特開 2022-59949 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022059949

(43)【公開日】2022-04-14

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20220407BHJP

   B25J 9/06 20060101ALI20220407BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B25J9/06 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020167859

(22)【出願日】2020-10-02

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002505

【氏名又は名称】特許業務法人航栄特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】細川 正己

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707CY36

3C707DS01

3C707ES17

3C707FS01

3C707NS13

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131CA38

5F131CA46

5F131DA33

5F131DA42

5F131DB02

5F131DB06

5F131DB12

5F131DB13

5F131DB14

5F131DB15

5F131DB22

5F131DB45

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB76

(57)【要約】

【課題】交換作業の手間を抑制しつつ小型化が可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ハンドコラム３０は、押付部材３１ｄを駆動する駆動機構４ｐと、押付部材３１ｄの駆動による押付部材３１ｄの移動をガイドするガイド溝４ｈと、気体を吸引する空気配管４ｃと、を有する。ハンド取付部４ｍにウエハクランプハンド３１が取り付けられている場合にガイド溝４ｈを空気配管４ｃと接続する第１吸引路を形成可能である。また、ハンド取付部４ｍに真空吸着ハンド３２が取り付けられている場合に真空吸着ハンド３２の吸引孔３２ｂを空気配管４ｃと接続する第２吸引路を形成可能である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物を保持するハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
前記ハンドは、第１保持部材と第２保持部材とを付け替え可能な第１取付部を有するハンド基端部を有し、
前記第１保持部材は、前記搬送対象物の端面が当接する端面当接部材と、前記搬送対象物の端面が前記端面当接部材に押し付けられるように前記搬送対象物を押す押付部材と、を有し、
前記第２保持部材は、前記搬送対象物を吸引して保持する吸引孔を有し、
前記ハンド基端部は、前記押付部材を駆動する駆動機構と、前記押付部材の駆動による前記押付部材の移動をガイドするガイド溝と、気体を吸引する気体吸引部と、を備え、
前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられている場合に前記ガイド溝を前記気体吸引部と接続する第１吸引路を形成可能であり、
前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられている場合に前記吸引孔を前記気体吸引部と接続する第２吸引路を形成可能である、
産業用ロボット。

【請求項2】

請求項１記載の産業用ロボットであって、
前記ハンド基端部は、第１ブロックと第２ブロックとを付け替え可能な第２取付部を有し、
前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第１ブロックが取り付けられると前記第１吸引路が形成され、
前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第２ブロックが取り付けられると前記第２吸引路が形成される、
産業用ロボット。

【請求項3】

請求項２記載の産業用ロボットであって、
前記第１ブロックは、前記気体吸引部と接続される第１開口部と、前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第１ブロックが取り付けられると前記ガイド溝に通じる第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部とを繋ぐ吸引路と、を有する、
産業用ロボット。

【請求項4】

請求項２又は３記載の産業用ロボットであって、
前記第２ブロックは、前記気体吸引部と接続される第３開口部と、前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第２ブロックが取り付けられると前記吸引孔と接続される第４開口部と、前記第３開口部と前記第４開口部とを繋ぐ吸引路と、を有する、
産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ウエハ等の搬送対象物を搬送するハンドを備える産業用ロボットが知られている。例えば、特許文献１には、搬送対象物を搬送するハンドとして、搬送対象物の端面が当接する端面当接部材を有し、搬送対象物の端面を端面当接部材に押し付けて搬送対象物を保持するグリップ型のハンドと、搬送対象物を吸引して保持する吸引型のハンドと、を別々に備える産業用ロボットが知られている。グリップ型のハンドと吸引型のハンドは、例えば産業用ロボットの用途に応じて使い分けられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７－１１９３２６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

例えば、特許文献１のようにグリップ型のハンドと吸引型のハンドを別々に備える産業用ロボットは大型になる。また、グリップ型のハンドと吸引型のハンドとを付け替え可能にすることも考えられるが、ハンド自体の交換作業には手間がかかる。

【0005】

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、交換作業の手間を抑制しつつ小型化が可能な産業用ロボットを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の産業用ロボットは、搬送対象物を保持するハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、前記ハンドは、第１保持部材と第２保持部材とを付け替え可能な第１取付部を有するハンド基端部を有し、前記第１保持部材は、前記搬送対象物の端面が当接する端面当接部材と、前記搬送対象物の端面が前記端面当接部材に押し付けられるように前記搬送対象物を押す押付部材と、を有し、前記第２保持部材は、前記搬送対象物を吸引して保持する吸引孔を有し、前記ハンド基端部は、前記押付部材を駆動する駆動機構と、前記押付部材の駆動による前記押付部材の移動をガイドするガイド溝と、気体を吸引する気体吸引部と、を備え、前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられている場合に前記ガイド溝を前記気体吸引部と接続する第１吸引路を形成可能であり、前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられている場合に前記吸引孔を前記気体吸引部と接続する第２吸引路を形成可能である。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、交換作業の手間を抑制しつつ小型化が可能な産業用ロボットを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の一例を示す平面図である。

【図2】ウエハクランプハンド３１を設けたハンド３の構成の一例を説明するための斜視図である。

【図3】図２のウエハクランプ用ブロック５の構造の一例を示す図である。

【図4】真空吸着ハンド３２を設けたハンド３の構成の一例を説明するための斜視図である。

【図5】図４の真空吸着用ブロック６の構造の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0010】

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の一例を示す平面図である。

【0011】

本形態の産業用ロボット１は、搬送対象物としての半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節型ロボットである。この産業用ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム７と、アーム７の基端側が回動可能に連結される本体部８とを備えている。以下の説明では、産業用ロボット１を「ロボット１」とし、半導体ウエハ２を「ウエハ２」とする。

【0012】

本体部８は、略四角柱状に形成されている。本体部８の内部には、アーム７を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム７は、第１アーム部９と第２アーム部１０とから構成されている。第１アーム部９及び第２アーム部１０は、中空状に形成されている。第１アーム部９の基端側は、本体部８に回動可能に連結されている。第２アーム部１０の基端側は、第１アーム部９の先端側に回動可能に連結されている。また、ロボット１は、本体部８に対して第１アーム部９を回動させる第１アーム駆動機構（図示省略）と、第１アーム部９に対して第２アーム部１０を回動させる第２アーム駆動機構（図示省略）とを備えている。

【0013】

ハンド３は、第２アーム部１０の先端側に回動可能に連結されている。ハンド３は、上下方向から見たときに回動中心Ｃ１（図１参照）を中心に回動可能となっている。本体部８と第１アーム部９と第２アーム部１０とハンド３とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。また、ロボット１は、ハンド３を回動させるためのモータを含むハンド駆動機構（図示省略）を備えている。

【0014】

ハンド３は、ハンドコラム３０と、ハンドコラム３０に対して取り付け可能なウエハクランプハンド３１又は真空吸着ハンド３２（図４参照）と、によって構成される。図１の例においてはハンドコラム３０に対してウエハクランプハンド３１が取り付けられている。ハンドコラム３０は、本発明のハンド基端部の一例である。ウエハクランプハンド３１は、本発明の第１保持部材の一例である。真空吸着ハンド３２は、本発明の第２保持部材の一例である。

【0015】

（ウエハクランプハンド３１を設けたハンド３の構成）
図２は、ウエハクランプハンド３１を設けたハンド３の構成の一例を説明するための斜視図である。図３は、図２のウエハクランプ用ブロック５の構造の一例を示す図である。

【0016】

ウエハクランプハンド３１は、二股状に形成されるウエハ搭載部３１ａと、端面当接部材３１ｂとを有し、ウエハ２の端面が端面当接部材３１ｂに押し付けられるようにウエハ２を押し付けることによりウエハ２を保持するグリップ型（把持型）の保持部である。また、ウエハクランプハンド３１は、ウエハ載置部材３１ｃと、押付部材３１ｄと、ローラ３１ｅと、固定部材３１ｆと、を有する。

【0017】

端面当接部材３１ｂは、二股状に形成されるウエハ搭載部３１ａの先端側の上面に固定されている。すなわち、ウエハ搭載部３１ａには、２個の端面当接部材３１ｂが固定されている。なお、ウエハ搭載部３１ａの基端側の上面の２箇所には、ウエハ２が載置されるウエハ載置部材３１ｃが固定されており、ウエハ２は、端面当接部材３１ｂとウエハ載置部材３１ｃとに搭載される。

【0018】

押付部材３１ｄは、ハンドコラム３０からの駆動により、端面当接部材３１ｂに向かってウエハ２の端面（外周面）を押し付ける角棒形状の部材である。押付部材３１ｄの基端側の端部はハンドコラム３０に差し込まれており、押付部材３１ｄの先端側の端部は二股状に形成されている。二股状に形成される押付部材３１ｄの先端側の上面には、ウエハ２の端面に接触するローラ３１ｅが回転可能に設けられている。すなわち、押付部材３１ｄには、２個のローラ３１ｅが固定されている。

【0019】

このローラ３１ｅは、上下方向を回転の軸方向として回転可能となっている。押付部材３１ｄは、ローラ３１ｅがウエハ２の端面に接触して端面当接部材３１ｂに向かってウエハ２を押し付ける押付位置と、ローラ３１ｅがウエハ２の端面から離れるように退避する退避位置との間で直線的に移動する。図２においては押付部材３１ｄが退避位置にある。

【0020】

固定部材３１ｆは、ウエハ搭載部３１ａの基端側の端部に設けられており、後述のハンドコラム３０のハンド取付部４ｍに対してウエハクランプハンド３１を固定するための部材である。固定部材３１ｆは、ハンド取付部４ｍに設けられた４つのネジ孔４ｏに対応する４つのネジ孔３１ｇを有する。固定部材３１ｆをハンド取付部４ｍに取り付けた状態で、４つのネジ孔３１ｇを介して４本のネジ３１ｈを４つのネジ孔４ｏに固定することにより、ハンド取付部４ｍに対して固定部材３１ｆを固定することができる。

【0021】

ハンドコラム３０は、内部空間４ａを有する筐体である。内部空間４ａの底面には孔４ｂが設けられており、ハンド３の外部（例えば本体部８）から延びた空気配管４ｃが、孔４ｂを介して内部空間４ａに導入されている。空気配管４ｃは、例えば本体部８の側から気体（例えば空気）を吸引するものであり、本発明の気体吸引部の一例である。内部空間４ａに導入された空気配管４ｃの端部には継手４ｄが設けられている。

【0022】

また、内部空間４ａには、ウエハクランプハンド３１の押付部材３１ｄの先端部を保持する保持部材４ｅと、保持部材４ｅを前後方向Ｄ１に移動させるためのソレノイド４ｆと、保持部材４ｅの位置を検知するためのセンサ４ｇと、が設けられている。保持部材４ｅ及びソレノイド４ｆは、押付部材３１ｄを駆動する駆動機構４ｐを構成する。

【0023】

また、ハンドコラム３０には、ウエハクランプハンド３１の押付部材３１ｄの移動をガイドするガイド溝４ｈと、後述のウエハクランプ用ブロック５（図４参照）を設置可能なブロック取付部４ｉと、ハンド取付部４ｍと、が設けられている。ガイド溝４ｈは、ウエハクランプハンド３１の押付部材３１ｄの形状に合わせた略平板形状の溝である。

【0024】

ハンド取付部４ｍは、本発明の第１取付部の一例である。ハンド取付部４ｍは、上記のウエハクランプハンド３１の固定部材３１ｆや、後述の真空吸着ハンド３２の固定部材３２ｄ（図４参照）の底面と篏合する形状に形成されている。また、ハンド取付部４ｍは、空気孔４ｎと、４つのネジ孔４ｏと、を有する。

【0025】

ブロック取付部４ｉは、本発明の第２取付部の一例である。ブロック取付部４ｉは、ウエハクランプ用ブロック５や後述の真空吸着用ブロック６の底面と篏合する形状に形成されている。ウエハクランプ用ブロック５は本発明の第１ブロックの一例である。真空吸着用ブロック６は本発明の第２ブロックの一例である。ブロック取付部４ｉには、４つのネジ孔４ｊと空気孔４ｋとが設けられている。４つのネジ孔４ｊは、ブロック取付部４ｉに対してウエハクランプ用ブロック５を固定するためのネジ孔である。空気孔４ｋは、ハンド取付部４ｍに設けられた空気孔４ｎに通じた空気孔である。

【0026】

ウエハクランプ用ブロック５は、ブロック取付部４ｉに取り付け可能なブロックである。ウエハクランプ用ブロック５には４つのネジ孔５ｂが設けられている。ウエハクランプ用ブロック５をブロック取付部４ｉに取り付けた状態で、４つのネジ孔５ｂを介して４本のネジ５ｃを４つのネジ孔４ｊに固定することにより、ブロック取付部４ｉに対してウエハクランプ用ブロック５を固定することができる。

【0027】

また、ウエハクランプ用ブロック５には、空気配管５ａが接続されている。空気配管５ａの一端は、継手４ｄを介して空気配管４ｃと接続可能である。空気配管５ａの他端は、ウエハクランプ用ブロック５の内部に接続可能である（図３参照）。

【0028】

図３において、ウエハクランプ用ブロック５の正面５Ａ、右側断面５Ｂ、上面５Ｃ、左側面５Ｄ、底面５Ｅ、及び背面５Ｆを示している。右側断面５Ｂは、正面５ＡのＡ－Ａ断面をウエハクランプ用ブロック５の右側から見た図になっている。図３に示す切欠部５ｄは、図２に示した空気配管５ａを配置するための切欠部である。切欠部５ｄに配置された空気配管５ａのうち継手４ｄと接続される端部とは反対の端部は、ウエハクランプ用ブロック５に設けられた空気孔５ｅに接続される。

【0029】

右側断面５Ｂに示すように、空気孔５ｅは、ウエハクランプ用ブロック５の内部で直角に曲がっており、第１開口部５ｆと、第２開口部５ｇと、吸引路５ｈと、を有する。第１開口部５ｆは、ウエハクランプ用ブロック５の正面５Ａに設けられている。第１開口部５ｆに、空気配管５ａを介して空気配管４ｃが接続される。

【0030】

空気孔５ｅの第２開口部５ｇは、ウエハクランプ用ブロック５の底面５Ｅに設けられている。具体的には、ウエハクランプ用ブロック５は、ブロック取付部４ｉに取り付けられた状態においてガイド溝４ｈ上に位置する部分を有し、この部分に第２開口部５ｇが設けられている。したがって、第２開口部５ｇは、ウエハクランプ用ブロック５がブロック取付部４ｉに取り付けられるとガイド溝４ｈに通じる。

【0031】

吸引路５ｈは、第１開口部５ｆと第２開口部５ｇとを繋ぎ、第２開口部５ｇから第１開口部５ｆへの空気の吸引路となる、ウエハクランプ用ブロック５の内部空間である。

【0032】

したがって、ハンド取付部４ｍにウエハクランプハンド３１が設けられている状態においては、継手４ｄ、空気配管５ａ、及び空気孔５ｅにより、ガイド溝４ｈを空気配管４ｃ（気体吸引部）と接続する第１吸引路が形成される。この第１吸引路により、ガイド溝４ｈの空気を吸引することができる。これにより、ガイド溝４ｈと押付部材３１ｄとの間の隙間にあるホコリ等の異物を排出し、ハンド３の動作不良を抑制することができる。

【0033】

なお、ガイド溝４ｈと押付部材３１ｄとの間の隙間にある異物には、孔４ｂから内部空間４ａに進入したものや、内部空間４ａ内の保持部材４ｅやソレノイド４ｆの駆動で生じたものや、ガイド溝４ｈと押付部材３１ｄと間の摩擦により生じたものなどがある。

【0034】

（真空吸着ハンド３２を設けたハンド３の構成）
図４は、真空吸着ハンド３２を設けたハンド３の構成の一例を説明するための斜視図である。図５は、図４の真空吸着用ブロック６の構造の一例を示す図である。

【0035】

真空吸着ハンド３２は、先細の平板形状のウエハ搭載部３２ａと、ウエハ搭載部３２ａに設けられた吸引孔３２ｂと、を有し、ウエハ搭載部３２ａに載置したウエハ２を吸引孔３２ｂにより吸引することで保持する吸引型（吸着型）の保持部である。また、真空吸着ハンド３２は、吸引路３２ｃと、固定部材３２ｄと、を備える。

【0036】

吸引孔３２ｂは、先細形状に形成されるウエハ搭載部３２ａの先端側の上面に設けられている。吸引路３２ｃは、ウエハ搭載部３２ａの内部に設けられており、吸引孔３２ｂから固定部材３２ｄまで延びている。

【0037】

固定部材３２ｄは、ウエハ搭載部３２ａの基端側の端部に設けられており、ハンドコラム３０のハンド取付部４ｍに対して真空吸着ハンド３２を固定するための部材である。固定部材３２ｄは、ハンド取付部４ｍに設けられた４つのネジ孔４ｏに対応する４つのネジ孔３２ｅを有する。固定部材３２ｄをハンド取付部４ｍに取り付けた状態で、４つのネジ孔３２ｅを介して４本のネジ３２ｆを４つのネジ孔４ｏに固定することにより、ハンド取付部４ｍに対して固定部材３２ｄを固定することができる。

【0038】

固定部材３２ｄの底面には、吸引路３２ｃに通じる空気孔３２ｇが設けられている。空気孔３２ｇは、固定部材３２ｄをハンド取付部４ｍに取り付けた状態で、ハンド取付部４ｍの空気孔４ｎと接続される位置に設けられている。

【0039】

真空吸着用ブロック６は、ウエハクランプ用ブロック５に代えてブロック取付部４ｉに設置可能なブロックである。真空吸着用ブロック６には４つのネジ孔６ｂが設けられている。真空吸着用ブロック６をブロック取付部４ｉに取り付けた状態で、４つのネジ孔６ｂを介して４本のネジ６ｃを４つのネジ孔４ｊに固定することにより、ブロック取付部４ｉに対して真空吸着用ブロック６を固定することができる。

【0040】

また、真空吸着用ブロック６には、空気配管６ａが接続されている。空気配管６ａの第１端部は、継手４ｄを介して空気配管４ｃと接続可能である。空気配管６ａの第２端部は、真空吸着用ブロック６の内部に接続可能である（図５参照）。

【0041】

図５においては、真空吸着用ブロック６の正面６Ａ、右側面６Ｂ、上面６Ｃ、左側断面６Ｄ、底面６Ｅ、及び背面６Ｆを示している。左側断面６Ｄは、正面６ＡのＢ－Ｂ断面を真空吸着用ブロック６の左側から見た図になっている。

【0042】

真空吸着用ブロック６には、空気孔６ｅが設けられている。左側断面６Ｄに示すように、空気孔６ｅは、真空吸着用ブロック６の内部で直角に曲がっており、第３開口部６ｆと、第４開口部６ｇと、吸引路６ｈと、を備える。

【0043】

第３開口部６ｆは、空気配管６ａの第２端部を接続するための開口部であり、真空吸着用ブロック６の正面６Ａに設けられている。第３開口部６ｆに、空気配管６ａを介して空気配管４ｃが接続される。

【0044】

第４開口部６ｇは、真空吸着用ブロック６の底面６Ｅに設けられている。具体的には、真空吸着用ブロック６は、ブロック取付部４ｉに取り付けられた状態において空気孔４ｋ上に位置する部分を有し、この部分に第４開口部６ｇが設けられている。したがって、真空吸着用ブロック６がブロック取付部４ｉに取り付けられた状態において、第４開口部６ｇは空気孔４ｋと繋がる。空気孔４ｋは、上記のように、ハンド取付部４ｍの空気孔４ｎと通じており、空気孔４ｎは真空吸着ハンド３２の空気孔３２ｇ及び吸引路３２ｃを介して吸引孔３２ｂと通じている。なお、図４の例では、第４開口部６ｇと空気孔４ｋとの接続に、空気の漏れを防止するためのＯリング６ｄが用いられる。

【0045】

吸引路６ｈは、第３開口部６ｆと第４開口部６ｇとを繋ぎ、第４開口部６ｇから第３開口部６ｆへの空気の吸引路となる、真空吸着用ブロック６の内部空間である。

【0046】

したがって、ハンド取付部４ｍに真空吸着ハンド３２が設けられている状態においては、継手４ｄ、空気配管６ａ、空気孔６ｅ、空気孔４ｋ、空気孔４ｎ、空気孔３２ｇ、及び吸引路３２ｃにより、真空吸着ハンド３２の吸引孔３２ｂを空気配管４ｃ（気体吸引部）と接続する第２吸引路が形成される。この第２吸引路により、空気配管４ｃから空気を吸引することで、吸引孔３２ｂとウエハ２との間に吸引力を発生させ、ウエハ２を把持することができる。

【0047】

このように、ハンド３においては、ハンドコラム３０に対してグリップ型のウエハクランプハンド３１と吸引型の真空吸着ハンド３２とを付け替えることができる。そして、ウエハクランプハンド３１を用いる際にはハンドコラム３０にウエハクランプ用ブロック５を設け、真空吸着ハンド３２を用いる際にはハンドコラム３０に真空吸着用ブロック６を設けることにより、それぞれの用途に応じた吸引路を容易に形成可能である。

【0048】

（本形態の主な効果）
本形態のロボット１によれば、ハンドコラム３０に対してウエハクランプハンド３１と真空吸着ハンド３２とを付け替えることで、ハンド３全体を付け替えなくても、グリップ型のハンド３と吸引型のハンド３とを切り替えることができる。これにより、ハンド３自体を交換する構成と比べて、交換作業の手間を省きつつ、装置を小型化することができる。

【0049】

また、ハンドコラム３０のハンド取付部４ｍに対してウエハクランプハンド３１を取り付ける場合はハンドコラム３０の空気配管４ｃ（気体吸引部）を押付部材３１ｄとガイド溝４ｈとの間の隙間からの気体の吸引に用い、ハンドコラム３０に対して真空吸着ハンド３２を取り付ける場合はハンドコラム３０の空気配管４ｃ（気体吸引部）をウエハ２の吸引に用いることができるため、ハンド基端部を兼用することができる。このため、押付部材３１ｄとガイド溝４ｈとの間の隙間からの気体の吸引とウエハ２の吸引とのそれぞれについてハンドコラム３０に気体吸引部を設ける構成と比べて、装置を小型化することができる。

【0050】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0051】

上述した形態では、アーム７は、第１アーム部９及び第２アーム部１０の２個のアーム部によって構成されているが、アーム７は、３個以上のアーム部によって構成されてもよい。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであってもよい。

【0052】

以上説明してきたように、本明細書には以下の事項が開示されている。

【0053】

（１）
搬送対象物を保持するハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
前記ハンドは、第１保持部材と第２保持部材とを付け替え可能な第１取付部を有するハンド基端部を有し、
前記第１保持部材は、前記搬送対象物の端面が当接する端面当接部材と、前記搬送対象物の端面が前記端面当接部材に押し付けられるように前記搬送対象物を押す押付部材と、を有し、
前記第２保持部材は、前記搬送対象物を吸引して保持する吸引孔を有し、
前記ハンド基端部は、前記押付部材を駆動する駆動機構と、前記押付部材の駆動による前記押付部材の移動をガイドするガイド溝と、気体を吸引する気体吸引部と、を備え、
前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられている場合に前記ガイド溝を前記気体吸引部と接続する第１吸引路を形成可能であり、
前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられている場合に前記吸引孔を前記気体吸引部と接続する第２吸引路を形成可能である、
産業用ロボット。

【0054】

（１）のように構成すると、ハンド基端部に対して第１保持部材と第２保持部材とを付け替えることで、ハンド全体を付け替えなくても、グリップ型のハンドと吸引型のハンドとを切り替えることができる。これにより、ハンド自体を交換する構成と比べて、交換作業の手間を省きつつ、装置を小型化することができる。

【0055】

また、ハンド基端部の第１取付部に対して第１保持部材を取り付ける場合はハンド基端部の気体吸引部を押付部材とガイド溝との間の隙間からの気体の吸引に用い、ハンド基端部に対して第２保持部材を取り付ける場合はハンド基端部の気体吸引部を搬送対象物の吸引に用いることができるため、ハンド基端部を兼用することができる。このため、押付部材とガイド溝との間の隙間からの気体の吸引と搬送対象物の吸引とのそれぞれについてハンド基端部に気体吸引部を設ける構成と比べて、装置を小型化することができる。

【0056】

（２）
（１）記載の産業用ロボットであって、
前記ハンド基端部は、第１ブロックと第２ブロックとを付け替え可能な第２取付部を有し、
前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第１ブロックが取り付けられると前記第１吸引路が形成され、
前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第２ブロックが取り付けられると前記第２吸引路が形成される、
産業用ロボット。

【0057】

（２）のように構成すると、ハンド基端部の第２取付部に対して第１ブロックと第２ブロックとを付け替えることで、ハンド基端部に第１保持部材が取り付けられている場合の第１吸引路と、ハンド基端部に第２保持部材が取り付けられている場合の第２吸引路と、を容易に形成することができる。

【0058】

（３）
（２）記載の産業用ロボットであって、
前記第１ブロックは、前記気体吸引部と接続される第１開口部と、前記第１取付部に前記第１保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第１ブロックが取り付けられると前記ガイド溝に通じる第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部とを繋ぐ吸引路と、を有する、
産業用ロボット。

【0059】

（３）のように構成すると、ハンド基端部の第２取付部に対して第１ブロックを取り付けることにより、ハンド基端部に第１保持部材が取り付けられている場合の第１吸引路を形成することができる。

【0060】

（４）
（２）又は（３）記載の産業用ロボットであって、
前記第２ブロックは、前記気体吸引部と接続される第３開口部と、前記第１取付部に前記第２保持部材が取り付けられ前記第２取付部に前記第２ブロックが取り付けられると前記吸引孔と接続される第４開口部と、前記第３開口部と前記第４開口部とを繋ぐ吸引路と、を有する、
産業用ロボット。

【0061】

（４）のように構成すると、ハンド基端部の第２取付部に対して第２ブロックを取り付けることにより、ハンド基端部に第２保持部材が取り付けられている場合の第２吸引路を形成することができる。

【符号の説明】

【0062】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ）
３ ハンド
４ａ 内部空間
４ｂ 孔
４ｃ，５ａ，６ａ 空気配管
４ｄ 継手
４ｅ 保持部材
４ｆ ソレノイド
４ｇ センサ
４ｈ ガイド溝
４ｉ ブロック取付部
４ｊ，４ｏ，５ｂ，６ｂ，３１ｇ，３２ｅ ネジ孔
４ｋ，４ｎ，５ｅ，６ｅ，３２ｇ 空気孔
４ｍ ハンド取付部
４ｐ 駆動機構
５ ウエハクランプ用ブロック
６ 真空吸着用ブロック
５Ａ，６Ａ 正面
５Ｂ 右側断面
５Ｃ，６Ｃ 上面
５Ｄ 左側面
５Ｅ，６Ｅ 底面
５Ｆ，６Ｆ 背面
５ｃ，６ｃ，３１ｈ，３２ｆ ネジ
５ｄ 切欠部
５ｆ 第１開口部
５ｇ 第２開口部
５ｈ，６ｈ，３２ｃ 吸引路
６Ｂ 右側面
６Ｄ 左側断面
６ｄ Ｏリング
６ｆ 第３開口部
６ｇ 第４開口部
７ アーム
８ 本体部
９ 第１アーム部
１０ 第２アーム部
３０ ハンドコラム
３１ ウエハクランプハンド
３１ａ，３２ａ ウエハ搭載部
３１ｂ 端面当接部材
３１ｃ ウエハ載置部材
３１ｄ 押付部材
３１ｅ ローラ
３１ｆ，３２ｄ 固定部材
３２ 真空吸着ハンド
３２ｂ 吸引孔
Ｃ１ 回動中心
Ｄ１ 前後方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】