特開 2022-71738 ガラスパネルユニットの製造方法、ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法及びガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022071738

(43)【公開日】2022-05-16

(54)【発明の名称】ガラスパネルユニットの製造方法、ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法及びガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルム

(51)【国際特許分類】

   C03C 27/06 20060101AFI20220509BHJP

   E06B 3/663 20060101ALI20220509BHJP

【ＦＩ】

C03C27/06 101E

E06B3/663 A

E06B3/663 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020180854

(22)【出願日】2020-10-28

(71)【出願人】

【識別番号】000005821

【氏名又は名称】パナソニックホールディングス株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】592166137

【氏名又は名称】河村産業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002527

【氏名又は名称】特許業務法人北斗特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】瓜生 英一

(72)【発明者】

【氏名】石橋 将

(72)【発明者】

【氏名】川波 栄治

(72)【発明者】

【氏名】前田 拓也

【テーマコード（参考）】

2E016

4G061

【Ｆターム（参考）】

2E016BA01

2E016CA01

2E016CB01

2E016CC02

2E016EA01

2E016EA05

2E016GA01

4G061AA13

4G061BA01

4G061CB02

4G061CD02

4G061CD22

4G061CD23

4G061DA24

(57)【要約】

【課題】本開示の課題は、減圧空間の真空度が悪化しにくく、製造しやすいガラスパネルユニットとその製造方法、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムとその製造方法を提供することである。
【解決手段】ガラスパネルユニット１０の製造方法では、ガラス板上に封着材及びピラー７０を配置して、一対のガラス板を対向させ、封着材を溶融させて内部空間５００を形成し、内部空間５００を減圧して封止する。ピラー７０の製造方法は、ポリイミド系フィルムにプラズマ処理を施すプラズマ処理工程、０℃以上８０℃以下の温度環境下で、二枚のポリイミド系フィルムを水性液体を介して重ね合わせる重ね合わせ工程、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱して積層ポリイミド系フィルム９２を得る熱処理工程、積層ポリイミド系フィルム９２を切断してピラー７０を形成するピラー形成工程を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１ガラス板又は第２ガラス板上に封着材を配置する封着材配置工程と、
前記第１ガラス板又は前記第２ガラス板上に所定のピラー製造方法により製造されたピラーを配置するピラー配置工程と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを互いに対向するように配置する対向配置工程と、
前記封着材を溶融させ、外部空間に排気可能な排気経路を除いて前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記封着材とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記内部空間の気体を排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
減圧した状態を維持したまま前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
前記所定のピラー製造方法は、
少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とするプラズマ処理工程と、
０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、前記プラズマ処理面を有する前記ポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、前記プラズマ処理面と前記別のポリイミド系フィルムの表面とが水を主成分とする水性液体を介して対向するように重ね合わせる重ね合わせ工程と、
前記重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚の前記ポリイミド系フィルムと前記水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する熱処理工程と、
前記熱処理工程により得られた積層ポリイミド系フィルムを切断して前記ピラーを形成するピラー形成工程と、を有する
ガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項2】

前記所定のピラー製造方法は、巻き取り工程を更に有し、
前記巻き取り工程は、前記熱処理工程より前か又は前記熱処理工程中に、前記重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚の前記ポリイミド系フィルムと前記水性液体とを巻き取る工程である
請求項１記載のガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項3】

前記巻き取り工程において、前記ポリイミド系フィルムと金属箔とを伴巻きする
請求項２記載のガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項4】

前記金属箔がステンレス箔である
請求項３記載のガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項5】

前記ポリイミド系フィルムの表面の任意の１０点における平均粗さＲｚが０．６μｍ以下である
請求項１～４のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項6】

前記積層ポリイミド系フィルムにおける前記ポリイミド系フィルム同士の接着強度が１．０Ｎ／ｃｍ以上である
請求項１～５のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項7】

前記プラズマ処理工程において、少なくとも二枚の前記ポリイミド系フィルムにプラズマ処理を施してそれぞれに前記プラズマ処理面を形成し、
前記重ね合わせ工程において、前記プラズマ処理面同士が水性液体を介して対向するように重ね合わせられる
請求項１～６のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか一項に記載のガラスパネルユニットの製造方法により製造される
ガラスパネルユニット。

【請求項9】

少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とするプラズマ処理工程と、
０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、前記プラズマ処理面を有する前記ポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、前記プラズマ処理面と前記別のポリイミド系フィルムの表面とが水を主成分とする水性液体を介して対向するように重ね合わせる重ね合わせ工程と、
前記重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚の前記ポリイミド系フィルムと前記水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する熱処理工程と、を有する
ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法。

【請求項10】

請求項９に記載のガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法により製造される
ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ガラスパネルユニットとその製造方法、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムとその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ガラスパネルユニットが開示されている。このガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、第２ガラスパネルと、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとを枠状に気密に接合するシールと、これらに囲まれた真空空間と、第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとの間に配置されたスペーサと、を備えている。スペーサは、少なくとも１つの樹脂フィルムを含む２以上のフィルムの積層体である。樹脂フィルムは、例えばポリイミドフィルムであり、２以上のフィルムは、例えばポリアミド酸からなる接着剤によりで接着されている。

【0003】

このような樹脂フィルムの積層体の製造方法として、特許文献２に開示されるフィルム積層体製造方法が知られている。このフィルム積層体製造方法では、まず、第一のポリイミドフィルムの少なくとも片面に反応性液体を塗布する。反応性液体を塗布した後、５分以内に、第一のポリイミドフィルムの反応性液体塗布面に第二のポリイミドフィルムをロールラミネーターを用いて連続的に積層する。次に、得られた積層フィルムを、ＣＴＥ（Coefficient of Thermal Expansion）２０ｐｐｍ／℃以上１５０ｐｐｍ／℃以下の素材からなるコアに巻き取る。これらの工程を経て、ポリイミドフィルム積層体が得られる。反応性液体としては、シランカップリング剤をはじめ、不飽和二重結合を有する化合物、エポキシ基といった様々な化合物が適用できる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開第２０１６／０８４３８２号

【特許文献2】国際公開第２０１９／１３５３６６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、上述したようなフィルム積層体製造方法で製造されたフィルム積層体をガラスパネルユニットのスペーサとして用いると、樹脂フィルム間に介在する接着剤からガスが放出されるおそれがあり、接着剤からガスが放出されると真空空間の真空度が悪化しやすくなるものであった。

【0006】

また、上述したようなフィルム積層体製造方法でフィルム積層体を製造する場合、ポリイミドフィルム間に介在する反応性液体がポリイミドフィルムの端縁からはみ出るおそれがあり、製造しにくいものであった。

【0007】

本開示の課題は、減圧空間の真空度が悪化しにくく、製造しやすいガラスパネルユニットの製造方法、ガラスパネルユニット、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法及びガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の一態様に係るガラスパネルユニットの製造方法は、封着材配置工程と、ピラー配置工程と、対向配置工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。前記封着材配置工程は、第１ガラス板又は第２ガラス板上に封着材を配置する工程である。前記ピラー配置工程は、前記第１ガラス板又は前記第２ガラス板上に所定のピラー製造方法により製造されたピラーを配置する工程である。前記対向配置工程は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とを互いに対向するように配置する工程である。前記接合工程は、前記封着材を溶融させ、外部空間に排気可能な排気経路を除いて前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記封着材とで囲まれた内部空間を形成する工程である。前記減圧工程は、前記内部空間の気体を排出して前記内部空間を減圧する工程である。前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。

【0009】

前記所定のピラー製造方法は、プラズマ処理工程と、重ね合わせ工程と、熱処理工程と、ピラー形成工程と、を有する。前記プラズマ処理工程は、少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とする工程である。前記重ね合わせ工程は、０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、前記プラズマ処理面を有する前記ポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、前記プラズマ処理面と前記別のポリイミド系フィルムの表面とが水を主成分とする水性液体を介して対向するように重ね合わせる工程である。前記熱処理工程は、前記重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚の前記ポリイミド系フィルムと前記水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する工程である。前記ピラー形成工程は、前記熱処理工程により得られた積層ポリイミド系フィルムを切断して前記ピラーを形成する工程である。

【0010】

本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、前記ガラスパネルユニットの製造方法により製造される。

【0011】

本開示の一態様に係るガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法は、プラズマ処理工程と、重ね合わせ工程と、熱処理工程と、を有する。前記プラズマ処理工程は、少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とする工程である。前記重ね合わせ工程は、０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、前記プラズマ処理面を有する前記ポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、前記プラズマ処理面と前記別のポリイミド系フィルムの表面とが水を主成分とする水性液体を介して対向するように重ね合わせる工程である。前記熱処理工程は、前記重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚の前記ポリイミド系フィルムと前記水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する工程である。

【0012】

本開示の一態様に係るガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムは、前記ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムの製造方法により製造される。

【発明の効果】

【0013】

本開示の上記態様によれば、ガラスパネルユニットの減圧空間の真空度が悪化しにくく、ガラスパネルユニット又は積層ポリイミド系フィルムを製造しやすい。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１Ａは、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの中間体である組立て品を示す平面図である。図１Ｂは、図１ＡのＡ－Ａ線断面図である。

【図2】図２は、同上のガラスパネルユニットを示す平面図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

【図4】図４Ａは、同上のガラスパネルユニットの製造過程における、ピラー配置工程のうちのセット工程を示す側面図である。図４Ｂは、同上のガラスパネルユニットの製造過程における、ピラー配置工程のうちのピラー載置工程を示す側面図である。図４Ｃは、同上のガラスパネルユニットの製造過程における、ピラー配置工程のうちの変位工程を示す側面図である。

【図5】図５は、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

【図6】図６は、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

【図7】図７は、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

【図8】図８は、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

【図9】図９は、第１実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。

【図10】図１０は、熱処理時間－アウトガス量の関係図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本開示は、ガラスパネルユニットとその製造方法、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムとその製造方法に関する。より詳細には、本開示は、第１ガラス板、第２ガラス板、封着材、ピラー及び減圧空間を有するガラスパネルユニットとその製造方法、ガラスパネルユニット用の積層ポリイミド系フィルムとその製造方法に関する。

【0016】

＜第１実施形態＞
本実施形態に係るガラスパネルユニット１０及びその製造方法の概要を説明する。

【0017】

図２に示すように、ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第１ガラス板２０に対向する第２ガラス板３０と、枠体４０と、減圧空間５０と、ガス吸着体６０と、を備える。枠体４０は、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とを気密に接合する。減圧空間５０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０とで囲まれる。ガス吸着体６０は、減圧空間５０内に配置される。ガス吸着体６０は、ゲッタ材を含有する。

【0018】

ガラスパネルユニット１０の製造方法は、組立工程（図３～図６参照）と、接合工程（第１溶融工程、図７参照）と、排気工程（減圧工程）（図７参照）と、封止工程（図７及び図８参照）と、除去工程と、を含む。組立工程は、組立て品１００を用意する工程である。組立て品１００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、枠状の周壁４１０と、内部空間５００と、ガス吸着体６０と、排気口７００とを備える（図１Ａ及び図１Ｂ参照）。第２ガラス板３００は、第１ガラス板２００に対向する。周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間にある。内部空間５００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０とで囲まれる。ガス吸着体６０は、内部空間５００内に配置され、かつ上記のゲッタ材を含有する。排気口７００は、内部空間５００と外部空間とをつなぐ。接合工程は、周壁４１０を溶融させて第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合させる工程である。排気工程は、排気口７００を介して内部空間５００の気体を排出して内部空間５００を減圧し、減圧空間５０とする工程である。ガラスパネルユニット１０の製造方法（以下、製造方法という場合がある）を、図１～図９を参照して詳細に説明する。この製造方法は、図２のようなガラスパネルユニット１０を製造する方法である。なお、本実施形態では、方向Ｄ１は第１ガラス板２００の厚み方向と平行な方向であり、方向Ｄ２は、方向Ｄ１と直交する方向であり、方向Ｄ３は方向Ｄ１及び方向Ｄ２と直交する方向である。また方向Ｄ１は第１方向であってもよく、方向Ｄ２は第２方向であってもよく、方向Ｄ３は第３方向であってもよい。

【0019】

封止工程までの工程は、図８に示す仕掛り品１１０を用意する工程である。仕掛り品１１０は、図１Ａ及び図１Ｂに示す組立て品１００から形成される。すなわち、仕掛り品１１０はガラスパネルユニット１０（図２参照）を作製するための中間生成物であり、組立て品１００は仕掛り品１１０を作製するための中間生成物である。

【0020】

組立工程は、組立て品１００を用意する工程である。組立て品１００は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０と、仕切り４２０と、を備える。また、組立て品１００は、第１及び第２ガラス板２００，３００と周壁４１０とで囲まれた内部空間５００を有する。さらに、組立て品１００は、内部空間５００内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。さらに、組立て品１００は、排気口７００を備える。

【0021】

第１ガラス板（第１ガラス基板）２００は、後述の第１ガラス板２０の基礎となる部材であり、第１ガラス板２０と同じ材料で形成されている。第２ガラス板（第２ガラス基板）３００は、後述の第２ガラス板３０の基礎となる部材であり、第２ガラス板３０と同じ材料で形成されている。第１及び第２ガラス板２００，３００は同じ平面形状である。本実施形態では、第１ガラス板２００は、後述の第１ガラス板２０を少なくとも１つ形成可能な大きさを有し、第２ガラス板３００は、後述の第２ガラス板３０を少なくとも１つ形成可能な大きさを有する。

【0022】

第１及び第２ガラス板２００，３００はいずれも多角形（本実施形態では長方形）の平板状である。

【0023】

第１ガラス板２００は、本体２１０と、低放射膜２２０とを含む。低放射膜２２０は、内部空間５００内にあり、本体２１０を覆う。低放射膜２２０は、本体２１０に接している。低放射膜２２０は、赤外線反射膜とも呼ばれ、透光性を有するものの、赤外線を反射する。このため、低放射膜２２０は、ガラスパネルユニット１０の断熱性を向上させることができる。低放射膜２２０は、例えば、金属製の薄膜である。低放射膜２２０は、例えば、銀を含有する。低放射膜２２０の一例は、Ｌｏｗ－Ｅ膜である。

【0024】

第１ガラス板２００は、上記の通り、本体２１０を含む。本体２１０は、第１面２１１と第２面２１２とを有する。第１面２１１は、平坦な面であって、低放射膜２２０に覆われる。第２面２１２は、第１面２１１と平行で、かつ平坦な面であって、方向Ｄ１において内部空間５００と反対側にある。本体２１０は、第１ガラス板２００の主な形状を構成するため、矩形の平板状である。本体２１０の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。

【0025】

第２ガラス板３００は、本体３１０を含む。本体３１０は、第１面３１１と第２面３１２とを有する。第１面３１１は、平坦な面であって、低放射膜２２０と対向する。第２面３１２は、第１面３１１と平行で、かつ平坦な面であって、方向Ｄ１において内部空間５００と反対側にある。本体３１０は、第２ガラス板３００の主な形状を構成するため、矩形の平板状である。本体３１０は、本体２１０と同形状である。第２ガラス板３００は、本実施形態では、本体３１０のみからなるが、本体３１０に加えて低放射膜２２０と同様の低放射膜を備えてもよい。第２ガラス板３００が低放射膜を備える場合、この低放射膜は、内部空間５００内で、本体３１０を覆い、かつ本体３１０に接する。本体３１０の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。

【0026】

周壁４１０は、第１封着材（第１熱接着剤）を含む。周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間に配置される。周壁４１０は、図１Ａに示すように、枠状である。特に、周壁４１０は、矩形の枠状である。周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００の外周に沿って形成されている。これにより、組立て品１００では、周壁４１０と第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。

【0027】

第１熱接着剤は、例えば、ガラスフリットを含む。ガラスフリットの例としては、低融点ガラスフリットが挙げられる。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。本実施形態では、第１熱接着剤はバナジウム系ガラスフリットにより構成される。また、第１熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属、又はホットメルト接着材を含むことができる。第１熱接着剤は、有機バインダ及び有機溶剤のうちの一方または両方をさらに含んでもよい。この場合、封止工程（第２溶融工程）後に有機バインダ及び有機溶剤のうちの一方または両方に由来するガスが減圧空間５０に放出されても、このガスをガス吸着体６０が吸着することにより、減圧空間５０内にガスが残りにくくなる。

【0028】

有機バインダは、例えば樹脂を含む。この樹脂として、例えば、ポリイソブチルメタアクリレート、エチルセルロース、脂肪族ポリカーボネート、アクリル樹脂、及びブチラール樹脂が挙げられる。有機バインダは、上記の樹脂に限らず、任意の成分を含むことができる。有機バインダを構成する樹脂は、低分子量で分解しやすい樹脂であることが好ましい。

【0029】

有機溶剤として、例えば、酢酸ブチルカルビトール、及び酢酸エチルカルビトール等のエステル類が挙げられる。しかし、有機溶剤は、上記の成分に限らず、テルペン系溶剤などの一般的なスクリーン印刷に用いられる溶剤、及びディスペンス塗布に用いられる溶剤のうち少なくとも１種を含んでもよい。

【0030】

周壁４１０が樹脂をさらに含有する場合、組立工程の後、この樹脂に由来するガスが内部空間５００内に放出されても、樹脂に由来するガスは、排気工程によって排気される。排気工程後、樹脂に由来するガスが残留ガスとして減圧空間５０内に存在しても、この残留ガスをガス吸着体６０が吸着することができる。

【0031】

仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、第１空間５１０と、第２空間（通気空間）５２０とに仕切る。このため、第１空間５１０は排気工程で排気される空間であり、第２空間５２０は第１空間５１０の排気に使用される空間である。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス板３００の中央よりも第２ガラス板３００の長さ方向（図１Ａにおける左右方向）の第１端側（図１Ａにおける右端側）に形成される。仕切り４２０は、第２ガラス板３００の幅方向（図１Ａにおける上下方向）に沿うようにして内部空間５００内に配置される。ただし、仕切り４２０の長さ方向の両端は、周壁４１０と接していない。本実施形態では、第２ガラス板３００の幅方向は方向Ｄ２と平行であり、第２ガラス板３００の長さ方向は方向Ｄ３と平行である。

【0032】

仕切り４２０は、その本体を構成する本体部（仕切り本体部）４２１と、遮断部４２２とを備える。遮断部４２２は、第１遮断部４２２１と、第２遮断部４２２２とを備える。本体部４２１は、方向Ｄ２に沿う直線状である。この方向Ｄ２は、例えば、第２ガラス板３００の幅方向である。また、方向Ｄ２において、本体部４２１の両端は、周壁４１０と接触していない。本体部４２１の両端のうち、一端から第２空間５２０に向かって延びるようにして第１遮断部４２２１が形成され、他端から第２空間５２０に向かって延びるようにして第２遮断部４２２２が形成されている。本体部４２１の一端は第１端であってもよく、他端は第２端であってもよい。

【0033】

仕切り４２０は、第２封着材（第２熱接着剤）を含む。第２熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットの例としては、低融点ガラスフリットが挙げられる。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。本実施形態では、第２熱接着剤はバナジウム系ガラスフリットにより構成される。また、第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属、またはホットメルト接着材であってもよい。なお、本実施形態では、第１熱接着剤と第２熱接着剤とは同じものを使用している。つまり、第１封着材と第２封着材とは、同じ材料である。

【0034】

通気路６００は、図１Ａに示すように、内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を含む。第１通気路６１０は、仕切り４２０の第１端（図１Ａの上端）と周壁４１０との間に介在する隙間である。第２通気路６２０は、仕切り４２０の第２端（図１Ａの下端）と周壁４１０との間に介在する隙間である。

【0035】

排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０および通気路６００（第１通気路６１０及び第２通気路６２０）を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。したがって、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とは、第１空間５１０を排気するための排気路を構成する。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス板３００の角部分にある。

【0036】

ガス吸着体６０及び複数のピラー７０は第１空間５１０内に配置されている。特に、ガス吸着体６０は、第２ガラス板３００の長さ方向の第２端側（図１Ａにおける左端側）に、第２ガラス板３００の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（減圧空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０および通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。

【0037】

組立工程は、組立て品１００を得るために、第１ガラス板２００、第２ガラス板３００、周壁４１０、仕切り４２０、内部空間５００、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、及び複数のピラー７０を形成する工程である。組立工程は、第１～第６工程を有する。なお、第２～第５工程の順番は、適宜変更してもよい。

【0038】

第１工程は、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を形成する工程（基板形成工程）である。例えば、第１工程では、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を作製し、必要に応じて、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を洗浄する。

【0039】

第２工程は、排気口７００を形成する工程（排気口形成工程）である。第２工程では、第２ガラス板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス板３００を洗浄する。

【0040】

第３工程は、第１ガラス板２００又は第２ガラス板３００上に所定のピラー製造方法により製造されたピラー７０を配置する工程（ピラー配置工程）である（図３参照）。ピラー配置工程について、図４Ａ～図４Ｃに基づいて説明する。このピラー配置工程は、セット工程、ピラー載置工程、変位工程、を順に有する。

【0041】

図４Ａに示すセット工程では、第２ガラス板３００、抜き型９１、積層ポリイミド系フィルム９２及びパンチ部９３が、この順で下から上に位置するようにセットされる。積層ポリイミド系フィルム９２は、抜き型９１の上面に被せられる。パンチ部９３を構成するパンチ９４は、積層ポリイミド系フィルム９２を挟んで、抜き型９１が備える貫通孔９５の真上に位置する。

【0042】

図４Ｂに示すピラー載置工程では、パンチ部９３が、下方に向けて一直線状の軌道で打ち込まれる。パンチ部９３が下方に打ち込まれることで、柱状のパンチ９４が、積層ポリイミド系フィルム９２の一部９６を、抜き型９１の貫通孔９５を通じて下方に打ち抜く（図４Ｂの白抜き矢印参照）。

【0043】

パンチ９４によって打ち抜かれた積層ポリイミド系フィルム９２の一部９６は、パンチ９４の先端面に当たった状態で、第２ガラス板３００の一面９７に押し当てられる。

【0044】

積層ポリイミド系フィルム９２の一部９６は、パンチ９４の先端面によって、所定の圧力で所定時間だけ第２ガラス板３００の一面９７上に押し付けられることで、一面９７上に仮固定される。仮固定された積層ポリイミド系フィルム９２の一部９６は、一面９７上のピラー７０を構成する。

【0045】

図４Ｃに示す変位工程では、白抜き矢印で示されるように、パンチ部９３が上方に移動した後に、第２ガラス板３００と積層ポリイミド系フィルム９２が水平方向に移動する。第１実施形態では、第２ガラス板３００と積層ポリイミド系フィルム９２の互いの移動方向が同一であるが、第２ガラス板３００と積層ポリイミド系フィルム９２の互いの移動方向が相違することも有り得る。以上が、第３工程であるが、第３工程は上述した工程に限定されない。

【0046】

なお、ピラー７０の大きさ、ピラー７０の数、ピラー７０の間隔、ピラー７０の配置パターンは、適宜選択することができる。各ピラー７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。例えば、ピラー７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各ピラー７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。ピラー７０の製造方法については後述する。

【0047】

第４工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である（図３参照）。第４工程では、ディスペンサなどを利用して、ゲッタペーストを第２ガラス板３００上に塗布する。ゲッタペーストは、例えば、ゼオライトと、溶媒（水又は有機溶剤）とを含有する。塗布後のゲッタペーストを乾燥させて溶媒を蒸発させて、ゼオライトの粉末を第２ガラス板３００上に付着させることにより、ガス吸着体６０が形成される。すなわち、次の第５工程は、ゲッタペーストを乾燥する乾燥工程を含む。ゲッタペーストを乾燥することにより、ゲッタ材のガス吸着性を回復させることができる。また、ゲッタペーストを塗布することにより、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、第１空間５１０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。

【0048】

第５工程は、第１ガラス板２０又は第２ガラス板３０上に封着材（周壁４１０）を配置する工程（封着材配置工程）である。具体的には、第５工程では、周壁４１０、及び仕切り４２０を配置する（図３参照）。第５工程では、ディスペンサなどを利用して、第１封着材を第２ガラス板３００上に塗布し、その後第１封着材を乾燥させて周壁４１０を形成する。また、ディスペンサなどを利用して、第２封着材を第２ガラス板３００上に塗布し、その後第２封着材を乾燥させて仕切り４２０を形成する。

【0049】

第１工程から第５工程が終了することで、図３に示されるような、第２ガラス板３００が得られる。この第２ガラス板３００には、周壁４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０及び複数のピラー７０が形成されている。

【0050】

第６工程は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを互いに対向するように配置する工程（対向配置工程）である。第６工程では、図５に示すように、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とは、互いに平行かつ対向するように配置される。

【0051】

上述した組立工程によって、図６に示す組立て品１００が得られる。そして、組立工程の後には、図７に示すような、第１溶融工程（接合工程）と、排気工程と、第２溶融工程（封止工程）とが実行される。

【0052】

第１溶融工程は、封着材を溶融させ、外部空間に排気可能な排気経路を除いて第１ガラス板２０と第２ガラス板３０と封着材（周壁４１０）とで囲まれた内部空間５００を形成する工程である。具体的には、第１溶融工程では、周壁４１０を一旦溶融させて周壁４１０で第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００とを気密に接合する。第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔｍ１だけ加熱される（図７参照）。本実施形態では、第１封着材と第２封着材とが、上記の通り、同じ材料であるため、第１封着材の軟化点（第１軟化点）は、第２封着材の軟化点（第２軟化点）と同じである。このため、第１溶融温度Ｔｍ１は、第１及び第２軟化点以上に設定される。第１溶融温度Ｔｍ１が第１及び第２軟化点以上であっても、第１溶融工程では仕切り４２０は通気路６００を塞がない。すなわち、第１溶融工程では通気路６００を確保している。第１溶融工程において、例えば、第１及び第２軟化点が２６５℃で、第１溶融温度Ｔｍ１は、２９０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔｍ１は、例えば、１５分である。

【0053】

本実施形態において、第１軟化点が第２軟化点と同じである態様は、第１軟化点が第２軟化点と厳密に同じである態様だけでなく、第１軟化点が第２軟化点と略同じである態様も含む。

【0054】

第１溶融温度Ｔｍ１で周壁４１０を加熱することにより、仕切り４２０の変形を抑制しながらも、周壁４１０を軟化させることができる。これにより、周壁４１０によって第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合しやすくなる。

【0055】

排気工程は、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気して第１空間５１０を減圧空間５０とする工程である。排気は、例えば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図６に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により組立て品１００に接続される。排気管８１０は、例えば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、組立て品１００を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス板３００に接合される。

【0056】

排気工程では、第２溶融工程の開始前までに、排気温度Ｔｅ以上で所定時間（排気時間）ｔｅ以上、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する（図７参照）。排気温度Ｔｅは、第２封着材の第２軟化点（例えば２６５℃）より低く設定される。例えば、排気温度Ｔｅは、２５０℃である。このようにすれば、排気工程でも仕切り４２０は変形しない。排気工程の際、ガス吸着体６０中の少なくとも水分が気化して第１空間５１０内に放出され、第１空間５１０は、通気路６００、第２空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。ガス吸着体６０から放出された水分が排気されることで、ゲッタ材のガス吸着性をさらに回復させることができる。排気時間ｔｅは、所望の真空度（例えば、０．１Ｐａ以下の真空度）の減圧空間５０が得られるように設定される。例えば、排気時間ｔｅは、３０分に設定される。また、このときのガス吸着体６０の活性化温度は排気温度Ｔｅとなる。

【0057】

第２溶融工程（封止工程）は、減圧した状態を維持したまま内部空間５００を封止し、密閉された減圧空間５０を形成する工程である。具体的には、第２溶融工程では、図８に示すように、仕切り４２０を変形させて少なくとも通気路６００を塞ぐことで隔壁４２を形成して仕掛り品１１０を得る。つまり、第２溶融工程では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ。言い換えると、変形した仕切り４２０により第１空間５１０が塞がれて、第１空間５１０と第２空間５２０とが分離される。これにより、減圧空間５０を囲む枠体４０が形成される（図８参照）。本実施形態では、仕切り４２０の長さ方向の両端（第１及び第２遮断部４２２１、４２２２）が周壁４１０に接して一体となるように、仕切り４２０を変形させている。これによって、内部空間５００を第１空間５１０（減圧空間５０）と第２空間５２０とに気密に分離する隔壁４２が形成される。より詳細には、第２封着材の第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で仕切り４２０を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させる。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔｍ２だけ加熱される（図７参照）。第２溶融温度Ｔｍ２及び第２溶融時間ｔｍ２は、仕切り４２０が軟化し、通気路６００が塞がれるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（例えば２６５℃）である。第２溶融温度Ｔｍ２は、例えば、３００℃に設定される。また、第２溶融時間ｔｍ２は、例えば、３０分である。本実施形態の封止工程は第２溶融工程であるが、封止工程は、要するに、減圧空間５０を、減圧空間５０以外の空間から空間的に分離する工程である。減圧空間５０以外の空間は、本実施形態では、第２空間５２０に相当する。

【0058】

本実施形態では、図７に示すように、排気工程は、第１溶融工程の後に開始され、第２溶融工程の終了とともに終了している。このため、第２溶融工程の際に、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０が排気されている。そのため、組立て品１００の内外の圧力差が生じ、この圧力差によって、第１及び第２ガラス板２００，３００が互いに接近するように移動させられる。これにより、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。

【0059】

また、図７に示す第２溶融工程では、第２溶融時間ｔｍ２が経過した後、溶融炉内の温度を室温まで等速で冷却する。そして、シールヘッド８２０を取り外すことで、第２溶融工程及び排気工程を終了する。

【0060】

第２溶融工程及び排気工程が終了することによって、図８に示す仕掛り品１１０が得られる。仕掛り品１１０は、図８に示すように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１と、隔壁４２と、を備える。また、仕掛り品１１０は、減圧空間５０と、第２空間５２０とを有する。さらに、仕掛り品１１０は、減圧空間５０内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、を備える。さらに、仕掛り品１１０は、排気口７００を備える。

【0061】

第１及び第２ガラス板２００，３００はいずれも矩形の平板状である。第１及び第２ガラス板２００，３００は同じ平面形状である。

【0062】

隔壁４２は、減圧空間５０を第２空間５２０から（空間的に）分離する。言い換えれば、仕掛り品１１０の第２空間５２０は排気口７００を介して外部空間と（空間的に）繋がっているため、隔壁４２は、減圧空間５０と外部空間とを分離する。そして、隔壁４２と周壁４１０とが一体となって、減圧空間５０を囲む枠体４０を構成する。枠体４０は、減圧空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合する。

【0063】

ガス吸着体６０は、減圧空間５０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺の平板状であり、第２ガラス板３００に配置されている。ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、例えば、枠体４０となる熱接着剤（第１熱接着剤、及び第２熱接着剤）が加熱される際に、熱接着剤から放出されるガスである。

【0064】

複数のピラー７０は、減圧空間５０内に配置されている。複数のピラー７０は、第１及び第２ガラス板２００，３００間の距離を所望の値に維持するために使用される。

【0065】

減圧空間５０は、上記の通り、第２空間５２０及び排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、減圧空間５０は、真空度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。減圧空間５０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００と枠体４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０及び排気口７００から分離されている。

【0066】

除去工程は、第２溶融工程及び排気工程が終了した後に実行される。除去工程は、図９に示すように、仕掛り品１１０から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、減圧空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。

【0067】

ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、を備える。第１ガラス板２０は、第１ガラス板２００のうち第１空間５１０（減圧空間５０）に対応する部分であり、第２ガラス板３０は、第２ガラス板３００のうち第１空間５１０（減圧空間５０）に対応する部分である。

【0068】

一方、不要な部分１１は、第１ガラス板２００のうち第２空間５２０に対応する部分２３０と、第２ガラス板３００のうち第２空間５２０に対応する部分３２０と、を含む。なお、ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。

【0069】

除去工程では、具体的には、溶融炉から取り出された仕掛り品１１０は、隔壁４２に沿って切断され、減圧空間５０を有する部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。なお、仕掛り品１１０を切断する部分（切断線）の形状は、ガラスパネルユニット１０の形状によって定まる。ガラスパネルユニット１０は矩形状であるから、切断線は隔壁４２の長さ方向に沿った直線となっている。

【0070】

上述の組立工程～除去工程を経て、図２に示すガラスパネルユニット１０が得られる。

【0071】

図２は、本実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０と、を備える。また、ガラスパネルユニット１０は、第１及び第２ガラス板２０，３０と枠体４０とで囲まれた減圧空間５０を有する。さらに、ガラスパネルユニット１０は、減圧空間５０内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、を備える。ガラスパネルユニット１０は、第１及び第２ガラス板２０、３０に排気口７００を備えない。

【0072】

第１及び第２ガラス板２０，３０はいずれも矩形の平板状である。第１及び第２ガラス板２０，３０は同じ平面形状である。

【0073】

本実施形態の第１ガラス板２０は、除去工程により第１ガラス板２００の不要な部分２３０が除去されたものである。このため、第１ガラス板２０は、第１ガラス板２００と同様の構成を有する。すなわち、第１ガラス板２０は、その主な形状を構成する本体と、低放射膜２２０とを含む。この本体は、減圧空間５０内で低放射膜２２０により覆われる。第１ガラス板２０は、矩形の平板状である。

【0074】

本実施形態の第２ガラス板３０は、除去工程により第２ガラス板３００の不要な部分３２０が除去されたものである。このため、第２ガラス板３０は、第２ガラス板３００と同様の構成を有する。すなわち、第２ガラス板３０は、その主な形状を構成する本体を備える。第２ガラス板３０は、本実施形態では、その本体のみからなるが、この本体に加えて低放射膜２２０と同様の低放射膜を備えてもよい。第２ガラス板３０が低放射膜を備える場合、この低放射膜は、減圧空間５０内で、第２ガラス板３０の本体を覆い、かつこの本体に接する。

【0075】

枠体４０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０との間にあり、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とを気密に接合する。これによって、減圧空間５０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０とで囲まれている。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０と同様の多角形（本実施形態では四角形）の枠状である。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０の外周に沿って形成されている。

【0076】

複数のピラー７０は、減圧空間５０内に配置されている。複数のピラー７０は、第１及び第２ガラス板２０，３０間の距離を所望の値に維持するために使用される。
＜ピラー製造方法の概要＞
以下に、本実施形態のピラー製造方法について説明する。所定のピラー製造方法は、積層ポリイミド系フィルム製造方法が有する工程と、製造した積層ポリイミド系フィルムからピラーを形成するピラー形成工程と、を有する。すなわち、本実施形態のピラー製造方法は、積層ポリイミド系フィルムの製造方法を含む。

【0077】

ピラー形成工程は、積層ポリイミド系フィルムの製造方法により得られた積層ポリイミド系フィルム９２を切断してピラー７０を形成する工程である。本実施形態では、ピラー配置工程（第３工程）において、ピラー形成工程が並行して行われている。以下に、積層ポリイミド系フィルムの製造方法について説明する。
＜積層ポリイミド系フィルムの製造方法の概要＞
積層ポリイミド系フィルムの製造方法は、プラズマ処理工程と、重ね合わせ工程と、熱処理工程と、を有する。

【0078】

プラズマ処理工程は、少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とする工程である。

【0079】

重ね合わせ工程は、０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、プラズマ処理面を有するポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、プラズマ処理面と別のポリイミド系フィルムの表面とが水性液体（後で詳述する）を介して対向するように重ね合わせる工程である。

【0080】

熱処理工程は、重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚のポリイミド系フィルムと水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する工程である。

【0081】

所定のピラー製造方法は、巻き取り工程を更に有してもよい。巻き取り工程は、熱処理工程より前か又は熱処理工程中に、重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚のポリイミド系フィルムと水性液体とを巻き取る工程である。

【0082】

また、巻き取り工程において、ポリイミド系フィルムと金属箔とを伴巻きすることが好ましい。この時、金属箔がステンレス箔であることが好ましい。

【0083】

また、ポリイミド系フィルムの表面の任意の１０点における平均粗さＲｚ（以下、単に「平均粗さＲｚ」とする）が０．６μｍ以下であることが好ましい。

【0084】

また、積層ポリイミド系フィルム９２におけるポリイミド系フィルム同士の接着強度が１．０Ｎ／ｃｍ以上であることが好ましい。

【0085】

また、プラズマ処理工程において、少なくとも二枚のポリイミド系フィルムにプラズマ処理を施してそれぞれにプラズマ処理面を形成することが好ましい。

【0086】

また、重ね合わせ工程において、プラズマ処理面同士が水性液体を介して対向するように重ね合わせられることが好ましい。
＜積層ポリイミド系フィルムの製造方法の詳細＞
本開示に用いられるポリイミド系フィルムとは、その構造中にイミド基を含むポリマーのフィルムであり、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリエーテルイミド等が挙げられる。

【0087】

本開示に用いられるポリイミド系フィルムはその表面が平滑である方が積層されたポリイミド系フィルム（積層ポリイミド系フィルム）が強固に接合される傾向にある。具体的には平均粗さＲｚが０．６μｍ以下のポリイミド系フィルムを用いることが好ましく、Ｒｚが０．５μｍ以下であることがより好ましい。

【0088】

次に上記ポリイミド系フィルムにプラズマ処理が施される（プラズマ処理工程）。プラズマ処理の方法については、従来公知の方法が適用可能であり、大気圧プラズマ処理、真空プラズマ処理等の、プラズマ処理が適用可能である。そして、本開示の積層ポリイミド系フィルムの製造方法は長尺の積層ポリイミド系フィルムの製造を可能としていることから、ロールツーロール方式でのプラズマ処理を施すことが好ましく、最終的に得られる積層ポリイミド系フィルムの接着力を強固なものとするという観点から、ロールツーロールの真空プラズマ処理を施すことが特に好ましい。

【0089】

プラズマ処理に用いるプラズマガスとしては、特に限定されないが、酸素、窒素、アルゴン、水素、アンモニア、二酸化炭素、メタン、４フッ化メタン、水蒸気などやそれらの混合ガスが挙げられる。

【0090】

プラズマ処理はポリイミド系フィルムの片面にのみ行っても両面に行っても差し支えないが、少なくとも他のポリイミド系フィルムと接合する面にはプラズマ処理が施されている必要がある。例えば、２層のポリイミド系フィルムを積層する場合は、それぞれのポリイミド系フィルムについて、少なくとも接合される面にはプラズマ処理が施される。３層のポリイミド系フィルムを同時に積層する場合は、１層目と３層目の２層については、少なくともそれぞれ２層目のポリイミド系フィルムと接合する面にプラズマ処理が施され、２層目のポリイミド系フィルムについてはその両面にプラズマ処理が施される。

【0091】

次にプラズマ処理を施した上記ポリイミド系フィルム表面に水性液体を付着させる（重ね合わせ工程）。ポリイミド系フィルムに水性液体を均一に付着させるため、水性液体をポリイミド表面に塗布するか、あるいは水性液体にポリイミド系フィルムを浸漬させることにより、ポリイミド系フィルムに水性液体を付着させる。水性液体とは、水単体あるいは水と混和する低級アルコール、ジオール類、ケトン等の他の液体と水からなる混合液体であり、水の含有率が５０重量％以上のものを指す。すなわち、「水性液体」には「水単体」が含まれ得る。また、ポリイミド系フィルムへの濡れ性を良くするために、水性液体には界面活性剤や消泡剤等の添加剤を添加することも可能である。

【0092】

ポリイミド系フィルム表面に水性液体を塗布して水性液体を付着させる場合の塗布方法は、任意方法が可能であり、例えば滴下方式、スプレー方式、給水ローラー方式等の方式で塗布することができる。

【0093】

次に水性液体を付着させたポリイミド系フィルムともう１層以上のポリイミド系フィルムとを０～８０℃、好ましくは１０～７０℃、さらに好ましくは１０～５０℃の温度で重ね合わせる（重ね合わせ工程）。重ね合わせる温度が０℃未満の場合は、ポリイミド系フィルムに付着させた水性液体が凝固するという問題が生じ、重ね合わせる温度が８０℃を超える場合は、ポリイミド系フィルムに付着させた水性液体の揮発が顕著となり、製造される積層ポリイミド系フィルムのフィルム間の接着力が低下するという問題が生じるとともに、フィルム間で気泡が生じるおそれがある。

【0094】

ポリイミド系フィルムを重ね合わせる方法は任意の方法が可能であり、２層以上のロール状のポリイミド系フィルムの巻き出し装置、送り装置及び巻取り装置を備えた装置を用いて、巻き出しと巻取りの間で少なくとも１層のポリイミド系フィルムに水性液体を付着させ、その後水性液体を付着させたポリイミド系フィルムを含む２層以上のポリイミド系フィルムを巻取り部で巻取りコアに巻き取りながら重ね合わせる方法、加圧式のロールラミネータを用いて２層以上のポリイミド系フィルムを重ね合わせた後、巻取りコアに巻き取る方法等が挙げられる（巻き取り工程）。

【0095】

次に重ね合わされた２層以上のポリイミド系フィルムの熱処理を行う。ポリイミド系フィルム同志を強固に接合させて積層ポリイミド系フィルムを得るために、熱処理は最高到達温度が３００℃以上になるように行う必要があるが、熱処理方法や熱処理の温度履歴は任意に設定することが可能である。

【0096】

特に金属等の耐熱性巻取りコアに巻き取った２層以上のポリイミド系フィルムを耐熱性コアに巻き取ったまま熱処理を行うことで、接合すべきポリイミド系フィルム界面の接合を良好に行うことが可能となり、好ましい。またこの場合、熱処理の際のポリイミド系フィルムへの伝熱を良好に行うともに、接合しないポリイミド系フィルムの界面の保護を目的として、金属箔を積層するポリイミド系フィルムと伴巻きして、熱処理を行うことが好ましい。この場合、伴巻きする金属箔としては、耐熱性、耐腐食性等の観点からステンレス箔を用いることが好ましい。

【0097】

重ね合わせた２層以上のポリイミド系フィルムを最高到達温度３００℃以上で熱処理することにより、ポリイミド系フィルム同志が１．０Ｎ／ｃｍ以上の接合強度で強固に接着した積層ポリイミド系フィルムを製造する。この場合、熱処理の方法としては以下の（１）～（３）のいずれかの方法が例示される。
（１）少なくとも１層に水性液体を付着させた２層以上のプラズマ処理を予め施したポリイミド系フィルムを耐熱性コアに金属箔と一緒に伴巻きし、そのまま巻き取った状態でオーブンに設置して、昇温させながら室温から３００℃以上の温度まで昇温させて熱処理する方法。
（２）少なくとも１層に水性液体を付着させた２層以上のプラズマ処理を予め施したポリイミド系フィルムを耐熱性コアに金属箔と一緒に伴巻きし、そのまま巻き取った状態でオーブンに設置して、昇温しながら１５０℃程度の温度になるまで熱処理して仮接合を行い、その後金軸箔を巻きほどいて取り除き、仮接合したポリイミド系フィルムを再度耐熱性コアに巻き取って、最高到達温度が３００℃以上になるように熱処理する方法。
（３）少なくとも１層に水性液体を付着させた２層以上のプラズマ処理を予め施したポリイミド系フィルムを耐熱性コアに金属箔と一緒に伴巻きし、そのまま巻き取った状態でオーブンに設置して、昇温しながら１５０℃程度の温度になるまで熱処理して仮接合を行い、その後仮接合したポリイミド系フィルムをロールツーロールの熱処理装置で３００℃以上の温度になるように熱処理する方法。

【0098】

図１０に、熱処理の時間と、発生するガス量（アウトガス量）の関係を示す。横軸は、熱処理の時間（分）であり、縦軸は、アウトガス量（任意単位）である。図１０中の破線が本実施形態の積層ポリイミド系フィルム９２から放出されるアウトガス量を示し、一点鎖線が熱可塑性ポリイミド接着剤を用いて接着したポリイミドフィルム積層体から放出されるアウトガス量を示し、実線がポリイミド系フィルム単体から放出されるアウトガス量を示す。図１０の結果より、本実施形態の積層ポリイミド系フィルム９２から放出されるアウトガス量は、ポリイミド系フィルム単体から放出されるアウトガス量と殆ど同じであり、接着剤を用いて接着したポリイミドフィルム積層体から放出されるアウトガス量よりも低い。

【0099】

本開示の積層ポリイミド系フィルムの製造方法によると、接着剤を介することなく長尺のポリイミド系フィルム同志を強固に接合することが可能となり、７５μｍ以上の厚膜のポリイミド系フィルムを効率よく生産することが可能となる。そして、本開示の積層ポリイミド系フィルムの製造方法により得られた積層ポリイミド系フィルムは、真空ガラスのピラー等幅広い用途に利用することができる。

【0100】

以下、本開示の積層ポリイミド系フィルムについて、実施例により具体的に説明する。なお、以下の実施例は、理解を容易にするためのものであり、本開示はこれらの実施例に限定されるものではない。

【0101】

（ポリイミド系フィルムの表面粗さ）
ポリイミド系フィルムの平均粗さＲｚは、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製レーザー顕微鏡ＶＫ－９５１０）を用いて、ＪＩＳ Ｂ０６０１に基づき、スキャン長さＭＤ：２１０μｍ、ＴＤ：２８０μｍ、カットオフ値０．２５で測定して求めた。

【0102】

（積層ポリイミド系フィルムの層間接着力）
各実施例もしくは比較例で作成された積層ポリイミド系フィルムを１０ｍｍ幅×１５０ｍｍ長に切り出して、そのうち約５０ｍｍの長さを剥がして層間接着力測定用サンプルとした。次いで、引張試験機（株式会社島津製作所製オートグラフＡＧＳ－Ｊ）を用いて、９０°剥離法により、引き剥がし速度５０ｍｍ／分で積層ポリイミド系フィルムを引き剥がして、積層ポリイミド系フィルムの層間の接着力を測定した。

【0103】

（実施例１）
厚さ３８μｍのポリイミド系フィルム（東洋紡株式会社製ゼノマックス）を準備した。本ポリイミド系フィルムの平均粗さＲｚ＝０．２８μｍであった。

【0104】

次に５００ｍｍ幅×２０ｍの長さの本ポリイミド系フィルム２本を準備して、それぞれのフィルムの片面に、ロールツーロールの真空プラズマ装置を使用し、プラズマガスとして二酸化炭素を２０Ｐａ導入してグロー放電によりプラズマ処理を施した。

【0105】

次にプラズマ処理を施したポリイミド系フィルムのプラズマ処理面にスプレー方式でイオン交換水を塗布して水性液体を付着させ、続けてプラズマ処理面同士が重なり合うように室温で、別途準備した厚さ１００μｍで幅５００ｍｍのステンレス箔と伴巻きするように、ステンレス製の巻取りコアに巻き取った。このプロセスにより、２層のポリイミド系フィルムが、フィルム間に水性液体を含む状態でプラズマ処理面同士が重なり合うように重ね合わされ、ステンレス箔と伴巻きされてステレンス製の巻取りコアに巻き取られる形態となっている。

【0106】

次に、ステンレス製の巻取りコアにステンレス箔とともに巻き取られた２層のポリイミド系フィルムを循環式熱風オーブンにセットして、室温から３６０℃まで１０℃／分の速度で昇温させ、さらに３６０℃で１時間保持して熱処理を行ってポリイミドフィルム同志を強固に接合させて、積層ポリイミドフィルムとした。その後、室温まで冷却してオーブンから取り出し、巻替え装置により巻き替えて、ステンレス箔と積層ポリイミドフィルムとを分け、厚さ７６μｍの長尺の積層ポリイミド系フィルムとした。

【0107】

本実施例により得られた積層ポリイミド系フィルムは、ポリイミド系フィルム間の接着力が３．０Ｎ／ｃｍと強固に接合されていた。

【0108】

（実施例２）
ポリイミド系フィルムに付着させる水性液体をイオン交換水９５％、エタノール５％の混合液体に変更した以外は実施例１と同様に行って、厚さ７６μｍの積層ポリイミド系フィルムを作成した。

【0109】

本実施例により得られた積層ポリイミド系フィルムは、ポリイミド系フィルム間の接着力が２．８Ｎ／ｃｍと強固に接合されていた。

【0110】

（実施例３）
実施例１と同様に、実施例１で用いた厚さ３８μｍのポリイミド系フィルムにプラズマ処理、イオン交換水の付着、厚さ１００μｍのステンレス箔と伴巻きしながらのステンレス製巻取りコアへの巻取り行い、２層のポリイミド系フィルムのプラズマ処理面同士を重ね合わせた。

【0111】

次に、ステンレス製の巻取りコアにステンレス箔とともに巻き取られた２層のポリイミド系フィルムを循環式熱風オーブンにセットして室温から１３０℃まで３０分かけて昇温させ、さらに１３０℃で２時間保持して２層のポリイミドフィルムを仮接合した。その後、室温まで冷却してオーブンから取り出した後、仮接合した２層のポリイミドフィルムを、遠赤外線炉を備えたロールツーロールの熱処理装置により、４００℃で２分となるように熱処理を行って、ポリイミドフィルム同志を強固に接合させて、厚さ７６μｍの長尺の積層ポリイミドフィルムとした。

【0112】

本実施例により得られた積層ポリイミドフィルムは、ポリイミドフィルム間の接着力が３．１Ｎ／ｃｍと強固に接合されていた。

【0113】

（実施例４）
厚さ３８μｍのポリイミド系フィルムの代わりに、別の種類の厚さ５０μｍのポリイミドフィルム（東レデュポン株式会社製カプトン２００Ｈ、平均粗さＲｚ＝０．３８μｍ）を用いた以外は実施例１と同様に行って、厚さ１００μｍの積層ポリイミドフィルムを作成した。

【0114】

本実施例により得られた積層ポリイミドフィルムは、ポリイミドフィルム間の接着力が２．９Ｎ／ｃｍと強固に接合されていた。

【0115】

（実施例５）
実施例１で用いた厚さ３８μｍのポリイミド系フィルム５００ｍｍ幅×２０ｍを３本準備した。そのうち、２本については片面のみ、１本については両面を実施例１に記載の方法及び条件に従いプラズマ処理を施した。

【0116】

次に各ポリイミド系フィルムのプラズマ処理面に水性液体としてイオン交換水を付着させ、両面にプラズマ処理を施したポリイミド系フィルムを中間層とし、片面にのみプラズマ処理を施したポリイミド系フィルムのプラズマ処理面が中間層のポリイミドフィルムのプラズマ処理面と接するようにステンレス製の巻取りコアに巻取りコアに実施例１で用いた厚さ１００μｍのステンレス箔と一緒に伴巻きした。

【0117】

次に実施例１と同様の方法で熱処理を行い、３層のポリイミドフィルムが接合された厚さ１１４μｍの積層ポリイミド系フィルムを作成した。

【0118】

本実施例により得られた積層ポリイミドフィルムは、ポリイミドフィルム間の接着力が３．０Ｎ／ｃｍと強固に接合していた。

【0119】

（実施例６）
厚さ３８μｍのポリイミド系フィルムの代わりに厚さ５０μｍの別の種類のポリイミド系フィルム（宇部興産株式会社製ユーピレックス５０Ｓ、平均粗さＲｚ＝０．２９μｍ）を用いた以外は実施例１と同様に行って、２層のポリイミド系フィルムが積層された厚さ１００μｍの積層ポリイミド系フィルムを作成した。

【0120】

本実施例により得られた積層ポリイミド系フィルムは、ポリイミド系フィルム間の接着力が１．８Ｎ／ｃｍと強固に接合していた。

【0121】

＜本実施形態のガラスパネルユニットの特徴＞
（実施例Ａ）
下記に示す各部材を用いてガラスパネルユニットを作成した。
・第１ガラス板（サイズ；幅×長さ×厚さ＝６００ｍｍ×６００ｍｍ×３ｍｍ）、
・第２ガラス板（サイズ；幅×長さ×厚さ＝６００ｍｍ×６００ｍｍ×３ｍｍ）、
・ピラー（実施例１で作成、サイズ；直径×高さ＝１ｍｍ×１００μｍ）、
・第１熱接着剤；ビスマス系ガラスフリット（軟化点；４３４℃）、
・第２熱接着剤；ビスマス系ガラスフリット（軟化点；４３４℃）。

【0122】

まず、ゲッタ材である銅イオン交換ゼオライトと水とを混合して混合物を得た。その後、排気口を有する第２ガラス板の一面に、第１熱接着剤からなる周壁と、第２熱接着剤からなる仕切りと、通気路と、前記混合物からなるガス吸着体と、複数のピラーとを設けた。次に、一方の面にＬｏｗ－Ｅ膜を形成した第１ガラス板を、Ｌｏｗ－Ｅ膜が第２ガラス板と対向するように配置させた。これにより、第１ガラス板と第２ガラス板との間に内部空間が形成された組立て品が得られた。また、ピラーを設ける際、隣り合うピラー同士の間隔が２０ｍｍとなるようにして複数のピラーを第２ガラス板に配置した。

【0123】

続いて、排気口と排気管の内部とが連通するようにして第２ガラス板に接合された排気管にシールヘッドを取り付けることで内部空間と真空ポンプとを接続させた。そして、組立て品を溶融炉内に配置した。この配置後、組立て品を４４０℃（第１溶融温度）で１０分間加熱することで、周壁を一旦溶融させた。この溶融時に通気路は塞がれていなかった。

【0124】

周壁の溶融後、溶融炉内の温度を排気温度である３９０℃まで降温させた。そして、真空ポンプを作動させることにより、内部空間を３９０℃で１２０分間排気させた。

【0125】

その後、真空ポンプを作動させたまま、溶融炉内の温度を第２溶融温度である４６０℃まで昇温させ、この温度で組立て品を３０分間加熱した。この加熱時に、仕切りを変形させて通気路を塞いで隔壁を形成した。

【0126】

隔壁の形成後、溶融炉内の温度を室温まで降温させた。この降温後、真空ポンプを停止してシールヘッドを脱着させた。シールヘッドの脱着後、切断により不要な部分を取り除くことで、ガラスパネルユニットを作製した。

【0127】

（比較例）
ピラーとして熱可塑性ポリイミド接着剤を用いて接着したポリイミドフィルム積層体（サイズ；直径×高さ＝１ｍｍ×１００μｍ）を用いた以外は、実施例Ａと同様にしてガラスパネルユニットを作製した。

【0128】

（評価）
［熱コンダクタンス］
実施例Ａと比較例のガラスパネルユニットの熱コンダクタンスを下記の手順で評価した。測定装置の高温部と低温部とがガラスパネルユニットにより仕切られた状態にし、第１ガラス板の外面に第１温度計を配置し、第２ガラス板の外面に第２温度計及びセンサとを配置した。この配置後、ガラスパネルユニットを介して加温部から冷却部に伝えられた熱の流束をセンサで検出し、第１温度計で第１ガラス板の表面温度を測定し、第２温度計で第２ガラス板の表面温度を測定した。

【0129】

そして、熱流束と、第１ガラス板の表面温度と、第２ガラス板の表面温度と、を下記式（１）に導入することで、ガラスパネルユニットの熱コンダクタンスを算出した。

【0130】

Ｑ＝Ｃ（Ｔ１－Ｔ２） ・・・（１）
式（１）中、Ｑは熱流束（Ｗ／ｍ^２）を示し、Ｔ１は第１ガラス板の表面温度（Ｋ）を示し、Ｔ２は第２ガラス板の表面温度（Ｋ）を示し、Ｃは熱コンダクタンス（Ｗ／ｍ^２Ｋ）を示す。

【0131】

実施例Ａの熱コンダクタンスは０．６４Ｗ／ｍ^２Ｋであり、比較例の熱コンダクタンスは０．６８Ｗ／ｍ^２Ｋであった。

【0132】

上述したフィルム積層体の製造方法で製造された積層ポリイミド系フィルム９２を切断して得られたピラー７０を用いる場合、ポリイミド系フィルムの間に接着剤が介在していないため、接着剤からガスが放出されるといったことが発生しない。このため、接着剤からガスが放出されることによる減圧空間５０の真空度の悪化が発生しにくいことが確認できた。

【0133】

また、積層ポリイミド系フィルム９２を製造するにあたり、ポリイミド系フィルム間の接着剤がポリイミド系フィルムの端縁からはみ出るといったことがなく、積層ポリイミド系フィルム９２の製造がしやすいと共に、ガラスパネルユニット１０の製造がしやすい。

【0134】

＜ガラスパネルユニットの変形例＞
本開示の実施形態は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に、上記実施形態の変形例を列挙する。なお、以下の説明において、上記実施形態を基本例とする。

【0135】

基本例では、第１及び第２ガラス板２００、３００のうち、第１ガラス板２００だけが低放射膜２２０を備えているが、変形例では第２ガラス板３００も低放射膜を備えてもよい。すなわち、第１及び第２ガラス板２００、３００の両方が低放射膜を備えてもよい。このため、第１及び第２ガラス板２０、３０の両方も低放射膜を備えてもよい。

【0136】

基本例では、第１及び第２ガラス板２００、３００のうち、第１ガラス板２００は低放射膜２２０を備え、第２ガラス板３００は低放射膜を備えていない。しかし、変形例では第２ガラス板３００が低放射膜を備え、第１ガラス板２００が低放射膜２２０を備えなくてもよい。このため、変形例のガラスパネルユニット１０でも、第２ガラス板３０が低放射膜を備え、第１ガラス板２０が低放射膜２２０を備えなくてもよい。

【0137】

基本例では、排気工程は第１溶融工程後に開始しているが、変形例では、第１溶融時間ｔｍ１が経過した後で、かつ溶融炉内の温度が第１軟化点よりも低ければ、排気工程は第１溶融工程の途中で開始してもよい。

【0138】

基本例では、排気工程は第２溶融工程の終了とともに終了しているが、変形例では、排気工程は、第１溶融工程の後に開始し、第２溶融工程の前に終了してもよい。

【0139】

基本例では、ガラスパネルユニット１０は矩形状であるが、変形例では、ガラスパネルユニット１０は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラス板２０、及び第２ガラス板３０は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。

【0140】

第１及び第２ガラス板２０，３０は同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２０は、第２ガラス板３０と同じ厚みを有していなくてもよい。これらの点は、第１及び第２ガラス板２００，３００についても同様である。

【0141】

周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００と同じ平面形状を有していなくてもよい。

【0142】

周壁４１０は、芯材等の他の要素をさらに備えていてもよい。

【0143】

また、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００の間にあるだけでこれらを接合していない。しかしながら、組立て品１００の段階で、周壁４１０が第１及び第２ガラス板２００，３００同士を接合していてもよい。要するに、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００の間にあればよく、これらを接合していることは必須ではない。

【0144】

また、基本例では、仕切り４２０は、周壁４１０に接していない。これによって、仕切り４２０の両端と周壁４１０との隙間が、通気路６１０，６２０を形成している。ただし、仕切り４２０は、その両端の一方のみが周壁４１０に連結されていてもよく、この場合、仕切り４２０と周壁４１０との間に一つの通気路６００が形成されうる。あるいは、仕切り４２０は、その両端が周壁４１０に連結されていてもよい。この場合、通気路６００は、仕切り４２０に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路６００は、仕切り４２０と第１ガラス板２００と間の隙間であってもよい。あるいは、仕切り４２０は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路６００は、２以上の仕切りの間に介在する隙間であってもよい。

【0145】

基本例では、通気路６００は２つの通気路６１０，６２０を備えているが、通気路６００は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路６００の形状は、特に限定されない。

【0146】

また、基本例では、内部空間５００は、一つの第１空間５１０と一つの第２空間５２０とに仕切られている。ただし、内部空間５００は、仕切り４２０によって、１以上の第１空間５１０と１以上の第２空間５２０とに仕切られていてもよい。内部空間５００が２以上の第１空間５１０を有する場合、１つの仕掛り品１１０から２以上のガラスパネルユニット１０を得ることができる。

【0147】

基本例では、隔壁４２で減圧空間５０を外部空間から空間的に分離している。しかし変形例では、排気口７００に接続された排気管の途中を溶融切断することで形成される封止部により減圧空間５０を外部空間から空間的に分離してもよい。すなわち、減圧空間５０を外部空間から空間的に分離する部材として、隔壁４２は必須ではない。

【0148】

ピラー配置工程（第３工程）では、積層ポリイミド系フィルム９２を予め切断して複数のピラー７０を形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のピラー７０を、第２ガラス板３００の所定位置に配置してもよい。

【0149】

（まとめ）
以上述べた実施形態及び変形例から明らかなように、第１の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、封着材配置工程と、ピラー配置工程と、対向配置工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。封着材配置工程は、第１ガラス板２０又は第２ガラス板３０上に封着材を配置する工程である。ピラー配置工程は、第１ガラス板２０又は第２ガラス板３０上に所定のピラー製造方法により製造されたピラー７０を配置する工程である。対向配置工程は、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とを互いに対向するように配置する工程である。接合工程は、封着材を溶融させ、外部空間に排気可能な排気経路を除いて第１ガラス板２０と第２ガラス板３０と封着材とで囲まれた内部空間５００を形成する工程である。減圧工程は、内部空間５００の気体を排出して内部空間５００を減圧する工程である。封止工程は、減圧した状態を維持したまま内部空間５００を封止し、密閉された減圧空間５０を形成する工程である。

【0150】

所定のピラー製造方法は、プラズマ処理工程と、重ね合わせ工程と、熱処理工程と、ピラー形成工程と、を有する。プラズマ処理工程は、少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とする工程である。重ね合わせ工程は、０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、プラズマ処理面を有するポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、プラズマ処理面と別のポリイミド系フィルムの表面とが水を主成分とする水性液体を介して対向するように重ね合わせる工程である。熱処理工程は、重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚のポリイミド系フィルムと水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する工程である。ピラー形成工程は、熱処理工程により得られた積層ポリイミド系フィルム９２を切断してピラー７０を形成する工程である。

【0151】

第１の態様によれば、ピラー７０に接着剤が残らないため、接着剤からガスが放出されるといったことが発生せず、減圧空間５０の真空度が悪化しにくい。

【0152】

第２の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第１の態様との組み合わせにより実現される。第２の態様では、所定のピラー製造方法は、巻き取り工程を更に有する。巻き取り工程は、熱処理工程より前か又は熱処理工程中に、重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚のポリイミド系フィルムと水性液体とを巻き取る工程である。

【0153】

第２の態様によれば、接合すべきポリイミド系フィルム界面の接合を良好に行うことが可能となる。

【0154】

第３の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第２の態様との組み合わせにより実現される。第３の態様では、巻き取り工程において、ポリイミド系フィルムと金属箔とを伴巻きする。

【0155】

第３の態様によれば、ポリイミド系フィルムに熱が伝わりやすい。

【0156】

第４の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第３の態様との組み合わせにより実現される。第４の態様では、金属箔がステンレス箔である。

【0157】

第４の態様によれば、耐熱性、耐腐食性が高い。

【0158】

第５の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第１～第４のいずれかの態様との組み合わせにより実現される。第５の態様では、ポリイミド系フィルムの表面の任意の１０点における平均粗さＲｚが０．６μｍ以下である。

【0159】

第５の態様によれば、ポリイミド系フィルムを強固に接合しやすくなる。

【0160】

第６の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第１～第５のいずれかの態様との組み合わせにより実現される。第６の態様では、積層ポリイミド系フィルム９２におけるポリイミド系フィルム同士の接着強度が１．０Ｎ／ｃｍ以上である。

【0161】

第６の態様によれば、高い接着強度が得られる。

【0162】

第７の態様のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第１～第６のいずれかの組み合わせにより実現される。第７の態様では、プラズマ処理工程において、少なくとも二枚のポリイミド系フィルムにプラズマ処理を施してそれぞれにプラズマ処理面を形成する。

【0163】

重ね合わせ工程において、プラズマ処理面同士が水性液体を介して対向するように重ね合わせられる。

【0164】

第７の態様によれば、ポリイミド系フィルムを強固に接合しやすくなる。

【0165】

第８の態様のガラスパネルユニット１０は、第１～第７のいずれかのガラスパネルユニット１０の製造方法により製造される。

【0166】

第８の態様によれば、ピラー７０に接着剤が残らないため、接着剤からガスが放出されるといったことが発生せず、減圧空間５０の真空度が悪化しにくい。

【0167】

第９の態様のガラスパネルユニット１０用の積層ポリイミド系フィルム９２の製造方法は、プラズマ処理工程と、重ね合わせ工程と、熱処理工程と、を有する。プラズマ処理工程は、少なくとも一枚のポリイミド系フィルムの少なくとも片面にプラズマ処理を施してこの面をプラズマ処理面とする工程である。重ね合わせ工程は、０℃以上かつ８０℃以下のいずれかの温度環境下で、プラズマ処理面を有するポリイミド系フィルムと、このポリイミド系フィルムとは別のポリイミド系フィルムとを、プラズマ処理面と別のポリイミド系フィルムの表面とが水性液体を介して対向するように重ね合わせる工程である。熱処理工程は、重ね合わせ工程により得られた少なくとも二枚のポリイミド系フィルムと水性液体とを、最高到達温度が３００℃以上となるように加熱する工程である。

【0168】

第９の態様によれば、積層ポリイミド系フィルム９２に接着剤が残らないため、接着剤からガスが放出されるといったことが発生しない。

【0169】

第１０の態様のガラスパネルユニット１０用の積層ポリイミド系フィルム９２は、第９の態様のガラスパネルユニット１０用の積層ポリイミド系フィルム９２の製造方法により製造される。

【0170】

第１０の態様によれば、積層ポリイミド系フィルム９２に接着剤が残らないため、接着剤からガスが放出されるといったことが発生しない。

【符号の説明】

【0171】

１０ ガラスパネルユニット
２０ 第１ガラス板
３０ 第２ガラス板
５０ 減圧空間
５００ 内部空間
７０ ピラー
９２ 積層ポリイミド系フィルム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】