特開 2022-59951 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022059951

(43)【公開日】2022-04-14

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/22 20060101AFI20220407BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20220407BHJP

【ＦＩ】

B25J9/22 A

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020167862

(22)【出願日】2020-10-02

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002505

【氏名又は名称】特許業務法人航栄特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】村田 渉

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS01

3C707AS24

3C707BS03

3C707HS27

3C707HT20

3C707LS15

3C707NS13

5F131AA02

5F131AA03

5F131CA38

5F131CA45

5F131CA49

5F131DA02

5F131DB12

5F131DB54

5F131DB62

5F131DD03

5F131DD25

5F131DD26

5F131DD33

5F131DD43

5F131DD72

5F131DD76

5F131KA15

5F131KA52

5F131KA72

5F131KB05

5F131KB12

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】狭い場所での教示を可能にすることができる産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１センサ１４は、第１センサ１４の発光素子の光軸及び受光素子の光軸が左右方向と平行になるように配置されている。第２センサ１５は、第２センサ１５の発光素子の光軸及び受光素子の光軸が前後方向と平行になるように配置されている。搭載部３に搭載されるウエハ２の位置が教示されるときに、移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、第１センサ１４によって搭載部３又は搭載部３に搭載される教示用治具の前後方向の位置を検知するとともに、移動機構９によってハンド４を左右方向へ移動させて、第２センサ１５によって搭載部３又は教示用治具の左右方向の位置を検知する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載される搭載部への前記搬送対象物の搬入及び前記搭載部からの前記搬送対象物の搬出を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、
前記搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、前記ハンドを前記第１方向及び前記第２方向へ移動させる移動機構と、
発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第１センサ及び第２センサとを備え、
前記第１センサは、前記第１センサの前記発光素子の光軸及び前記受光素子の光軸が前記第２方向と平行になるように配置され、
前記第２センサは、前記第２センサの前記発光素子の光軸及び前記受光素子の光軸が前記第１方向と平行になるように配置され、
前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第１センサによって前記搭載部又は前記搭載部に搭載される教示用治具の前記第１方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記搭載部又は前記教示用治具の前記第２方向の位置を検知する、
産業用ロボット。

【請求項2】

請求項１記載の産業用ロボットであって、
前記ハンドを昇降させる昇降機構を備え、
前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記昇降機構によって前記ハンドを昇降させて、前記第１センサによって前記搭載部又は前記教示用治具の上下方向の位置を検知する、
産業用ロボット。

【請求項3】

請求項１又は２記載の産業用ロボットであって、
前記ハンドを前記第１方向と平行な回転軸を中心に回転させる回転機構を備え、
前記第２センサは、前記第１方向を前後方向とした場合の前記ハンドの両側面のいずれかに設けられており、
前記搭載部は、水平方向の位置が互いに異なる第１搭載部及び第２搭載部を含み、
前記第１搭載部及び前記第２搭載部に搭載される各搬送対象物の位置が教示されるときに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記第１搭載部又は前記第１搭載部に搭載される教示用治具の前記第２方向の位置を検知した後、前記回転機構によって前記ハンドを前記回転軸を中心に反転させ、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記第２搭載部又は前記第２搭載部に搭載される教示用治具の前記第２方向の位置を検知する、
産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体ウエハを搬送する産業用ロボットが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、特許文献１参照には、搭載部に搭載される搬送対象物の位置を自動で教示する産業用ロボットが記載されている。特許文献１の産業用ロボットは、光軸が左右方向と平行な発光素子及び受光素子を有する第１センサと、光軸が前後方向及び左右方向に対して傾いた方向でありかつ水平な発光素子及び受光素子を有する第２センサと、を備える。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６－１０７３７８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の構成において、ハンドに教示用のセンサを１つ設ける場合、ハンドの進入角度を変化させながら複数回のセンシングを行う必要があるため、ハンドの移動範囲が大きくなり、教示のための空間を広く確保する必要がある。

【0005】

また、特許文献１の構成では、例えば教示の対象物が複数ある場合に、ハンドの進入位置を変えながら複数回のセンシングを行う必要があるため、ハンドの移動範囲が大きくなり、教示のための空間を広く確保する必要がある。

【0006】

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、狭い場所での教示を可能にすることができる産業用ロボットを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される搭載部への前記搬送対象物の搬入及び前記搭載部からの前記搬送対象物の搬出を行う産業用ロボットにおいて、前記搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、前記搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、前記ハンドを前記第１方向及び前記第２方向へ移動させる移動機構と、発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第１センサ及び第２センサとを備え、前記第１センサは、前記第１センサの前記発光素子の光軸及び前記受光素子の光軸が前記第２方向と平行になるように配置され、前記第２センサは、前記第２センサの前記発光素子の光軸及び前記受光素子の光軸が前記第１方向と平行になるように配置され、前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第１センサによって前記搭載部又は前記搭載部に搭載される教示用治具の前記第１方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記搭載部又は前記教示用治具の前記第２方向の位置を検知する。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、狭い場所での教示を可能にすることができる産業用ロボットを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の概略構成を示す側面図である。

【図2】図１に示すハンド４の平面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボット１の動作を説明するための図である。

【図4】図１に示すロボット１が第１搭載部３ａの上下方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。

【図5】図１に示すロボット１が第１搭載部３ａの前後方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。

【図6】図１に示すロボット１が第１搭載部３ａの左右方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。

【図7】図１に示すロボット１が第２搭載部３ｂの左右方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。

【図8】ハンド４を適用した水平多関節型ロボットの一例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0011】

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の概略構成を示す側面図である。図２は、図１に示すハンド４の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の動作を説明するための図である。

【0012】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するロボットである。具体的には、ロボット１は、ウエハ２が搭載される搭載部３へのウエハ２の搬入及び搭載部３からのウエハ２の搬出を行うロボットである。ウエハ２は、円板状に形成されている。搭載部３は、例えば、ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置の内部に配置されている。また、本形態の搭載部３は、円板状に形成されている。

【0013】

ロボット１は、ウエハ２を把持するハンド４と、ハンド４を昇降可能に保持する柱部５と、柱部５を水平方向へ移動可能に保持するベース部６と、柱部５に対してハンド４を昇降させる昇降機構８とを備えている。また、ロボット１は、ベース部６に対してハンド４及び柱部５を水平方向へ直線的に移動させる移動機構９を備えており、ハンド４は、ウエハ２を搬送する際に水平方向へ直線的に移動する。

【0014】

以下の説明では、重力方向と平行な方向を上下方向とする。また、搭載部３に対してウエハ２を搬送する際（すなわち、搭載部３へのウエハ２の搬入及び搭載部３からのウエハ２の搬出を行う際）のハンド４の移動方向（図１等に示すＹ方向）を前後方向とする。また、上下方向と前後方向とに直交する方向（図１等に示すＸ方向）を左右方向とする。本形態では、前後方向は第１方向であり、左右方向は第２方向である。

【0015】

柱部５は、上下方向に細長い柱状に形成されている。昇降機構８は、例えば、柱部５に回転可能に取り付けられるボールネジと、このボールネジに係合するとともにハンド４に固定されるナット部材と、このボールネジを回転させるモータと、ハンド４を上下方向へ案内するガイド部とを備えている。この昇降機構８は、中空状に形成される柱部５の内部に配置されている。

【0016】

ベース部６は、前後方向に細長いブロック状に形成されている。移動機構９は、例えば、ベース部６に回転可能に取り付けられるボールネジと、このボールネジに係合するとともに柱部５に固定されるナット部材と、このボールネジを回転させるモータと、柱部５を前後方向へ案内するガイド部とを備えている。移動機構９は、中空状に形成されるベース部６の内部に配置されており、ハンド４及び柱部５を前後方向へ移動させる。また、移動機構９は、左右方向へ柱部５を移動させる機構を含む。

【0017】

また、ハンド４は、前後方向と平行な回転軸Ｔ１を中心に回転可能である。例えば、柱部５は、柱部５に対して回転軸Ｔ１を中心にハンド４を回転させるモータ等の回転機構１０を備える。

【0018】

ハンド４は、例えば、棒状に形成される２本のフォーク部１１と、フォーク部１１の基端が取り付けられるフォーク支持部１２とを備えている。フォーク部１１は、直線状に形成されている。２本のフォーク部１１は、互いに略平行に配置されるとともに、左右方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。２本のフォーク部１１の間隔は、搭載部３の直径よりも大きくなっている。また、２本のフォーク部１１は、上下方向において同じ位置に配置されている。図２に示すように、ウエハ２は、２本のフォーク部１１の上面に搭載されている。また、フォーク部１１の上面側には、ウエハ２を把持する把持機構（図示省略）が取り付けられている。フォーク支持部１２は、ブロック状に形成されており、柱部５に昇降可能に保持されている。

【0019】

図２に示すように、ハンド４には、第１センサ１４と第２センサ１５とが取り付けられている。第１センサ１４は、発光素子を有する発光部１６と、受光素子を有する受光部１７とを備える透過型の光学式センサである。同様に、第２センサ１５は、発光素子を有する発光部１８と、受光素子を有する受光部１９とを備える透過型の光学式センサである。

【0020】

発光部１６は、２本のフォーク部１１のうちの一方のフォーク部１１の先端部分に取り付けられ、受光部１７は、２本のフォーク部１１のうちの他方のフォーク部１１の先端部分に取り付けられている。発光部１６と受光部１７とは、左右方向で対向するように配置されている。すなわち、第１センサ１４は、発光部１６及び受光部１７の光軸（具体的には、発光部１６の発光素子及び受光部１７の受光素子の光軸）Ｌ１が左右方向と平行になるように配置されている。

【0021】

発光部１８及び受光部１９は、ハンド４の側面部分、具体的にはフォーク支持部１２の両側面のうち左側の側面に取り付けられている。図２の例では、ハンド４の側面部分に設けられた窪みの両端部に発光部１８及び受光部１９が取り付けられているが、発光部１８及び受光部１９は、ハンド４の側面部分に設けられた２つの突起部に取り付けられてもよい。

【0022】

発光部１８と受光部１９とは、前後方向で対向するように配置されている。すなわち、第２センサ１５は、発光部１８及び受光部１９の光軸（具体的には、発光部１８の発光素子及び受光部１９の受光素子の光軸）Ｌ２が前後方向と平行になるように配置されている。また、発光部１８と受光部１９との間隔は、搭載部３の直径よりも大きくなっている。

【0023】

以上のように構成されたロボット１は、ハンド４の上下動と前後方向への水平移動との組合せによって、図３の（Ａ）～（Ｃ）に示すように、搭載部３へのウエハ２の搬入と、搭載部３からのウエハ２の搬出とを行う。

【0024】

（搭載部に搭載されるウエハの位置の教示方法）
図４は、図１に示すロボット１が第１搭載部３ａの上下方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。図５は、図１に示すロボット１が第１搭載部３ａの前後方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。図６は、図１に示すロボット１が第１搭載部３ａの左右方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。図７は、図１に示すロボット１が第２搭載部３ｂの左右方向の位置を検知するときのハンド４の動作を説明するための図である。ここでは、搭載部３として、水平方向に並んだ２つの第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの位置を検出する場合について説明する。

【0025】

本形態では、第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの上下方向の位置、前後方向の位置及び左右方向の位置の検知結果に基づいて、第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂに搭載されるウエハ（例えばウエハ２）の位置をロボット１に自動で教示するオートティーチが行われる。すなわち、本形態では、第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂに搭載されるウエハの位置をロボット１に教示する際に、第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの上下方向の位置、前後方向の位置、及び左右方向の位置を検知する。

【0026】

具体的には、図４に示すように、第１センサ１４の光軸Ｌ１が第１搭載部３ａを通過するように昇降機構８によってハンド４を昇降させて、第１センサ１４によって第１搭載部３ａの上下方向の位置を検知する。より具体的には、昇降機構８によってハンド４を昇降させて、第１センサ１４によって第１搭載部３ａの下面又は上面の位置を検知する。第２搭載部３ｂの上下方向の位置についても同様の方法により検知することができる。

【0027】

また、第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの上下方向の位置が同じである場合、検知した第１搭載部３ａの上下方向の位置を第２搭載部３ｂの上下方向の位置として認識し、第２搭載部３ｂの上下方向の位置の検出動作を省いてもよい。

【0028】

また、図５に示すように、第１センサ１４の光軸Ｌ１が搭載部３を通過するように移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、第１センサ１４によって搭載部３の前後方向の位置を検知する。より具体的には、移動機構９によってハンド４を前後方向へ移動させて、第１センサ１４によって搭載部３の側面の位置を検知する。第２搭載部３ｂの前後方向の位置についても同様の方法により検知することができる。

【0029】

また、図６に示すように、ハンド４を第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの間に移動させてから、第２センサ１５の光軸Ｌ２が第１搭載部３ａを通過するように移動機構９によってハンド４を左右方向へ移動させて、第２センサ１５によって第１搭載部３ａの左右方向の位置を検知する。より具体的には、移動機構９によってハンド４を左右方向へ移動させて、第２センサ１５によって第１搭載部３ａの側面の位置を検知する。

【0030】

また、図７に示すように、図６に示した状態から回転機構１０によってハンド４を回転軸Ｔ１を中心に反転させ、第２センサ１５の光軸Ｌ２が第２搭載部３ｂを通過するように移動機構９によってハンド４を左右方向へ移動させて、第２センサ１５によって第２搭載部３ｂの左右方向の位置を検知する。より具体的には、移動機構９によってハンド４を左右方向へ移動させて、第１センサ１４によって第２搭載部３ｂの側面の位置を検知する。これにより、ハンド４の移動範囲を小さくしつつ第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの位置を検知することができる。

【0031】

図４に示した上下方向の位置検知と、図５に示した前後方向の位置検知と、図６，図７に示した左右方向の位置検知と、は任意の順序で行うことができる。一例としては、まず図４に示した上下方向の位置検知を行ってハンド４の上下方向の位置を調整し、次に図５に示した前後方向の位置検知を行って教示の対象物（例えば第１搭載部３ａ）の位置を大まかに認識した後、図６，図７に示した左右方向の位置検知を行うことができる。

【0032】

又は、まず図４に示した上下方向の位置検知を行ってハンド４の上下方向の位置を調整し、次に図６，図７に示した左右方向の位置検知を行って教示の対象物（例えば第１搭載部３ａ）の位置を大まかに認識した後、図５に示した前後方向の位置検知を行ってもよい。また、教示の対象物の上下方向の大まかな位置が既知である場合は、図４に示した上下方向の位置検知を、図５に示した前後方向の位置検知や図６，図７に示した左右方向の位置検知よりも後に行ってもよい。

【0033】

（本形態の主な効果）
このように、本形態では、ハンド４が、発光素子の光軸及び受光素子の光軸が左右方向（第２方向）と平行になる第１センサ１４に加えて、発光素子の光軸及び受光素子の光軸が前後方向（第１方向）と平行になる第２センサ１５を備える。

【0034】

これにより、例えば、まず第１センサ１４を用いて搭載部３の前後方向の位置検知を行った後に、ハンド４の姿勢（向き）をほぼ変えずに、第２センサ１５を用いて搭載部３の左右方向の位置検知を行うことができる。又は、まず第２センサ１５を用いて搭載部３の左右方向の位置検知を行った後に、ハンド４の姿勢（向き）をほぼ変えずに、第１センサ１４を用いて搭載部３の前後方向の位置検知を行うことができる。したがって、教示に要するハンド４の進入角度（ハンド４の振り幅）を小さくすることができる。このため、狭い場所での教示が可能になる。

【0035】

また、ハンド４を前後方向（第１方向）と平行な回転軸Ｔ１を中心に回転させる回転機構１０を備えることで、第１搭載部３ａの左右方向の位置検知を行った後に、回転機構１０によってハンド４を回転軸Ｔ１を中心に反転させ、第２搭載部３ｂの左右方向の位置検知を行うことができる。これにより、教示の対象物（例えば第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂ）が複数ある場合に、ハンド４の各側面のいずれか一方にしか第２センサ１５が設けられていなくても、ハンド４の移動範囲を小さくしつつ第１搭載部３ａ及び第２搭載部３ｂの位置を検知することができる。

【0036】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0037】

上述した形態では、第１センサ１４及び第２センサ１５によって、例えば搭載部３の上下方向の位置、前後方向の位置及び左右方向の位置を検知するとともに、その検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示している。この他にも例えば、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示する際に、搭載部３に教示用治具を搭載してもよい。この場合には、上述した形態と同様に、教示用治具の上下方向の位置、前後方向の位置及び左右方向の位置を第１センサ１４及び第２センサ１５によって検知するとともに、その検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示する。

【0038】

上述した形態では、ウエハ２は、ハンド４の上面（具体的には、２本のフォーク部１１の上面）に搭載されて把持されている。この他にも例えば、所定のウエハホルダにウエハ２が固定され、２本のフォーク部１１が左右方向へ移動可能に構成されるとともに、ウエハホルダの所定の箇所が２本のフォーク部１１の間に挟まれることで、ウエハ２がハンド４に把持されてもよい。すなわち、ウエハ２は、ウエハホルダを介してハンド４に把持されてもよい。また、この場合には、ウエハホルダの所定の箇所が搭載部３に搭載されてもよい。すなわち、ウエハ２は、ウエハホルダを介して搭載部３に搭載されてもよい。

【0039】

上述した形態では、第１センサ１４及び第２センサ１５は、透過型の光学式センサであるが、第１センサ１４及び第２センサ１５は、反射型の光学式センサであってもよい。

【0040】

上述した形態では、搭載部３は、円板状に形成されているが、搭載部３は、円板状以外の形状に形成されてもよい。例えば、搭載部３は、楕円板状に形成されてもよいし、四角板状等の多角板状に形成されてもよいし、所定形状をなすブロック状に形成されてもよい。また、搭載部３が円板状以外の形状に形成される場合に、搭載部３に教示用治具を搭載して、教示用治具の上下方向の位置、前後方向の位置及び左右方向の位置を第１センサ１４及び第２センサ１５によって検知するとともに、その検知結果に基づいて、搭載部３に搭載されるウエハ２の位置をロボット１に教示してもよい。

【0041】

上述した形態において、ロボット１は、その先端側にハンド４が回動可能に連結される伸縮可能なアームを備えていてもよい。この場合には、アームの基端側は、柱部５に回動可能に連結される。また、アームの伸縮動作によってハンド４は、前後方向へ直線的に移動する。また、上述した形態において、ロボット１は、上下方向を回動の軸方向として柱部５を回動させる回動機構を備えていてもよい。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ウエハ２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ガラス基板等のウエハ２以外のものであってもよい。

【0042】

上記のハンド４をロボット１に適用する構成について説明したが、ハンド４はロボット１に限らず、ウエハ２等の搬送対象物を搬送するハンドを有し、教示（オートティーチ）が行われる各種のロボットに適用することができる。図８は、ハンド４を適用した水平多関節型ロボットの一例を示す平面図である。上記のハンド４は、例えば図８に示す産業用ロボット８１に適用することもできる。

【0043】

産業用ロボット８１は、搬送対象物としてのウエハ２を搬送するための水平多関節型ロボットである。産業用ロボット８１は、半導体ウエハ２が搭載されるハンド４と、ハンド４が先端側に回動可能に連結されるアーム８７と、アーム８７の基端側が回動可能に連結される本体部８５とを備えている。

【0044】

本体部８５は、略四角柱状に形成されている。本体部８５の内部には、アーム８７を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム８７は、第１アーム部８８と第２アーム部８９とから構成されている。第１アーム部８８及び第２アーム部８９は、中空状に形成されている。第１アーム部８８の基端側は、本体部８５に回動可能に連結されている。第２アーム部８９の基端側は、第１アーム部８８の先端側に回動可能に連結されている。また、産業用ロボット８１は、本体部８５に対して第１アーム部８８を回動させる第１アーム駆動機構（図示省略）と、第１アーム部８８に対して第２アーム部８９を回動させる第２アーム駆動機構（図示省略）とを備えている。

【0045】

ハンド４は、第２アーム部８９の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４は、上下方向から見たときに回動中心Ｃ１（図１参照）を中心に回動可能となっている。本体部８５と第１アーム部８８と第２アーム部８９とハンド４とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。また、産業用ロボット８１は、ハンド４を回動させるためのモータを含むハンド駆動機構（図示省略）を備えている。

【0046】

このような産業用ロボット８１においても、ロボット１と同様に、ハンド４を用いた教示を行うことができる。

【0047】

以上説明してきたように、本明細書には以下の事項が開示されている。

【0048】

（１）
搬送対象物が搭載される搭載部への前記搬送対象物の搬入及び前記搭載部からの前記搬送対象物の搬出を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を把持し水平方向へ直線的に移動するハンドと、
前記搭載部に対して前記搬送対象物を搬送するときの前記ハンドの移動方向を第１方向とし、前記第１方向と上下方向とに直交する方向を第２方向とすると、前記ハンドを前記第１方向及び前記第２方向へ移動させる移動機構と、
発光素子と受光素子とを有し前記ハンドに取り付けられる第１センサ及び第２センサとを備え、
前記第１センサは、前記第１センサの前記発光素子の光軸及び前記受光素子の光軸が前記第２方向と平行になるように配置され、
前記第２センサは、前記第２センサの前記発光素子の光軸及び前記受光素子の光軸が前記第１方向と平行になるように配置され、
前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第１方向へ移動させて、前記第１センサによって前記搭載部又は前記搭載部に搭載される教示用治具の前記第１方向の位置を検知するとともに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記搭載部又は前記教示用治具の前記第２方向の位置を検知する、
産業用ロボット。

【0049】

（１）のように構成すると、例えば、まず第１センサを用いて搭載部の第１方向の位置検知を行った後に、ハンドの姿勢（向き）をほぼ変えずに、第２センサを用いて搭載部の第２方向の位置検知を行うことができる。又は、まず第２センサを用いて搭載部の第２方向の位置検知を行った後に、ハンドの姿勢（向き）をほぼ変えずに、第１センサを用いて搭載部の第１方向の位置検知を行うことができる。したがって、教示に要するハンドの進入角度（ハンドの振り幅）を小さくすることができる。このため、狭い場所での教示が可能になる。

【0050】

（２）
（１）記載の産業用ロボットであって、
前記ハンドを昇降させる昇降機構を備え、
前記搭載部に搭載される前記搬送対象物の位置が教示されるときに、前記昇降機構によって前記ハンドを昇降させて、前記第１センサによって前記搭載部又は前記教示用治具の上下方向の位置を検知する、
産業用ロボット。

【0051】

（２）のように構成すると、搭載部に搭載される搬送対象物の上下方向の位置の教示も行うことが可能になる。

【0052】

（３）
（１）又は（２）記載の産業用ロボットであって、
前記ハンドを前記第１方向と平行な回転軸を中心に回転させる回転機構を備え、
前記第２センサは、前記第１方向を前後方向とした場合の前記ハンドの両側面のいずれかに設けられており、
前記搭載部は、水平方向の位置が互いに異なる第１搭載部及び第２搭載部を含み、
前記第１搭載部及び前記第２搭載部に搭載される各搬送対象物の位置が教示されるときに、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記第１搭載部又は前記第１搭載部に搭載される教示用治具の前記第２方向の位置を検知した後、前記回転機構によって前記ハンドを前記回転軸を中心に反転させ、前記移動機構によって前記ハンドを前記第２方向へ移動させて、前記第２センサによって前記第２搭載部又は前記第２搭載部に搭載される教示用治具の前記第２方向の位置を検知する、
産業用ロボット。

【0053】

（３）のように構成すると、第１搭載部の左右方向の位置検知を行った後に、回転機構によってハンドを反転させて第２搭載部の左右方向の位置検知を行うことができる。これにより、教示の対象物が複数ある場合に、ハンドの各側面のいずれか一方にしか第２センサが設けられていなくても、ハンドの移動範囲を小さくしつつ第１搭載部及び第２搭載部の位置を検知することができる。

【符号の説明】

【0054】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ）
３ 搭載部
３ａ 第１搭載部
３ｂ 第２搭載部
４ ハンド
５ 柱部
６ ベース部
８ 昇降機構
９ 移動機構
１０ 回転機構
１１ フォーク部
１２ フォーク支持部
１４ 第１センサ
１５ 第２センサ
１６，１８ 発光部
１７，１９ 受光部
８１ 産業用ロボット
８５ 本体部
８７ アーム
８８ 第１アーム部
８９ 第２アーム部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】