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特開 2022-68664出願番号 特願 2020-177465
超純水製造システム及び超純水製造方法
出願人 野村マイクロ・サイエンス株式会社（識別番号 245531）
2026年 特許公開件数ランキング 1663位 9件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 1473位 9件（※）
公報発行日 2022年5月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-68664 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】超純水を使用した後、過酸化水素を含有する使用済超純水を超純水製造の被処理水として再利用する超純水製造において、簡易な構成で、装置及び被処理水の清浄化に寄与し得る、超純水の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】前処理部２、一次純水製造部３及び二次純水製造部４を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、前処理部２の前段又は前処理部２と一次純水製造部３の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部５と、超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部６と、該回収処理部６から得られる回収水を、貯留部５に返送して循環させる循環手段７と、を有する超純水製造システム１。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、半導体製造等に使用された使用済超純水を、その中に含まれる過酸化水素を含有させた状態で回収し、循環させて超純水の製造に再利用するものであり、これにより、超純水製造工程において、簡素な装置構成で、細菌の発生や増殖等を抑制し、有機物の含有量を低減することができる。
また、これにより、従来回収時に使用していた活性炭装置を回収処理部に設けなくてもよくなり、装置の設置スペースを縮小することもでき、その分のコストダウンを図ることもできる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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