特開 2022-59212 搬送システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022059212

(43)【公開日】2022-04-13

(54)【発明の名称】搬送システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20220406BHJP

   B65G 47/90 20060101ALI20220406BHJP

   B25J 5/00 20060101ALI20220406BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G47/90 B

B25J5/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020166805

(22)【出願日】2020-10-01

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】竹村 大希

(72)【発明者】

【氏名】唐木 征二

(72)【発明者】

【氏名】倉田 茂

【テーマコード（参考）】

3C707

3F072

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707AS25

3C707BS15

3C707CS04

3C707CY40

3C707DS02

3C707NS09

3C707NS12

3F072AA28

3F072KD23

3F072KD28

5F131AA03

5F131AA12

5F131AA32

5F131BA00

5F131BB03

5F131BB13

5F131CA32

5F131DA02

5F131DA22

5F131DA42

5F131DA62

5F131DB52

5F131DB77

5F131DB82

5F131EA04

5F131EB01

5F131GA22

5F131GA42

5F131KA12

5F131KB09

5F131KB52

(57)【要約】

【課題】処理が必要な第１基板と処理が不要な第２基板とを混在した状態で搬送しても、タクトタイムを短縮することが可能な搬送システムを提供すること。
【解決手段】搬送システム１は、処理部１０での処理前の第１基板１００Ａが第１ロボット３により載置される第１載置部４と、第１ロボット３から受け取った第２基板１００Ｂを第１方向に搬送する搬送キャリッジ５と、第１載置部４にされた第１基板１００Ａを処理部１０に移動させるとともに、処理部１０で処理された処理済みの第１基板１００ＡをＸ１方向に位置する第２載置部７に載置する走行機能付きの第２ロボット６とを有する。第２ロボット６は、Ｘ１方向に走行して、処理済みの第１基板１００Ａを第２載置部７に移動させるとともに、搬送キャリッジ５により第１方向に搬送された第２基板１００Ｂを搬送キャリッジ５から受け取って第２載置部７に載置する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

処理部での処理が行われる第１ワーク、および前記処理部での処理が行われない第２ワークを受け取る第１ロボットと、
前記処理部での処理前の前記第１ワークが前記第１ロボットにより載置される第１載置部と、
前記第１ロボットから受け取った前記第２ワークを第１方向に搬送する搬送キャリッジと、
前記第１載置部にされた第１ワークを前記処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記第１ワークを前記第１方向に位置する第２載置部に載置する走行機能付きの第２ロボットと、
を有し、
前記第２ロボットは、前記第１方向に走行して、前記処理済みの第１ワークを前記第２載置部に移動させるとともに、前記搬送キャリッジにより前記第１方向に搬送された前記第２ワークを前記搬送キャリッジから受け取って前記第２載置部に載置することを特徴とする搬送システム。

【請求項2】

請求項１に記載の搬送システムにおいて、
前記第２ロボットは、前記処理前の第１ワークを保持する第１保持部と、前記処理済みの第１ワークを保持する第２保持部とを備え、
前記第１保持部は、前記第２保持部が前記処理部から前記処理済みの第１ワークを取り出した後に、前記処理部に前記処理前の第１ワークを移動させることを特徴とする搬送システム。

【請求項3】

請求項２に記載の搬送システムにおいて、
前記第２ロボットが前記処理前の第１ワークを前記第２載置部に移動させる際、前記第１保持部は、前記搬送キャリッジにより前記第１方向に搬送された前記第２ワークを前記搬送キャリッジから前記第２載置部に移動させることを特徴とする搬送システム。

【請求項4】

請求項１から３の何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記搬送キャリッジは、前記第２ワークが載置されるとともに、前記第２ワークを搬送するステージを備え、
前記ステージは、上下方向を回転軸として回転可能であることを特徴とする搬送システム。

【請求項5】

請求項１から４の何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記第１載置部は、上下方向を回転軸として回転可能であることを特徴とする搬送システム。

【請求項6】

請求項１から５の何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記搬送キャリッジは、前記処理部と上下方向に重なることを特徴とする搬送システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワークを搬送する搬送システムに関する。

【背景技術】

【0002】

液晶表示装置の組立ラインに組み込まれる搬送システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送システムは、前工程で処理されたガラス基板が載置されるステージと、前工程で処理されたガラス基板をガラス基板に対する処理を行う加熱部に移動させるとともに、加熱部で処理された処理済みのガラス基板を次工程に移動させるロボットとを有する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１２－２２２０８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の搬送システムでは、ガラス基板は各工程において順次処理される。ここで、第１工程（前工程）で処理されたパネルには、第２工程で処理が必要な第１基板と処理が不要な第２基板とが含まれており、第１基板および第２基板は、第３工程（次工程）で一緒に処理される場合がある。このような処理を行う場合、第１基板および第２基板は混在した状態で交互に搬送される。ロボットは、第２基板を搬送する際、第２基板を処理部には移動させずに、ステージから次工程へ移動させている。しかしながら、ロボットによる第２基板の移動距離が長い場合、ロボットの動作に時間がかかるので、搬送システムのタクトタイムが短縮できないという問題があった。

【0005】

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、処理部での処理が必要な第１基板と処理が不要な第２基板とを混在した状態で搬送した場合であっても、タクトタイムを短縮することが可能な搬送システムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記の課題を解決するために、本発明の搬送システムは、処理部での処理が行われる第１ワーク、および前記処理部での処理が行われない第２ワークを受け取る第１ロボットと、前記処理部での処理前の前記第１ワークが前記第１ロボットにより載置される第１載置部と、前記第１ロボットから受け取った前記第２ワークを第１方向に搬送する搬送キャリッジと、前記第１載置部にされた第１ワークを前記処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記第１ワークを前記第１方向に位置する第２載置部に載置する走行機能付きの第２ロボットと、を有し、前記第２ロボットは、前記第１方向に走行して、前記処理済みの第１ワークを前記第２載置部に移動させるとともに、前記搬送キャリッジにより前記第１方向に搬送された前記第２ワークを前記搬送キャリッジから受け取って前記第２載置部に載置することを特徴とする。

【0007】

本発明では、第２ロボットは、第１方向に走行して、処理済みの第１ワークを第２載置部に移動させるとともに、搬送キャリッジにより第１方向に搬送された第２ワークを搬送キャリッジから受け取って第２載置部に載置する。すなわち、処理部での処理が行われない第２ワークは、搬送キャリッジによって第１方向に搬送されるので、第２ロボットは、第１ワークを第２載置部に移動させる際、第１方向に搬送された第２ワークを第２載置部に移動させるだけであり、第２ワークを第１方向まで移動させる必要がない。このため、
第２ロボットの動作にかかる時間を短縮することができる。この結果、搬送システムのタクトタイムを短縮することができる。

【0008】

本発明において、前記第２ロボットは、前記処理前の第１ワークを保持する第１保持部と、前記処理済みの第１ワークを保持する第２保持部とを備え、前記第１保持部は、前記第２保持部が前記処理部から前記処理済みの第１ワークを取り出した後に、前記処理部に前記処理前の第１ワークを移動させることが好ましい。このように構成すれば、第２ロボットは、処理済みの第１ワークを処理部から取り出した後、続けて処理前の第１ワークを処理部に移動させることができる。この結果、搬送システムのタクトタイムを短縮することができる。

【0009】

本発明において、前記第２ロボットが前記処理前の前記第１ワークを前記第２載置部に移動させる際、前記第１保持部は、前記搬送キャリッジにより前記第１方向に搬送された前記第２ワークを前記搬送キャリッジから前記第２載置部に移動させることが好ましい。このように構成すれば、保持部が１つの場合と比べて、搬送システムのタクトタイムを短縮することができる。

【0010】

本発明において、前記搬送キャリッジは、前記第２ワークが載置されるとともに、前記第２ワークを搬送するステージを備え、前記ステージは、上下方向を回転軸として回転可能であることが好ましい。このように構成すれば、ステージに載置された第２ワークの向きを変更することが容易である。

【0011】

本発明において、前記第１載置部は、上下方向を回転軸として回転可能であることが好ましい。このように構成すれば、第１載置部に載置された第１ワークの向きを変更することが容易である。

【0012】

本発明において、前記搬送キャリッジは、前記処理部と上下方向に重なることが好ましい。このように構成すれば、搬送システムの設定面積をコンパクトにすることができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明の搬送システムでは、処理部での処理が必要な第１基板と処理が不要な第２基板とを混在した状態で搬送した場合であっても、搬送システムのタクトタイムを短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の実施形態にかかる搬送システムの平面図である。

【図2】搬送システムの正面図である。

【図3】搬送システムの側面図である。

【図4】第２ロボットの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の説明では、ワークが、液晶ディスプレイ用のガラス基板（以下、「基板」とする。）である場合を中心に説明する。図１は、本発明の実施形態にかかる搬送システムの平面図である。図２は、搬送システムの正面図である。図３は、搬送システムの側面図ある。図４は、第２ロボットの斜視図である。なお、図３では、第１ロボットおよび第２載置部は省略されている。

【0016】

（搬送システム１の全体構成）
本形態の搬送システム１は、液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム１は、前工程で処理された基板１００が搬入部２に搬入されると、基板１
００の一部を処理部１０に移動するとともに、残りの基板１００および処理部１０で処理された基板１００を、次工程の第２載置部７に搬送するためのシステムである。本形態の基板１００は、長方形であり、処理部１０での処理が行われる第１基板１００Ａ（第１ワーク）と、処理部１０での処理が行われない第２基板１００Ｂ（第２ワーク）とが含まれている。第１基板１００Ａと第２基板１００Ｂとは同じ大きさである。

【0017】

図１～図３に示すように、搬送システム１は、処理部１０での処理が行われる第１基板１００Ａおよび処理部１０での処理が行われない第２基板１００Ｂを移動させる第１ロボット３と、処理部１０での処理前の第１基板１００Ａが第１ロボット３により載置される第１載置部４と、第１ロボット３から受け取った第２基板１００Ｂを第１方向に搬送する搬送キャリッジ５と、第１載置部４にされた第１基板１００Ａを処理部１０に移動させるとともに、処理部１０で処理された処理済みの第１基板１００Ａを第１方向に位置する第２載置部７に載置する走行機能付きの第２ロボット６とを有する。第２ロボット６は、第１方向に走行して、処理済みの第１基板１００Ａを第２載置部７に移動させるとともに、搬送キャリッジ５により第１方向に搬送された第２基板１００Ｂを搬送キャリッジ５から受け取って第２載置部７に載置する。

【0018】

ここで、本明細書において、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸とする。搬送キャリッジ５は、Ｘ軸に沿って延在する。Ｚ軸は鉛直軸である。Ｘ軸において、搬送キャリッジ５が第２基板１００Ｂを移動させる方向をＸ１方向とし、その反対をＸ２方向とする。Ｚ軸において、上方をＺ１方向とし、下方をＺ２方向とする。Ｘ軸において、一方をＸ１方向とし、その反対をＸ２方向とする。本形態において、Ｘ１方向は第１方向である。

【0019】

図１～図３に示すように、搬入部２には、前工程で処理された基板１００が載置される。基板１００は、所定の方向となるように搬入部２に載置される。本形態では、基板１００の長手方向がＸ軸方向となるように、基板１００は搬入部２に載置される。

【0020】

図１～図３に示すように、第１ロボット３は、搬入部２のＸ１方向の側に位置する。第１ロボット３は、搬入部２に載置された基板１００のうち第１基板１００Ａを第１載置部４に移動させるとともに、搬入部２に載置された基板１００のうち第２基板１００Ｂを搬送キャリッジ５に移動させる。第１ロボット３は、基板１００を支持するハンド部３１と、ハンド部３１が先端側に連結されるアーム３２と、アーム３２の基端側を支持する支持部３３と、支持部３３を上下方向に移動させる上下駆動部３４とを備える。

【0021】

ハンド部３１は、Ｚ軸方向を回転軸として、アーム３２の先端側に回動可能に連結されている。ハンド部３１は、第１基板１００Ａを下方から支持する。この際、ハンド部３１の延在する方向と第１基板１００Ａの長手方向とは一致する。アーム３２は、Ｚ軸方向を回転軸とした多関節アームである。アーム３２の基端側は、Ｚ軸方向を回転軸として、支持部３３に回動可能に連結されている。上下駆動部３４は、支持部３３を介して、ハンド部３１を上下方向に移動させる。よって、第１ロボット３は、ハンド部３１を水平面に沿って、自在に移動させるとともに、ハンド部３１を上下方向に移動させることが可能である。

【0022】

図１～図３に示すように、第１載置部４は、第１ロボット３のＹ２方向の側に位置する。また、第１載置部４は、Ｚ軸方向において、搬入部２と同じ高さに配置されている。第１載置部４は、第１基板１００Ａが載置されるステージ４１と、ステージ４１を回転させる回転駆動部４２とを備える。ステージ４１は、第１基板１００Ａが載置される大きさである。回転駆動部４２は、モータなどの回転駆動源を備え、Ｚ軸方向を回転軸として、ステージ４１を回転させる。回転駆動部４２は、ステージ４１を回転させることによって、
ステージ４１に載置された第１基板１００Ａの向きを変更することが可能である。

【0023】

図１～図３に示すように、搬送キャリッジ５は、Ｘ軸方向に延在する。搬送キャリッジ５は、第１ロボット３のＸ１方向の側に位置する。また、搬送キャリッジ５は、Ｚ軸方向において、搬入部２と同じ高さに配置されている。搬送キャリッジ５は、第２基板１００Ｂが載置されるステージ５１と、ステージ５１を回転させる回転駆動部５２と、回転駆動部５２を介してステージ５１をＸ軸方向に往復移動させる駆動部５３とを備える。ステージ５１は、第２基板１００Ｂが載置される大きさである。

【0024】

回転駆動部５２は、モータなどの回転駆動源を備え、Ｚ軸方向を回転軸として、ステージ５１を回転させる。回転駆動部５２は、ステージ５１を回転させることによって、ステージ５１に載置された第２基板１００Ｂの向きを変更するが可能である。駆動部５３は、電動シリンダなどからなる。駆動部５３は、Ｘ２方向の端部からＸ１方向の端部まで、ステージ５１を往復移動させる。

【0025】

処理部１０は、搬入部２、第１載置部４および搬送キャリッジ５より下方に位置する。処理部１０は、３つ設けられている。処理部１０は、内部において、例えば、第１基板１００Ａに液晶を滴下する処理などを行う。処理部１０は、第２ロボット６のＹ１方向の側に設けられた第１処理部１０Ａと、第２ロボット６のＹ２方向の側に設けられた第２処理部１０Ｂおよび第３処理部１０Ｃとを備える。第１処理部１０Ａは、搬送キャリッジ５と上下方向に重なる。なお、処理部１０は、３つに限定されず、必要に応じて設けることが可能である。

【0026】

図１～図４に示すように、第２ロボット６は、第１処理部１０Ａと第２処理部１０Ｂとの間に配置されている。第２ロボット６は、駆動部６５によりＸ軸方向に往復走行する。第２ロボット６は、処理前の第１基板１００Ａを保持する第１保持部６１と、処理済みの第１基板１００Ａを保持する第２保持部６２とを備える。

【0027】

第２ロボット６は、第１保持部６１および第２保持部６２の基端側を支持する支持部６３と、支持部６３を上下方向に移動させる上下駆動部６４と、を備える。上下駆動部６４は、支持部６３を介して、第１保持部６１および第２保持部６２を上下方向に移動させる。

【0028】

第１保持部６１は、第１基板１００Ａを支持するハンド部６６と、ハンド部６６が先端側に連結されるアーム６７とを備える。ハンド部６６は、Ｚ軸方向を回転軸として、アーム６７の先端側に回動可能に連結されている。ハンド部６６は、第１基板１００Ａを下方から支持する。この際、ハンド部６６の延在する方向と第１基板１００Ａの長手方向とは一致する。アーム６７は、Ｚ軸方向を回転軸とした多関節アームである。アーム６７の基端側は、Ｚ軸方向を回転軸として、支持部６３に回動可能に連結されている。

【0029】

第２保持部６２は、第１基板１００Ａを支持するハンド部６８と、ハンド部６８が先端側に連結されるアーム６９とを備える。ハンド部６８は、Ｚ軸方向を回転軸として、アーム６９の先端側に回動可能に連結されている。ハンド部６８は、第１基板１００Ａを下方から支持する。この際、ハンド部６８の延在する方向と第１基板１００Ａの長手方向とは一致する。アーム６９は、Ｚ軸方向を回転軸とした多関節アームである。アーム６９の基端側は、Ｚ軸方向を回転軸として、支持部６３に回動可能に連結されている。よって、第２ロボット６は、ハンド部６６およびハンド部６８を水平面に沿って、自在に移動させるとともに、ハンド部６６およびハンド部６８を上下方向に移動させることが可能である。

【0030】

駆動部６５は、Ｘ軸方向に延在する。駆動部６５は、Ｘ２方向の端部からＸ１方向の端
部まで、上下駆動部６４を往復移動させる。これにより、第２ロボット６は、Ｘ軸方向に往復走行する。本形態では、駆動部６５が上下駆動部６４をＸ１方向の端部まで移動させた際、上下駆動部６４は、Ｘ１方向の端部まで移動したステージ５１とＹ軸方向で重なる。

【0031】

図１および図２に示すように、第２載置部７は、第２ロボット６のＸ１方向の側に位置する。第２載置部７は、基板１００を収容する棚である。第２載置部７は、第１基板１００Ａを載置する第１部分７１と、第２基板１００Ｂを載置する第２部分７２とを備える。第２載置部７に載置された基板１００は、次工程のロボットによって移動する。

【0032】

（搬送システム１の動作）
次に、搬送システム１の動作について説明する。まず、前工程のロボット等は、前工程で処理された基板１００を搬入部２に順次移動させる。搬入部２に載置される基板１００は、一定の割合で、第１基板１００Ａおよび第２基板１００Ｂが混在している。第１ロボットが搬入部２から基板１００を移動させた後、前工程のロボット等は、次の基板１００を搬入部２に移動させる。

【0033】

第１ロボット３は、搬入部２に第１基板１００Ａが載置されると、第１基板１００Ａを第１載置部４に移動する。この際、第１基板１００Ａは、第１基板１００Ａの長手方向がＹ軸方向となるように、第１載置部４に載置される。

【0034】

一方は、第１ロボット３は、搬入部２に第２基板１００Ｂが載置されると、第２基板１００Ｂを搬送キャリッジ５のステージ５１に移動する。この際、第２基板１００Ｂは、第２基板１００Ｂの長手方向がＸ軸方向となるように、ステージ５１に載置される。

【0035】

第１載置部４は、ステージ４１に第１基板１００Ａが載置された後、ステージ４１を９０°回転させることによって、ステージ４１に載置された第１基板１００Ａの向きを変更する。これにより、第１基板１００Ａの長手方向は、Ｘ軸方向となる。

【0036】

搬送キャリッジ５は、ステージ５１に第２基板１００Ｂが載置された後、ステージ５１をＸ１方向に移動させる。搬送キャリッジ５は、ステージ５１をＸ１方向の端部まで移動させた後、ステージ５１を９０°回転させることによって、ステージ５１に載置された第２基板１００Ｂの向きを変更する。これにより、第２基板１００Ｂの長手方向は、Ｙ軸方向となる。なお、搬送キャリッジ５は、ステージ５１をＸ１方向の端部まで移動させる最中に、ステージ５１を９０°回転させてもよい。

【0037】

第２ロボット６は、ステージ４１が回転した後、ステージ４１から第１基板１００Ａを第１保持部６１によって保持する。その後、第２ロボット６は、各処理部１０が位置する位置まで、Ｘ１方向に走行する。例えば、第２ロボット６は、第１処理部１０Ａが位置する位置まで走行した後、第１処理部１０Ａで処理された処理済みの第１基板１００Ａを第２保持部６２で保持する。そして、第２ロボット６は、第１処理部１０Ａから処理済みの第１基板１００Ａを第２保持部６２によって取り出した後、第１保持部６１が保持した処理前の第１基板１００Ａを第１処理部１０Ａに移動させる。処理前の第１処理部１０Ａが第１処理部１０Ａに移動した後、第１処理部１０Ａは、第１基板１００Ａに対して処理を行う。

【0038】

第２ロボット６は、駆動部６５のＸ１方向の端部までＸ１方向に走行して、第２保持部６２が保持した処理済みの第１基板１００Ａを第２載置部７の第１部分７１に移動させる。第１基板１００Ａを第２載置部７の第１部分７１に移動させる際、第２ロボット６は、Ｘ１方向に搬送された第２基板１００Ｂを第１保持部６１によって搬送キャリッジ５のス
テージ５１から受け取る。

【0039】

第１保持部６１が第２基板１００Ｂを受け取った後、搬送キャリッジ５は、ステージ５１を９０°回転させてから、ステージ５１をＸ２方向に移動させる。ステージ５１には、第１ロボット３によって、次の第２基板１００Ｂが載置される。

【0040】

第１保持部６１が第２基板１００Ｂを受け取った後、第２ロボット６は、第１保持部６１に保持された第２基板１００Ｂを、第２載置部７の第２部分７２に載置するとともに、第２保持部６２に保持された第１基板１００Ａを、第２載置部７の第１部分７１に載置する。

【0041】

第２ロボット６は、第２載置部に基板１００を移動させた後、駆動部６５のＸ２方向の端部まで走行する。第２ロボット６は、再び、ステージ５１から第１基板１００Ａを第１保持部６１によって保持し、次の処理部１０（例えば第２処理部１０Ｂ）に第１基板１００Ａを移動させ、上記の動作を順次繰り返す。

【0042】

（本形態の作用効果）
本形態の搬送システム１は、処理部１０での処理が行われる第１基板１００Ａおよび処理部１０での処理が行われない第２基板１００Ｂを移動させる第１ロボット３と、処理部１０での処理前の第１基板１００Ａが第１ロボット３により載置される第１載置部４と、第１ロボット３から受け取った第２基板１００Ｂを第１方向に搬送する搬送キャリッジ５と、第１載置部４にされた第１基板１００Ａを処理部１０に移動させるとともに、処理部１０で処理された処理済みの第１基板１００ＡをＸ１方向に位置する第２載置部７に載置する走行機能付きの第２ロボット６とを有する。第２ロボット６は、Ｘ１方向に走行して、処理済みの第１基板１００Ａを第２載置部７に移動させるとともに、搬送キャリッジ５により第１方向に搬送された第２基板１００Ｂを搬送キャリッジ５から受け取って第２載置部７に載置する。

【0043】

このように構成すれば、処理部１０での処理が行われない第２基板１００Ｂは、搬送キャリッジ5によってＸ１方向に搬送されるので、第２ロボット6は、第１基板１００Ａを第２載置部7に移動させる際、Ｘ１方向に搬送された第２基板１００Ｂを第２載置部7に移動させるだけであり、第２基板１００ＢをＸ１方向まで移動させる必要がない。このため、第２ロボット6の動作にかかる時間を短縮することができる。この結果、搬送システム1のタクトタイムを短縮することができる。

【0044】

本形態において、第２ロボット６は、処理前の第１基板１００Ａを保持する第１保持部６１と、処理済みの第１基板１００Ａを保持する第２保持部６２とを備える。第１保持部６１は、第２保持部６２が処理部１０から処理済みの第１基板１００Ａを取り出した後に、処理部１０に処理前の第１基板１００Ａを移動させる。このように構成すれば、第２ロボット６は、処理済みの第１基板１００Ａを処理部１０から取り出した後、続けて処理前の第１基板１００Ａを処理部１０に移動させることができる。この結果、搬送システム１のタクトタイムを短縮することができる。

【0045】

本形態において、第２ロボット６が処理前の第１基板１００Ａを第２載置部７に移動させる際、第１保持部６１は、搬送キャリッジ５によりＸ１方向に搬送された第２基板１００Ｂを搬送キャリッジ５から第２載置部７に移動させる。このように構成すれば、保持部が１つの場合と比べて、搬送システム１のタクトタイムを短縮することができる。

【0046】

本形態において、搬送キャリッジ５は、第２基板１００Ｂが載置されるとともに、第２基板１００Ｂを搬送するステージ５１を備え、ステージ５１は、上下方向を回転軸として
回転可能である。このように構成すれば、ステージ５１に載置された第２基板１００Ｂの向きを変更することが容易である。

【0047】

本形態において、第１載置部４は、上下方向を回転軸として回転可能である。このように構成すれば、第１載置部４に載置された第１基板１００Ａの向きを変更することが容易である。

【0048】

本形態において、搬送キャリッジ５は、第１処理部１０Ａと上下方向に重なる。このように構成すれば、搬送システム１の設定面積をコンパクトにすることができる。

【0049】

（他の実施形態）
上記形態では、第２ロボット６は、駆動部６５のＸ１方向の端部までＸ１方向に走行した後、搬送キャリッジ５によって第１方向に搬送された第２基板１００Ｂを、搬送キャリッジ５のステージ５１から第１保持部６１によって受け取ったが、この形態に限定されない。例えば、第２ロボット６は、第２保持部６２に保持された第１基板１００Ａを、第２載置部７の第１部分７１に移動させた後、搬送キャリッジ５によって第１方向に搬送された第２基板１００Ｂを、第１保持部６１によって搬送キャリッジ５のステージ５１から受け取って第２載置部７の第２部分７２に載置してもよい。

【0050】

また、第２ロボットは、第１保持部６１によって搬送キャリッジ５のステージ５１から第２基板１００Ｂを受け取る動作と、第２保持部６２が保持した処理済みの第１基板１００Ａを第２載置部７の第１部分７１に移動させる動作とを同時に行ってもよい。

【符号の説明】

【0051】

１…搬送システム、２…搬入部、３…第１ロボット、４…第１載置部、５…搬送キャリッジ、６…第２ロボット、７…第２載置部、１０…処理部、１０Ａ…第１処理部、１０Ｂ…第２処理部、１０Ｃ…第３処理部、３１…ハンド部、３２…アーム、３３…支持部、３４…上下駆動部、４１…ステージ、４２…回転駆動部、５１…ステージ、５２…回転駆動部、５３…駆動部、６１…第１保持部、６２…第２保持部、６３…支持部、６４…上下駆動部、６５…駆動部、６６…ハンド部、６７…アーム、６８…ハンド部、６９…アーム、７１…第１部分、７２…第２部分、１００…基板、１００Ａ…第１基板、１００Ｂ…第２基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】