特開2022-63653酸化ガリウム結晶の製造装置

発明の名称　酸化ガリウム結晶の製造装置

出願人　不二越機械工業株式会社　（識別番号 236687）

　　　　特許公開件数ランキング 6928 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4065 位（4件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人信州大学　（識別番号 504180239）

　　　　特許公開件数ランキング 635 位（63件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 566 位（60件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-63653

公報発行日　2022年4月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-63653

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