特開 2022-72662 微粒子材料の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022072662

(43)【公開日】2022-05-17

(54)【発明の名称】微粒子材料の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C01B 33/18 20060101AFI20220510BHJP

   B01J 19/08 20060101ALI20220510BHJP

【ＦＩ】

C01B33/18 Z

B01J19/08 K

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020182226

(22)【出願日】2020-10-30

(71)【出願人】

【識別番号】504119424

【氏名又は名称】株式会社魁半導体

(72)【発明者】

【氏名】山原 基裕

(72)【発明者】

【氏名】北川 貴之

(72)【発明者】

【氏名】登尾 一幸

(72)【発明者】

【氏名】田口 貢士

【テーマコード（参考）】

4G072

4G075

【Ｆターム（参考）】

4G072AA25

4G072BB05

4G072GG03

4G072GG05

4G072HH28

4G072HH30

4G072LL01

4G072LL03

4G072RR11

4G072RR25

4G072RR28

4G075AA03

4G075AA13

4G075AA27

4G075BA06

4G075BA08

4G075CA48

4G075CA62

4G075DA02

4G075EB43

4G075EC21

4G075FA03

4G075FA14

4G075FB02

4G075FB06

(57)【要約】

【課題】プラズマ用ガスによるプラズマ中に、原料を含む液体又は蒸気を供給することで、微粒子を生成する製造方法を提供する。
【解決手段】一方の電極が原料を含む液体又は蒸気を供給する管を兼ねた電極と、他方の電極がコイル状ではないプラズマ発生装置を使用することにより、安定的にプラズマを生成し、プラズマ用ガスによるプラズマ中に、原料を含む液体又は蒸気を供給する液体原材料供給装置を設置し、液体原材料を液体又は蒸気の状態でプラズマ中に供給することにより、微粒子を生成することを特徴とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

微粒子の製造方法であって、
プラズマ用ガスによるプラズマ中に、原料を含む液体又は蒸気を供給することにより微粒子を生成することを特徴とする微粒子材料の製造方法。

【請求項2】

前記プラズマを発生する電極において、
一方の電極が原料を含む液体又は蒸気を供給する管を兼ねた電極であり、
他方の電極がコイル状ではないことを特徴とする請求項１に記載の微粒子材料の製造方法。

【請求項3】

前記他方の電極が平板状、または空間を有する形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の微粒子材料の製造方法。

【請求項4】

前記空間を有する形状の電極において、メッシュ、エキスパンドルメタル、パンチングメタルの群から選ばれる１種であることを特徴とする請求項３のいずれかに記載の微粒子材料の製造方法。

【請求項5】

前記原料を含む液体又は蒸気が、アルコキシシラン、シラザン、シロキサンの群から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の微粒子材料の製造方法。

【請求項6】

前記原料を含む液体又は蒸気が、１または複数の金属を含む水溶性金属化合物を含む溶液であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の微粒子材料の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、微粒子材料の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

現在、酸化物微粒子、窒化物微粒子、炭化物微粒子等の微粒子は、半導体基板、プリント基板、各種電気絶縁部品などの電気絶縁材料、切削工具、ダイス、軸受などの高硬度高精度の機械工作材料、粒界コンデンサ、湿度センサなどの機能性材料、精密焼結成形材料などの焼結体の製造、エンジンバルブなどの高温耐摩耗性が要求される材料などの溶射部品製造、燃料電池の電極、電解質材料および各種触媒、さらには化粧品や医薬品などの分野で用いられている。
一般に微粒子の生成方法として、砕料に機械的なエネルギーを加えて微細化する「ブレークダウン(break-down) 」と、原子やイオンあるいは分子の集合体を化学反応により、その組み立て、成長を制御することにより微粒子とする「ビルドアップ(build-up)」とに大別される。
前記ブレークダウン法では、スケールアップが容易ではなく、エネルギー効率が低く、コンタミ等の問題がある。しかし、プロセス、処理量を考えるとサブミクロン領域の微粒子の生成には、 ブレークダウンである「粉砕法」が有利と考えられる。
一方、ビルドアップ法では、ガスや溶液の化学反応、物理的な冷却などにより原子もしくは分子状の凝集性物質から核生成と成長により、粒子へと作り上げる為、ナノ粒子を生成するのに有利である。後で微粒子となる原材料の最初の状態により、「気相法」「液相法」「固相法」の３つに分類される。
金属酸化物粒子として、固相法で製造可能な金属酸化物微粒子の粒径の下限は数百ｎｍ程度であり、それよりも粒径が小さな金属酸化物微粒子は、液相法または気相法で製造されている。特に、プラズマを使用した気相法について、例えば、特許文献１には、試験装置レベルで、アークプラズマに代表されるプラズマ法が存在するが、海外の技術も含めて生産能力が非常に低く、微粒子を量産する装置は存在しないことが記載されている。また、特許文献２にはテトラメトキシシランを処理対象物に塗布し、その後プラズマを照射することにより、二酸化珪素が形成されることが開示されている。
また、非特許文献１には、トリクロロメチルシランを原料として、プラズマ気相反応により炭化珪素微粒子を生成していることが開示されている。さらに、特許文献３には、珪素粒子をアルコール等の液体に分散したスリラーを使用して、珪素／炭化珪素複合微粒子の生成が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１１－０９８８６７号公報

【特許文献2】特開２０１１－２２２４０４号公報

【特許文献3】特開２０１１－２１３５２４号公報

【非特許文献】

【0004】

【非特許文献1】粉体と粉末冶金,第２７巻第8号（１９８０）,P２４９-２５１

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献２において二酸化珪素を形成されているが、コーティング処理を行っており、粉体生成については言及されていない。また、非特許文献１においては、トリクロロメチルシランをアルゴンキャリアガスによりプラズマトーチに搬送し、気相反応により炭化珪素粒子を作製しているが、プラズマトーチの構造として電極が黒鉛棒とガラス管の外側にワークコイルを用いた構造を有しており、プラズマを安定的に発生するには細かい調整が必要な構造となり、製造装置として使用するには難しいものとなっている。さらに特許文献３においては、スラリー液滴を供給する供給管の材質が記載されておらず、プラズマトーチ内は大気圧以下であり、高周波発振用コイルを使用し、プラズマガスを供給することにより熱プラズマ炎を発生させているが、こちらもプラズマを安定的に発生するには細かい調整が必要な構造となり、製造装置として使用するには難しいものとなっている。
特に、液相からワークコイル状電極を使用せずに微粒子の粉体を生成する方法は未だ検討されていない。
本発明の目的は、前記従来技術に基づく問題点を解消し、簡便な構造で複雑な調整が不要で、且つ安定的にプラズマを発生し、液体原料から直接、容易に微粒子を生成することができ、高い生産性を実現する微粒子材料の製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、上記課題を解決するために、下記の［１］～［６］のいずれかに記載の微粒子の製造方法を提供するものである。

【0007】

［１］微粒子の製造方法であって、プラズマ用ガスによるプラズマ中に、原料を含む液体又は蒸気を供給することにより微粒子を生成する微粒子材料の製造方法。
［２］前記プラズマを発生する電極において、一方の電極が原料を含む液体又は蒸気を供給する管を兼ねた電極であり、他方の電極がコイル状ではない微粒子の製造方法。
［３］前記他方の電極が平板状、または空間を有する形状である微粒子の製造方法。
［４］前記空間を有する形状の電極において、メッシュ、エキスパンドルメタル、パンチングメタルの群から選ばれる１種である微粒子の製造方法。
［５］前記原料を含む液体又は蒸気が、アルコキシシラン、シラザン、シロキサンの群から選ばれる少なくとも１種である微粒子の製造方法。
［６］前記原料を含む液体又は蒸気が、１または複数の金属を含む水溶性金属化合物を含む溶液である微粒子の製造方法。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、一方の電極が原料を含む液体又は蒸気を供給する管を兼ねた電極であり、他方の電極がコイル状ではないプラズマ発生装置を使用し、プラズマ用ガスによるプラズマ中に、原料を含む液体又は蒸気を供給することにより、簡便、容易にかつ再現性よく微粒子を製造することが可能である。
また、本発明では原料が液体又は蒸気であるため、原料を気化させる工程や、温度管理等が容易であるため、製造コストを低減することができ、所望の粒径の微粒子を簡便かつ容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１の実施形態に係る微粒子材料の製造方法を実施するための微粒子製造装置の全体構成を示す模式図である。

【図2】図１中のプラズマトーチ付近を拡大して示す断面図である。

【図3】第１の実施形態においてＴＥＯＳから生成された微粒子のＳＥＭ写真である。

【図4】第１の実施形態における生成された微粒子とシリカゲルのＦＴ－ＩＲスペクトルである。

【図5】本発明の第２の実施形態に係る微粒子材料の製造方法を実施するための微粒子製造装置の全体構成を示す模式図である。

【図6】第２の実施形態においてＴＥＯＳから生成された微粒子のＳＥＭ写真である。

【図7】第２の実施形態における生成された微粒子とシリカゲルのＦＴ－ＩＲスペクトルである。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下に、本発明の実施形態を図１から図３により説明する。図１および図３は、それぞれ第１実施形態および第２実施形態に係る微粒子材料製造装置の全体構成を示す模式図である。また、図２は、第１の実施形態に係る微粒子材料製造装置のプラズマトーチ付近を拡大して示す断面図である。
（第１の実施形態）

【0011】

まず、本発明の第１の実施形態について図１により説明する。以下では、液体原材料１９として前駆体物質であるテトラエトキシシラン（以下、ＴＥＯＳ）をプラズマ８中に供給することにより、二酸化珪素の微粒子が生成される場合について説明する。
図１に示すように、本実施形態の微粒子製造装置１は、液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２と、プラズマ生成用ガスを供給するコネクター部３と、石英管からなるプラズマ生成ガス誘導管４と、ステージを兼ねた他方の電極５からなるプラズマトーチ部があり、プラズマを発生するための電源６、プラズマ生成ガス供給源７と、液体原材料供給装置９とを含んで構成される。

【0012】

本実施形態においては、二酸化珪素の前駆体液体原料（本実施の形態の場合、ＴＥＯＳの原液）を、液体の状態で直接微粒子製造装置１に供給し、プラズマ照射により、二酸化珪素の微粒子が製造される。

【0013】

図２に示すプラズマトーチ部は、石英管からなるプラズマ生成ガス誘導管４と、ステージを兼ねた平板状の電極５とで構成されている。プラズマトーチ部の上部には、前述した液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる電極２がその中央部に設けられており、プラズマガス供給口７ａが形成されている。

【0014】

プラズマガス１７は、プラズマガス供給源７からプラズマガス供給口７ａ（図２参照）へ送り込まれる。
本実施形態においては、プラズマガス１７として、例えば、水素、ヘリウム、アルゴン、酸素等が挙げられ、好ましくは、水素、ヘリウム、アルゴンを使用する。プラズマガスは、単体に限定されるものではなく、水素とアルゴン、ヘリウムとアルゴンのように組み合わせて使用してもよい。
プラズマガス供給源７には、例えば、アルゴンの１種類のプラズマガスが準備されている。プラズマガス１７は、プラズマガス供給源７から、図２に示すプラズマガス供給口７ａを介して、矢印で示されるようにプラズマ生成ガス誘導管４によってプラズマトーチ内に送り込まれる。そして、電極２と電極５間に高周波電圧が印加されて、プラズマ８が発生する。

【0015】

図１に示すように、材料供給装置９は、液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２を介してプラズマトーチの上部に接続され、酸化珪素の液体原材料供給装置９からプラズマトーチ内へ定量的に供給する。
液体原材料供給装置９は、液体原材料１９を入れる容器と高圧をかけてプラズマトーチ内に供給するためのポンプ（図示せず）又は／及び、液体原材料をプラズマトーチ内へ噴霧するためのキャリアガスを供給するキャリアガス供給源（図示せず）と、プラズマトーチ内に供給する供給管を含み構成されている。
前記原材料供給装置９は、液体原材料をプラズマトーチ内に供給する手段として、ポンプのみによる供給でもキャリアガスのみによる供給のどちらでもよく、両方を併用しても構わない。キャリアガスには、例えば、アルゴン、ヘリウム、水素等が単独または適宜組み合わせて用いることが可能である。

【0016】

一方、図１及び図２に示したように、前記ステージを兼ねた平板状の電極５がプラズマトーチ下方に設けられている。プラズマトーチ内のプラズマ８に液体原材料１９を供給されることにより液体原材料がエネルギーの高い状態となり、その上、プラズマ中のエネルギー状態が高くなった大気中の分子や原子と反応することとなる。プラズマ中には、イオン状態のものやラジカル状態のものが混在するため、原材料の酸化反応、及び加水分解且つ脱水縮合反応的な反応が混在的に起こることにより、二酸化珪素が生成されることになる。その後、前記ステージを兼ねた平板状の電極５上で急冷されて、前記二酸化珪素の微粒子が前記ステージを兼ねた平板状の電極５上に付着する。

【0017】

前記ステージを兼ねた平板状の電極５として、電極となるものであれば、何ら材料として限定されるものではない。また、ステージを兼ねた電極５として、生成された微粒子が付着することを防止するために、電極メッシュ構造、エキスパンドルメタル、パンチングメタルのものが好ましい。

【0018】

本実施形態において、液体原材料１９としては、アルコキシシラン、シラザン、シロキサン、または水溶性金属化合物の群から選ばれる１種または複数の液体の原材料である。シラン化合物としては、例えば、ＴＥＯＳ、メチルメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルメトキシシラン、ジメトキシジフェニルシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ｎ－プロピルトリメトキシシラン、ｎ－プロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。シラザン化合物としては、ヘキサメチルジシラザン（以下、ＨＭＤＳ）、２，４，６－トリメチル－２，４，６－トリビニルシクロトリシラザン、ヘプタメチルジシラザン、１,３－ジフェニルテトラメチルジシラザン等が挙げられる。シロキサン化合物として、テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサンの他、液体のポリシロキサン化合物等、液体のシロキサン化合物であれば、何ら限定されるものではない。

【0019】

また、本実施形態において、液体原材料１９としての水溶性金属化合物としては、チタン、ジルコニア、ハフニウム、タンタル、ニオブ、ビスマス、タングステン、モリブデン等のリン酸や水溶性リンオリゴマー、グリコール酸、シュウ酸、リンゴ酸、乳酸等による配位子による水溶性金属錯体が挙げられ、水溶性金属錯体であれば、何ら限定されることはない。

【0020】

本実施例形態においては、液体原材料１９の流量、プラズマガス１７の流量、電源のパワーを調節することにより粉末の粒径や、生成量、微粒子の状態を調整することが可能である。さらに、図１に於いて、前記液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２の径、前記石英管からなるプラズマ生成ガス誘導管４の径、それらの出口の形状、前記液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２と前記ステージを兼ねた平板状の電極５との電極間距離、前記石英管からなるプラズマ生成ガス誘導管４を前記液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２に被せる長さを調整することにより、微粒子の生成状況を制御することが可能である。

【0021】

ここで、液体原材料１９としてＴＥＯＳの流量が３０μＬ／ｍｉｎ、ＴＥＯＳの温度６０℃、プラズマガスをアルゴンとし、プラズマガスの流量が１０Ｌ／ｍｉｎ、電源のパワーが６０Ｗの時に生成した微粒子のＳＥＭ写真とＦＴ－ＩＲスペクトルをそれぞれ図３、図４（ａ）に示す。図４（ｂ）は、シリカゲルのＦＴ－ＩＲスペクトルである。これらのＦＴ－ＩＲスペクトルにより、図４（ａ）の微粒子の二酸化珪素微粒子が生成されたことを確認した。
（第２の実施形態）

【0022】

次に、第２の実施形態について、図５により説明する。以下では、液体原材料２９として前駆体物質であるＨＭＤＳをプラズマ２８中に供給することにより、二酸化珪素の微粒子が生成される場合について説明する。
図５に示すように、本実施形態の微粒子製造装置２１は、液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２と、石英管２４と、ステージを兼ねた他方の電極２５からなるプラズマトーチ部があり、プラズマを発生するための電源２６、プラズマ生成ガス兼キャリアガス供給源２７と、液体原材料供給装置２９とを含んで構成される。

【0023】

本実施形態においては、二酸化珪素の前駆体液体原料（本実施の形態の場合、ＨＭＤＳ液）を、液体の状態で直接微粒子製造装置２１に供給し、プラズマ照射により、二酸化珪素の微粒子が製造される。

【0024】

図５に示すプラズマトーチ部は、石英管２４と、ステージを兼ねた平板状の電極２５とで構成されている。プラズマトーチ部の上部には、前記した液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２がその中央部に設けられている。

【0025】

プラズマガスは、プラズマガス供給源２７から前記液体原材料供給装置２９に送り込まれ、液体原材料３９をバブリングし、液体原材料の蒸気をキャリアするキャリアガスを兼ねて、前記した液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２へ送り込まれる。
本実施形態においては、プラズマガスとして、例えば、水素、ヘリウム、アルゴン、酸素等が挙げられ、好ましくは、水素、ヘリウム、アルゴンを使用する。プラズマガスは、単体に限定されるものではなく、水素とアルゴン、ヘリウムとアルゴンのように組み合わせて使用してもよい。
プラズマガス供給源２７には、例えば、アルゴンの１種類のプラズマガスが準備されている。プラズマガス供給源２７から前記液体原材料供給装置２９に送り込まれ、液体原材料３９をバブリングし、液体原材料の蒸気をキャリアするキャリアガスを兼ねて、前記した液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２によってプラズマトーチ内に送り込まれる。そして、電極２２と電極２５間に高周波電圧が印加されて、プラズマ２８が発生する。

【0026】

液体原材料供給装置２９は、液体原材料３９を入れる容器に液体原材料をプラズマトーチ内へ噴霧するためのキャリアガスを供給するキャリアガスとプラズマガスを兼ねたガス供給源２７によりバブリングを行い、液体原料の蒸気とキャリアガス兼プラズマガス３９をプラズマトーチ内に供給する供給管を含み構成されている。
キャリアガスとプラズマガスを兼ねたガス供給源２７内のガスは、例えば、アルゴン、ヘリウム、水素等が単独または適宜組み合わせて用いることが可能である。

【0027】

一方、図５に示したように、前記ステージを兼ねた平板状の電極２５がプラズマトーチ下方に設けられている。プラズマトーチ内のプラズマ２８に液体原材料及びキャリアガス兼プラズマガス３９を供給されることにより液体原材料がエネルギーの高い状態となり、その上、プラズマ中のエネルギー状態が高くなった大気中の分子や原子と反応することとなる。プラズマ中には、イオン状態のものやラジカル状態のものが混在するため、原材料の酸化反応、及び加水分解且つ脱水縮合反応的な反応が混在的に起こることにより、二酸化珪素が生成されることになる。その後、前記ステージを兼ねた平板状の電極２５上で急冷されて、前記二酸化珪素の微粒子が前記ステージを兼ねた平板状の電極２５上に付着する。

【0028】

前記ステージを兼ねた平板状の電極２５として、電極となるものであれば、何ら材料として限定されるものではない。また、ステージを兼ねた電極２５として、生成された微粒子が付着することを防止するために、電極メッシュ構造、エキスパンドルメタル、パンチングメタルのものが好ましい。

【0029】

本実施形態において、液体原材料としては、アルコキシシラン、シラザン、シロキサン、または水溶性金属化合物の群から選ばれる１種または複数の液体の原材料である。シラン化合物としては、例えば、ＴＥＯＳ、メチルメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルメトキシシラン、ジメトキシジフェニルシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ｎ－プロピルトリメトキシシラン、ｎ－プロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。シラザン化合物としては、ヘキサメチルジシラザン（以下、ＨＭＤＳ）、２，４，６－トリメチル－２，４，６－トリビニルシクロトリシラザン、ヘプタメチルジシラザン、１,３－ジフェニルテトラメチルジシラザン等が挙げられる。シロキサン化合物として、テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサンの他、液体のポリシロキサン化合物等、液体のシロキサン化合物であれば、何ら限定されるものではない。

【0030】

また、本実施形態において、液体原材料としての水溶性金属化合物としては、チタン、ジルコニア、ハフニウム、タンタル、ニオブ、ビスマス、タングステン、モリブデン等のリン酸や水溶性リンオリゴマー、グリコール酸、シュウ酸、リンゴ酸、乳酸等による配位子による水溶性金属錯体が挙げられ、水溶性金属錯体であれば、何ら限定されることはない。

【0031】

本実施例形態においては、液体原材料の流量、プラズマガスの流量、電源のパワーを調節することにより粉末の粒径や、生成量、微粒子の状態を調整することが可能である。さらに、図５に於いて、液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２の径、前記石英管２４の径、それらの出口の形状、液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２と前記ステージを兼ねた平板状の電極２５との電極間距離、前記石英管４を液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極２２に被せる長さを調整することにより、微粒子の生成状況を制御することが可能である。

【0032】

ここで、液体原材料３９としてＨＭＤＳの温度が２４℃、蒸気圧が２．０×１０^３Ｐａ、キャリア兼プラズマガスをアルゴンとし、キャリア兼プラズマガスの流量が０．８Ｌ／ｍｉｎ、電源のパワーが４５Ｗの時に生成した微粒子のＳＥＭ写真とＦＴ－ＩＲスペクトルをそれぞれ図６、図７（ａ）に示す。図７（ｂ）は、シリカゲルのＦＴ－ＩＲスペクトルである。これらのＦＴ－ＩＲスペクトルにより、図７（ａ）の微粒子の二酸化珪素微粒子が生成されたことを確認した。

【0033】

以上の結果から、液体原材料をプラズマ中に供給することにより、簡便、容易にかつ再現性よく微粒子を製造することが確認された。

【産業上の利用可能性】

【0034】

液体原材料から直接的に微粒子を生成することができ、原料を気化させる工程や、温度管理等が容易であるため、製造コストを低減することができ、所望の粒径の微粒子を簡便かつ容易に製造することができ、研磨粒子やカラム充填剤、高精度フィルター等、様々な用途にも適用できる。

【符号の説明】

【0035】

１、２１・・・微粒子製造装置
２・・・液体の前駆体材料を供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極
３・・・プラズマ生成用ガスを供給するコネクター部
４・・・石英管からなるプラズマ生成ガス誘導管
５、２５・・・ステージを兼ねた平板状の電極
６、２６・・・電源
７・・・プラズマガス供給源
７ａ・・・プラズマガス供給口
８、２８・・・プラズマ
９、２９・・・液体原材料供給装置
１７・・・プラズマガス
１９・・・液体原材料
２２・・・液体の前駆体材料及びプラズマガスを供給する管を兼ねたプラズマを発生させる一方の電極
２４・・・石英管
２７・・・キャリアガスとプラズマガスを兼ねたガス供給源
３９・・・キャリアガス兼プラズマガス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】