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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022059214
(43)【公開日】2022-04-13
(54)【発明の名称】搬送システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20220406BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020166807
(22)【出願日】2020-10-01
(71)【出願人】
【識別番号】000002233
【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100142619
【弁理士】
【氏名又は名称】河合 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100125690
【弁理士】
【氏名又は名称】小平 晋
(74)【代理人】
【識別番号】100153316
【弁理士】
【氏名又は名称】河口 伸子
(72)【発明者】
【氏名】倉田 茂
(72)【発明者】
【氏名】荒井 正
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 史朗
(72)【発明者】
【氏名】吉田 昇悟
【テーマコード（参考）】
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F131AA03
5F131AA12
5F131AA32
5F131BA39
5F131BB03
5F131BB11
5F131BB23
5F131CA32
5F131DA02
5F131DA22
5F131DA43
5F131DA62
5F131DB22
5F131DB57
5F131DB76
5F131EA02
5F131EB01
5F131GA03
5F131GA22
5F131GA33
5F131GB03
5F131KA12
5F131KA52
5F131KB09
5F131KB12
5F131KB54
(57)【要約】
【課題】処理部で表示パネルの処理が実施されている場合でも、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供すること。
【解決手段】搬送システム１において、駆動部５６Ａは、第１吸着部５４Ａが第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を保持する第１位置Ｐ１と、第１位置Ｐ１から左回りに９０°回転して第２吸着部５５Ａが第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を保持する第２位置Ｐ２と、第２位置Ｐ２から左回りに９０°回転して第１吸着部５４Ａが第１検査部６Ａに検査前の表示パネル１００を載置する第３位置Ｐ３と、第３位置Ｐ３から右回りに１８０°回転して第２吸着部５５Ａが第１ステージ４１Ａに検査済みの表示パネル１００を載置する第４位置Ｐ４と、に保持アーム５３Ａを回転させる。
【選択図】図１
【解決手段】搬送システム１において、駆動部５６Ａは、第１吸着部５４Ａが第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を保持する第１位置Ｐ１と、第１位置Ｐ１から左回りに９０°回転して第２吸着部５５Ａが第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を保持する第２位置Ｐ２と、第２位置Ｐ２から左回りに９０°回転して第１吸着部５４Ａが第１検査部６Ａに検査前の表示パネル１００を載置する第３位置Ｐ３と、第３位置Ｐ３から右回りに１８０°回転して第２吸着部５５Ａが第１ステージ４１Ａに検査済みの表示パネル１００を載置する第４位置Ｐ４と、に保持アーム５３Ａを回転させる。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ワークを保持する第１ロボットと、
前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、
前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、
前記移動機構は、第１アームおよび第２アームがＬ字状に連結した保持アームと、前記第１アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第１吸着部と、前記第２アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第２吸着部と、前記第１アームおよび前記第２アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、前記第１吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第１位置と、前記第１位置から一方方向に９０°回転して前記第２吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第２位置と、前記第２位置から前記一方方向に９０°回転して前記第１吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第３位置と、前記第３位置から前記一方方向または他方方向に１８０°回転して前記第２吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第４位置と、に前記保持アームを回転させることを特徴とする搬送システム。
前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第１ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、
前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、
前記移動機構は、第１アームおよび第２アームがＬ字状に連結した保持アームと、前記第１アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第１吸着部と、前記第２アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第２吸着部と、前記第１アームおよび前記第２アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、前記第１吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第１位置と、前記第１位置から一方方向に９０°回転して前記第２吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第２位置と、前記第２位置から前記一方方向に９０°回転して前記第１吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第３位置と、前記第３位置から前記一方方向または他方方向に１８０°回転して前記第２吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第４位置と、に前記保持アームを回転させることを特徴とする搬送システム。
【請求項2】
請求項１に記載の搬送システムにおいて、
前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、
前記ステージの移動方向をＸ軸方向、上下方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向およびＺ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とすると、
前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してＹ軸方向およびＺ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、
前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してＸ軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることを特徴とする搬送システム。
前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、
前記ステージの移動方向をＸ軸方向、上下方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向およびＺ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とすると、
前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してＹ軸方向およびＺ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、
前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してＸ軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることを特徴とする搬送システム。
【請求項3】
請求項２に記載の搬送システムにおいて、
前記ステージは、前記第１ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることを特徴とする搬送システム。
前記ステージは、前記第１ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項4】
請求項２または３に記載の搬送システムにおいて、
前記移動機構は、前記Ｘ軸方向に複数配置されていることを特徴とする搬送システム。
前記移動機構は、前記Ｘ軸方向に複数配置されていることを特徴とする搬送システム。
【請求項5】
請求項２から４のうち何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記移動機構は、Ｙ軸方向の一方側に配置された第１移動機構と、Ｙ軸方向の他方側に配置された第２移動機構とを備え、
前記搬送機構は、Ｙ軸方向の一方側に配置された第１搬送機構と、Ｙ軸方向の他方側に配置された第２搬送機構とを備えることを特徴とする搬送システム。
前記移動機構は、Ｙ軸方向の一方側に配置された第１移動機構と、Ｙ軸方向の他方側に配置された第２移動機構とを備え、
前記搬送機構は、Ｙ軸方向の一方側に配置された第１搬送機構と、Ｙ軸方向の他方側に配置された第２搬送機構とを備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項6】
請求項５に記載の搬送システムにおいて、
前記第１ロボットは、上下方向から見た場合、前記第１搬送機構および前記第２搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第１搬送機のステージおよび前記第２搬送機構のス
テージに移動することを特徴とする搬送システム。
前記第１ロボットは、上下方向から見た場合、前記第１搬送機構および前記第２搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第１搬送機のステージおよび前記第２搬送機構のス
テージに移動することを特徴とする搬送システム。
【請求項7】
請求項５に記載の搬送システムにおいて、
前記第１搬送機構のステージおよび前記第２搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第１搬送機構の前記ステージおよび前記第２搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第２ロボットを備えることを特徴とする搬送システム。
前記第１搬送機構のステージおよび前記第２搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第１搬送機構の前記ステージおよび前記第２搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第２ロボットを備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項8】
請求項１から７のうち何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記第１ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能であることを特徴とする搬送システム。
前記第１ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能であることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ワークを搬送するための搬送システムに関する。
【背景技術】
【0002】
小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれ、表示パネルを搬送する搬送システムは、特許文献１に開示されている。同文献の搬送システムは、第１載置部と、第１載置部と検査装置の第２載置部との間で表示パネルを同時に入れ替える移動機構と、検査前の表示パネルを第１載置部に搬入するとともに第１載置部に載置された検査済みの表示パネルを排出する搬送機構とを備える。
【0003】
移動機構は、保持部材と、保持部材の両端に設けられ表示パネルを保持する２つの保持機構と、２つの保持機構の中心位置を回転軸として保持部材を回転させる回転機構とを備える。検査装置で表示パネルの検査が終了すると、検査装置のシャッタが開くので、移動機構は、保持部材を１８０°回転させることにより、第１載置部と検査装置の第２載置部との間で表示パネルを同時に入れ替える。表示パネルの入れ替えが終了した後、移動機構は、保持部材を９０°回転させて、保持部材を待機位置に移動させる。保持部材が待機位置に移動した後、検査装置は、シャッタと閉じて、表示パネルの検査を実行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１９－５２９１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１の搬送システムでは、搬送機構のタクトタイムの短縮が要求される。しかしながら、特許文献１の搬送システムでは、表示パネルが検査装置で検査されている場合には、移動機構は、第１載置部に載置された表示パネルを保持することができないので、搬送機構のタクトタイムを短縮することが難しいという問題がある。
【0006】
そこで、本発明の課題は、処理部で表示パネルの処理が実施されている場合であっても、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の課題を解決するために、本発明の搬送システムは、ワークを保持する第１ロボットと、前記第１ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、前記第１ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、前記移動機構は、第１アームおよび第２アームがＬ字状に連結した保持アームと、前記第１アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第１吸着部と、前記第２アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第２吸着部と、前記第１アームおよび前記第２アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、前記駆動部は、前記第１吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第１位置と、前記第１位置から一方方向に９０°回転して前記第２吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第２位置と、前記第２位置から前記一方方向に９０°回転して前記第１吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第３位置と、前記第３位置から前記一方方向または他方方向に１８０°回転して前
記第２吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第４位置と、に前記保持アームを回転させることを特徴とする。
記第２吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第４位置と、に前記保持アームを回転させることを特徴とする。
【0008】
本発明の搬送システムによれば、駆動部が第１位置に保持アームを回転させた場合、第１吸着部は、ステージに載置された処理前のワークを保持することはできるが、第２吸着部は、処理部に載置された処理済みのワークを保持することはできない。すなわち、第２吸着部は、処理部とは上下方向で重ならない。よって、処理部でワークが検査されていた場合でも、移動機構はステージに載置された検査前のワークを保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、駆動部が第４位置に保持アームを回転させた場合、第１吸着部は、ステージに処理済みのワークを載置することはできるが、第２吸着部は、処理部に載置された処理済みのワークを保持することはできない。すなわち、第２吸着部は、処理部とは上下方向で重ならない。よって、処理部でワークの検査が行われている場合でも、移動機構はステージに処理済みのワークを載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。
【0009】
本発明において、前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、前記ステージの移動方向をＸ軸方向、上下方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向およびＺ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とすると、前記第１ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してＹ軸方向およびＺ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してＸ軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることが好ましい。このように構成すれば、搬送機構がステージを移動させることにより、ワークに対してＸ軸方向におけるステージの位置合わせを行うので、第１ロボットはワークをＸ軸方向に動かす機構を省略することができる。このため、第１ロボットの構成を簡素にすることが可能となる。
【0010】
本発明において、前記ステージは、前記第１ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることが好ましい。このように構成すれば、ステージが１つの場合と比べて、搬入用ステージおよび排出用ステージが、各々、ワークを搬送するので、搬入用ステージおよび排出用ステージの移動距離が短くなる。これにより、搬送機構がワークを搬送するタクトタイムを短縮することができる。
【0011】
本発明において、前記移動機構は、前記Ｘ軸方向に複数配置されている構成を採用することができる。また、本発明において、前記移動機構は、Ｙ軸方向の一方側に配置された第１移動機構と、Ｙ軸方向の他方側に配置された第２移動機構とを備え、前記搬送機構は、Ｙ軸方向の一方側に配置された第１搬送機構と、Ｙ軸方向の他方側に配置された第２搬送機構とを備える構成を採用することができる。
【0012】
本発明において、前記第１ロボットは、上下方向から見た場合、前記第１搬送機構および前記第２搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第１搬送機構のステージおよび前記搬送機構のステージに移動することが好ましい。このように構成すれば、第１ロボットの第１搬送機構への移動範囲と、第１ロボットの第２搬送機構への移動範囲とを同じにすることができる。
【0013】
本発明において、前記第１搬送機構のステージおよび前記第２搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第１搬送機構の前記ステージおよび前記第２搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第２ロボットを備えるこ
とが好ましい。このように構成することで、第１搬送機構のステージおよび第２搬送機構のステージにより、各々搬送されるワークを、１つの第２ロボットで次工程に移動させることができる。
とが好ましい。このように構成することで、第１搬送機構のステージおよび第２搬送機構のステージにより、各々搬送されるワークを、１つの第２ロボットで次工程に移動させることができる。
【0014】
本発明において、前記第１ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能である構成を採用することができる。
【発明の効果】
【0015】
本発明では、処理部で表示パネルの処理が実施されている場合であっても、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の実施形態に係る搬送システムの平面図である。
【図4】第１移動機構の動きを説明する図である。
【図5】第１移動機構の動きを説明する図である。
【図6】第２移動機構の動きを説明する図である。
【図7】第２移動機構の動きを説明する図である。
【図8】他の実施形態に係る搬送機構の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の説明では、ワークが表示パネル１００である場合を中心に説明する。また、以下の説明では、ワークに対する処理としてワークに対応する検査を行う場合を中心に説明する。従って、ワークに対する処理部は、ワークに対する検査部である。図１は本発明の実施形態に係る搬送システムの平面図である。図２は、図１のＡ－Ａ方向から見た搬送システムの正面図である。図３は、図１のＢ－Ｂ方向から見た搬送システムの側面である。
【0018】
（搬送システム１の構成）
図１から図３において、本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム１は、ワークである表示パネル１００を搬送して、表示パネル１００に対して所定の検査を行う検査部６に表示パネル１００を供給する。
図１から図３において、本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム１は、ワークである表示パネル１００を搬送して、表示パネル１００に対して所定の検査を行う検査部６に表示パネル１００を供給する。
【0019】
表示パネル１００は、液晶パネルや有機ＥＬパネル等である。表示パネル１００は、矩形状に形成されており、本形態ではフレキシブル配線１０１を有する。表示パネル１００は、表示パネル１００の表示領域から外れた箇所に、表示パネル１００の検査データ等のデータが記録された記録部を有する。具体的には、表示パネル１００の表示領域から外れた箇所には、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。また、図１に示すように、本形態においては、表示パネル１００として、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂからなる２つの表示パネル１００が同時に搬送される。
【0020】
図１～図３に示すように、搬送システム１は、表示パネル１００を保持する第１ロボット３と、第１ロボット３により保持された表示パネル１００の位置を検知するアライメントカメラ１０と、第１ロボット３により保持された表示パネル１００が載置されるステージ４１を備える搬送機構４とを備える。本形態では、搬送機構４は、第１ロボット３により保持された表示パネル１００が載置される第１ステージ４１Ａを備える第１搬送機構４Ａと、第１ロボット３により保持された表示パネル１００が載置される第２ステージ４１
Ｂを備える第２搬送機構４Ｂとを備える。
Ｂを備える第２搬送機構４Ｂとを備える。
【0021】
また、搬送システム１は、ステージ４１に載置された表示パネル１００を表示パネル１００に対して検査を行う検査部６に移動させるとともに、検査部６で検査された検査済みの表示パネル１００をステージ４１に移動させる移動機構５を備える。本形態では、移動機構５は、第１ステージ４１Ａに載置された表示パネル１００を表示パネル１００に対して検査を行う第１検査部６Ａに移動させるとともに、第１検査部６Ａで検査された検査済みの表示パネル１００を第１ステージ４１Ａに移動させる第１移動機構５Ａと、第２ステージ４１Ｂに載置された表示パネル１００を第１検査部６Ａと同じ検査を行う第２検査部６Ｂに移動させるとともに、第２検査部６Ｂで検査された検査済みの表示パネル１００を第２ステージ４１Ｂに移動させる第２移動機構５Ｂとを備える。
【0022】
搬送システム１は、表示パネル１００の表示領域から外れた箇所に記録されたデータを読み取るＩＤリーダ１１を備える。搬送システム１は、ステージ４１によって搬送された検査済みの表示パネル１００を次工程に移動させる第２ロボット７を備える。第２ロボット７は、第１検査部６Ａおよび第２検査部６Ｂでの検査結果に基づいて、検査済みの表示パネル１００を、次工程の搬送機構８または排出用載置部９に移動させる。また、搬送システム１は、搬入機構２によって搬入された検査前の表示パネル１００を第１ロボット３により移動させる。
【0023】
以下の説明では、ステージ４１の移動方向をＸ軸方向、上下方向をＺ軸方向、Ｘ軸方向およびＺ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。ステージ４１において、表示パネル１００が搬送される方向をＸ１方向とし、その反対方向をＸ２方向とする。上下方向において、上方向をＺ１方向とし、下方向をＺ２方向とする。Ｙ軸方向において、一方をＹ１方向、他方をＹ２方向とする。
【0024】
図１および図２に示すように、搬入機構２は、表示パネル１００を搬送システム１まで搬送する。搬入機構２は、電動シリンダなどで構成されている。搬入機構２は、表示パネル１００が載置されるステージ２１を備える。搬入機構２は、ステージ２１をＸ方向に往復移動させる。搬入機構２は、Ｘ２方向の端部でステージ２１に載置された表示パネル１００を、Ｘ１方向の端部に搬送する。ステージ２１は、Ｘ方向に長い長方形である。ステージ２１は、Ｘ方向に表示パネル１００を２枚載置できる大きさである。本形態では、搬入機構２は、Ｚ軸方向から見た場合、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間に配置されている。すなわち、ステージ２１に載置された表示パネル１００は、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間に配置されている。
【0025】
図１～図３に示すように、第１ロボット３は、Ｚ軸方向から見た場合、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間に配置されている。第１ロボット３は、搬入機構２のステージ２１に載置された表示パネル１００を保持する吸着部３１と、吸着部３１を上下方向に移動させるとともにＺ軸方向を回転中心として回転させる位置調整部３２と、位置調整部３２をＹ軸方向に往復移動させる駆動部３３とを備える。駆動部３３は、電動シリンダなどで構成される。駆動部３３は、位置調整部３２を介して、吸着部３１をＹ軸方向に往復移動させる。吸着部３１をＹ軸方向に往復移動させる際、吸着部３１は、搬入機構２のＸ１方向の端部に位置するステージ２１と上下方向で重なる。すなわち、第１ロボット３は、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間において、吸着部３１をＹ軸方向およびＺ軸方向に移動させることが可能である。よって、第１ロボット３は、Ｚ軸方向から見た場合、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間に配置された表示パネル１００を、第１搬送機構４Ａの第１ステージ４１Ａおよび第２搬送機構４Ｂの第２ステージ４１Ｂに移動する。本形態では、第１ロボット３は、フレキシブル配線１０１の先端がＹ２方向の側になるように、表示パネル１００を第１搬送機構４Ａの第１ステージ４１Ａに載置し
、フレキシブル配線１０１の先端がＹ１方向の側になるように、表示パネル１００を第２搬送機構４Ｂの第２ステージ４１Ｂに載置する。
、フレキシブル配線１０１の先端がＹ１方向の側になるように、表示パネル１００を第２搬送機構４Ｂの第２ステージ４１Ｂに載置する。
【0026】
図１～図３に示すように、第１搬送機構４Ａは、搬入機構２に対して、Ｙ１方向の側に位置する。また、第１搬送機構４Ａは、搬入機構２に対して、Ｚ１方向の側に位置する。第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１ＡをＸ軸方向に往復移動させる。第１ステージ４１Ａは、Ｘ方向に２つの表示パネル１００が載置される大きさである本体部４１１と、フレキシブル配線１０１が載置されるＦＰＣ保持部４１２とを備える。ここで、第１ステージ４１ＡがＸ１方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。
【0027】
図１および図３にように、第２搬送機構４Ｂは、搬入機構２に対して、Ｙ２方向の側に位置する。また、第２搬送機構４Ｂは、搬入機構２に対して、Ｚ１方向の側に位置する。第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１ＢをＸ軸方向に往復移動させる。第２ステージ４１Ｂは、Ｘ方向に２つの表示パネル１００が載置される大きさである本体部４１１と、フレキシブル配線１０１が載置されるＦＰＣ保持部４１２とを備える。ここで、第２ステージ４１ＢがＸ１方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。ここで、第２ステージ４１ＢがＸ１方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。
【0028】
図２に示すように、アライメントカメラ１０は、第１ロボット３の上方に位置する。第１ロボット３が搬入機構２のステージ２１に載置された表示パネル１００を保持すると、アライメントカメラ１０は、表示パネル１００を上方から撮影し、表示パネルの位置を検知する。
【0029】
図１および図２に示すように、ＩＤリーダ１１は、表示パネル１００の記録部に記録されたデータを、光学的に読み取る。ＩＤリーダ１１は、例えば、撮像素子などである。ＩＤリーダ１１が読み取った表示パネル１００のデータに基づいて、検査部６で表示パネル１００が検査される。図１に示すように、ＩＤリーダ１１は、第１ＩＤリーダ１１Ａと、第２ＩＤリーダ１１Ｂとを備える。第１ＩＤリーダ１１Ａは、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間であって、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの上方に位置する。第１ＩＤリーダ１１Ａは、上部駆動部１１１によりＹ軸方向に移動する。第１ＩＤリーダ１１Ａは、上方から表示パネル１００の記録部に記録されたデータを読み取る。第２ＩＤリーダ１１Ｂは、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間であって、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの下方に位置する。第２ＩＤリーダ１１Ｂは、下部駆動部１１２によりＹ軸方向に移動する。第２ＩＤリーダ１１Ｂは、下方から表示パネル１００の記録部に記録されたデータを読み取る。
【0030】
図１～図３に示すように、第１移動機構５Ａは、第１搬送機構４ＡのＹ１方向の側に位置する。第１移動機構５Ａは、第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を移動させるとともに、第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を移動させる。第１移動機構５Ａは、第１アーム５１Ａおよび第２アーム５２ＡがＬ字状に連結した保持アーム５３Ａと、第１アーム５１Ａの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第１吸着部５４Ａと、第２アーム５２Ａの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第２吸着部５５Ａとを備える。第１吸着部５４Ａおよび第２吸着部５５Ａは、表示パネル１００とともに、フレキシブル配線１０１を保持する。
【0031】
また、第１移動機構５Ａは、第１アーム５１Ａおよび第２アーム５２Ａの連結位置を回転軸として、保持アーム５３Ａを回転させる駆動部５６Ａと、駆動部５６Ａを上下に移動する位置調整部５７Ａとを備える。駆動部５６Ａにより、保持アーム５３Ａを回転させることで、第１吸着部５４Ａおよび第２吸着部５５Ａを移動させることができる。本形態では、第１移動機構５Ａは、Ｘ軸方向に２つ並んで設けられている。
【0032】
図１、図３に示すように、第２移動機構５Ｂは、第２搬送機構４ＢのＹ２方向の側に位置する。第２移動機構５Ｂは、第２ステージ４１Ｂに載置された検査前の表示パネル１００を移動させるとともに、第２検査部６Ｂに載置された検査済みの表示パネル１００を移動させる。第２移動機構５Ｂは、第１アーム５１Ｂおよび第２アーム５２ＢがＬ字状に連結した保持アーム５３Ｂと、第１アーム５１Ｂの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第１吸着部５４Ｂと、第２アーム５２Ｂの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第２吸着部５５Ｂとを備える。第１吸着部５４Ｂおよび第２吸着部５５Ｂは、表示パネル１００とともに、フレキシブル配線１０１を保持する。本形態では、第１アーム５１Ｂ、第２アーム５２Ｂ、第１吸着部５４Ｂおよび第２吸着部５５Ｂは、Ｘ軸に対して、第１アーム５１Ａ、第２アーム５２Ａ、第１吸着部５４Ａおよび第２吸着部５５Ａと線対称となるように配置されている。
【0033】
また、第２移動機構５Ｂは、第１アーム５１Ｂおよび第２アーム５２Ｂの連結位置を回転軸として、保持アーム５３Ｂを回転させる駆動部５６Ｂと、駆動部５６Ｂを上下に移動する位置調整部５７Ｂとを備える。駆動部５６Ｂにより、保持アーム５３Ｂを回転させることで、第１吸着部５４Ｂおよび第２吸着部５５Ｂを移動させることができる。本形態では、第２移動機構５Ｂは、Ｘ軸方向に２つ並んで設けられている。
【0034】
図１～図３に示すように、第１検査部６Ａおよび第２検査部６Ｂは、表示パネル１００の点灯検査を行う装置である。本形態では、第１検査部６Ａおよび第２検査部６Ｂは、各々、Ｘ軸方向に２つ並んで設けられている。第１検査部６Ａおよび第２検査部６Ｂは、表示パネル１００が載置される載置部１２と、載置部１２の上方に配置されたカメラ１３と、点灯検査時に表示パネル１００の下面から光を照射するバックライト１４と、載置部１２、カメラ１３およびバックライト１４を収容する筐体１５とを備える。筐体１５には、筐体１５に形成された開口部１８を塞ぐためのシャッタ１７が設けられている。シャッタ１７には、シャッタ１７を上下動させるエアシリンダ１９が連結されている。点灯検査時に、シャッタ１７によって開口部１８を塞いで筐体１５の内部を暗室にすることが可能になる。また、シャッタ１７によって開口部１８を開くことにより、第１移動機構５Ａおよび第２移動機構５Ｂは、第１検査部６Ａおよび第２検査部６Ｂに対して、表示パネル１００の移動が可能になる。
【0035】
図１、図２に示すように、第２ロボット７は、検査済みの表示パネル１００を保持する吸着部７１と、吸着部７１を上下方向に移動させるとともにＺ軸方向を回転中心として回転させる位置調整部７２と、位置調整部７２をＸ軸方向に往復移動させる第１駆動部７３と、第１駆動部７３をＸ方向に往復移動させる第２駆動部７４を備える。第１駆動部７３および第２駆動部７４は、電動シリンダなどで構成される。第１駆動部７３は、位置調整部７２を介して、吸着部７１をＸ軸方に往復移動させる。第２駆動部７４は、第１駆動部７３および位置調整部７２を介して、吸着部７１をＹ軸方に往復移動させる。本形態では、第２ロボット７は、検査結果が「良品」となった表示パネル１００を搬送機構８に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル１００を排出用載置部９に載置する。
【0036】
【0037】
図１に示すように、排出用載置部９には、不良品用パレット２００が載置されている。第２ロボット７は、排出用載置部９に載置された不良品用パレット２００に、検査結果が「不良品」となった表示パネル１００を載置する。
【0038】
（搬送システム１の動作）
次に搬送システム１の動作について説明する。本形態では、搬送システム１は、２つの表示パネル１００を搬送する場合について説明する。図４および図５は、第１移動機構の動きを説明する模式図である。図６および図７は、第２移動機構の動きを説明する模式図である。なお、図４～図７において、表示パネル１００は、フレキシブル配線１０１が省略されている。
次に搬送システム１の動作について説明する。本形態では、搬送システム１は、２つの表示パネル１００を搬送する場合について説明する。図４および図５は、第１移動機構の動きを説明する模式図である。図６および図７は、第２移動機構の動きを説明する模式図である。なお、図４～図７において、表示パネル１００は、フレキシブル配線１０１が省略されている。
【0039】
（第１ロボット３の動作）
搬入機構２は、ステージ２１に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、搬入機構２のＸ１方向の端部まで搬送する。第１ロボット３は、吸着部３１をステージ２１まで移動させ、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが吸着部３１により保持された後、搬入機構２は、ステージ２１を搬入機構２のＸ２方向の端部まで移動させる。ステージ２１が搬入機構２のＸ２方向の端部まで移動した後、ステージ２１には次の表示パネル１００が載置される。
搬入機構２は、ステージ２１に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、搬入機構２のＸ１方向の端部まで搬送する。第１ロボット３は、吸着部３１をステージ２１まで移動させ、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが吸着部３１により保持された後、搬入機構２は、ステージ２１を搬入機構２のＸ２方向の端部まで移動させる。ステージ２１が搬入機構２のＸ２方向の端部まで移動した後、ステージ２１には次の表示パネル１００が載置される。
【0040】
また、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが吸着部３１により保持された後、アライメントカメラ１０は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの位置を検知する。アライメントカメラ１０によって第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが検知されると、第１ロボット３は、吸着部３１に対する第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの位置を認識する。
【0041】
次に、第１ロボット３は、第１ステージ４１Ａの上方まで吸着部３１を移動させる。第１ロボット３は、第１ステージ４１Ａの上方まで吸着部３１を移動させた後、アライメントカメラ１０で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第１ステージ４１Ａに対して第１表示パネル１００ＡのＹ軸方向およびＺ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第１搬送機構４Ａは、アライメントカメラ１０で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第１表示パネル１００Ａに対してＸ軸方向における第１ステージ４１Ａの位置合わせを行う。第１表示パネル１００Ａの位置の位置合わせが行われた後、第１ロボット３は、第１ステージ４１Ａに第１表示パネル１００Ａのみを載置する。
【0042】
第１表示パネル１００Ａが第１ステージ４１Ａに載置された後、第１ロボット３は、吸着部３１をＺ１方向に移動させる。次に、アライメントカメラ１０で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第１ステージ４１Ａに対して第２表示パネル１００ＢのＹ軸方向およびＺ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第１搬送機構４Ａは、アライメントカメラ１０で検知された第２表示パネル１００Ｂの位置に基づいて、第２表示パネル１００Ｂに対してＸ軸方向における第１ステージ４１Ａの位置合わせを行う。第２表示パネル１００Ｂの位置の位置合わせが行われた後、第１ロボット３は、第１ステージ４１Ａに第２表示パネル１００Ｂを載置する。
【0043】
第１ロボット３は、第１ステージ４１Ａに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置した後、吸着部３１を搬入機構２へ移動させる。吸着部３１が搬入機構２へ移動した後、第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、ＩＤリーダ１１に位置に移動させる。第１ＩＤリーダ１１Ａおよび第２ＩＤリーダ１１Ｂのうち何れか一方は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを読み取り、検査データ等を取得する。
【0044】
ＩＤリーダ１１により第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが読み取られた後、第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、第１検査部６Ａに移動させる。
【0045】
第１ロボット３は、再び、ステージ２１に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、先に述べたように、アライメントカメラ１０は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの位置を検知する。アライメントカメラ１０によって第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが検知されると、第１ロボット３は、吸着部３１に対する第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの位置を認識する。
【0046】
次に、第１ロボット３は、第２ステージ４１Ｂの上方まで吸着部３１を移動させる。第１ロボット３は、第２ステージ４１Ｂの上方まで吸着部３１を移動させた後、アライメントカメラ１０で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第２ステージ４１Ｂに対して第１表示パネル１００ＡのＹ軸方向およびＺ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第２搬送機構４Ｂは、アライメントカメラ１０で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第１表示パネル１００Ａに対してＸ軸方向における第２ステージ４１Ｂの位置合わせを行う。第１表示パネル１００Ａの位置の位置合わせが行われた後、第１ロボット３は、第２ステージ４１Ｂに第１表示パネル１００Ａのみを載置する。
【0047】
第１表示パネル１００Ａが第２ステージ４１Ｂに載置された後、第１ロボット３は、吸着部３１をＺ１方向に移動させる。次に、アライメントカメラ１０で検知された第１表示パネル１００Ａの位置に基づいて、第２ステージ４１Ｂに対して第２表示パネル１００ＢのＹ軸方向およびＺ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第２搬送機構４Ｂは、アライメントカメラ１０で検知された第２表示パネル１００Ｂの位置に基づいて、第２表示パネル１００Ｂに対してＸ軸方向における第２ステージ４１Ｂの位置合わせを行う。第２表示パネル１００Ｂの位置の位置合わせが行われた後、第１ロボット３は、第２ステージ４１Ｂに第２表示パネル１００Ｂを載置する。
【0048】
第１ロボット３は、第２ステージ４１Ｂに第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置した後、吸着部３１を搬入機構２へ移動させる。吸着部３１が搬入機構２へ移動した後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、ＩＤリーダ１１に位置に移動させる。第１ＩＤリーダ１１Ａおよび第２ＩＤリーダ１１Ｂのうち何れか一方は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを読み取り、検査データ等を取得する。
【0049】
ＩＤリーダ１１により第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが読み取られた後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、第２検査部６Ｂに移動させる。
【0050】
第１ロボット３は、上記の動作を繰り返す。すなわち、第１ロボット３は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、第１ステージ４１Ａおよび第２ステージ４１Ｂに、交互に移動させる。
【0051】
（第１移動機構５Ａおよび第２移動機構５Ｂの動作）
第１移動機構５Ａの動作について説明する。図４（ａ）に示すように、先ず、第１ステージ４１Ａにより第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１移動機構５Ａまで搬送されると、駆動部５６Ａは、第１吸着部５４Ａが第１ステージ４１Ａの上方に位置するように保持アーム５３Ａを移動させる。その後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、第１ステージ４１Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ａが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。
第１移動機構５Ａの動作について説明する。図４（ａ）に示すように、先ず、第１ステージ４１Ａにより第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１移動機構５Ａまで搬送されると、駆動部５６Ａは、第１吸着部５４Ａが第１ステージ４１Ａの上方に位置するように保持アーム５３Ａを移動させる。その後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、第１ステージ４１Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ａが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。
【0052】
次に、図４（ｂ）に示すように、第１検査部６Ａのシャッタ１７が開いた後、保持アーム５３Ａは、駆動部５６Ａにより、左回りに１８０°回転する。保持アーム５３Ａが１８０°回転することにより、第１吸着部５４Ａに吸着された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第１検査部６Ａに移動する。その後、位置調整部５７Ａによって第１吸着部５４ＡをＺ２方向に移動させることにより、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第１検査部６Ａの載置部１２に載置される。
【0053】
次に、図４（ｃ）に示すように、駆動部５６Ａは、保持アーム５３Ａを右回りに１８０°回転させることにより、保持アーム５３Ａを第１位置Ｐ１に移動させる。保持アーム５３Ａが第１位置Ｐ１に移動すると、第１吸着部５４Ａは第１ステージ４１Ａと重なる位置に移動する。保持アーム５３Ａが第１位置Ｐ１に移動した後、第１検査部６Ａは、シャッタ１７を閉じて第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの点灯検査を実行する。この際、第１ステージ４１Ａにより、次の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１移動機構５Ａまで搬送される。第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、第１ステージ４１Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ａが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。
【0054】
次に、図４（ｄ）に示すように、第１検査部６Ａでの点灯検査が終了すると、シャッタ１７が開く。シャッタ１７が開いた後、駆動部５６Ａは、保持アーム５３Ａを左回りに９０°回転させることにより、保持アーム５３Ａを第２位置Ｐ２に移動させる。保持アーム５３Ａが第２位置Ｐ２に移動すると、第２吸着部５５Ａは、載置部１２と重なる位置に移動する。保持アーム５３Ａが第２位置Ｐ２に移動した後、第２吸着部５５Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、載置部１２に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第２吸着部５５Ａが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第２吸着部５５Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。
【0055】
次に、図５（ｅ）に示すように、駆動部５６Ａは、保持アーム５３Ａを左回りに９０°回転させることにより、保持アーム５３Ａを第３位置Ｐ３に移動させる。保持アーム５３Ａが第３位置Ｐ３に移動すると、第１吸着部５４Ａは、載置部１２と重なる位置に移動する。保持アーム５３Ａが第３位置Ｐ３に移動した後、第２吸着部５５Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、載置部１２に、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置部１２に載置された後、第２吸着部５５Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。
【0056】
次に、図５（ｆ）に示すように、駆動部５６Ａは、保持アーム５３Ａを右回りに１８０°回転させることにより、保持アーム５３Ａを第４位置Ｐ４に移動させる。保持アーム５３Ａが第４位置Ｐ４に移動すると、第１吸着部５４Ａは、第１ステージ４１Ａと重なる位置に移動する。保持アーム５３Ａが第４位置Ｐ４に移動した後、第２吸着部５５Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、第１ステージ４１Ａに、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ４１Ａに載置された後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。
【0057】
次に、図５（ｇ）に示すように、第１検査部６Ａは、シャッタ１７を閉じて第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの点灯検査を実行する。第１移動機構５Ａによって検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ
４１Ａに載置された後、第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動させる。排出位置において、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ４１Ａから取り出された後、第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ２方向の端部まで移動させる。
４１Ａに載置された後、第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動させる。排出位置において、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ４１Ａから取り出された後、第１搬送機構４Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ２方向の端部まで移動させる。
【0058】
次に、図５（ｈ）に示すように、第１ステージ４１Ａにより、次の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１移動機構５Ａまで搬送される。第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ２方向に移動し、第１ステージ４１Ａに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ａが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ａは、位置調整部５７Ａにより、Ｚ１方向に移動する。第１移動機構５Ａは、図４（ｄ）から図５（ｈ）までの動作を繰り返す。
【0059】
上記で説明したように、第１移動機構５Ａは、第１検査部６Ａにおいて表示パネル１００の点灯検査が行われている場合でも、第１位置Ｐ１において、表示パネル１００を第１ステージ４１Ａから保持することができる。また、第１移動機構５Ａは、第１検査部６Ａにおいて表示パネル１００の点灯検査が行われている場合でも、第４位置Ｐ４において、表示パネル１００を第１ステージ４１Ａに載置することができる。なお、第１移動機構５Ａにおいて、左回りは「一方方向」であり、右回りは「他方方向」である。
【0060】
次に、第２移動機構５Ｂの動作について説明する。図６（ａ）に示すように、先ず、第２ステージ４１Ｂにより第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２移動機構５Ｂまで搬送されると、駆動部５６Ｂは、第１吸着部５４Ｂが第２ステージ４１Ｂの上方に位置するように保持アーム５３Ｂを移動させる。その後、第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、第２ステージ４１Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ｂが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。
【0061】
次に、図６（ｂ）に示すように、第１検査部６Ａのシャッタ１７が開いた後、保持アーム５３Ｂは、駆動部５６Ｂにより、右回りに１８０°回転する。保持アーム５３Ｂが１８０°回転することにより、第１吸着部５４Ｂに吸着された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第２検査部６Ｂに移動する。その後、位置調整部５７Ｂによって第１吸着部５４ＢをＺ２方向に移動させることにより、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂは、第２検査部６Ｂの載置部１２に載置される。
【0062】
次に、図６（ｃ）に示すように、駆動部５６Ｂは、保持アーム５３Ｂを左回りに１８０°回転させることにより、保持アーム５３Ｂを第１位置Ｐ１に移動させる。保持アーム５３Ｂが第１位置Ｐ１に移動すると、第１吸着部５４Ｂは第２ステージ４１Ｂと重なる位置に移動する。保持アーム５３Ｂが第１位置Ｐ１に移動した後、第２検査部６Ｂは、シャッタ１７を閉じて第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの点灯検査を実行する。この際、第２ステージ４１Ｂにより、次の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２移動機構５Ｂまで搬送される。第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、第２ステージ４１Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ｂが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。
【0063】
次に、図６（ｄ）に示すように、第２検査部６Ｂでの点灯検査が終了すると、シャッタ１７が開く。シャッタ１７が開いた後、駆動部５６Ｂは、保持アーム５３Ｂを右回りに９
０°回転させることにより、保持アーム５３Ｂを第２位置Ｐ２に移動させる。保持アーム５３Ｂが第２位置Ｐ２に移動すると、第２吸着部５５Ｂは、載置部１２と重なる位置に移動する。保持アーム５３Ｂが第２位置Ｐ２に移動した後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、載置部１２に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第２吸着部５５Ｂが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。
０°回転させることにより、保持アーム５３Ｂを第２位置Ｐ２に移動させる。保持アーム５３Ｂが第２位置Ｐ２に移動すると、第２吸着部５５Ｂは、載置部１２と重なる位置に移動する。保持アーム５３Ｂが第２位置Ｐ２に移動した後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、載置部１２に載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第２吸着部５５Ｂが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。
【0064】
次に、図７（ｅ）に示すように、駆動部５６Ｂは、保持アーム５３Ｂを右回りに９０°回転させることにより、保持アーム５３Ｂを第３位置Ｐ３に移動させる。保持アーム５３Ｂが第３位置Ｐ３に移動すると、第１吸着部５４Ｂは、載置部１２と重なる位置に移動する。保持アーム５３Ｂが第３位置Ｐ３に移動した後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、載置部１２に、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが載置部１２に載置された後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。
【0065】
次に、図７（ｆ）に示すように、駆動部５６Ｂは、保持アーム５３Ｂを左回りに１８０°回転させることにより、保持アーム５３Ｂを第４位置Ｐ４に移動させる。保持アーム５３Ｂが第４位置Ｐ４に移動すると、第１吸着部５４Ｂは、第２ステージ４１Ｂと重なる位置に移動する。保持アーム５３Ｂが第４位置Ｐ４に移動した後、第２吸着部５５Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、第２ステージ４１Ｂに、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを載置する。第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ステージ４１Ｂに載置された後、第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。
【0066】
次に、図７（ｇ）に示すように、第２検査部６Ｂは、シャッタ１７を閉じて第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの点灯検査を実行する。第２移動機構５Ｂによって検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ステージ４１Ｂに載置された後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂを、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動させる。第２ロボット７により、第２ステージ４１Ｂから検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが排出された後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂを、Ｘ２方向の端部まで移動させる。排出位置において、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ステージ４１Ｂから取り出された後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂを、Ｘ２方向の端部まで移動させる。
【0067】
次に、図７（ｈ）に示すように、第２ステージ４１Ｂにより、次の第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２移動機構５Ｂまで搬送される。第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ２方向に移動し、第２ステージ４１Ｂに載置された第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂに当接する。第１吸着部５４Ｂが第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを吸着した後、第１吸着部５４Ｂは、位置調整部５７Ｂにより、Ｚ１方向に移動する。第２移動機構５Ｂは、図６（ｄ）から図７（ｈ）までの動作を繰り返す。
【0068】
上記で説明したように、第２移動機構５Ｂは、第２検査部６Ｂにおいて表示パネル１００の点灯検査が行われている場合でも、第１位置Ｐ１において、表示パネル１００を第１ステージ４１Ａから保持することができる。また、第２移動機構５Ｂは、第２検査部６Ｂにおいて表示パネル１００の点灯検査が行われている場合でも、第４位置Ｐ４において、表示パネル１００を第１ステージ４１Ａに載置することができる。なお、第２移動機構５
Ｂにおいて、右回りは「一方方向」であり、左回りは「他方方向」である。
Ｂにおいて、右回りは「一方方向」であり、左回りは「他方方向」である。
【0069】
（第２ロボット７の動作）
第２ロボット７の動きについて説明する。第２ロボット７は、第１ステージ４１Ａおよび第２ステージ４１Ｂによって搬送された検査済みの表示パネル１００を、第１ステージ４１Ａおよび第２ステージ４１Ｂから搬送機構８に交互に移動させる。具体的には、第１移動機構５Ａによって検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ４１Ａに載置された後、第１移動機構５Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動させる。第１ステージ４１Ａが排出位置まで移動した後、第２ロボット７は、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの上方まで吸着部７１を移動させる。吸着部７１は、位置調整部７２により、Ｚ２方向に移動して、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、第２ロボット７は、検査結果が「良品」となった表示パネル１００を搬送機構８に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル１００を排出用載置部９に載置する。
第２ロボット７の動きについて説明する。第２ロボット７は、第１ステージ４１Ａおよび第２ステージ４１Ｂによって搬送された検査済みの表示パネル１００を、第１ステージ４１Ａおよび第２ステージ４１Ｂから搬送機構８に交互に移動させる。具体的には、第１移動機構５Ａによって検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第１ステージ４１Ａに載置された後、第１移動機構５Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動させる。第１ステージ４１Ａが排出位置まで移動した後、第２ロボット７は、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの上方まで吸着部７１を移動させる。吸着部７１は、位置調整部７２により、Ｚ２方向に移動して、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、第２ロボット７は、検査結果が「良品」となった表示パネル１００を搬送機構８に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル１００を排出用載置部９に載置する。
【0070】
搬送機構８は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００ＢをＸ１方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきた検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを移動させる。
【0071】
第１ステージ４１Ａから検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ロボット７によって移動した後、第１移動機構５Ａは、第１ステージ４１Ａを、Ｘ２方向に移動させる。
【0072】
第１ステージ４１ＡがＸ２方向に移動した後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂに載置された検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを、Ｘ１方向の端部の排出位置まで移動させる。第２ステージ４１ＢがＸ１方向の端部の排出位置まで移動した後、第２ロボット７は、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂの上方まで吸着部７１を移動させる。吸着部７１は、位置調整部７２により、Ｚ２方向に移動し、検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを保持する。その後、第２ロボット７は、検査結果が「良品」となった表示パネル１００を搬送機構８に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル１００を排出用載置部９に載置する。
【0073】
搬送機構８は、第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００ＢをＸ１方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきた検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂを移動させる。
【0074】
第２ステージ４１Ｂから検査済みの第１表示パネル１００Ａおよび第２表示パネル１００Ｂが第２ロボット７によって移動した後、第２搬送機構４Ｂは、第２ステージ４１Ｂを、Ｘ２方向に移動させる。
【0075】
（本形態の作用効果）
本形態の搬送システム１において、第１移動機構５Ａは、第１アーム５１Ａおよび第２アーム５２ＡがＬ字状に連結した保持アーム５３Ａと、第１アーム５１Ａの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第１吸着部５４Ａと、第２アーム５２Ａの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第２吸着部５５Ａと、第１アーム５１Ａおよび第２アーム５２Ａの連結位置を回転軸として、保持アーム５３Ａを回転させる駆動部５６Ａとを備える。本形態では、駆動部５６Ａは、第１吸着部５４Ａが第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を保持する第１位置Ｐ１と、第１位置Ｐ１から左回りに９０
°回転して第２吸着部５５Ａが第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を保持する第２位置Ｐ２と、第２位置Ｐ２から左回りに９０°回転して第１吸着部５４Ａが第１検査部６Ａに検査前の表示パネル１００を載置する第３位置Ｐ３と、第３位置Ｐ３から右回りに１８０°回転して第２吸着部５５Ａが第１ステージ４１Ａに検査済みの表示パネル１００を載置する第４位置Ｐ４と、に保持アーム５３Ａを回転させる。
本形態の搬送システム１において、第１移動機構５Ａは、第１アーム５１Ａおよび第２アーム５２ＡがＬ字状に連結した保持アーム５３Ａと、第１アーム５１Ａの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第１吸着部５４Ａと、第２アーム５２Ａの先端部に設けられ表示パネル１００を保持する第２吸着部５５Ａと、第１アーム５１Ａおよび第２アーム５２Ａの連結位置を回転軸として、保持アーム５３Ａを回転させる駆動部５６Ａとを備える。本形態では、駆動部５６Ａは、第１吸着部５４Ａが第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を保持する第１位置Ｐ１と、第１位置Ｐ１から左回りに９０
°回転して第２吸着部５５Ａが第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を保持する第２位置Ｐ２と、第２位置Ｐ２から左回りに９０°回転して第１吸着部５４Ａが第１検査部６Ａに検査前の表示パネル１００を載置する第３位置Ｐ３と、第３位置Ｐ３から右回りに１８０°回転して第２吸着部５５Ａが第１ステージ４１Ａに検査済みの表示パネル１００を載置する第４位置Ｐ４と、に保持アーム５３Ａを回転させる。
【0076】
本形態によれば、駆動部５６Ａが第１位置Ｐ１に保持アーム５３Ａを回転させた場合、第１吸着部５４Ａは、第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を保持することはできるが、第２吸着部５５Ａは、第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を保持することはできない。すなわち、第２吸着部５５Ａは、第１検査部６Ａとは上下方向で重ならない。よって、第１検査部６Ａで表示パネル１００が検査されていた場合でも、第１移動機構５Ａは第１ステージ４１Ａに載置された検査前の表示パネル１００を保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、駆動部５６Ａが第４位置Ｐ４に保持アーム５３Ａを回転させた場合、第１吸着部５４Ａは、第１ステージ４１Ａに検査済みの表示パネル１００を載置することはできるが、第２吸着部５５Ａは、第１検査部６Ａに載置された検査済みの表示パネル１００を保持することはできない。すなわち、第２吸着部５５Ａは、第１検査部６Ａとは上下方向で重ならない。よって、第１検査部６Ａで表示パネル１００の検査が行われている場合でも、第１移動機構５Ａは第１ステージ４１Ａに検査済みの表示パネル１００を載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。
【0077】
本形態の搬送システム１において、第２移動機構５Ｂは、第１移動機構５Ａと同様に構成されている。よって、第２検査部６Ｂで表示パネル１００が検査されていた場合でも、第２移動機構５Ｂは第２ステージ４１Ｂに載置された検査前の表示パネル１００を保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、第２検査部６Ｂで表示パネル１００の検査が行われている場合でも、第２移動機構５Ｂは第２ステージ４１Ｂに検査済みの表示パネル１００を載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。
【0078】
本形態の搬送システム１において、第１ロボットは、アライメントカメラ１０の検知結果に基づいて、第１ステージ４１Ａに対してＹ軸方向およびＺ軸を回転軸とする回転方向における表示パネル１００の位置合わせを行い、第１搬送機構４Ａは、アライメントカメラ１０の検知結果に基づいて、表示パネル１００に対してＸ軸方向における第１ステージ４１Ａの位置合わせを行うために第１ステージ４１Ａを移動させる。同様に、第１ロボットは、アライメントカメラ１０の検知結果に基づいて、第２ステージ４１Ｂに対してＹ軸方向およびＺ軸を回転軸とする回転方向における表示パネル１００の位置合わせを行い、第２搬送機構４Ｂは、アライメントカメラ１０の検知結果に基づいて、表示パネル１００に対してＸ軸方向における第２ステージ４１Ｂの位置合わせを行うために第２ステージ４１Ｂを移動させる。このように構成すれば、搬送機構４がステージ４１を移動させることにより、表示パネル１００に対してＸ軸方向におけるステージ４１の位置合わせを行うので、第１ロボット３は表示パネル１００をＸ軸方向に動かす機構を省略することができる。このため、第１ロボット３の構成を簡素にすることが可能となる。
【0079】
本形態の搬送システム１において、第１ロボット３は、Ｚ軸方向から見た場合、第１搬送機構４Ａおよび第２搬送機構４Ｂの間に配置された表示パネル１００を、第１搬送機構４Ａの第１ステージ４１Ａおよび第２搬送機構４Ｂの第２ステージ４１Ｂに移動する。このように構成すれば、第１ロボット３の第１搬送機構４Ａへの移動範囲と、第１ロボット３の第２搬送機構４Ｂへの移動範囲とを同じにすることができる。
【0080】
（他の実施の形態）
他の実施形態に係る搬送機構４について説明する。図８は、他の実施形態に係る搬送機構の概略図である。図８に示すように、本形態では、ステージ４１は、第１ロボット３により載置された検査前の表示パネル１００を移動機構５まで移動させる搬入用ステージ４２と、移動機構５により載置された検査済みの表示パネル１００を排出位置まで移動させる排出用ステージ４３とを備える。この場合、移動機構５は、アライメントカメラ１０で検知された表示パネル１００の位置に基づいて、表示パネル１００に対してＸ軸方向における搬入用ステージ４２の位置合わせを行う。
他の実施形態に係る搬送機構４について説明する。図８は、他の実施形態に係る搬送機構の概略図である。図８に示すように、本形態では、ステージ４１は、第１ロボット３により載置された検査前の表示パネル１００を移動機構５まで移動させる搬入用ステージ４２と、移動機構５により載置された検査済みの表示パネル１００を排出位置まで移動させる排出用ステージ４３とを備える。この場合、移動機構５は、アライメントカメラ１０で検知された表示パネル１００の位置に基づいて、表示パネル１００に対してＸ軸方向における搬入用ステージ４２の位置合わせを行う。
【0081】
このように構成すれば、ステージ４１が１つの場合と比べて、搬入用ステージ４２および排出用ステージ４３が、各々、表示パネル１００を搬送するので、搬入用ステージ４２および排出用ステージ４３の移動距離が短くなる。これにより、搬送機構４が表示パネル１００を搬送するタクトタイムを短縮することができる。なお、上記形態と同様に、本形態の搬送機構４は、第１搬送機構と、第２搬送機構とを備えてもよい。
【0082】
上記形態では、処理部としての検査部６は、点灯検査であったが、これに限定されない。例えば、表示パネルにおけるガラス基板の表面検査でもよい。また、処理部は、表示パネルに接着剤を塗布する処理を行ってもよい。
【符号の説明】
【0083】
１…搬送システム、２…搬入機構、３…第１ロボット、４…搬送機構、４Ａ…第１搬送機構、４Ｂ…第２搬送機構、５…移動機構、５Ａ…第１移動機構、５Ｂ…第２移動機構、６…検査部、６Ａ…第１検査部、６Ｂ…第２検査部、７…第２ロボット、８…搬送機構、９…排出用載置部、１０…アライメントカメラ、１１…ＩＤリーダ、１１Ａ…第１ＩＤリーダ、１１Ｂ…第２ＩＤリーダ、１２…載置部、１３…カメラ、１４…バックライト、１５…筐体、１７…シャッタ、１８…開口部、１９…エアシリンダ、２１…ステージ、３１…吸着部、３２…位置調整部、３３…駆動部、４１…ステージ、４１Ａ…第１ステージ、４１Ｂ…第２ステージ、４２…搬入用ステージ、４３…排出用ステージ、５１Ａ…第１アーム、５１Ｂ…第１アーム、５２Ａ…第２アーム、５２Ｂ…第２アーム、５３Ａ…保持アーム、５３Ｂ…保持アーム、５４Ａ…第１吸着部、５４Ｂ…第１吸着部、５５Ａ…第２吸着部、５５Ｂ…第２吸着部、５６Ａ…駆動部、５６Ｂ…駆動部、５７Ａ…位置調整部、５７Ｂ…位置調整部、７１…吸着部、７２…位置調整部、７３…第１駆動部、７４…第２駆動部、１００…表示パネル、１００Ａ…第１表示パネル、１００Ｂ…第２表示パネル、１０１…フレキシブル配線、１１１…上部駆動部、１１２…下部駆動部、２００…不良品用パレット、４１１…本体部、４１２…ＦＰＣ保持部、Ｐ１…位置、Ｐ２…位置、Ｐ３…位置、Ｐ４…位置
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】