特開 2022-60805 ワーク搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022060805

(43)【公開日】2022-04-15

(54)【発明の名称】ワーク搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65B 57/00 20060101AFI20220408BHJP

【ＦＩ】

B65B57/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020168500

(22)【出願日】2020-10-05

(71)【出願人】

【識別番号】591009705

【氏名又は名称】株式会社 東京ウエルズ

(74)【代理人】

【識別番号】100091487

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 行孝

(74)【代理人】

【識別番号】100105153

【弁理士】

【氏名又は名称】朝倉 悟

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100091982

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 浩之

(72)【発明者】

【氏名】小島 智幸

(57)【要約】

【課題】移載テーブルのワーク収納部内にワークを確実に移載する。
【解決手段】回転テーブル１の外周縁に複数の吸着ノズル装置２０が設けられ、吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５に吸着されたワークＷは一対のカメラ３２ａ，３２ｂにより撮影される。一方のカメラ３２ａはワークＷの１辺Ｗａ１および２角部Ｗｂ１と、ワーク収納部４１の１辺４１ａ１および２角部４１ｂ１を撮影し、他方のカメラ３２ｂはワークＷの対向する１辺Ｗａ２および対向する２角部Ｗｂ２と、ワーク収納部４１の対向する１辺４１ａ２および対向する２角部４１ｂ２を撮影する。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

各々が平面矩形状の複数のワーク収納部を有する移載テーブルと、
前記移載テーブルの上方に回転自在に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブル外周縁に配置され、ワークを吸着して保持するとともに、移載位置において前記移載テーブルのワーク収納部へ前記ワークを移載する吸着ノズルを含む複数の吸着ノズル装置と、
前記移載位置にある前記吸着ノズル装置の上方に配置され、前記移載テーブルのワーク収納部と、前記吸着ノズルに吸着された前記ワークとを撮影する撮影装置と、
制御部と、を備え、
前記撮影装置は、撮影対象となる前記ワークの両側に対向して配置された一対のカメラを有し、各カメラは前記ワークの互いに対向する１辺および２角部を撮影し、
前記制御部は、前記撮影装置からの信号に基づいて、前記移載テーブルをＸ－Ｙ方向に移動させる、ワーク搬送装置。

【請求項2】

前記制御部は前記撮影装置からの信号に基づいて、前記移載テーブルをＸ－Ｙ方向に移動させ、かつ前記移載位置にある前記吸着ノズルを回転させる、請求項１記載のワーク搬送装置。

【請求項3】

前記一対のカメラは鉛直線の両側に位置し、かつ鉛直線に対して同一の傾斜角をもって配置される、請求項１または２記載のワーク搬送装置。

【請求項4】

前記吸着ノズルは前記移載テーブルに対して上下方向に移動可能となっており、
前記撮影装置は、前記ワークが前記移載テーブルの前記ワーク収納部から上方へ離間した上方位置で前記ワークと前記ワーク収納部を撮影し、
前記制御部は、前記撮影装置からの信号に基づいて、前記吸着ノズルを下方させながら、前記移載テーブルをＸ－Ｙ方向に移動させ、かつ前記吸着ノズルを回転させる、請求項１乃至３のいずれか記載のワーク搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は装置部品を搬送するワーク搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より装置部品（以下、ワークともいう）を搬送し、次工程において装置部品に対して検査を行うためのワーク搬送方法が知られている。

【0003】

この場合、まずワークは、ワークフィーダにより搬送され、ワークフィーダにより搬送されたワークは吸着ノズル等により移載テーブルのワーク収納部内に順次移載される。その後、移載テーブルのワーク収納部内のワークに対して、次工程において性能検査又は外観検査が施される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－２６０５９４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、近年ワークの小形化に伴って、移載テーブルのワーク収納部もワークに合わせて小形化し、かつワーク収納部の内形形状とワーク外形形状との間のクリアランスも小さくなる傾向がある。

【0006】

このような場合、ワークフィーダによって搬送されるワークを、移載テーブルのワーク収納部内に精度良く位置決めしながら、迅速に移載することはむずかしくなっている。

【0007】

本開示はこのような点を考慮してなされたものであり、移載テーブルのワーク収納部に対してワークを精度良く位置決めしながら、ワーク収納部内へワークを迅速に移載するワーク搬送装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示は、各々が平面矩形状の複数のワーク収納部を有する移載テーブルと、前記移載テーブルの上方に回転自在に設けられた回転テーブルと、前記回転テーブル外周縁に配置され、ワークを吸着して保持するとともに、移載位置において前記移載テーブルのワーク収納部へ前記ワークを移載する吸着ノズルを含む複数の吸着ノズル装置と、前記移載位置にある前記吸着ノズル装置の上方に配置され、前記移載テーブルの前記ワーク収納部と、前記吸着ノズルに吸着された前記ワークとを撮影する撮影装置と、制御部と、を備え、前記撮影装置は、撮影対象となる前記ワークの両側に対向して配置された一対のカメラを有し、各カメラは前記ワークの互いに対向する１辺および２角部を撮影し、前記制御部は、前記撮影装置からの信号に基づいて、前記移載テーブルをＸ－Ｙ方向に移動させる、ワーク搬送装置である。

【0009】

本開示は、前記制御部は前記撮影装置からの信号に基づいて、前記移載テーブルをＸ－Ｙ方向に移動させ、かつ前記移載位置にある吸着ノズルを回転させる、ワーク搬送装置である。

【0010】

本開示は、前記一対のカメラは鉛直線の両側に位置し、かつ鉛直線に対して同一の傾斜角をもって配置される、ワーク搬送装置である。

【0011】

本開示は、前記吸着ノズルは前記移載テーブルに対して上下方向に移動可能となっており、前記撮影装置は、前記ワークが前記移載テーブルの前記ワーク収納部から上方へ離間した上方位置で前記ワークと前記ワーク収納部を撮影し、前記制御部は、前記撮影装置からの信号に基づいて、前記吸着ノズルを下方させながら、前記移載テーブルをＸ－Ｙ方向に移動させ、かつ前記吸着ノズルを回転させる、ワーク搬送装置である。

【発明の効果】

【0012】

以上のように本開示によれば、移載テーブルのワーク収納部に対してワークを精度良く位置決めしながら、迅速にワーク収納部内へワークを移載することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は本開示によるワーク搬送装置を示す概略斜視図。

【図2】図２は別の方向からワーク搬送装置をみた図。

【図3】図３は吸着ノズル装置を示す側面図。

【図4】図４は吸着ノズルとワークとワーク収納部の配置関係を示す図。

【図5】図５は吸着ノズルとワークとワーク収納部の配置関係を示す斜視図。

【図6】図６はカメラの撮影方向を示す側面図。

【図7】図７はカメラの撮影方向を示す斜視図。

【図8】図８は本実施の形態の作用を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

＜本実施の形態＞
以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。図１乃至図８は本開示の実施の形態を示す図である。

【0015】

ここで図１は本開示によるワーク搬送装置を示す概略斜視図、図２は別の方向からワーク搬送装置をみた概略斜視図、図３は吸着ノズル装置を示す側面図、図４は吸着ノズルとワークとワーク収納部の配置関係を示す図、図５は吸着ノズルとワークとワーク収納部の配置関係を示す斜視図、図６はカメラの撮影方向を示す側面図、図７はカメラの撮影方向を示す斜視図、図８は本実施の形態の作用を示す図である。

【0016】

図１乃至図８に示すように、ワーク搬送装置１０は装置部品等のワークＷを搬送するとともに精度良く位置決めして移載するものである。

【0017】

このようなワーク搬送装置１０は回転自在に設けられた回転テーブル１と、回転テーブル１の外周縁に配置された複数の吸着ノズル装置２０と、回転テーブル１の下方に位置して各々が平面矩形状のワーク収納部４１を有する移載テーブル４０とを備えている。

【0018】

このうち回転テーブル１の外周縁に設けられた吸着ノズル装置２０は、ノズル装置本体２１と、ノズル装置本体２１内に回転テーブル１および移載テーブル４０に対して上下方向に移動可能に設けられ、下端においてワークＷを吸着保持する吸着ノズル２５とを有している。

【0019】

また各ノズル装置本体２１の上部には、回転テーブル１まで延びる保持アーム２２が設けられ、この保持アーム２２は止め具２２ａにより回転テーブル１に保持されている。

【0020】

またノズル装置本体２１内の吸着ノズル２５は、上述のように上下方向移動自在となっており、吸着ノズル２５の上部に押圧部２３が設けられ、この押圧部２３が後述するノズル昇降機３０により下方へ押圧されて吸着ノズル２５が降下する。

【0021】

また押圧部２３に対するノズル昇降機３０の押圧が解除されると、ノズル装置本体２１内に内蔵されたスプリング（図示せず）により吸着ノズル２５が上昇する。

【0022】

ところで、本実施の形態において搬送されるワークＷは平面矩形状をなしている（図５参照）。そして平面矩形状のワークＷは４辺Ｗａと４つの角部Ｗｂとを有する。このような構成からなるワークＷは回転テーブル１外周に設けられた吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５により吸着される。そして、吸着ノズル装置２０が移載位置１Ａに来たところで、吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５に吸着されたワークＷは移載テーブル４０のワーク収納部４１内に移載される。

【0023】

この場合、移載テーブル４０のワーク収納部４１は、ワークＷより若干大きな形状をもち、ワークＷと同様、４辺４１ａと４つの角部４１ｂとを有する平面矩形状をもつ（図４参照）。

【0024】

図４に示すように、移載テーブル４０のワーク収納部４１は、ワークＷと同様に平面矩形状をなすが、この場合、ワークＷの外形形状は例えば１．０ｍｍ×０．５ｍｍの形状をもち、移載テーブル４０のワーク収納部４１の内形形状は１．０１ｍｍ×０．５１ｍｍの形状をもち、ワーク収納部４１とワークＷとの間の隙間はきわめて小さい。

【0025】

このため本実施の形態において、移載テーブル４０のワーク収納部４１内にワークＷを移載する際の移載精度が厳しく求められている。

【0026】

ところで図１に示すように、回転テーブル１は架台フレーム３１に設けられた回転保持機構２７により回転自在に保持されており、回転テーブル１は回転保持機構２７により回欠的に回転する。そして回転テーブル１の外周縁に設けられた吸着ノズル装置２０が移載位置１Ａに来たとき、ノズル昇降機３０により押圧部２３が下方へ押圧され、ノズル昇降機３０により吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５が降下し、吸着ノズル２５に吸着されたワークＷが移載テーブル４０のワーク収納部４１内に移載される。

【0027】

この場合、ノズル昇降機３０は架台フレーム３１に設けられ、回転テーブル１の外周縁に設けられた吸着ノズル装置２０が移載位置１Ａに来たとき、回転テーブル１が停止する。そしてノズル昇降機３０の下端に設けられた駆動部が、ノズル昇降機３０に内蔵されたサーボモータ（図示せず）により降下して、吸着ノズル装置２０の押圧部２３が下方へ押圧される。

【0028】

また、ノズル昇降機３０の両側には、一対のカメラ３２ａ，３２ｂを有する撮影装置３２が設けられ、各カメラ３２ａ，３２ｂは架台フレーム３１に支持されている。

【0029】

各カメラ３２ａ，３２ｂは移載位置１Ａに達した吸着ノズル装置２０の上方に配置されており、移載テーブル４０のワーク収納部４１と、吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５に吸着されたワークＷとを撮影するものである。具体的には吸着ノズル装置２０が移載位置に来たとき、吸着ノズル２５に吸着された撮影対象となるワークＷの両側に、各カメラ３２ａ，３２ｂが、対向して配置される、そして、一方のカメラ３２ａは撮影対象となるワークＷの１辺Ｗａ１および２つの角部Ｗｂ１を撮影するとともに、他方のカメラ３２ｂはカメラ３２ａにより撮影されたワークＷの１辺Ｗａ１および２つの角部Ｗｂ１に対向する１辺Ｗａ２および２つの角部Ｗｂ２を撮影する（図５参照）。

【0030】

また同様に一方のカメラ３２ａは撮影対象となるワーク収納部４１の１辺４１ａ１および２つの角部４１ｂ１を撮影するとともに、他方のカメラ３２ｂはカメラ３２ａにより撮影されたワーク収納部４１の１辺４１ａ１および２つの角部４１ｂ１に対向する１辺４１ａ２および２つの角部４１ｂ２を撮影する。

【0031】

なお、上述した移載テーブル４０はＸ－Ｙ駆動機構４２により支持され、このＸ－Ｙ駆動機構４２により移載テーブル４０は、水平面上においてＸ－Ｙ方向に駆動される。また吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５はノズル装置本体２１内において図示しない回転駆動機構により回転可能となっている。また、吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５は、吸着機能を有し、その吸着機能をＯＮ－ＯＦＦすることができる。

【0032】

また図１に示すように、一対のカメラ３２ａ，３２ｂを有する撮影装置３２からの信号は制御部３５に送られ、この制御部３５により上記構成部材、例えば回転保持機構２７、各々の吸着ノズル装置２０、ノズル昇降機３０、およびＸ－Ｙ駆動機構４２が駆動制御される。

【0033】

また回転テーブル１の一側には、ワークＷを搬送するとともに、このワークＷを回転テーブル１の外周縁に設けられた吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５に受け渡す直線状のリニアフィーダからなるワークフィーダ１１が接続されている。

【0034】

次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。

【0035】

まず、図１および図６Ａに示すように、装置部品等のワークＷがワークフィーダ１１から回転テーブル１側へ送られ、ワークＷはワークフィーダ１１の下流端から回転テーブル１の外周縁に設けられた吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５に受け渡される。この場合、回転テーブル１は回転することなく停止している。また、吸着ノズル２５は、内蔵されたスプリングにより上方位置まで上昇しており、その吸着機能がＯＮとなっている。そして、ワークフィーダ１１から送られてくるワークＷは、上方位置にあり、吸着機能がＯＮとなっている吸着ノズル２５に受け渡される。

【0036】

次に回転テーブル１が回転保持機構２７により回転して、回転テーブル１の外周縁に設けられた吸着ノズル装置２０が移載位置１Ａまで達する。

【0037】

この際、回転テーブル１が停止する前から、制御部３５はノズル昇降機３０の駆動部を駆動制御して降下させ、吸着ノズル装置２０の押圧部２３を押圧して吸着ノズル２５をスプリングの力に抗して降下させる。そして、回転テーブル１が停止した時点で、ワークＷの撮影エッジ２ａ，２ｂと、ワーク収納部４１の撮影エッジ３ａ，３ｂの双方を有効に撮影できる中間位置の高さまで吸着ノズル２５をもってくる。この場合、吸着ノズル２５がとる中間位置とは、吸着ノズル２５の上方位置と下方位置との間の中間位置となる。

【0038】

次に吸着ノズル装置２０が移載位置１Ａまで達したところで、撮影装置３２の一方のカメラ３２ａにより、ワークＷの一辺Ｗａ１および２つ角部Ｗｂ１が撮影され、同時にワーク収納部４１の一辺４１ａ１および２つの角部４１ｂ１が撮影される。この時、一方のカメラ３２ａに内蔵された照明装置によりワークＷとワーク収納部４１が照らされる。

【0039】

同時に他方のカメラ３２ｂによりワークＷの対向する一辺Ｗａ２および対向する２つの角部Ｗｂ２が撮影され、同時にワーク収納部４１の対向する一辺４１ａ２および対向する２つの角部４１ｂ２が撮影される。この時、他方のカメラ３２ｂに内蔵された照明装置によりワークＷとワーク収納部４１が照らされる。

【0040】

この場合、図２および図３に示すように、一対のカメラ３２ａ，３２ｂは各々鉛直線Ｌ０の両側に位置しており、鉛直線Ｌ０に対して同一の傾斜角θをもって配置される。

【0041】

このため、カメラ３２ａは鉛直線Ｌ０に対して傾斜角θを有する撮影ラインＬ１をもち、カメラ３２ｂは鉛直線Ｌ０に対して傾斜角θを有する撮影ラインＬ２をもつ。

【0042】

一対のカメラ３２ａ，３２ｂによりワークＷおよびワーク収納部４１を撮影する状態を図６乃至図８により説明する。

【0043】

一方のカメラ３２ａによりワークＷの一辺Ｗａ１および２つの角部Ｗｂ１を撮影し、同時にワーク収納部４１の一辺４１ａ１および２つの角部４１ｂ１を撮影した場合、一方のカメラ３２ａによりワークＷの撮影エッジ２ａが検出され、同時にワーク収納部４１の撮影エッジ３ａが検出される。

【0044】

また他方のカメラ３２ｂによりワークＷの対向する一辺Ｗａ２および対向する２つの角部Ｗｂ２を撮影し、同時にワーク収納部４１の対向する一辺４１ａ２および対向する２つの角部４１ｂ２を撮影した場合、他方のカメラ３２ｂによりワークＷの撮影エッジ２ｂが検出され、同時にワーク収納部の撮影エッジ３ｂが検出される。

【0045】

例えば一方のカメラ３２ａにより撮影された画像を図８に示す。

【0046】

この段階では、吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５は、上述のように、ノズル昇降機３０の駆動部が吸着ノズル装置２０の押圧部２３を押圧することによって、上方位置と下方位置との間の中間位置をとっている。また一方のカメラ３２ａによりワークＷの１辺Ｗａ１および２つの角部Ｗｂ１を撮影した画像データ、および他方のカメラ３２ｂによりワークＷの対向する１辺Ｗａ２および対向する２つの角部Ｗｂ２を撮影した画像データは、各々制御部３５へ送られる。なお、吸着ノズル２５は必ずしも中間位置をとる必要はなく、吸着ノズル２５を上方位置に配置した状態で、一対のカメラ３２ａ，３２ｂによりワークＷとワーク収納部４１を撮影してもよい。

【0047】

制御部３５では、一方のカメラ３２ａからの画像データおよび他方のカメラ３２ｂからの画像データに基づいて、ワーク収納部４１に対するワークＷの位置ずれを検出することができる。

【0048】

次に制御部３５はノズル昇降機３０の駆動部を駆動制御して降下させ、吸着ノズル装置２０の押圧部２３を押圧して降下させる。このことにより吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５が降下し吸着ノズル２５は下方位置をとる。この場合、吸着ノズル２５の下端に吸着されたワークＷが移載テーブル４０のワーク収納部４１内に載置される。同時に吸着ノズル２５の吸着機能がＯＦＦとなり、吸着ノズル２５の下端に吸着されていたワークＷが吸着ノズル２５から開放され、ワーク収納部４１内に移載される。

【0049】

制御部３５はノズル昇降機３０を降下させる間、一対のカメラ３２ａ，３２ｂから入手した画像から検出されたワーク収納部４１に対するワークＷの位置ずれに基づいて、移載テーブル４０のワーク収納部４１の位置調整を行う。具体的には制御部３５はワーク収納部４１に対するワークＷの位置ずれに基づいて、移載テーブル４０のＸ－Ｙ駆動機構４２を駆動させ、移載テーブル４０のＸ－Ｙ方向の位置を補正する。

【0050】

同時に制御部３５は吸着ノズル装置２０の吸着ノズル２５を回転させ、ワークＷの回転方向位置を補正する。

【0051】

このようにして制御部３５は、ノズル昇降機３０を降下させる間、ワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれを、Ｘ－Ｙ駆動機構４２のＸ－Ｙ方向移動および吸着ノズル２５の回転移動により、Ｘ－Ｙ方向および吸着ノズル２５の回転方向について補正することができる。

【0052】

このようにしてワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれを補正しながら、吸着ノズル２５の下端に吸着されていたワークＷをワーク収納部４１内に精度良く移載することができる。

【0053】

その後、制御部３５はノズル昇降機３０の駆動部を上昇させ、ノズル昇降機３０の駆動部が押圧部２３から上方へ離れる。このとき、ノズル装置本体２１内に内蔵されたスプリングにより吸着ノズル２５が上昇して上方位置をとる。

【0054】

その後、制御部３５が回転保持機構２７を駆動制御して、回転テーブル１を１ピッチ回動させ、次の吸着ノズル装置２０が移載位置１Ａまで来て、上述した作用が繰り返される。

【0055】

このような作用を順次繰り返すことにより、ワークフィーダ１１から送られてくるワークＷを、移載テーブル４０の所望のワーク収納部４１内に順次移載することができる。その後、移載テーブル４０は次工程に送られ、次工程において、移載テーブル４０内からワークＷが取り出され、このワークＷに対して性能検査あるいは外観検査が施される。その後良品と判定されたワークＷは装置部品として使用される。

【0056】

以上のように本実施の形態によれば、一方のカメラ３２ａによりワークＷの一辺Ｗａ１および２つの角部Ｗｂ１と、ワーク収納部４１の一辺４１ａ１および２つの角部４１ｂ１を撮影するとともに、他方のカメラ３２ｂによりワークＷの対向する一辺Ｗａ２および対向する２つの角部Ｗｂ２と、ワーク収納部４１の対向する一辺４１ａ２および対向する２つの角部４１ｂ２を撮影する。このことにより、矩形状のワークＷと矩形状のワーク収納部４１のうちすべてのワークＷの角部Ｗｂ１，Ｗｂ２およびワーク収納部４１の角部４１ｂ１，４１ｂ２と、互いに対向するワークＷの辺Ｗａ１，Ｗａ２および互いに対向するワーク収納部４１の辺４１ａ１，４１ａ２を測定することができる。このためワークＷとワーク収納部４１の位置ずれを全周に渡って直接検出することができ、検出されたワークＷとワーク収納部４１の位置ずれに基づいて移載テーブル４０をＸ－Ｙ方向に移動させ、吸着ノズル２５を回転させる。このことにより、ワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれをＸ－Ｙ方向および吸着ノズル２５の回転方向について迅速かつ確実に補正することができる。このことによりワーク収納部４１の内形形状とワークＷの外形形状との間にほとんど隙間がなくても、ワークＷを確実にワーク収納部４１内に移載することができる。

【0057】

またワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれを、ノズル昇降機３０により吸着ノズル２５を降下させる間に補正することができる。このことにより、ワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれを補正した後に、ノズル昇降機３０により吸着ノズル２５を降下させる場合に比べて処理速度を向上させることができる。

【0058】

さらにまた本実施の形態によれば、ワーク収納部４１の位置と、ワークＷの位置を別個独立して検出する場合に比べて、ワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれを直接的かつ正確に検出することができる。

【0059】

さらにまた、本実施の形態によれば、ワーク収納部４１の位置と、ワークＷの位置を別個独立して検出し、かつワーク収納部４１の位置とワークの位置を検出した後に、移載テーブルを移動する場合に比べて、ワーク収納部４１とワークＷとの間の位置ずれを精度良くかつ迅速に補正することができる。

【0060】

また本実施の形態によれば、一対のカメラ３２ａ，３２ｂは鉛直線Ｌ０に対して傾斜角θだけ傾斜する撮影ラインＬ１，Ｌ２をもって配置されているため、ワークＷの撮影エッジ２ａ，２ｂとワーク収納部４１の撮影エッジ３ａ，３ｂを各カメラ３２ａ，３２ｂの被写界深度内に収めることができ、ワークＷとワーク収納部４１を精度良く検出することができる。

【符号の説明】

【0061】

１ 回転テーブル
１Ａ 移載位置
２ａ，２ｂ 撮影エッジ
３ａ，３ｂ 撮影エッジ
１０ ワーク搬送装置
１１ ワークフィーダ
２０ 吸着ノズル装置
２１ ノズル装置本体
２２ 保持アーム
２３ 押圧部
２５ 吸着ノズル
３０ ノズル昇降機
３１ 架台フレーム
３２ 撮影装置
３２ａ，３２ｂ カメラ
３５ 制御部
４０ 移載テーブル
４１ ワーク収納部
４１ａ１，４１ａ２ 辺
４１ｂ１，４１ｂ２ 角部
４２ Ｘ－Ｙ駆動機構
Ｗ ワーク
Ｗａ１，Ｗａ２ 辺
Ｗｂ１，Ｗｂ２ 角部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】