特開 2022-66164 多腔型プローブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022066164

(43)【公開日】2022-04-28

(54)【発明の名称】多腔型プローブ

(51)【国際特許分類】

   A61B 18/00 20060101AFI20220421BHJP

   A61N 1/44 20060101ALI20220421BHJP

【ＦＩ】

A61B18/00

A61N1/44

【審査請求】未請求

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2021167012

(22)【出願日】2021-10-11

(31)【優先権主張番号】20202362

(32)【優先日】2020-10-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(71)【出願人】

【識別番号】592245823

【氏名又は名称】エルベ エレクトロメディジン ゲーエムベーハー

【氏名又は名称原語表記】Ｅｒｂｅ Ｅｌｅｋｔｒｏｍｅｄｉｚｉｎ ＧｍｂＨ

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】ハイム・ヨハネス

(72)【発明者】

【氏名】ヴァルツ・マルティン

【テーマコード（参考）】

4C053

4C160

【Ｆターム（参考）】

4C053BB12

4C053MM02

4C053MM05

4C160KK04

4C160KK06

4C160KK36

(57)【要約】      （修正有）

【課題】高い絶縁耐力を有し可撓性でスリムなプローブを備えた、生体組織のアルゴンプラズマ凝固のための単極器具を提供する。
【解決手段】器具１０は、プローブホース１４を備え、その中央には、電極に給電するための導体が設けられている。導体の周りに同心円状に、分離壁によって互いに隔離された複数のガス案内管腔が、配置されている。分離壁は、中央に配置され、導体を収容する、中央セクションを支持する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

特に生体組織のアルゴンプラズマ凝固のための特に単極器具である器具（１０）であって、
ガス供給装置（１２）に接続可能な少なくとも２つの管腔（２２、２３）を備えるプローブホース（１４）を有し、
前記プローブホース（１４）内に支持され、作用端（２９）を備える電極（３０）を有し、
各管腔（２２、２３）はガス出口開口部（２５、２６）をそれぞれ含み、複数のガス出口開口部（２５、２６）は前記電極（３０）の前記作用端（２９）の近くに配置される、器具。

【請求項2】

前記ガス出口開口部（２５、２６）は、前記電極（３０）の周りに同心円状に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の器具。

【請求項3】

前記管腔（２５、２６）の間に、内側の中央セクション（２１）および外側のジャケット（１７）に隣接する分離壁（１８、１９）が配置され、前記電極（３０）は、前記中央セクション（２１）内に絶縁されて配置され、前記中央セクション（２１）は、前記ジャケット（１７）より大きい径方向厚さを有することを特徴とする、請求項１または２に記載の器具。

【請求項4】

前記分離壁（１８、１９）は径方向に対して傾斜して配置されることを特徴とする、請求項３に記載の器具。

【請求項5】

前記分離壁は湾曲して構成されることを特徴とする、請求項３または４に記載の器具。

【請求項6】

前記プローブホース（１４）は外側に円形断面を有することを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載の器具。

【請求項7】

単一の電極（３０）のみが前記プローブホース（１４）内に配置され、前記電極（３０）は前記プローブホース（１４）内の中央に配置されることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の器具。

【請求項8】

前記電極は、前記プローブホース（１４）の中央セクション（２１）に電気的に絶縁されて埋め込まれることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の器具。

【請求項9】

前記プローブホース（１４）は、前記ガス出口開口部（２５、２６）を越えて遠位方向に延在するジャケットセクション（１７、３５）を備えることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載の器具。

【請求項10】

前記ジャケットセクション（３５）は前記プローブホース（１４）とは異なる材料からなることを特徴とする、請求項９に記載の器具。

【請求項11】

前記電極（３０）は、前記プローブホース（１４）の内側に配置された遠位端を備えることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載の器具。

【請求項12】

前記電極（３０）は、前記プローブホース（１４）の外側に配置され、絶縁体（３６）が設けられた、遠位端を備えることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載の器具。

【請求項13】

前記電極（３０）は、前記プローブホース（１４）内にその全長に沿って埋め込まれたワイヤから離れたワイヤの裸端セクションによって形成されることを特徴とする、請求項１から１２のいずれか一項に記載の器具。

【請求項14】

前記裸端セクションは導電性電極延在部（３４）を支持することを特徴とする、請求項１３に記載の器具。

【請求項15】

前記電極（３０）には少なくとも部分的に導電性コーティングが設けられることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか一項に記載の器具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、生体組織の治療、特に内視鏡用途における生体組織のアルゴンプラズマ凝固のための器具に関する。

【背景技術】

【0002】

アルゴンプラズマ凝固のための内視鏡使用が可能な器具が、基本的に知られている。特許文献１は、可撓性ホースと、その中に設けられ、光のアークをその間で点火することができる２つの電極とを有するそのような器具を開示している。ホース様器具は１つまたは２つの管腔を備え、２つの管腔を有する変形例では、外側プローブホースと、２つの管腔が形成された２つの内側ホースとが設けられる。各管腔は、２つの電極のうちの１つに割り当てられる。それぞれの電極は導体に接続され、導体は、その電極に割り当てられた管腔を通って器具の全長にわたってそれ自体は絶縁されることなく延びる。電極は、それぞれの管腔のガス出口開口部に中央に保持される。これにより、外側プローブホースは楕円形の断面を含む。

【0003】

プローブホース内に別のホースが同心円状に配置され、その中に電極が保持されている多腔型器具が、特許文献２から知られている。内側ホース内での支持のために、電極は、内側ホースの内壁で支持される螺旋巻きセクションを備える。内側ホースを外側ホースの中央に固定するために、径方向に配向されたスペーサが設けられる。

【0004】

また、双極器具が特許文献３から知られている。この器具は、管腔を有するプローブホースと、プローブホース内に埋め込まれた２つの電極とを備える。一方の電極にはセラミックスリーブ上に着座した金属リングが設けられているが、他方の電極は、セラミックスリーブの中央通路の中央に配置されている。セラミックスリーブは、電気絶縁体を形成し、それにより、電気バリア放電、ひいては非熱プラズマがその内部に生じる。

【0005】

開腹外科手術用途に提供される手動器具が、特許文献４から知られており、この器具は、その遠位端にある出口チャネルと、その中に配置された電極とを備える。この手動器具にガスを供給するために設けられたラインは、複数の管腔を含む。

【0006】

さらなる先行技術は、特許文献５、特許文献６および特許文献７によって形成されている。

【0007】

熱プラズマを生成するためのプローブは、そのようなプローブの設計を制限する顕著な熱応力を受ける。さらに、プラズマ生成には高い電圧が必要であり、この高い電圧により、必要な絶縁耐力を達成するためにプローブホース壁厚を大きくする必要がある。これは、プローブの幾何学的設計において考慮されなければならず、一般的な設計に起因して、典型的には問題になるような剛性が生じる結果となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0008】

【特許文献1】国際公開第２００８／０９０００４号

【特許文献2】国際公開第２００６／１１９８９２号

【特許文献3】欧州特許第３２０５３０１号明細書

【特許文献4】欧州特許出願公開第０３５３１７７号明細書

【特許文献5】欧州特許出願公開第０７３８５１９号明細書

【特許文献6】特開２００２－３０１０８８号公報

【特許文献7】欧州特許出願公開第３４１２２３４号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

したがって、本発明の目的は、拡張された設計可能性を達成する器具のための基本概念を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

この目的は、請求項１に記載の器具によって解決される。

【0011】

本発明による器具は、プラズマ凝固、特に生体組織のアルゴンプラズマ凝固に適した単極器具として特に構成することができる。器具は特に可撓性プローブである。プローブの遠位端で形成されるか、またはプローブの遠位端から流出するプラズマ内で、器具の（好適には単一の）電極と、生体組織との間に電流が流れる。

【0012】

器具（プローブ）は、ガス供給装置に接続することができる少なくとも２つ、好適には３つ以上の管腔を含むプローブホースを備える。これらの管腔は、好適には、近位端から遠位端に位置するガス出口開口部までプローブホース全体を通って延びる。好適には、管腔のいずれにも、非導電要素または導電体もしくは電極は配置されない。

【0013】

プローブホースの遠位端には、電極が、好適には中央に配置され、その作用端はこの領域で電気絶縁されずに露出している。電極の作用端は、ガス出口開口部を出るガス流と接触しており、このガス流をイオン化している電極のセクションである。これにより、電極の作用端は、最大数１００°Ｃまでの顕著な温度に達することができる。ガス出口開口部は、電極の周りにグループ化されている。

【0014】

プローブホースは、典型的には、その多腔型構成のために、外側中空円筒部と、その中に同心円状に配置された好適にはほぼ円筒形のハブまたは中央セクションと、好適にはスポークのようにその間に配置された平坦な分離壁とを備える。好適には、各分離壁は、中央セクションから外側セクションまで実質的に一定の厚さを含む。好適には、厚さは、約２０％未満で変化する。中央セクション、分離壁、および外側中空円筒部は、同じ材料からなり、互いに継ぎ目なく移行する１つの同じプラスチックホースの一部であることが好適である。高い電気絶縁性および高い可撓性が、得られる。このようなホースは、小さな半径で延びることを可能にする。

【0015】

電気絶縁は、最初に主に中央セクションによって外側に設けられた径方向の導体から生じる。中央セクションの半径は、ホースの外壁セクション以上の大きさであることが好適である。

【0016】

中央セクションの直径を最大にすることは、中央セクションがプローブの曲げ剛性にほとんど寄与しないので、プローブホースの可撓性にほとんど影響を与えない。対照的に、外側中空円筒ジャケットは、比較的薄肉に構成することができる。そうすることで、中央セクションによってもたらされる高い絶縁能力にもかかわらず、大きな自由流動断面を含む流体チャネルを形成することができる。

【0017】

プローブホースは、例えばフッ素樹脂、特にＰＴＦＥおよびＦＥＰなどのアルゴンプラズマプローブに他の方法で使用される材料よりも低い絶縁耐力を有するおよび／またはより高い弾性率を含むプラスチックで作ることができる。

【0018】

等電位面を形成するために、外側の中央セクションおよび／またはその内側のジャケットセクションにメタライゼーションまたは金属インレイを設けることが可能である。これによっても、プローブホースの絶縁耐力をより高めることができる。

【0019】

しかし、電気絶縁が主に中央セクションによってもたらされるように、中央セクションの径方向厚さをジャケットセクションの径方向厚さよりも大きく寸法設定することが好適である。

【0020】

ガス出口開口部は、好適には、電極の周りに同心円状に配置される。プローブホースの管腔間に設けられた分離壁は、径方向に対して傾斜することができる。その際に、すべての分離壁が同じ方向に傾斜していないことが好適である。管腔は、円弧状の縁部（２つの凸部および１つの凹部）を有する実質的に三角形の断面を有することができる。鋭い縁部の代わりに、曲線を設けることもできる。上記で述べた対策のそれぞれは、ホースが等しい可撓性を有し、プローブホースを曲げることによる全径方向のガス案内管腔の閉鎖に等しく影響を受けないことに個々に寄与する。また、径方向に対して傾斜した分離壁は、プローブホースの可撓性に寄与し、結果として、ガスが電極の周りを均一に流れるようにする。

【0021】

断面において、断面平面に直交する軸の周りの曲率として明らかである分離壁の曲率により、プローブホースの可撓性が支持され、電気絶縁強度は、プローブホースの曲げ位置においても特に保証される。分離壁は、プローブホースの屈曲中、中央セクションとジャケットセクションとの間に置かれ、破過電界強度を増加させる。これは、電気絶縁耐力によるものである。

【0022】

それとは別に追加的に絶縁されない導体を、プローブホースの中央セクションに埋め込むことができ、それによって電気的に絶縁される。しかし、非絶縁導体の代わりに、この電気導体が異なる材料からなる多層絶縁体によって囲まれるように、絶縁導体を中央セクションに埋め込むこともできる。また、これは、プローブ設計の小型化のために電気絶縁の改善に使用することができ、またはその逆の形で使用可能である。導体は、金属または導電性プラスチックのワイヤまたは編組とすることができる。絶縁体の多層構成は、プローブホースに使用可能な材料の多様性を高めることができる概念である。例えば、中央セクションは、その電気絶縁能力に関して最適化された材料からなることができ、一方、ジャケットセクションは（および／または分離壁も）、その可撓性に関して最適化された材料からなる。

【0023】

プローブホースは、好適には、近位端からガス出口開口部までの一定の断面を含む。ガス案内管腔は、直線状に、中心軸に平行に配置することができ、または螺旋状の延在を有することもできる。

【0024】

ジャケットセクションは、器具の遠位端にプラズマチャンバが形成されるように、ガス出口開口部を越えて遠位方向に延在してもよく、プラズマチャンバの内側に、電極の遠位端が配置される。ジャケットセクションは、プローブホースの材料からなることができる。しかし、プラズマチャンバを取り囲む端分を異なる材料、例えばセラミックにすることも可能である。

【0025】

さらに、電極は、プローブホースから突出し、その自由遠位端に保護体を備えることが可能である。保護体は、好適には、電気絶縁体、例えばセラミック体、例えばセラミックボールまたは任意の他の本体である。好適には、この保護体は、電極直径よりも著しく大きく、例えば、プローブホースの外径とほぼ一致する直径を含む。保護体は、好適には、その遠位端面が丸みを帯びており、先端または鋭い縁部がない。この概念は、任意の径方向にプラズマ流を出力することができるラジアルプローブに特に適している。例えば傾斜して配向されたセラミックディスクなどの形態である保護体の非対称構成の場合、好適なプラズマ出力のために径方向も規定することができる。

【0026】

電極は、その端部セクションにおいてワイヤ裸端として構成することができる。例えば、ワイヤは、熱伝導率が低く、したがってプローブホースの中央セクションに低い熱を導入するクロムニッケル鋼から構成することができ、この場合、ワイヤは、プローブホースのプラスチックと直接接触する。全長に沿って、または少なくとも遠位端のセクション、例えば作用端分において、プローブホースを通って延びるワイヤとして構成された電極にコーティングを設けることも可能である。コーティングは、好適には導電性材料のものである。好適には、材料は金属であり、その溶融温度は、電極の溶融温度よりも低い。例えば、コーティングは、銀または銀合金で作ることができる。さらに好適には、電極の基材（例えば、クロムニッケル鋼）と低融点コーティングとの間に、例えば金層の形態の接着剤層などのさらなる層を設けることができる。そのような電極は安定しており、プローブホース内での熱の伝達が少ない。コーティングおよびそれによって達成される低い熱応力により、電極をプローブホース内に直接取り付けることが可能になる。これまで使用されてきた螺旋基部を有するプレート電極またはニードル電極は、例えば、対流による冷却の増加、ならびにホースからの放電ゾーンの特定の距離をもたらした。本発明では、これらの両方を無くすことができるので、可撓性で小型化されたプローブの構成が可能となる。

【0027】

さらに、プローブホースを通って延びるワイヤの遠位端に電極延在部を設けることが可能である。これは、例えば、上記で述べたコーティングを備えることができる。

【0028】

本発明の有利な実施形態のさらなる詳細は、従属請求項、図面、および関連する説明から導かれる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】供給装置に接続された本発明の器具の概略斜視図である。

【図2】器具の遠位端の斜視図である。

【図3】図１および図２の器具の正面図である。

【図4】長手方向断面を詳細に示す図３による器具の図である。

【図5】長手方向断面を詳細に示す図４による器具の改変された実施形態の図である。

【図6】器具の遠位端を長手方向断面図で示した図４による器具の別の改変された実施形態の図である。

【図7】本発明の器具の別の実施形態の遠位端を部分断面側面図で示した図。

【図8】改変されたプローブホースを備えた器具の正面図である。

【図9】改変されたプローブホースを備えた器具の正面図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

図１は、供給装置１１に接続された多腔型プローブの形態の手術器具１０を示す。多腔型プローブは、患者の外科的治療に役立つことができ、したがって、内視鏡の作業チャネルを通して患者に導入することができる。装置１１は、動作に必要な媒体および電流を器具１０に供給する役割を果たす。したがって、例えば、装置１１は、ガス源１２と、発電機１３とを備えることができる。ガス源１２は、例えば、圧力容器内に供給されたガス原料、例えばアルゴン原料と、弁、圧力調整器などの各制御要素とによって形成されたアルゴン源とすることができる。発電機１３は、好適には、所望のピーク電圧、好適には調整可能な変調および／または調整可能な電力を有する無線周波数交流電圧を出力するための無線周波数発電機である。

【0031】

器具１０は、近位端１５から遠位端１６まで延びるプローブホース１４を備える。プローブホース１４は、可撓性ホースであり、好適にはプラスチック、例えばＰＴＦＥ、ＦＥＰ、またはＰＡ、ＴＰＥ、ＨＤＰＥまたはＰＰからなる。プローブホース１４は、図３から明らかなように、外側に好適には円形の断面を含む。あるいは、外側の断面は、多角形、例えば六角形または八角形とすることもできる。外側の断面は、円形のジャケット１７によって画定され、その内側から複数の分離壁１８、１９、２０が、好適には円筒形の外面を有する、プローブホースの中央に配置されたハブ様中央セクション２１まで延在する。好適には、均一な剛性、すなわちすべての径方向に等しい剛性が得られる奇数の分離壁が存在する。分離壁１８、１９、２０によって、少なくとも２つ、好適には３つ以上の管腔２２～２４が、プローブホース１４内で互いに分離され、近位端１５から遠位端１６に、または遠位端に設けられたガス出口開口部２５、２６、２７までそれぞれ延び、中央セクションの周りにグループ化される。押し出しの材料および精度に応じて、外面の断面および／または中央セクションの断面も多角形で画定することができる。

【0032】

図４から明らかなように、ガス出口開口部２５、２６（および２７）は、チャンバ様のくぼみがプローブホース１４の遠位端１６に形成されるように、プローブホース１４の端面に対して後方に近位方向に変位される。電極３０の作用端２９はこのくぼみ内に延び、ここでは、電極３０は、中央セクション２１の中央に保持される。チャンバ様のくぼみは、電極３０からの電流が、形成されるプラズマ上を遷移するプラズマチャンバである。

【0033】

軸方向プラズマ流を放出するための図４に示す器具１０では、電極３０の作用端２９は、器具１０の内側、したがってプラズマチャンバ内に完全に配置される。したがって、電極３０の作用端２９の先端は、プローブホース１４の端面２８に対して後方に近位方向に変位される。電極は、プローブホース１４の端面と一平面内に位置することもできる。

【0034】

電極３０から、電気導体は、好適には中央において、中央セクション２１を通って近位端１５まで延び、そこで発電機１３の極と接続される。発電機３０の他方の極は、電流を戻すために患者に取り付け可能な図示しない中性電極に接続可能であるか、または接続される。したがって、器具１０は、患者が治療電流回路の一部である単極器具である。

【0035】

電極３０は、近位方向に離れるように延びる電気供給ライン３１を有する単一部品で構成することができ、したがってその一部とすることができる。しかし、電極３０は、供給ライン３１に接続された別個の金属要素によって形成することもできる。好適には、電極３０は、例えばステンレス鋼、特にクロムニッケル鋼などの熱伝導率が低い材料からなり、例えば以下の組成を有する。

【0036】

【表1】

【0037】

少なくとも作用端２９または電極３０全体に、コーティングを設けることができる。コーティングはまた、導体３１の全長にわたって延在することもできる。コーティングは、好適には金属コーティングであり、その溶融温度は、それぞれ電極３０または作用端２９の溶融温度よりも低い。特に、コーティングは、銀層によって形成することができる。銀層と電極の材料または電極３０の作用端２９との間に、接着剤層を設けることができる。接着剤層は、好適には、電極３０またはその作用端２９の溶融温度よりも低い溶融温度を有する材料からなる。しかし、好適には、接着剤層の溶融温度は、少なくともコーティングの溶融温度と同じくらい高い。接着剤層は、例えば、金層とすることができる。

【0038】

動作中、電極３０および導体３１は、１００Ｖの倍数から１０００Ｖの倍数の量を有することができる高電圧を受ける。導体３１の電気絶縁のために、中央セクション２１は、好適には径方向に測定されるジャケット１７の厚さよりも大きい径方向の厚さを含む。中央セクション２１ならびにジャケット１７は、周囲の内視鏡および／または周囲の生体組織に対する導体３１の電気的絶縁に寄与する。中央セクション２１に有利な材料強度の示された分布により、プローブホース１４の高い可撓性が、得られる。加えて、管腔２２、２３、２４の流れ断面積は、可能な限り大きい。必要に応じて、例えば図３に破線円３２で示すように、中央セクション２１の径方向の厚さを著しく増加させることができる。これにより、管腔２２、２３、２４の流れ断面に実質的に影響を与えることなく、導体３１の電気絶縁が著しく改善される。

【0039】

可撓性をさらに高めるために、および／またはすべての径方向における曲げ性を均等にするために、ならびにプローブホース１４の曲げ中の管腔閉鎖を回避するために、分離壁１８、１９、２０は、図３から明らかなように、傾斜し、湾曲するようにも構成することができる。このようなプローブホース１４が小さい曲げ半径で曲げられる場合、分離壁１８、１９、２０は、曲げの片側で中央セクション２１に当接することができ、その一方で、他方の分離壁１９、２０は、直立することができる。それにより、ガス流が遠位方向に自由に流れることができるように、管腔の少なくとも１つ、たいていは２つまたは３つが、常に開いている。管腔の閉塞を伴ったプローブホース１４の曲げは、生じない。

【0040】

これまでに説明した器具１０には、動作中、ガス、例えばアルゴンが供給され、ガスは、互いに平行に管腔２２、２３、２４を通って流れ、ガス出口開口部２５～２７から出る。ガスは、ガス流をイオン化し、したがって器具１０から遠位に出るプラズマ流を生成する、電極３０またはその作用端２９の周りを流れ、このプラズマ流は周囲組織と衝突する。これは、上記で述べた中性電極によって発電機１３の対極と接続され、それにより、電極３０の作用端２９と組織との間に電流が流れるようになる。

【0041】

いくつかの対策、すなわち、
－ 出口開口部２５、２６、２７からの均一なガス流、
－ 少なくとも遠位端での、例えば銀による電極３０のコーティング、
－ プローブ断面の中央における電気絶縁の集中、
の組み合わせにより、
器具１０を大幅に小型化することができる。プローブホース１４の迅速な損傷をもたらす電極３０の作用端２９から生じる熱を有することなく、プローブホース１４の外径を１ｍｍ未満に縮小することが可能である。これは、ワイヤまたはロッド状電極３０、すなわち好適には直線状に構成されているが、プローブのプラスチックと周囲で二次元接触している場合にも当てはまる。電極３０の作用端２９の遠位端への放電の集中をもたらす、例えば銀コーティングという名のものなどの適切なコーティングが作用端２９に設けられている場合、プローブホースの迅速な熱損傷が、特に回避される。最終的に、非常に小型化することが可能で非常に柔軟なプローブが得られ、これまで到達できなかったアルゴンプラズマ凝固の応用分野を提供する。

【0042】

器具１０の特に遠位端１６に形成された構造は、導体３１上に押し出されたプローブホースが最初に切断され、続いてそこに設けられ図４から明らかであるプラズマチャンバ３３が遠位端１６に導入される製造方法で、製造することができる。分離壁１８、１９、２０のこの遠位セクション、および必要に応じて中央セクション２１の一部は、例えば機械的に除去される。電極３０は、プローブホース１４の端面２８を越えて突出しないように、わずかに短くすることもできる。しかし、患者への最初の使用中に切断された、または制御された条件下で製造者によって切断されたプローブホース１４を簡単に操作して、熱の発生の結果として電極３０の作用セクション２９が分離壁１８、１９、２０の一部ならびに中央セクション２１を溶融または焼失させるようにするという点で、プラズマチャンバ３３を作ることも可能である。このプロセスは、アルゴンの代わりに、別の適切なガス、例えばＣＯ_２などの反応性ガス、空気などが使用されるという点で支持され得る。

【0043】

これまでに説明したプローブでは、多数の変更が可能である。例えば、壁１８、１９、２０は、図示するように、中央セクション２１に接線方向に隣接することができる。しかし、壁は径方向にも隣接することができ、次いで傾斜した向きに移行することができる。また、壁１８、１９、２０は、ジャケット１７に接線方向に隣接することができる。しかし、壁は径方向にも隣接することができ、そこから離れて傾斜した向きにすることができる。

【0044】

すべての実施形態では、プローブホース１４の遠位端１６には、プローブホース１４の材料とは異なる材料で作られたスリーブ形状要素３５を設けることができる。このために、図６は、要素３５がセラミックスリーブによって形成されている例として、プローブホース１４を示す。プローブホースは、段付き継手またはさらに円錐状界面上の鈍角の継手によってプローブホース１４に接続することができる。接続は、接着、溶接、例えば超音波溶接によって、または他の形状嵌合および／または物質結合接続技術によって実施することができる。電極３０およびその作用端２９の構成および位置決めに関連して、上記の説明は、それにしたがって上記で説明した実施形態に適用される。

【0045】

しかし、上記で説明したすべての実施形態では、図７から明らかなように、電極３０の作用端２９は、プローブホース１４の端面２８を越えて突出することもできる。その場合、電極３０の端には、例えば絶縁体の形態、例えばセラミック要素の形態の保護体３６を設けることができる。保護体３６は、電極３０の作用端２９に対して回転対称に構成されることが好適である。例えば、保護体は、板状、ピラミッド状、ボール状、キノコ状等である。電極３０から見て、すべての径方向が自由であるように構成されることが好適である。したがって、プラズマ流を任意の径方向に３６０°で向けることができる。しかし、保護体３６を非対称に構成し、これを要素３５と組み合わせるか、または要素３５に接続することも可能である。このようにして、非対称動作プローブを設計することができる。

【0046】

図１～図７による実施形態の上記の説明は、導体３１がプローブホース１４の材料と直接接触していると仮定する。しかし、上記で説明したすべての実施形態では、導体３１およびその上に適用されたケーブル絶縁材３８からなる裸導体３１の代わりに、ケーブル３７を設けることも可能である。ケーブル絶縁材は、例えば、絶縁ワニスまたはプラスチックホースによって形成することができる。プローブホース１４の材料は、中央セクション２１の内側がケーブル絶縁材３８の材料およびケーブル絶縁材３８上に付加されたプローブホースの材料からなるように、ケーブル絶縁材３８上に付加される。この概念により、電圧ブレークスルーに対する安全性をさらに高めることができる。ケーブル絶縁材３８の材料は、最大絶縁耐力を考慮して最適化することができる。これにより、この材料の剛性の役割はわずかである。一方で、プローブホース１４の材料は、この場合、所望の可撓性に関して最適化することができる。

【0047】

ケーブル絶縁材３８とその上に付加されるプローブホース１４の材料との間の境界における絶縁耐力を改善するために、円筒形状の等電位面を画定するメタライゼーションを提供することが可能である。これにより、絶縁耐力を高めることができる。

【0048】

さらに、図９に示すように、分離壁１８、１９、２０を径方向に配向し、それによってこれらの壁を直線状または湾曲状にも構成することが可能である。

【0049】

本発明による器具１０は、電極３０の給電のためにその中央に導体３１が設けられたプローブホース１４を備える。導体３１の周りに同心円周状に、分離壁１８、１９、２０によって互いに隔離された複数のガス案内管腔２２、２３、２４が、配置される。分離壁１８、１９、２０は、中央に配置され、導体３１を収容する中央セクション２１を支持し、中央セクション２１は、導体３１の電気的絶縁に決定的に役立つ。このプローブ設計により、特に高い絶縁耐力を有する、特に可撓性で特にスリムなプローブを作製することができる。

【符号の説明】

【0050】

１０ 器具
１１ 装置
１２ ガス源
１３ 発電機
１４ プローブホース
１５ プローブホース１４の近位端
１６ プローブホース１４の遠位端
１７ ジャケット
１８～２０ 分離壁
２１ 中央セクション
２２～２４ 管腔
２５～２７ ガス出口開口部
２８ プローブホース１４の端面
２９ 電極３０の作用端
３０ 電極
３１ 供給ライン
３２ 線３１の改善された電気絶縁を説明するための円
３３ プラズマチャンバ
３４ スリーブ
３５ 要素
３６ 絶縁本体
３７ ケーブル
３８ ケーブル絶縁材
３９ 面２８の径方向内側始端
４０ 端面２８と外面との間の移行部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【外国語明細書】

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】