(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022067273
(43)【公開日】2022-05-06
(54)【発明の名称】ワーク洗浄装置
(51)【国際特許分類】
B08B 3/02 20060101AFI20220425BHJP
B08B 5/02 20060101ALI20220425BHJP
【ＦＩ】
B08B3/02 D
B08B5/02 Z
B08B3/02 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020175897
(22)【出願日】2020-10-20
(71)【出願人】
【識別番号】596101679
【氏名又は名称】株式会社管製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110001807
【氏名又は名称】特許業務法人磯野国際特許商標事務所
(72)【発明者】
【氏名】朝倉 賢治
【テーマコード（参考）】
3B116
3B201
【Ｆターム（参考）】
3B116AA46
3B116AB01
3B116AB33
3B116BB23
3B116BB34
3B116BB62
3B116BB82
3B116CD22
3B201AA46
3B201AB01
3B201AB33
3B201BB23
3B201BB34
3B201BB62
3B201BB82
3B201BB92
3B201BB98
3B201CB12
3B201CD22
(57)【要約】
【課題】本発明の課題は、比較的安価でありながら、ワークの多品種化にも対応することができ、種々のワークに対する洗浄性能に優れるワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク洗浄装置１００は、三次元直交座標系のＸＹＺ３軸方向のそれぞれに電動シリンダ１１を有するノズル６の三次元駆動機構１と、前記三次元駆動機構１の駆動部（スライダ１２ｃ）に取り付けられる前記ノズル６と、を備え、前記ノズル６は、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第１ノズル６ａと、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第２ノズル６ｂと、を有していることを特徴とする。
【選択図】図２
【解決手段】本発明のワーク洗浄装置１００は、三次元直交座標系のＸＹＺ３軸方向のそれぞれに電動シリンダ１１を有するノズル６の三次元駆動機構１と、前記三次元駆動機構１の駆動部（スライダ１２ｃ）に取り付けられる前記ノズル６と、を備え、前記ノズル６は、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第１ノズル６ａと、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第２ノズル６ｂと、を有していることを特徴とする。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
三次元直交座標系のＸＹＺ３軸方向のそれぞれに電動シリンダを有するノズルの三次元駆動機構と、
前記三次元駆動機構の駆動部に取り付けられる前記ノズルと、
を備え、
前記ノズルは、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第１ノズルと、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第２ノズルと、
を有していることを特徴とするワーク洗浄装置。
前記三次元駆動機構の駆動部に取り付けられる前記ノズルと、
を備え、
前記ノズルは、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第１ノズルと、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第２ノズルと、
を有していることを特徴とするワーク洗浄装置。
【請求項2】
請求項１に記載のワーク洗浄装置において、
前記ワークが配置されるワーク洗浄領域と、
前記ワーク洗浄領域の上方に区画されて前記三次元駆動機構が配置される駆動機構配置領域と、を備え、
前記ワーク洗浄領域と、前記駆動機構配置領域との間は、前記ノズルの水平移動動作に同期して水平方向に移動するスライドカバーにて仕切られていることを特徴とするワーク洗浄装置。
前記ワークが配置されるワーク洗浄領域と、
前記ワーク洗浄領域の上方に区画されて前記三次元駆動機構が配置される駆動機構配置領域と、を備え、
前記ワーク洗浄領域と、前記駆動機構配置領域との間は、前記ノズルの水平移動動作に同期して水平方向に移動するスライドカバーにて仕切られていることを特徴とするワーク洗浄装置。
【請求項3】
請求項１に記載のワーク洗浄装置において、
前記ワークを支持するテーブルをさらに備え、
前記テーブルは、前記第１の軸回りの連続旋回と、前記第１の軸回りの所定位相での旋回のうちの、少なくともいずれかの旋回が可能となっていることを特徴とするワーク洗浄装置。
前記ワークを支持するテーブルをさらに備え、
前記テーブルは、前記第１の軸回りの連続旋回と、前記第１の軸回りの所定位相での旋回のうちの、少なくともいずれかの旋回が可能となっていることを特徴とするワーク洗浄装置。
【請求項4】
請求項１に記載のワーク洗浄装置において、
前記ノズルから噴射する洗浄液を循環して再利用する循環機構をさらに備えることを特徴とするワーク洗浄装置。
前記ノズルから噴射する洗浄液を循環して再利用する循環機構をさらに備えることを特徴とするワーク洗浄装置。
【請求項5】
請求項４に記載のワーク洗浄装置において、
前記循環機構は、洗浄液のフィルタを備えていることを特徴とするワーク洗浄装置。
前記循環機構は、洗浄液のフィルタを備えていることを特徴とするワーク洗浄装置。
【請求項6】
請求項４に記載のワーク洗浄装置において、
前記循環機構は、洗浄液のヒータを備えていることを特徴とするワーク洗浄装置。
前記循環機構は、洗浄液のヒータを備えていることを特徴とするワーク洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ワーク洗浄装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、切削加工によってワークに付着した切屑等の異物を除去するワーク洗浄装置として、ワークを回転させながら所定のノズルから洗浄液をワークに噴射するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなワーク洗浄装置においては、固定ノズルからワークに向けて洗浄液を噴射するものが多く、洗浄するワークが多品種にわたると、ワークによっては切屑等が取り切れない課題がある。
【0003】
また、複数のエアシリンダにより駆動する多関節型ロボットにノズルを取り付けて、ノズルの位置及びその噴射方向を三次元的に制御可能とした数値制御洗浄装置も知られている（例えば、特許文献２参照）。
このような数値制御洗浄装置によれば、ワークの多品種化にも対応することができ、種々のワークに対して洗浄性能に優れる。
このような数値制御洗浄装置によれば、ワークの多品種化にも対応することができ、種々のワークに対して洗浄性能に優れる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平０９－２０７０４６号公報
【特許文献2】特開平２００３－０１９４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、数値制御洗浄装置（例えば、特許文献２参照）は、非常に高価になるという問題がある。
そこで、本発明の課題は、比較的安価でありながら、ワークの多品種化にも対応することができ、種々のワークに対する洗浄性能に優れるワーク洗浄装置を提供することにある。
そこで、本発明の課題は、比較的安価でありながら、ワークの多品種化にも対応することができ、種々のワークに対する洗浄性能に優れるワーク洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記課題を解決した本発明のワーク洗浄装置は、三次元直交座標系のＸＹＺ３軸方向のそれぞれに電動シリンダを有するノズルの三次元駆動機構と、前記三次元駆動機構の駆動部に取り付けられる前記ノズルと、を備え、前記ノズルは、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第１ノズルと、ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向に、ワークに対する噴射方向が規定される第２ノズルと、を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【0007】
本発明のワーク洗浄装置は、比較的安価でありながら、ワークの多品種化にも対応することができ、種々のワークに対する洗浄性能に優れる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の実施形態に係るワーク洗浄装置の構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
次に、本発明を実施するための形態（本実施形態）のワーク洗浄装置について適宜図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は、本実施形態のワーク洗浄装置１００の構成説明図である。
図１は、本実施形態のワーク洗浄装置１００の構成説明図である。
【0010】
図１に示すように、ワーク洗浄装置１００は、筐体５内に、ノズル６の三次元駆動機構１と、ノズル６から噴射した洗浄液を再利用する洗浄液循環機構３と、ワークＷを支持して回転させるインデックステーブル機構４と、ミストコレクタ７と、エアブロー機構８と、を備えて構成されている。また、ワーク洗浄装置１００は、筐体５内でワークＷが配置されるワーク洗浄領域Ａ２と、筐体５内で三次元駆動機構１が配置される駆動機構配置領域Ａ１とを仕切るスライドカバー機構２を備えている。
【0011】
＜筐体＞
図１に示すように、筐体５は、ワーク洗浄装置１００の略外形を形成する直方体の箱にて形成されている。
筐体５の内側には、主に、駆動機構配置領域Ａ１を形成する第１室Ｃ１と、ワーク洗浄領域Ａ２を形成する第２室Ｃ２と、ミストコレクタ７などが配置される第３室Ｃ３と、洗浄ポンプＰなどが配置される第４室Ｃ４と、洗浄液貯留槽Ｔなどが設けられる第５室Ｃ５と、が仕切壁にて区画されている。
図１に示すように、筐体５は、ワーク洗浄装置１００の略外形を形成する直方体の箱にて形成されている。
筐体５の内側には、主に、駆動機構配置領域Ａ１を形成する第１室Ｃ１と、ワーク洗浄領域Ａ２を形成する第２室Ｃ２と、ミストコレクタ７などが配置される第３室Ｃ３と、洗浄ポンプＰなどが配置される第４室Ｃ４と、洗浄液貯留槽Ｔなどが設けられる第５室Ｃ５と、が仕切壁にて区画されている。
【0012】
＜三次元駆動機構＞
次に、三次元駆動機構１（図１参照）について説明する。
図２は、図１のII部の部分拡大図であり、三次元駆動機構１の構成説明図である。図３は、図２の矢示III方向から見たノズルの三次元駆動機構１の平面図である。図４は、図３の矢示IV方向から見たノズルの三次元駆動機構１の正面図である。
次に、三次元駆動機構１（図１参照）について説明する。
図２は、図１のII部の部分拡大図であり、三次元駆動機構１の構成説明図である。図３は、図２の矢示III方向から見たノズルの三次元駆動機構１の平面図である。図４は、図３の矢示IV方向から見たノズルの三次元駆動機構１の正面図である。
【0013】
なお、本実施形態では、図２から図４に示すように、三次元直交座標系のＸＹＺ３軸方向のうち、Ｘ軸方向をワーク洗浄装置１００の左右方向に対応付け、Ｙ軸方向をワーク洗浄装置１００の上下方向に対応付け、Ｚ軸方向をワーク洗浄装置１００の前後方向に対応付けてワーク洗浄装置１００を説明している。しかしながら、ワーク洗浄装置１００におけるＸＹＺ３軸方向のそれぞれは、前記対応付けに限定されるものではなく、これらの前後左右上下の方向のいずれかに適宜に当て嵌めることができることは言うまでもない。
【0014】
図２に示すように、本実施形態での三次元駆動機構１は、三次元直交座標系のＸＹＺ３軸方向のそれぞれに電動シリンダ１１と、この電動シリンダ１１の動作を個別に制御するコントローラ（図示を省略）とを備えている。ちなみに、本実施形態でのコントローラは、電動シリンダ１１ごとに設けられるものを想定している。
この電動シリンダ１１は、いわゆる直動式シリンダである。この電動シリンダ１１の一例を挙げると、図示は省略するが、一方向に長い角筒状のケーシングと、ケーシングの長手方向の一端側に設けられて、正逆両方向に回転可能なサーボモータと、ケーシング内で長手方向に延びてサーボモータによって軸回りに回転するボールねじと、ケーシングの長手方向に沿う一側面に設けられて、ボールねじの回転によって軸方向に往復移動可能なスライダと、を有して構成されている。このような電動シリンダ１１は、市販品を使用することができる。また、コントローラ（図示を省略）についても電動シリンダ１１とともに市販されているものをそのまま使用することができる。
この電動シリンダ１１は、いわゆる直動式シリンダである。この電動シリンダ１１の一例を挙げると、図示は省略するが、一方向に長い角筒状のケーシングと、ケーシングの長手方向の一端側に設けられて、正逆両方向に回転可能なサーボモータと、ケーシング内で長手方向に延びてサーボモータによって軸回りに回転するボールねじと、ケーシングの長手方向に沿う一側面に設けられて、ボールねじの回転によって軸方向に往復移動可能なスライダと、を有して構成されている。このような電動シリンダ１１は、市販品を使用することができる。また、コントローラ（図示を省略）についても電動シリンダ１１とともに市販されているものをそのまま使用することができる。
【0015】
そして、本実施形態での三次元駆動機構１は、図２に示すように、第１電動シリンダ１１ａと、第２電動シリンダ１１ｂと、第３電動シリンダ１１ｃと、を有している。
第１電動シリンダ１１ａは、図２に示すように、筐体５に縁部を支持される中間プレート２１上に固定されている。
なお、この中間プレート２１は、後記のスライドカバー２３にて塞がれる中央開口２２ａを有するベースプレート２２上に配置されている。そして、中間プレート２１には、ベースプレート２２の中央開口２２ａに対応する位置に中央開口２１ａが形成されている。
第１電動シリンダ１１ａは、図２に示すように、筐体５に縁部を支持される中間プレート２１上に固定されている。
なお、この中間プレート２１は、後記のスライドカバー２３にて塞がれる中央開口２２ａを有するベースプレート２２上に配置されている。そして、中間プレート２１には、ベースプレート２２の中央開口２２ａに対応する位置に中央開口２１ａが形成されている。
【0016】
このような第１電動シリンダ１１ａは、図３に示すように、中間プレート２１の右辺寄りで、前後方向に延在するように中間プレート２１上に固定されている。
そして、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａは、Ｚ軸方向（前後方向）に往復移動可能となっている。
そして、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａは、Ｚ軸方向（前後方向）に往復移動可能となっている。
【0017】
このようなスライダ１２ａの上面には、図３に示すように、左右方向に延びる連結プレート１４の右端部が固定されている。
連結プレート１４の左端部は、案内レール１５に対して摺動自在に支持されている。ちなみに、この案内レール１５は、図３に示すように、中間プレート２１の左端寄りで前後方向に延びるように中間プレート２１上に固定されている。
つまり、連結プレート１４は、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａがＺ軸方向（前後方向）に往復移動する際に、案内レール１５に案内されながらスライダ１２ａに同期して前後方向に往復移動するようになっている。
連結プレート１４の左端部は、案内レール１５に対して摺動自在に支持されている。ちなみに、この案内レール１５は、図３に示すように、中間プレート２１の左端寄りで前後方向に延びるように中間プレート２１上に固定されている。
つまり、連結プレート１４は、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａがＺ軸方向（前後方向）に往復移動する際に、案内レール１５に案内されながらスライダ１２ａに同期して前後方向に往復移動するようになっている。
【0018】
第２電動シリンダ１１ｂは、図４に示すように、連結プレート１４の上面に固定されている。
具体的には、第２電動シリンダ１１ｂは、図３に示すように、連結プレート１４上で、左右方向に延びるように配置されている。
つまり、第２電動シリンダ１１ｂは、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａに同期して前後方向に往復移動するとともに、第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂは、Ｘ軸方向（左右方向）に往復移動可能となっている。
具体的には、第２電動シリンダ１１ｂは、図３に示すように、連結プレート１４上で、左右方向に延びるように配置されている。
つまり、第２電動シリンダ１１ｂは、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａに同期して前後方向に往復移動するとともに、第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂは、Ｘ軸方向（左右方向）に往復移動可能となっている。
【0019】
このようなスライダ１２ｂの上面には、図３に示すように、連結部材１６が固定されている。
連結部材１６は、図２に示すように、スライダ１２ｂの上面に固定される底板１６ａと、この底板１６ａと一体になってＬ字を形成するように、底板１６ａの前縁から上方に向けて立ち上がる前板１６ｂと、平面形状が略直角三角形を呈し、底板１６ａと前板１６ｂとが形成するＬ字の角部を塞ぐように底板１６ａと前板１６ｂとに一体となったコーナ側板１６ｃと、からなる立体構造を有している。なお、連結部材１６のコーナ側板１６ｃは、図４に示すように、底板１６ａを挟んで右側（図４の紙面の手前側）にのみ形成され、左側（図４の紙面の奥側）には形成されていない。
連結部材１６は、図２に示すように、スライダ１２ｂの上面に固定される底板１６ａと、この底板１６ａと一体になってＬ字を形成するように、底板１６ａの前縁から上方に向けて立ち上がる前板１６ｂと、平面形状が略直角三角形を呈し、底板１６ａと前板１６ｂとが形成するＬ字の角部を塞ぐように底板１６ａと前板１６ｂとに一体となったコーナ側板１６ｃと、からなる立体構造を有している。なお、連結部材１６のコーナ側板１６ｃは、図４に示すように、底板１６ａを挟んで右側（図４の紙面の手前側）にのみ形成され、左側（図４の紙面の奥側）には形成されていない。
【0020】
また、連結部材１６の底板１６ａは、図３に示す平面視で、第２電動シリンダ１１ｂよりも後方に延び出した延出部１６ａ１を有している。
そして、連結部材１６は、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａと第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂとによって、ＸＺ面内で水平移動可能となっている。
そして、連結部材１６は、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａと第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂとによって、ＸＺ面内で水平移動可能となっている。
【0021】
このような連結部材１６には、図２に示すように、第３電動シリンダ１１ｃが上下方向に延びるように取り付けられている。
具体的には、第３電動シリンダ１１ｃは、第３電動シリンダ１１ｃのスライダ１２ｃが後方に向くように、連結部材１６の前板１６ｂの後面に固定されている。
これにより第３電動シリンダ１１ｃのスライダ１２ｃは、Ｙ軸方向（上下方向）に往復移動可能となっている。つまり、スライダ１２ｃは、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａ、及び第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂと共働することによって、ＸＹＺ３軸方向に移動可能となっている。
なお、スライダ１２ｃは、特許請求の範囲にいう「三次元駆動機構の駆動部」に相当する。
具体的には、第３電動シリンダ１１ｃは、第３電動シリンダ１１ｃのスライダ１２ｃが後方に向くように、連結部材１６の前板１６ｂの後面に固定されている。
これにより第３電動シリンダ１１ｃのスライダ１２ｃは、Ｙ軸方向（上下方向）に往復移動可能となっている。つまり、スライダ１２ｃは、第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａ、及び第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂと共働することによって、ＸＹＺ３軸方向に移動可能となっている。
なお、スライダ１２ｃは、特許請求の範囲にいう「三次元駆動機構の駆動部」に相当する。
【0022】
このようなスライダ１２ｃの後面には、図２に示すように、パイプ支持部材１３が取り付けられている。
パイプ支持部材１３は、第３電動シリンダ１１ｃの後方で上下方向に延びる第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂとを支持している。
具体的には、パイプ支持部材１３は、スライダ１２ｃの後方に第１パイプ１８ａ及び第２パイプ１８ｂの順番で２連にて並ぶこれらの上端部を一体に連結している。
パイプ支持部材１３は、第３電動シリンダ１１ｃの後方で上下方向に延びる第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂとを支持している。
具体的には、パイプ支持部材１３は、スライダ１２ｃの後方に第１パイプ１８ａ及び第２パイプ１８ｂの順番で２連にて並ぶこれらの上端部を一体に連結している。
【0023】
また、パイプ支持部材１３から下方に延びる第１パイプ１８ａは、図３に示すように、連結部材１６の底板１６ａ（延出部１６ａ１）に形成されるパイプ挿通孔１６ａ２に摺動可能に挿通される。そして、第１パイプ１８ａは、図２に示すように、底板１６ａ（延出部１６ａ１）側からさらに下方に延びている。
また、パイプ支持部材１３から下方に延びる第２パイプ１８ｂは、図２に示すように、連結部材１６の底板１６ａ（延出部１６ａ１）の後方を通過してさらに下方に延びている。
また、パイプ支持部材１３から下方に延びる第２パイプ１８ｂは、図２に示すように、連結部材１６の底板１６ａ（延出部１６ａ１）の後方を通過してさらに下方に延びている。
【0024】
そして、下方に延びた第１パイプ１８ａ及び第２パイプ１８ｂのそれぞれは、図２に示すように、後記のスライドカバー支持部材２３ａ（ブロック体２３ａ４）に形成されたパイプ挿通孔２３ａ２,２３ａ２のそれぞれに摺動可能に挿通された後、それぞれの下端部が次に説明するノズル６のアダプタ６ｃに連結される。
なお、第１パイプ１８ａは、次に説明するノズル６に洗浄液を供給する。また、第２パイプ１８ｂは、後記するエアブロー機構８（図１参照）を構成し、ノズル６に高圧空気を供給する。
なお、第１パイプ１８ａは、次に説明するノズル６に洗浄液を供給する。また、第２パイプ１８ｂは、後記するエアブロー機構８（図１参照）を構成し、ノズル６に高圧空気を供給する。
【0025】
＜ノズル＞
ノズル６は、図１に示すように、ワークＷに対する噴射方向がＹ軸方向（下向き）に規定される第１ノズル６ａと、ワークＷに対する噴射方向がＺ軸方向（横向き）に規定される第２ノズル６ｂと、を備えている。また、図示は省略するが、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれは、直噴式と扇状噴射式の２つのノズルからなり、本実施形態でのワーク洗浄装置１００は、合計４つのノズルを有することとなる。そして、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれに有する直噴式のノズルは、洗浄液を直線状に噴射するように構成されている。また、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれに有する扇状噴射式のノズルは、洗浄液を扇状に広げてシャワー噴射するように構成されている。
なお、ここでのＹ軸方向は、特許請求の範囲にいう「ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向」に相当する。また、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲にいう「ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向」に相当する。
ノズル６は、図１に示すように、ワークＷに対する噴射方向がＹ軸方向（下向き）に規定される第１ノズル６ａと、ワークＷに対する噴射方向がＺ軸方向（横向き）に規定される第２ノズル６ｂと、を備えている。また、図示は省略するが、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれは、直噴式と扇状噴射式の２つのノズルからなり、本実施形態でのワーク洗浄装置１００は、合計４つのノズルを有することとなる。そして、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれに有する直噴式のノズルは、洗浄液を直線状に噴射するように構成されている。また、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれに有する扇状噴射式のノズルは、洗浄液を扇状に広げてシャワー噴射するように構成されている。
なお、ここでのＹ軸方向は、特許請求の範囲にいう「ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる第１の軸の方向」に相当する。また、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲にいう「ＸＹＺ３軸のうちから選ばれる前記第１の軸の方向とは異なる第２の軸の方向」に相当する。
【0026】
このような第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれは、図２に示すように、内側に流路が形成されたＬ字型のノズルアダプタ６ｃに取り付けられて、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂの噴射方向のそれぞれが互いに９０度をなして交差するようになっている。そして、第１パイプ１８ａの下端部は、これら下端部に対応するようにアダプタ６ｃに形成された流路連通口に、チャッキバルブ６ｄを介して連結されている。
このような第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂは、第１電動シリンダ１１ａ（図２参照）及び第３電動シリンダ１１ｃ（図２参照）によって、図１に示すように、ワークＷの上方及び側方に近接する矩形範囲Ａ３にて駆動する。また、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂは、前記したように、第１電動シリンダ１１ａ（図２参照）及び第２電動シリンダ１１ｂ（図２参照）によって、ＸＺ水平面においても移動する。
このような第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂは、第１電動シリンダ１１ａ（図２参照）及び第３電動シリンダ１１ｃ（図２参照）によって、図１に示すように、ワークＷの上方及び側方に近接する矩形範囲Ａ３にて駆動する。また、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂは、前記したように、第１電動シリンダ１１ａ（図２参照）及び第２電動シリンダ１１ｂ（図２参照）によって、ＸＺ水平面においても移動する。
【0027】
＜洗浄液循環機構＞
次に、本実施形態での洗浄液循環機構３（図１参照）について説明する。
図１に示すように、洗浄液循環機構３は、ワークＷの洗浄液が貯留される洗浄液貯留槽Ｔと、洗浄液貯留槽Ｔから第１パイプ１８ａに向けて洗浄液を供給する洗浄液供給流路３ａと、ノズル６から噴射した洗浄液を洗浄液貯留槽Ｔに返送する洗浄液返送流路３ｂと、洗浄液供給流路３ａの延在途中に配置される洗浄ポンプＰと、洗浄液返送流路３ｂに設けられる第１フィルタＦ１及び第２フィルタＦ２と、を備えている。
次に、本実施形態での洗浄液循環機構３（図１参照）について説明する。
図１に示すように、洗浄液循環機構３は、ワークＷの洗浄液が貯留される洗浄液貯留槽Ｔと、洗浄液貯留槽Ｔから第１パイプ１８ａに向けて洗浄液を供給する洗浄液供給流路３ａと、ノズル６から噴射した洗浄液を洗浄液貯留槽Ｔに返送する洗浄液返送流路３ｂと、洗浄液供給流路３ａの延在途中に配置される洗浄ポンプＰと、洗浄液返送流路３ｂに設けられる第１フィルタＦ１及び第２フィルタＦ２と、を備えている。
【0028】
洗浄液貯留槽Ｔは、図１に示すように、筐体５内の下部に位置する第５室Ｃ５に配置されている。洗浄液貯留槽Ｔ内には、貯留される洗浄液を加温するヒータＨが配置されている。
洗浄ポンプＰは、図１に示すように、洗浄液貯留槽Ｔが配置された第５室Ｃ５の上方に形成される第４室Ｃ４に配置されている。洗浄ポンプＰは、ヒータＨにて加温された洗浄液を、洗浄液貯留槽Ｔから汲み上げるとともに、汲み上げた洗浄液を洗浄液供給流路３ａを介して所定圧で第１パイプ１８ａに供給する。これによりノズル６は、加温された洗浄液をワークＷに向けて噴射する。
洗浄ポンプＰは、図１に示すように、洗浄液貯留槽Ｔが配置された第５室Ｃ５の上方に形成される第４室Ｃ４に配置されている。洗浄ポンプＰは、ヒータＨにて加温された洗浄液を、洗浄液貯留槽Ｔから汲み上げるとともに、汲み上げた洗浄液を洗浄液供給流路３ａを介して所定圧で第１パイプ１８ａに供給する。これによりノズル６は、加温された洗浄液をワークＷに向けて噴射する。
【0029】
本実施形態での第１フィルタＦ１は、洗浄液返送流路３ｂの前段となる第２室Ｃ２の前寄り下隅に配置された網カゴからなるものを想定している。第１フィルタＦ１は、ワークＷの洗浄液を一次濾過することによって洗浄液に含まれる粗大な切屑を濾別する。
本実施形態での第２フィルタＦ２は、洗浄液返送流路３ｂの終端となる第５室Ｃ５、具体的には洗浄液貯留槽Ｔ内に配置されたバックフィルタからなるものを想定している。第２フィルタＦ２は、ワークＷの洗浄液を二次濾過することによって、洗浄液に含まれる微細な切屑を濾別する。
そして、第２フィルタＦ２にて二次濾過されたワークＷの洗浄液は、洗浄液貯留槽Ｔに貯留されるとともに、洗浄ポンプＰによって再びノズル６に供給されて循環使用されることとなる。
本実施形態での第２フィルタＦ２は、洗浄液返送流路３ｂの終端となる第５室Ｃ５、具体的には洗浄液貯留槽Ｔ内に配置されたバックフィルタからなるものを想定している。第２フィルタＦ２は、ワークＷの洗浄液を二次濾過することによって、洗浄液に含まれる微細な切屑を濾別する。
そして、第２フィルタＦ２にて二次濾過されたワークＷの洗浄液は、洗浄液貯留槽Ｔに貯留されるとともに、洗浄ポンプＰによって再びノズル６に供給されて循環使用されることとなる。
【0030】
＜インデックステーブル機構＞
次に、インデックステーブル機構４（図１参照）について説明する。
図１に示すように、インデックステーブル機構４は、三次元駆動機構１が配置された第１室Ｃ１の下方に形成される第２室Ｃ２に配置されている。
本実施形態でのインデックステーブル機構４は、ワークＷを載置するテーブル４ａと、テーブル４ａをギアなどからなる減速装置４ｃを介してＹ軸回りに回転させるギアモータ４ｂと、を主に備えて構成されている。
なお、ここでのＹ軸回りは、特許請求の範囲にいう「第１の軸回り」に相当する。また、本実施形態でのＹ軸は、ワーク洗浄装置１００に係る技術分野におけるＢ軸に対応する。
そして、本実施形態でのインデックステーブル機構４においては、テーブル４ａは、Ｙ軸回りに連続回転が可能となっているとともに、例えば９０度といった所定位相ごとの旋回が可能となっている。なお、テーブル４ａは、連続回転又は所定位相ごとの旋回のいずれか一方が実施される構成とすることもできる。
次に、インデックステーブル機構４（図１参照）について説明する。
図１に示すように、インデックステーブル機構４は、三次元駆動機構１が配置された第１室Ｃ１の下方に形成される第２室Ｃ２に配置されている。
本実施形態でのインデックステーブル機構４は、ワークＷを載置するテーブル４ａと、テーブル４ａをギアなどからなる減速装置４ｃを介してＹ軸回りに回転させるギアモータ４ｂと、を主に備えて構成されている。
なお、ここでのＹ軸回りは、特許請求の範囲にいう「第１の軸回り」に相当する。また、本実施形態でのＹ軸は、ワーク洗浄装置１００に係る技術分野におけるＢ軸に対応する。
そして、本実施形態でのインデックステーブル機構４においては、テーブル４ａは、Ｙ軸回りに連続回転が可能となっているとともに、例えば９０度といった所定位相ごとの旋回が可能となっている。なお、テーブル４ａは、連続回転又は所定位相ごとの旋回のいずれか一方が実施される構成とすることもできる。
【0031】
＜スライドカバー機構＞
次に、スライドカバー機構２（図１参照）について説明する。
図１に示すように、スライドカバー機構２は、駆動機構配置領域Ａ１（第１室Ｃ１）とワーク洗浄領域Ａ２（第２室Ｃ２）との間を、ノズル６の水平移動動作に同期して水平方向に移動するスライドカバー２３（図２参照）にて仕切るように構成されている。
具体的には、スライドカバー機構２は、図２に示すように、ベースプレート２２と、スライドカバー２３と、スライドカバー支持部材２３ａと、を主に備えている。
ベースプレート２２は、図４に示すように、中央開口２２ａを有している。
次に、スライドカバー機構２（図１参照）について説明する。
図１に示すように、スライドカバー機構２は、駆動機構配置領域Ａ１（第１室Ｃ１）とワーク洗浄領域Ａ２（第２室Ｃ２）との間を、ノズル６の水平移動動作に同期して水平方向に移動するスライドカバー２３（図２参照）にて仕切るように構成されている。
具体的には、スライドカバー機構２は、図２に示すように、ベースプレート２２と、スライドカバー２３と、スライドカバー支持部材２３ａと、を主に備えている。
ベースプレート２２は、図４に示すように、中央開口２２ａを有している。
【0032】
図５は、図４のV－V断面にて示すスライドカバー機構２の構成説明図である。
図５に示すように、ベースプレート２２は、平面形状が矩形の板体で形成されている。そして、図５中、隠れ線（点線）にて示す中央開口２２ａは、矩形を呈している。
この中央開口２２ａは、図３に示した第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａと第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂとによって、ＸＺ面内で水平移動する第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂとに干渉しないように、矩形を呈している。
このようなベースプレート２２は、図４に示すように、筐体５の第２室Ｃ２の上部で水平となるように配置されるとともに、ベースプレート２２の外周縁は、ブラケットなどを介して第２室Ｃ２の内壁の適所に固定されている。
図５に示すように、ベースプレート２２は、平面形状が矩形の板体で形成されている。そして、図５中、隠れ線（点線）にて示す中央開口２２ａは、矩形を呈している。
この中央開口２２ａは、図３に示した第１電動シリンダ１１ａのスライダ１２ａと第２電動シリンダ１１ｂのスライダ１２ｂとによって、ＸＺ面内で水平移動する第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂとに干渉しないように、矩形を呈している。
このようなベースプレート２２は、図４に示すように、筐体５の第２室Ｃ２の上部で水平となるように配置されるとともに、ベースプレート２２の外周縁は、ブラケットなどを介して第２室Ｃ２の内壁の適所に固定されている。
【0033】
スライドカバー２３（図４参照）は、前記のように、スライダ１２ａ（図３参照）とスライダ１２ｂ（図３参照）とによって、第１パイプ１８ａ（図３参照）と第２パイプ１８ｂ（図３参照）とが水平移動する際に、第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂと同期して水平方向に移動するようになっている。
【0034】
図４に示すように、スライドカバー２３は、ベースプレート２２の上面に沿うように配置されている。
そして、スライドカバー２３は、図５に示すように、ベースプレート２２の中央開口２２ａ内で水平移動した際に、この中央開口２２ａを常に塞ぐことができる大きさの平面形状を有している。ちなみに、本実施形態でのスライドカバー２３の平面形状は、矩形を呈しているが、これに限定されることはなく、矩形以外の多角形、円形、楕円形などとすることもできる。
なお、図５中、符号２３ｂは、第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂとが摺動可能に挿通されるスライドカバー２３の略中央に設けられるパイプ挿通孔であり、符号２３ａ１は、次に説明するスライドカバー支持部材２３ａのカバー連結部である。
そして、スライドカバー２３は、図５に示すように、ベースプレート２２の中央開口２２ａ内で水平移動した際に、この中央開口２２ａを常に塞ぐことができる大きさの平面形状を有している。ちなみに、本実施形態でのスライドカバー２３の平面形状は、矩形を呈しているが、これに限定されることはなく、矩形以外の多角形、円形、楕円形などとすることもできる。
なお、図５中、符号２３ｂは、第１パイプ１８ａと第２パイプ１８ｂとが摺動可能に挿通されるスライドカバー２３の略中央に設けられるパイプ挿通孔であり、符号２３ａ１は、次に説明するスライドカバー支持部材２３ａのカバー連結部である。
【0035】
スライドカバー支持部材２３ａは、図４に示すように、連結部材１６の底板１６ａ（延出部１６ａ１）から下方に延びて第１パイプ１８ａを前後方向に挟むように配置される一対の細長の板体２３ａ３と、これら板体２３ａ３の下端に接続される略直方体形状のブロック体２３ａ４とを備えている。また、ブロック体２３ａ４には、第１パイプ１８ａ及び第２パイプ１８ｂがそれぞれ挿通される１対のパイプ挿通孔２３ａ２,２３ａ２が形成されている。
そして、ブロック体２３ａ４は、前記のように、このブロック体２３ａ４の下部から下方に延びてスライドカバー２３に連結される一対のカバー連結部２３ａ１を備えている。
ちなみに、カバー連結部２３ａ１のそれぞれは、図５に示すように、第１パイプ１８ａ及び第２パイプ１８ｂのそれぞれのパイプ挿通孔２３ｂの間で、スライドカバー２３に連結されることとなる。
そして、ブロック体２３ａ４は、前記のように、このブロック体２３ａ４の下部から下方に延びてスライドカバー２３に連結される一対のカバー連結部２３ａ１を備えている。
ちなみに、カバー連結部２３ａ１のそれぞれは、図５に示すように、第１パイプ１８ａ及び第２パイプ１８ｂのそれぞれのパイプ挿通孔２３ｂの間で、スライドカバー２３に連結されることとなる。
【0036】
＜ミストコレクタ＞
次に、ミストコレクタ７（図１参照）について説明する。
図１に示すように、ミストコレクタ７は、三次元駆動機構１が配置される第１室Ｃ１の後方で筐体５内に区画される第３室Ｃ３内に配置されている。
本実施形態でのミストコレクタ７は、ワーク洗浄領域Ａ２となる第２室Ｃ２と第３室Ｃ３とを連通するダクト７ａと、このダクト７ａに連結されるコレクタ本体７ｂとを備えている。
コレクタ本体７ｂは、図示は省略するが、例えばモータで回転するターボファンなどで構成され、ダクト７ａを介して第２室Ｃ２からの吸気を行う吸気機構と、ダクト７ａを介して流入した吸気に同伴するミストを衝突させる衝突板と、ターボファンの外周に設けられたミスト捕集ユニットと、集めたミストを排出するドレンと、で構成することができる。
次に、ミストコレクタ７（図１参照）について説明する。
図１に示すように、ミストコレクタ７は、三次元駆動機構１が配置される第１室Ｃ１の後方で筐体５内に区画される第３室Ｃ３内に配置されている。
本実施形態でのミストコレクタ７は、ワーク洗浄領域Ａ２となる第２室Ｃ２と第３室Ｃ３とを連通するダクト７ａと、このダクト７ａに連結されるコレクタ本体７ｂとを備えている。
コレクタ本体７ｂは、図示は省略するが、例えばモータで回転するターボファンなどで構成され、ダクト７ａを介して第２室Ｃ２からの吸気を行う吸気機構と、ダクト７ａを介して流入した吸気に同伴するミストを衝突させる衝突板と、ターボファンの外周に設けられたミスト捕集ユニットと、集めたミストを排出するドレンと、で構成することができる。
【0037】
＜エアブロー機構＞
図１に示すように、エアブロー機構８は、高圧空気供給流路３ｄを介して第２パイプ１８ｂに高圧空気を供給することによって、ノズル６からワークＷに向けて高圧空気を噴射するようになっている。この高圧空気供給流路３ｄには、図示しないエアコンプレッサ（エアブロー）などが接続されている。
なお、符号３ｃは、開閉弁である。この開閉弁３ｃは、作図の便宜上、洗浄液供給流路３ａ及び高圧空気供給流路３ｄに跨るように一体に形成されているように見えるが、洗浄液供給流路３ａ及び高圧空気供給流路３ｄのそれぞれに一つずつ合計２つの開閉弁からなる。そして、開閉弁３ｃを構成する２つの開閉弁のそれぞれは、洗浄液供給流路３ａ及び高圧空気供給流路３ｄのそれぞれで個別に独立してこれら流路の開閉を行う。
図１に示すように、エアブロー機構８は、高圧空気供給流路３ｄを介して第２パイプ１８ｂに高圧空気を供給することによって、ノズル６からワークＷに向けて高圧空気を噴射するようになっている。この高圧空気供給流路３ｄには、図示しないエアコンプレッサ（エアブロー）などが接続されている。
なお、符号３ｃは、開閉弁である。この開閉弁３ｃは、作図の便宜上、洗浄液供給流路３ａ及び高圧空気供給流路３ｄに跨るように一体に形成されているように見えるが、洗浄液供給流路３ａ及び高圧空気供給流路３ｄのそれぞれに一つずつ合計２つの開閉弁からなる。そして、開閉弁３ｃを構成する２つの開閉弁のそれぞれは、洗浄液供給流路３ａ及び高圧空気供給流路３ｄのそれぞれで個別に独立してこれら流路の開閉を行う。
【0038】
≪作用効果≫
次に、本実施形態のワーク洗浄装置１００の奏する作用効果について説明する。
次に、本実施形態のワーク洗浄装置１００の奏する作用効果について説明する。
【0039】
本実施形態のワーク洗浄装置１００で洗浄の対象となるワークＷは、図示は省略するが、例えば切削孔、切削溝などの切削加工を施した金属のブロック体を想定している。このようなワークＷには、一般に、切削油を伴った切屑がブロック体の表面のみならず、切削孔内や切削溝内にも残留する。
【0040】
本実施形態のワーク洗浄装置１００は、ワークＷに対する噴射方向がＹ軸方向（下向き）に規定される第１ノズル６ａと、ワークＷに対する噴射方向がＺ軸方向に規定される第２ノズル６ｂ（横向き）と、を備えている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれは、三次元駆動機構１によって、ワークＷに対して三次元的にアクセスすることができる。
これによりワーク洗浄装置１００は、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれから噴射する洗浄液やブロアなどによって、ワークＷを効率よく洗浄する。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれは、三次元駆動機構１によって、ワークＷに対して三次元的にアクセスすることができる。
これによりワーク洗浄装置１００は、第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂのそれぞれから噴射する洗浄液やブロアなどによって、ワークＷを効率よく洗浄する。
【0041】
また、ワーク洗浄装置１００は、従来の固定ノズルを有するもの（例えば、特許文献１参照）と異なって、ワークＷに対する噴射方向がＸＹＺ３軸のうちの２軸方向にそれぞれ規定された第１ノズル６ａ及び第２ノズル６ｂが、ワークＷに対して三次元的にアクセスする。
したがって、このワーク洗浄装置１００よれば、従来の固定ノズルを有するもの（例えば、特許文献１参照）と比べて、ワークＷの多品種化にも対応することができる。
したがって、このワーク洗浄装置１００よれば、従来の固定ノズルを有するもの（例えば、特許文献１参照）と比べて、ワークＷの多品種化にも対応することができる。
【0042】
また、ワーク洗浄装置１００は、三次元駆動機構１が３つの電動シリンダ１１ａ,１１ｂ,１１ｃにて構成されている。
したがって、ワーク洗浄装置１００は、従来の多関節型ロボットを使用した数値制御洗浄装置（例えば、特許文献２参照）と異なって、比較的安価に製造することができる。
したがって、ワーク洗浄装置１００は、従来の多関節型ロボットを使用した数値制御洗浄装置（例えば、特許文献２参照）と異なって、比較的安価に製造することができる。
【0043】
また、本実施形態のワーク洗浄装置１００は、ワーク洗浄領域Ａ２と、駆動機構配置領域Ａ１との間が、スライドカバー２３にて仕切られている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、ワークＷに対して三次元的にアクセスするノズル６の移動を制限することなく、簡素な構成にてワーク洗浄領域Ａ２から駆動機構配置領域Ａ１への洗浄液の進入を効果的に防止することができる。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、ワークＷに対して三次元的にアクセスするノズル６の移動を制限することなく、簡素な構成にてワーク洗浄領域Ａ２から駆動機構配置領域Ａ１への洗浄液の進入を効果的に防止することができる。
【0044】
また、本実施形態においては、インデックステーブル機構４を構成するテーブル４ａが、
Ｙ軸（第１の軸）回りの連続旋回と、所定位相（例えば、９０度）での旋回とが可能となっている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、ワークＷに対する洗浄をさらに効果的に行うことができるとともに、ワークＷの多品種化にもさらに効果的に対応することができる。
Ｙ軸（第１の軸）回りの連続旋回と、所定位相（例えば、９０度）での旋回とが可能となっている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、ワークＷに対する洗浄をさらに効果的に行うことができるとともに、ワークＷの多品種化にもさらに効果的に対応することができる。
【0045】
また、本実施形態のワーク洗浄装置１００においては、洗浄液循環機構３を備えている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、洗浄液の使用量を節約することができ、ワーク洗浄装置１００の運転コストを低減することができる。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、洗浄液の使用量を節約することができ、ワーク洗浄装置１００の運転コストを低減することができる。
【0046】
また、本実施形態のワーク洗浄装置１００は、洗浄液循環機構３が洗浄液の第１フィルタＦ１と、第２フィルタＦ２とを備えている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、循環使用する洗浄液の耐用時間（寿命）を長くすることができ、ワーク洗浄装置１００の運転コストをさらに低減することができる。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、循環使用する洗浄液の耐用時間（寿命）を長くすることができ、ワーク洗浄装置１００の運転コストをさらに低減することができる。
【0047】
また、本実施形態のワーク洗浄装置１００は、洗浄液循環機構３が洗浄液のヒータＨを備えている。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、ワークＷに対する洗浄をさらに効果的に行うことができる。また、このワーク洗浄装置１００によれば、ヒータＨによって洗浄液の温度を高めることによって、洗浄後にワークＷに付着した洗浄液の乾燥時間を短縮することができる。
このようなワーク洗浄装置１００によれば、ワークＷに対する洗浄をさらに効果的に行うことができる。また、このワーク洗浄装置１００によれば、ヒータＨによって洗浄液の温度を高めることによって、洗浄後にワークＷに付着した洗浄液の乾燥時間を短縮することができる。
【0048】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々変更することができる。
【符号の説明】
【0049】
１ 三次元駆動機構
２ スライドカバー機構
３ 洗浄液循環機構（洗浄液の循環機構）
４ インデックステーブル機構
４ａ テーブル
５ 筐体
６ ノズル
６ａ 第１ノズル
６ｂ 第２ノズル
７ ミストコレクタ
８ エアブロー機構
１１ 電動シリンダ
１１ａ 第１電動シリンダ
１１ｂ 第２電動シリンダ
１１ｃ 第３電動シリンダ
１２ｃ スライダ（駆動部）
１００ ワーク洗浄装置
Ａ１ 駆動機構配置領域
Ａ２ ワーク洗浄領域
Ｆ１ 第１フィルタ（フィルタ）
Ｆ２ 第２フィルタ（フィルタ）
Ｈ ヒータ
Ｗ ワーク
２ スライドカバー機構
３ 洗浄液循環機構（洗浄液の循環機構）
４ インデックステーブル機構
４ａ テーブル
５ 筐体
６ ノズル
６ａ 第１ノズル
６ｂ 第２ノズル
７ ミストコレクタ
８ エアブロー機構
１１ 電動シリンダ
１１ａ 第１電動シリンダ
１１ｂ 第２電動シリンダ
１１ｃ 第３電動シリンダ
１２ｃ スライダ（駆動部）
１００ ワーク洗浄装置
Ａ１ 駆動機構配置領域
Ａ２ ワーク洗浄領域
Ｆ１ 第１フィルタ（フィルタ）
Ｆ２ 第２フィルタ（フィルタ）
Ｈ ヒータ
Ｗ ワーク
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】