと考えられる。また、空間内に外部より異物が侵入すると推測される。異物は検査の精度を低くすると考えられる。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明に係る導通検査用治具は、複数の第１開口を有する第１部材と、複数の第２開口を有し、前記第１部材上に位置する第２部材と、前記第１部材と前記第２部材間に空間を形成するために前記第１部材と前記第２部材間に配置されている第３部材と、前記第１開口の一つと前記空間と前記第２開口の一つを通るプローブ、とを有する。そして、前記第３部材は前記空間をほぼ囲んでいる。

【0006】

[実施形態の効果]
本発明の実施形態の導通検査用治具は、第１部材と第２部材間に配置されている第３部材で、空間を形成する。そして、第３部材は空間をほぼ囲んでいる。そのため、第３部材の厚みを薄くすることができる。導通検査用治具を小型化することができる。空間内の清浄度を高くすることができる。高い精度で導通検査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１（Ａ）は電極の平面図であり、図１（Ｂ）はプリント配線板の断面図であり、図１（Ｃ）は参考例の導通検査用治具の断面図である。

【図2】図２は検査装置とプリント配線板を示す。

【図3】図３（Ａ）は参考例の導通検査用治具を示し、図３（Ｂ）は第３部材の第１例の斜視図であり、図３（Ｃ）は第３部材の第２例の外壁を示し、図３（Ｄ）は第３部材の第３例の外壁を示す。

【図4】図４（Ａ）は第３部材の第４例の上面を示し、図４（Ｂ）は第３部材の第５例の外壁を示し、図４（Ｃ）は第３部材の第６例の上面を示す。

【図5】実施形態の改変例に係る導通検査用治具の断面図

【図6】図６（Ａ）と図６（Ｂ）は隙間の例を示し、図６（Ｃ）は部材の組み合わせ方の例を示す。

【図7】図７（Ａ）は第３部材の第７例の斜視図であり、図７（Ｂ）は第３部材の第７例の上面を示す。

【発明を実施するための形態】

【0008】

［実施形態］
図２は、実施形態の検査装置１００と検査対象のプリント配線板１２０を示す。検査装置１００は、配線を有するプリント配線板１２０の電気的検査を行う。検査装置１００は、導通検査用治具１１０を有する。導通検査用治具１１０は、第１部材１０と第１部材１０上に位置する第２部材２０と第１部材１０と第２部材２０間に配置されている第３部材３０と第２部材２０と第３部材３０と第１部材１０を貫通するプローブ３８で形成されている。プローブ３８の数は複数である。検査装置１００は、さらに、第１部材１０下に端子６２を有する基板６０と端子６２から延びているリード線４４を有する。リード線４４は図示されていないテスターに電気的に繋がっている。

【0009】

検査対象のプリント配線板１２０の例が図１（Ｂ）に示される。図１（Ｂ）は、プリント配線板１２０の断面を示す。プリント配線板１２０は複数の樹脂絶縁層１と複数の導体層２を含む。樹脂絶縁層１と導体層２は交互に積層されている。隣接する導体層２はビア導体３で接続される。プリント配線板１２０は表面Ｆと表面Ｆと反対側の裏面Ｓを有する。表面Ｆに複数の電極７７を有する。図１（Ａ）は電極７７の平面図である。図１（Ａ）には、隣接している２つの電極７７が描かれている。図１（Ａ）と図１（Ｂ）に隣接する電極７７間のピッチＰが示されている。ピッチＰは隣接する電極７７の中心間の距離である。

【0010】

図２に示されるように、プローブ３８は一端３８Ｔと一端３８Ｔと反対側の他端３８Ｅを有する。一端３８Ｔは第２部材２０から突出している。他端３８Ｅは第１部材１０から突出している。そして、図２に示されるように、検査時、プローブ３８の一端３８Ｔがプリント配線板１２０の電極７７と電気的に繋がる。図１（Ｂ）に示されるように、プリント配線板１２０が電極７７上にバンプ７６を有すると、一端３８Ｔはバンプ７６と接触する。検査時、プローブ３８の他端３８Ｅが端子６２に繋がる。

【0011】

プローブ３８は、導電性ワイヤーとワイヤーの側面を被覆する絶縁膜で形成されている。プローブ３８は可撓性を有する。

【0012】

図２に示されるように、第１部材１０は複数の第１開口１２を有する。第２部材２０は複数の第２開口２２を有する。第１部材１０と第２部材２０間に空間ＳＰが形成されるように、第１部材１０と第２部材２０間に第３部材３０が配置されている。空間ＳＰの数は一つである。第３部材３０は、空間ＳＰの距離Ｄ１を制御する。第３部材３０の厚み３Ｈにより、距離Ｄ１がほぼ制御される。第３部材３０の厚み３Ｈは、１．５ｍｍ以上、１０ｍｍ以下である。厚み３Ｈは、１．５ｍｍ以上、２．５ｍｍ以下であることが好ましい。小さな導体検査用治具１１０を提供することができる。プローブ３８は、一つの第１開口１２と空間ＳＰと一つの第２開口２２を通る。全てのプローブ３８が空間ＳＰ内に収容されている。

【0013】

実施形態では、第１部材１０と第２部材２０間に空間ＳＰをほぼ囲んでいる第３部材３０が配置されている。第１部材１０と第３部材３０間の接触面積は第１面積である。第２部材２０と第３部材３０間の接触面積は第２面積である。
参考例の導通検査用治具が図１（Ｃ）に示される。参考例では、第１部材１０と第２部材２０間に支柱Ｐが配置されている。第１部材１０と支柱Ｐ間の接触面積は第３面積である。第２部材２０と支柱Ｐ間の接触面積は第４面積である。
第３部材３０は空間ＳＰをほぼ囲んでいる。そのため、第１面積と第３面積が比較されると、第１面積は第３面積より大きい。第２面積と第４面積が比較されると、第２面積は第４面積より大きい。第３部材３０を用いることで、第１部材１０と第３部材３０間の接触面積を大きくすることができる。第２部材２０と第３部材３０間の接触面積を大きくすることができる。第３部材３０を用いることで、空間ＳＰの距離Ｄ１を高い精度で制御することができる。例えば、第１部材１０と第２部材２０の変形を抑制することができる。第１部材１０と第２部材２０の厚みを薄くすることができる。第１部材１０の厚みを薄くすることで、第１部材１０に形成する第１開口１２の径を小さくすることが出来る。第２部材２０の厚みを薄くすることで、第２部材２０に形成する第２開口２２の径を小さくすることが出来る。導通検査用治具１１０は、より多くのプローブ３８を有することができる。隣接する第１開口１２間の距離を小さくすることができる。隣接する第２開口２２間の距離を小さくすることができる。実施形態の導通検査用治具１１０を用いることで、高密度なプリント配線板１２０を検査することができる。例えば、隣接する電極７７間のピッチＰが５５μｍ以下であっても、実施形態の導通検査用治具１１０を用いることで、高い精度で導通検査が可能である。隣接する電極７７間のピッチＰが２５μｍ以上であれば、実施形態の導通検査用治具１１０を用いて導通検査が可能である。

【0014】

図３（Ａ）に示されるように、実施形態は、ネジＳＣにより、第１部材１０と第３部材３０を固定することができる。第２部材２０と第３部材３０をネジＳＣで固定することができる。図１（Ｃ）に示されるように、参考例は、ネジＳＣにより、第１部材１０と支柱Ｐを固定することができる。第２部材２０と支柱ＰをネジＳＣで固定することができる。図３（Ａ）と図１（Ｃ）の例に用いられているネジＳＣは同じである。図１（Ｃ）では、第１部材１０と支柱Ｐを固定するネジＳＣと第２部材２０と支柱Ｐを固定するネジＳＣが衝突している。そのため、固定するには、支柱Ｐの長さを長くすることが必要である。それに対し、図３（Ａ）では、第１部材１０と第３部材３０を固定するネジＳＣの位置と第２部材２０と第３部材３０を固定するネジＳＣの位置をずらすことができる。そのため、第３部材３０が薄くても、第１部材１０と第３部材３０を固定することができる。第２部材２０と第３部材３０を固定することができる。実施形態によれば、第３部材３０の厚みを薄くすることができる。そのため、導通検査用治具１１０の小型化が可能である。

【0015】

第３部材３０は空間ＳＰをほぼ囲んでいる。そのため、外部から空間ＳＰ内に異物が侵入しない。あるいは、外部から空間ＳＰ内に侵入する異物の数を少なくすることができる。そのため、プローブ３８が密に配置されても、検査中、空間ＳＰ内でプローブ３８が整列することができる。高密度なプリント配線板１２０を検査することができる。隣接する電極７７間のピッチＰが２５μｍ以上、４５μｍ以下であっても、態の導通検査用治具１１０を用いることで、高い精度で導通検査が可能である。

【0016】

続いて、第３部材３０の例が示される。図３（Ｂ）は第１例であり、図３（Ｃ）は第２例であり、図３（Ｄ）は第３例であり、図４（Ａ）は第４例であり、図４（Ｂ）は第５例であり、図４（Ｃ）は第６例である。
第３部材３０は空間ＳＰと面する内壁３０Ａと内壁３０Ａと反対側の外壁３０Ｂを有する。外壁３０Ｂは外部と面する。内壁３０Ａと外壁３０Ｂ間に形成されている部材は側壁３０Ｗである。第３部材３０は上面Ｕと上面Ｕと反対側の下面Ｌを有する。上面Ｕは第２部材２０に近い。下面Ｌは第１部材１０に近い。上面Ｕと下面Ｌは、例えば、図３（Ｂ）と図３（Ｃ）に示されている。

【0017】

第３部材３０の第１例と第２例は一つの部材で形成されている。第１例と第２例の上面Ｕは連続している。第１例と第２例の下面Ｌは連続している。
第３部材３０の第３例と第４例、第５例、第６例は複数の部材４０、５０で形成されている。

【0018】

第３例では、複数の部材４０、５０を積層することで、第３部材３０が形成される。各部材４０、５０の形は枠状である。
第４例と第５例、第６例では、複数の部材４０、５０を組み合わせることで、第３部材３０が形成される。各部材４０、５０の形は枠状でない。
第３例では、各部材４０、５０が縦に置かれる。第４例と第５例、第６例では、各部材４０、５０が横に置かれる。

【0019】

第１例と第２例、第３例、第４例、第５例、第６例の第３部材３０の平面形状は略枠状である。平面形状は上面Ｕの形状で代表される。あるいは、平面形状は下面Ｌの形状で代表される。
第１例と第２例、第３例、第４例、第５例の上面Ｕと下面Ｌは繋がっている。これらの例では、上面Ｕの形は完全な枠状である。下面Ｌの形は完全な枠状である。
第６例の上面Ｕは繋がっていない。第６例の下面Ｌは繋がっていない。第６例では、１つの部材４０とその部材４０の横に配置される部材５０間に隙間３２が形成されている。

【0020】

第３部材３０の第１例の斜視図が図３（Ｂ）に示される。第３部材３０の第１例は内壁３０Ａから外壁３０Ｂまで延びている開口や隙間を有していない。第１例では、第３部材３０で囲まれている空間ＳＰは第３部材３０で完全に囲まれている。第３部材３０は、第３部材３０内の空間ＳＰを完全に囲んでいる。

【0021】

第３部材３０の第２例の一つの外壁３０Ｂが図３（Ｃ）に示される。図３（Ｃ）に示されるように、第３部材３０の第２例は開口３２ｆを有する。開口３２ｆは内壁３０Ａから外壁３０Ｂまで延びている。開口３２ｆは空間ＳＰと外部を繋いでいる。開口３２ｆは上面Ｕに繋がっていない。さらに、開口３２ｆは下面Ｌに繋がっていない。開口３２ｆの数は複数である。開口３２ｆは第３部材３０の各側面３０Ｓに一つ形成されている。側面３０Ｓは外壁３０Ｂを形成する。第２例では、第３部材３０で囲まれている空間ＳＰは第３部材３０で、ほぼ、囲まれている。第３部材３０は、第３部材３０内の空間ＳＰをほぼ囲んでいる。

【0022】

第３部材３０の第３例の一つの外壁３０Ｂが図３（Ｄ）に示される。第３部材３０の第３例は第４部材４０と第５部材５０で形成されている。第４部材４０上に第５部材５０が積層されている。第４部材４０と第５部材５０の内、第４部材４０は第１部材１０に近い。第４部材４０の形状と第５部材５０の形状は同じである。第３例の空間ＳＰの囲み方と第１例の空間ＳＰの囲み方は同じである。

【0023】

第３部材３０の第４例の上面Ｕが図４（Ａ）に示される。第４例では、複数の部材４０、５０を組み合わせることで、第３部材３０が形成される。第３部材３０で囲まれている空間ＳＰは第３部材３０で完全に囲まれている。図４（Ａ）では、第４部材４０の横に第５部材５０が配置されている。第４部材４０と第５部材５０が接している。

【0024】

第３部材３０の第５例の一つの外壁３０Ｂが図４（Ｂ）に示される。第５例では、複数の部材４０、５０を組み合わせることで、開口３２ｆを有する第３部材３０が形成される。例えば、開口３２ｆは２つの部材４０、５０を繋げることで形成される。２つの部材４０、５０の境界上に開口３２ｆは形成される。図４（Ｂ）では、開口３２ｆが形成されるように、第３部材３０は、第４部材４０と第５部材５０で形成されている。第４部材４０と第５部材５０の境界上に開口３２ｆは形成される。第４部材４０と第５部材５０は凹部４０ｄｃ、５０ｄｃを有する。第４部材４０の凹部４０ｄｃと第５部材５０の凹部５０ｄｃを繋げることで開口３２ｆは形成される。第５例の開口３２ｆと第２例の開口３２ｆは同様である。第５例の空間ＳＰの囲み方と第２例の空間ＳＰの囲み方は同じである。

【0025】

第３部材３０の第６例の上面Ｕが図４（Ｃ）に示される。第３部材３０の第６例は空間ＳＰと外部を繋ぐ隙間３２を有する。図４（Ｃ）の例では、第４部材４０と第５部材５０との間に空間ＳＰと外部を繋ぐ隙間３２が形成されるように、第３部材３０が第４部材４０と第５部材５０で形成されている。図４（Ｃ）では、隙間３２は、内壁３０Ａから外壁３０Ｂまで延びている。隙間３２は、側壁３０Ｗを貫通している。さらに、隙間３２は、上面Ｕから下面Ｌまで延びている。隙間３２の別例が図６（Ａ）に示される。図６（Ａ）の例では、隙間３２は、上面Ｕから下面Ｌまで延びていない。隙間３２は内壁３０Ａから外壁３０Ｂまで延びている。隙間３２は上面Ｕから上面Ｕと下面Ｌとの間の所定位置まで延びている。または、図６（Ｂ）に示されているように、隙間３２は下面Ｌから上面Ｕと下面Ｌとの間の所定位置まで延びている。第６例では、第３部材３０で囲まれている空間ＳＰは第３部材３０で、ほぼ、囲まれる。第３部材３０は、第３部材３０内の空間ＳＰをほぼ囲んでいる。

【0026】

第３部材３０の第７例の斜視図が図７（Ａ）に示される。第３部材３０の第７例の上面Ｕが図７（Ｂ）に示される。第７例では、複数の部材４０、５０を組み合わせることで、第３部材３０が形成される。第３部材３０で囲まれている空間ＳＰは第３部材３０で完全に囲まれている。第７例では、第４部材４０の横に第５部材５０が配置されている。第４部材４０と第５部材５０が接している。図７（Ａ）と図７（Ｂ）に示されるように、第４部材４０の大きさと第５部材５０の大きさが異なる。第４部材４０は第５部材５０より大きい。図７（Ａ）に示されるように、第７例の第３部材３０は長い側壁３０ＷＬと短い側壁３０ＷＳを有する。第４部材４０を形成する短い側壁３０ＷＳの大きさと第５部材５０を形成する短い側壁３０ＷＳの大きさは同じである。第３部材３０を形成する長い側壁３０ＷＬは第４部材４０の側壁３０Ｗと第５部材５０の側壁３０Ｗで形成されている。そして、第４部材４０の側壁３０Ｗの大きさと第５部材５０の側壁３０Ｗの大きさが異なる。第３部材を形成する長い側壁３０ＷＬは、異なる大きさの側壁３０Ｗで形成されている。長い側壁３０ＷＬを形成する第４部材４０の側壁３０Ｗは長い側壁３０ＷＬを形成する第５部材５０の側壁３０Ｗより大きい。

【0027】

第３部材３０は第１部材１０と第２部材２０を支えている。第３部材３０が空間ＳＰを完全に囲んでいると、第１部材１０を支える部分を多くすることができる。第２部材２０を支える部分を多くすることができる。第１部材１０の変形量を小さくすることができる。第２部材２０の変形量を小さくすることができる。空間ＳＰの距離Ｄ１を制御することができる。

【0028】

第３部材３０が開口３２ｆや隙間３２を有すると、空間ＳＰ内を観察することができる。開口３２ｆや隙間３２を介して、プローブ３８が適切な第１開口１２を通過しているかどうかを確認することができる。同様に、プローブ３８が適切な第２開口２２を通過しているかどうかを確認することができる。空間ＳＰ内でプローブ３８が適切に配列しているかどうかを確認することができる。

【0029】

第４例と第５例、第６例、第７例では、各部材４０が横に配置される。そのため、第３部材３０を形成する各部材４０、５０のサイズは第３部材３０のサイズより小さい。各部材４０、５０が加工されるとき、ひずみが小さい。小さなひずみを有する部材４０、５０を組み合わせることで、第３部材３０が製造される。従って、第４例と第５例、第６例、第７例の第３部材３０は、使用時、変形し難い。

【0030】

図６（Ｃ）に示されるように、第３部材３０が複数の部材４０、５０で形成されるとき、第５部材５０を第４部材４０に嵌め込むことで第３部材３０を形成することができる。

【0031】

第３部材３０を樹脂製の材料で形成することが好ましい。第３部材３０が複数の部材４０、５０で形成されるとき、各部材４０、５０は樹脂製の材料で形成される。第４部材４０と第５部材５０は樹脂製の材料で形成される。

【0032】

図２に示されるように、第１部材１０は、第１凹部１０Ｂと、第１凹部１０Ｂを囲む枠１０ａと、第１凹部１０Ｂと枠１０ａを覆うシート１０ｂで形成されている。第１部材１０が第１凹部１０Ｂを有することで、第１凹部１０Ｂ上のシート１０ｂの厚みを薄くすることができる。第１開口１２は第１凹部１０Ｂ上のシート１０ｂに形成される。第１開口１２は第１凹部１０Ｂ上のシート１０ｂを貫通する。第１開口１２の径を小さくすることができる。第１開口１２を高密度に配置することができる。
枠１０ａとシート１０ｂは一体的に形成されている。あるいは、枠１０ａとシート１０ｂは別々に形成されている。前者は第１部材１０の第１例であり、後者は第１部材１０の第２例である。第１例では、１つのシート１０ｂの中心部分を除去することで、第１凹部１０Ｂを有する第１部材１０が形成される。従って、シート１０ｂと枠１０ａは連続している。枠１０ａはシート１０ｂから延びている。第２例では、１つのシート１０ｂと１つの枠１０ａが準備される。１つのシート１０ｂ上に１つの枠１０ａが積層される。第１例は強度の点で優れる。第２例は第１開口１２の加工の点で優れる。
第１凹部１０Ｂは第３部材３０で囲まれている空間ＳＰに繋がっている。第１凹部１０Ｂは空間ＳＰの一部を形成する。そのため、第３部材３０の厚みが薄くても空間ＳＰの距離Ｄ１を確保することできる。
第１部材１０を形成する枠１０ａの平面形状と第３部材３０の平面形状は同じである。シート１０ｂは剛性を有する。

【0033】

第２部材２０は、第２凹部２０Ｂと、第２凹部２０Ｂを囲む枠２０ａと、第２凹部２０Ｂと枠２０ａを覆うシート２０ｂで形成されている。第２部材２０が第２凹部２０Ｂを有することで、第２凹部２０Ｂ上のシート２０ｂの厚みを薄くすることができる。第２開口２２は第２凹部２０Ｂ上のシート２０ｂに形成される。第２開口２２は第２凹部２０Ｂ上のシート２０ｂを貫通する。第２開口２２の径を小さくすることができる。第２開口２２を高密度に配置することができる。
枠２０ａとシート２０ｂは一体的に形成されている。あるいは、枠２０ａとシート２０ｂは別々に形成されている。前者は第２部材２０の第１例であり、後者は第２部材２０の第２例である。第１例では、１つのシート２０ｂの中心部分を除去することで、第２凹部２０Ｂを有する第２部材２０が形成される。従って、シート２０ｂと枠２０ａは連続している。枠２０ａはシート２０ｂから延びている。第２例では、１つのシート２０ｂと１つの枠２０ａが準備される。１つのシート２０ｂ上に１つの枠２０ａが積層される。第１例は強度の点で優れる。第２例は第２開口２２の加工の点で優れる。
第２凹部２０Ｂは第３部材３０で囲まれている空間ＳＰに繋がっている。第２凹部２０Ｂは空間ＳＰの一部を形成する。そのため、第３部材３０の厚みが薄くても空間ＳＰの距離Ｄ１を確保することできる。
第２部材２０を形成する枠２０ａの平面形状と第３部材３０の平面形状は同じである。シート１０ｂは剛性を有する。

【0034】

シート１０ｂの厚み１０Ｈとシート２０ｂの厚み２０Ｈは、０．１５ｍｍ以上、０．３５ｍｍ以下である。ピッチＰが５５μｍ以下であっても、シート１０ｂに第１開口１２を形成することができる。シート２０ｂに第２開口２２を形成することができる。
シート１０ｂの厚み１０Ｈとシート２０ｂの厚み２０Ｈは、０．１５ｍｍ以上、０．２５ｍｍ以下である。ピッチＰが４５μｍ以下であっても、シート１０ｂに第１開口１２を形成することができる。シート２０ｂに第２開口２２を形成することができる。

【0035】

図２に示されるように、一つのプローブは、一つの第１開口１２と一つの第２開口２２を通過する。第１開口１２の直上に第２開口２２は位置しない。プローブ３８が斜めに配列されるように、第１開口１２と第２開口２２は配置されている。各プローブ３８は同様に傾いている。検査の間、一端３８Ｔがプリント配線板１２０の電極７７、あるいは、バンプ７６に当たり、他端３８Ｅが端子６２に当たる。その時、各プローブ３８が同様に傾いているので、各プローブ３８が同方向に撓む。全プローブ３８は空間ＳＰ内で同方向に曲がる。

【0036】

空間ＳＰの距離Ｄ１は３．５ｍｍ以上、１２ｍｍ以下である。プローブ３８が適切な第１開口１２と適切な第２開口２２を通る。ピッチＰが小さくなると、プローブ３８を細くする必要がある。プローブ３８が細くなると、プローブ３８の強度が小さくなる。プローブ３８の強度が小さく、プローブ３８の長さが長いと、空間ＳＰ内でプローブＳＰ同士がからまる。しかしながら、ピッチＰが２５μｍ以上、４５μｍであっても、距離Ｄ１が６ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であると、適切な強度と適切な長さを有するプローブ３８を使用することができる。ピッチＰが２５μｍ以上、４５μｍ以下であっても、距離Ｄ１が６ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であれば、高い精度でプリント配線板１２０を検査することができる。

【0037】

[実施形態の改変例]
図５は実施形態の改変例に係る導通検査用治具１１０の断面図である。
改変例の導通検査用治具１１０は、複数の第１部材１０Ａ１、１０Ａ２、１０Ａ３、１０Ａ４、１０Ａ５と複数の第２部材２０Ａ１、２０Ａ２を有する。
第１部材１０と第２部材２０は第１面Ｘと第１面Ｘと反対側の第２面Ｙを有する。第１面Ｘはプリント配線板１２０に近く、第２面Ｙは端子６２を有する基板６０に近い。第１部材１０と第２部材２０は第１面Ｘから凹んでいる凹部と第２面Ｙから凹んでいる凹部を有することができる。両側に凹部を有することで、空間ＳＰの距離Ｄ１を精度よく調整するこができる。例えば、距離Ｄ１は数十μｍ単位から数百μｍ単位で制御される。両側に凹部を有することで、シート１０ｂ、２０ｂの厚みを薄くすることができる。プローブ３８はシート１０ｂ、２０ｂを通過する。

【符号の説明】

【0038】

１０ ：第１部材
１０Ｂ ：第１凹部
１０ａ、２０ａ ：枠
１０ｂ、２０ｂ ：シート
１２ ：第１開口
２０ ：第２部材
２０Ｂ ：第２凹部
２２ ：第２開口
３０ ：第３部材
３８ ：プローブ
４０ ：第４部材
５０ ：第５部材
１００ ：検査装置
１１０ ：導通検査用治具
ＳＰ ：空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】