特開2022-74413真空ポンプ

発明の名称　真空ポンプ

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1052 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 593 位（35件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-74413

公報発行日　2022年5月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-74413

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