特開 2022-72471 振動アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022072471

(43)【公開日】2022-05-17

(54)【発明の名称】振動アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   B06B 1/04 20060101AFI20220510BHJP

【ＦＩ】

B06B1/04 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020181930

(22)【出願日】2020-10-29

(71)【出願人】

【識別番号】000112565

【氏名又は名称】フォスター電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(74)【代理人】

【識別番号】100112564

【弁理士】

【氏名又は名称】大熊 考一

(74)【代理人】

【識別番号】100163500

【弁理士】

【氏名又は名称】片桐 貞典

(74)【代理人】

【識別番号】230115598

【弁護士】

【氏名又は名称】木内 加奈子

(72)【発明者】

【氏名】岡崎 義一

(72)【発明者】

【氏名】飛鳥川 孝史

(72)【発明者】

【氏名】千葉 雄介

(72)【発明者】

【氏名】後藤 元

(72)【発明者】

【氏名】原 晃

(72)【発明者】

【氏名】山上 憲

(72)【発明者】

【氏名】笹沼 起史

【テーマコード（参考）】

5D107

【Ｆターム（参考）】

5D107AA16

5D107BB08

5D107CC09

5D107CC10

5D107FF10

(57)【要約】

【課題】 板ばねと錘との位置決めが容易で、振動異常や異音の発生がない優れた振動特性を有する振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】
筒状のケース２と、ケース２に設けられたコイル２１と、コイル２１によりケース２の振動軸線Ｏに沿って振動する可動子４と、外周部がケース２に固定され、内周部が可動子４に固定された板ばね５とから成る。可動子４には、振動軸線Ｏ方向に突出した多角形の中心軸３２４が設けられている。板ばね５は、内周部中心に設けられ、中心軸３２４が嵌合される多角形の軸孔５０を有する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

筒状のケースと、
前記ケースに設けられたコイルと、
前記コイルにより前記ケースの振動軸線に沿って振動する可動子と、
外周部が前記ケースに固定され、内周部が前記可動子に固定された板ばねと、
前記可動子に設けられ、前記振動軸線方向に突出した多角形の中心軸と、
前記板ばねの内周部中心に設けられ、前記中心軸が嵌合される多角形の軸孔と、
を有することを特徴とする振動アクチュエータ。

【請求項2】

前記可動子が、マグネットと、錘を備え、
前記中心軸が前記錘の中心部に設けられている請求項１に記載の振動アクチュエータ。

【請求項3】

前記板ばねが、前記外周部と前記内周部との間に、等間隔で設けられた３本の腕部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。

【請求項4】

前記中心軸が三角形であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の振動アクチュエータ。

【請求項5】

前記ケースには、１２０度間隔で配置され、振動軸線方向に伸びる突起部が設けられ、
前記板ばねの外周部には、前記突起部が挿入される貫通孔が１２０度間隔で設けられている
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかにに記載の振動アクチュエータ。

【請求項6】

前記振動軸線を基準として、前記中心軸の角と前記貫通孔との間に３０度の角度のずれを有するように配置されている
ことを特徴とする請求項５に記載の振動アクチュエータ。

【請求項7】

前記中心軸及び前記軸孔の角は、円弧状に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の振動アクチュエータ。

【請求項8】

前記板ばねは、前記外周部と前記内周部との間に設けられた複数本の腕部を備え、
前記ケースと前記板ばねの外周部が等間隔で配置され、振動軸線方向に伸びる複数の突起部によって固定され、
前記板ばねの外周部には、前記突起部が挿入される複数の貫通孔が等間隔で設けられ、
前記腕部の数、前記中心軸の角の数、及び前記貫通孔の数が等しい、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動アクチュエータに関し、特に、携帯電話やスマートフォン等の携帯端末、ゲーム機のコントローラ等に用いられる小型で軽量の振動アクチュエータに関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、携帯電話等の通信機器において、着信やアラームを人に知らせる方法として振動アクチュエータ（又は、振動モータ）を用いた振動による通知方法がある。そして、近年では、映画やゲーム、ＶＲ（Ｖｉｒｔｕａｌ Ｒｅａｌｉｔｙ：仮想現実）の分野においても、例えば、アクションシーンの演出効果や、プレーヤーに対するフィードバック手段の一つとして振動アクチュエータが用いられており、振動により人の触覚を刺激することによってリアリティを向上させている。

【0003】

振動アクチュエータには、偏心錘をモータによって回転させて慣性力により振動を発生させる方法を用いるものもある。しかし、回転モータを利用した方法は、偏心錘の慣性力により振動を発生させるため、偏心錘が回転を始め振動が触感として得られるまでの反応が鈍く、リアリティが損なわれるという欠点があった。

【0004】

そこで、よりリアルな触感を得るためのアクチュエータとして、例えば、特許文献１に示すように、ボイスコイル型アクチュエータを採用する場合がある。かかる振動アクチュエータでは、筒状のケース内にマグネットを有する可動子を配置すると共に、可動子の周囲にはケースに固定されたコイルを配置し、そのコイルに通電することにより可動子をケース内で往復動させている。その場合、ケースに対して可動子を往復動可能に支持するために、複数の腕部を備えた円盤状の板ばねが用いられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１９－６８５６９号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１では、可動子と板ばねとは錘部分で固定される。すなわち、重量が大きく振動特性に大きな影響を与える錘と、それを支持する板ばねとを直接固定することが、所望の振動特性を得るためには好ましい。そのため、従来技術では、錘の中心に断面が円形の軸を突出させ、その軸を板ばねの中心部に設けた円形の貫通孔内に挿入し、板ばねの表面から突出した軸の先端を加締めることで、錘と板ばねとを固定している。

【0007】

しかし、このような円形の軸と貫通孔との組み合わせでは、錘と板ばねとの周方向の位置決めが不可能なことから、板ばねと錘の位置合わせが正確にできない。特に、板ばねは、渦巻き状に配置された複数の腕部とその間の切欠部を有することから、周方向に均等な剛性、すなわち弾力係数を持たない。一方、錘についても、製造上の誤差などにより、その全周囲において必ずしも均等な重量配分が確保されるものではなく、非常に微小な差とは言え、周方向で重量面でのアンバランスが生じることがある。また、錘自体の強度を向上させるなどの目的で、錘の表面に放射状にリブを設けたり、錘の外周壁部に軸方向に伸びる複数のリブを所定の間隔で設けたりすることもあり、必ずしも周方向に均等な重量配分ではないこともある。

【0008】

このようなアンバランスは、板ばねの腕部或いは切欠部の所定の位置に錘を固定することで、板ばねの剛性の不均等と相殺させることが可能である半面、錘と板ばねの固定位置によっては両者の不均等が相俟って、可動子の異常振動や異音発生を招く恐れがある。しかし、前記のような従来技術では、円形の軸を同じく円形の貫通孔に挿入していたため、周方向の位置決めができず、板ばねの腕部或いは切欠部の所定の位置に錘を固定することが不可能であった。

【0009】

同様なことは、板ばねとケースとの固定部分についてもいえる。板ばねはその外周部の複数個所、例えば３か所でケースに加締め或いはねじ止め等の手段で固定されているが、固定部分と単に両者が接触しているだけの部分とでは板ばねに加わる押圧力が異なる。そのため、可動子の振動時に板ばねの外周部に加わる応力も周方向で不均等となることから、板ばねの固定部分と錘との周方向の位置決めも可動子の振動特性に与える影響が大きい。しかし、従来技術では、板ばねに対する錘の周方向の位置決めが不可能なことから、板ばねのケースに対する固定部分と錘との周方向の位置決めができず、組み立てられた製品ごとに錘とケースとの重量配分にばらつきが生じ、製品である振動アクチュエータの性能が均質化できない問題もあった。

【0010】

本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本発明の目的は、板ばねと錘との位置決めが容易で、振動異常や異音の発生がない優れた振動特性を有する振動アクチュエータを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の振動アクチュエータは、次のような構成を有する。
（１）筒状のケース。
（２）前記ケースに設けられたコイル。
（３）前記コイルにより前記ケースの振動軸線に沿って振動する可動子。
（４）外周部が前記ケースに固定され、内周部が前記可動子に固定された板ばね。
（５）前記可動子に設けられ、前記振動軸線方向に突出した多角形の中心軸。
（６）前記板ばねの内周部中心に設けられ、前記中心軸が嵌合される多角形の軸孔。

【0012】

本発明において、次のような構成を採用することができる。
（１）前記可動子が、マグネットと、錘を備え、前記中心軸が前記錘の中心部に設けられている。
（２）前記板ばねが、前記外周部と前記内周部との間に、等間隔で設けられた３本の腕部を有する。
（３）前記中心軸が三角形である。
（４）前記ケースには、１２０度間隔で配置され、振動軸線方向に伸びる突起部が設けられ、前記板ばねの外周部には、前記突起部が挿入される貫通孔が１２０度間隔で設けられている。
（５）前記振動軸線を基準として、前記中心軸の角と前記貫通孔との間に３０度の角度のずれを有するように配置されている。
（６）前記中心軸及び前記軸孔の角は、円弧状に形成されている。
（７）前記板ばねは、前記外周部と前記内周部との間に設けられた複数本の腕部を備え、前記ケースと前記板ばねの外周部が等間隔で配置され、振動軸線方向に伸びる複数の突起部によって固定され、前記板ばねの外周部には、前記突起部が挿入される複数の貫通孔が等間隔で設けられ、前記腕部の数、前記前記中心軸の角の数、及び前記貫通孔の数が等しい。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、板ばねと錘との位置決めが容易で、振動異常や異音の発生がない優れた振動特性を有する振動アクチュエータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】第１実施形態の全体構成を示す分解斜視図である。

【図2】第１実施形態の全体構成を示す振動軸線方向で切断した断面図である。

【図3】第１実施形態におけるケース本体、錘、板ばね及び制振部材の分解斜視図である。

【図4】第１実施形態におけるケース本体、錘、板ばね及び制振部材が組み合わされた状態の斜視図である。

【図5】第１実施形態において、三角形の軸孔及び中心軸の角と、貫通孔又はリブの位置関係を示す平面図である。

【図6】第１実施形態の作動を説明する図である。

【図7】他の実施形態の全体構成を示す振動軸線方向で切断した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

［１．第１実施形態］
［１－１．構成］
以下、図１及び図２を用いて第１実施形態の振動アクチュエータ１について説明する。本実施形態の振動アクチュエータ１は、その振動軸線Ｏ方向１／２の箇所において中心軸と直交する対称面（図２の符号Ｓ）を境界として、同一形状の部材を設けたものである。そこで、各部材の構成については、対称形の一方の構成のみを説明し、他方については特別に必要がない限りは同一の符号を付すことで説明は省略する。また、「可動子の中心」という場合には、可動子における振動軸線Ｏ方向の中心、具体的には振動軸線Ｏと対称面Ｓとの交点をいい、振動軸線Ｏを軸心とする内外方向については、振動軸線Ｏを基準として内周或いは外周と表現する。

【0016】

振動アクチュエータ１は、主に、外殻をなす円筒状のケース２と、ケース２の内部に設けられたケース側電磁駆動部３と、ケース側電磁駆動部３により振動可能な可動子４と、可動子４をそれぞれケース２に対して弾性支持する板ばね５を備えている。

【0017】

ケース２は、円筒状のケース本体１０と、その両端開口を閉じるカバーケース１１、及びケース本体１０の開口部近傍の内周部分に設けられたインナーガイド１２を備えている。本実施形態において、ケース本体１０、カバーケース１１及びインナーガイド１２は、それぞれＡＢＳ等の樹脂材料からなるが、樹脂材料に限定されるものでない。ケース本体１０の外面には、図示しないリード線が接続されるターミナル１３が形成されている。

【0018】

電磁駆動部は、ケース側電磁駆動部３と、ケース本体１０内に往復動自在に支持された可動子側電磁駆動部とからなる。

【0019】

ケース側電磁駆動部３は、ケースに固定されたヨーク２０と、コイル２１を備える。すなわち、ケース２には、その内周に沿って配置された円筒状の軟磁性材料でなるヨーク２０と、ヨーク２０の内周にヨーク２０と電気的に絶縁された状態で取り付けられたコイル２１が設けられている。

【0020】

コイル２１はヨーク２０の内周に沿って巻回され、可動子４の外周部に対して所定の間隔を保って配置されている。振動時における可動子４とコイル２１との接触を防止するため、コイル２１の可動子４側の表面を覆うように、ケース本体１０の内周にインナーガイド１２が固定され、インナーガイド１２の内周面と可動子４の外周面に隙間が設けられている。コイル２１はターミナル１３からの通電により磁場を発生可能である。コイル２１は組み立てに際して、接着剤等によりヨーク２０やインナーガイド１２に仮止めしてもよい。また、コイル２１はケース２の外部で巻回したものをケース本体１０に挿入し、ヨーク２０やインナーガイド１２に接着固定してもよい。

【0021】

可動子４は、円筒状のケース２の中心軸方向である振動軸線Ｏに沿って振動するように、ケース本体１０内に配置されている。可動子４は、円板状のマグネット３０と、マグネット３０の表面に配置された円板状のポールピース３１と、ポールピース３１の表面に配置される錘３２とを有している。これらのうち、マグネット３０と、ポールピース３１が、可動子側電磁駆動部を構成している。

【0022】

マグネット３０は、その着磁方向が振動軸線Ｏ方向である。ポールピース３１は、軟磁性材料でなり、マグネット３０の磁気吸着力及び接着剤等により、マグネット３０に取り付けられている。図２に示すように、ポールピース３１には、中央部に振動軸線Ｏに沿った貫通孔３１１が形成されており、対応する錘３２には中央部に振動軸線Ｏに沿った中央突起部３２１が形成されている。中央突起部３２１が貫通孔３１１に挿入される。圧入又は嵌合によってポールピース３１と錘３２が一体化されてもよい。マグネット３０、ポールピース３１、及び錘３２は、上述した磁気吸着力や接着剤、挿入、圧入、嵌合による取り付けに限定されるものではなく、ねじ止め等の機械的手段やその他の手段により固定することにより、取り付けてもよい。

【0023】

図２に示すように、可動子４において、マグネット３０の外形は、ポールピース３１、錘３２の外形よりも径方向に小さい。つまり、ポールピース３１と錘３２の外周が可動子４において最も外周側に位置しており、コイル２１の内周と最も接近している。

【0024】

図２及び図３に示すように、錘３２は非磁性体からなり、振動軸線Ｏ方向に延びる円柱部３２２と、円柱部３２２の根元部分（振動軸線Ｏ方向中央側）から振動軸線Ｏの外周方向に広がった円盤状の底部３２３を備えている。

【0025】

錘３２における円柱部３２２の先端中央部には、振動軸線Ｏ方向に突出した多角形の中心軸３２４が設けられる。例えば、錘３２の中心軸３２４は、１２０度の間隔で角及び辺がある正三角形であり、角は円弧状に形成される。円盤状の底部３２３の外周縁には板ばね５側に立ち上がった縁部３２５が設けられると共に、底部３２３の表面には、円柱部３２２の根元部分から縁部３２５に達する３本のリブ３２６が１２０度間隔で放射状に設けられている。

【0026】

このリブの３２６の位置は、三角形をした中心軸３２４の角の位置と対応付けられており、錘３２と板ばね５との振動特性を考慮して最適の角度に設定されている。すなわち、中心軸３２４の角の位置によって、錘３２と板ばね５との周方向の角度が決定されるが、板ばね５には腕部と切欠部というように錘３２を支持する剛性が異なる箇所がある。一方、錘３２も３本のリブ３２６の存在により、周方向の重量配分が均一でないことから、板ばね５の剛性の不均等と錘３２の各部の重量バランスを考慮して、振動むらの発生が少ない状態となるように、中心軸３２４の角の位置とリブ３２６の位置を設定する。本実施形態においては、図５（ｂ）に示すように、中心軸３２４の３つの角と、リブ３２６の位置との間に、振動軸線Ｏを基準として６０度の角度のずれを有するように、中心軸３２４とリブ３２６が配置される。

【0027】

板ばね５は、金属の一枚ないし複数枚の板ばねで構成されており、例えば本実施形態ではステンレスの薄板を加工したものを使用している。板ばね５の材料は、金属に限らず樹脂や繊維を含む複合素材であってもよい。また、板ばね５の材料は、耐久性及び可撓性に優れた材料が望ましい。

【0028】

図４に示すように、板ばね５の内周部中心には、錘３２の中心軸３２４が嵌合される多角形の軸孔５０が設けられている。例えば、この軸孔５０は、１２０度の間隔で角又は辺がある正三角形であり、角は円弧状に形成される。この軸孔５０を利用して、板ばね５は錘３２と連結されている。すなわち、正三角形に形成された軸孔５０に、同じく正三角形に形成された錘３２の中心軸３２４を挿通することで、板ばね５に対する錘３２の位置合わせがなされる。そして、板ばね５の表面から突出した中心軸３２４が治具によって加熱・加圧されて押し潰されることで、錘３２の表面と板ばね５が重ね合わされた状態で加締められている。板ばね５と錘３２との固定手段は加締めに限定されるものではなく、多角形の中心軸３２４と軸孔５０を備えていれば、ねじ止めや接着等の他の方法により固定（連結）することもできる。

【0029】

図４に示すように、板ばね５は、その内周部に設けられた支持部５１から外周方向へ渦巻き状に延びる３本の腕部５２を有している。各腕部５２は振動軸線Ｏの回りに１２０度間隔で等間隔に設けられている。各腕部５２の外周端は、板ばね５の外周部にケース本体１０の内周に沿って設けられた環状の枠部５３に連結されている。

【0030】

前記のように本実施形態において、対称面を境界として２つの板ばね５が対称形に設けられている。これら２つの板ばね５の各腕部５２の渦巻き方向は互いに逆方向になっている。これにより、アクチュエータの振動時において、可動子４は、２つの板ばね５から各々逆方向のトルクを受けるため、振動軸線Ｏ方向に往復動しても、振動軸線Ｏ回りに回転しない。

【0031】

図３及び図４に示すように、円筒状をしたケース本体１０の端面には、ケース本体１０の径方向内側に突出したフランジ部１４が設けられ、このフランジ部１４に振動軸線Ｏ方向に伸びる３本の突起部１５が１２０度間隔で設けられている。板ばね５の外周の枠部５３には、突起部１５が挿入される３つの貫通孔５４が１２０度間隔で設けられている。この場合、図５（ａ）に示すように、錘３２の三角形をした中心軸３２４の３つの角及び板ばね５に設けられた三角形の軸孔５０の３つの角と、板ばね５に設けられた３つの貫通孔５４の位置との間に、振動軸線Ｏを基準として３０度の角度のずれを有するように、板ばね５の軸孔５０と３つの貫通孔５４が配置される。

【0032】

各突起部１５が各貫通孔５４に挿入された状態で、各突起部１５の先端が治具を用いて加熱・加圧し、押し潰すことにより、ケース本体１０の端面に板ばね５の枠部５３が重ね合わされた状態で加締められている。枠部５３と板ばね５との固定手段は加締めに限定されるものではなく、ねじ止めや接着等の他の方法により固定することもできる。

【0033】

このように構成された板ばね５は、振動軸線Ｏ方向及び対称面Ｓの面方向において所定の範囲で弾性変形可能である。なお、この所定の範囲は、振動アクチュエータ１として通常に使用した場合の可動子４の振幅範囲に相当する。従って、所定の範囲は、少なくとも板ばね５がケース２に接触しない範囲であり、板ばね５の弾性変形の限界を超えない範囲である。

【0034】

本実施形態において、板ばね５には、その振動特性を制御する制振部材４１が設けられている。制振部材４１は、図３に示すように、板ばね５の支持部５１から各腕部５２の一定の範囲までの形状に沿った外形の板状をなし、板ばね５の一面に固定されている。制振部材４１は、板ばね５上に積層された、接着剤でなる第１接着層と、ＰＥ（ポリエチレン）でなるＰＥ層と、接着剤でなる第２接着層と、エラストマでなるエラストマ層とからなっている。エラストマとしては、熱可塑性ポリウレタンエラストマー（ＴＰＵ）が適切であるが、これに限定するものではない。制振部材４１の弾性変形、具体的には、ＰＥ層や接着剤層のずり変形、エラストマ層の曲げ変形により、板ばね５の制振を行う。制振部材４１と板ばね５との固定手段は、上記の接着によるものに限定されず、樹脂製の制振部材４１を板ばね５に熱溶着する等、その他の固定手段を用いてもよい。

【0035】

［１－２．実施形態の作用］
以上のように構成された振動アクチュエータ１は、コイル２１に通電していない状態において、図２に示すように、板ばね５で支持される可動子４が、振動軸線Ｏ方向の中央に位置している。

【0036】

可動子４を振動させる際には、ターミナル１３を介して、コイル２１に、交互に逆極性の磁界を発生する向きに交流を通電させる。即ち、コイル２１の隣り合う部分に同極が発生するようになっている。例えば、図６に示す極性の場合、可動子４には実線矢印Ａで示す振動軸線Ｏ方向の他側（図６における下方）への推力が発生し、コイル２１へ流す電流を反転させれば、可動子４には点線矢印Ｂで示す振動軸線Ｏ方向の一側（図６における上方）への推力が発生する。このように、コイル２１に交流を通電させれば、可動子４は板ばね５による付勢力を両側から受けながら、振動軸線Ｏに沿って振動する。

【0037】

可動子４に発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に基づいて与えられる推力に準じられる。本実施形態では、対称形の配置された２つのコイル２１がケース２に固定されているので、マグネット３０等が取り付けられた可動子４に２つのコイル２１に発生する力の反力としての推力も発生する。

【0038】

そのため、振動軸線Ｏ方向に働く推力と、マグネット３０の磁束の対称面Ｓ方向に働く推力を受け、錘３２には、振動軸線Ｏを中心として回転する力が加わる。その際、錘３２に設けられた正三角形の中心軸３２４の角が、錘３２の回転止めとなり、可動子４は振動軸線Ｏに沿って振動する。

【0039】

［１－３．実施形態の効果］
（１）本実施形態における振動アクチュエータ１によれば、正三角形に形成された軸孔５０に、同じく正三角形に形成された錘３２の中心軸３２４を挿通することで、板ばね５に対する錘３２の位置合わせがなされる。よって、部品の組立が容易にでき、部品の位置合わせ不良を要因とする可動子の振動異常を抑制することができる。特に、腕部と切欠部という周方向の剛性が異なる部分を備えた板ばね５と、同じくリブ３２６のように周方向に重量バランスの異なる錘３２とを、常に一定の角度、例えば図５（ｂ）に示す６０度の角度で位置決めすることが可能となることから、組み立てられた製品毎にばらつきが生じることがない。また、板ばね５各部の剛性の不均等と錘３２のアンバランスを相殺させることで、可動子４を振動軸線Ｏに沿って直線的に移動させることが可能となり、優れた振動特性を得ることができる。

【0040】

（２）本実施形態における振動アクチュエータ１は、板ばね５に設けられた腕部５２の数と、中心軸３２４の角の数が同一であることから、中心軸３２４を軸孔５０にどの角度で挿入しても、腕部５２と錘３２との周方向の位置関係が等しくなる。そのため、錘３２に製造上或いはリブ３２６に起因する微小なアンバランスがあっても、それらのアンバランスと腕部５２との位置関係が変わることがなく、錘３２と板ばね５との組立精度の安定化を図ることができる。

【0041】

（３）錘３２には三角形をした中心軸３２４が設けられると共に、板ばね５の外周の枠部５３には、ケース本体１０の突起部１５が挿入される３つの貫通孔５４が１２０度間隔で設けられている。そのため、板ばね５とケース本体１０との固定部分と、板ばね５に固定された錘３２との位置関係が常に一定に保持されることになり、ケース本体１０に対する錘３２の取り付け角度のばらつきがなくなる。その結果、ケース本体１０内における錘３２の重心バランスが安定化し、可動子４の振動のばらつきがなくなる。

【0042】

（４）板ばね５に設けられた３つの貫通孔５４の位置との間に、図５（ａ）に示すとおり、振動軸線Ｏを基準として３０度の角度のずれを有するように、板ばね５の軸孔５０と３つの貫通孔５４が配置されている。そのため、板ばね５とケース本体１０との加締め部分が、中心軸３２の角と一致することがなくなり、静止したケース本体１０に固定されている板ばね５の枠部５３と、高速で往復動する板ばね５の支持部５１との間のストレスが、中心軸３２の角の部分に集中することがない。その結果、長期間にわたって使用した場合でも、中心軸３２の角の部分から加締め箇所に亀裂が生じることが防止され、製品の長寿命化が達成できる。

【0043】

（５）錘３２の中心軸３２４と板ばね５の軸孔５０が正三角形で、かつ、中心軸３２４及び軸孔５０の角は、円弧状に形成されているため、中心軸３２４を加締めた際に、角部分に対する応力の集中が防止され、加締め部分を中心軸３２４の周方向で均等に押し潰すことが可能になり、錘３２と板ばね５とを強固に結合できる。

【0044】

（６）本実施形態における振動アクチュエータ１は、可動子４に錘３２を設けることにより、錘３２と板ばね５の成分から導かれる固有共振周波数で、大きな振動出力が得られる。

【0045】

［２．他の実施形態］
以上のように、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、発明の範囲を限定することを意図しておらず、以下に列記するように、発明の要旨を逸脱しない範囲で、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態、それらの組合せ、更にはそれらの変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。以下は、本発明に包含される実施形態の例である。

【0046】

（１）例えば、上記実施形態における軸孔５０、錘３２の中心軸３２４は正三角形に形成されているが、これに限られるものではない。厳密な正三角形ではなくてもよく、３つの辺と３つの角を有した略三角形状でも良い。また、三角形の種類を問わないだけでなく、四角形などの他の多角形であってもよい。腕部５２は３本、突起部１５と貫通孔５４の数は３個形成されているが、板ばね５の腕部５２の数、中心軸３２４の角の数、及び貫通孔５４の数が等しいものであればよい。

【0047】

（２）三角形の軸孔５０及び中心軸３２４の角と、リブ３２６や貫通孔５４の角度のずれを３０度又は６０度としたが、両者の角度のずれを等しくしてもよい。軸孔５０及び中心軸３２４を四角形等の他の多角形とした場合には、多角形の中心角の１／２や１／３の角度分ずらせることが好ましい。

【0048】

（３）上記実施形態では、板ばね５は制振部材４１を有しているが、必ずしも制振部材を有していなくてもよい。

【0049】

（４）上記実施形態のケース２は円筒状をなしており、可動子４は略円柱状をなしているが、ケース及び可動子の形状はこれに限られるものではなく、多角形やその他の形状であってもよい。

【0050】

（５）上記実施形態では、可動子４を支持する板ばね５は、渦巻き状の腕部５２を有するが、その他の板ばねを用いてもよい。例えば、曲線だけでなく直線を組み合わせた変則的な渦巻き状、十字状や卍状の板ばねを用いてもよい。この場合、インナーガイドも板ばねの形状に沿った形状とすることが望ましい。

【0051】

（５）ポールピース３１と錘３２とを一体化するには、図２のように、ポールピース３１の貫通孔３１１に錘３２の中央突起部３２１を挿入する代わりに、図７に示すように、ポールピース３１に中央突起部３１９を設け、錘３２に凹部３２９を設けて、凹部３２９内に中央突起部３１９を挿入、圧入或いは嵌合することもできる。

【符号の説明】

【0052】

１ 振動アクチュエータ
２ ケース
３ ケース側電磁駆動部
４ 可動子
５ 板ばね
１１ カバーケース
１２ インナーガイド
１３ ターミナル
１４ フランジ部
１５ 突起部
２０ ヨーク
２１ コイル
３０ マグネット
３１ ポールピース
３２ 錘
３２２ 円柱部
３２３ 底部
３２４ 中心軸
３２６ リブ
４１ 制振部材
５０ 軸孔
５１ 支持部
５２ 腕部
５３ 枠部
５４ 貫通孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】