特開 2022-76873 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022076873

(43)【公開日】2022-05-20

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20220513BHJP

   B65D 85/30 20060101ALI20220513BHJP

   B65D 43/04 20060101ALI20220513BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

B65D85/30 500

B65D43/04

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020187505

(22)【出願日】2020-11-10

(71)【出願人】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002871

【氏名又は名称】特許業務法人坂本国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 晃裕

(72)【発明者】

【氏名】波賀野 賢

(72)【発明者】

【氏名】田鹿 紗代

【テーマコード（参考）】

3E084

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E084AA05

3E084AA14

3E084AA24

3E084AB10

3E084BA01

3E084CA03

3E084CC03

3E084EA01

3E084EC03

3E084FA09

3E084GA08

3E084GB12

3E084GB14

3E084HA05

3E084HB03

3E084HC03

3E084HD04

3E084KB10

3E084LD30

3E096AA06

3E096BA15

3E096BB03

3E096CA08

3E096CB03

3E096CC02

3E096DA17

3E096EA02X

3E096EA02Y

3E096FA02

3E096FA03

3E096GA07

5F131AA02

5F131CA47

5F131CA53

5F131GA14

5F131GA53

5F131GA69

5F131GA73

5F131GA74

5F131GA84

5F131GA85

5F131GA88

5F131GA92

5F131JA04

5F131JA24

5F131JA32

(57)【要約】

【課題】容器本体の開口を蓋体で閉塞する際、ガスケットによるシール不良を抑制可能な基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板を収納可能な容器本体１０と、容器本体１０の矩形状の開口を閉塞する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のガスケット３０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、開口を形成する開口部１１にガイドリブ４０又はガイドスリット５０の少なくとも一方を有し、蓋体２０は、容器本体１０のガイドリブ４０又はガイドスリット５０に係合可能なガイドスリット５０又はガイドリブ４０の少なくとも一方を有し、開口を蓋体２０で閉塞する際、ガイドリブ４０がガイドスリット５０に係合することで、蓋体２０が開口を形成する開口面に対してある傾斜角度以上に傾斜することを抑制する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を収納可能な容器本体と、
前記容器本体の矩形状の開口を閉塞する蓋体と、
前記容器本体と前記蓋体との間に設けられる環状のガスケットと、を備える基板収納容器であって、
前記容器本体は、前記開口を形成する開口部にガイドリブ又はガイドスリットの少なくとも一方を有し、
前記蓋体は、前記容器本体の前記ガイドリブ又は前記ガイドスリットに係合可能なガイドスリット又はガイドリブの少なくとも一方を有し、
前記開口を前記蓋体で閉塞する際、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合することで、前記蓋体が開口を形成する開口面に対してある傾斜角度以上に傾斜することを抑制する、
ことを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

前記開口を前記蓋体で閉塞する際、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合することで、前記蓋体が開口を形成する開口面に対して２０度以上の傾斜角度に傾斜することを抑制する、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。

【請求項3】

前記開口を前記蓋体で閉塞する際、前記蓋体が前記開口を形成する開口面に対して傾斜した状態であっても、０度以上２０度未満のいずれの傾斜角度であれば、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合し、２０度以上の傾斜角度であれば、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合しない、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を収納する基板収納容器に関する。

【背景技術】

【0002】

通常、基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、容器本体の矩形状の開口を閉塞する蓋体と、容器本体と蓋体との間に設けられる環状のガスケットと、を備えるものであり、基板を気密状態で収納している（特許文献１参照）。

【0003】

半導体製造装置は自動化されており、蓋体の開閉動作はロボットにより自動で行われているが、基板収納容器の洗浄や乾燥などの工程は自動化されていないため、作業者が手動で蓋体の閉止作業を行っている。

【0004】

ここで、蓋体の外面は概略上下（天地）対称（又は左右対称）であるため、作業者が手動で蓋体の閉止作業を行う際に、天地を反対にして容器本体に装着しようとすることがある。蓋体の天地が逆であっても、蓋体固定用の施錠機構も正常に作動でき、装着が可能であるが、蓋体の内面に設置されたウエハ押さえ部材（フロントリテーナ）が正規の位置に配置されないため、ウエハ収納の問題が後工程で発生することになる。

【0005】

そのため、例えば、特許文献１に記載の基板収納容器では、容器本体の開口部の上辺側に２つの凹部を、下辺側に１つの凹部を設け、また、蓋体の外周部の上辺側に２つの凸部を、下辺側に１つの凸部を設けて、蓋体の天地方向を逆にした場合には、蓋体の装着が不能になるようにして、蓋体の装着ミスを防止している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００１－２９８０７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、作業者が手動で蓋体の閉止作業を行う際には、上述した天地方向の装着ミス以外に、容器本体の開口を形成する平面（開口面）の法線方向に沿って装着することなく、容器本体の開口面に対して蓋体が傾いた状態で装着し始めることがある（図５～図６Ｆ参照）。この場合、蓋体に設けられたガスケットは、開口面と略平行に形成されたシール面に接触せずに、更に奥側の容器本体の内壁面に乗り上げた状態で、容器本体を閉塞することが起こる（図６Ｅ及び図６Ｆ参照）。そのため、ガスケット自体が折損又は破損したり、ガスケットのシール不良により基板収納容器の気密性が損なわれたりすることがあった。

【0008】

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、容器本体の開口を蓋体で閉塞する際、ガスケットによるシール不良を抑制可能な基板収納容器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納可能な容器本体と、前記容器本体の矩形状の開口を閉塞する蓋体と、前記容器本体と前記蓋体との間に設けられる環状のガスケットと、を備える基板収納容器であって、前記容器本体は、前記開口を形成する開口部にガイドリブ又はガイドスリットの少なくとも一方を有し、前記蓋体は、前記容器本体の前記ガイドリブ又は前記ガイドスリットに係合可能なガイドスリット又はガイドリブの少なくとも一方を有し、前記開口を前記蓋体で閉塞する際、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合することで、前記蓋体が開口を形成する開口面に対してある傾斜角度以上に傾斜することを抑制するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記開口を前記蓋体で閉塞する際、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合することで、前記蓋体が開口を形成する開口面に対して２０度以上の傾斜角度に傾斜することを抑制してもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記開口を前記蓋体で閉塞する際、前記蓋体が前記開口を形成する開口面に対して傾斜した状態であっても、０度以上２０度未満のいずれの傾斜角度であれば、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合し、２０度以上の傾斜角度であれば、前記ガイドリブが前記ガイドスリットに係合しなくてよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、容器本体の開口を蓋体で閉塞する際、ガスケットによるシール不良を抑制可能な基板収納容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解概略斜視図である。

【図2】本発明に係る実施形態の基板収納容器の容器本体を示す開口側から視た正面図である。

【図3】本発明に係る実施形態の基板収納容器の蓋体を示す容器本体側から視た背面図である。

【図4A】正常なシール状態の基板収納容器を示す概略断面図である。

【図4B】図４Ａの部分拡大断面図である。

【図5】蓋体を下辺軸周りに傾けて装着する様子を示す概略斜視図である。

【図6A】シール不良が発生する過程Ａを示す概略断面図である。

【図6B】シール不良が発生する過程Ｂを示す概略断面図である。

【図6C】シール不良が発生する過程Ｃを示す概略断面図である。

【図6D】図６Ｃの部分拡大断面図である。

【図6E】シール不良が発生する過程Ｄを示す概略断面図である。

【図6F】図６Ｅの部分拡大断面図である。

【図7A】蓋体を３０度以上に傾けて装着する場合のガイドリブとガイドスリットとの係合状態を示す概略断面図である。

【図7B】図７Ａの部分拡大断面図である。

【図8A】蓋体を２０度に傾けて装着する場合のガイドリブとガイドスリットとの係合状態を示す概略断面図である。

【図8B】図８Ａの部分拡大断面図である。

【図9A】蓋体を２０度未満で傾けて装着する場合のガイドリブとガイドスリットとの係合状態を示す概略断面図である。

【図9B】図９Ａの部分拡大断面図である。

【図10A】蓋体を傾けずに装着する場合のガイドリブとガイドスリットとの係合状態を示す概略断面図である。

【図10B】図１０Ａの部分拡大断面図である。

【図11A】蓋体を上辺軸周りに傾けて装着する様子を示す概略斜視図である。

【図11B】蓋体を上辺軸周りに傾けて装着する様子を示す概略側面図である。

【図12A】蓋体を左辺軸周りに傾けて装着する様子を示す概略斜視図である。

【図12B】蓋体を左辺軸周りに傾けて装着する様子を示す概略底面図である。

【図13】ガイドリブとガイドスリットとの位置関係を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

【0013】

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す分解概略斜視図である。図２は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１の容器本体１０を示す開口側から視た正面図である。図３は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１の蓋体２０を示す容器本体１０側から視た背面図である。

【0014】

図１に示すように、基板収納容器１は、基板を収納する容器本体１０と、容器本体１０の矩形状の開口を閉塞する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のガスケット３０（図３参照）と、を備えている。なお、基板収納容器１は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径のウエハなどの基板が収納可能な大きさに形成されている。

【0015】

容器本体１０は、図１及び図２に示すように、左側面１０１、右側面１０２、天面１０３、底面１０４及び背面１０５からなる箱状体であり、開口が正面に形成されたフロントオープン型である。開口は、外側に広がるように段差をつけて屈曲（多段）した開口部１１に形成され、その段差部の面が、ガスケット３０が接触するシール面１２として、開口部１１の正面側に形成されている。また、シール面１２よりも背面１０５に向かって奥側は、左側面１０１、右側面１０２、天面１０３及び底面１０４に対応する内壁面となっている。

【0016】

また、容器本体１０の左右両側面１０１，１０２の内壁面には、支持体（図示なし）が配置されている。支持体は、基板の載置及び位置決めをする機能を有している。この支持体には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板は、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されるようになっている。支持体の材料は、容器本体１０と同様のものと同じであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

【0017】

さらに、容器本体１０の背面１０５の内壁面には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０で容器本体１０が閉塞された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板を保持する。ただし、本実施形態のようなリアリテーナを備えることなく、支持体が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板を保持するようなものであってもよい。これらの支持体やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。

【0018】

基板は、この支持体に支持されて容器本体１０の内部空間に収納される。なお、基板の一例としては、シリコンウエハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウエハ、ガリウムヒ素ウエハなどであってもよい。

【0019】

容器本体１０の左右両側面１０１，１０２の外面には、作業者に握持されるマニュアルハンドル（図示なし）がそれぞれ着脱自在に装着されている。

【0020】

また、容器本体１０の天面１０３には、ロボティックフランジ（図示なし）が着脱自在に設けられている。そして、基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジを把持されて、基板を加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

【0021】

そして、容器本体１０又は蓋体２０の少なくとも一方には、気体を濾過するフィルタが着脱可能に取り付けられている。また、容器本体１０の底面１０４には、例えば、チェックバルブ機能を有する給気弁及び排気弁（図示なし）が設けられている。これらは、蓋体２０によって閉塞された基板収納容器１の内部に、給気弁から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気弁から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、気密状態を維持したりする。なお、給気弁及び排気弁は、基板を底面１０４へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気弁及び排気弁の数量や位置は、特に限定されない。また、給気弁及び排気弁は、気体を濾過するフィルタを有している。

【0022】

一方、蓋体２０は、図１及び図３に示すように、容器本体１０の略矩形状の開口の正面に取り付けられるものであり、略矩形状の外形を有し、正面側のカバーと容器本体１０の開口側の蓋本体とで形成されている。蓋体２０は、外周面２１の上辺２１３及び下辺２１４から外部に出没可能な施錠機構（図示なし）を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に施錠機構の係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。

【0023】

また、蓋体２０は、中央部（図３における実線で矩形に囲まれた部分）に基板の前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。このフロントリテーナは、支持体の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウエハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。

【0024】

そして、蓋体２０には、ガスケット３０を取り付ける取付溝（図示なし）が形成されている。この取付溝は、例えば、蓋体２０の外周面２１や容器本体１０側の面に、断面視で略Ｕ字状で環状に形成されている。

【0025】

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが適宜添加されてもよい。

【0026】

つぎに、ガスケット３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に装着した際に、シール面１２に密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。

【0027】

ガスケット３０は、図３に示すように、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口部１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のガスケット３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

【0028】

ガスケット３０は、取付溝に嵌められる本体部と、本体部から延出されたシール片３２と、で形成されている（図４Ｂ参照）。本体部は、蓋体２０の取付溝と同様の環状に形成され、その断面が取付溝の断面形状に対応するよう略矩形とされている。なお、本体部は、平坦な面を有し、ガスケット３０を取付溝の底側に押し込むことができるようになっている。

【0029】

一方、シール片３２は、本体部からシール面１２側に向けて、断面視で略Ｊ字状に形成されており、シール面１２に接触するようになっている。

【0030】

このガスケット３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性体を用いることができる。これらの材料には、導電性や帯電防止性を付与する観点から、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤などが適宜添加されてもよく、また、必要に応じて、各種機能を付与する添加剤を添加してもよい。なお、ガスケット３０の硬度は、ショアＡ硬度で４０度から９０度が好ましく、６０度から９０度がより好ましい。

【0031】

ここで、従来の基板収納容器１Ｂにおける容器本体１０Ｂ及び蓋体２０Ｂによる気密性を確保するシール構造について、説明する。図４は、正常なシール状態の基板収納容器１Ｂを示すもので、図４Ａは概略断面図であり、図４Ｂは図４Ａの部分拡大断面図である。なお、ガスケット３０に関しては、実施形態の基板収納容器１のものと従来の基板収納容器１Ｂのものとで共通であるため、符号Ｂを付していない。

【0032】

図４Ａ及び図４Ｂに示すように、ロボットにより、蓋体２０Ｂが容器本体１０Ｂに正確かつ正常に装着された場合には、ガスケット３０のシール片３２は、開口部１１Ｂのシール面１２Ｂに接触した後、閉止方向に１ｍｍ程度変形して潰れた状態になっている。このように、ガスケット３０と容器本体１０Ｂとが適切接触するシール構造によって、基板収納容器１Ｂの気密性を確保している。

【0033】

ところで、作業者が蓋体２０Ｂを容器本体１０Ｂに装着する場合は、ロボットと異なり正確な位置及び姿勢（角度）で閉止動作が行われないため、シール不良が発生することがある。そこで、以下、作業者が蓋体２０Ｂを容器本体１０Ｂに装着する閉止動作について、説明する。

【0034】

図５は、蓋体２０を下辺１１４Ｂ，２１４Ｂ軸周りに傾けて装着する様子を示す概略斜視図である。図６は、シール不良が発生する過程を示すもので、図６Ａは過程Ａの概略断面図であり、図６Ｂは過程Ｂの概略断面図であり、図６Ｃは過程Ｃの概略断面図であり、図６Ｄは図６Ｃの部分拡大断面図であり、図６Ｅは過程Ｄの概略断面図であり、図６Ｆは図６Ｅの部分拡大断面図である。

【0035】

作業者が蓋体２０Ｂを容器本体１０Ｂに装着する場合、まず、蓋体２０Ｂの左右の施錠機構に開錠治具を挿入して蓋体２０Ｂを保持するか、施錠機構周辺に存在する切欠開口や凹部に指を挿入して蓋体２０Ｂを握持して、図６Ａから図６Ｂに示すように、蓋体２０Ｂの下辺２１４Ｂを開口部１１Ｂの下辺１１４Ｂで支えるように置くことになり、図５に示すような様子になる。

【0036】

その後、蓋体２０Ｂを容器本体１０Ｂ側に開口面に対する傾斜角度θが小さくなるように傾けていくことになるが、ガスケット３０のシール片３２の下端（先端）は、図６Ｂに示すように、底面１０４Ｂよりも上方に位置しているため、図６Ｃ及び図６Ｄに示すように、ガスケット３０のシール片３２が、シール面１２Ｂに接触することなく（図４Ｂ参照）、底面１０４Ｂ（の内壁面）に乗り上げることがある。

【0037】

更にその後、蓋体２０Ｂを容器本体１０Ｂ側に傾け続けて、蓋体２０Ｂが開口面に対して略平行な状態（閉塞完了状態）になると、底面１０４Ｂに乗り上げたガスケット３０のシール片３２は、図６Ｅ及び図６Ｆに示すように、シール面１２Ｂに接触することがないまま、底面１０４Ｂ上で逆向きに反り返るようになる。

【0038】

このように、ガスケット３０のシール片３２のすべて又は一部のみが、底面１０４Ｂに乗り上げたままになるため、シール片３２が捩れた状態になる。そのため、図４Ａ及び４Ｂのような正常なシール状態とならず、特に、基板収納容器１Ｂの内部圧力が外部雰囲気（圧力）よりも低くなると、外気が侵入し易くなり、シール不良が発生することになる。

【0039】

そこで、本実施形態の基板収納容器１では、蓋体２０（の矩形状の主面）の容器本体１０の開口を形成する開口面に対する傾斜角度θが許容範囲を超えている場合には、蓋体２０が装着できないように、容器本体１０はガイドリブ４０を有し、かつ、蓋体２０はガイドリブ４０に係合可能なガイドスリット５０を有するものとした。

【0040】

再び図１及び図２に戻って、容器本体１０は、開口部１１の上下左右の各辺１１１，１１２，１１３，１１４に、ガイドリブ４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ（以降、これらをまとめて「ガイドリブ４０」ということがある。）が合計８つ設けられている。

【0041】

ガイドリブ４０は、開口部１１の開口面の法線方向に沿って、開口部１１の開口端よりも若干内部側まで延びるように、所定の幅、高さ及び長さを有する棒状の凸部として形成されている。

【0042】

一方、図３に示すように、蓋体２０は、容器本体１０のガイドリブ４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ（４０）に対応するように、容器本体１０の開口部１１に隣接する領域付近である、外周面２１の上下左右の各辺２１１，２１２，２１３，２１４に、ガイドスリット５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ（以降、これらをまとめて「ガイドスリット５０」ということがある。）が合計８つ設けられている。なお、図３は、蓋体２０を容器本体１０側から視た背面図であるため、左辺２１１及び右辺２１２が紙面上では逆になっている。

【0043】

ガイドスリット５０は、ガイドリブ４０が受け入れ可能なように、開口部１１の開口面の法線方向に沿って、溝状の凹部として形成されている。なお、ガイドスリット５０の幅は、ガイドリブ４０の幅よりも大きく形成されている。

【0044】

つづいて、ガイドリブ４０とガイドスリット５０との係合関係を、蓋体２０の容器本体１０に対する傾斜角度θに関連して説明する。ただし、傾斜角度θは、蓋体２０の各辺２１１，２１２，２１３，２１４が、対向する容器本体１０の各辺１１１，１１２，１１３，１１４に接触している状態における、容器本体１０の開口を形成する開口面に対する角度である。また、左側面１０１及び右側面１０２を結ぶ方向をＸ軸、天面１０３及び底面１０４を結ぶ方向をＺ軸、背面１０５と開口面を結ぶ方向をＹ軸とすれば、これらＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に互いに直交し、開口面はＺＸ平面に平行な面となる。

【0045】

図７は、蓋体２０を３０度以上に傾けて装着する場合のガイドリブ４０とガイドスリット５０との係合状態を示すもので、図７Ａは概略断面図であり、図７Ｂは図７Ａの部分拡大断面図である。図８は、蓋体２０を２０度傾けて装着する場合のガイドリブ４０とガイドスリット５０との係合状態を示すもので、図８Ａは概略断面図であり、図８Ｂは図８Ａの部分拡大断面図である。図９は、蓋体２０を２０度未満で傾けて装着する場合のガイドリブ４０とガイドスリット５０との係合状態を示すもので、図９Ａは概略断面図であり、図９Ｂは図９Ａの部分拡大断面図である。図１０は、蓋体２０を傾けずに装着する場合のガイドリブ４０とガイドスリット５０との係合状態を示すもので、図１０Ａは概略断面図であり、図１０Ｂは図１０Ａの部分拡大断面図である。ただし、図７から図１０では、左辺１１１，２１１について図示しているが、基板収納容器１は左右対称であるから、右辺１１２，２１２についても同様の状態である。

【0046】

まず、蓋体２０を３０度以上に傾けて装着する場合、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、容器本体１０のガイドリブ４１ａは、蓋体２０の左辺２１１に当接（干渉）することで、傾斜角度θが３０度の状態では、容器本体１０の開口を閉塞できないようになっている。なお、傾斜角度θが３０度以上の場合も同様である。

【0047】

つぎに、蓋体２０を２０度に傾けて装着する場合（例えば、３０度以上から２０度に傾け直す場合と、初めから２０度に傾けて装着する場合も含む。）、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、容器本体１０のガイドリブ４１ａは、蓋体２０の左辺２１１に当接（干渉）することで、傾斜角度θが２０度の状態では、容器本体１０の開口を閉塞できないようになっている。

【0048】

一方、蓋体２０を２０度未満に傾けて装着する場合（例えば、３０度以上から２０度未満に傾け直す場合と、初めから２０度未満に傾けて装着する場合も含む。）については、図９Ａ及び図９Ｂ（なお、図９Ｂは拡大図であるため、傾斜角度θを開口面に平行な面を基準に描画している。）に示すように、容器本体１０のガイドリブ４１ａは、蓋体２０の左辺２１１に当接（干渉）することなく、蓋体２０のガイドスリット５１ａに係合（挿入）可能な状態になる。

【0049】

その後、蓋体２０を容器本体１０の背面１０５の方向に押し込むことで、ガイドリブ４１ａとガイドスリット５１ａとの係合状態が深くなっていくとともに、傾斜角度θも小さな角度になっていき、蓋体２０の主面が傾斜した状態から開口面と略平行になるように案内されるため、蓋体２０が開口面と略平行な状態で、容器本体１０の開口を閉塞する。このとき、左辺１１１上方のガイドリブ４１ｂは、蓋体２０が開口面と略平行な状態になっていることから、左辺２１１に干渉することなく、左辺２１１上方のガイドスリット５１ｂに係合可能である。

【0050】

このように、蓋体２０の傾斜角度θが２０度未満の状態になると、ガイドリブ４１ａとガイドスリット５１ａとが係合することで、蓋体２０は容器本体１０の開口を正常なシール状態で閉止できるようになっている。

【0051】

なお、ロボットが装着する場合や作業者が蓋体２０を略傾けずに装着する場合（すなわち、傾斜角度θが０度の状態で装着する場合。）については、図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、容器本体１０のガイドリブ４０（４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂ）は、蓋体２０の上下左右の各辺２１１，２１２，２１３，２１４のいずれにも当然干渉することなく、蓋体２０に形成されたガイドスリット５０（５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ，５３ａ，５３ｂ，５４ａ，５４ｂ）に挿入されることになる。

【0052】

このように、ガイドスリット５０は、開口を形成する開口面に対する蓋体２０の傾斜角度θが０度以上２０度未満のすべての角度で閉塞される場合に、ガイドリブ４０に係合されるような位置及び形状に設計されている。

【0053】

ところで、上述の蓋体２０による容器本体１０の開口を閉塞する閉止動作では、開口部１１の下辺１１４（蓋体２０の下辺２１４）軸周りに対する蓋体２０の傾斜（回動）について説明したが、図１１に示すように、開口部１１の上辺１１３，２１３軸周りに対する蓋体２０の傾斜（回動）についても同様である。
図１１は、蓋体２０を上辺１１３，２１３軸周りに傾けて装着する様子を示すもので、図１１Ａは概略斜視図であり、図１１Ｂは概略側面図である。

【0054】

この場合、開口部１１の左辺１１１及び右辺１１２の上方に設けられたガイドリブ４１ｂ，４２ｂ、及び、蓋体２０の左辺２１１及び右辺２１２の上方に設けられたガイドスリット５１ｂ，５２ｂが（図２及び図３も参照）、蓋体２０が２０度以上傾斜した状態での閉止動作を防止することになる。

【0055】

また、図１２に示すように、開口部１１の左辺１１１,２１１軸周りに対する蓋体２０の傾斜（回動）についても同様である。
図１２は、蓋体２０を左辺１１１，２１１軸周りに傾けて装着する様子を示すもので、図１２Ａは概略斜視図であり、図１２Ｂは概略底面図である。

【0056】

この場合、開口部１１の上辺１１３及び下辺１１４の左方に設けられたガイドリブ４３ａ，４４ａ、及び、蓋体２０の上辺２１３及び下辺２１４の左方に設けられたガイドスリット５３ａ，５４ａが（図２及び図３も参照）、蓋体２０が２０度以上傾斜した状態での閉止動作を防止することになる。

【0057】

なお、図示しないが、開口部１１の右辺１１２，２１２軸周りに対する蓋体２０の傾斜（回動）については、開口部１１の上辺１１３及び下辺１１４の右方に設けられたガイドリブ４３ｂ，４４ｂ、及び、蓋体２０の上辺２１３及び下辺２１４の右方に設けられたガイドスリット５３ｂ，５４ｂが、蓋体２０が２０度以上に傾斜した状態での閉止動作を防止することになる。

【0058】

また、本実施形態では、開口部１１の上下左右の各辺１１１，１１２，１１３，１１４のすべての周りに対応するように、ガイドリブ４０及びガイドスリット５０を複数箇所に設けたが、作業者が両手で作業する場合は、蓋体２０Ｂの左右の施錠機構に開錠治具を挿入して蓋体２０Ｂを保持するか、施錠機構周辺に存在する切欠開口や凹部に指を挿入して蓋体２０Ｂを握持することが多く、さらに、上方から見下ろすような視線が多く、蓋体２０の下辺２１４を開口部１１の下辺１１４で支え、重量を預けるように置くことが多くなることから、最初に示した開口部１１の下辺１１４周りに傾斜させて装着することが他の各辺周りの装着方法よりも割合が多くなるといえる。

【0059】

そのため、左右の下方に位置するガイドリブ４１ａ，４２ａ及びガイドスリット５１ａ，５２ａを有すれば、装着ミスを十分減少させることができるといえ、ガイドリブ４０及びガイドスリット５０の設置箇所を増やす分だけ、その他の装着方向による装着ミスを更に減少させることができる。

【0060】

最後に、本実施形態の基板収納容器１におけるガイドリブ４０とガイドスリット５０の詳細な位置関係について説明する。図１３はガイドリブ４０とガイドスリット５０との位置関係を示す模式図である。

【0061】

前提条件として、ガイドリブ４０を、開口部１１の下辺１１４から高さＨで、開口面からの距離Ｂの位置に設けたとする。一方、蓋体２０を、下辺２１４の表面側の角部が開口部１１の下辺１１４の開口面端に接触し、ガイドリブ４０に干渉した状態を傾斜角度θに傾いた状態とする。なお、下辺１１４と下辺２１４との接触は、これ以外の場合もあるが、下辺２１４の中間付近など角部以外が接触する場合は、傾斜角度θに影響がなく、下辺２１４の角部が下辺１１１の中間付近など開口端面以外に接触する場合は、次に説明する距離Ｂを「０」に近似できるから、この状態が蓋体２０を傾けられる最大のものといえる。また、下辺２１４の両角部の角度は、９０度とする。

【0062】

この蓋体２０の状態における、ガイドリブ４０とガイドスリット５０（ただし、蓋体２０を傾斜させることなく閉止する場合に係合するときのガイドスリット５０の位置）とのオフセット量Ｘを求めてみる。開口面に平行で距離Ｂだけ離れた平面と下辺２１４とが交差する交差点と、ガイドリブ４０の開口端との距離は、「Ｈ－Ｂｔａｎθ」であるから、「ｃｏｓθ＝（Ｈ－Ｘ）／（Ｈ－Ｂｔａｎθ）」となる。
よって、オフセット量Ｘは、「Ｘ＝Ｈ（１－ｃｏｓθ）＋Ｂｓｉｎθ」（以下、「式１」という。）となる。

【0063】

例えば、傾斜角度θを２０度、高さＨを４０ｍｍ、距離Ｂを３ｍｍとすると、「式１」から、オフセット量Ｘ＝３．４４ｍｍとなる。ここで、蓋体２０の外周面２１の各辺２１１，２１２，２１３，２１４の周長は、容器本体１０の開口部１１の各辺１１１，１１２，１１３，１１４の周長よりも現実には若干短いため、ガイドスリット５０の幅を下辺２１４側に３．５ｍｍ広げることで、傾斜角度θが２０度以下の場合には、ガイドリブ４０をガイドスリット５０に係合可能にすることができる。

【0064】

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板を収納可能な容器本体１０と、容器本体１０の矩形状の開口を閉塞する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のガスケット３０と、を備える基板収納容器１であって、容器本体１０は、開口を形成する開口部１１にガイドリブ４０を有し、蓋体２０は、ガイドリブ４０に係合可能なガイドスリット５０を有し、開口を蓋体２０で閉塞する際、ガイドリブ４０がガイドスリット５０に係合することで、蓋体２０が開口を形成する開口面に対してある傾斜角度θ以上に傾斜することを抑制するものである。

【0065】

これにより、蓋体２０がある傾斜角度θ以上に傾斜することがなく、ガスケット３０のシール片３２の先端がシール面１２よりも内側に位置することがないから、蓋体２０が容器本体１０を閉塞する途中において、ガスケット３０は、開口部１１のシール面１２に交差する容器本体１０の内壁面に接触することなく（乗り上げることなく）、シール面１２に密着し、装着ミスによるシール不良を減少させることができる。そして、蓋体２０で閉塞した基板収納容器１の気密性を向上させることができる。

【0066】

実施形態の基板収納容器１は、容器本体１０の開口を蓋体２０で閉塞する際、ガイドリブ４０がガイドスリット５０に係合することで、蓋体２０が開口を形成する開口面に対して２０度以上の傾斜角度θに傾斜することを抑制する。これにより、逆に、ガイドリブ４０とガイドスリット５０とを係合させるように蓋体２０を容器本体１０に装着すれば、蓋体２０の傾斜角度θが２０度以上にならないようにすることができる。

【0067】

実施形態の基板収納容器１は、容器本体１０の開口を蓋体２０で閉塞する際、蓋体２０が開口を形成する開口面に対して傾斜した状態であっても、０度以上２０度未満のいずれの傾斜角度θであれば、ガイドリブ４０がガイドスリット５０に係合し、２０度以上の傾斜角度θであれば、ガイドリブ４０がガイドスリット５０に係合しない。これにより、蓋体２０が開口面に対して２０度未満の傾斜角度θであれば、蓋体２０を容器本体１０に装着可能にすることができ、一方、蓋体２０が開口面に対して２０度以上の傾斜角度θであれば、蓋体２０を容器本体１０に装着不能にすることができる。

【0068】

実施形態の容器本体１０は、開口部１１の左辺１１１又は右辺１１２の少なくとも一方にガイドリブ４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを有している。これにより、蓋体２０を上辺１１３，２１３軸周り又は下辺１１４，２１４軸周りに傾斜させて容器本体１０を閉塞する場合のシール不良を抑制することができる。

【0069】

実施形態の容器本体１０は、開口部１１の上辺１１３又は下辺１１４の少なくとも一方にガイドリブ４３ａ，４３ｂ，４４ａ，４４ｂを有している。これにより、蓋体２０を左辺１１１，２１１軸周り又は右辺１１２，２１２軸周りに傾斜させて容器本体１０を閉塞する場合のシール不良を抑制することができる。

【0070】

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

【0071】

（変形例）
上記実施形態では、容器本体１０がガイドリブ４０を有し、蓋体２０がガイドスリット５０を有するように構成されたが、ガイドリブ４０及びガイドスリット５０の係合は相補的なものであるから、逆に、容器本体１０がガイドスリット５０を有し、蓋体２０がガイドリブ４０を有するように構成してもよい。

【0072】

さらに、例えば、容器本体１０の左辺１１１及び右辺１１２がガイドリブ４０を有し、容器本体１０の上辺１１３及び下辺１１４がガイドスリット５０を有し、蓋体２０の左辺２１１及び右辺２１２がガイドスリット５０を有し、蓋体２０の上辺２１３及び下辺２１４がガイドリブ４０を有するようにして、容器本体１０及び蓋体２０がガイドリブ４０及びガイドスリット５０の両方を相補的に有するように構成してもよい。

【0073】

上記実施形態では、開口部１１の上辺１１３軸周りの傾斜及び下辺１１４軸周りの傾斜に対して、それぞれ異なるガイドリブ４１ａ，４２ａ，４１ｂ，４２ｂ及びガイドスリット５１ａ，５２ａ，５１ｂ，５２ｂを設けたが、ガイドリブ４０の閉止方向の長さ（又は距離Ｂ）やガイドスリット５０のオフセット量Ｘを、「式１」に従って調節することで、両方に共通のガイドリブ４０及びガイドスリット５０としてもよい。また、左辺１１１軸周り及び右辺１１２軸周りの傾斜についても、同様である。

【0074】

上記実施形態では、ガイドスリット５１ａ，５２ａ，５１ｂ，５２ｂは、ガイドリブ４０の挿入側（開口側）から蓋体２０の表面側まで同一幅で形成されていたが、傾斜角度θの条件が変わらなければ、挿入側から徐々に狭くなるようなテーパ状や段状であってもよい。

【符号の説明】

【0075】

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口部、１１１ 左辺、１１２ 右辺、１１３ 上辺、１１４ 下辺、１２ シール面
２０ 蓋体、２１ 外周面、２１１ 左辺、２１２ 右辺、２１３ 上辺、２１４ 下辺
３０ ガスケット、３２ シール片
４０（４１ａ～４４ｂ） ガイドリブ
５０（５１ａ～５４ｂ） ガイドスリット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図6D】

【図6E】

【図6F】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】

【図9A】

【図9B】

【図10A】

【図10B】

【図11A】

【図11B】

【図12A】

【図12B】

【図13】